线宽量测仪

现如今5G基站建设如火如荼5G正在走进家家户户其在通讯、无人驾驶等方面有着广阔的应用空间普及率也在不断提升《中国移动经济发展报告2020》指出预计2025年中国5G普及率将达到50% 不管是基站建设还是5G应用都拉动了5G高频高速线路板的需求5G全新赛道的开启为PCB厂商提供了新的机遇但也对技术、品质提出了更高的要求 正业科技全新自动线宽测量仪（XK32A）技术提升，硬件、软件全面升级可用于5G及高端线路板的检测为品质保障、安全使用保驾护航 正业科技全新自动线宽测量仪（XK32A） 正业科技全新自动线宽测量仪（XK32A）主要应用于5G高端线路板及普通线路板的内、外层半成品经显影蚀刻后（上绿油前）线路的上幅及下幅宽度、线距，圆孔（相机视野范围内）检查和分析。 正业科技线宽测量仪研发已超过10 年线宽系列产品在PCB行业销售已超过 400 台技术过硬！运行稳定！质量可靠！ 第四代“新”升级 工作原理 通过影像成像系统及光源从上表面垂直于被测板，呈显影像（相机实时拍图）感测，并将图像传送至电脑测量软件，通过软件测量工具分析图像的“线宽/线距/线宽上下幅/圆/金手指线宽等”标准公差值对比，从而判断被测板上的测量值OK或NG。 成像原理 产品优势 检测实例 技术参数

p 　　由山东海富光子科技股份有限公司牵头承担的国家重点研发计划重大科学仪器设备开发重点专项“高功率窄线宽光纤激光器”项目经过近两年的努力，突破了半导体增益芯片设计制备与高效封装耦合、玻璃光纤制备中新型热熔键合及高浓度均匀掺杂、窄线宽光纤激光放大器非线性效应抑制等关键技术，开发出高功率窄线宽光纤激光器样机。近日，项目通过了科技部高技术中心组织的中期检查。 /p p 　　高功率窄线宽光纤激光器兼备高峰值功率及窄线宽特性，同时采用全光纤结构，是激光精密测量、激光测距和遥测等重大科学仪器的关键核心部件之一。目前国内高功率窄线宽光纤激光器主要依赖国外进口，国内还不能实现产品级整机供货。项目通过采用非对称光栅的脊波导和大光腔的锥形增益结构，优化光栅结构参数减少激光器的线宽值，开发出高可靠性窄线宽脉冲激光种子源 研究了高倍率低噪声光放大、窄线宽光纤激光器中的SBS抑制、SPM补偿和模式控制等关键技术，获得高功率窄线宽光纤激光输出 开发了可工程化应用的高功率窄线宽光纤激光器 开展了激光雷达遥感的应用示范研究和产业化推广。 /p p 　　该项目下一步将加强仪器可靠性的整体设计，加快可靠性试验验证，提高产品稳定性 进一步加快应用示范的进度及工程化实施。 /p

p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 日前，国际标准化组织（ISO）正式发布了微束分析领域中的一项国际标准： span style=" color: rgb(0, 0, 0) " strong 《基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法》 /strong /span （Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)）。【 a href=" https://www.iso.org/standard/70944.html" target=" _self" span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 点击阅读 /span /a 】 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " & nbsp 该标准由中国科学技术大学物理学院和微尺度物质科学国家研究中心的 strong 丁泽军团队主导制定 /strong ，是 strong 半导体线宽测量方面的首个国际标准 /strong ，也是 strong 半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准 /strong ，该标准的发布有助于促进半导体评测技术的发展，并提升我国在半导体行业的国际影响力和竞争力。 /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 250px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/4d906003-1cb7-426d-b897-c1690fa0326f.jpg" title=" 111.png" alt=" 111.png" width=" 450" height=" 250" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 丁泽军团队长期从事电子束与材料相互作用领域里的基础研究，发展了目前国际上最为先进的用于扫描电子显微术和表面电子能谱学的Monte Carlo模拟计算方法，结合NIST研究团队提出的“基于模型数据库”（MBL）方法，提出了该“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”的ISO国际标准（IS）。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 标准文档指定利用CD-SEM成像表征刻蚀线宽的结构模型及其相关参数、Monte Carlo模拟模型和成像扫描线计算方法、MBL数据库构造方法和文件格式、图像匹配拟合程序和CD参数定值法。与传统的经验阈值方法相比，该测量方法能够给出准确的CD值，并且把线宽测量从单一参数扩展到包含结构形貌特征的信息，适用于如晶圆上的栅极、光掩模、尺寸小至10nm的单个孤立的或密集的线条特征图案，这不仅为半导体刻蚀线宽的CD-SEM准确评测确定了行业标准，也为一般性纳米级尺寸的其它测量法提供了参考。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 该研究团队自2011年始，在973项目“纳米测量技术标准的基础研究”课题“基于SEM的纳米测长模型”的研究成果基础上，于2014年在ISO/TC202/SC4做了新标准项目提案报告，2015年递交投票新标准项目提案，2016年5月投票通过予以国际标准（IS）正式立项。该标准草案先后经历了四轮成员国投票，于2019年9月27日终轮投票通过，标准现已正式出版 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 参与该标准相关研究和制定工作的团队主要成员为：邹艳波（现新疆师范大学）、李永钢（现中科院合肥物质科学研究院）、李会民（现中科大超级计算中心）。上述研究得到了科技部973项目、国家自然科学基金委和中科大超算中心的支持。 /p

成果名称 亚赫兹激光器与超窄线宽测量技术 单位名称 北京大学 联系人 马靖 联系邮箱 mj@labpku.com 成果成熟度 □研发阶段 &radic 原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产 成果简介： 超窄线宽激光是光通信、光传感、高精度光谱学等应用中的一个关键技术，也是一些基本物理参数测量的重要工具，而超窄激光线宽测量是实现超窄线宽激光器所必需的辅助技术。 在&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金第三期项目中，北京大学信息学院李正斌教授申请的&ldquo 亚赫兹激光器与超窄线宽测量技术研制&rdquo 项目提出并研究了一种获得窄线宽激光器的新机制，即光路分形结构机制。课题组前期的实验发现，在单环有源光纤谐振腔中引入光路分形结构能够获得类似多谐振环耦合的特性，与相同长度的光纤谐振腔相比，其输出激光线宽明显变窄。基于这一发现，课题组在第三期基金的经费资助下，开展了深入的研制工作。其工作主要包括：（1）以理论与实验相结合为手段，以光纤结构为对象，探索利用光路分形结构设计和实现单纵模输出、高频率稳定、线宽赫兹（Hz）以下量级的超窄线宽激光器的原理和方法，并获得原理样机；（2）利用互拍以及光域鉴频的技术设计并搭建超窄线宽激光器的测试平台，实现赫兹（Hz）以下量级超激光线宽的测量。 应用前景： 目前，该项目主要工作已经顺利完成，项目成功通过验收。其研究成果为获得超窄线宽激光器提供新途径，也为光通信、光传感等研究和应用提供了新的手段，相关技术处于成果转化阶段。

近期，中国科学院上海光机所空间激光信息传输与探测技术重点实验室研究团队联合张江实验室提出光反馈强度可调的自注入锁定窄线宽可调谐片上激光器，理论及实验研究了不同光反馈强度下激光器动态演变过程，表明优化光反馈强度可以有效提升自注入锁定的稳定性、优化噪声抑制效果、扩展锁定调谐范围。相关研究成果以“A Self-Injection Locked Laser Based on High-Q Micro-Ring Resonator with Adjustable Feedback”为题发表于Journal of Lightwave Technology。目前，硅基光电子芯片系统级集成迅速发展，在相干激光通信、相干探测激光雷达、精密计量传感、光计算等应用场景中扮演着重要角色，芯片系统级集成对前端低噪声激光光源的体积、重量、功耗同样提出了严格要求。高品质因子氮化硅微环谐振腔可提供积累的背向瑞利散射光反馈，将其与分布式反馈半导体激光器进行混合集成可获得高集成度的自注入锁定片上窄线宽光源。但由于反馈回激光器的背向瑞利散射强度与微环谐振腔波导加工工艺以及芯片间耦合封装损耗相关，通常强度较低且难以精确调控，自注入锁定片上激光器存在稳定性不高、调谐范围受限的问题。 　　研究团队提出一种基于高Q值微环谐振腔的光反馈强度可调片上自注入锁定窄线宽激光器(如图1所示)，通过引入由马赫曾德尔干涉仪和萨格纳克环形镜构成的反射率可调后腔镜，通过调节MZI两臂相位差调整反馈光强，在保证输出激光频率处于微环谐振腔谐振中心的同时，解决了微环谐振腔光反馈强度不可控的难题。反馈光强度经过优化的自注入锁定激光器具有更低的频率噪声和更大的锁定带宽，本征线宽压低至60 Hz,锁定调谐范围拓展到6.3 GHz(如图2、图3所示)。相关工作在FMCW激光雷达、高精度光纤传感等相干探测和精密计量领域具有重要的应用价值。图 1. 混合集成自注入锁定窄线宽激光器结构示意图、封装成品图 2. 不同光反馈强度下激光器频率噪声、线宽测试结果。(a)激光器频率噪声功率谱密度；(b) 激光器本征线宽、1ms 积分线宽图 3. 优化光反馈强度前后激光器调谐范围对比。(a) 后反射腔镜反射率为 0% 时调频结果；(c) 后反射腔镜反射率为 32% 时调频结果

p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp 激光器是精密的代名词，但一般来说，其还有改进的余地。“完美”的激光器会在一个特定的波长发出一种光。光从激光器中射出，激光起振后,会有一个或多个纵模产生,每个纵模的频率的范围就是激光的“线宽”。尽可能缩窄线宽是激光研究的目标之一，现在德国研究人员已经开发出了世界上最小线宽的激光器，线宽仅为10 mHz(0.01 Hz)。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201707/insimg/d28fbc97-43fc-4843-8448-b6c70db66b3c.jpg" title=" fa9904fa7c0c651.jpg" / /p p 　　通常，最好的激光器可以具有窄到几kHz的线宽，但是对于特别精确的仪器，如光学原子钟，就需要将之进一步收窄。另一种衡量激光束质量的方式是光频率的稳定性：在过了一段时间之后，光波的震荡会出现不同步，因此一束激光能维持更长的“完美”时间，其质量也就愈佳。 /p p 　　来自德国联邦物理技术研究院(PTB)和美国天体物理联合实验室(JILA)的科学家共同研发的新型激光器在这两个领域均表现优异。除了其10 mHz的极小线宽，其光波能持续11秒保持稳定，此时光束延伸约330万公里，约是地月距离的10倍。 /p p 　　事实上，新的激光器非常精确的，难以与现有的激光器进行比较，为了证明它的价值，团队研发了两个激光器，并将它们相互比较。这两个设备由Fabry-Pé rot硅谐振器制成，包含两个彼此相对的固定反射镜。由于谐振器的长度决定了光波的频率，所以研究人员利用长21cm的谐振器来获得理想的激光束。 研究人员通过这样精确的测量，使仪器不受其他因素干扰，例如压力，振动和温度。 /p p 　　研究人员正在利用这种极小线宽的新型激光器来制造更准确的原子钟，并对超冷原子进行更精确的测量。研究人员认为，通过调整反射镜的组成并找到降低谐振器内部温度的方法，线宽能进一步收窄，甚至可以达到1 mHz以下。 /p p 　　这项研究成果发表在《物理评论快报》(Physical Review Letters)杂志上。 /p p br/ /p

具有极窄线宽的单纵模深紫外可调谐激光由于其高的光谱分辨率及光子能量，是精密光谱学、紫外光刻、激光同位素分离、高分辨成像等诸多领域具有重要需求的光源，但因其涉及到线宽压窄技术、频率稳定技术、精确调谐技术及波长变换技术等一系列复杂的难题，该激光研究工作极具挑战性。为了获得紫外波短的波长，通常需要借助非线性晶体混频已有成熟激光器件的方案，从而获得该波段的相干辐射。我国科学家在非线性激光晶体研究方面成果显著，以BBO、LBO、KBBF等晶体为代表的紫外及深紫外波段非线性晶体蜚声国际。但是由于不同晶体在通光波段、相位匹配范围、有效非线性系数及光学质量、生长工艺、使用寿命等方面的不同表现，很难有可完全取代其他晶体的&ldquo 全能&rdquo 非线性晶体，不断挖掘新的非线性晶体并结合实用激光器件获得技术指标先进的紫外及深紫外激光，是激光材料及激光技术人员追求的重要内容之一。 　　针对极窄线宽可调谐深紫外激光的应用研究任务，中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家实验室(筹)光物理重点实验室魏志义研究组基于他们掺钛蓝宝石激光研究的经验，近年来通过深入系统的研究工作，相继克服了压缩线宽、稳定频率、精调波长、提高增益等技术难题，部分工作已发表于Applied Optics等杂志上【Appl. Opt., 51: 1905(2012)及Appl. Opt., 51:5527 (2012)】。最近，魏志义研究员、滕浩副研究员及博士研究生王睿在进一步成功获得平均功率6.5W、线宽小于0.4pm的可调谐窄线宽纳秒钛宝石激光的基础上，通过与福建物质结构研究所洪茂椿、陈长章、林文雄研究员合作，利用他们最新研制成功的BBSAG (Ba1-xB2-y-zO4SixAlyGaz)晶体四倍频该激光，在195～205nm的深紫外波长范围内获得了线宽小于200MHz、单频稳定性优于50MHz、调谐步长小于50MHz的可调谐窄线宽稳频激光输出，最高输出功率达130mW。图1为波长计测量到的基频光典型线宽结果，图2依次为各阶谐波的调谐曲线，对比BBO晶体，BBSAG在紫外波段不仅倍频效率提高了25%，而且由于近两倍高的光学破坏阈值、更高的硬度及完全不潮解的特性，表现出更加优良的连续稳定运行时间及可靠的线宽稳定性、精确的波长调谐能力，可望作为一种新的紫外非线性晶体，在激光科学技术中发挥重要作用。目前该激光器已在合作单位取得成功应用。 　　相关结果已发表在Optics Letters 39,2105(2014)上，此项工作得到了中科院知识创性工程方向性项目和国家自然科学基金委重大研究计划项目的资助。 　图1 基频光的线宽测量结果　　 图2 各次谐波的光谱调谐范围，采用BBSAG的四倍频激光的调谐范围约从193～210nm。最高平均功率135mW。

2023年12月12日，应用材料公司（Applied Materials， Inc.）和牛尾公司（Ushio， Inc.）宣布建立战略合作伙伴关系，以加速将小芯片异构集成到3D封装中的行业路线图。两家公司正在联合向市场推出首款数字光刻系统，该系统专为人工智能（AI）计算时代所需的先进基板图案化而设计。快速增长的 AI 工作负载推动了对具有更强大功能的更大芯片的需求。随着 AI 的性能要求超过了传统的摩尔定律扩展，芯片制造商越来越多地采用异构集成（HI）技术，将多个小芯片组合在一个先进的封装中，以提供与单片芯片相似或更高的性能和带宽。该行业需要基于玻璃等新材料的更大封装基板，以实现极细间距的互连和卓越的电气和机械性能。应用材料公司和 Ushio 之间的战略合作伙伴关系将两家行业领导者聚集在一起，以加速这一转变。应用材料集团副总裁兼半导体产品事业部HI、ICAPS和外延总经理Sundar Ramamurthy博士表示：“应用材料公司的新型数字光刻技术（DLT）是首款直接满足客户先进基板线路图需求的图形化系统。“我们正在利用我们在大型基板加工方面无与伦比的专业知识、业界最广泛的HI技术组合以及深厚的研发资源，在高性能计算领域实现新一代创新。Ushio集团执行官兼光子学解决方案全球业务部总经理William F. Mackenzie表示：“Ushio在为封装应用构建光刻系统方面拥有20多年的经验，在全球交付了4000多种工具。通过这种新的合作伙伴关系，我们可以通过可扩展的制造生态系统和强大的现场服务基础设施加速DLT的采用，并扩大我们的产品组合，为包装技术快速发展的挑战提供更多解决方案。新的DLT系统是唯一能够实现先进基板应用所需分辨率的光刻技术，同时提供大批量生产所需的吞吐量水平。该系统能够形成小于 2 微米的线宽，可在任何基板上实现最高的小芯片架构面积密度，包括由玻璃或有机材料制成的晶圆或大型面板。DLT系统经过独特设计，可解决不可预测的基板翘曲问题并实现覆盖精度。生产系统已经交付给多个客户，并且已经在玻璃和其他先进的封装基板上展示了 2 微米图案化。应用材料公司开创了DLT系统背后的技术，并将与Ushio一起负责研发和定义可扩展的路线图，以实现1微米线宽及以上先进封装的持续创新。Ushio将利用其成熟的制造和面向客户的基础设施来加速DLT的采用。此次合作将共同为客户提供最广泛的光刻解决方案组合，用于先进封装应用。

7月9日，晶合集成与上海精测半导体技术有限公司（以下简称上海精测）举行EPROFILE 300FD量测机台采购意向签约仪式。历经短短一年的测试、验证，及成功导入生产，EPROFILE 300FD量测机台各方面性能已达到国际水准。晶合集成计划在晶合三期及后续新增产能中大量引进20台，将有效降低设备采购及维保成本。晶合集成一直不遗余力推进本土化发展，目前在原材料领域已实现90%由国内厂商供应。在设备领域，晶合集成已大量引入北方华创、中微、拓荆、华海清科、至纯、盛美、屹唐、合肥御微、中科飞测、天芯微、邑文等国内设备厂商。未来，晶合集成还将与上海精测在扫描电子显微镜、明场缺陷检测机、WAT测试机、良率测试机等领域进行合作，以期不断提升设备国产化比例，持续优化运营成本，构建安全稳定供应链生态体系。据悉，EPROFILE 300FD量测机台是上海精测在成立三周年之际推出的国内首台12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）。该设备主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权，包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发，是真正意义上的高端国产化机台。

p 　　近日，中国科学院合肥物质科学研究院医学物理与技术中心研究员江海河课题组在宽调谐、窄谱宽中红外光参量研究方面取得进展。 /p p 　　3-5μm中红外激光在大气环境监测、目标特征探测以及高分辨率光谱学等领域具有广泛的应用，窄线宽可调谐激光是满足这类应用的理想光源。光参量振荡技术(OPO)是实现宽调谐中红外相干激光输出的有效技术。但是，在一般情况下，自由振荡OPO输出的脉冲中红外激光的谱宽较宽，一般高达数十纳米乃至几百纳米，严重限制OPO中红外光源的广泛应用。为了压缩OPO的输出谱宽，通常采用腔内插入标准具或VBG等选频元件。但该方法引入了较大的额外损耗，不仅导致OPO振荡阈值增大，还降低中红外激光的转换效率 采用VBG选频元件还会严重限制OPO的波长调谐范围。因此，宽调谐、窄谱宽高效OPO激光已成为中红外激光技术研究的热点。 /p p 　　据此，江海河课题组首先通过单纵模脉冲光纤激光器泵浦PPMgLN-OPO，获取了高效率的中红外激光输出 将标准具设计作为OPO的腔镜，有效地对振荡信号光的增益谱宽进行调制和控制；同时，采用种子自注入技术和双固体标准具耦合腔，使振荡信号光微弱边带得到了进行进一步抑制，实现了窄谱宽的信号光振荡，并与腔内的单纵模泵浦光进行有效的相互作用，获得了窄谱宽OPO中红外激光的输出。在本实验研究结果中，闲频光的谱宽压窄至0.36nm，相对于自由振荡谱宽抑制比改善了约2个数量级，同时其波长调谐范围达到200nm，其最大输出功率为2.6W，对应光光转换效率为17.4%，成为该波段窄线宽最有效的技术方法。该研究中采用的准相位匹配技术的周期极化晶体MgO:PPLN具有高增益、宽调谐等优点，泵浦源1μm光纤激光器具有高稳定性和紧凑性，研制的OPO中红外激光输出具有高峰值功率、低阈值，为宽调谐、窄谱宽高效OPO中红外激光应用奠定了基础。 /p p 　　相关研究成果发表在光学期刊Optics Express上。该研究得到了国家自然科学基金、中科院战略性先导科技专项等项目的资助。 /p p 　　相关链接： /p p 　　Widely tunable and narrow-bandwidth pulsed mid-IR PPMgLN-OPO by self-seeding dual etalon-coupled cavities /p p /p p /p

作为在激光快检领域具有成熟领先的技术基础，尤其在拉曼技术方面已拥有十余年的研发经验的国内一流光学快检仪器制造商，南京简智仪器设备有限公司近日发布了国内首款便携式差分拉曼光谱仪SERDS portable-base。差分拉曼光谱技术背景介绍近年来，拉曼光谱技术在食品安全、生物医药、分子结构研究、化工过程、生物化学、考古及文物鉴定、公安与法学样品分析、反恐技术等各行各业得到广泛应用，被称为“分子指纹”的拉曼光谱技术因其无损、便捷、速度快、稳定性高的优良特性，在光学快检领域受到大力推崇。但是，在拉曼光谱检测技术拥有众多优点的同时，其缺陷也暴露出来，信号弱和易受干扰可以说是目前限制拉曼技术应用的最大瓶颈。特别是在拉曼光谱应用领域不断扩展的现在，越来越多的物质或是因为条件限制无法获取高信噪比的拉曼光谱，或是因为自身强荧光掩盖了原本就很弱的拉曼信号，导致应用受限。位移差分拉曼光谱（SERDS），这种技术基于在两个有轻微偏移的激发波长中收集两张不同的光谱，由于分子所发射的光（荧光或磷光）只能从某一多重态中的最低态激发，因此对于激发光的微小偏移并不影响背景（样品受激发射光谱），同时，噪声与环境干扰光也同样与光源入射波长无关。而拉曼光谱作为散射光谱特征峰出现的位置与激发光源频谱位置有固定关系，当激发光频率移动时拉曼特征峰会跟着移动。根据这一原理，使用两种波长光源对样品照射时，获取的两张光谱中，受激发射光谱和噪声背景分量是一致的，而拉曼光谱部分则会存在与光源波长差对应的平移。理想情况下对两张谱图进行差分处理，所获得的差分谱中，受激发射谱和噪声背景会完全抵消，剩下的是拉曼光谱与自身平移光谱的差分图像。再通过去噪解卷积算法将拉曼光谱还原出来。但实际情况中，首先两个光源无法同时测量，因此需采用分时键控的方式，这会导致两次获取光谱中的噪声背景部分必然有差异。其次，物质的受激发射光谱与入射光源能量相关，而散射光谱能量同样遵循瑞利定理与入射光波长的四次方成反比，这导致两张原始光谱中的受激发射谱和散射谱分量都会有差异。最后，入射光的波长差对差分还原算法至关重要，便携式设备中如何控制光源台间差并设计较高容错性的还原算法也是技术可产品化的关键。而两种波长光源的输出能量差，则在计算差分谱时引入了对齐误差，也需要通过一系列优质算法消除。这也是为什么自上世纪90年代提出差分拉曼方法后，该技术一直无法形成成熟产品，特别是小型化便携式产品。简智仪器研发团队在差分拉曼光谱上有三年以上的深入研究，通过不断的研究实验，我们总结出便携式差分拉曼光谱仪的主要设计难点：◆小体积高可靠性双频激光器集成设计（超高温控精度要求，超高精度功率控制，超窄线宽）◆高效率光路和高分辨率光谱接收系统设计◆精确分时键控的脉冲式采样方式◆激光光源波长台间差矫正◆差分谱图标准化算法，消除因台间差引起的差分间距及对齐误差◆光谱对齐、曲线矫正、差分解调等系列算法简智开发团队通过多年深入研发位移差分拉曼光谱技术，取得突破性进展，在自主研发并迭代优化了多波长集成化激光光源、光路系统和高分辨率接收系统的基础上，还创新型的采用bp神经网络技术，基于任意函数可以被一个有三层单元的网络以任意精度逼近(cybenko1988)这一原理，通过迭代最优解的方式，同时将差分、对齐和基线矫正同时完成。实验经过几十次迭代（用时0.2s）可以准确分离差分信号和基线偏差。在经过多年的不断迭代研发后，简智开发团队设计并推出国内首款便携式差分拉曼产品——SERDS portable-baseSERDS portable-base优势◆可直接测量高荧光物质◆抗干扰、抗噪声，大幅提高系统整体的检测灵敏度和信噪比◆滤除干扰峰（如环境光峰、pl峰等），只保留纯净的拉曼峰，便于理论研究◆整体系统的高灵敏度保证可以测量微弱信号物质（如深色物体），捕捉微小信号差异◆在保证对拉曼峰测量准确性的前提下，可大幅降低光源功率◆消除探测器坏点，提高整机可靠性和光谱容错纠错能力SERDS portable-base性能参数◆光源：双频输出（δλ≤1nm），单频输出功率≤450mw，线宽≤0.06nm◆光谱范围：180-2800cm-1◆差分谱对齐算法：简智da-auto独创算法，实现微小波长差下光谱的能量对齐◆解调算法：简智bpd-smart独创算法，通过神经网络进行去噪，曲线矫正和反卷积迭代的差分光谱解调算法◆矫正算法：针对设备台间差，自动代入光源波长差，多次迭代实现差分谱标准化。SERDS source可调谐拉曼激光器在推出sedrs portable-base的同时，简智仪器还利用其在激光光源领域的深厚研究基础，推出了SERDS source可调谐拉曼激光器。 SERDS source可以在2nm的可调谐范围内实现稳定波长输出。基于简智仪器多年激光器自主研发设计经验，sedrs source具有体积小，波长精度高，稳定性好，温控精度高，功率稳定度高和可靠性高的特点。SERDS source主要性能参数输出功率(pout)0-600mw（可调）波长(λc)784~786nm调谐系数0.1nm/℃调谐范围0~2nm光谱宽度(δλ)0.06nm温控精度±0.01预热时间3min寿命20000h物理尺寸90*57*28mm应用实例◆利用差分技术在低信噪比测试环境下，还原获得硅片纯净的拉曼峰通过差分拉曼光谱技术，可以在检测中排除因为环境或物质荧光引起的干扰峰◆使用低功率直接测量深色abs塑料，避免样品烧毁从低信噪比的微弱信号中还原出差分频移分量并还原出纯净的拉曼特征谱 ◆利用低功率直接测量日落黄样品 左图为日落黄样品在弱激发下的差分拉曼光谱复原图右图红色部分为日落黄样品，黑色部分为在正常拉曼光源功率下被烧焦的样品国产拉曼发展至今，真正掌握核心技术的拉曼厂家少之又少，而很多高校、科研院所的科研成果并未转化为实际应用。未来，拉曼产业的发展还得依靠科研机构和企业提供源源不断的创新。拉曼光谱技术作为一种现代的无损智能检测技术，方兴未艾，前途无限。在这种发展形势下，拉曼光谱分析检测的应用会不断更新，提出新的应用要求和对新颖光谱分析方法、光谱仪器的开发要求。此次发布国内首款便携式差分拉曼光谱仪SERDS portable-base，作为国内领先的光学技术研发企业——简智仪器将会继续跟进市场最前沿需求，拓展市场应用，对高端核心技术不断精进、持续投入研发，引领技术革新，让拉曼光谱技术应用在国内市场乃至国际市场大放异彩。

法国SPARK LASERS 公司于2016年3月29日与上海昊量光电设备有限公司签订独家代理合作协议，在皮秒激光器、飞秒激光器领域展开深入的合作！昊量光电将全权负责法国SPARK LASERS 公司在中国、香港、澳门地区的所有市场、销售、售后服务方面的工作。 SPARK LASERS公司基于其先进技术研发出的多款皮秒激光产品具有高可靠性、小尺寸、高能量等特点，可以很好地满足工业（生物医学加工、半导体检测、各种精确微加工过程）和科研（荧光、光谱学、计量学）等应用方面的需求。 目前SPARK LASERS 主要推出以下几款皮秒激光器产品： 高能量1064/532nm皮秒激光器（100uJ，10ps）：SIRIUS系列 SIRIUS是款紧凑、高能量（100 u J、5 W）适用于微加工领域；输出波长1064 nm、532 nm 可选 高功率1064/532nm皮秒激光器（40W，100uJ）： VEGA 系列 VEGA 是款更紧凑、高重复频率、能量（40 u J 、40 W）适用于微加工、医学领域；输出波长 1064 nm、532 nm 可选 高重频1064/532nm 皮秒激光器（20W，80MHz）：ANTARES 系列 ANTARES 是款高重复频率、窄线宽、皮秒光纤准连续激光器，适用于工业、科研领域。输出波长1064 nm、1030 nm、532 nm、515 nm 可选 紧凑型高能量1064/532nm皮秒激光器:VEGA MICRO系列 VEGA MICRO 是款超紧凑、高能量皮秒光纤激光器。适用于微加工、医学领域；输出波长 1064 nm、532 nm 可选 此外Spark Laser公司可以根据客户的需求定制1060 nm、740 nm、640 nm、 532 nm、355 nm 等皮秒激光器。 关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司专注于光电领域的技术服务和产品销售。致力于引进国外顶级光电器件制造商的技术与产品，为国内客户提供幼稚的产品与服务。我们力争在原产厂商与客户之间搭建起沟通的桥梁与合作的平台。

长期以来，良率一直被认为是半导体制造中最关键的指标之一。对于芯片制造商来说，减少将工艺提升到生产级良率所需的时间可能价值数十亿美元。因此，制造商在晶圆检测技术上投入巨资，以帮助快速发现和纠正影响良率的缺陷，最好是在它们影响晶圆厂产量之前。缺陷检测工具箱中有两个互补的工具：检测和复查。在最常见的策略中，芯片制造商使用基于光学的检测技术来检测晶圆上的潜在缺陷，然后进行电子束复查，电子束复查具有按类型查看和表征缺陷所需的更高分辨率，以帮助工程师发现和解决其根本原因。光学缺陷检测和电子束缺陷审查是相辅相成的——前者以牺牲分辨率为代价在更短的时间内扫描晶圆，而后者提供高分辨率，但扫描晶圆需要更长的时间。最佳策略是将这两种工具的优点结合起来。然而，随着半导体设计变得越来越复杂，光学检测正面临挑战。随着线宽的缩小，细小的有害颗粒成为杀手级缺陷。随着设备架构向 3D 过渡，颗粒变得越来越难以检测和观察。随着多图案化和 3D 架构增加了相邻工艺步骤的图案化相互依赖性，需要更多的检测点来追溯缺陷的根本原因。芯片制造商越来越面临成本困境：要么增加检测量而增加制造成本，要么节省成本并降低制造良率。2021 年，应用材料公司推出了一款创新的光学检测系统，旨在帮助芯片制造商驾驭这个复杂的新时代。Enlight® 明场光学晶圆检测系统将行业领先的速度与高分辨率光学器件相结合，可从每次晶圆扫描中捕获更多对良率至关重要的数据。它是唯一同时具有明场和暗场检测通道的系统，使其能够同时收集反射光和高角度散射光，以检测最小的缺陷。Enlight 系统架构改变了光学检测的经济性，将捕获关键缺陷的成本优势提高了 3 倍。成本优势使Enlight系统客户能够减少检测预算或插入更多检测点，以在相同的预算下检测更多的颗粒和图案错误。因此，Enlight 系统已成为应用材料公司历史上速度最快的检测系统，并被其所有领先的晶圆代工客户用于大批量生产。今年，应用材料推出了 Enlight® 2 系统，它将吞吐量和灵敏度提升到新的水平。区分妨害和缺陷Enlight 2 系统旨在检测数量最多的良率扼杀缺陷，同时保持较低的误报率。Enlight 2 具有两项升级，可提高对相关缺陷的敏感度：图像处理能力的阶跃函数和成像动态范围的增加，每次扫描都能检测到 100 倍以上的潜在缺陷。新的 SideView™ 模块可实现晶圆的倾斜照明，从而将检测 3D 缺陷的灵敏度提高近一倍。该系统还提供了新的干扰抑制功能：一种名为SELFI的新型深度学习引擎™检测和分类超过十亿个缺陷图像，使工程师能够捕获3倍以上的目标缺陷。一种名为GF Polaris™的新型光偏振模块扩展了360度可调偏振，以控制灰场检测通道，并减少50%的滋扰。提高限速Enlight 2 包括多项增强功能，可进一步提高系统的吞吐量：新的混合计算架构利用图形加速器和专用图像处理器将 CPU 性能提高 4 倍，数据存储速度提高 5 倍，网络吞吐量提高 2.5 倍。一台新的望远镜将系统的晶圆扫描吞吐量扩大了40%以上。降低拥有成本这些速度和灵敏度的改进使芯片制造商能够在整个制造流程中插入更多的检测点，同时为每个配方提供更多的扫描集，同时保持相同的总体拥有成本。同时，检测阶段可操作信息数量的增加增强了在良率偏移发生之前预测良率偏移的能力，立即检测偏移，以便可以停止晶圆加工以保护良率，并实现根本原因追溯，以加快纠正措施和恢复大批量生产。芯片制造商倾向于降低检测工具的灵敏度，以尽量减少干扰检测，这增加了遗漏关键缺陷的风险。为了缓解这一挑战，应用材料公司的 ExtractAI™ 技术使用大数据帮助客户在在线监测期间快速创建完全分类、无噪声的地图。Enlight 2 系统的预测功能与 ExtractAI 相结合，在明场光学晶圆检测和我们行业领先的电子束审查系统 SEMVision® 之间提供了实时、智能的链接。ExtractAI 技术使用人工智能 （AI） 来表征晶圆上的所有潜在缺陷，为 SEMVision eBeam 系统提供可操作的分类缺陷图。电子束系统反过来训练 ExtractAI 技术对杀良率缺陷进行分类，从而能够快速准确地将杀良率缺陷与高端光学扫描仪产生的数百万个干扰信号区分开来。通过结合应用材料一流的光学检测和电子束审查技术，创建了业界唯一的智能解决方案，不仅可以检测和分类良率关键缺陷，还可以实时学习和适应工艺变化。在发布该系统前，应用材料已经向客户交付了两位数数量的系统，用于大批量生产，结果显示可以在不牺牲灵敏度的情况下将吞吐量提高 50%。应用材料的目标是在未来几年内创造超过10亿美元的收入，并帮助客户在芯片制造的新时代增加晶圆厂的产量和产量，从而创造数十亿美元的收入。

随着半导体制程线宽已达纳米时代，细微的污染都可能改变半导体的性质，湿电子化学品是电子行业湿法制程的关键材料，需要直接与硅片接触，其金属离子的控制对于确保产品良率至关重要。赛默飞可提供从ICP-OES到ICPMS（单杆、三重四极杆到高分辨）的全产品线解决方案，适用于不同制程的痕量污染物检测需求，确保 QA/QC 一致性，助力提升良率！► ► 突破高纯有机溶剂行业壁垒高纯度有机溶剂被广泛使用在集成电路行业中，包括异丙醇、甲醇、丙酮、N-甲基吡咯烷酮（NMP）、丙二醇甲醚醋酸脂（PGMEA）、乳酸乙酯、二甲基乙酰胺等。如异丙醇因其低表面张力和易挥发性而用于晶片清洗和干燥，在封装测试、化学中间体以及油墨生产中异丙醇的需求量也很大；NMP和PGMEA作为高级溶剂可与水互溶，并且能溶解大部分的有机和无机化合物，具有良好稳定性，被广泛应用于光刻胶溶剂等。 赛默飞可为高纯有机溶剂提供QA/QC检测，遵循国际半导体设备和材料组织SEMI标准中规定用ICPMS法来测定超痕量金属离子杂质，此外，还可以提供创新R&D检测方案，准确地对杂质进行鉴定和监测，可以有利于工艺方案的优化及产品质量的控制，以及不同批次产品间的组分差异，助力突破研发壁垒。 ► ► 高纯有机溶剂ICPMS测试的挑战有机溶剂直接进样对于ICPMS测定有较大的挑战，高挥发性增加了等离子体负载，导致炬焰收缩而熄火，炬管和接口的积碳导致检测强度下降影响长期稳定性，甚至于堵塞锥孔。因此传统测试上采用挥发蒸干用酸提取，对于水溶性溶剂也使用稀释法进样。固态聚合物更多地使用高温灰化或微波消解的前处理方法。但随着试剂纯度的提高，对于其中要求的杂质限量值越来越低，样品前处理步骤往往会有引入污染的风险，尤其是前处理条件不能满足洁净度要求的情况下。 iCAP TQs最新变频阻抗匹配设计的RF发生器，对于有机溶剂直接进样具有及其快速的匹配，并结合高效Peltier雾化室制冷模块，在雾化室连接管上接入高纯度氧气，与样品气溶胶混合后导入离子体，加氧消除积碳保持进样稳定性，即便在600w冷等离子体条件下也能获得稳定的测定结果。串联四极杆技术结合碰撞与反应模式可进一步去除碳、氮、氩等基体产生的多原子离子干扰，可获得低背景值并更为准确的结果。分析操作流程也更为简单、快速，可有效控制外来污染并提高分析工作效率。► ► 应用案例：电子级N-甲基吡咯烷酮（NMP）电子级NMP在半导体产业用途广泛，可作为光刻胶溶剂、除胶剂、清洗剂等。NMP密度为1.028g/cm3与水的密度相当，沸点202℃其在室温下挥发性低，粘度较低并可以与水互溶。结构中存在N-甲基使NMP直接进样ICPMS分析时，其基体效应相对于异丙醇要强，将抑制待测元素的信号强度。通过等离子体条件优化，结合标准加入法定量测定可消除基体效应。在NMP的检测中，采用赛默飞三重四极杆iCAP TQs半导体专用ICPMS，将ICPMS雾化室制冷至-5℃，减少有机溶剂进样量，50ml/min等离子体加氧避免锥口积碳。有机溶剂直接进样测定时，碳、氮、氩基体离子将对待测离子产生严重的干扰，如¹ ² C₂ +对² ⁴ Mg+，¹ ³ C¹ ⁴ N+对² ⁷ Al+，¹ ⁴ N¹ ⁶ O¹ H+和¹ ² C¹ ⁸ O¹ H+对³ ¹ P+，以及¹ ² C+的峰拖尾对M-1的¹ ¹ B+的干扰等等，方法中采用冷等离子体模式，可有效降低C、 N、Ar等电离，同时在Qcell中加纯氨反应以获得低背景值。¹ ¹ B的测定采用Q1和Q3的高分辨模式，提高丰度灵敏度消除¹ ² C+的影响。³ ¹ P采用热等离子体氧反应模式，Q3选择³ ¹ P¹ ⁶ O+消除CNHO的多原子离子的干扰。分析结果 iCAP TQs ICPMS稳定可靠的RF发生器在等离子体加氧下，可适合于直接进样测定有机溶剂，冷等离子体可有效抑制碳基多原子离子的干扰，结合TQ氨气和氧气反应模式，在一次测定中可稳定切换各种测定模式，提高易用性和分析效率，可满足半导体行业超痕量ppt级的痕量金属杂质检测要求。 一键获取赛默飞半导体材料检测文集赛默飞为半导体材料开发了全面的痕量无机阴离子、阳离子和金属离子的检测方案，在晶圆表面清洗化学品、晶圆制程化学品、晶圆基材和靶材等各方面，全方位满足半导体生产对相关材料的质量要求，并开发了通过高分辨质谱Orbitrap技术对于材料未知物研发检测的需求，从完整制程出发提供全面可靠的分析技术，助力半导体材料国产化乘风破浪！ 长按识别下方二维码即可下载《赛默飞半导体材料检测应用文集》，或点击阅读原文进入半导体解决方案专题页面获取更多解决方案！

慕尼黑上海光博会将于2024年3月20-22日在上海新国际博览中心（上海市浦东新区龙阳路2345号）举办，届时我们将携前沿光电产品及技术解决方案在W4馆4420亮相，展品涵盖生物显微、半导体检测、激光医疗、光纤传感、精密光谱、机器视觉、偏振测量、光束匀化、光束偏转等热门应用领域，本次慕尼黑上海光博会除了前沿技术产品亮相，还有超赞的干货演讲等活动，诚邀各位新老客户拨冗莅临展位洽谈交流！W4馆4420 主题演讲日程预览 展位活动详情 展品应用速递 PPLN晶体，显微镜LED光源，LED点光源，MEMS扫描镜，AOTF，AOM，调温式热封机VTS，混频器，隔震平台，空间光调制器，LCOS，半导体激光器，荧光标准片，DMD空间光调制器，压电纳米平移台，标准分辨率靶，SCMOS，光子晶体光纤，920飞秒激光器，显微高光谱成像，微型光谱仪，3D光场显微成像模块、微球显微镜，光纤耦合LED光源，3D光场显微相机，生物阻抗分析仪，纳米孔读取器，多通道电流放大器，膜片钳，蛋白质测序仪，单光子相机，无掩模光刻机。在线椭偏仪，在线膜厚测量仪，在线拉曼光谱成像，在线荧光寿命成像，在线荧光光谱成像，自动化光电流成像，超分辨光学微球显微镜、锁相放大器、激光干涉仪，高频激振器，TDTR，266nm窄线宽激光器，波前传感器，激光光束分析仪，激光位置和指向稳定系统，多通道声光调制器AOMC，声光偏转器AODF，非球面匀化镜。2940nm铒激光器，2020nm铥激光器，激光光束分析仪，非球面匀化镜，调温式热封机VTS，混频器，激光传能光纤，激光功率计，生物电阻抗断层成像仪，医用激光光纤（紫外-中红外），医用光纤温度传感器，医用光纤压力传感器 温度解调系统，时域红外光谱仪，扫频激光器，法珀腔医疗压力传感器。PPLN晶体，显微镜LED光源，LED点光源，MEMS扫描镜，AOTF，AOM，调温式热封机VTS，混频器，隔震平台，空间光调制器，LCOS，半导体激光器，荧光标准片，DMD空间光调制器，压电纳米平移台，标准分辨率靶，SCMOS，光子晶体光纤，920飞秒激光器，显微高光谱成像，微型光谱仪，3D光场显微成像模块、微球显微镜，光纤耦合LED光源，3D光场显微相机，生物阻抗分析仪，纳米孔读取器，多通道电流放大器，膜片钳，蛋白质测序仪，单光子相机，无掩模光刻机。共聚焦拉曼光谱仪，共聚焦荧光寿命成像系统，共聚焦荧光成像，超导探测器、单光子计数器、激光稳频器、超稳腔、窄线宽稳频激光器、锁相放大器、任意波形发生器、偏频锁定模块、超快飞秒激光器、单光子相机、光刻机，单腔双光梳激光器，光纤光谱仪，拉曼光谱仪，近红外光谱仪，多光谱相机、高光谱相机，光纤探头，激光光束分析仪，PPLN晶体，声光偏转器AOD，声光调制器AOM，非球面匀化镜，激光位置和指向稳定系统，非线性晶体，F-theta场镜，扩束镜，隔震平台。二维光谱成像测量系统，多光谱相机、高光谱相机、热成像相机，变焦镜头，在线颜色测量，二维光谱颜色测量，线激光3D相机，结构光3D相机，光场相机，高光谱相机，3D傅里叶显微成像仪，光纤传感器。偏振态测量仪（三款），偏振相，锁相放大器，小尺寸宽带偏振态测量仪，高精度偏振(斯托克斯量)测量系统，光弹调制器，托卡马克专用光弹调制器，偏振分析专用锁相放大器，成像型穆勒矩阵测量系统，高精度波片相位延迟测量系统，光弹性系数测量仪，桌面主动隔振台。声光偏转器，电光偏转器，电光偏转系统，KTN电光偏转器，液晶偏振光栅，大角度闭环微型振镜，MEMS扫描镜，压电纳米平移台，液晶空间光调制器，主动隔振台，光纤偏振态测量仪，中空回射器。 昊量展位指引 关于我们

常见欧美品牌/超微量分光光度计 那么下面上海嘉鹏科技有限公司为大家简单介绍一下关于常见欧美品牌/超微量分光光度计：市场上比较畅销的超微量分光光度计有：美国ThermoScientific的Nanodrop系列产品,德国伯赫(Berthold)的Colibri，英国Picodrop公司的CUBE和P200系列产品，GE的NanoVue以及其它一些品牌。赛默飞世尔品质很是不错，当然价格不菲。Nanodrop系列是联机版，需要联电脑才能操作。在单机版流行的大趋势下算是一个小小的遗憾。这个品牌优点是产品线宽，ND8000系列可以同时测8个样本，特别适合高通量实验室使用。德国伯赫伯赫(Berthold)的品牌是科乐比(Colibri)，系统稳定性和检测准确性重复性也很好，性能品质与Nanodrop相当，同属于高产品。不同之处是科乐比是单机版操作系统，彩色触摸屏操作。另外，它的样品台设计避免了样本蒸发，因此准确性和重复性很是不错。光电系统很稳定，终生不需校准。英国PicodropPicodrop的P200也是单机版操作系统，与众不同之处是In-Tip检测技术，样品在特制的吸头内检测，零交叉污染，样品100%可回收。主要的缺点是一次性吸头有耗材成本。据称厂家正在实施本地化生产一次性吸头以降低检测成本。英国Biodrop另一个英国品牌，进入中国稍晚，产品外观比较漂亮，也是单机版操作系统。 以上就是上海嘉鹏科技有限公司为大家整理总结关于常见欧美品牌/超微量分光光度计。 我们上海嘉鹏科技有限公司是专业生产超微量核酸蛋白测定仪、化学发光成像系统、凝胶成像分析系统、紫外分析仪、核酸蛋白检测仪、紫外检测仪、蛋白质分离纯化系统、光化学反应仪、旋涡混合器、恒流泵、自动部分收集器等十几个系列产品的厂家，欢迎大家前来订购。

昊量光电NEOARK 产品培训为了更好的了解产品，及后期产品服务的能力，上海昊量作为NEOARK在国内的代理商前往日本NEOARK公司接收了深入产品技术培训。培训内容包括磁学产品、DMD无掩膜光刻机及相关激光器等设备的安装，使用的培训，并且对相关领域的销售中常见的技术问题进行交流。部分培训内容包括：对磁学产品进行了系统的培训，主要针对如下三款磁学测量设备的结构，安装，调试，及使用，并现场测量多个昊量工程师带来的样品。①MOKE 磁性测量设备磁性测量系统采用高聚焦激光，激光光斑大小仅为1μm，可以进行微区的 磁性检测。一机可以进行极向克尔效应和纵向克尔效应的测量。克尔角的分辨率可以达到0.001°，并可以根据客户不同的要求进行定制。 除u-MOKE之外，还有大激光光斑的磁光克尔效应测量系统，可提供极向、纵向、横向不同配置的磁光克尔效应测量系统（注：此两款产品均可以添加低温、应力、电压等外界条件。）②MOKE 磁光克尔显微镜磁光克尔显微镜主要是用于研究微区磁畴的变化。NEOARK公司的磁光克尔显微镜采用偏光成像的方式进行磁畴的观察。采用这种观察方式可以对磁畴的实时变化进行观察，分辨率优于1μm，并可以根据磁畴的图片获得磁性材料的磁滞回线。NEOARK的磁光克尔显微镜主要有两种大型磁光克尔显微镜，可以进行面内和极向两个方向的观察。采用非磁物镜，最大磁场可达2T。此外还提供一款小型磁畴观察设备，该款磁光克尔显微镜可进行面内观察方向，光源采用LED，寿命可达到10000小时。最大磁场为1KOe。 ③磁性测量+磁光克尔显微镜系统这是一款集磁性测量和磁畴观察于一身的设备。其中磁性测量采用高聚焦光斑可以达到很高的精度和灵敏度并可进行微区的磁性测量。磁畴观察使用偏光成像的方法，利用面光源分辨率可达到1μm以下，并可同时进行磁畴观察和磁性的测量。 另外对Neoark还对昊量相关工程师进行了无掩膜光刻机的产品培训。NEOARK生产的无掩膜光刻机以DMD作为数字掩膜，无需制作掩膜。采用365nm的LED为光源，寿命可达10000小时以上，使用10倍物镜线宽可达3μm，光刻面积1*0.6mm，使用电动平移台可实现拼接，使曝光面积大25mm*25mm。 通过本次培训，昊量光电销售人员对Neoark磁学产品及光刻机及相关产品的应用，安装，调试，使用都有了更进一步的理解解。为今后昊量光电在磁学产品，无掩膜光刻机等产品提供更加优质的售前售后服务打下了坚实的基础。

近期城市雾霾频现，PM2.5肆虐，全国多地环境空气监控点PM2.5监测结果濒临爆表。PM2.5成了普通百姓耳熟能详的名字，大有谈之色变之势。PM2.5的防护已然成为公众热议的话题。 　　PM2.5不仅是雾霾天气的重要成因，而且被认为是造成大部分的健康影响的罪魁祸首。基于此，中国疾控中心已经开始有计划全面开展雾霾对人群健康影响的基础研究，并及时启动雾霾天气下的健康评估和预警。研究中需要对空气中颗粒物，特别是PM2.5浓度进行监测。大气颗粒物浓度监测仪成为监测空气污染，关注大众健康的晴雨表，对指导大众应对雾霾天气对人体健康影响功不可没。 　　在2月18日中央电视台中国新闻栏目播出的中国疾控中心：已开始研究雾霾对健康影响的新闻视频中，武汉天虹仪表研制的两款监测仪器频频亮相。这两款仪器分别是TH-150C型智能中流量空气中悬浮物微粒采样器和TH-2000PM型大气颗粒物浓度监测仪，都能采集和精确测试空气中PM2.5以下的微粒。该两款颗粒物监测仪是公司的拳头产品，其中TH-2000PM大气颗粒物浓度监测仪在2012年通过国家监测总站的4次比对测试，其性能上不亚于国外的同类产品，热销于国内的环保、厂矿和医药卫生领域。中国疾控中心此次开展的雾霾对人体健康影响的研究使用了多款武汉天虹仪表的环境大气监测仪器，其中包括上述报道中亮相的两款。相关部门发布的权威PM2.5监测数据，多出自武汉天虹仪器的监测结果，成为指导您应对雾霾对健康影响的重要依据。 　　 　　武汉天虹就在您身边，时刻关注您的健康。武汉天虹仪表自1991年创办以来，致力于研制环境空气监测设备，取得了显著的成果，在环境监测领域享誉国内外。在应对雾霾天气上武汉天虹将一如既往、不遗余力地在环境保护和大众健康领域做出更大贡献。

企查查显示，1月21日，江苏匠岭半导体有限公司发生多项工商变更，新增投资人平潭冯源聚芯股权投资合伙企业(有限合伙)、中小企业发展基金(绍兴)股权投资合伙企业(有限合伙)。同时，注册资本由3181.35万元变更为3623.20万元。（来源：企查查）公开信息显示，匠岭半导体成立于2018年，以领先的光学检测技术为核心，主要从事半导体光学量测和检测设备的研发、制造和销售，主要产品涵盖半导体薄膜和光学线宽量测机台、半导体Micro-Bump三维检测机台和半导体宏观缺陷检测机台等。以客户技术需求为导向，匠岭半导体旨在为全球半导体上下游的芯片制造工厂提供一流的工艺检测机台和良率优化方案。

在12英寸独立式光学线宽测量设备（OCD）、12英寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）进入客户验证阶段后，精测电子（300567.SZ）开启了在半导体前道量测检测设备领域的新布局，瞄准了明场缺陷检测设备。近日，精测电子发布公告称，公司控股子公司上海精积微拟引入新的投资者，与原股东上海精测拟共向上海精积微出资3亿元，以取得进一步发展，扩大规模，增强业务能力。精测电子表示，此次增资有利于上海精积微获得充裕资金，以开展半导体检测领域相关设备的研发及产品化，有利于公司下一阶段的良性发展。获充裕资金开展相关研发根据精测电子公告内容，此次增资的投资者包括上海装备投、张江燧锋、浦东海望、海宁精海、上海精望，以及公司实控人彭骞，出资金额分别为2500万元、2500万元、5000万元、1亿元、5000万元、2500万元。而这些引入的新股东中，多数颇有来头。例如，上海装备投，其股东万业企业、大基金、执行事务合伙人上海半导体装备材料产业投资管理有限公司分别占出资比例的19.8%、19.8%、0.99%，实际控制人为朱旭东。张江燧锋的合伙人包括浦东建设、张江高科、上海浦东科技创新投资基金合伙企业（有限合伙）、上海科创中心一期股权投资基金合伙企业（有限合伙）等。浦东海望的合伙人包括上海浦东科技创新投资基金合伙企业（有限合伙）、浙江韦尔股权投资有限公司等，韦尔股份100%持有浙江韦尔股权投资有限公司。本次增资完成后，上海精测持有上海精积微的股权比例由100%变更为21.43%。鉴于上海精望、彭骞已于今年2月11日分别同上海精测签订了《股东表决权委托协议》，同意将其持有的上海精积微股权所对应的表决权、提名权和提案权独家、无偿且不可撤销地委托上海精测行使，因此上海精积微仍为公司合并报表范围内公司。上海精积微设立于2021年5月12日，注册资本5000万元，经营范围包括一般项目：半导体、计算机、显示屏、光伏、锂电池、新能源、检测设备、测试设备科技领域内的技术服务、技术转让、技术咨询、技术开发等。据悉，目前在图形晶圆光学明场缺陷检测领域，美国KLA一家独大，占据半壁江山，AMAT 和Hitachi 占比也都超过10%，三家合计市占率达75%。国内前道测试设备与国外相比差距较大，我国半导体设备厂商在该领域几乎处于空白阶段。本土企业中，中科飞测和上海精测分别在检测设备和测量设备领域实现突破。其中，上海精积微现阶段便主要聚焦明场晶圆有图形缺陷检测设备领域相关产品的研究开发以及生产制造等。据精测电子披露，这类领域技术壁垒、研发周期相对较长，资金需求较大，目前都被海外巨头供应商垄断，从技术面到市场面都具备一定的风险。此次增资公司放弃部分优先认购权引入不同的战略合作方风险共担，有利于其获得充裕资金得以开展半导体检测领域相关设备的研发及产品化，有效降低公司及上海精测的投资风险和资金压力，有利于上海精积微下一阶段的良性发展。日前，精测电子在与投资者互动时指出，目前上海精测生产经营情况一切正常，现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列，其半导体检测领域相关主力产品已取得国内一线客户的批量重复订单，其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。已形成半导体检测全领域布局资料显示，精测电子成立于2006年，以模组检测设备起家，2013 年通过收购台湾光达和宏濑光电，产品拓展至AOI、OLED检测等领域，是国内面板检测设备领域覆盖最全的公司之一。2010年，公司进入检测自动化领域，又于2014年进入面板前工程光学领域。2016年11月22日，精测电子在深交所创业板上市，之后开始搭建海外投资平台，进一步走向国际化。2018年，精测电子从平板显示检测领域，正式跨入半导体、新能源行业的测试领域，并迅速迎来新一轮业绩增长。2019年、2020年，公司营业收入分别为19.5亿元、20.77亿元，分别同比增长40.39%、6.45%。2021年前三季度，精测电子实现营业收入为17.68亿元，同比增长42.98%；归母净利润为1.82亿元，同比增长20.33%。其中，2021年上半年，公司实现营业收入12.92亿元，同比增长76.44%；归母净利润1.46亿元，同比增长高达203.43%。在市场最为关注的半导体前道量测检测设备领域，精测电子在2021年取得了长足的进展。资料显示，精测电子已基本形成在半导体检测前道、后道全领域的布局。其中，上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。子公司武汉精鸿主要聚焦自动检测设备（ATE）领域（主要产品是存储芯片测试设备），并已实现关键核心产品技术转移、国产化研发、制造、核心零部件国产化，由之前单一老化产品线扩展到了 CP/FT 产品线。精测电子表示，公司2021年7月份出机中芯国际12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM），当前进展非常顺利，公司正在积极推进相关业务。目前公司在半导体领域在手订单快速增长，公司对2022年在半导体领域的市场需求和订单持积极乐观态度。公司还表示，后续将持续加大对半导体及新能源领域的研发投入，进一步完善新业务板块产业布局，将公司发展成为“半导体、显示、新能源行业以测试设备为核心的综合服务提供商”。据披露，精测电子去年上半年研发投入1.74亿元，较上年同期增加36.80%，占营业收入的13.49%。2018年至2020年，公司研发投入金额分别为1.72亿元、2.88亿元、3.22亿元，呈逐年递增趋势。有机构指出，精测电子作为国内面板检测产品线最齐全玩家，通过内生外延不断实现业务纵向深化和横向拓展，逐步形成“显示、半导体、新能源三位一体”业务布局。预计公司在把握国内面板检测设备存量替代市场和OLED 与高世代LCD 增量市场基础上，在半导体和新能源设备上持续实现突破，实现业绩和收入的高增长。

6月27日，中国电信在上海召开物联网开放平台全球发布会。本次发布会以“丝路添翼 物联世界”为主题，作为中国电信集团公司及中国电信物联产业联盟的合作伙伴，托普云农董事长陈渝阳受邀参加物联网开放平台全球发布会，并在中国电信NB-IoT网络技术基础上发布国内第一款农业领域物联产品。托普云农董事长陈渝阳（右一）在中国电信物联网开放实验室启动仪式上 托普云农作为国内农业物联网领航者，正积极推进NB-IoT农业物联产业的创新研究与应用推广。在中国电信物联网实验室开放参观期间，托普云农基于NB-IoT基础上研发农业物联网综合服务平台、农业生产管理系统、农产品质量安全等农业物联网产品，引发广泛关注。托普云农在中国电信物联网实验室发布的系列产品之一 近年来，物联网在农业领域的应用得到大幅提升，市场规模不断扩大。作为第一个推出基于中国电信NB-IoT农业物联网产品的服务商，托普云农在农业产业管理、大数据运用、农业农村公共信息服务等领域具有领先的物联网系统集成与信息技术服务能力。不仅研发出农业物联网综合服务平台、温室大棚监测系统、农业生产管理系统、农产品质量安全等，还在农业物联网终端等方面积极布局，推动NB-IoT农业物联网产品在新疆、陕西、甘肃、浙江等多个省份的政府端与产业端落地运用。托普云农NB-IoT农业物联智能硬件 NB-IoT是基于４Ｇ蜂窝网络的窄带物联网技术，具有支持海量连接、深度覆盖、低功耗、低成本等优点，能有效满足偏远农村地区的深度覆盖需求。此外，宽带化、融合化、信号强的无线宽带信息传输网络，还能极大地降低农业信息采集、数据传输等方面的能耗，拓宽物联网在农业生产、管理领域的应用场景。 在万物互联的大趋势下，托普云农将充分利用自身优势，积极推动NB-IoT农业物联网产品的建设及部署。深化加强与中国电信在农业生产智能化、农业生态管理、农业产业管理、农业农村公共信息化服务等领域合作。积极拓展农业物联应用，促进农业产业转型与升级，逐步打造全面感知、广泛互联的农业物联服务体系。

昊量光电与日本NEOARK公司建立全面合作伙伴关系 日本NEOARK 公司于2016年8月16日与上海昊量光电设备有限公司在磁性材料测量、磁畴观察、激光器等领域建立全面合作伙伴，昊量光电设备有限公司全权负责NEOARK公司在中国地区的所有市场、销售以及售后服务方面的工作。 NEOARK 公司是世界上著名的磁光克尔测量系统、磁光克尔显微镜及相关的光学设备的制造商。研发的产品精度高、定制性强等特点，可以很好的满足工业和科研等方面的需求。目前NEOARK 产品主要可以分为以下几类： MOKE磁性测量和磁光克尔显微镜 Moke磁性测量和磁畴观察系统主要用于磁性材料磁性检测以及静态/动态磁畴的观察，磁性测量采用高聚焦的激光，光斑直径最小可达1μm，克尔偏转角可达0.001°以上。磁畴观察采用高压汞灯，在50倍的物镜下观察面积可达到100′70mm，由于采用的是面光源，因此可以实时观察到磁畴的变化，分辨率优于1μm。该产品配置灵活，可根据用户使用需求进行定制化。 DMD无掩膜光刻机 采用DMD作为数字掩膜，无需制作掩膜。采用365nm的LED为光源，寿命可达10000小时以上，使用10倍物镜线宽可达3μm，光刻面积1′0.6mm，使用电动平移台可实现拼接，使曝光面积大25mm′25mm 高频振动观察仪 该系统基于Sagnac干涉仪原理，采用激光为探针使高频振动实现可视化。使用激光为探针实现非接触式无损探测，测量频率范围可达50MHZ-3GHZ.使用电动平移台可实现自动聚焦功能，利用二维FFT处理，实现滤波功能。 稳频激光器 利用特殊物质（碘、乙炔等）的超精细吸收光谱作为参考频率，通过主动稳频的方法把激光频率稳定到参考频率上。可实现1′10-11的频率稳定。符合 2001 年国际计量委员会规定的光学频率标准。 关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司专注于光电领域的技术服务和产品销售。致力于引进国外顶级光电器件制造商的技术与产品，为国内客户提供幼稚的产品与服务。我们力争在原产厂商与客户之间搭建起沟通的桥梁与合作的平台。

3月20日-22日，全球规模最大、规格最高的半导体业界盛会SEMICON China 2024在上海新国际博览中心举办。作为中国尖端科学仪器装备和真空技术的领先者，中科科仪联合控股公司成都唯实、中科科美、苏州科仪、科仪光电精彩亮相，展示多项电子光学和真空技术领域创新成果，与现场参会者探讨半导体产业未来发展模式。半导体产业不仅是信息技术产业的核心，更是支撑经济社会发展的战略性、基础性和先导性的产业，从日常生活中的家用电器、数码电子，到更为高端的通信、医疗、航空航天等领域，都扮演着举足轻重的角色，随着5G、物联网、人工智能等新兴技术的蓬勃发展，半导体产业更是迎来了前所未有的发展机遇，在这样的背景下，SEMICON China 2024的盛大举行，无疑为整个行业提供了一个展示与交流的重要平台。电子光学检测仪器、真空获得与检测相关设备及核心零部件，是半导体器件高可靠性的重要保障。本次展会中科科仪重点展出了KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜、CXF-320/3001CV型与CXF-100/301CS型磁悬浮分子泵、ZQJ-3300型与ZQJ-3900型E-13系列氦质谱检漏仪、系列新型真空阀门以及真空系统整体解决方案，获得现场专家学者和业界同仁的广泛认可，众多客户前来交流互动，咨询洽谈。 扫描电子显微镜可应用于半导体产业链生产制造及应用的各个环节，能否清晰地观测到生产工艺中缺陷的具体形貌和元素成分，成为解决工艺缺陷的关键因素。中科科仪在电子光学技术领域持续耕耘近60年，拥有雄厚的技术积淀和应用经验，其中具有自主知识产权的国产高分辨场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100最佳分辨率优于0.9nm，达到国际先进水平，扫描电子显微镜在硬质电路板失效分析和检测、陶瓷电容端头检测、半导体器件失效分析、微电子器件污染物鉴定、半导体器件线宽测量等方面有着广泛应用，解决了我国半导体等高端装备制造领域检测设备依赖进口的“卡脖子”问题。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学，在半导体行业有着广泛的应用。磁悬浮分子泵是半导体装备的核心零部件，应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等关键工艺，提供超高真空环境，目前中科科仪的磁悬浮分子泵已通过多个设备厂商的工艺验证，并批量应用。在真空检漏方面，中科科仪推出E-13系列新型氦质谱检漏仪，具备检测精度高、检漏压强大、启动时间短、响应速度快等性能特点，拥有台式、车式、便携式、模块式等多种产品类型，便于客户灵活自由选择。系列新型真空阀门服务于晶体生长、离子束刻蚀、薄膜沉积等多个核心工艺，性能优异。此外，中科科仪的定制化真空系统整体解决方案，广泛应用于半导体、航空航天、新能源、红外与光电器件等领域。 全球半导体市场在人工智能、物联网、5G通讯数字化和智能化的浪潮下不断快速发展，对半导体检测设备和集成电路装备核心零部件的需求日益旺盛。未来，中科科仪将继续聚焦半导体市场需求，持续攻关电子光学及真空领域关键技术，抢占科技制高点，推动科技成果转化与规模产业化，攻克高端科学仪器装备与核心零部件关键领域“卡脖子”“空心化”问题，助力打好科技仪器设备国产化攻坚战！

XPS小课堂 光电子能谱图由一系列谱线（通常称为宽谱图）或一个至几个为数不多的谱线（通常称为窄谱图或高分辨谱图）所构成。谱线信息包含三要素：峰位（结合能）、峰强（以峰高计数强度或计数率表示，但在定量分析中以峰面积表达更加准确）、峰宽（以峰位强度一半处的宽度，即Full width at Half Maximum，简写为FWHM）。而在考察XPS的性能时，峰强（灵敏度）和半高宽（能量分辨率）是不可以、也是无法分割开来的。 01 XPS的能量分辨率 XPS的能量分辨率是仪器将两个相邻的谱峰分开的能力，通常能量分辨率越高，所采集到的光电子的越少，而能量分辨率越低，则采集到的光电子越多——不能离开能量分辨率来片面强调灵敏度的高低，同样也不能片面强调灵敏度的高低而忽略能量分辨率，因此要正确评估XPS的性能，需要在给定的能量分辨率下的去比较灵敏度的高低，或者可以在给定的灵敏度下来比较能量分辨率的高低。图1. Ag 3d5/2能量分辨率为0.422eV时，灵敏度300kcps 02 XPS谱线半高宽XPS的能量分辨率通常由Ag 3d5/2的半高宽来进行比较。谱线的半高宽从根本上讲，是所测谱线的发射谱线与两个展宽函数（X射线源和检测系统响应）的卷积结果。发射谱线的线型是洛仑兹型的，用来激发光电子的X射线也是洛仑兹型的，而检测系统的响应则是高斯型的，换言之我们看到的XPS的谱线的宽度是由三部分构成的，即发射谱线的宽度、X射线源的展宽和检测系统的展宽。 粗略来说测量到的XPS的谱线宽度大致是这样的： wA是样品原子能级的自然线宽——发射谱线的宽度是本征的，由其电子能级本身决定——电子能级寿命越长则谱线宽度越窄，电子能级寿命越长则谱线越窄，无法通过仪器的参数来改变； wx是X射线源的线宽——X射线源的展宽对特定的X射线源也是固定的，但是可以通过仪器的硬件设置改变，例如是否使用单色化的X射线源——500mm罗兰圆的单色化的Al Ka线宽0.25eV，非单色化则为0.85eV，所以使用单色化光源的分辨率就好于非单色化的X射线源； wD是检测系统的展宽；仪器的半球能量分析器半径和通能共同决定了检测系统的展宽——能量分析器半径越大，本征的能量分辨就越好；而通能越小能量分辨也就越好，但是信号强度也会下降——能量分辨（通能）和信号强度近似呈对数曲线关系。 03 通能（Pass energy）我们通常可以选择不同的通能来实现不同的能量分辨率。 XPS的能量分析器通常采用固定分析器传输（Fixed Analyzer Transmission，FAT）或称恒分析器能量（Constant Analyzer Energy，CAE）模式，待分析的光电子被减速到选定的通能而通过能量分析器，这是光电子在分析器的两个半球之间移动时的平均动能。FAT（CAE）模式的优点是能量分辨率在整个测量的动能范围内保持恒定。图2. XPS通能原理示意图 选择较低的通能时，可以获得了较好的能量分辨率，但同时灵敏度会降低，反之选择较高的通能时，可以获得更好的灵敏度，但同时分辨率会降低。图3. 在相同的X射线源功率下，以不同的通能（20eV和10eV）测试Al 2p 图3清晰地显示了较小的通能（10eV）时，能看到单质态Al 2p出现明显的双峰劈裂，但是灵敏度相对较低（大致在7×103cps），而在较大的通能（20eV）时，单质态Al 2p的双峰劈裂几乎消失了，但是灵敏度显著提高（大致在2×104cps）。 本期介绍了XPS的重要参数能量分辨率与灵敏度之间的联系，以及在实际操作中需要调节的参数——通能的基本概念，下期XPS小课堂将分享在具体的应用中我们应该如何选择通能大小，以及如何在分析灵敏度和能量分辨率之间寻求更好的平衡。 本文内容非商业广告，仅供专业人士参考。

湿电子化学品是半导体、集成电路等多个领域的重要基础性关键化学材料，是当今世界发展速度较快的产业领域。我国湿电子化学品2012年市场规模仅为34.81亿元，到2018年已增至79.62亿元，而2021年湿电子化学品市场规模预计超过100亿元。湿电子化学品（又称电子级试剂、超净高纯化学试剂、工艺化学品、湿化学品等）一般主体成分纯度大于99.99%，是电子行业湿法制程的关键材料，常用于湿法刻蚀、清洗等微电子、光电子湿法工艺制程，约占集成电路制造成本的5%。湿电子化学品湿电子化学品可分为通用性湿电子化学品和功能性湿电子化学品。通用湿电子化学品一般为单组份、单功能、被大量使用的液体化学品，包括酸、碱、有机溶剂等，常用于集成电路、液晶显示器、太阳能电池、LED制造工艺等；功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品，包括蚀刻液、清洗液、光刻配套试剂等，常用于半导体刻蚀、清洗等工艺中。常见湿电子化学品（数据自中国电子材料行业协会）类别湿电子化学品约占湿电子化学品总需求比例（%）合计占比估计通用湿电子化学品过氧化氢16.70%88.20%氢氟酸16%硫酸15.30%硝酸14.30%磷酸8.70%盐酸4.80%氢氧化钾3.80%氨水3.70%异丙酮2.80%醋酸1.90%功能湿电子化学品MEA等极佳溶液3.20%11.80%显影液（半导体用）2.70%蚀刻液（半导体用）2.20%显影液（液晶面板用）1.60%剥离液（半导体用）1.20%缓冲刻蚀液（BOE)0.90%湿电子化学品的国际分类标准国际半导体设备和材料协会(SEMI)根据金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等制定了湿电子化学品国际等级分类标准。Grade1等级湿电子化学品常用于光伏太阳能电池等领域；Grade2等级湿电子化学品常用于平板显示、LED、分立器件等领域；Grade3等级湿电子化学品常用于平板显示、LED、集成电路等；Grade4等级湿电子化学品常用于集成电路等领域。 IC制造不同线宽对应湿电子化学品国际等级分类标准SEMI等级IC线宽(μm)金属杂质(10-9)控制粒径(μm)颗粒(个/mL)C1(Grade1)＞1.2≤1000≤1≤25C7(Grade2)0.8-1.2≤10≤0.5≤25C8(Grade3）0.2-0.6≤1≤0.5≤5C12(Grade4）0.09-0.2≤0.1≤0.2*Grade5*≤0.01**国际湿电子化学品市场国际湿电子化学品市场份额的80%主要被德国的E.Merck 公司、美国的Ashland 公司、Sigma-Aldrich 公司、Mallinckradt Baker 公司、日本的Wako 、Summitomo 等占据。欧美传统老牌企业的湿电子化学品产品市场份额（以销售额计）约为34%,主要企业有德国巴斯夫公司、美国亚什兰集团、亚什兰化学公司、美国Arch 化学品公司、美国霍尼韦尔公司、AIR PRODUCTS、德国E.Merck 公司、美国Avantor Performance Materials 公司、ATMI 公司等。日本企业约占30%的市场份额，主要企业关东化学公司、三菱化学、京都化工、日本合成橡胶、住友化学、和光纯药工业（Wako）、stella-chemifa 公司等。中国台湾、韩国、中国大陆企业（即内资企业）约占全球市场份额的35%。全球湿电子化学品行业主要企业国家及地区企业名称美国霍尼韦尔、ATMI、Arch化学品、亚仕兰集团、空气化工产品、Avantor™ Performance Materials德国巴斯夫、汉高、E.Merck日本关东化学、三菱化学、京都化学、东京应化、住友化学、宇部兴产、Stella Chemifa、Wako、日本合成橡胶韩国东友精细化工、东进世美肯、soulbrain ENG中国台湾台湾联仕电子、台湾侨力 国内湿电子化学品研究 自1980 年北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合5µm技术用的MOS级试剂开始，经过数十年积累，国内湿电子化学品企业陆续获得了 G1、G2 等级的化学试剂生产技术，少数部分技术领先企业已经具备 G2 等级化学试剂规模化生产的能力，部分产品的关键技术指标已经达到了国际G3 标准的水平。2010 年之后，技术领先企业的部分产品具备了 G3 等级的生产技术，行业进入快速发展阶段。国内的湿电子化学品目前主要生产G2、G3级别，仅部分达到G4级别，产品主要进口自欧美、日本、韩国、中国台湾的企业。湿电子化学品常用检测仪器与技术湿电子化学品的纯度和洁净度对于电子元器件产品的成品率、性能和可靠性有重要影响。仪器信息网特将湿电子化学品纯度及杂质分析和颗粒检测常用的仪器进行整理。湿电子化学品常用检测仪器常用仪器用途对应仪器专场（点击进入）粒度仪颗粒分析等粒度仪仪器专场电感耦合等离子体—质谱仪（ICP-MS）纯度和杂质分析等电感耦合等离子体—质谱仪（ICP-MS）仪器专场离子色谱纯度和杂质分析等离子色谱仪器专场电位滴定仪纯度和杂质分析等电位滴定仪仪器专场紫外可见分光光度计纯度和杂质分析等紫外可见分光光度计仪器专场液相色谱纯度和杂质分析等液相色谱仪器专场液质联用纯度和杂质分析等液质联用仪器专场

3月14日， 慕尼黑上海光博会(LASER World of PHOTONICS CHINA 2018)在上海新国际博览中心正式开展。大族锐波传感携最新的高性能半导体激光器件与模块系列产品亮相。慕尼黑上海光博会是亚洲最大的激光、光学、光电行业盛会。2018年展会主题聚焦“智能光制造”，集中展示激光技术的领先优势，贴近当下中国工业制造领域对于智能制造的技术需求。展会吸引了全球顶尖制造商和经销商，汇聚近1000家展商，3天的展期内吸引了超过60,000专业观众到场参观。大族锐波在高性能半导体激光器领域具有领先的技术与丰富的经验。目前的主要产品为传感及工业用途的半导体激光器及模块。公司的技术团队曾最早在国内成功开发出应用于便携式拉曼光谱设备的785nm窄线宽半导体激光器，如今该系列的产品已被国内领先的拉曼设备生产商广泛采用并获得客户好评。近期，大族锐波陆续推出了多款尖端产品，如用于光纤传感及高端雷达技术领域的1550nm单频激光器与模块，用于工业光纤激光器领域的1064nm种子源激光器等，在展会一亮相便吸引了许多专业客户的关注。相信在此次激光盛会上的成功亮相，将充分提升大族锐波的企业形象与产品认知度。与全国乃至世界各地的同行与客户朋友们交流获得的良好反馈，更是让我们对2018年的进一步市场开拓工作充满了信心！

面临的挑战：用户需求检测汽车侧围钣金件的孔位、边线尺寸及整体曲面偏差，目前使用定制工装夹具进行测量，孔位采用塞规逐个测量：1. 耗时耗力，且无法出具详尽的检测报告；2. 工件易变形，边线宽度窄，尺寸测量不方便。▲工件数模来自海克斯康的解决方案：使用AtlaScan扫描后，将三维数据和标准数模导入检测软件进行RPS对齐；使用软件中的截面、比较点、曲面偏差图进行检测，快速出具全面可靠的检测报告，数据直观，保存方便。▲扫描数据▲孔位测量 ▲曲面偏差▲边线距离检测用户成效以上解决方案中，AtlaScan不仅解决了用户现有手段不易测量的难题，其扫描速度和对精细结构的完美呈现也令用户非常满意。海克斯康AtlaScan高品质计量系统以全球首创孔位闪测技术和纯蓝光技术加速助推行业数字化转型。客户简介：某汽车企业

展会回顾2023年第八届易贸生物产业大会暨易贸生物产业展览（EBC）于2023年3月19日在苏州国际博览中心圆满落下帷幕，上海汉尧仪器设备有限公司如约亮相本次展会。本次大会以“会+展”的模式，聚焦分子诊断，抗体药物、细胞与基因治疗等热门赛道，吸引了创业者、科学家、临床医生、投资人、供应商等众多专业人士参与 ，共建全产业链交流合作平台。大会共设60余场行业论坛，50场圆桌讨论，主题报告精彩纷纭，各大展商齐聚，为生物医药企业提供交流沟通的平台，助力了中国生物医药产业的创新发展。01直击现场本次展会，上海汉尧仪器设备有限公司在EC046特设展位，携带了908devices，DWK，Gelomics和德国Analytica Jena一系列仪器和耗材亮相本次大会。展会期间，众多新老客商莅临上海汉尧展位，就本次新产品的技术及应用场景等进行咨询和交流，在场工作人员应接不暇，给予了热情且耐心的解答！02展品回顾908devices 系列产品尤其是美国908devices公司于2022年收购的子品牌Trace后隆重推出的单机版Maven与四通道平行版C2/M4，其独特的透析模式探头只允许小分子通过的透析膜与特异性GOD/LOD酶膜传感器技术达到了不损失小罐样品体积在线宽量程葡萄糖（0.01-40g/L）/乳酸（0.05-10g/L）监测并动态反馈控制的效果。该产品吸引了大量细胞培养与工艺开发相关的客户以及多家生物反应器企业与我司就在线监测技术在培养工艺开发和生产控制（QbD和PAT）等方面的应用场景和技术优势进行了深入的交流。此外，基于CZE微流控芯片技术的ZipChip与高分辨质谱联用，可以有效的解决HPLC分离度不够和流动相对MS不友好的问题，也引起了众多技术专家的关注。该产品于2016年上市，经过多年迭代升级，在国内已经拥有了一大批忠实粉丝。DWK 系列产品DWK Life Sciences（原SCHOTT/Wheaton/Kimble）是全球著名的硼硅玻璃实验室仪器供应商，国内玻璃仪器制造行业的引领者。本次参展的主要产品是WHEATON® 西林瓶系列套件和CELLine_Bioreactors，Duran高硼玻璃凭借高质量低温延展性，可以耐受-196摄氏度极限液氮低温环境。Gelomics 系列产品澳大利亚Gelomics 基质胶可以解决Matrigel对于低温使用条件的要求，在实验操作和温度控制上更加便捷，且通过光交联时间不同，可以模拟不同硬度的体内癌细胞生长环境（从乳腺癌到骨癌等），为科研学者创造更贴近人体的实验模型，为药物筛选有效性证明提供了真实体内IC50数据。03感谢相遇至此，为期2天的盛会圆满收官，落幕不散场，感谢每一位到访上海汉尧展位的参展嘉宾，也衷心感谢大家一如既往的支持与信任，期待与您下次相遇！扫码关注上海汉尧仪器设备有限公司作为专业的产品和技术服务提供商，上海汉尧一直专注于为中国的生物制药/食品/化工实验室行业用户提供高品质的产品和技术服务，依托合作伙伴的支持，我们从单一产品销售，逐步发展成为实验室消耗品/仪器/设备的综合服务商。已经合作的客户中，包括了众多国内顶级的制药/CRO、CMO/药检/大学/研究所/精细化工领域用户。

p strong 　　一、 拉曼光谱仪设备的市场展望 /strong /p p 　　作为在分子光谱领域中发展最快的设备，拉曼光谱仪正在成为当前仪器行业的焦点之一。 在早期阶段，拉曼光谱分析设备一直是高端实验室用仪器的代表 然而随着激光器、CCD检测器等技术的进步，便携和手持式的设备成为了拉曼分析仪器一个新的发展趋势——设备体积越来越小，操作越来越简单，应用也越来越广泛。最近两年，由于安防、海关等领域现场快检的需求增加，国内的便携/手持式的拉曼设备的市场迎来了迅速的增长。我们相信在未来的数年内，随着技术方案的成熟、设备成本的进一步降低以及国家政策法规的完善，公安部门、食品安全、药品检测等几大领域的应用也会逐渐成熟 届时，便携/手持式拉曼光谱仪的应用会出现真正的突破，出现爆炸式的市场增长。 /p p strong 　　二、 便携式拉曼光谱仪关键部件概述 /strong /p p 　　一台完整的拉曼光谱仪通常由激光器(光源)、样品外光路、色散系统、信号接收系统和信息处理系统几大部分组成。 strong 相对于高端的实验室系统，便携式拉曼设备的内部部件更简单且模块化程度更高，其关键的零部件包括光源模块、光谱仪模块以及拉曼探头三样。仅针对便携式拉曼设备的应用来说，以上几个关键部件国内外厂商的技术水平相差已经不大，国产产品基本能达到国外同类优秀产品的水平，并且具有更高的性价比 /strong 。在拉曼光谱的核心器件——激光光源领域，近年来国内已经出现了一些优秀的供应商，深圳市大族锐波传感科技有限公司便是其中之一。 /p p strong 　　三、 大族锐波拉曼激光光源产品介绍 /strong /p p 　　深圳市大族锐波传感科技有限公司是一家光电传感领域的高新技术企业，致力于提供高端光电传感产品与系统。公司由上市企业大族激光科技产业集团股份有限公司和海归技术团队于2015年5月共同发起设立，并引入了多家机构投资者注资。公司位于深圳市南山区高新技术产业园，目前注册资本人民币1亿元。大族锐波在传感用高性能半导体激光器领域具有领先的技术与丰富的经验。公司的技术团队曾最早在国内成功开发出应用于便携式拉曼光谱设备的785nm窄线宽半导体激光器，突破国外垄断，且产品的性能指标不逊色于国际同行的同类高端产品。针对当前拉曼光谱分析仪器领域的应用，大族锐波传感推出了以下数款半导体激光器光源产品： /p p style=" TEXT-ALIGN: center" img title=" 785nm窄线宽激光器.png" style=" HEIGHT: 291px WIDTH: 300px" border=" 0" hspace=" 0" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201710/insimg/4d1205f6-1aeb-490f-9d65-d5308db26e11.jpg" width=" 300" height=" 291" / /p p style=" TEXT-ALIGN: center" strong 785nm窄线宽激光器 /strong /p p span style=" FONT-FAMILY: 楷体,楷体_GB2312, SimKai" 　　785nm窄线宽激光器是一款基于外腔设计的蝶形封装激光器。由于独特的腔体设计，产品具有非常好的波长温度稳定性、窄谱线线宽、高边模抑制比等特点。该激光器的标准封装是14引脚的蝶形管壳，由Bragg体光栅来实现中心波长的稳定和低温依赖性。其它封装形式也可以根据客户需求提供。该产品非常适用于拉曼光谱、传感、医疗以及其他测量等领域的应用。 /span /p p span style=" FONT-FAMILY: 楷体,楷体_GB2312, SimKai" 　　除了具有拉曼光谱分析所要求的窄线宽(0.08nm)、稳定波长(785± 0.5nm)输出外，产品可根据客户的需求提供不同规格的稳定功率输出：最高输出功率可达600mW以上 低功耗的型号则具有非常低的阈值电流 (~200mA的阈值电流，指标领先于国外同类器件)，尤其适用于便携或手持式拉曼分析仪的应用。 /span /p p style=" TEXT-ALIGN: center" img title=" 785nm窄线宽激光器模块.png" style=" HEIGHT: 263px WIDTH: 300px" border=" 0" hspace=" 0" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201710/insimg/1d0a697e-a481-4d13-9149-909bb3b0559e.jpg" width=" 300" height=" 263" / /p p style=" TEXT-ALIGN: center" strong 785nm窄线宽激光器模块 /strong /p p span style=" FONT-FAMILY: 楷体,楷体_GB2312, SimKai" 　　激光器模块内置大族锐波生产的窄线宽激光器，通过专有的电路驱动设计实现稳定快速的激光驱动。该款激光模块体积小，固件升级灵活，具有风冷或无风冷选择、标准USB接口和TTL接口。该产品非常适用于拉曼光谱、传感、医疗以及其他测量等领域的应用。可根据客户的需求提供定制服务，并提供相应的技术支持。 /span /p p style=" TEXT-ALIGN: center" img title=" 785nm单模激光器.png" style=" HEIGHT: 261px WIDTH: 300px" border=" 0" hspace=" 0" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201710/insimg/1714aca5-30dc-4207-b7ab-5de53a7d34a6.jpg" width=" 300" height=" 261" / /p p style=" TEXT-ALIGN: center" strong 785nm单模激光器 /strong /p p span style=" FONT-FAMILY: 楷体,楷体_GB2312, SimKai" 　　产品基于外腔设计，由Bragg体反射体光栅形成的外腔反馈保证了稳定的中心波长和低温依赖性。由于独特的腔体设计，该款激光器能输出高质量的单模光束，并具有非常窄的谱线线宽和高边模抑制比。高质量的单模高斯光束可以有自由空间窗口输出和单模光纤耦合输出两种输出模式。该产品适用于如拉曼显微光谱分析等领域的应用。 /span /p p span style=" FONT-FAMILY: 楷体,楷体_GB2312, SimKai" 　　目前我司的数款拉曼光源激光器件及模块产品均获得了客户的认可与好评，主推的785nm窄线宽激光器模块已经被国内领先的拉曼设备生产商采用，应用在其便携式设备之中。 /span /p p strong 　　四、 大族锐波未来发展规划及对于拉曼仪器行业的期望 /strong /p p 　　在拉曼光谱之外的其他领域，大族锐波也陆续推出了多款高性能的传感用激光器产品，如1550nm单频激光器，1064nm单模激光器等。依托海外高层次技术团队拥有的核心技术和大族激光在传感领域的发展战略布局，大族锐波希望以光电传感的关键技术为切入点，研发、设计、生产和销售应用于光学传感、环境监测、工业检测等领域的集成光电传感器产品。公司将在激光器器件及模块产品的基础上不断投入和发展，目标是经过三到五年时间的成长，在国内或国外资本市场上市，进一步发展成为国际光电传感技术的领导企业之一。 /p p 　　现场快检是仪器行业的一个前景巨大且发展迅速的方向，我们十分看好便携式和手持式拉曼光谱设备在各个快检领域的应用。在该方向，国产的拉曼设备厂商已经开始奋起直追，产品性能和进口设备的差距将越来越小，并且性价比更具有优势。在未来，除了期待拉曼设备厂商在技术上不断进步、追赶达到国外产品的先进水平外，同时也希望针对行业应用的方案商能更好的配合终端用户需求，提供更加成熟的应用解决方案。我们期待能和拉曼领域的各个设备厂家和解决方案提供商进行深度细致的交流，获得该领域的前沿发展方向的信息，尤其是对激光光源产品的改进需求，以便于更加针对性地开发合适的产品，为国产拉曼行业的发展贡献一份力量。 /p p style=" TEXT-ALIGN: right" （ span style=" FONT-FAMILY: 楷体,楷体_GB2312, SimKai" 市场工程师 王睿 /span ） /p

p 　　日前，国务院关于印发新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知。针对符合条件的企业，国务院发布了包括财税、投融资、研究开发、进出口、知识产权、市场应用、国际合作等若干利好政策。 /p p 　　通知内容显示：聚焦高端芯片、集成电路装备和工艺技术、集成电路关键材料、集成电路设计工具、基础软件、工业软件、应用软件的关键核心技术研发，不断探索构建社会主义市场经济条件下关键核心技术攻关新型举国体制；在先进存储、先进计算、先进制造、高端封装测试、关键装备材料、新一代半导体技术等领域，结合行业特点推动各类创新平台建设；鼓励软件企业执行软件质量、信息安全、开发管理等国家标准。加强集成电路标准化组织建设，完善标准体系，加强标准验证，提升研发能力。提高集成电路和软件质量，增强行业竞争力。 /p p style=" text-align: center " strong 新时期促进集成电路产业和软件产业 /strong /p p style=" text-align: center " strong 高质量发展的若干政策 /strong /p p 　　集成电路产业和软件产业是信息产业的核心，是引领新一轮科技革命和产业变革的关键力量。《国务院关于印发鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知》(国发〔2000〕18号)、《国务院关于印发进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知》(国发〔2011〕4号)印发以来，我国集成电路产业和软件产业快速发展，有力支撑了国家信息化建设，促进了国民经济和社会持续健康发展。为进一步优化集成电路产业和软件产业发展环境，深化产业国际合作，提升产业创新能力和发展质量，制定以下政策。 /p p 　　一、财税政策 /p p 　　(一)国家鼓励的集成电路线宽小于28纳米(含)，且经营期在15年以上的集成电路生产企业或项目，第一年至第十年免征企业所得税。国家鼓励的集成电路线宽小于65纳米(含)，且经营期在15年以上的集成电路生产企业或项目，第一年至第五年免征企业所得税，第六年至第十年按照25%的法定税率减半征收企业所得税。国家鼓励的集成电路线宽小于130纳米(含)，且经营期在10年以上的集成电路生产企业或项目，第一年至第二年免征企业所得税，第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税。国家鼓励的线宽小于130纳米(含)的集成电路生产企业纳税年度发生的亏损，准予向以后年度结转，总结转年限最长不得超过10年。 /p p 　　对于按照集成电路生产企业享受税收优惠政策的，优惠期自获利年度起计算 对于按照集成电路生产项目享受税收优惠政策的，优惠期自项目取得第一笔生产经营收入所属纳税年度起计算。国家鼓励的集成电路生产企业或项目清单由国家发展改革委、工业和信息化部会同相关部门制定。 /p p 　　(二)国家鼓励的集成电路设计、装备、材料、封装、测试企业和软件企业，自获利年度起，第一年至第二年免征企业所得税，第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税。国家鼓励的集成电路设计、装备、材料、封装、测试企业条件由工业和信息化部会同相关部门制定。 /p p 　　(三)国家鼓励的重点集成电路设计企业和软件企业，自获利年度起，第一年至第五年免征企业所得税，接续年度减按10%的税率征收企业所得税。国家鼓励的重点集成电路设计企业和软件企业清单由国家发展改革委、工业和信息化部会同相关部门制定。 /p p 　　(四)国家对集成电路企业或项目、软件企业实施的所得税优惠政策条件和范围，根据产业技术进步情况进行动态调整。集成电路设计企业、软件企业在本政策实施以前年度的企业所得税，按照国发〔2011〕4号文件明确的企业所得税“两免三减半”优惠政策执行。 /p p 　　(五)继续实施集成电路企业和软件企业增值税优惠政策。 /p p 　　(六)在一定时期内，集成电路线宽小于65纳米(含)的逻辑电路、存储器生产企业，以及线宽小于0.25微米(含)的特色工艺集成电路生产企业(含掩模版、8英寸及以上硅片生产企业)进口自用生产性原材料、消耗品，净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零配件，免征进口关税 集成电路线宽小于0.5微米(含)的化合物集成电路生产企业和先进封装测试企业进口自用生产性原材料、消耗品，免征进口关税。具体政策由财政部会同海关总署等有关部门制定。企业清单、免税商品清单分别由国家发展改革委、工业和信息化部会同相关部门制定。 /p p 　　(七)在一定时期内，国家鼓励的重点集成电路设计企业和软件企业，以及第(六)条中的集成电路生产企业和先进封装测试企业进口自用设备，及按照合同随设备进口的技术(含软件)及配套件、备件，除相关不予免税的进口商品目录所列商品外，免征进口关税。具体政策由财政部会同海关总署等有关部门制定。 /p p 　　(八)在一定时期内，对集成电路重大项目进口新设备，准予分期缴纳进口环节增值税。具体政策由财政部会同海关总署等有关部门制定。 /p p 　　二、投融资政策 /p p 　　(九)加强对集成电路重大项目建设的服务和指导，有序引导和规范集成电路产业发展秩序，做好规划布局，强化风险提示，避免低水平重复建设。 /p p 　　(十)鼓励和支持集成电路企业、软件企业加强资源整合，对企业按照市场化原则进行的重组并购，国务院有关部门和地方政府要积极支持引导，不得设置法律法规政策以外的各种形式的限制条件。 /p p 　　(十一)充分利用国家和地方现有的政府投资基金支持集成电路产业和软件产业发展，鼓励社会资本按照市场化原则，多渠道筹资，设立投资基金，提高基金市场化水平。 /p p 　　(十二)鼓励地方政府建立贷款风险补偿机制，支持集成电路企业、软件企业通过知识产权质押融资、股权质押融资、应收账款质押融资、供应链金融、科技及知识产权保险等手段获得商业贷款。充分发挥融资担保机构作用，积极为集成电路和软件领域小微企业提供各种形式的融资担保服务。 /p p 　　(十三)鼓励商业性金融机构进一步改善金融服务，加大对集成电路产业和软件产业的中长期贷款支持力度，积极创新适合集成电路产业和软件产业发展的信贷产品，在风险可控、商业可持续的前提下，加大对重大项目的金融支持力度 引导保险资金开展股权投资 支持银行理财公司、保险、信托等非银行金融机构发起设立专门性资管产品。 /p p 　　(十四)大力支持符合条件的集成电路企业和软件企业在境内外上市融资，加快境内上市审核流程，符合企业会计准则相关条件的研发支出可作资本化处理。鼓励支持符合条件的企业在科创板、创业板上市融资，通畅相关企业原始股东的退出渠道。通过不同层次的资本市场为不同发展阶段的集成电路企业和软件企业提供股权融资、股权转让等服务，拓展直接融资渠道，提高直接融资比重。 /p p 　　(十五)鼓励符合条件的集成电路企业和软件企业发行企业债券、公司债券、短期融资券和中期票据等，拓宽企业融资渠道，支持企业通过中长期债券等方式从债券市场筹集资金。 /p p 　　三、研究开发政策 /p p 　　(十六)聚焦高端芯片、集成电路装备和工艺技术、集成电路关键材料、集成电路设计工具、基础软件、工业软件、应用软件的关键核心技术研发，不断探索构建社会主义市场经济条件下关键核心技术攻关新型举国体制。科技部、国家发展改革委、工业和信息化部等部门做好有关工作的组织实施，积极利用国家重点研发计划、国家科技重大专项等给予支持。 /p p 　　(十七)在先进存储、先进计算、先进制造、高端封装测试、关键装备材料、新一代半导体技术等领域，结合行业特点推动各类创新平台建设。科技部、国家发展改革委、工业和信息化部等部门优先支持相关创新平台实施研发项目。 /p p 　　(十八)鼓励软件企业执行软件质量、信息安全、开发管理等国家标准。加强集成电路标准化组织建设，完善标准体系，加强标准验证，提升研发能力。提高集成电路和软件质量，增强行业竞争力。 /p p 　　四、进出口政策 /p p 　　(十九)在一定时期内，国家鼓励的重点集成电路设计企业和软件企业需要临时进口的自用设备(包括开发测试设备)、软硬件环境、样机及部件、元器件，符合规定的可办理暂时进境货物海关手续，其进口税收按照现行法规执行。 /p p 　　(二十)对软件企业与国外资信等级较高的企业签订的软件出口合同，金融机构可按照独立审贷和风险可控的原则提供融资和保险支持。 /p p 　　(二十一)推动集成电路、软件和信息技术服务出口，大力发展国际服务外包业务，支持企业建立境外营销网络。商务部会同相关部门与重点国家和地区建立长效合作机制，采取综合措施为企业拓展新兴市场创造条件。 /p p 　　五、人才政策 /p p 　　(二十二)进一步加强高校集成电路和软件专业建设，加快推进集成电路一级学科设置工作，紧密结合产业发展需求及时调整课程设置、教学计划和教学方式，努力培养复合型、实用型的高水平人才。加强集成电路和软件专业师资队伍、教学实验室和实习实训基地建设。教育部会同相关部门加强督促和指导。 /p p 　　(二十三)鼓励有条件的高校采取与集成电路企业合作的方式，加快推进示范性微电子学院建设。优先建设培育集成电路领域产教融合型企业。纳入产教融合型企业建设培育范围内的试点企业，兴办职业教育的投资符合规定的，可按投资额30%的比例，抵免该企业当年应缴纳的教育费附加和地方教育附加。鼓励社会相关产业投资基金加大投入，支持高校联合企业开展集成电路人才培养专项资源库建设。支持示范性微电子学院和特色化示范性软件学院与国际知名大学、跨国公司合作，引进国外师资和优质资源，联合培养集成电路和软件人才。 /p p 　　(二十四)鼓励地方按照国家有关规定表彰和奖励在集成电路和软件领域作出杰出贡献的高端人才，以及高水平工程师和研发设计人员，完善股权激励机制。通过相关人才项目，加大力度引进顶尖专家和优秀人才及团队。在产业集聚区或相关产业集群中优先探索引进集成电路和软件人才的相关政策。制定并落实集成电路和软件人才引进和培训年度计划，推动国家集成电路和软件人才国际培训基地建设，重点加强急需紧缺专业人才中长期培训。 /p p 　　(二十五)加强行业自律，引导集成电路和软件人才合理有序流动，避免恶性竞争。 /p p 　　六、知识产权政策 /p p 　　(二十六)鼓励企业进行集成电路布图设计专有权、软件著作权登记。支持集成电路企业和软件企业依法申请知识产权，对符合有关规定的，可给予相关支持。大力发展集成电路和软件相关知识产权服务。 /p p 　　(二十七)严格落实集成电路和软件知识产权保护制度，加大知识产权侵权违法行为惩治力度。加强对集成电路布图设计专有权、网络环境下软件著作权的保护，积极开发和应用正版软件网络版权保护技术，有效保护集成电路和软件知识产权。 /p p 　　(二十八)探索建立软件正版化工作长效机制。凡在中国境内销售的计算机(含大型计算机、服务器、微型计算机和笔记本电脑)所预装软件须为正版软件，禁止预装非正版软件的计算机上市销售。全面落实政府机关使用正版软件的政策措施，对通用软件实行政府集中采购，加强对软件资产的管理。推动重要行业和重点领域使用正版软件工作制度化规范化。加强使用正版软件工作宣传培训和督促检查，营造使用正版软件良好环境。 /p p 　　七、市场应用政策 /p p 　　(二十九)通过政策引导，以市场应用为牵引，加大对集成电路和软件创新产品的推广力度，带动技术和产业不断升级。 /p p 　　(三十)推进集成电路产业和软件产业集聚发展，支持信息技术服务产业集群、集成电路产业集群建设，支持软件产业园区特色化、高端化发展。 /p p 　　(三十一)支持集成电路和软件领域的骨干企业、科研院所、高校等创新主体建设以专业化众创空间为代表的各类专业化创新服务机构，优化配置技术、装备、资本、市场等创新资源，按照市场机制提供聚焦集成电路和软件领域的专业化服务，实现大中小企业融通发展。加大对服务于集成电路和软件产业的专业化众创空间、科技企业孵化器、大学科技园等专业化服务平台的支持力度，提升其专业化服务能力。 /p p 　　(三十二)积极引导信息技术研发应用业务发展服务外包。鼓励政府部门通过购买服务的方式，将电子政务建设、数据中心建设和数据处理工作中属于政府职责范围，且适合通过市场化方式提供的服务事项，交由符合条件的软件和信息技术服务机构承担。抓紧制定完善相应的安全审查和保密管理规定。鼓励大中型企业依托信息技术研发应用业务机构，成立专业化软件和信息技术服务企业。 /p p 　　(三十三)完善网络环境下消费者隐私及商业秘密保护制度，促进软件和信息技术服务网络化发展。在各级政府机关和事业单位推广符合安全要求的软件产品和服务。 /p p 　　(三十四)进一步规范集成电路产业和软件产业市场秩序，加强反垄断执法，依法打击各种垄断行为，做好经营者反垄断审查，维护集成电路产业和软件产业市场公平竞争。加强反不正当竞争执法，依法打击各类不正当竞争行为。 /p p 　　(三十五)充分发挥行业协会和标准化机构的作用，加快制定集成电路和软件相关标准，推广集成电路质量评价和软件开发成本度量规范。 /p p 　　八、国际合作政策 /p p 　　(三十六)深化集成电路产业和软件产业全球合作，积极为国际企业在华投资发展营造良好环境。鼓励国内高校和科研院所加强与海外高水平大学和研究机构的合作，鼓励国际企业在华建设研发中心。加强国内行业协会与国际行业组织的沟通交流，支持国内企业在境内外与国际企业开展合作，深度参与国际市场分工协作和国际标准制定。 /p p 　　(三十七)推动集成电路产业和软件产业“走出去”。便利国内企业在境外共建研发中心，更好利用国际创新资源提升产业发展水平。国家发展改革委、商务部等有关部门提高服务水平，为企业开展投资等合作营造良好环境。 /p p 　　九、附则 /p p 　　(三十八)凡在中国境内设立的符合条件的集成电路企业(含设计、生产、封装、测试、装备、材料企业)和软件企业，不分所有制性质，均可享受本政策。 /p p 　　(三十九)本政策由国家发展改革委会同财政部、税务总局、工业和信息化部、商务部、海关总署等部门负责解释。 /p p 　　(四十)本政策自印发之日起实施。继续实施国发〔2000〕18号、国发〔2011〕4号文件明确的政策，相关政策与本政策不一致的，以本政策为准。 /p p br/ /p