原位纳米压痕仪

市场功能上最多且简单易用的纳米压痕测试仪NHT3 /UNHT3专为纳米级位移测量提供小载荷，可用于测试硬度、弹性模量和蠕变等。其范围涵盖小载荷 (0.1 mN) 至大载荷 (500 mN)，可在载荷范围内提供最大的通用性。由于独特的表面参比技术，无需等待其达到热稳定状态，立即完成压痕测试。全新“快速点阵”压痕模式可以进行一系列快速的测量（每小时测试量高达 600 个压痕）。主要特点最简单易用的纳米压痕测试仪最直观易用的软件：用简单的参数（最大载荷）、统计数据分析和保存的测试方案模板轻松开始测试适用于表面的不同放大倍数的多物镜视频显微镜最坚固耐用的纳米压痕测试仪：参比环保护压痕针尖不受碰撞“快速点阵”压痕模式带“模板”快速且符合要求：按照仪器化压入测试 (IIT) 的 ISO14577 标准要求，“快速点阵”压痕模式每小时测试压痕数目高达 600个全新“模板”模式让您可以用导出的数据创建一个自定义模板，从而更灵活快速的分析数据多样品台夹具用于自动测试，6 样品夹具最多可固定 6 个样品，自定义样品夹具可固定更多样品采用独特的表面参比设计，保证高精度的位移测量表面参比为材料压入位移提供恒定参考（相对于样品表面）高框架刚度 (107 N/m) 为纳米压痕测量提供高准确度和精确度测量的高稳定性采用表面参比技术来实现纳米压痕测量中的高热稳定性（原始热漂移率 0.05 nm/s）框架使用定制的人造花岗岩以提高稳定性采用低热膨胀系数 (10-6/°C) Macor材料的独特设计确保高热稳定性可用于多种分析模式的多种测试模式多种测试模式：正弦模式、连续周期 (CMC)、恒定应变速率、用户自定义、高级点阵和多样品方案、载荷和位移控制模式各种机械性能的多种分析模式：硬度 (HIT、HV、HM)、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变曲线使用标准压痕针尖可在液体中进行测量技术指标载荷最大载荷100/500 mN分辨率0.003/0.02 μN载荷本底噪音0.05 [rms] [μN]*位移最大位移100/200 μm分辨率0.03/0.01 nm深度本底噪音0.03[rms] [nN]*载荷框架刚度 107 N/m国际标准ISO 14577, ASTM E2546

美国KLA InSEM HT原位高温纳米力学测试系统，纳米压痕仪

一、高温原位纳米压痕仪简介 InSEM HT产品可以在真空环境下对小体积材料进行各种高温原位力学测试（室温~800℃），可以实时观察材料在高温下的形貌变化，进而获取更多关于材料在高温下的机械性能。InSEM HT（高温）通过在真空环境中单独加热尖端和样品来测量高温下的硬度、模量和硬度。INSEMHT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）或独立真空室兼容。附带的InView软件可以协助开发新的实验。科学出版物表明，InSEM HT结果与传统大型高温试验数据吻合。广泛的温度范围使InSEM HT成为开发研究材料的一个非常有价值的工具。二、 功能主要功能The CSM technique involves oscillating the probe during indentation to measure properties as a function of depth, force,time, or frequency. The option comes with a constant strain rate experiment that measures hardness and modulus as a functionof depth or load, which is the most common test method used across academia and industry. CSM is also used for other advancedoptions, including the ProbeDMA™ method for storage and loss modulus measurements and AccuFilm™ substrate-independent measurements.The CSM is integrated into the InQuest controller and InView software to deliver unparalleled ease of use and data quality 连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中测量深度、力、时间或频率变化的力学性能。该方案采用恒定应变速率试验，测量硬度和模量作为深度或载荷的函数，是学术界和工业界最常用的试验方法。CSM还用于其他高级测试，包括存储和损耗模量测量的ProbeDMA™ 方法和AccuFilm™ 基底独立测量。NanoBlitz3D NanoBlitz 3D利用Inforce 50加载器采用玻氏压头测量高E（3Gpa）材料的三维测量图。NanoBlitz压痕小于1个点/ s，最多10万个压痕（300x300阵列），并提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性。NanoBlitz 3D还提供可视化软件和数据处理功能。AccuFilm™ 薄膜方法包 AccuFilm™ 薄膜方法包是一种基于Hay-Crawford模型的全新测试方法，使用连续刚度测量（CSM）测量基底材料的独立特性。AccuFilm™ 修正了基底对软基板上硬薄膜以及硬基底上软薄膜测量的影响。ProbeDMA™ 聚合物方法包 聚合物包可以测量聚合物的模量对频率的函数。该测试包括平冲头、粘弹性参考材料和评价粘弹性性能的试验方法。这种测量技术是表征纳米聚合物和聚合物薄膜的关键技术，而传统的DMA测试仪器无法很好地测试这些薄膜。 划痕磨损试验功能划痕试验在以规定速度穿过样品表面时，向压头施加恒定或倾斜载荷。划痕试验可以表征许多材料系统，如薄膜、易碎陶瓷和聚合物。 Gemini 2D多轴传感器 Gemini 2D多轴技术将相同的标准压痕功能带到第二个横轴上，同时沿两个方向轴运行。该专利技术有助于深入了解材料特性和失效机制，可以测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切等参数。 技术特点KLA InSEM HT产品：先进的激发器的结构设计，完全实现载荷和位移的分别控制和探测，完美实现纳米压痕检测，包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。符合ISO14577的国际标准的压痕测试InSEM HT动态测试附件是由连续刚度专利技术的发明人研发的：动态力 学测试原理为在准静态加载过程中，施加在压头上一个正玄波，从而表征出随着压痕深度、载 荷、时间或者频率的变化材料力学性能的变化。NanoBlitz3D技术，提供每个压痕在载荷下的杨氏模量、硬度和刚度，大量的测试提高了统计的准确性，自动生成杨氏模量、硬度和刚度Mapping图，是研究非均相材料研究的重要方法。技术能力InForce50载荷激发器InForce1000载荷激发器高精度的纳米马达台最大加载载荷：50mN最大加载载荷：1000mNX 向最大行程：20 mm纵向载荷分辨率：3nN纵向载荷分辨率：6nNY 向最大行程：20 mm压头最大移动范围：50um压头最大移动范围：80umZ 向最大行程：25 mm位移噪音背景:0.01nm噪音背景:0.1nmEncoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm位移数字分辨率：0.002nm位移数字分辨率：0.004nm

NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜（SEM）或是聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。产品描述NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下对硬度、模量、屈服强度、刚度和其他纳米力学测试进行高精确度的测量。在扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统中，NanoFlip在测试（例如柱压缩）方面表现优异，可以将SEM图像与机械测试数据同步。NanoFlip测量迅速，这对于惰性环境（例如手套箱）中测试异质材料很关键。系统所配置的可选套件，例如InForce50电磁驱动器，可以提供定量结果，从而为材料研究提供有价值的解决方案。NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。主要功能● InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换● InQuest高速数字控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● XYZ运动系统，用于样本定位的● SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步● 独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速，准确的压头校准● InView控制和数据处理软件，与Windows10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验主要应用● 硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）● 连续刚度测量● 高速材料力学性能分布图● ISO 14577硬度测试● 纳米动态力学分析（DMA）● 定量划痕和磨损测试硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。连续刚度测量（CSM）连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪标配包含ISO 14577测试方法，可以依照ISO 14577标准测量材料硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、仪器化压入硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。纳米动态力学分析（DMA）聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。定量划痕和磨损测试NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光（CMP）和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。适用行业● 大学、实验室和研究所● 支柱和微球制造● MEMS（微机电系统）● 材料制造（结构压缩/拉伸/断裂测试）● 电池和组件制造● 更多应用，请与我们联系以满足您的要求选配件连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其它高级测试选项，包括 ProbeDMA&trade 选项以测量存储模量和损耗模量，以及AccuFilm&trade 选项以获得不受衬底影响的薄膜性能。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，使用极为简便，且确保数据质量。Gemini 2D多轴作动器Gemini 2D多轴设计，保证增加的横向轴与常规压痕具有相同的性能，且CSM能够在两个方向同时工作。基于这项专利技术获得更多测试结果，有助于形成对材料特性和失效机制新的认知。二维作动器是横向力和摩擦学测量的独特解决方案，其可以用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切特性和形貌特征。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高 (3GPa)的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量、硬度和接触刚度。大量的测试数据能够提高统计的准确性，统计直方图还可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D还包含可视化软件和数据处理功能。NanoBlitz 4DNanoBlitz 4D可以采用InForce 50作动器和玻式压头，获得较低杨氏模量/硬度以及较高杨氏模量（3GPa）的材料的纳米力学特性4D图。NanoBlitz 4D每个压痕仅需5-10秒，单次测试可包含多达10,000个压痕点（100×100阵列），获得每个压痕点的杨氏模量、硬度和接触刚度等随深度的变化。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，并包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm&trade 薄膜方法包AccuFilm&trade 薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，其采用连续刚度测量（CSM）获得不受衬底影响的薄膜材料性能。AccuFilm&trade 能够修正薄膜力学性能测量中衬底的影响，其应用既包括“硬膜软基底”，也包括“软膜硬基底”的情况。ProbeDMA&trade 聚合物方法包聚合物方法包可以测量聚合物的复模量随频率的变化。该方法包中包括平压头、粘弹性标样和评估材料粘弹性的测试方法。该技术可以有效表征纳米尺度聚合物和聚合物薄膜，填补传统的动态力学分析(DMA)测试仪在此领域的空白。划痕和磨损测试方法包InForce 50作动器无需特殊配置即支持划痕和磨损测试。划痕测试中，在压头上施加恒定或线性变大的载荷，并使其以设定速度在样品表面划过。划痕测试可以表征多样的材料体系，例如薄膜、脆性陶瓷和聚合物等。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。配备了“用户方法开发”选项的NanoFlip系统，也可以修改方法以启用DataBurst。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。使用NanoFlip，经验丰富的用户几乎可以设计和运行任何小尺度力学测试。KLA独家提供此功能。True Test I-V测试NanoFlip纳米压痕仪的I-V选项通过InView软件控制，包含精密的电流/电压源表、经过压头和InForce 50/1000作动器的导电通路以及导电压头。该设计确保用户能够对样品施加特定电压、测量通过压头的电流，并同时操作InForce作动器进行力学测试。压头和标准样品有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

InSEM HT高温原位纳米压痕仪通过在真空环境下独立加热压头和样品，以测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜 (SEM) 及聚焦离子束 (FIB) 工作室或独立真空室兼容。InView软件可帮助高级研究人员开发新实验。科学出版物显示，InSEM HT的结果与传统大尺度高温试验数据匹配良好。拥有较大的温度范围能力和较低的拥有成本，这种组合使 InSEM HT成为材料开发研究中的宝贵工具。产品描述InSEMHT（高温）通过在真空环境中分别独立加热压头和样品以测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）工作室，或独立的真空工作室兼容。配有的InView软件可帮助高级研究人员开发新的实验。科学出版文献表明，InSEM HT结果与传统的大尺度高温测试数据匹配良好。测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。InSEM HT高温测试系统可在真空环境下独立加热压头和样品，并与多种 SEM/FIB室或独立真空室兼容。在温度高达800℃ 时，可在原位模拟极端温度条件并获得一致、可靠的测试数据。钼制底座上的单晶碳化钨压头针对高温测试应用进行了优化，有多种几何形状可供选择。主要功能● InForce 50驱动器，压头可加热，适用于电容位移测量和电磁力驱动，并配有可互换的压头● 样品可升温至800°C，采用10mm样品尺寸和真空兼容的样品安装系统● InQuest高速数字控制器，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数● 用于样本定位的XYZ运动系统● SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步● 独特的软件集成压头校准系统，可实现快速，准确的压头校准● 与Windows10兼容的InView控制和数据审查软件以及测试方法开发软件，用于用户自定义实验主要应用● 高温测试● 硬度和模量测量（Oliver-Pharr）● 连续刚度测量● 高速材料特性分布图● 蠕变测量● 应变速率敏感因子硬度和模量测量（Oliver-Pharr）机械性能对新材料的研发至关重要。InSEM HT纳米压痕仪可测量各种材料的硬度，尤其是监控在热应力下的机械性能的变化。连续刚度测量连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率引起的影响。InSEM HT纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激发，可进行基于时间的监测，准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。InSEM HT在X 轴和Y轴上的样品台可移动范围为20毫米，Z轴的范围为25毫米，还能在样品区域内测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。高温测试很多行业领域的材料研究不仅侧重于机械应力下的性能，还有热应力下的性能。InSEM HT是专为下一代材料测试而设计的仪器，可用于如航空航天、车辆和军事/防御等先进技术应用场景。蠕变测量材料由于外加负载以及温度升高而发生变形。蠕变测量是机械和热应力联合作用下应变随时间的变化，蠕变行为对于车辆和航空航天系统的有效设计至关重要。InSEM HT支持的测试温度高达800℃，并可同时监测材料的应变。应变速率敏感因子使用应变速率敏感因子，可以定量描述不同加载条件下产生的应变。例如，短时间内在材料上施加机械/热应力，产生的应变可能与更缓慢地施加应力时不同。InSEM HT支持用户自定义实验，在高达800°C时测量不同加载条件下的应变响应。适用行业● 大学、实验室和研究所● 航空航天● 汽车制造● 硬质涂层● 核能● 军事/国防● 更多应用，请联系我们以探讨您的需求选配件连续刚度测量（CSM）CSM技术在压痕过程中控制压头振荡，以测量样品性能随深度、荷载、时间或频率的变化。该选项默认进行恒应变速率测试，测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是学术界和工业界最常用的测试方法。CSM 还可用于其他高级选件，包括用于储存模量和损耗模量测量的ProbeDMA&trade 方法和排除衬底影响的测量方法AccuFilm&trade 。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，使用极为简便，且确保数据质量。InForce 50作动器InForce 50作动器可以施加最高50mN的力以进行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 50作动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA&trade 、生物材料、样品加热、划痕、磨损和 ISO 14577等测试选项兼容。InForce 1000作动器InForce 1000作动器采用高达1000mN的力度执行纳米力学测试。KLA专利的电磁力加载技术，确保测量的可靠性以及加载力与位移的长期稳定性。行业领先的机械设计可确保单一方向自由度的谐波运动，从而沿单轴方向控制加载力和位移。InForce和Gemini作动器系列的压头均可互换。InForce 1000作动器与CSM、NanoBlitz、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选项兼容。NanoBlitz 3DNanoBlitz 3D可以采用InForce 50/InForce1000作动器和玻式压头，获得杨氏模量较高（3GPa）的材料的纳米力学特性3D图。NanoBlitz 3D每个压痕时间小于1s，单次测试可包含多达100,000个压痕点（300×300阵列），获得每个压痕点在特定载荷下的杨氏模量（E）、硬度（H）和接触刚度（S）。大量的测试数据能够提高统计的准确性。统计直方图可以呈现样品中的多个物相或材料组分。NanoBlitz 3D方法包还包含可视化软件和数据处理功能。AccuFilm &trade 薄膜测试方法AccuFilm&trade 薄膜测试方法是一种基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，使用连续刚度测量（CSM）来测量排除基材影响的材料特性。AccuFilm&trade 可对软衬底上的硬性薄膜测量进行衬底材质影响的校正，也可对硬衬底上的软性薄膜进行同类校正。DataBurst对于配有InView软件和InQuest控制器的系统，DataBurst选项容许以大于1kHz的速率记录位移数据，用于测量阶跃载荷响应、位移突进（pop-in）和其它瞬时事件。InSEM HT系统与用户方法开发选件搭配使用，可修改方法方便与DataBurst协作使用。InView的“用户方法开发”选项InView提供一个功能极为强大且直观的实验脚本编辑平台，可用于设计新颖或复杂的实验。经验丰富的用户可借助InSEM HT设置并执行几乎所有小尺度的机械测试。KLA独家提供此功能。压头和标准样品有多种尖锐的压头可供选择，例如玻式（Berkovich）、立方角（cube corner）和维氏（Vickers）压头，还可提供平压头、球形压头和其它几何形状的压头。整个产品系列均提供标准样品和校准标准。相关产品

FT-NMT04纳米力学测试系统是一种多功能的原位SEM/FIB纳米压痕仪，能够在微米和纳米尺度上准确量化材料的力学行为。 FT-NMT04原位纳米压痕仪针对金属、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微观结构的机械测试进行了优化。此外，通过使用各种附件，FT-NMT04的功能可以扩展到各个研究领域的各种要求。 典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨试样、薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨试样、薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。此外，在压缩测试期间进行连续刚度测量，可以在微梁断裂测试期间量化裂纹扩展和断裂韧性。由于 FT-NMT04 分别具有 500 pN 和 50 pm 的无可比拟的低本底噪声，因此可实现具有无可比拟的可重复性的浅纳米压痕，以及纳米压痕与 EBSD 成像的前所未有的相关性。

Hysitron TS 77 Select™ 自动化纳米力学和纳米摩擦学测试系统是一台具有最高的性能、功能和易用性的台式纳米压痕仪。这款新测试系统采用了布鲁克著名的 TriboScope 电容式传感器技术，能可信地测试从纳米到微米尺度上的机械和摩擦特性。TS Select 支持模式包括定量纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和高分辨率机械性能成像等功能。 Ts Select特性：提供核心测试技术， 包括纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和原位 SPM 成像通过电容式传感器技术，使用静电力驱动同时提供高灵敏度和低温漂具有高速纳米压痕功能，可快速对机械性能进行成像，获得具有统计性的结果使用直观且易于使用的控制软件，使操作人员能够进行可靠的测量系统预设了满足ISO 14577 和 ASTM E2546标准的测试脚本具有系统自动校正功能和多样品自动测试功能，更快地获得结果

KLA NanoFlip原位纳米压痕力学测试模块 NanoFlip纳米压痕仪可以提供您的材料研究实验室带来无限的便捷。 高性能多功能性是NanoFlip设计的标志，当需要进行成像集成，需要进行频繁的转换和广泛的样本控制时，无论是环境测量还是原位测试，无论有无真空，都能提供同样出色的结果。Fib2Test技术允许用户将样品倾斜90度，以便在双光束SEM内从FIB无缝过渡到压痕测试，而无需移除样品。设计为完全真空兼容，并且具有独特的样品触发功能，NanoFlip非常适用于现场环境，如SEM，FIB和真空室，或者当您的实验带您迁移时，可以在任何情况下工作 可以想象的成像系统，如AFM，光学显微镜和光学Pro测量仪，为您提供几乎无限的成像选项。电磁执行器用于KLA生产的所有系统，包括NanoFlip。 这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。 它们的最大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。NanoFlip的时间常数为20微秒，是唯一同时符合规格的商用纳米压痕仪，最大压痕行程为50μm，噪声0.1nm，数字分辨率为0.004 nm，漂移率为 0.05nm/s。为了确保业内最广泛，最可靠的数据，NanoFlip能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。样品台移动，Z轴为25 mm，X为20 mm，Y轴为20 mm，分辨率为nm，可在大面积上精确定位样品。载荷框架刚度 7 e5N/m独特的尖端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的尖端校准。可用的方法包，包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准可用刮擦选项，最大正常载荷为50 mN，最大刮擦距离为2.5 mm，最大刮擦速度为500μm/ s。可选的NanoBlitz地形和层析成像软件，用于材料的3D和4D映射。

先进的Performech II控制模块和电子设计1.最高性能的高速闭环控制2.业界超过的噪音控制3.集成的带输入/输出信号的多参数控制4.五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合1.充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合2.多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件1.TriboScan(TM) 10提供的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试2.Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质1.多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口2.万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品应用实例

Hysitron TI 980 TriboIndenter加速纳米力学研究进入更高阶段 布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有最 高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优 异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。 先进的Performech II控制模块和电子设计。 最 高性能的高速闭环控制。 业界领 先的噪音控制。集成的带输入/输出信号的多参数控制。 五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合。充分优 化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合。 多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件。TriboScan(TM) 10提供了创新的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质。多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口。万 能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品 保持处于材料研究和开发的最 前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的领 先位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。 简洁、高速的自动控制系统自动校正使得每次测试都无懈可击。 针尖面积函数自动校正。 传感器自动校正。压针和光学系统校正 自动测试程序。快速、多样品自动测试功能实现高通量表征。 智能化自动程序确保用户选择正确的针尖。 高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索， 极大简化测试流程最 低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征。从微米到几个纳米的多尺度测量。 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征。系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量。力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现 最 快的反馈控制速率精确控制测试过程。实现最 大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征。 特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法。每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式 在纳米力学测试上领 先一步nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。。 全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用。 集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征。 原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高 XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些领 先的性能是通过以下三个业界领 先的技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。 更少时间测量更多参数。 超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）。 快速、高分辨空间硬度和模量分布统计。 一分钟内可靠完成针尖函数自动校正。 比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率。 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量 SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了最 高的定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。。 高定位精度（+/-10nm）。 可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率。 可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像。 业界领 先的纳米力学性能成像分辨率和调色板。 可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用 强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性。 将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内。 基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能。灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优 异控制 TriboIQ: 可编程数据分析程序。易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包。 直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告。 直观可自定义的数据处理和分析模块。 开放式架构使得多用户合作更加容易

扫描电镜/FIB原位纳米压痕仪：布鲁克Hysitron PI 88 布鲁克 扫描电镜/FIB原位纳米压痕仪Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其最大特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。真正实现直接观察条件下的定量纳米力学表征；高级的XYZ方向样品定位，配合可选倾斜和旋转样品台；模块化设计，可搭载全套测试技术，包括800℃热台，划痕，扩展量程的传感器，电学偏压等。轻松搭载定量纳米力学测试深入了解纳米尺度下的力学性能 在您实验室已有的熟知仪器上获得力学数据，在您电镜上扩展如下功能，包括:1.纳米压痕微悬臂弯曲2.微柱或微颗粒压缩3.拉伸测试 4.纳米划痕整个实验过程中始终如一的稳定性布鲁克的原位解决方案专为电镜环境下的出众性能而设计。真空相容性/检测器定位和机架柔度等相关因素均被严格考虑。我们专属的传感器技术确保实验过程中精细纳米力学测量所需的灵敏度和稳定性，而数位控制器提供了超快的反馈和数据采集率。因而应力诱发变形过程之前、之中、之后都得以高速捕获加以分析。 稳定性和精准度布鲁克 扫描电镜/FIB原位纳米压痕仪Hysitron PI 88配套一套真空适用的布鲁克纳米尺度传感器和导电金刚石压头。通过传感器中的静电力施以载荷，电容记录位移。低电流设计带来的超低温漂保证了前所未有的灵敏度。与传感器配合的是一套在XYZ三轴方向均8mm的高级样品定位载台，可实现在较大样品上超好的横向精度以及线性和灵活定位。在这一简洁平台机械继承的载台和传感器为使用者提供了纳米力学测试所需的稳定、刚性的基础。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。布鲁克 扫描电镜/FIB原位纳米压痕仪Hysitron PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。800°C HeatingElectrical Characterization Push-to-Pull DevicenanoDynamic ModenanoScratch Mode

此微纳米力学原位测试系统可以对各种微纳米薄膜、涂层材料或块体材料微纳米尺度上进行压痕、划痕、摩擦磨损和原位扫描探针成像测试功能，通过软件直接实现连续更换不同实验模式，具有高分辨率，高控制精度，高稳定性的特点。设备可直接测试出器件及各种微纳米薄膜、涂层材料或块体材料微纳米尺度上在不同温度下的硬度、表面粗糙度、薄膜厚度、杨氏模量、基底效应、断裂韧性、附着性能、抗磨损能力、储能模量、损耗模量及损耗因子等。设备可直接观测器件及各种纳米薄膜涂层材料在微/纳米尺度上的失效、断裂、蠕变、摩擦磨损等各种力学行为的发生，结合上述工作对材料的制备工艺和服役性能进行评价。应用领域涵盖了聚合物、复合材料、金属、陶瓷、MEMS、生物材料等几乎所有的材料领域。美国KLA-Tencor公司是全球微纳米力学(压痕)测试设备的开创者，全球第一台纳米力学测试系统于上世纪80年代初在此诞生，多种测量方法和物理模型都是来自该公司。经过近40年不断地努力和改进，目前该公司微纳米力学测试不仅实现了静态纳米压痕测试，同时实现了高水平的动态纳米压痕测试和原位纳米压痕测试，当前中华人民共和国纳米压痕测试标准GB/T 22458—2008和GB/T 25898-2010均包括了KLA-Tencor 的连续刚度测量专利技术，在该领域具有很高的权威性，KLA-Tencor在连续刚度测试（CSM）、高分辨率、扫描成像、快速测试方面拥有独有技术。KLA-Tencor是该领域知名的跨国公司，中国设立地区总部, 拥有高水平的专业技术支持和售后服务人员，国内用户得到很好的售后服务和技术支持，国内主要高校和中科院下属多个研究机构以及测试中心均采购该微纳米力学测试系统。更多应用，请联系我们探讨您的需求。

Hysitron TS 77 Select 纳米压痕仪可靠的定量表征 TS 77 Selec产自动台式纳米力学和纳米摩擦测试系统提供了同级别仪器中高的测试性能，功能性和易用性。基千布鲁克zhu 名的Triboscop铲电容式传感器技术，这套新的测试系统支持从纳米到微米尺度的可靠的力学和摩擦学表征。 TS Select具有极高的性价比，提供众多性能优异的测试模块，包括定量纳米压痕、 动态纳米压痕、 纳米划痕、 纳米磨损和高分辨力学性能成像功能。 • HysitronTS SelectTesting Modes 纳米压痕高精度力学表征 纳米压痕是表征局部微结构、界面＼表面微结构和薄 膜的弹性模噩、硬度 ＼ 蠕变、应力松弛和断裂韧性的常见技术 。采用布鲁克独创的 Hysit ron T「iboScope 电容式传感器技术，丁 S Select 支持纳米到微米尺度定星可靠的力学 性能测量。 力学性能成像快速数据采集和高速成像 TS Select 提供比传统纳米压痕测试快180倍的高速测试能力。在写秒两次的纳米压痕测试速度下， 可以在几分钟内得到非均相材料的高分辨率力学性能图像 。此外， 高 速测试可以快速采集和统计分析大量测试数据， 从而提高则罩结果的可信度。 原位SPM成像实现卓越的纳米力学 布鲁克原位扫描探针显微技术( SPM ) 利用纳米力学测试的压头扫描样品表面从而实现表面形貌成像。同—尺度下的力学测试和形貌扫描保证了纳米力学表征结果的卓越性 和可靠性。原位 SPM 成像可以实现纳米尺度的精确定位， 确保力学测试在材料上指定的位置进行。 磨损测试定量纳米尺度耐磨性能 利用TS Select 的SPM 原位扫描成像技术 ， 可以精确测噩磨损量和磨损率随接触力＼滑动速度和磨损次数的变化。得 益千宽泛的空间测噩范围， TS Select可以轻松实现局部微观结构、界面和薄膜的摩擦性能测试。 TS Select 控制软件简化的系统操作和数据分析 布鲁克 丁S Select 的 控制和分析软件包专门针对测试过程进行了精简优化。优化内容涵盖了样品加载、测试设置、测试执行和数据分析。TS Select 控制软件集成了自动化样品测试和仪器校准程序， 来实现简单、高效和无误的表征。 Hysitron TS Select Options 动态纳米压痕 纳米划痕 动态纳米压痕通过在准静态力上登加—个小的振荡力来实现材料表面硬度和模量随深度变化的连续测星。 基于—个针对动态测试优化的电容传感器和一个集成的锁相放大器， 动态纳米压痕非常适用千表征力学性能与测试深度、 频率和时间的关系。 纳米划痕利用— 个静电驱动的二维传感器来精确控制法向力， 同时测星探针移动所需的横向力。 由于其横向位移不依赖千电动样品台， 纳米划痕提供了市场上最灵敏和最可靠的纳米尺度摩擦和薄膜粘附力的测噩手段。 OnlyTS 77 Select• 提供核心测试技术的基本工具包：包括纳米压痕、 动态纳米压痕、 纳米划痕、 纳米磨损和原位SPM成像• 通过静电驱动的电容式位移传感器实现高灵敏度和低热漂移• 具有快速力学性能成像和大数据统计分析的快速压痕功能• 通过直观易用的软件设计，使入门级操作人员都能够进行可靠的测呈• 通过预先编入基于ISO 14577和ASTM E2546标准的测试函数，使测试设备简单易用• 自动化的系统校准和多样品程序化测试可以大大缩减测试周期

Hysitron TI 980 TriboIndenter加速纳米力学研究进入更高阶段 布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有最高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。 先进的Performech II控制模块和电子设计。 最高性能的高速闭环控制。 业界领先的噪音控制。集成的带输入/输出信号的多参数控制。 五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合。充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合。 多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件。TriboScan(TM) 10提供了重要的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质。多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口。万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品 保持处于材料研究和开发的最前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的领先位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。 简洁、高速的自动控制系统自动校正使得每次测试都无懈可击。 针尖面积函数自动校正。 传感器自动校正。压针和光学系统校正 自动测试程序。快速、多样品自动测试功能实现高通量表征。 智能化自动程序确保用户选择正确的针尖。 高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索， 极大简化测试流程最低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征。从微米到几个纳米的多尺度测量。 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征。系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量。力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现 最快的反馈控制速率精确控制测试过程。实现最大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征。 特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法。每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式 在纳米力学测试上领先一步nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。。 全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用。 集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征。 原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高 XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些领先的性能是通过以下三个业界领先的技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。 更少时间测量更多参数。 超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）。 快速、高分辨空间硬度和模量分布统计。 一分钟内可靠完成针尖函数自动校正。 比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率。 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量 SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了最高的定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。。 高定位精度（+/-10nm）。 可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率。 可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像。 业界领先的纳米力学性能成像分辨率和调色板。 可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用 强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性。 将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内。 基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能。灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优异控制 TriboIQ: 可编程数据分析程序。易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包。 直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告。 直观可自定义的数据处理和分析模块。 开放式架构使得多用户合作更加容易

产品描述iNano采用InForce 50驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。 InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。 InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。 iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能应用硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iNano纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iNano的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iNano纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

Hysitron PI 89 扫描电镜联用纳米压痕仪利用扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM）的卓越成像能力，可以在成像的同时进行定量纳米力学测试。这套全新系统搭载 Bruker的电容传感技术，继承了引领市场的一批商业化原位 SEM 纳米力学平台的优良功能。该系统可实现包括纳米压痕、拉伸、微柱压缩、微球压缩、悬臂弯曲、断裂、疲劳、动态测试和力学性能成像等功能。特点独有的可互换传感技术，实现了更大范围(10mNx500 mN、3.5N和150μ.m)的原位纳米力学测试和微尺度力学测试独有的载荷和位移控制测试模式,可进行纳米压痕、压缩、 拉伸、疲劳或弯曲测试采用全新编码样品台技术(1 nm分辨率)，可以在纳米晶粒 内部进行压痕操作提供旋转/倾斜台两种配置，从而在进行纳米力学测试、二次电子成像、原位FIB加工和分析成像等操作时，样品定位能力进一步提高采用永不过时的模块化设计,原位测试相关技术得以不断升级，包括800℃加热、划痕测试、电特性、扫描探针显微镜 (SPM)成像、力学性能成像(XPM)及动态疲劳测试等技术配备PerformechII先进控制模块，反馈频率达到78 kHz, 数据采集频率达到39 kHz,可以捕捉断裂引发等瞬时事件功能齐全Hysitron PI 89可以轻松安装到扫描电子显微镜台上,不需 要一直固定在显微镜上。其设计小巧，大幅增加物台倾斜 度、缩短工作距离,确保测试期间实现佳成像。PI89平台经过改装，在系统的样品位置增加了一个滑移台。该设计可方便快速地调整样品相对于传感器的位置,并可配置可更换压头、样品和其它附加装置。同时扩大了可用空间，可以容纳更大的样品、附加样品台和新的配件。此外,选用新的直线编码样品台,可以提高自动运动中的 重复性，同时扩大行程范围。通过重新设计机械载荷架轴，提升了框架刚度。

Hysitron PI 89 扫描电镜联用纳米压痕仪利用扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM）的卓越成像能力，可以在成像的同时进行定量纳米力学测试。这套全新系统搭载 Bruker的电容传感技术，继承了引领市场的一批商业化原位 SEM 纳米力学平台的优良功能。该系统可实现包括纳米压痕、拉伸、微柱压缩、微球压缩、悬臂弯曲、断裂、疲劳、动态测试和力学性能成像等功能。特点独有的可互换传感技术，实现了更大范围(10mNx500 mN、3.5N和150μ.m)的原位纳米力学测试和微尺度力学测试独有的载荷和位移控制测试模式,可进行纳米压痕、压缩、 拉伸、疲劳或弯曲测试采用全新编码样品台技术(1 nm分辨率)，可以在纳米晶粒 内部进行压痕操作提供旋转/倾斜台两种配置，从而在进行纳米力学测试、二次电子成像、原位FIB加工和分析成像等操作时，样品定位能力进一步提高采用永不过时的模块化设计,原位测试相关技术得以不断升级，包括800℃加热、划痕测试、电特性、扫描探针显微镜 (SPM)成像、力学性能成像(XPM)及动态疲劳测试等技术配备PerformechII先进控制模块，反馈频率达到78 kHz, 数据采集频率达到39 kHz,可以捕捉断裂引发等瞬时事件功能齐全Hysitron PI 89可以轻松安装到扫描电子显微镜台上,不需 要一直固定在显微镜上。其设计小巧，大幅增加物台倾斜 度、缩短工作距离,确保测试期间实现佳成像。PI89平台经过改装，在系统的样品位置增加了一个滑移台。该设计可方便快速地调整样品相对于传感器的位置,并可配置可更换压头、样品和其它附加装置。同时扩大了可用空间，可以容纳更大的样品、附加样品台和新的配件。此外,选用新的直线编码样品台,可以提高自动运动中的 重复性，同时扩大行程范围。通过重新设计机械载荷架轴，提升了框架刚度。

NMI iNano 桌面式纳米压痕原位力学测试系统 Nanomechanics这款iNano纳米压痕仪以相应的价格提供相应的准确性和精确度，使纳米压痕能力适用于从大学到高科技公司的任何实验室的预算。考虑到灵活性，iNano允许进行广泛的测试，包括但不限于频率特定实验，存储和损耗模量，模量和硬度（Oliver和Pharr）以及恒定应变率。电磁执行器用于Nanomechanics生产的所有系统，包括iNano。 这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。 它们的最大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。iNano是时间常数为20微秒的唯一商用纳米压痕仪，可同时满足最大压痕行程50μm，噪声0.1 nm，数字分辨率0.02 nm，漂移率0.05nm / s的规格要求。为确保业内最广泛，最可靠的数据，iNano能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。样品台移动Z轴为25 mm，X为100 mm，Y轴为150 mm，可测试各种样品高度和大样品区。载荷框架刚度 1,000,000 N / m独特的尖端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的尖端校准。可用的方法包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准可用刮擦选项，最大正常载荷为50 mN，最大刮擦距离为2.5 mm，最大刮擦速度为500μm/ s。可用的远程视频选件在iNano腔内提供两个不同的视角，除标准显微镜物镜外还配有USB摄像头。使用可选的NanoBlitz拓扑和断层扫描软件对材料进行3D和4D映射

Global Leader in Process Control since 1976KLA-Tencor 是全球半导体在线检测设备市场最大的供应商；KLA-Tencor2018 年 3 月从 Keysight Technologies 公司收购了行业的龙头产品-高精度原位微纳米力学测试系统-Nano Indenter G200 和高精度微纳米拉伸系统-UTM T150；该力学设备的工厂是全球最大的高精度力学测试系统的供应商，1983 年成功制造了世界上第一台商用Nano Indenter。该力学设备的工厂是业内唯一拥有超过 35 年的 Nano Indenter 生产和研究经验的供应商，成熟的工艺保证了新一代 Nano Indenter G200 具有最好的稳定性和可靠性。该力学设备的工厂拥有最广泛的顾客群，在高端力学测试系统领域内拥有最高的的市场占有率。 1． 产品技术水平KLA-Tencor 公司拥有最多的 Nano Indenter 的核心专利技术，包括已成为业界标准的连续刚度测量功能、接触刚度成像功能以及快速纳米压入测试技术等等；KLA-Tencor 公司的连续刚度测量功能已经成为薄膜、涂层、多相材料等样品检测最常用的的测试技术，并已经录入各种力学领域的国际标准和中国国家标准内。KLA-Tencor 拥有世界上最快压痕测试技术的专利，最快可达到 1 压痕点/秒。 2． 售后服务和技术支持KLA-Tencor 公司在中国有超过 600 名员工，在国内配备本土 Nano Indenter 方面的技术专家，在业内拥有最好的口碑。KLA-Tencor 公司在中国拥有自己的纳米科学示范实验室，并有专职的应用专家在实验室工作，负责用户的应用技术支持工作；KLA-Tencor 公司还定期地举办高级用户培训班，由公司的应用科学家为不同学科的用户进行各个领域应用的深层次培训。 特点和优势– 广受赞誉的高速测试选项可以和所有G200 型纳米压痕仪配合使用, 包括DCMII 和 XP 模块以及样品台– 快速进行面积函数和框架刚度校对– 精确和可重复的结果, 完全符合ISO14577 标准– 通过电磁驱动, 可在无与伦比的范围内连续调整加载力和位移– 结构优化, 适合传统测试或全新应用– 模块化选项, 适合划痕测试, 高温测试– 和动态测试– 强大的软件功能, 包括对试验进行实时控制, 简化了的特殊测试方法的开发Nano Indenter G200在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试 应用– 半导体器件, 薄膜– 硬质涂层, DLC薄膜– 复合材料, 光纤, 聚合物材料– 金属材料, 陶瓷材料– 无铅焊料– 生物材料, 生物及仿生组织等等先进的设计所有的纳米压痕试验都取决于精确的加载和位移数据，要求对加载到样品上的 载荷有精确的控制。KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪采用电磁驱动的载荷装置，从而保证测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简 便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块化的控制器设计为今后的 升级带来极大的方便。 此外，最新的第五代 G200 型纳米压痕仪完全符合各种国际标准，保证了数据的完整性。客户可以通过每个力学传感器自主设计试验，在任何时候对其进行切换，同时整个设备占地面积小，适合各种实验室环境。KLA-Tencor技术顾问服务KT拥有一支经验丰富的技术支持和服务工程师团队，可针对客户的 特殊应用与测试需求提供定制化的技术顾问服务。 经过超过 35 年的发展，NanoSuite 已经成为业内公认的界面友好、操作简便、功能齐全的数据采集和处理软件包，NanoSuite 不仅可以自动测试，也可以使用户利用网络远程遥控进行实验控制，NanoSuite 不仅能够做到压入过程中硬度和弹性模量等力学性能的实时计算和显示，同时允许用户根据自 己的研究需求以及提出的新模型随时添加新的软件通道，此外，根据实验参 量的变化快慢能够自动调整数据的采集速率，实现了智能化的数据采集功 能，从而既获得您真正需要的数据，又可避免不必要的垃圾数据。增强的载荷加载系统新一代 Nano Indenter G200 系列纳米压痕仪是具有从纳牛到牛顿最为完整的加载力范围，并且不同的加载装置可自动软件切换，整个测试流程都是全 自动的，极大的提高了测试数据的可靠性和可重复性，避免了可能的人为因 素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。标准的加载装置Nano Indenter G200 纳米压痕仪标准配置是 XP 加载系统 (最大为500mN)， 位移分辨率 0.01纳米，最大压入深度 500 微米,该装置可应用到所有的测试功能。压头更换轻松完成，非常好的机架刚度极大的减少了系统对测试的影响。高精度加载装置DCM II 是高分辨的纳米纳牛力加载模块，它既可以单独工作，也可以作为一个附件与Nano Indenter G200 协同工作。由于其惯性质量很低，使得纳米压痕中的初始表面的选取更加灵敏、精确， DCM II 在超低载荷下的纳米压痕测试具有极高的精确度和可重复性，由于它自身的空载共振频率远高于一般建筑物的振动频率，这就使得一般的环境振动对它几乎没有影响，DCM II 具有很宽的动态频率范围 (0.1 Hz 到 300 Hz)，所有这些特点使得 DCM II 可以提供同类设备不可比拟的高信噪比和高可靠性的试验数据，例如右图所示的蓝宝石上三个纳米深度的压痕测试，在几个纳米的压痕深度范围内获得了非常可靠的弹性模量。大载荷加载装置Nano Indenter G200的大载荷加载选件，大大强化了 G200 系列纳米压痕仪的应用范围。这个选件可以用于标准的 XP 加载模块，将 G200 型纳米压痕仪的加载能力扩展至 10N，可对陶瓷、金属块材和复合材料进行力学表征。大载荷选件的巧妙设计，使得 G200 既避免了在低载荷的情况下牺牲仪器的载荷和位移精度，同时又保证了用户在需要大加载力的测试时，通过鼠标操作就可以在测试实验中进行无缝加载装置切换。

NanoFlip纳米压痕仪NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下，准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜(SEM)或是聚焦离子束(FIB)系统中，NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试，并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪，其测试速度快，这对于在惰性条件下（例如手套箱中）测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项，可获取定量结果，为材料研究提供有价值的解决方案。产品描述NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达，以定位样品进行测试，并配备翻转机构，以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法，且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像，并与力学测试数据同步。革 命性的FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°，实现从FIB到压痕测试的无缝转换，而无需重新安装样品。 产品特色InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXYZ运动系统实现样品定位SEM视频采集实现SEM图像和力学测试数据同步独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InView设备控制和数据处理软件，与Windows10兼容，可选测试方法开发工具，实现用户自定义实验 产品应用硬度和模量测试（基于Oliver-Pharr模型）连续刚度测量快速材料力学性能成像ISO 14577硬度测试纳米动态力学分析(DMA)定量划痕和磨损测试 适用行业大学、科研实验室和研究所微柱和微球制造MEMS：微机电系统材料制造（压缩/拉伸/断裂测试）电池和组件制造主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估，可以为产线提供可靠的质量管理。连续刚度测量(CSM)连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励，可实时监测数据，以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm，Z方向马达行程可达25mm，可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577硬度测试NanoFlip纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。纳米动态力学分析(DMA)聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息，应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单，更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头，实现聚合物复模量和粘弹性的测量。定量划痕和摩擦磨损测试NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。

纳米力学和纳米摩擦学测试的一大飞跃Bruker’s Hysitron TI 980 TriboIndenter海思创TI 980 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克最先进的纳米力学测试设备，同时具有最高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。TI 980纳米压痕仪是布鲁克著名的海思创纳米压痕设备的新一代产品。它建立在几十年的技术创新上，提供了纳米力学和纳米摩擦学表征领域全新水平的非凡性能、能力和功能。Contact Us Download Brochure 让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。 简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。 不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有最好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。

布鲁克的 Hysitron TI 980 TriboIndenter 同时具有最大性能、灵活性、可靠性、可用性和速度。这台行业领先的系统以数十年的 Hysitron 技术创新为基础，在纳米力学特性测试方面提供更高水平的非凡性能、增强的功能和极致的多功能性。Hysitron TI 980 纳米压痕仪是一台卓越的纳米力学测试仪器，在准确控制、测试带宽、测试灵活性、适用性、测量可靠性和系统模块化方面都取得了显著进步。强大的标准配置1原位 SPM 成像2高分辨率光学成像32D 电容式传感器4计量级花岗岩5主动防振隔离6Performech II 高级控制模块7环境隔离罩8高速性能成像 （XPM）9动态纳米压痕（纳米DMA III）10模块化系统架构11多功能样品夹头12高精度样品台让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有最好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。

布鲁克的 Hysitron TI 980 TriboIndenter 同时具有最大性能、灵活性、可靠性、可用性和速度。这台行业领先的系统以数十年的 Hysitron 技术创新为基础，在纳米力学特性测试方面提供更高水平的非凡性能、增强的功能和极致的多功能性。Hysitron TI 980 纳米压痕仪是一台卓越的纳米力学测试仪器，在准确控制、测试带宽、测试灵活性、适用性、测量可靠性和系统模块化方面都取得了显著进步。强大的标准配置1原位 SPM 成像2高分辨率光学成像32D 电容式传感器4计量级花岗岩5主动防振隔离6Performech II 高级控制模块7环境隔离罩8高速性能成像 （XPM）9动态纳米压痕（纳米DMA III）10模块化系统架构11多功能样品夹头12高精度样品台让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有最好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。

Hysitron TS 77 精选是自动化台式纳米力学和纳米摩擦测试系统，可提供同类仪器的最高性能、多功能和易用性。这种新型测试系统以布鲁克著名的TriboScope电容式传感器技术为设计，在纳米至微米尺度上提供可靠的力学和摩擦学表征。TS 77 精选 支持最主流的测试模式，是定量纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损和高分辨力学性能成像的高性价比解决方案。多方向照明增强样品的可视化和导航快速、可靠、稳定的样品安装一体化的隔震系统提供极高的测试灵敏度通过隔音、隔热和隔绝气流，在实验室环境下实现极高的测试稳定性SPM成像模式可实现原位表面形貌测量和精确定位极低的热漂移保证了极高的测量灵敏度轻松的样品导航和多样品自动化测试极高的机械刚度和热稳定性保证了测量结果的可靠性

公司背景-Global Leader in Process Control since 1976KLA-Tencor 是全球半导体在线检测设备市场最大的供应商；KLA-Tencor2018 年 3 月从 Keysight Technologies 公司收购了行业的龙头产品-高精度原位微纳米力学测试系统-Nano Indenter G200 和高精度微纳米拉伸系统-UTM T150；该力学设备的工厂是全球最大的高精度力学测试系统的供应商，1983 年成功制造了世界上第一台商用Nano Indenter。该力学设备的工厂是业内唯一拥有超过 35 年的 Nano Indenter 生产和研究经验的供应商，成熟的工艺保证了新一代 Nano Indenter G200 具有最好的稳定性和可靠性。该力学设备的工厂拥有最广泛的顾客群，在高端力学测试系统领域内拥有最高的的市场占有率。 1． 产品技术水平KLA-Tencor 公司拥有最多的 Nano Indenter 的核心专利技术，包括已成为业界标准的连续刚度测量功能、接触刚度成像功能以及快速纳米压入测试技术等等；KLA-Tencor 公司的连续刚度测量功能已经成为薄膜、涂层、多相材料等样品检测最常用的的测试技术，并已经录入各种力学领域的国际标准和中国国家标准内。KLA-Tencor 拥有世界上最快压痕测试技术的专利，最快可达到 1 压痕点/秒。 2． 售后服务和技术支持KLA-Tencor 公司在中国有超过 600 名员工，在国内配备本土 Nano Indenter 方面的技术专家，在业内拥有最好的口碑。KLA-Tencor 公司在中国拥有自己的纳米科学示范实验室，并有专职的应用专家在实验室工作，负责用户的应用技术支持工作；KLA-Tencor 公司还定期地举办高级用户培训班，由公司的应用科学家为不同学科的用户进行各个领域应用的深层次培训。 特点和优势– 广受赞誉的高速测试选项可以和所有G200 型纳米压痕仪配合使用, 包括DCMII 和 XP 模块以及样品台– 快速进行面积函数和框架刚度校对– 精确和可重复的结果, 完全符合ISO14577 标准– 通过电磁驱动, 可在无与伦比的范围内连续调整加载力和位移– 结构优化, 适合传统测试或全新应用– 模块化选项, 适合划痕测试, 高温测试– 和动态测试– 强大的软件功能, 包括对试验进行实时控制, 简化了的特殊测试方法的开发 第五代原位纳米力学测试系统 Nano Indenter G200在微/纳尺度范围内的加载和位移构成精确的力学测试 应用– 半导体器件, 薄膜– 硬质涂层, DLC薄膜– 复合材料, 光纤, 聚合物材料– 金属材料, 陶瓷材料– 无铅焊料– 生物材料, 生物及仿生组织等等 先进的设计所有的纳米压痕试验都取决于精确的加载和位移数据，要求对加载到样品上的 载荷有精确的控制。KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪采用电磁驱动的载荷装置，从而保证测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 KT最新的第五代 G200 型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简 便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块化的控制器设计为今后的 升级带来极大的方便。 此外，最新的第五代 G200 型纳米压痕仪完全符合各种国际标准，保证了数据的完整性。客户可以通过每个力学传感器自主设计试验，在任何时候对其进行切换，同时整个设备占地面积小，适合各种实验室环境。2017年获得联合国教科文组织颁奖的纳米科技领域的创新技 NanoSuite的特点和优势 – 极其灵活、精确的数据采集和控制– 不断更新的测试方法– 最新的批处理测试功能– 新型的 2D 图形输出功能– 测试数据更有效的分析功能– PDF 测试数据的直接输出– 优越的自我定制测试模型的建立– 非常方便的个性化测试方法的建立– 功能齐全完善的图像处理功能– 用户可轻松的编辑自己的测试方法以满足特殊的应用与需求– 定制化的测试方法同样可满足 ISO14577 国际标准– 提供专业的建模和仿真软件, 帮助用户实现特殊的离线研究需要 KLA-Tencor技术顾问服务KT拥有一支经验丰富的技术支持和服务工程师团队，可针对客户的 特殊应用与测试需求提供定制化的技术顾问服务。 经过超过 35 年的发展，NanoSuite 已经成为业内公认的界面友好、操作简便、功能齐全的数据采集和处理软件包，NanoSuite 不仅可以自动测试，也可以使用户利用网络远程遥控进行实验控制，NanoSuite 不仅能够做到压入过程中硬度和弹性模量等力学性能的实时计算和显示，同时允许用户根据自 己的研究需求以及提出的新模型随时添加新的软件通道，此外，根据实验参 量的变化快慢能够自动调整数据的采集速率，实现了智能化的数据采集功 能，从而既获得您真正需要的数据，又可避免不必要的垃圾数据。 增强的载荷加载系统新一代 Nano Indenter G200 系列纳米压痕仪是具有从纳牛到牛顿最为完整的加载力范围，并且不同的加载装置可自动软件切换，整个测试流程都是全 自动的，极大的提高了测试数据的可靠性和可重复性，避免了可能的人为因 素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。 标准的加载装置Nano Indenter G200 纳米压痕仪标准配置是 XP 加载系统 (最大为500mN)， 位移分辨率 0.01纳米，最大压入深度 500 微米,该装置可应用到所有的测试功能。压头更换轻松完成，非常好的机架刚度极大的减少了系统对测试的 影响。高精度加载装置DCM II 是高分辨的纳米纳牛力加载模块，它既可以单独工作，也可以作为一个附件与Nano Indenter G200 协同工作。由于其惯性质量很低，使得纳米压痕中的初始表面的选取更加灵敏、精确， DCM II 在超低载荷下的纳米压痕测试具有极高的精确度和可重复性，由于它自身的空载共振频率远高于一般建筑物的振动频率，这就使得一般的环境振动对它几乎没有影响，DCM II 具有很宽的动态频率范围 (0.1 Hz 到 300 Hz)，所有这些特点使得 DCM II 可以提供同类设备不可比拟的高信噪比和高可靠性的试验数据，例如右图所示的蓝宝石上三个纳米深度的压痕测试，在几个纳米的压痕深度范围内获得了非常可靠的弹性模量。大载荷加载装置Nano Indenter G200的大载荷加载选件，大大强化了 G200 系列纳米压痕仪的应用范围。这个选件可以用于标准的 XP 加载模块，将 G200 型纳米压痕仪的加载能力扩展至 10N，可对陶瓷、金属块材和复合材料进行力学表征。大载荷选件的巧妙设计，使得 G200 既避免了在低载荷的情况下牺牲仪器的载荷和位移精度，同时又保证了用户在需要大加载力的测试时，通过鼠标操作就可以在测试实验中进行无缝加载装置切换。

——纳米力学和纳米摩擦学测试系统，加速纳米力学研究进入更高阶段。布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有良好的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。先进的Performech II控制模块和电子设计高性能的高速闭环控制业界噪音控制集成的带输入/输出信号的多参数控制五百倍于前代产品的力学测试速度多维度测量耦合充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等。丰富的系统控制和数据分析软件TriboScan(TM) 10提供了创新性的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质布鲁克纳米压痕仪Ti 980提供了多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品。始终处于材料研究和开发的最前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。简洁、高速的自动控制——系统自动校正使得每次测试都无懈可击针尖面积函数自动校正传感器自动校正压针和光学系统校正自动测试程序快速、多样品自动测试功能实现高通量表征智能化自动程序确保用户选择合适的针尖高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索，极大简化测试流程低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征从微米到几个纳米的多尺度测量纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现最快的反馈控制速率布鲁克纳米压痕仪Ti 980精确控制测试过程实现精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式强大的测试模块配置，放大化您的表征潜能自下而上的先进设计提供了世界zui xian jin的纳米力学测试系统实现最丰富的潜在测试能力Performech II高级控制模块精确控制纳米力学测试过程力和位移噪音水平实现测量精度和重复性超快反馈控制算法提供整个测试过程的精确控制专为各种不同测试而开发的一整套高性能传感器多达24个通道的数据采集能力，每个通道都能同时达到1.2MHz采样率多个测试头的耦合——一整套传感器适用于各种测试任务任意两个测头之间无缝连接标配二维传感器和nanoDMA III传感器实现系统的多种测试功能和高性能多种有效的测试模块配置纳米压痕：硬度，模量，蠕变，应力弛豫，断裂韧性、高速力学性能成像纳米摩擦：薄膜结合力，摩擦系数，抗划擦性能，磨损扫描探针显微镜成像：形貌和梯度成像，纳米级别定位精度，摩擦力成像动态纳米压痕：随着深度连续测量硬度和模量，存储模量，损失模量，损耗角正切布鲁克纳米压痕仪Ti 980nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用；集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征；原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高。XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些性能是通过以下三个技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。更少时间测量更多参数超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）快速、高分辨空间硬度和模量分布统计一分钟内可靠完成针尖函数自动校正；比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量。SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。高定位精度（+/-10nm）——可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率，可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像，纳米力学性能成像分辨率和调色板，可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内，基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能，灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优异控制TriboIQ: 可编程数据分析程序易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告直观可自定义的数据处理和分析模块开放式架构使得多用户合作更加容易海思创TI980升级选项xSol环境控制腔与载台环境控制腔实现了定量纳米力学性能和纳米摩擦学特征随着温度、气氛和湿度的变化。nanoECR纳米压痕测试的原位导电特性可以和纳米力学性能，材料形变行为和接触电阻等同步研究。xProbe基于MEMS传感器的探针可以实现原子力显微镜级别的超低力和位移噪音水平。iTF专利的原位薄膜力学性能分析包提供了排除基底效应影响的薄膜和多层膜结构的定量力学性能。3D OmniProbe和多量程通过扩展力和位移测量量程实现微米尺度的力学和摩擦学特性表征。NanoProbe同步拉曼光谱原位研究力学性能和摩擦学特性与材料结构和化学成分的相关性。模量成像动态扫描纳米压痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。荧光显微镜联用集成荧光显微镜可实现荧光共定位纳米力学测试等。电化学模块实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究。自动探针更换模块按钮操作的自动探针更换模块。样品台多尺度的磁性、机械和真空固定方式可以固定几乎所有待测样品，包括300mm晶圆。TriboAE&trade 声音传感器能通过针尖原位监测纳米压痕过程中的断裂和形变产生的声音信号。TriboImage&trade 纳米尺度划痕/磨损的实时表征。

iMicro纳米压痕仪iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像、Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。 产品描述iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和万能纳米力学试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。 产品特色InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXY运动系统以及易于安装的磁性样品台高刚度框架，且集成隔振功能集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位符合ISO 14577等标准的测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序 产品应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）快速材料力学性能成像ISO 14577 硬度测试聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量定量的划痕和磨损测试高温纳米压痕测试 适用行业大学、科研实验室和研究所半导体与封装产业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN）MEMS：微机电系统/万能纳米力学试验陶瓷与玻璃金属与合金制药涂层 涂料复合材料电池与储能汽车与航空航天主要应用硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。定量的划痕和磨损测试iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

产品描述iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试，并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 1000驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头可选的InForce 50驱动器提供最 大50mN的法向力来测量软性材料，并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架高刚度龙门架，集成隔振功能带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量定量刮擦和磨损测试样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体行业PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆复合材料电池和储能汽车和航空航天应用硬度和模量测量（Oliver Pharr）机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iMicro的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iMicro纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iMicro纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。定量划痕和磨损测试iMicro可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。 涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。 重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。 理想地，介电材料应具有高硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造工艺下会如何反应。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 可互换的驱动器能够提供大动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出精确及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。 iMicro拥有一整套测试扩展的选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D / 4D性质分布，以及Gemini 2D力荷载传感器，可以提供摩擦和其他双轴测量。

Nano IndenterG200Nano Indenter G200系统专为各种材料的表征和开发过程中进行纳米级测量而设计。 该系统是一个完全可升级，可扩展且经过生产验证的平台，全自动硬度测量可应用于质量控制和实验室环境。 产品描述Nano Indenter G200系统是一种准确，灵活，使用方便的纳米级机械测试仪器。 G200测量杨氏模量和硬度，包括从纳米到毫米的六个数量级的形变测量。 该系统还可以测量聚合物，凝胶和生物组织的复数模量以及薄金属膜的蠕变响应（应变率灵敏度）。 模块化选项可适用于各种应用：频率特定测试，定量刮擦和磨损测试，集成的基于探头的成像，高温纳米压痕测试，扩展负载容量高达10N和自定义测试。主要功能 电磁驱动可实现高动态范围下力和位移测量 用于成像划痕，高温纳米压痕测量和动态测试的模块化选项 直观的界面，用于快速测试设置 只需几个鼠标点击即可更改测试参数 实时实验控制，简便的测试协议开发和精确的热漂移补偿 屡获殊荣的高速“快速测试”选项，用于测量硬度和模量 多功能成像功能，测量扫描和流程化测试方法，帮助快速得到结果 简单快捷地确定压头面积函数和载荷框架刚度主要应用 高速硬度和模量测量 界面附着力测量 断裂韧性测量 粘弹性测量 扫描探针显微镜（3D成像） 耐磨损和耐刮擦 高温纳米压痕工业应用 大学，研究实验室和研究所 半导体和电子工业制造业 轮胎行业 涂层和涂料工业 生物医药行业 医疗仪器 更多应用：请根据您的要求与我们联系

InSEM HT纳米压痕仪InSEM HT（高温）通过在真空环境下独立加热压头和样品测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜 (SEM) 及聚焦离子束 (FIB) 室或独立真空室兼容。InView软件可帮助高级研究人员开发新实验。科学出版物显示，InSEM HT的结果与传统大尺度高温试验数据匹配良好。拥有较大的温度范围能力和较低的拥有成本，这种组合使 InSEM HT成为材料开发研究中的宝贵工具产品说明InSEM HT高温测试系统可在真空环境下独立加热压头和样品，并与多种 SEM/FIB室或独立真空室兼容。在温度高达800℃ 时，可在原位模拟极端温度条件并获得一致、可靠的测试数据。钼制底座上的单晶碳化钨压头针对高温测试应用进行了优化，有多种几何形状可供选择。 功能具有压头加热的InForce 50作动器适用于电容位移测量和电磁力驱动，并附有可互换压头样品加热高达800 ℃、10毫米样品尺寸和真空兼容的样品安装系统InQuest高速数字控制器，数据采集速率最高可达100kHz，时间响应常数最快为20µ s用于样品定位的XYZ运动系统SEM视频捕获，用于同步SEM图像和测试数据独特的软件集成压头校准系统，可实现快速、准确的压头校准与Windows 10兼容的 InView 控制和数据审查软件以及测试方法开发选项用于用户自定义实验 应用场景高温测试硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)连续刚度测量高速材料特性分布图蠕变测量应变速率敏感因子 适用行业大学、实验室和研究所航空航天车辆制造硬质涂层核能军事/防御主要应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）机械性能对新材料的研发至关重要。InSEM HT纳米压痕仪可测量各种材料的硬度，尤其是监控在热应力下的机械性能的变化。连续刚度测量连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。InSEM HT纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激发，可进行基于时间的监测，准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。快速材料力学性能成像对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。InSEM HT在X 轴和Y轴上的样品台可移动范围为20毫米，Z轴的范围为25毫米，还能在样品区域内测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。高温测试很多行业领域的材料研究不仅侧重于机械应力下的性能，还有热应力下的性能。InSEM HT是专为下一代材料测试而设计的仪器，可用于如航空航天、车辆和军事/防御等先进技术应用场景。蠕变测量材料由于外加负载以及温度升高而发生变形。蠕变测量是机械和热应力联合作用下应变随时间的变化，蠕变行为对于车辆和航空航天系统的有效设计至关重要。InSEM HT支持的测试温度高达800℃，并可同时监测材料的应变。应变速率敏感因子使用应变速率敏感因子，可以定量描述不同加载条件下产生的应变。例如，短时间内在材料上施加机械/热应力，产生的应变可能与更缓慢地施加应力时不同。InSEM HT支持用户自定义实验，在高达800°C时测量不同加载条件下的应变响应。