线宽检测仪

p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 日前，国际标准化组织（ISO）正式发布了微束分析领域中的一项国际标准： span style=" color: rgb(0, 0, 0) " strong 《基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法》 /strong /span （Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)）。【 a href=" https://www.iso.org/standard/70944.html" target=" _self" span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 点击阅读 /span /a 】 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " & nbsp 该标准由中国科学技术大学物理学院和微尺度物质科学国家研究中心的 strong 丁泽军团队主导制定 /strong ，是 strong 半导体线宽测量方面的首个国际标准 /strong ，也是 strong 半导体检测领域由中国主导制定的首个国际标准 /strong ，该标准的发布有助于促进半导体评测技术的发展，并提升我国在半导体行业的国际影响力和竞争力。 /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 250px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/4d906003-1cb7-426d-b897-c1690fa0326f.jpg" title=" 111.png" alt=" 111.png" width=" 450" height=" 250" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 丁泽军团队长期从事电子束与材料相互作用领域里的基础研究，发展了目前国际上最为先进的用于扫描电子显微术和表面电子能谱学的Monte Carlo模拟计算方法，结合NIST研究团队提出的“基于模型数据库”（MBL）方法，提出了该“基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法”的ISO国际标准（IS）。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 标准文档指定利用CD-SEM成像表征刻蚀线宽的结构模型及其相关参数、Monte Carlo模拟模型和成像扫描线计算方法、MBL数据库构造方法和文件格式、图像匹配拟合程序和CD参数定值法。与传统的经验阈值方法相比，该测量方法能够给出准确的CD值，并且把线宽测量从单一参数扩展到包含结构形貌特征的信息，适用于如晶圆上的栅极、光掩模、尺寸小至10nm的单个孤立的或密集的线条特征图案，这不仅为半导体刻蚀线宽的CD-SEM准确评测确定了行业标准，也为一般性纳米级尺寸的其它测量法提供了参考。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 该研究团队自2011年始，在973项目“纳米测量技术标准的基础研究”课题“基于SEM的纳米测长模型”的研究成果基础上，于2014年在ISO/TC202/SC4做了新标准项目提案报告，2015年递交投票新标准项目提案，2016年5月投票通过予以国际标准（IS）正式立项。该标准草案先后经历了四轮成员国投票，于2019年9月27日终轮投票通过，标准现已正式出版 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 参与该标准相关研究和制定工作的团队主要成员为：邹艳波（现新疆师范大学）、李永钢（现中科院合肥物质科学研究院）、李会民（现中科大超级计算中心）。上述研究得到了科技部973项目、国家自然科学基金委和中科大超算中心的支持。 /p

现如今5G基站建设如火如荼5G正在走进家家户户其在通讯、无人驾驶等方面有着广阔的应用空间普及率也在不断提升《中国移动经济发展报告2020》指出预计2025年中国5G普及率将达到50% 不管是基站建设还是5G应用都拉动了5G高频高速线路板的需求5G全新赛道的开启为PCB厂商提供了新的机遇但也对技术、品质提出了更高的要求 正业科技全新自动线宽测量仪（XK32A）技术提升，硬件、软件全面升级可用于5G及高端线路板的检测为品质保障、安全使用保驾护航 正业科技全新自动线宽测量仪（XK32A） 正业科技全新自动线宽测量仪（XK32A）主要应用于5G高端线路板及普通线路板的内、外层半成品经显影蚀刻后（上绿油前）线路的上幅及下幅宽度、线距，圆孔（相机视野范围内）检查和分析。 正业科技线宽测量仪研发已超过10 年线宽系列产品在PCB行业销售已超过 400 台技术过硬！运行稳定！质量可靠！ 第四代“新”升级 工作原理 通过影像成像系统及光源从上表面垂直于被测板，呈显影像（相机实时拍图）感测，并将图像传送至电脑测量软件，通过软件测量工具分析图像的“线宽/线距/线宽上下幅/圆/金手指线宽等”标准公差值对比，从而判断被测板上的测量值OK或NG。 成像原理 产品优势 检测实例 技术参数

成果名称 亚赫兹激光器与超窄线宽测量技术 单位名称 北京大学 联系人 马靖 联系邮箱 mj@labpku.com 成果成熟度 □研发阶段 &radic 原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产 成果简介： 超窄线宽激光是光通信、光传感、高精度光谱学等应用中的一个关键技术，也是一些基本物理参数测量的重要工具，而超窄激光线宽测量是实现超窄线宽激光器所必需的辅助技术。 在&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金第三期项目中，北京大学信息学院李正斌教授申请的&ldquo 亚赫兹激光器与超窄线宽测量技术研制&rdquo 项目提出并研究了一种获得窄线宽激光器的新机制，即光路分形结构机制。课题组前期的实验发现，在单环有源光纤谐振腔中引入光路分形结构能够获得类似多谐振环耦合的特性，与相同长度的光纤谐振腔相比，其输出激光线宽明显变窄。基于这一发现，课题组在第三期基金的经费资助下，开展了深入的研制工作。其工作主要包括：（1）以理论与实验相结合为手段，以光纤结构为对象，探索利用光路分形结构设计和实现单纵模输出、高频率稳定、线宽赫兹（Hz）以下量级的超窄线宽激光器的原理和方法，并获得原理样机；（2）利用互拍以及光域鉴频的技术设计并搭建超窄线宽激光器的测试平台，实现赫兹（Hz）以下量级超激光线宽的测量。 应用前景： 目前，该项目主要工作已经顺利完成，项目成功通过验收。其研究成果为获得超窄线宽激光器提供新途径，也为光通信、光传感等研究和应用提供了新的手段，相关技术处于成果转化阶段。