圆度圆状测量仪

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圆度圆状测量仪相关的厂商

  • 东莞忠仪测量仪器有限公司是一家集自主研发,代理销售,技术培训,信息咨询及维修服务於一体的高科技企业。公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。為国内的生產加工企业和厂家提供质量可靠的各类仪器设备和专业维修服务,自成立以来凭著良好的信誉、优良的產品品质、热情周到的售后服务赢得了广泛客户的信赖与支持。经长期努力以来,公司集累了一批具有良好素质和专业技术丰富的维修及销售工程师,能及时為您提供最优惠快捷的专业服务。公司主要经营项目如下:1.日本东京光电子(TOE)激光镭射测径仪。2.日本尼康(Nikon)工业测量仪器:投影仪、工具显微镜、工业自动影像仪、高度计,3.日本三丰(Mitutoyo)系列:三坐标、投影仪、工具显微镜、表面粗糙度仪、真圆度测定机、轮廓度测量仪,三丰镭射测定机系列,。4.日本三丰(Mitutoyo)小量具系列:表盘、数显及游标卡尺、分厘卡、厚薄计、杠桿量表、深度规、高度规、高度仪、伸缩规、形状类测针等。5.日本东京精密(ACCRETECH)表面粗糙度仪、真圆度测定机、轮廓度测量仪、形状类测针等。6.瑞士(Trimos)/(TESR)系列各类精密量具,一维/二维精密测高仪,精密长度测长仪. 三维三坐标测量仪,投影仪等等及其它种类精密量测仪器。7.日本AIKOR数显推拉力计系列、手动荷重仪系列(HF-2S)、自动曲线荷重仪系列(1305VR)、硬度计系列的销售和维修、荷重元换新及维修。8.万濠(Rational)万濠投影机、万濠影像量测仪、金像显微镜。9.专业研发量具数据采集管理软件。10.各类进口/国产仪器升级,年度保养,专业维修服务。 本公司销售仪器广泛应用於电子、航空、五金、塑胶、橡胶、模具、硅橡胶按键、油墨涂料等行业,我们不但為客户提供优质的仪器设备,还将通过做好从销售到售后服务的每一个环节来让客户感受到我们细致入微的服务。 公司宗旨:诚信 协作 务实 迅速.
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  • 深圳市达宏美拓密度测量仪器有限公司是一家为全行业提供密度测量解决方案的专业公司;其主营品牌Daho Meter『达宏美拓』,专业生产制造电子密度仪。Daho Meter『达宏美拓』是行业中成立时间较早,专业的密度测试仪品牌,自成立以来,始终专注于密度测试领域的研究与创新;其范围涵盖:固体、多孔性固体、粉末、液体、液体浓度等与密度相关的测试领域。达宏美拓从成立至今,一直强调以专业、技术、品质、服务的核心竞争力;要赢得市场,就要服务好客户,要服务好客户就要有专业的技术,过硬的产品品质,与及时专业周到的服务。至目前,达宏美拓在国内设立了东莞、北京、深圳、杭州等4处客户服务中心与售后服务中心;于2013年8月在东莞成立了密度检测实验室,皆在进一步提升服务客户的质量与检测水准;于2016年通过ISO9001:2015质量管理体系认证。
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  • 公司经销美国、德国、日本等国的进口仪器仪表,并全权代理日本测器株式会社在中国境内的产品制造、销售、修理、校正业务。  烟台日特测量仪器有限公司注册于2005年11月,母公司日本测器株式会社有着6000多家仪器、仪表等设备厂家商品的经销业绩,并和美国、德国、日本等国的1200多家仪器、仪表厂家签订有1级代理合同。在日本19个城市设立有分支机构。 公司经营产品简介:1.工业仪器(压力、温度、流量、液位等) 2.电气、电子测量仪器(示波器、光谱分析、万能表、电磁波、超声波等) 3.分析、环境、检查、校正仪器(PH计、水质、大气分析、粘度、硬度、导电率、厚度、浓度、粘度等)4.系统仪器(无损探伤设备,信息管理、温湿度、激光加工、电力监控系统等)5.海洋、气象、阀门等其它产品(水文观测、气象观测、电磁防爆阀门、船舶仪表等)6.成套设备(纯净水处理成套设备、污水处理成套设备、列车检测设备、海水淡化设备、无损探伤设备)主要代理厂家:长野计器(NAGANO)、千野(CHINO)、德图(TESTO)、KAWAKI、山本电机(MANOSTAR)、金子产业、爱模系统、工装(Denso)、 E+H 、日东精工、流体工业、东京流机、日置电机(HIOKI)、昭和机器计装、大阪FLOWMETER、佐藤计量器制作所、鹤贺电机、爱德万(advantest)、宇津木计器、鹤见精机、小野测器、能研、爱知时钟、新日电热工业、理化工业、武藏野机器、菊水电子、关西煤气meter、岛津制作所、管原研究所、兵田计器、A&D、日本电热计器、楠木化成、东和制电工业、金门制作所、NESSTECH、松岛机械研究所、仓本计器精工所、江州计器工业、昭和测器、理研电子、福禄克FLUKE、春日电机、高砂制作所、三和电气计器、安立计器、江藤电气、岩崎通信机、朝日计器、共立电气、冈野制作所、协立电子、TAZMO、东洋计器、横河M&C、东亚DKK、北川铁工所、能美防灾株式会社、山本光学、初田制作所、巴阀门(valve)、一濑、多摩川精机、涩川桑野、竹田特殊电线制作所等千余家公司产品。
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圆度圆状测量仪相关的仪器

  • ZY-1007真圆度测量仪,球类真圆度测量仪,球类真圆度量测机用途:本机适用于测试足球、篮球、排球、手球外缘圆度之精度。原理:使用测量试验机对球进行立体检测,多点采样:8片型球32点,18片型球40点,32片型球30点.采样的数据由PLC进行数据处理,计算出球的平均圆周长和最大半径差,以试样的最大半径差表示圆度.符合标准:GB/T 14625.1控制方式: PLC触摸屏控制探测头重复精度: 0.02mm示值精度: 0.001mm夹球夹持力:5±2N量程: 直径160~260mm体积(约):460 ′ 420′ 660mm重量: 约30kg电源: 1∮,AC220V, 5A
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  • 中图仪器WD4000晶圆厚度晶圆翘曲度测量仪通过非接触测量,将晶圆的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度,TTV,BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。WD4000晶圆厚度晶圆翘曲度测量仪采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术,完成非接触式扫描并建立3DMapping图,实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。可兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确,可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。测量功能1、厚度测量模块:厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;2、显微形貌测量模块:粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等;粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数;结构分析包括孔洞体积和波谷。 WD4000晶圆厚度晶圆翘曲度测量仪可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组,使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术(1)采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。(2)搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘,晶圆规格最大可支持至12寸。(3)采用Mapping跟随技术,可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术(1)采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法,Z向分辨率高可到0.1nm; (2)隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声,获得高测量重复性。(3)机器视觉技术检测图像Mark点,虚拟夹具摆正样品,可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台(1)大行程龙门结构(400x400x75mm),移动速度500mm/s。(2)高精度花岗岩基座和横梁,整体结构稳定、可靠。(3)关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动,搭配分辨率0.1μm的光栅系统,保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧(1)集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。(2)具备双重防撞设计,避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。(3)具备电动物镜切换功能,让观察变得快速和简单。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量,将晶圆上下面的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV),有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像,用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片,细磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次测量数据计算重复性为0.046987nm,测量稳定性良好。部分参数测量速度:最快15s测量范围:100μm~2000μm 测量精度:0.5um 重复性(σ):0.2um探头分辨率:23nm 扫描方式:Fullmap 面扫、米字、 自由多点测量参数:厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料:砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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  • 一、MC012-DY系列圆柱度测量仪应用范围:主要用于测量各种规则、不规则的环形工件的圆度、圆柱度、直线度、同心度、同轴度、平面度、平行度、垂直度、表面波纹度,间断表面等的测量,并可对工件进行频谱分析、波高分析、偏心、轴弯曲度分析、跳动量分析等。二、MC012-DY系列圆柱度测量仪主要特点:1.高精度的回转测量转台采用空气静压轴承结构,仪器主轴精度高不磨损,使用寿命长;2.数据采集采用德国HEIDENHAIN公司进口精密圆光栅及相关技术,定位精确,稳定性好;3.仪器采用WINDOWS系统操作平台,专业测量软件,测量界面简洁直观,操作便捷;可以实时显示图形数据、存盘留档、随时打印,图形分析报告,直观清晰;4.仪器配置各种规格、长度的红宝石测针,并可根据用户的测量需求,设计专用的测头及工装夹具;5.具有强大的分析功能,如:直线度、圆柱度、平面度、平行度、同轴度、同心度、波纹度分析、波高分析等。可对零件表面状态进行频谱分析,能够给出任一波的幅值;6.测量操作设置鼠标和键盘快捷操作,用户可根据操作习惯自由选择。三、MC012-DY系列圆柱度测量仪主要参数1.测量系统分辨率:0.01μm2.示值误差:±6%3.仪器径向误差:(0.03+0.0004H)μm4.仪器轴向误差:0.06μm5.传感器沿Z轴导轨移动时的直线度:0.30μm/100mm6.基准回转轴线与Z轴导轨平行度:0.45μm/100mm7.R轴导轨移动时直线度:0.5μm/100mm8.测量最大外径:Φ300mm9.测量最小内径:Φ2.5mm (最小可测Φ1.5mm需选配小测针)10.测量最大高度: 500mm11.承载重量:70Kg12.工作台台面直径:300mm13.传感器水平位移量:220mm14.主轴转速:5转/分
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  • 沈阳自动化研究所IDE团队成功研出大型圆柱度测量仪
    近日,中国科学院沈阳自动化研究所智能检测与装备研究室IDE团队在国家重点研发计划项目的支持下,经过艰苦攻关,创新性提出了高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法,并依此方法研发了大型圆柱度测量仪。大型零件圆柱度测量仪样机圆柱度是精密回转类零件重要的精度指标之一。目前,圆柱度测量仪大多通过接触式传感器获取被测目标信息,采用精密转台回转的方式实现测量,如英国Talyrond公司研制的最大测量直径达1.6米的1600型圆柱度测量仪。接触式传感器的可形变量极小,在圆柱度测前定心调整过程中,大偏心距累积的运动定位误差极易超出传感器的极限行程而造成传感器损坏。受被测对象的尺寸、重量及高精密转台的制造技术等因素的影响,过大的载荷将严重影响精密轴系的回转精度,所产生的随机误差难以通过算法有效补偿,无法满足大型工件的高精度测量需求。对于直径超过2米的大型轴承套圈,由于零件尺寸巨大、圆柱度测量精度要求高以及测量环境的局限性,现有的接触式传感器与转台回转的测量方式难以满足其测量要求。因此,亟需研究针对大型回转类零件圆柱度的现场快速精密测量方法及相应的评定技术。沈阳自动化所智能检测与装备研究室IDE团队提出的高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法采用具有精密、隔震等特性的气浮驱动技术,配合精密耦件,通过测前快速自适应偏置调整技术实现工件测前自动定心,采用精密测头回转的方式快速获取有效测量信息。在测量原理方面,提出了更完善的圆柱度测量模型及误差分离算法,测前定心与实际测量采用分立的运动控制系统,既解决了大型工件的载荷问题,又能够通过模型参数拟合的方式实现偏心、测量线偏置、被测圆柱轴倾斜等误差的精准分离;测量系统采用对称式双测头测量方案,综合了非接触式位移传感器安全、柔性的特点与接触式位移传感器精密、可靠的特性。本方法的提出突破了传统测量方法在大型圆柱度测量过程中的局限性,实现了大型回转类零件圆柱度测前自适应偏置调整和现场快速精密测量。目前,该研发团队已完成大型圆柱度测量仪原理样机的研发工作,并在《光学精密工程》《中国激光》等高质量期刊发表相关论文2篇,申请发明专利4项。经过国家权威计量专家及天津计量院的检定,大型圆柱度测量仪样机的回转精度为42.6nm,Z向导轨精度139nm/100mm,最大测量直径为2500mm,且其测量范围可根据使用需求进一步拓展。这意味着该原理样机的核心技术指标已达到国内领先、国际先进水平。本项目的实施将进一步夯实我国大型轴承及以大型轴承为核心基础部件的高端装备的制造技术基础,填补直径大于2米的大型轴承圆柱度测量仪的国内空白,掌握大型圆柱度测量仪的核心技术,提高轴承及相关行业的自主创新能力,为我国高铁、风电和高档数控机床等高端装备制造业的进一步发展提供保障能力,对我国从制造大国迈向制造强国,具有重要的现实意义和巨大的社会经济效益。
  • 2024年全球及中国电子测试测量仪器行业发展趋势和现状研究
    2024年全球及中国电子测试测量仪器行业发展趋势和现状研究陈昕(广州思林杰科技股份有限公司 市场总监)前言:电子测试测量仪器是利用电子技术来进行测量的装置,是电子制造、电子设计、电子应用等领域不可或缺的工具。随着电子技术的不断发展,电子测试测量仪器的技术水平也不断提高,应用范围也不断扩大。电子测试测量仪器的广泛应用涉及通信、半导体、医疗、能源等多个领域,其性能和技术水平直接关系到各行业的科研、生产和服务水平。在全球范围内,这一领域正经历着巨大的变革,从而催生出新的机遇和挑战。近年来,全球及中国电子测试测量仪器行业保持稳步增长态势。在全球经济发展、工业技术水平提升背景下,全球电子测试测量仪器市场规模持续增长,预计到2025年,全球电子测试测量仪器行业市场规模将增长至172.72亿美元。中国电子测试测量仪器行业市场规模近年来也保持快速增长态势,2022年中国电子测试测量仪器行业市场规模为381.6亿元人民币,预计2023年将逐步扩大至410.4亿元人民币。在我国利好政策驱动下,智能制造、5G通信、汽车电子等下游产业快速发展,电子测试测量仪器行业也实现了快速增长。未来,全球及中国电子测试测量仪器行业将呈现以下发展趋势:智能化:电子测试测量仪器将向智能化方向发展,以满足工业制造智能化、自动化的需求。智能化电子测试测量仪器将具有更强的自动化、网络化、可视化等功能,能够实现更高效、更精准的测试。集成化:电子测试测量仪器将向集成化方向发展,以满足工业制造小型化、轻量化的需求。集成化电子测试测量仪器将多种功能集成到一个平台上,能够实现更便捷、更灵活的测试。虚拟化:电子测试测量仪器将向虚拟化方向发展,以满足工业制造虚拟化、仿真化的需求。虚拟化电子测试测量仪器将通过计算机模拟实现测试,能够实现更安全、更高效的测试。本文章将对全球及中国电子测试测量仪器行业的发展现状、发展趋势及竞争格局进行深入分析,并对行业发展趋势进行展望。1. 电子测试测量技术/仪器的发展历史电子测试测量技术和仪器的发展历史可以追溯到电子产业的早期阶段,随着电子技术的不断进步和应用领域的拓展,测试测量仪器在推动科技进步和确保电子设备性能的过程中发挥了关键作用。电子测试测量技术/仪器的发展历史可以追溯到19世纪初,以下是电子测试测量技术和仪器的发展历史中一些关键阶段:1820年,德国物理学家Johann Schweigger发明了检流计,这是世界上第一台电子测试仪器。检流计可以用来测量电流强度。1887年,爱迪生发明了真空管,这是电子测试测量技术发展的一个重要里程碑。真空管可以用来放大电信号,这使得电子测试仪器的测量精度和灵敏度得到了大幅提高。20世纪初,电子测试仪器的发展进入了快速发展阶段。1920年,美国的贝尔实验室发明了示波器,这是世界上第一台能够显示电信号波形的仪器。示波器的出现,极大地提高了电子测试技术的水平。20世纪中叶,电子技术的快速发展,推动了电子测试测量仪器的进一步发展。1956年,美国的Tektronix公司发明了数字示波器,这是世界上第一台能够显示数字电信号的仪器。数字示波器的出现,使得电子测试技术更加精准和灵活。20世纪70年代,集成电路技术的出现,使得电子测试测量仪器更加小型化和低成本。1976年,美国的Agilent公司推出了世界上第一台数字存储示波器,这是世界上第一台能够存储电信号波形的仪器。数字存储示波器的出现,使得电子测试技术更加便捷和高效。Tektronix 547型示波器 (图片来源 Lazy Electrons,产品来源Tektronix)随着技术应用发展,电子测试测量技术/仪器广泛应用于电子制造、电子设计、电子应用等领域。电子测试测量技术/仪器的发展,为电子技术的进步和应用提供了重要支撑,如:1. 半导体技术的崛起(1950年代 - 1960年代):o 集成电路(IC)的出现推动了测试测量技术的发展,测试复杂度大大提高。o 数字化测试技术开始兴起,数字化示波器、逻辑分析仪等成为主流。2. 微处理器和计算机时代(1970年代 - 1980年代):o 随着微处理器的普及,测试测量设备越来越依赖于计算机控制和数据处理。o 自动测试设备(ATE)开始流行,提高了测试效率和精度。3. 高性能和高频率测试(1990年代至今):o 通信技术的迅猛发展推动了对高频、高速数字信号的测试需求,射频测试、高速数字通信测试等成为焦点。o 高性能、高灵敏度、高精度的仪器不断涌现,以满足现代电子设备复杂性的测试需求。4. 物联网和5G时代(21世纪):o 物联网和5G技术的崛起带动了对更高频率、更大带宽的测试需求,尤其是在通信和无线领域。o 智能化、云端化等技术的融入使得测试数据的处理和分析更为高效。芯片测试系统 (图片来源:Teradyne,产品来源:Teradyne、Litepoint)未来,电子测试测量技术/仪器的发展将继续保持快速增长态势。随着智能制造、5G通信、人工智能、量子计算、新型材料等技术的进步,电子测试测量技术/仪器将向智能化、集成化、虚拟化等方向发展。2. 以思林杰的发展历程看行业的时代变迁广州思林杰科技股份有限公司(后简称“思林杰科技”)成立于2005年,是一家领先的测试测量技术与方案提供商。思林杰科技从2010年开始进入自动化测试行业;2013年推出第一代基于ARM+DSP的仪器模块应用于消费类电子产品生产测试场景;2014年推出第二代 ARM+FPGA 仪器模块平台并推向市场;2019年发布第三代嵌入式仪器平台并投入市场,得到国内外多个知名厂商的批量使用并获得好评;2021推出 Nysa 模块化仪器平台与Archon SDK平台;2022年完成IPO登陆上交所科创板;2023年聚焦在高精密、高速及射频测试测量方向发力,实现更高端测量仪器的样机研发。思林杰科技近年来获得国家第四批专精特新“小巨人”企业,广东省高新技术企业,成立院士专家工作站,并与多所高校建立联合实验室。思林杰科技发展历程思林杰科技进入测试测量领域,顺应了行业发展和时代变迁。可穿戴消费类电子产品设备结构非常精密,测试测量的需求规格高,并需要多台仪器设备的组合才能完成各种信号的采集和激励,譬如传感器端的高灵敏度微弱信号,高速的数字信号,射频频段的信号录播与回放,电源的电压电流数据采集分析等。最开始,客户在研发阶段用了多台传统仪器进行测试系统搭建进行原型机验证与测试,NPI 转产时,客户寻求更高效的测试解决方案,我们和客户一起深入讨论需求和应用场景,自研了基于 FPGA 控制器架构,在自研总线上搭载了多种类型的仪器模块,FPGA控制器与仪器模块间通过底层自研总线互联,采集与激励的信号处理通过 FPGA 数字逻辑进行并行处理与算法加速。得益于选择了异构处理的 FPGA 架构,内部集成了ARM处理器,测试用例的调度、测试结果的判定都在同一颗 FPGA 芯片内完成,测试效率得到了很大的提升,同时在体积、成本上也满足了客户转产的需求。经过多个迭代,思林杰科技发布了Nysa模块化仪器平台:有基于嵌入式架构的板卡形态,体积紧凑易于集成到设备里;有基于插卡式架构的仪器形态,多类型仪器可简单插拔配置相应固件就可完成测试系统的搭建,适用于研发和NPI的原型机验证测试阶段;同时思林杰科技有强大的按需定制能力,可以为客户定制各类综合测试仪和解决方案。思林杰 Nysa 模块化仪器与 Archon 测试系统管理软件随着客户对测试测量需求的不断提升,思林杰科技继续完善Nysa仪器模块库,推出了面向高精密测量、高速数字信号测试测量与射频信号测试与处理的解决方案。测试测量解决方案覆盖从验证-试产-量产完整产品周期,与国际领先客户进行深度合作和获得高度认可,其解决方案广泛用于各消费类电子产品原型机测试、NPI、产线测试。近年来,思林杰基于FPGA搭配各类型AD/DA和传感器解决方案开始进入工业、生物医疗、芯片产业等应用场景,有的作为客户产品各阶段的测试测量解决方案,有的甚至作为关键零部件集成到客户产品内部,加深了与客户的紧密合作,对行业发展和对测量需求的提升都有了更深刻的理解。思林杰科技拥有超过200人的专业研发团队,自身具有制造与装配生产线,可保证质量与及时交付,并已通过IS09001,14001和27001等认证,运作成熟规范。3. 全球及中国电子测试测量仪器市场规模及现状全球电子测试测量仪器市场规模近年来保持稳步增长态势,2022年全球电子测试测量仪器行业市场规模扩大至146.10亿美元。在全球经济发展、工业技术水平提升背景下,全球电子测试测量仪器市场规模持续增长,预计到2025年,全球电子测试测量仪器行业市场规模将增长至172.72亿美元。数据来源:FROST&SULLIVAN从区域发展情况来看,欧美等发达国家和地区的电子测试测量仪器行业起步早,上下游产业链基础较好,市场规模较大,市场需求以产品升级换代为主,市场将保持中高速增长 而以中国和印度为代表的亚太地区,处于产业转型升级及新兴市场快速发展阶段,对电子测试仪器的需求潜力大,市场规模将以较高的增速增长。中国电子测试测量仪器市场规模中国电子测试测量仪器行业市场规模近年来也保持快速增长态势,2022年中国电子测试测量仪器行业市场规模为381.6亿元人民币,预计2025年将逐步扩大至410.4亿元人民币。在我国利好政策驱动下,智能制造、5G通信、汽车电子等下游产业快速发展,电子测试测量仪器行业也实现了快速增长。数据来源:FROST&SULLIVAN市场规模增长驱动力全球及中国电子测试测量仪器市场规模的增长主要由以下因素驱动:电子技术的不断发展,推动了电子产品的快速迭代,对电子测试测量仪器的需求不断增加。智能制造、5G通信、人工智能等新兴技术的快速发展,对电子测试测量仪器提出了更高的要求。政府政策的支持,鼓励企业进行技术创新和产业升级,推动了电子测试测量仪器行业的发展。市场竞争格局全球电子测试测量仪器行业市场格局相对集中,CR5约为45%。其中是德科技、罗德与施瓦茨、泰克、美国国家仪器等海外厂商占据市场主导地位。我国电子测试测量仪器行业起步相对较晚,在技术上与国外优势企业仍有一定的差距。近年来,我国电子测试测量仪器行业发展迅速,涌现出一批具有竞争力的企业。行业发展趋势未来,全球及中国电子测试测量仪器行业将呈现以下发展趋势:智能化:电子测试测量仪器将向智能化方向发展,以满足工业制造智能化、自动化的需求。智能化电子测试测量仪器将具有更强的自动化、网络化、可视化等功能,能够实现更高效、更精准的测试。集成化:电子测试测量仪器将向集成化方向发展,以满足工业制造小型化、轻量化的需求。集成化电子测试测量仪器将将多种功能集成到一个平台上,能够实现更便捷、更灵活的测试。虚拟化:电子测试测量仪器将向虚拟化方向发展,以满足工业制造虚拟化、仿真化的需求。虚拟化电子测试测量仪器将通过计算机模拟实现测试,能够实现更安全、更高效的测试。4. 思林杰主推产品介绍思林杰科技目前产品主要方向:NYSA模块化仪器平台、高精确度测量、高速信号采集与处理、射频信号测量。NYSA 模块化仪器平台基于 FPGA 控制器, 搭配丰富灵活的仪器模块, 如万用表、示波器、 信号发生器、 数据记录仪、 音频分析仪等,涵盖了高精度信号、 高速与射频信号测试测量与处理, 提供了从验证到试产到量产的全过程测试测量技术与解决方案,同时与国际领先客户达成深度合作并获得高度认可。 其中嵌入式形态结构紧凑, 方便内嵌设备; 插卡式仪器整机不仅可用于原型开发,也可作为多功能仪器使用;独立式仪器小巧紧凑, 可作为单⼀功能的仪器使用; 综测仪提供了多功能完整产线测试整机形态,方便部署于产线测试。思林杰 NYSA 嵌入式模块化仪器平台Archon 是思林杰科技自主研发的测试系统管理软件,具备图形化低代码方式开发管理运行测试用例和测试计划的功能,支持实时查看测试数据、自定义数据报表模板和可视化数据分析,并为与其他企业系统的连接提供可扩展的插件。Archon 广泛应用在消费电子、军工和芯片测试领域, 降低测试用例开发管理难度,提高生产测试效率。Nysa Toolkit 是 Archon的辅助固件生成工具。其根据不同的项目需求, 可以选择对应的仪器模块并连接到控制模块上,自动生成固件;同时也是 Nysa 系列仪器的管理工具,可以对嵌入式、 插卡式及独立式的 Nysa 仪器集中管理, 可以动态生成仪器的固件,并下载到仪器中。对于不同的仪器模块,显示相应的虚拟仪表界面,方便用户调试。思林杰 Archon 测试系统管理软件近期除了NYSA模块化仪器平台和Archon测试系统管理软件,思林杰科技基于最新的FPGA技术和各类AD/DA解决方案,推出了面向高精度测量、高速信号采集与处理、射频信号测量等解决方案。在高精度测量方面,思林杰科技近期推出了SG2165 SMU和SG2350 LCR。其中,SG2165 精密型源测量单元(SMU)能够实现四象限操作,精确地输出电压或电流以及同时测量电压、电流和电阻等功能。 它集成了六位半数字万用表 (DMM) 、五位半精密电压源、电流源、电⼦负载和脉冲发生器的功能,具有功能丰富,体积小巧紧凑,标准测试接口等特点,非常适合集成到测试治具中。 SG2165 源测量单元平台主要用于半导体、传感器、模组等 IVR 测试测量。 其为产线测试量身定制,为产线自动化 ICT 及 FCT 提供高效、高性价比的测试测量解决方案。思林杰 SG2165 精密型源测量单元(SMU)SG2350 LCR 阻抗测试平台是⼀款精密型 LCR 表,其基本测量精度可达 0.1%,且支持多种测试激励模式,拥有 20 Hz 至 2 MHz 连续可调的宽范围测试频率,和 0 至 2 Vrms 或者 0 至20 mArms 连续可调的测试电平,并且具备可调最大 2 V 的直流偏置功能;使用该平台可测试多种阻抗参数,测量精准的同时,可实现最快 5 ms 的测量速度,其紧凑、模块化的设计为产线元器件,材料,半导体,MEMS 等阻抗参数测试测量提供了高性价比的选择。思林杰 SG2350 LCR 阻抗测试平台在高速信号采集与处理方面,思林杰发布了一系列的DAQ数据采集方案与产品和高速总线分析解决方案。DAQ 数据采集其核心架构由模拟前端 (AFE)、模数转换器 (ADC)、现场可编程门阵列 (FPGA) 及触发(Trigger) 组成。 通过 AFE 对模拟信号进⾏信号调理后经过核心组件 ADC 实现对模拟信号的数字量化编码,最终通过 FPGA SoC 进行数字信号的采集、处理、分析和存储转发,并可支持内部及外部触发采样模式。其中,FPGA基于Xilinx Zynq 7000系列和UltraScale+系列,采集速率涵盖250KSPS/24bits到5GSPS/8bits等各速率和分辨率解决方案。DAQ数据采集产品有三种产品形态,如数据采集模块、数据采集卡及数据采集盒子三种数据采集系统,方便根据客户需求选择合适的产品形态和提供丰富的解决方案。DAQ 产品主要用于电气、物理、机械、声学和信号路由等应用,可以表征产品、监控过程或产品、以及控制测试过程,在科学研究、工业自动化和测试测量领域起着关键的作用。思林杰 SG1227 PCIe 高速采集卡 思林杰 SG2168 高速采集盒在高速总线分析方面,思林杰科技推出了MIPI D-PHY、C-PHY、RFFE、SPMI、I3C、USB-C、Displayport等高速信号采集、发生与处理解决方案,并可基于FPGA SerDes进行PRBS误码率测试,基于BERT进行高速眼图重构,为高速数据线缆测试、高速连接器测试、高速信号链路测试提供了高效高性价比的信号质量评估测试方案。思林杰 SG2153 MIPI Tester PRBS 眼图、误码率&抖动容限分析在射频信号测量方面,思林杰发布了VNA矢量网络分析仪和SDR软件无线电平台。SG2163 型矢量网络分析仪( VNA )是⼀款四端口8.5GHz频段的射频测量仪器,其能够提供射频信号传输特性和反射特性的测量。本产品由主机单元和基于 Windows 系统的控制与显示界面组成,数据传输采用千兆以太网接口。其广泛应用于微波器件,材料科学,电子通信等基础行业和领域的射频研发测试与生产制造。思林杰 SG2163 矢量网络分析仪( VNA )SG2277 是⼀款基于软件无线电技术的射频测试平台。 该平台集主控处理器、FPGA 和射频前端于⼀体,最多支持 8 个通道的信号生成、8 个通道的信号采样及频谱分析功能。平台有射频直采和上下变频解决方案,覆盖到6.5 GHz频段,该功能使平台在许多场景的应用中更加灵活。思林杰 SG2277 射频测试平台( SDR )5. 思林杰产品主要应用场景思林杰科技NYSA模块化仪器最开始应用于消费类电子产品线测试。典型的消费类电子产品FCT测试系统需要若干台传统仪器进行系统搭建,如示波器、信号源、数字万用表、音频分析仪、时序测试仪、程控电源、电子负载、频率计、FW烧写器、数字IO逻辑分析仪、通信接口扩展器、开关与切换等,有的功能由于传统仪器没有现成解决方案或成本高,甚至需要定制化实现。因此,由于消费类电子产品更新速度快、技术应用周期短,基于传统标准仪器的解决方案不能高效满足FCT测试需求,其需要涵盖多类型仪器的测试系统搭建与调试,难度高,周期长,行业内缺乏定制化功能交钥匙解决方案,成本高、体积大、UPH效率低。为了解决消费类电子产品FCT测试这个行业痛点,思林杰科技推出了NYSA模块化仪器的FCT解决方案。其解决方案基于FPGA SOC(ARM+FPGA)控制器,通过底层自定义总线与模块化仪器并行互联。其中FPGA的数字逻辑层,可进行采集和激励信号的处理和算法加速,数字信号的测试测量和一些解决方案的逻辑层面定制,如频率计、FW烧写器、通信接口扩展、数字IO逻辑和总线分析;FPGA的ARM处理器可运行RTOS或Linux,运行Archon测试系统对仪器模块和信号的管理、进行测试序列的执行和测试结果处理和上传。同时,思林杰科技积累了丰富的仪器模块库,如示波器系列、信号源系列、数字万用表系列、音频分析仪系列和相应的IP库,可通过对现有仪器模块选择进行FCT测试系统的搭建。在同等机柜体积下,嵌入式模块化仪器相对于传统标准仪器可以实现总效率、并行通道数、读取、切换、上传效率、测试速率的提高,测试系统体积的大幅减小,总成本的大幅降低。基于标准仪器的传统 FCT 产线测试方案 思林杰NYSA嵌入式仪器模块FCT产线测试方案近年来,NYSA模块化仪器除了在消费类电子产品测试FCT站点大规模部署和应用外,在ICT、模组测试甚至芯片测试阶段也开始用NYSA模块化仪器解决方案进行测试系统的搭建,此外也有越来越多的客户在研发阶段的原型机测试、NPI小批量转产验证测试使用此解决方案。在其他行业,如生物医疗、新能源等领域,思林杰科技也基于FPGA和最新的AD/DA解决方案,提供核心模块的研发、验证、批量生产服务,譬如基于FPGA的卷积、反卷积、积分等算法处理与加速,生物医疗传感器微弱信号的共模噪声抑制和降噪处理,高压信号与激光信号的激励与处理,AI视觉检测与成像处理系统等。这些方案与模块除了应用于产品测试领域,更广泛的应用于客户产品核心模块的测量领域,思林杰科技提供了全过程产品研发、验证、批量生产测试交付服务。生物医疗应用:微生物质谱检测系统应用 新能源应用:激光测风雷达6. 未来电子测试测量技术/仪器发展趋势智慧工厂未来电子测试测量技术和仪器的发展趋势涉及多个方面,其中包括:高集成度和多功能性: 未来的测试测量仪器很可能会越来越集成多种功能,以适应复杂系统和设备的测试需求。高度集成甚至多学科融合的仪器可以提高测试效率和减少测试成本。宽频带和高速度: 随着通信和数据传输速度的不断提高,测试仪器需要具备更高的频带和速度来适应新兴技术和标准,如5G通信、物联网和高速数字总线。自动化和智能化: 自动化在测试领域一直是一个重要的趋势。未来的仪器很可能会更加智能,具备自动识别、配置和执行测试任务的能力。机器学习和人工智能技术可能会应用于测试数据分析和故障诊断。量子技术的应用: 随着量子技术的发展,未来的测试测量仪器可能会受益于量子传感器和量子计算的应用。这可能导致更高的精度和灵敏度。更小型化和便携性: 随着设备越来越小型化,测试仪器也需要变得更小巧轻便,以适应便携性需求。这对于现场测试和移动设备的测试非常重要。绿色技术: 环保和能源效率是未来技术发展的关键方向之一。测试仪器可能会采用更为节能和环保的设计,以减少对环境的影响。云服务和远程访问: 云服务和远程访问技术的发展使得测试数据的存储、管理和分析更加便捷。未来的测试仪器可能会更加集成云服务,实现远程访问和协作。AI 人工智能总体而言,未来电子测试测量技术和仪器的发展趋势将在高度集成、自动化、智能化、便携性和环保方面取得进展,以适应不断变化的技术和市场需求。随着人们对生活品质需求的提升、新技术应用的产品导入,测试测量市场将保持高速发展趋势,测试测量市场规模将越来越大,各芯片厂商、仪器仪表厂家、测试测量方案集成商将在此市场拥有很好的发展空间,结合市场需求和自身产品、解决方案优势持续迭代,获得长远发展。作者简介陈昕(1982),男,2006英国约克大学获得通信工程硕士学位,毕业后分别从事基于FPGA的通信系统设计与研发、FPGA芯片系统应用、电子测试测量系统与应用设计与市场发展主管,现任思林杰科技市场总监、北美与线上营销总监。
  • 科众精密-全自动晶圆接触角测量仪,测量等离子处理镀膜后的接触角
    半导体晶圆表面的接触角测试是半导体制造中常见的一项表面质量评估方法,其重要性在以下几个方面:1、粗糙度评估:半导体晶圆表面的粗糙度会对接触角产生影响,接触角测试可以用来评估晶圆表面的粗糙度,从而评估其表面质量。表面清洁评估:半导体晶圆表面的杂质和污染物会影响接触角的测量结果,接触角测试可以用来评估晶圆表面的清洁程度。2、表面处理评估:半导体晶圆表面的各种表面处理,如刻蚀、沉积、退火等会影响接触角的测量结果,接触角测试可以用来评估这些表面处理对晶圆表面性质的影响。3、界面张力评估:在半导体制造中,各种材料的粘附和分离过程都涉及到界面张力的变化,接触角测试可以用来评估晶圆表面和各种材料之间的界面张力。综上所述,半导体晶圆表面的接触角测试可以用来评估晶圆表面的粗糙度、清洁程度、表面处理效果和界面张力等方面的性质,对半导体制造过程中的表面质量控制具有重要的意义。晶圆全自动接触角测量仪详细参数:技术参数KZS-50图片硬件外观接触角平台长12寸圆平台(6寸、8寸、12寸(通用)扩展升级整体扩展升级接触角设备尺寸670x690x730mm(长*宽*高)重量35KG样品台样品平台放置方式水平放置 样品平台工作方式三维移动样品平台样品承重0.1-10公斤仪器平台扩展可添加手动,自动倾斜平台,全自动旋转平台,温控平台,旋转平台,真空吸附平台调节范围Y轴手动行程400mm,精度0.1mmX轴手动,360°自动旋转,精度0.1mm测试范围0-180°测量精度高达0.01°测量面水平放置样品平台旋转全自动旋转平台仪器水平控制角位台可调,镜头可调,样品平台可调滴液滴液系统软件控制自动滴液,精度0.1微升,自动接液测试注射器高精密石英注射器,容量500ul针头直径0.51mm,1.6mm表面张力测试滴液移动范围X轴手动调节80mm,精度0.01mmZ轴自动调节100mm,精度0.01mm滴液系统软件控制自动滴液泵滴液模组金属丝杆滑台模组镜头/光源光源系统单波冷光源带聚光环保护罩,寿命60000小时以上光源调节软硬共控镜头可移动范围滑台可调100mm镜头远心变倍变焦定制镜头镜头倾斜度±10°,精度0.5°相机帧率/像素300fps(可选配更高帧率)/300万像索电源电源电压220V,功率60W,频率60HZ漏电装置带漏电装置保护软件部分软件算法分辨率拟合法、弧面法、θ/2、切线法、量角法、宽高法、L-Y法、圆法、椭圆法、斜椭圆法测量方式全自动、半自动、手动拟合方式 分辨率点位拟合,根据实际成像像素点完全贴合图像拍摄支持多种拍摄方式,可单张、可连续拍摄,支持视频拍摄,并一键测量。左右接触角区分支持分析方法座滴法、纤维法、动态润湿法、悬滴法、倒置悬滴法、附着滴法、插针法、3D形貌法、气泡捕获法分析方式 润湿性分析、静态分析、实时动态分析、拍照分析、视频分析、前进后退角分析保存模式Word、EXCEL、谱图、照片、视频总结1、晶圆接触角测量可以订制,适用于各种半导体制造中常用的6英寸、8英寸、12英寸等尺寸的晶圆。2、高精度测量:可以在非常小的范围内准确测量晶圆表面的接触角,具有高度的重复性和准确性。3、多功能性:晶圆接触角测量仪通常具有多种测试模式,可以测量不同类型的表面处理,如刻蚀、沉积、清洗等过程对接触角的影响,可以提供全面的表面质量评估。4、高效性:晶圆接触角测量仪可以在非常短的时间内完成多个晶圆的测量,提高了实验的效率。5、自动化程度高:晶圆接触角测量仪通常具有自动化控制和数据处理系统,可以自动完成晶圆的定位、测量和数据处理,减少了实验人员的工作量和误差。晶圆接触角测量仪是一种专门用于测量半导体晶圆表面接触角的仪器。相比传统的接触角测量仪,它具有以下优势:1、适用于大尺寸晶圆:晶圆接触角测量仪通常具有较大的测试平台,能够容纳大尺寸的晶圆,适用于半导体制造中常用的6英寸、8英寸、12英寸等尺寸的晶圆。2、高精度测量:晶圆接触角测量仪使用高精度的光学传感器和计算算法,可以在非常小的范围内准确测量晶圆表面的接触角,具有高度的重复性和准确性。多功能性:晶圆接触角测量仪通常具有多种测试模式,可以测量不同类型的表面处理,如刻蚀、沉积、清洗等过程对接触角的影响,可以提供更全面的表面质量评估。3、高效性:晶圆接触角测量仪可以在非常短的时间内完成多个晶圆的测量,提高了实验的效率。4、自动化程度高:晶圆接触角测量仪通常具有自动化控制和数据处理系统,可以自动完成晶圆的定位、测量和数据处理,减少了实验人员的工作量和误差。综上所述,晶圆接触角测量仪具有高效、高精度、多功能等优点,在半导体晶圆表面处理和质量控制中具有广泛的应用前景。

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  • 目前市面的二次元测量仪、三次元测量仪、测量投影仪与五次元一键式测量仪的区别?

    随着中国市场的科技技术日新月异,制造业对产品的精度要求越来越高,人为测量已无法满足客户要求,大家都开始借助仪器测量。目前市面上对于尺寸的测量主要是有二次元及三次元等。那么这些测量仪的区别在哪儿呢?目前市面的二次元测量仪、三次元测量仪、测量投影仪与五次元一键式测量仪的区别??? 现在市场的影像尺寸测量仪,有三次元测量仪、二次元测量仪和测量投影仪。而二次元测量仪跟测量投影仪难以区别,都是光学检测仪器,在结构和原 理上二次元测量仪通常是连接PC电脑上同时连同软件一起进行操作,精度在0.002MM以内,测量投影仪内部是自带微型电脑的,因此不需要再连接电脑,但在精度上却没有二次元测量仪那么精准,影像测量仪精度一般只能达0.01MM以内。三次元测量仪是在二次元测量的基础上加一个超声测量或红外测量探头,用于测量被测物体的厚度以及盲孔深度等,这些往往二次元测量仪无法测量,但三次元测量仪也有一定的缺陷:Ø 测高探头采用接触法测量,无法测量部分表面不 能接触的物体;Ø 探头工作时,需频繁移动座标,检测速度慢;Ø 因探头有一定大小,因些无法测量过小内径的盲孔;Ø 探头因采用接触法测量,而接触面有一 定宽度,当检测凹凸不平表面时,测量值会有较大误差,同时一般测量范围都较小。 光纤同轴位移传感器以非接触方式测量高度和厚度,解决了过去三角测距方式中无法克服的误差问题,因此开发出可以同轴共焦非接触式一键测量的3D轮廓测量设备成为亟待解决的热点问题。 针对现有技术的上述不足,提供五次元测量设备及其测量计算方法,具有可以非接触检测、更高分辨率、检测速率更快、一键式测量、更高精度等优点。五次元测量仪通过采用大理石做为检测平台和基座,可获得更高的稳定性;内置软件的自动分析,可一键式测量,只需按一个启动键,既可完成尺寸测量,使用方便;采有非接触式光谱共焦测量具有快速、高精度、可测微小孔、非接触等优点,可测量Z轴高度,解决测高探头接触对部分产品造成损伤的问题;大市场光学系统可一次拍取整个工件图像,可使检测精度更高,速度更快。并且可以概据客户需要,进行自动化扩展,配合机械手自动上下料,完全可做到无人化,并可进行 SPC 过程统计。为客户提供高精度检测的同时,概据 SPC 统计数据,实时对生产数据调整, 提高产品质量,节约成本。

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    硅片TTV厚度测试仪配件是采用红外干涉技术的测量仪,能够精确给出衬底厚度和厚度变化 (TTV),也能实时给出超薄晶圆的厚度(掩膜过程中的晶圆),非常适合晶圆的研磨、蚀刻、沉淀等应用。 硅片厚度测量仪配件采用的这种红外干涉技术具有独特优势,诸 多材料例如,Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英以及其他聚合物在红外光束下都是透明的,非常容易测量,标准的测量空间分辨率可达50微米,更小的测量点也可以做到。硅片厚度测量仪配件采用非接触式测量方法,对晶圆的厚度和表面形貌进行测量,可广泛用于:MEMS, 晶圆,电子器件,膜厚,激光打标雕刻等工序或器件的测量,专业为掩膜,划线的晶圆,粘到蓝宝石或玻璃衬底上的晶圆等各种晶圆的厚度测量而设计,同时,硅片厚度测试仪还适合50-300mm 直径的晶圆的表面形貌测量。硅片厚度测试仪配件具有探针系统配件,使用该探针系统后,硅片TTV厚度测试仪可以高精度地测量图案化晶圆,带保护膜的晶圆, 键合晶圆和带凸点晶圆(植球晶圆),wafers with patterns, wafer tapes,wafer bump or bonded wafers 。 硅片TTV厚度测试仪配件直接而精确地测量晶圆衬底厚度和厚度变化TTV,同时该硅片厚度测量仪能够测量晶圆薄膜厚度,硅膜厚度(membrane thickness) 和凸点厚度(wafer pump height).,沟槽深度 (trench depth)。
  • 雾度测量仪配件
    雾度测量仪配件能够精确测量在玻璃或硅晶圆衬底上薄膜的总透过率和漫透过率,根据公式Haze(λ)=DT(λ)/TT(λ)从而获得雾度值,测量光谱范围为400-900nm。薄膜的总透过率,总反射率,漫透过率对于太阳能光伏制造非常重要,雾度测量仪配件通过三个光谱仪测量400-900nm范围内的光谱,不需要移动或改变任何部件,保证测量精度和使用寿命。雾度测量仪配件采用模块化设计,具有高度的可拓展性,充分满足不同客户的多种需要。例如,自动光学窗口可更换,简化操作,减少用户的人工干预操作。还有厚度和反射率测量模块可集成,从而满足客户测量薄膜厚度和折射率的需求。除此之外,还可以根据用户的预算情况配备自动扫描或手动扫描的机制,可以适合任何尺寸的样品,包括面积大于1平方米的玻璃板。
  • 多功能翘曲度测量仪配件
    多功能翘曲度测量仪配件是孚光精仪公司进口的全球领先的翘曲度检测仪器,一套翘曲度测试仪器可以测量:热沉,晶圆(wafer),太阳能电池和硅片翘曲度,应力以及表面形貌。多功能翘曲度测量仪配件是特别为半导体晶圆(wafer)和太阳能电池(solar cell)的翘曲度(warp) 和弯曲度(bow)以及表面形貌(topography)的测量而设计,可以测量晶圆翘曲度(wafer warpage) 和晶圆表面形貌, 晶圆应力,硅片张力,太阳能电池量子效率,既适合科研单位使用,也适合工业客户大产品、高效率的晶圆翘曲度和表面形貌的检测的需要。 我们还根据不同晶圆类型提供如下两种硅片翘曲度测量仪: 1. 非反射型:适合晶圆表面覆盖晶圆保护膜/胶带(wafer tape),图案化晶圆 /图样化晶圆(patterned wafer),粗糙的晶圆的应用; 2. 高反射型: 适合晶圆表面光滑 / 镜反射的应用。 多功能翘曲度测量仪配件特点: × 适合不同尺寸的晶圆检测,从0.5’‘到12' ' 的直径; * 标准检测能力为: 每小时可检测2000个晶圆或更多太阳能电池; × 同时测量多个晶圆或太阳能电池; × 测量镀膜后的晶圆或solar cell * 分析太阳能电池或晶圆应力和张力; * 对晶圆表面进行图像分析; * 测量图案化晶圆或非图案化的晶圆; * 具有太阳能电池的量子效率测量选项供选择 多功能翘曲度测量仪配件参数: × 翘曲度测量范围:1-20微米; * 重复精度: 百分之0.5 (1 sigma) * 给出结果:曲率半径,晶圆弯曲高度,翘曲度,测量日期和时间; * RMS粗糙度mapping: 0.5-20A (可选项); * 光源:根据用户的应用而配备不同光源; * 探测器:高分辨率探测器阵列并配备亚像素软件;
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