在线过程质谱仪

Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c) 特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标：离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置

Prima PRO质谱仪a）工作原理：Prima PRO质谱仪是非常强大的在线分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图：质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：? 石化、化工行业l 烯烃生产l 裂解炉优化l 环氧乙烷/ 乙烯乙二醇l 聚烯烃生产l 合成氨l 煤气化l 甲醇l 醋酸l 天然气处理l 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏? 钢铁行业：l 高炉尾气分析l 转炉尾气分析l RH和VOD精炼炉尾气分析l 直接脱碳（DRI）炼铁尾气分析l 煤气回收、燃料气和混气分析? 发酵、生物制药行业：l 生物能源l 工业酶l 生物材料l 生物量l 食品添加剂l 维生素l 药物l 预防药l 疫苗l 生长激素l 单克隆抗体l 激素l 融合蛋白l 细胞活素l 抗生素l 胰岛素l 溶栓 c)特点：●分析速快，可以实现实时、高速的在线分析●分析原理简单，方便使用者和维护人员快速掌握相关的信息●能够同时分析多个组分●能够实现多达32或更多流路同时分析●采用可靠地扫描磁扇技术●无需载气和助燃气，降低运行和维护成本 ●高精度、高重复性●非常可靠（超过99%正常工作时间） ●软件功能强大 d）技术指标：Prima Pro性能指标分析原理扫描磁扇，半径150px，80度偏转角。扫描磁扇质谱具有精度高，稳定性好，可靠性高，抗污染能力强，标定及其他日常维护间隔长，并且维护工作极其简单。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/40，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，如140/85，100/45，140/45。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。平顶峰使得质谱的分析精度和抗漂移能力都有极大提高。离子源封闭型，电子轰击式，氧化釷灯丝，温度控制（可在120-200 degrees C范围内设定，精度为± 0.1 degrees C）。检测器法拉第杯电荷计数器。进样阀32路快速旋转进样阀RMS，1/4”卡套接口。RMS切换迅速，死体积极小，可以加热至120摄氏度。内置进样流量测量元件，可对低流量报警。进样类型毛细管+分子渗漏，带旁路（标准配置）标定方式手动标定接口12个，1/4”卡套，可根据应用选择更多真空系统初级真空泵：旋转机械泵高级真空泵：涡轮分子泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度线性度1%相对精度动态范围10 ppb – 100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz数字输出1个，干接点，可根据应用选择更多。通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.机箱温度控制质谱分析仪机箱侧面配有一个空调，压缩制冷方式，温度控制精度为+/- 0.5 deg C。安装方式壁挂式。仪表风300Nl/min = 18Nm3/h，压力为4-10barG，接口为1/2”。 Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c)特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标 Prima BT性能指标离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置

Thermo Scientific Prima BT致力于实验室过程实验装置或小型过程的在线监测，能够对浓度在20ppm-100%范围内的气体进行精确测量。同时，可选的微通道板倍增检测器可用于检测低于ppm级的气体浓度。Prima PRO 是一款专门用于在线分析的质谱仪，几乎可以配置在任何种类的工业环境中，并都能可靠的运行。Prima BT使用了与Prima PRO完全一样的质谱分析技术，但是它被定义应用于小型工业环境和一般环境（环境温度得到控制），并且能够提供最好的分析性能。如果您为大型的工业在线检测寻求分析仪，Prima PRO能够提供最好的应用测量品质。相对而言，如果您需要分析最多不超过15个监测点，且需要同样的性能，但是应用于您的过程开发实验室或是一般环境下的小型工业装置检测，Prima BT同样能够提供完美的分析方案。工作原理磁扇质谱仪是根据离子化的样品分子（离子）和磁场之间的相互作用，实现了对组成样品的各个独立质量组份的分离和测量。在离子化腔，离子由一束具有一定能量的电子与中性气态样气分子相互作用而形成。新生成的离子立即被电场加速，使其向着垂直于磁场方向运动。每一个带电粒子在磁场内受到一个横向力，该力的大小正比于磁场的强度、粒子的速度和它所携带的电荷大小。根据磁场强度预设值来确定选择需要分析的离子，每一个适合的离子被依次选中后通过前方的接收狭峰到达检测器。在这里，检测器测量到的信号正比于被选中的样气分子的浓度。通过测量这些预先定了的离子数量，一个完整组份分析得以呈现。样品导入Prima BT采用著名的快速多流路进样器（RMS）将样气导入分析仪。这种高可靠性的设备能够实现样气流路的切换同时不影响分析仪内部样气的品质。RMS具有长期的优良使用记录，其坚如磐石的可靠性，每年执行多达六百万次的流路切换，而只需很少甚至根本不需要维护的能力已经被实践检验过。它确保Prima BT能够监测多达15个流路。步进电机驱动的快速多流路进样器在一定的时间依次切换至每个流路，将样品导入质谱仪并且记录每一个流路的流量。该快速多流路进样器能够被加热到80℃，它能够确保对诸如甲醇、乙醇和氨等极性分子的快速响应。注意：由于RMS不是旋转阀，而是一个样品连续流动的进样选择器，因此，我们必须为标气设置控制阀，它们位于快速多流路进样器的下方。Prima BT的进样流量通常为大气压下0.1-1升/分钟， 标准的流量为0.2升/分钟，该流量值可以通过转子流量计来调节。所需要的样品压力与排放总管有关，该压力应能确保一定流量的样气通过快速多流路进样器（RMS）,并克服 RMS 管路内径和长度相关的管道压降，通常该值小于100毫巴(1.5psi)。当样品进样量为0.1升/分钟时，RMS压降为1.5毫巴(0.2psi)。RMS管道产生的压降可以用下面的公式表示：C = 0.006D4P/L， 这里 C是样品的流速，单位升/分钟；D是样品管道的内径 单位毫米；P是样品管道内的压降，单位毫巴；L是样品管道的长度，单位米； 例如： D = 3 毫米 L = 10 米,当流量为0.2 升/分钟,差压 P 为4 毫巴。 分析仪控制架构分析仪的控制架构由高度集成的电路板与内部链接网线组成。基于RS-485通讯标准，它提供了安全、准确的控制和分析仪所有功能的监测，并且允许不需要切断整个分析仪的电源，就可以更换单独的系统模块。VGiNet是Prima PRO内部的网络通讯协议，它具备分布式控制引擎的协助能力。该内部协议增强了内外部通讯的速度和安全性。最先进的即插即用的电子部件、卓越的分析功能和工业级标准的通讯工具的集合，提供了灵活的平台，能够适用于非常宽泛的气体分析应用。计算机控制作为控制电路核心的是基于Freescale的控制器，它通过快速逻辑运行工业级实时操作系统（RTOS）。拥有超过十亿的应用，RTOS被证明是最可靠的。该控制器是赛默飞世尔科技设计的，拥有数以万计的使用量和牢靠的可靠性记录。处理器的母板是专为Prima BT而特殊设计的，它提供了一系列灵活的通讯选项。三个串口中的一个被保留与远程安装有GasWorks的PC进行通讯，该PC用于分析仪组态和数据显示（当需要时）。处理器的独立设计确保了当PC被锁定或崩溃时不会对分析仪的性能产生冲击，该分析仪的数据通过其他两个串口直接传输至LIMS，DCS，SCAD， PLC总线或上位主机。这些接口可以单独按照各种通讯协议配置。这些协议包括标准的配置Modbus和OPC。该模板同时提供15针的插头，用于连接一定数量的数字输入和输出信号，该信号可根据多种不同应用被组态。历史数据存贮分析仪本地的历史数据存贮器首先用于记录分析仪整个生命周期内的诊断信息。这里被采集的数据被设计成用以提供系统全面的健康状况。它为维护工程师提供了识别导致故障发生根本原因的最大可能性。如果需要，该存储器也可以用于分析数据的存储。系统维护标准的服务组件。这是一个可选项。一旦客户购买，可以随Prima BT一起运输。该组件包括了完成固定维护的所有的部件和工具。该组件能够最大限度方便客户，简化维护步骤。例如：客户如今仅需简单的更换整个离子源，而不是更换灯丝或是清洗离子源,经过测试的部件完全可以替代。对于真空计也是一样，不需要拆解清洗真空计，使用服务组件中的备件方便的替换该真空计。一旦服务结束，简单的将替换下来的部件寄给最近的服务中心做清洗。由于精心设计，“百宝箱”将服务间隔扩展至3年。仅有的必要性预防维护是对处于机箱外部的二级真空泵的固定维护。该维护间隔与具体的应用有关，而维护步骤仅需要花费很少的几分钟。世界级的服务与支持我们提供的服务和支持确保了仪表运行的优化，并能减小其停运的时间。由于每个客户和每个仪表的需求不同，我们将根据他们独特的需求提供与之一致的服务服务合同备件技术支持现场安装与服务产品培训技术规格表离子源封闭型，电子轰击式，双灯丝，温度控制（可在120-200。C范围内设定，精度为±0.1。C）。分析原理层叠式扫描磁扇，半径6cm，80度偏转角。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu（标准）；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/20，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，140/81(0.36mm/0.69mm),100/45(0.56mm/1.45mm),140/45(0.36mm/1.45mm)。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。丰度灵敏度250ppm, 27/28检测器法拉第检测器。可选法拉第检测器/微通道板倍增检测器进样类型带分子渗漏和旁路（标准配置)的毛细管真空系统涡轮分子泵和外部旋转机械泵，可选涡轮分子泵和内部膜片泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度（典型值，根据实际应用）线性度1%相对精度，浓度变化超过10%动态范围10 ppb–100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%相对值，超过一周，（典型值，根据实际应用）

Mars-550过程质谱仪是聚光科技结合多年过程分析和环境检测仪表，运用国际先进的质谱分析技术，开发出高性能的Mars-550过程气体质谱分析仪。仪器具有高品质的四极杆质量分析器和针对过程气体检测的专用分析软件，可实时对过程气体提供多流路、多组分分析。具有测量精度高、响应速度快和可靠性高等特点，能适应多种复杂、恶劣的应用环境。　　2012年获得科学仪器优秀新产品称号　　2014年获得中国仪器仪表行业协会自主创新金奖 产品特点 　　质量分析器快速扫描技术，单组分分析时间小于1s； 　　可对质量数小于300amu的任意气体组分进行分析； 　　采用高精度四极杆质量分析器，检测下限达到ppb量级； 　　全自动流路控制，电磁阀/多位阀切换，多流路监测； 　　配置法拉第杯和电子倍增管双检测器，高低量程自动切换； 　　定期灵敏度自动校准，双灯丝设计及过流保护，离子源惰性化抗污染设计，确保仪器长期可靠运行； 　　样品前处理、多路进样、质量分析和电路控制均采用模块化设计，安装简便，维护简单； 　　内置工控机模块，实现现场操作和显示功能； 　　功能强大的过程质谱专用软件，具备谱图显示、自动标定、数据处理、仪器调谐和方法开发等多种功能； 　　支持一键化启动功能，用户操作简便。

Thermo Scientific Prima PRO和Sentinel PRO：开启质谱新时代依托超过 30年在线质谱仪的成功研发应用经验，新一代 Thermo Scientific Prima PRO和Sentinel PRO在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括： 天然气处理 烯烃生产 裂解炉优化 环氧乙烷 /乙二醇 聚烯烃生产 合成氨 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏 凭借着经实践证明的更快、更全面的在线气体成分分析能力，Prima PRO可以对多流路气体进行精确分析，进而提高产量。它维护量少、易于操作并且可提供可靠、实时的数据到 DCS系统，从而确保投资回报率。基于和Prima PRO相同的操作平台， Sentinel PRO环境质谱仪以其众多同样的优势，被设计用于满足微量泄漏环境监测的需要。半连续监测 60-120个取样点及高灵敏度的检测能力，确保可靠的泄漏检测，从而提高生产装置的安全性和生产制度的规范性。此外，单台 Sentinel PRO或 Prima PRO可以轻松取代多台气相色谱仪（GC），减少取样时间，简化维护程序，更重要的是降低整体投资成本。操作原理Prima PRO、Sentinel PRO进行稳定、快速气体分析首选技术的基础是扫描磁扇质谱技术。利用这种技术，气体可以通过一个多流路进样阀源源不断的从取样系统到达离子源，在这里，气体分子被离子化和碎片化。离子被高能电场加速后进入电磁质量分析器，目标离子进入检测器。分子碎片能够产生重复性极好的“指纹”谱图，这可以让具有相似分子量的气体被精确测量而不受干扰。内置控制器使用一系列的工业标准协议，将气体浓度数据和其他诸如热值和碳平衡的计算数据直接传送到过程控制系统。耐用性和容错性设计在显著降低维护要求的同时，可以保证 99.7%以上的投用率。新型号带来更高的投资回报率 快速在线气体分析（每个取样点 1至20秒），准确反映工艺 动态 全组分气体分析，提供更多的数据给先进过程控制系统（APC)高稳定性，90天的标定间隔(自动) 可靠，容错设计，确保投用率超过99.7% 占地面积小 最少的维护量需求，降低运营成本天然气加工原料气可能来源于附近的气田或其他加工过程（如炼油厂的尾气），以及油田收集的伴生气。因此，气体工厂来料的体积和成份会有很大的差别。通常天然气含有 85%的甲烷和数量不定的天然气凝液（ NGL），包括液化乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、戊烷和更重烃（C5+）、惰性气体（典型的是氮和氦），和硫化氢（H2S）、二氧化碳（CO2）等酸性气体。酸性气体通过采用膜分离技术或氨水溶液进行脱除。硫是通过硫装置（或 Claus装置），采用加热和催化两步法将硫化氢中的硫还原为单质硫。对于剩余气体（通常称之为尾气），要对其残留的硫化氢进行处理，随后焚烧。气体工厂在把原气分馏为残留气体、乙烷、丙烷、丁烷和天然汽油产品前要去除水蒸汽、微量的汞和氮气。分馏系统的各阶段依靠馏份的沸点差来分馏各个烷烃。Prima PRO：快速、精确的气体成分分析利用Prima PRO，可对加工气体的成分进行快速、高精度的在线分析。分析包括全面和精确的成分分析以及热值（粗热值和净热值）、密度、比重、华比指数、化学需气量和燃烧需气量指数（CARI）的计算。燃烧需气量用于加工厂燃烧气体时对燃烧的控制。Prima PRO还能为控制气体加工阶段的物料平衡方程提供精确的气体组成数据。Prima PRO还有下列优点： 减少能源消耗（燃气和电能） 提高液化产品的回收 精确测量产品的能值 减少向环境中的排放烯烃生产典型的烯烃厂有两个基本工段：裂解炉和分馏系统。烯烃裂解炉或热解炉将饱和烃裂解成较小的不饱和烃。生产较轻的烯烃，包括乙烯、丙烯和丁烯所用的主要工业方法是蒸汽裂解法。在这一过程中，用蒸汽稀释气态或液态的烃原料（即石脑油、液化石油气、氢裂粗柴油或简单乙烷和丙烷混合物），并在裂解炉内短时加热。典型的反应温度很高（约为 850℃），反应时间限制在一秒钟内。在现代的裂解炉中，驻留时间缩短到毫秒级，产生超音速气流，从而提高所需产品的产量。当达到裂解温度以后，气体在传输线热交换器中急速骤冷以停止反应。反应时的产量取决于进料的成份、烃与蒸汽的比例、裂解温度和炉内驻留时间。轻烃物料，包括乙烷、液化石油气或轻石脑油，产生的产品富含轻烯烃，包括乙烯、丙烯和丁二烯。石脑油和炼油厂液态原料不仅可生产出这些轻质烯烃的一部分，还能生产出富含芳香烃产品，适于高温热解汽油或燃油。较高的裂解度，有利于乙烯和苯的生成，而较低的裂解度则生产较多数量的丙烯、C4烃和液态产品。这一过程也会导致焦炭慢慢沉积在炉管或裂解盘管壁上。由于炭层会限制热传导和增加压降，因此反应器的效率会降低。设计反应条件时应使焦炭沉积的速率减小到最低。采用动力学模型预测焦炭层的厚度，以保证依赖炉温的裂解效果能被预测。蒸汽裂解炉通常只能运行几个月，就需从裂解线上分离出来除炭。蒸汽或蒸汽 /空气混合气通过裂解炉盘管，可以使硬质固体的炭层转化为一氧化碳和二氧化碳。当这一反应完成后，裂解炉就可重新使用。另一种方法是离线的低温机械式清除法，用低温碱性清洗剂去除盘管上的沉积炭是有效的。不管用何种方法，在除炭过程中每一台炉要至少停炉27小时。以下的内容介绍了如何利用Prima PRO使裂解炉的使用得以优化。裂解炉优化的基本原理在任何给定时刻，产量取决于许多因素，包括原料成份、稀释蒸汽流量、烃流量、盘管温度分布（即炉子燃烧率和燃料能量）、炉子抽力和盘管焦炭成份。模型预测控制（MPC）利用多种测量参数，如盘管出口温度和进料率等来预测上述因素。这样，温度和驻留时间可以优化，在使焦炭沉积率最小的同时，实现烯烃的最高产量。虽然众多过程变量的关系是复杂的，但如果裂解度太低，乙烯产量将会很低。如果裂解度太高，则积炭率也会高，产量的减少也将是不可接受的。裂解度技术比较当动力学模型没有成份反馈时，实际的裂解度如何随时间变化。在这种情况下，一台气体裂解装置通常有62%的乙烯产率。使用在线气相色谱仪（GC）测量实际裂解度指数的益处（如丙烯/乙烯比和丙烯/甲烷比）。采用这种六分钟间隔的定时测量，就能通过提高裂解度的设定值来强化对裂解度的控制。这种升级一般能使气体裂解装置的产量提高 5%。这就是为什么世界上多数乙烯装置将气相色谱仪用于过程控制的原因。图4c说明了在一个更现代化的装置上用 Prima PRO取代气相色谱仪所带来的更强的控制。由于Prima PRO快速分析，可以用一台在线质谱仪（MS）取代 5台气相色谱仪，并把取样间隔从6分钟缩减到2分钟，从而得到另外 2%的增产。应注意到，由于在这个动力特性很强的过程中速度是很重要的，气相色谱分析将限定在 C1到C3分析。它能满足对于实际裂解度指数的测量，但不能提供足够的数据使动力学模型能精确地预测由于重烃的凝结和聚合作用所产生的焦炭沉积率。因此，在一般的装置中，对于速度很低的 C1烃到C4烃的扩展分析要用附加的气相色谱仪，以提供动力学模型所需数据。对于液态物料裂解炉，这种分析还要进一步扩展到 C5烃，以计算动力裂解因子（KSF），这一因子用于根据市场条件优化特种烯烃的生产。通常会将附 加的扩展分析色谱仪多路配置，使每一台气相色谱仪能监测 4到5台炉。然而，使用一台Prima PRO就能监测炉内裂解产物而无需额外的装置。Prima PRO的扩展分析还能提供对重烃进行监测的附加功能，重烃通常被 Thermo Scientific PyGas自清洗取样器所去除。这一数据能预测当样品处理系统发生故障时的维护能力，从而保证更可靠的运行。裂解度控制成本/效益分析Prima PRO解决方案一台配置了60个取样口和24个标定口的Prima PRO 在线质谱仪。如图7所示，一对有类似配置的冗余质谱仪系统可以取代15个气相色谱仪，这能节省约33%的成本，并具有更先进的分析性能。另外，两台Prima PRO可安装在相对便宜的分析小屋中，大约是气相色谱仪的分析小屋成本的25%。维护成本也只有气相色谱仪方案成本的20%左右。虽然Prima PRO的标定气体消耗要高一些，但与气相色谱仪的购置成本和维护费用相比，其费用是极低的。另外，Prima PRO不需要助燃气或载气，这是一种更经济的解决方案。气相色谱仪解决方案气相色谱仪的典型配置，用10台气相色谱仪控制裂解度，5台气相色谱仪提供所需数据用于APC动力模型分析。此方案的成本约100万美元；另外，在所有季节中都要进行维护。有些气相色谱仪能够完全补偿气候的影响，装在室外无需庞大、昂贵的分析小屋，而大多数则不能。一个预制的分析小屋包括全套的样品预处理系统、通讯设施及其他必要的公用工程，分析小屋在为维护人员提供良好工作环境的同时，大的分析小屋也带来了更高的制造成本。如果有很多气相色谱仪需要维护，总拥有成本就会很高：每年每台气相色谱仪大约要7000美元的维护费，这还不包括载气、助燃气和标定气体的消耗等费用。环氧乙烷 /乙二醇环氧乙烷（EO）是通过氧化银催化剂直接氧化乙烯而成的。由于环氧乙烷分子活性极强，因此生产通常与容易运输的乙二醇生产结合在一起。先对乙烯、压缩氧气和循环气预热，然后将这些气体注入装有氧化银催化剂环管反应器中的一个。由于生产中的目标分子不是二氧化碳和水，所以可通过氯化合物添加剂来改进选择性。催化剂的活性随时间而降低，要求逐步提高反应温度。为了增强反应器的燃烧率，要加入甲烷。 Prima PRO：最佳气体分析解决方案 Prima PRO能利用精确测量选择性和测量碳氧分子平衡实现气体分析过程的最优化。采集的数据经常用于控制氯添加剂。Prima PRO也能用于催化剂的开发研究，其目的是在高活化率的条件下增加催化效率。聚烯烃生产聚乙烯（PE）主要按其密度和支链分为几种不同的类别。聚乙烯的物理性能主要取决于几个变量，包括支链的长度和类型，晶体结构和分子量。高密度聚乙烯（HDPE）的支链少，因此具有较强内部分子力和抗拉强度。选择适当的催化剂和反应条件可以减少支链。线性低密度聚乙烯（LLDPE）是一种有大量短支链的聚合物，通常由乙烯与短链α烯烃（如：1-丁烯、1-己烯和1-辛烯）发生共聚作用形成。可利用一个或两个流化床气相反应器的交换工艺来制造全范围聚合物。这些聚合反应器的进料为乙烯、氢气、共聚单体和循环气。聚合物的质量是通过气体组份来控制的，这就需要准确、快速在线分析Prima PRO：精确，快速和多流路监测实验期间生成的数据。其中将专为监测五个工艺流路而配置的Prima PRO与专为监测反应器进料气体组分而整理的GC数据进行比较。Prima PRO清楚追踪了氢气/乙烯比的变化，精度高于GC。此外，Prima PRO更新DCS的速度要比单流路GC快九倍，即便Prima PRO测量五个流路亦是如此。在前四十个PMS数据点中，DCS试图利用GC数据来控制这个比率。当控制切换至Prima PRO数据时，此比率变化的监测得到显著改进，包括： 产品质量更稳定 分子量分布更集中 不合格产品更少 稳态动力学有所改进合成氨从烃进料中除去硫，然后与蒸汽混合通过镍基催化剂，生成氢气和一氧化碳。通过将蒸汽 /碳比维持在 3:1以上，将单质碳的形成减至最低限度，从而保护催化剂。未反应的甲烷（称作“损耗”）亦需控制在较低水平，以便优化转化炉 /变换炉的性能。在次级重整 /裂化装置中，空气在流量控制条件下引入，使氢 /氮比为 3:1。空气中的氧气可将大部分 CO氧化成 CO2，同时加入蒸汽，以便将剩余的 CO转化为CO2和氢气。在吸收塔中除去大部分CO2，微量的碳在催化剂作用下转化成甲烷。转炉进料气与循环气混合，转炉入口处的氢 /氮比（H:N）再次受到严格控制，以实现NH3转化效率的最大化。进气中所包含的惰性气体（如：氩气和氦气）的聚集情况需要予以监测，因为这些气体如果不定期清除的话，会成为重要的稀释剂。Prima PRO：稳定，可靠的在线气体分析 进气组分和热值计算精度最高；因严格控制蒸气/碳比（±0.01%）而减少消耗掉的能量 精确控制氢 /氮比（±0.003%），使产量最大准确测量甲烷损耗，以降低生产成本与较慢的色谱或稳定性较差的质谱控制作用相比，高取样率（在不到两分钟内10至12流路）可使产量提高1%至2%总成本极低 快速收回成本 有毒挥发性有机物（VOC）的泄漏只要化学品生产装置存在，就存在有毒挥发性有机物泄漏的潜在危险，监管机构通常都会要求工厂监测环境气体成分，以避免工人受到长期接触的伤害。有各种形式的捕获装置包括真空罐（苏玛罐）、可挥发性有机物报警器或吹扫和捕获装置。收集到的样品需要送往环境实验室进行分析。另外，还可利用电化学传感器来即时显示是否存在浓度超过预定水平的目标分子。还有一种定量方法是使用开路式傅利叶变换红外光谱仪测定VOC是否在警戒线以内。利用这些不同技术获得的数据，通常都用来满足当地法规的要求。然而，这些技术都不能提供满足诉讼依据要求的时间和空间的分辩率。Sentinel PRO环境质谱仪：简单全面的数据采集Sentinel PRO环境质谱仪能够在15分钟以内监测100个以上的取样点，并在0.01至1ppm精度范围内检测特定物质。凭借其速度和精度，它可监测所有关键区域的短时泄漏，并提供准确的8小时、时间加权平均泄露数据。由于具有大量可用的取样点，许多取样点可位于靠近潜在泄漏点的地方，如：阀杆处等，以便在有毒危害发生之前进行泄漏检测和修复。尽管安装这种装置的主要目的是为了保护操作人员和符合环保法规，但其使用效果往往超越了对泄露防护的要求。

谱育科技自主研发的TRACE 8000 化学电离飞行时间质谱仪，将高灵敏度化学电离源和高分辨飞行时间质量分析器进行结合，具有灵敏度高、分析速度快、分辨率高、测量组分种类多等突出优点；仪器具有创新的辉光放电源、高压离子漏斗和静电透镜传输技术，保证样品的电离效率和离子的传输效率，适用于走航监测、食品科学、材料分析、爆炸物和药物检测等方面的应用。产品概述性能优势分析速度快微秒级的扫描速度，可捕捉目标物质的瞬时变化，为科学研究、应急监测、生产过程的高通量监测提供有效手段。分辨率高可实现复杂混合物样品中分子量相近物质的分析识别，解决传统低分辨直接进样质谱分析定性难的问题，将“看不见”变成“看得见”，追溯物质本源。多试剂离子可选配合试剂离子快速切换系统，根据目标物质的化学特性，可选择H3O+、O2+、NO+等多种不同电离能的试剂离子进行靶向电离，适测物质涵盖醛、酮、有机硫、有机胺、卤代烃、苯系物、长短链烃类等，是优选的快速检测技术。 应用领域TRACE 8000 化学电离飞行时间质谱仪适用于走航监测和园区VOCs在线监测，可实现VOCs精准溯源及扩散预警。可对半导体生产过程中的AMC、食品生产的风味物质进行实时监控；石油化工生产过程中移动测量、定点在线监测；材料中有害成分的快速鉴定分析；人呼出气体的宽动态范围内的追踪分析。

金铠仪器PIMS为自主研发，拥有多项发明授权专利技术的在线飞行时间质谱仪，可用于获取反应过程中不同产物及中间体的化学组成和浓度信息的原位、实时、在线检测装置，可与催化反应装置，化学吸附仪器，热分析仪器，红外/拉曼等光谱仪器联用，可广泛应用于催化，制药，半导体，石油石化，环境等领域。 仪器基于真空紫外光电离-飞行时间质谱检测技术，具有分辨率和灵敏度高、分析时间短、碎片离子少，易于谱图识别和快速定性、定量分析的优点，适合于气相和液相产物的原位、在线定性和定量分析，可用于化学、化工、材料、生物化工等学科中的化学催化、有机合成、生物发酵等过程的研究，并可为科学家量身定做产品的解决方案。 应用举例为了评估几种MOFs材料实际的气体分离性能，对CH4/N2在其上的动态吸附行为进行了研究，通过考察不同压力和温度条件下穿透曲线来分析它们对CH4和N2的吸附分离特性，为CH4/N2的PSA分离提供基础数据和理论依据。应用领域 工业过程实时在线监测 &bull 催化反应产物原位快速分析&bull MOFs材料性能分析&bull 危化品及燃烧产物快速检测 &bull 环境VOCs快速现场检测 &bull 污染源排放跟踪价等。

产品简介Prima Pro过程质谱仪Thermo Scientific Prima PRO过程质谱仪：开启质谱新时代依托超过30年的在线质谱仪的成功研发应用经验，Prima PRO过程质谱仪在线分析技术为生物发酵工艺每个过程提供宝贵信息。从设计到批量生产，新一代的气体分析仪为生物工程带来便利且简化人的工作：● 在接种前对污染物快速检测● 优化种子罐接种转移过程● 监测生物代谢活动● 为状态方程提供输出，对以下参数进行实施估计（无需抽取样本）－ 活细胞团－ 葡萄糖消耗速率－ 培养基浓度－ 酒精产率－ 产物抑制● 为神经网络的训练和混合模型提供数据● 为满足环境要求，识别和定量除去特定物质● 监测kLa的变化，以控制：－ 搅拌速率RPM－ 吹气－ 吹氧浓度● 监测并量化氧溶解探测器的漂移● 监测代谢活动指示－ 甲醇－ 乙醇－ 丙酮－ 氨鉴别新的可用于指示特定代谢活动的分子生物最好之处在于，Prima PRO过程质谱仪使得所有工艺不影响灭菌操作。它可显著提高产量，单台分析仪可同时监测多达60个发酵罐和生物反应器在线实时监测可以达到的目的:初始状态是否有污染批次的生理学状态生长动力学基质消耗加养率需求优化从生物投料到终结的时间产品构成结束点的确定Prima PRO在线质谱仪是基于强大且灵活的扫描磁扇质谱技术的气体分析仪。设计这一平台旨在获得具有高可靠性和最小维护需求的卓越分析性能。新型号带来更高的投资回报率。特点：l 显著改善的分析仪控制，可提供更大的灵敏度、精确度、准确度和质量范围l 完全重新设计的电子元件，整合了更高规格的组件l 快速的在线过程气体分析（每个点 1 至 20 秒）可准确跟踪过程动态l 综合测量可为先进过程控制 (APC) 模型提供更多数据l 高稳定性，30 至 90 天的自动校准间隔l 可靠、容错设计使得投用率高于99.7%l 可从系统前端完成全部维修工作，有效占地面积更小l 仅需要分析小屋很小的空间，占地面积小l 最低的维护要求l 与 DCS 系统以及离线数据处理包的连接性增强l Thermo Scientific™ GasWorks 软件

金铠仪器PIMS为自主研发，拥有多项发明授权专利技术的在线飞行时间质谱仪，可用于获取反应过程中不同产物及中间体的化学组成和浓度信息的原位、实时、在线检测装置，可与催化反应装置，化学吸附仪器，热分析仪器，红外/拉曼等光谱仪器联用，可广泛应用于催化，制药，半导体，石油石化，环境等领域。 仪器基于真空紫外光电离-飞行时间质谱检测技术，具有分辨率和灵敏度高、分析时间短、碎片离子少，易于谱图识别和快速定性、定量分析的优点，适合于气相和液相产物的原位、在线定性和定量分析，可用于化学、化工、材料、生物化工等学科中的化学催化、有机合成、生物发酵等过程的研究，并可为科学家量身定做产品的解决方案。 应用举例为了评估几种MOFs材料实际的气体分离性能，对CH4/N2在其上的动态吸附行为进行了研究，通过考察不同压力和温度条件下穿透曲线来分析它们对CH4和N2的吸附分离特性，为CH4/N2的PSA分离提供基础数据和理论依据。应用领域 工业过程实时在线监测 &bull 催化反应产物原位快速分析&bull MOFs材料性能分析&bull 危化品及燃烧产物快速检测 &bull 环境VOCs快速现场检测 &bull 污染源排放跟踪价等。

价格货期电议Atonarp 适用于半导体过程控制在线质谱仪 Aston&trade 上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston&trade , 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工具上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!Aston&trade 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成Aston&trade 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.Atonarp Aston&trade 技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵 隔膜泵 分子泵分子泵 隔膜泵分子泵分子泵 隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)Atonarp Aston&trade 应用: 半导体工艺过程控制和优化的重大发展, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率Aston&trade 是一款全新设计坚固耐用的紧凑型在线质谱仪, 适用于半导体制造和工业过程控制应用中气体监测和控制, 高定量精度和实时性与生产稳健性和可靠性相结合, 例如半导体 dry pump 尾气侦测分析, 实现在线监控,诊断.CVD / ALD: 氧化物-氮化物过渡及成分分析Etch/ALE End Point :0.3% Chamber Matching:识别跟踪分子 若您需要进一步的了解 Atonarp Aston&trade 在线质谱仪详细信息或讨论, 请联络上海伯东罗女士。上海伯东版权所有, 翻拷必究！

Protea公司是一家专注于傅里叶红外气体分析仪和四极杆质谱仪等高端分析仪器研发、生产、销售为一体的高科技公司，总部位于英国伦敦。ProMass系列质谱仪是结构紧凑、坚固的四极杆质谱（QMS）仪，融合了所有的质谱和真空泵技术。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。【产品描述】ProMass分析仪是一款结构紧凑、设计坚固的半便携式四极杆质谱（QMS）仪器，融合了所有的质谱仪和真空泵技术。ProMass可提供便携式手提箱或6U 19″ 机架模块，用于在线过程测量。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。质谱仪通过收集和分析测量样品中分子的质荷比，我们可以根据质谱信息识别和量化存在的分子。ProMass分析仪中的 QMS 包含一个由4个平行圆棒组成的质量过滤器，因此称为四极杆。它具有0-100amu、0-200amu或0-300amu的可变质量范围，适用于便携式或固定式安装。【典型应用】l 半导体生产过程；l 环境空气监测；l 泄漏测试；l 食品行业质量测试；l 氢(H2)燃料分析 l 制氢工艺；l 环境空气监测 l BTEX 量化 l 乙烯和环氧乙烷生产 l 呼吸分析；l 天然气混合及大量天然气生产。 【特 点】l 根据不同的具体应用预置质谱库，单台仪器可以测量几乎所有气体，应用领域十分广泛；l 毛细管直接进样，测量气体简便快捷，无需复杂的制样设备和繁琐的制样过程，即可实现单独测量；l 快速测量，毫秒级响应速度；l 法拉第杯和二次电子倍增器联用，既可快速扫描，又可以精确测量；l 强大的PC端专业质谱分析软件；l 简单易用，无需精通质谱专业知识，即可上手测量。

Prima PRO质谱仪a）工作原理：Prima PRO质谱仪是非常强大的在线分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图：质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：? 石化、化工行业l 烯烃生产l 裂解炉优化l 环氧乙烷/ 乙烯乙二醇l 聚烯烃生产l 合成氨l 煤气化l 甲醇l 醋酸l 天然气处理l 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏? 钢铁行业：l 高炉尾气分析l 转炉尾气分析l RH和VOD精炼炉尾气分析l 直接脱碳（DRI）炼铁尾气分析l 煤气回收、燃料气和混气分析? 发酵、生物制药行业：l 生物能源l 工业酶l 生物材料l 生物量l 食品添加剂l 维生素l 药物l 预防药l 疫苗l 生长激素l 单克隆抗体l 激素l 融合蛋白l 细胞活素l 抗生素l 胰岛素l 溶栓 c)特点：●分析速快，可以实现实时、高速的在线分析●分析原理简单，方便使用者和维护人员快速掌握相关的信息●能够同时分析多个组分●能够实现多达32或更多流路同时分析●采用可靠地扫描磁扇技术●无需载气和助燃气，降低运行和维护成本 ●高精度、高重复性●非常可靠（超过99%正常工作时间） ●软件功能强大 d）技术指标：Prima Pro性能指标分析原理扫描磁扇，半径150px，80度偏转角。扫描磁扇质谱具有精度高，稳定性好，可靠性高，抗污染能力强，标定及其他日常维护间隔长，并且维护工作极其简单。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/40，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，如140/85，100/45，140/45。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。平顶峰使得质谱的分析精度和抗漂移能力都有极大提高。离子源封闭型，电子轰击式，氧化釷灯丝，温度控制（可在120-200 degrees C范围内设定，精度为± 0.1 degrees C）。检测器法拉第杯电荷计数器。进样阀32路快速旋转进样阀RMS，1/4”卡套接口。RMS切换迅速，死体积极小，可以加热至120摄氏度。内置进样流量测量元件，可对低流量报警。进样类型毛细管+分子渗漏，带旁路（标准配置）标定方式手动标定接口12个，1/4”卡套，可根据应用选择更多真空系统初级真空泵：旋转机械泵高级真空泵：涡轮分子泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度线性度1%相对精度动态范围10 ppb – 100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz数字输出1个，干接点，可根据应用选择更多。通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.机箱温度控制质谱分析仪机箱侧面配有一个空调，压缩制冷方式，温度控制精度为+/- 0.5 deg C。安装方式壁挂式。仪表风300Nl/min = 18Nm3/h，压力为4-10barG，接口为1/2”。 Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c)特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标 Prima BT性能指标离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置

在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪产品描述电离部分采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究随时间演化的动力学过程提供支持。在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪基本性能检测范围1-500 amu检测限0.1ppm质量分辨率 3000@(m/z=92)自动数据采集及分析程序温度调节范围25 ~ 1200 °C，压力调节范围1 Torr ~0.5 MPa在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪产品特点可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱接口及操作软件 红外接口及操作软件热重接口及操作软件在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室 气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测 卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁)聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成 质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪产品描述电离部分采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究随时间演化的动力学过程提供支持。在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪基本性能检测范围1-500 amu检测限0.1ppm质量分辨率 3000@(m/z=92)自动数据采集及分析程序温度调节范围25 ~ 1200 °C，压力调节范围1 Torr ~0.5 MPa在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪产品特点可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱接口及操作软件 红外接口及操作软件热重接口及操作软件在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室 气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测 卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁)聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成 质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

SHP8400PMS-L 在线质谱仪进样系统有单通道实时分流进样（1.6秒一组数据）和16通道进样可选；离子源采用经典的电子轰击离子源（EI），并配备双灯丝，一个工作，一个备用，可自动切换和校准，减少了停机维护；质量分析器配备成熟稳定、扫描速度快的四级杆质量分析器，满足复杂组分的分离要求；针对不同检测组分浓度，我们提供了法拉第检测器（ppm级）和电子倍增检测器（ppb级）两种选择，整个仪器性能和数据处理系统能满足不同的客户需求。 仪器性能分析速度快，灵敏度高，稳定性好，分析精度准是选择在线质谱仪的主要考虑因素，SHP8400PMS-L在这四个方面性能优越：●分析速度——快1.6s分析一组数据；分析的组分不受限制，分析时间可根据分析过程要求而设置；●灵敏度——法拉第检测器：100%~10ppm；电子倍增器检测器：100%~10ppb；●稳定性——仪器30天连续运行RSD≤0.5%，基于空气中1%Ar ；●分析精度——RSD≤0.25%，基于空气中1%Ar ；除了以上四方面的卓越性能，SHP8400PMS-L还可提供16通道采样系统，满足多个反应器同时分析的需求：●每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰●连续流动式取样，保证气体的实时更新●可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝●软件设置在线清洗程序，保证分析精度仪器应用范围●催化材料表征，TP D /TP R /TP O /TG 等●催化剂快速筛选●反应动力学研究●反应器系统评价●气体纯度分析●其他逸出气体分析仪器测试气体种类●H2 、N2 、O2 、NH3 、CO 、CO2 、H2O 等无机气体●C H4 、CH3OH 、C2H5OH 、C2H4 、C6H6 等有机气体●SO2 等硫化物仪器组成SHP8400PMS-L在线质谱仪由进样系统、离子源、质量分析器、检测器和真空系统组成。进样系统●多通道旋转阀及多位微电动驱动器，配合高精度流体控制系统，保证稳定、定量的多通道采样。●进样管道温度可控，能有效防止过程气体在采样过程中冷凝。离子源●采用电子轰击离子源（EI），具有通用性好、离子化效率高等特点。●抗氧化材质、双灯丝设计及过压保护，确保仪器长期稳定运行。质量分析器●选取常用的四极杆质量分析器，结构简单、体积小；灵敏度高，分析速度快，几乎无滞后效应。检测器●法拉第检测器：不存在固有噪声，无质量歧视效应，使用寿命长。●电子倍增检测器：可以提高仪器的检测灵敏度。真空系统●涡轮分子泵和膜片泵的两级真空组合，无需提供真空泵油和分子泵油芯，从根本上摒除了油泵对真空系统可能造成的干扰，减少了真空系统的维护 全中文在线质谱工作站软件●采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。●多个窗口同时显示、报告数据，支持多路不同样品同时在线检测。●标准化及开放式的数据格式，可与其他数据分析处理系统连接。数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，数据发布采用DDE、OPC 方式。●用户化输入信号处理：质谱分析数据可与外部信号连接，便于用户进行反应条件相关性分析，减少后期数据处理出错几率，提高工作效率。●软件设计引入“方法”和“任务”概念，实现全自动化的仪器控制和分析过程。分析过程全部参数化，通过方法统一管理。包括定时启动、条件启动、循环测试、样品数控制、时间控制等在内的控制，通过自动任务统一管理。●实时输出离子流强度同时支持在线计算百分比浓度。

HPR20 QIC TMS瞬变过程气体分析质谱仪是为在常压附近快速反应的气体分析而设计的系统。配置0.9m长度的石英毛细进样管，是理想的气体瞬变过程分析质谱仪。0.9m长的高效、柔韧、加热(直到200℃)石英惰性毛细管（QIC) APSI-MS 软离子化技术，选择性分析复杂气体和蒸汽 多离子源选择和快速响应的优化泵结构 脉冲离子记数器，可检测连续7个数量级的动态范围 ppm,%定量分析方法 提供两组外部参数显示信号；可选配16组 扩展余地宽 质量数范围： 1～50、100、200 、300、500、1000amu 响应速度： ＜150ms，200毫秒内对于5个数量级气体组成变化做出反映 扫描速度： 100amu/s 取样压力： 100mbar～2bar 标准配置 1mbar～30bar 选配 检测浓度： 5ppb～100% 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 测量速度： 500点/秒

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱仪应用于半导体光刻技术 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量EUV 极紫外光刻技术越来越多地用于支持 10nm 工艺技术的关键尺寸图案形成. 管理这些价值超过 2亿美元光刻机的正常运行时间和生产量对晶圆 Fab 厂的经济至关重要. 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱分析仪通过快速, 可操作, 高灵敏度的分子诊断数据实现了更佳的反射板镀锡层清洁, 并且 Aston™ 过程质谱的实时氢气 H2 监测也降低了每个 EUV 工具的氢气消耗.随着工艺几何尺寸的不断缩小, 半导体工艺制造商面临着新的挑战. 在先进的极紫外 EUV 光刻技术中, 13.5nm 波长的光源是通过二氧化碳 CO2 激光器蒸发熔融锡 Sn 液滴, 从而产生等离子体. 大批量生产的关键挑战包括控制蒸发锡再沉积引起的光学污染所造成的缺陷.光源产生的一个副产品是 EUV 光源反射光学元件上的锡 Sn 碎片, 该反射光学元件聚焦等离子体发出的 EUV光. 收集镜涂层表面上的锡沉积导致 EUV 镜的反射率降低. 沉积锡厚度约为 1nm（只有几个原子层）会使收集镜反射率降低多达10%, 通常被视为收集镜寿命规范. 这种污染增加了提供足够的 EUV 功率以形成晶圆所需的时间, 因此降低了光刻产量, 并可能影响光刻图案的定义. 解决措施包括使用氢等离子体 (结合磁场) 以锡烷气体 SnH4 的形式化学去除锡, 然后从真空室排气, 并防止锡进一步再沉积.上海伯东 Aston™ 过程质谱 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量解决方案在反射板清洁期间, 需要实现现场测量, 快速, 准确地测量锡 SnH4 端点, 确保以省时的方式清除锡沉积物, 通过使用 Aston™ 过程质谱仪可以测量 H2 大气中 0.01-1 ppm 浓度下的微量 SnH4. 此外, Aston™ 还可以监测 EUV 工具前端的气体成分.Aston™ 过程质谱价值在于通过监测从 EUV 腔室中抽空所有锡原子的效率和优化氢气 H2 流量, 实现终点检测. 通过尽可能地减少气体流量, 可以降低每分钟 100 标准升的高纯度氢气消耗量.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪产品描述离子源采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪随时间演化的动力学过程提供支持。实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪基本性能指标的设置说明质量检测范围1-500 amu检测限1ppb质量分辨率 2500@(m/z=92)实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪产品特点 可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱、红外、热重接口及操作软件实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工 化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁) 聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图 公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

先进半导体应用的原位过程控制上海伯东日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超紧凑型质谱仪, 适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析.分子测量快速，灵敏度达到十亿分之一 检测残留气体 / 冷凝物污染.提高产量提供化学特定的可操作见解, 尽可能地提高产量提高安全性监测爆炸性气体. 检查排放和减排效果.Aston™ 质谱仪解决了关键的原位计量问题• 提高吞吐量: 端点检测而不是基于时间的流程• 提高产量: 以十亿分之一的灵敏度测量沉积和蚀刻工艺期间的工艺气体 / 副产物Aston™ 质谱仪先进工艺的优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁Atonarp Aston™ 技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm) Aston™ 质谱仪半导体制造应用先进的工艺原子层沉积 (ALD)化学气相沉积 (CVD)原子层蚀刻 (ALE)腔室管理干净的终点检测指纹识别和匹配 Sub-fab 安全性, 可持续性和节省优化过程安全监控干泵保护减排管理沉积化学气相沉积钨TEOS蚀刻介电,导电,金属高纵横比 1% 开放区域检测EUV/光刻SnH4 蚀刻光掩模蚀刻自主过程控制模型驱动的实时过程监控若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

微生物发酵、细胞培养过程中，实时细胞代谢状态可以通过检测培养过程尾气中氧和二氧化碳浓度的微小变化进行表征。通过进一步计算可以获取表征细胞代谢的关键参数如：氧气消耗速率（OUR）、二氧化碳生成速率（CER）、呼吸商（RQ）。这些关键参数的波动能够直接反映细胞生理状态，如细胞生长和底物消耗等；同时，这些信息的获取将有助于及时调整过程工艺参数（通气、搅拌、补料等），从而实现过程的优化设计。因此，利用过程质谱仪对细胞培养过程中尾气组分进行分析，是监测工艺过程中细胞代谢状态变化和提高生产效率的有效方法。Thermo Scientific™ Prima 系列扫描磁扇式尾气质谱分析系统能实时、快速、精确地对发酵过程尾气中的CO2、O2、N2、Ar 常规组分浓度，及甲醇、乙醇等小分子有机挥发性特征物的浓度进行测量，也可以输出呼吸熵(RQ)的计算结果。多组分分析同时分析O2、N2、CO2、Ar及甲醇、乙醇等，既可分析常规的尾气组分，也能分析特殊组分。多流路分析1台质谱可同时监测和分析多达16或32流路，大大降低单个生物反应器的尾气监测与分析成本。秒级分析速度单个流路分析时间最快仅需10秒，大大提高了用户对尾气分析数据的采集速度。测量精度高测量精度小于±1%，可以进行精确的反馈控制。长期稳定性好每年仅需2-3次校准，几乎没有维护量，一次投资带来长久安心的使用。拓展能力强用户后期若增加组分，仅需增加标气，更新组态而无需更改硬件配置。

在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪烟气多组分动态分析飞行时间质谱仪是卷烟烟气在线动态分析质谱仪，具有无需烟气收集和前处理、无需色谱分离、无极性歧视、在线/动态进样分析、高灵敏度等优越的综合性能。适用于主流、侧流、环境烟气以及卷烟制品热解产物的在线、动态分析。主要应用范围：主流烟气在线动态分析，侧流烟气在线动态分析，环境烟气在线动态分析，卷烟制品热解/氧化产物在线动态分析。在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪产品特点可对卷烟燃烧、热解、氧化产物进行在线动态分析可对烟气产物进行逐口分析可获得醛、烯酮、硫化物、烯醇等卷烟燃烧不稳定中间产物的捕获(反应器选配)可与吸烟机、热重、红外光谱联用无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多通道反应进行同时监测(阀门选配)专业卷烟烟气产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪规格参数尺寸：500(w)x800(h)x400(d)质量范围：1-600amu质量分辨：不低于3500灵敏度：10ppb在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪主要附件(选配)：多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪应用领域 主流烟气在线分析侧流烟气在线分析环境烟气在线分析烟丝热解/氧化产物分析新型卷烟烟气分析烟丝烘烤释放物分析烟叶存放释放物监测在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪应用范例主流烟气产物监测无需色谱分离，可在数秒实时获得主流烟气主要成分信息(碳氢化合物、含氮/硫/氧化合物等)卷烟热解产物监测 可观察热解产物在不同热解温度的分布情况和浓度区别(m/z=162为尼古丁)卷烟烟丝中化学成分快速分析卷烟烟丝分析在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪常用附件1. 常压热解反应器1.1 反应温度：室温~1200 ℃1.2 真空度：常压1.3 材质：刚玉/石英2. 低/高压热解反应器2.1 工作温度：室温~1200 ℃2.2 真空度：0.01Pa-0.5MPa(基于真空泵的选择)2.3 材质：刚玉/石英非标订制及其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

主要参数 / Main Parameters: ◆ 四极质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（产地：美国，提供原产地证书及原厂校准测试证书）； ◆ 质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu； ◆ 灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换； ◆ 分辨率：优于0.5ppm（40amu）； ◆ 扫描速度：可达1.8毫秒/amu，扫描步阶0.1amu； ◆ 最小可检测分压：2E-15Torr （4s停留时间） ◆ 气体采样流量：默认可低达2SCCM的微流量采样，可至0.2SCCM的超微采样量；（相比其它国际品牌，完全避免了大流量采样吸入空气的弊端） ◆ 响应速度：可在低达＜2SCCM的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应时间＜1秒；（无需大流量采样来提高响应速度） ◆ 分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证。 ◆ 软离子化功能：离子源电子能量软件可调，提供更高分辨率。 ◆ 涡轮分子泵：爱德华，抽速85L/s，100KRPM，极限真空1*10E-12mbar； ◆ 干泵：涡旋干泵，抽速20L/S，极限真空1*10E-1mbar； ◆ 质谱腔体：一体式腔体，非焊接式，含加热烘烤，烘烤温度150℃； ◆ 进样接口：1.2米内洁净钝化不锈钢毛细管进样装置，防冷凝防堵塞保护结构；采样压力默认100±10kpa，负压或高压采样可定制； ◆ 软件分析系统：德国英福康（INFICON），英文；通讯接口TCP/IP。 ◆ 规格：H510mm*L520mm*W225mm，Weight30kg，高集成度。测试报告 / Test report其它功能 / Other functions ◆ 零焊缝超高真空质谱腔体技术（将传统的4焊缝降低到0焊缝）； ◆ 分子泵高真空大流导MAX接口技术（将流导面积增加3倍以上，流导长度缩短5倍以上），从而获得极限灵敏度； ◆ 分子泵电流电压监测，质谱腔体温度监测； ◆ 采样管线防蒸汽凝结技术；采样口防堵技术；高温变压高湿气体在线质谱分析系统BSD用户论文 / BSD User Paper

Mars-550过程质谱仪是聚光科技结合多年过程分析和环境检测仪表，运用国际先进的质谱分析技术，开发出高性能的Mars-550过程气体质谱分析仪。仪器具有高品质的四极杆质量分析器和针对过程气体检测的专用分析软件，可实时对过程气体提供多流路、多组分分析。具有测量精度高、响应速度快和可靠性高等特点，能适应多种复杂、恶劣的应用环境。　　2012年获得科学仪器优秀新产品称号　　2014年获得中国仪器仪表行业协会自主创新金奖 产品特点 　　质量分析器快速扫描技术，单组分分析时间小于1s； 　　可对质量数小于300amu的任意气体组分进行分析； 　　采用高精度四极杆质量分析器，检测下限达到ppb量级； 　　全自动流路控制，电磁阀/多位阀切换，多流路监测； 　　配置法拉第杯和电子倍增管双检测器，高低量程自动切换； 　　定期灵敏度自动校准，双灯丝设计及过流保护，离子源惰性化抗污染设计，确保仪器长期可靠运行； 　　样品前处理、多路进样、质量分析和电路控制均采用模块化设计，安装简便，维护简单； 　　内置工控机模块，实现现场操作和显示功能； 　　功能强大的过程质谱专用软件，具备谱图显示、自动标定、数据处理、仪器调谐和方法开发等多种功能； 　　支持一键化启动功能，用户操作简便。

简介该产品实现116种VOCs物种的在线监测，符合《环境空气挥发性有机物气相色谱连续监测系统技术要求及检测方法》（HJ1010-2018）， 满足中国生态环境部2019年印发的《地级及以上城市环境空气挥发性有机物监测方案》要求。应用于复杂组分的分离与鉴定，兼具气相色谱的高效分离能力和质谱的高灵敏度。质谱仪的基本部件有：离子源、滤质器、检测器三部分组成。产品特点● GC-MS灵敏度高；● 搭配差动式涡轮分子泵真空系统，分析效率高；● 易于维护及清洗，适合企业用户长期稳定使用，节省成本；● 图形化中英文界面，操作简便。

Thermo Scientific Prima PRO和Sentinel PRO：开启质谱新时代依托超过 30年在线质谱仪的成功研发应用经验，新一代 Thermo Scientific Prima PRO和Sentinel PRO在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括： 天然气处理 烯烃生产 裂解炉优化 环氧乙烷 /乙二醇 聚烯烃生产 合成氨 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏 凭借着经实践证明的更快、更全面的在线气体成分分析能力，Prima PRO可以对多流路气体进行精确分析，进而提高产量。它维护量少、易于操作并且可提供可靠、实时的数据到 DCS系统，从而确保投资回报率。基于和Prima PRO相同的操作平台， Sentinel PRO环境质谱仪以其众多同样的优势，被设计用于满足微量泄漏环境监测的需要。半连续监测 60-120个取样点及高灵敏度的检测能力，确保可靠的泄漏检测，从而提高生产装置的安全性和生产制度的规范性。此外，单台 Sentinel PRO或 Prima PRO可以轻松取代多台气相色谱仪（GC），减少取样时间，简化维护程序，更重要的是降低整体投资成本。操作原理Prima PRO、Sentinel PRO进行稳定、快速气体分析首选技术的基础是扫描磁扇质谱技术。利用这种技术，气体可以通过一个多流路进样阀源源不断的从取样系统到达离子源，在这里，气体分子被离子化和碎片化。离子被高能电场加速后进入电磁质量分析器，目标离子进入检测器。分子碎片能够产生重复性极好的“指纹”谱图，这可以让具有相似分子量的气体被精确测量而不受干扰。内置控制器使用一系列的工业标准协议，将气体浓度数据和其他诸如热值和碳平衡的计算数据直接传送到过程控制系统。耐用性和容错性设计在显著降低维护要求的同时，可以保证 99.7%以上的投用率。新型号带来更高的投资回报率 快速在线气体分析（每个取样点 1至20秒），准确反映工艺 动态 全组分气体分析，提供更多的数据给先进过程控制系统（APC)高稳定性，90天的标定间隔(自动) 可靠，容错设计，确保投用率超过99.7% 占地面积小 最少的维护量需求，降低运营成本天然气加工原料气可能来源于附近的气田或其他加工过程（如炼油厂的尾气），以及油田收集的伴生气。因此，气体工厂来料的体积和成份会有很大的差别。通常天然气含有 85%的甲烷和数量不定的天然气凝液（ NGL），包括液化乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、戊烷和更重烃（C5+）、惰性气体（典型的是氮和氦），和硫化氢（H2S）、二氧化碳（CO2）等酸性气体。酸性气体通过采用膜分离技术或氨水溶液进行脱除。硫是通过硫装置（或 Claus装置），采用加热和催化两步法将硫化氢中的硫还原为单质硫。对于剩余气体（通常称之为尾气），要对其残留的硫化氢进行处理，随后焚烧。气体工厂在把原气分馏为残留气体、乙烷、丙烷、丁烷和天然汽油产品前要去除水蒸汽、微量的汞和氮气。分馏系统的各阶段依靠馏份的沸点差来分馏各个烷烃。Prima PRO：快速、精确的气体成分分析利用Prima PRO，可对加工气体的成分进行快速、高精度的在线分析。分析包括全面和精确的成分分析以及热值（粗热值和净热值）、密度、比重、华比指数、化学需气量和燃烧需气量指数（CARI）的计算。燃烧需气量用于加工厂燃烧气体时对燃烧的控制。Prima PRO还能为控制气体加工阶段的物料平衡方程提供精确的气体组成数据。Prima PRO还有下列优点： 减少能源消耗（燃气和电能） 提高液化产品的回收 精确测量产品的能值 减少向环境中的排放烯烃生产典型的烯烃厂有两个基本工段：裂解炉和分馏系统。烯烃裂解炉或热解炉将饱和烃裂解成较小的不饱和烃。生产较轻的烯烃，包括乙烯、丙烯和丁烯所用的主要工业方法是蒸汽裂解法。在这一过程中，用蒸汽稀释气态或液态的烃原料（即石脑油、液化石油气、氢裂粗柴油或简单乙烷和丙烷混合物），并在裂解炉内短时加热。典型的反应温度很高（约为 850℃），反应时间限制在一秒钟内。在现代的裂解炉中，驻留时间缩短到毫秒级，产生超音速气流，从而提高所需产品的产量。当达到裂解温度以后，气体在传输线热交换器中急速骤冷以停止反应。反应时的产量取决于进料的成份、烃与蒸汽的比例、裂解温度和炉内驻留时间。轻烃物料，包括乙烷、液化石油气或轻石脑油，产生的产品富含轻烯烃，包括乙烯、丙烯和丁二烯。石脑油和炼油厂液态原料不仅可生产出这些轻质烯烃的一部分，还能生产出富含芳香烃产品，适于高温热解汽油或燃油。较高的裂解度，有利于乙烯和苯的生成，而较低的裂解度则生产较多数量的丙烯、C4烃和液态产品。这一过程也会导致焦炭慢慢沉积在炉管或裂解盘管壁上。由于炭层会限制热传导和增加压降，因此反应器的效率会降低。设计反应条件时应使焦炭沉积的速率减小到最低。采用动力学模型预测焦炭层的厚度，以保证依赖炉温的裂解效果能被预测。蒸汽裂解炉通常只能运行几个月，就需从裂解线上分离出来除炭。蒸汽或蒸汽 /空气混合气通过裂解炉盘管，可以使硬质固体的炭层转化为一氧化碳和二氧化碳。当这一反应完成后，裂解炉就可重新使用。另一种方法是离线的低温机械式清除法，用低温碱性清洗剂去除盘管上的沉积炭是有效的。不管用何种方法，在除炭过程中每一台炉要至少停炉27小时。以下的内容介绍了如何利用Prima PRO使裂解炉的使用得以优化。裂解炉优化的基本原理在任何给定时刻，产量取决于许多因素，包括原料成份、稀释蒸汽流量、烃流量、盘管温度分布（即炉子燃烧率和燃料能量）、炉子抽力和盘管焦炭成份。模型预测控制（MPC）利用多种测量参数，如盘管出口温度和进料率等来预测上述因素。这样，温度和驻留时间可以优化，在使焦炭沉积率最小的同时，实现烯烃的最高产量。虽然众多过程变量的关系是复杂的，但如果裂解度太低，乙烯产量将会很低。如果裂解度太高，则积炭率也会高，产量的减少也将是不可接受的。裂解度技术比较当动力学模型没有成份反馈时，实际的裂解度如何随时间变化。在这种情况下，一台气体裂解装置通常有62%的乙烯产率。使用在线气相色谱仪（GC）测量实际裂解度指数的益处（如丙烯/乙烯比和丙烯/甲烷比）。采用这种六分钟间隔的定时测量，就能通过提高裂解度的设定值来强化对裂解度的控制。这种升级一般能使气体裂解装置的产量提高 5%。这就是为什么世界上多数乙烯装置将气相色谱仪用于过程控制的原因。图4c说明了在一个更现代化的装置上用 Prima PRO取代气相色谱仪所带来的更强的控制。由于Prima PRO快速分析，可以用一台在线质谱仪（MS）取代 5台气相色谱仪，并把取样间隔从6分钟缩减到2分钟，从而得到另外 2%的增产。应注意到，由于在这个动力特性很强的过程中速度是很重要的，气相色谱分析将限定在 C1到C3分析。它能满足对于实际裂解度指数的测量，但不能提供足够的数据使动力学模型能精确地预测由于重烃的凝结和聚合作用所产生的焦炭沉积率。因此，在一般的装置中，对于速度很低的 C1烃到C4烃的扩展分析要用附加的气相色谱仪，以提供动力学模型所需数据。对于液态物料裂解炉，这种分析还要进一步扩展到 C5烃，以计算动力裂解因子（KSF），这一因子用于根据市场条件优化特种烯烃的生产。通常会将附 加的扩展分析色谱仪多路配置，使每一台气相色谱仪能监测 4到5台炉。然而，使用一台Prima PRO就能监测炉内裂解产物而无需额外的装置。Prima PRO的扩展分析还能提供对重烃进行监测的附加功能，重烃通常被 Thermo Scientific PyGas自清洗取样器所去除。这一数据能预测当样品处理系统发生故障时的维护能力，从而保证更可靠的运行。裂解度控制成本/效益分析Prima PRO解决方案一台配置了60个取样口和24个标定口的Prima PRO 在线质谱仪。如图7所示，一对有类似配置的冗余质谱仪系统可以取代15个气相色谱仪，这能节省约33%的成本，并具有更先进的分析性能。另外，两台Prima PRO可安装在相对便宜的分析小屋中，大约是气相色谱仪的分析小屋成本的25%。维护成本也只有气相色谱仪方案成本的20%左右。虽然Prima PRO的标定气体消耗要高一些，但与气相色谱仪的购置成本和维护费用相比，其费用是极低的。另外，Prima PRO不需要助燃气或载气，这是一种更经济的解决方案。气相色谱仪解决方案气相色谱仪的典型配置，用10台气相色谱仪控制裂解度，5台气相色谱仪提供所需数据用于APC动力模型分析。此方案的成本约100万美元；另外，在所有季节中都要进行维护。有些气相色谱仪能够完全补偿气候的影响，装在室外无需庞大、昂贵的分析小屋，而大多数则不能。一个预制的分析小屋包括全套的样品预处理系统、通讯设施及其他必要的公用工程，分析小屋在为维护人员提供良好工作环境的同时，大的分析小屋也带来了更高的制造成本。如果有很多气相色谱仪需要维护，总拥有成本就会很高：每年每台气相色谱仪大约要7000美元的维护费，这还不包括载气、助燃气和标定气体的消耗等费用。环氧乙烷 /乙二醇环氧乙烷（EO）是通过氧化银催化剂直接氧化乙烯而成的。由于环氧乙烷分子活性极强，因此生产通常与容易运输的乙二醇生产结合在一起。先对乙烯、压缩氧气和循环气预热，然后将这些气体注入装有氧化银催化剂环管反应器中的一个。由于生产中的目标分子不是二氧化碳和水，所以可通过氯化合物添加剂来改进选择性。催化剂的活性随时间而降低，要求逐步提高反应温度。为了增强反应器的燃烧率，要加入甲烷。 Prima PRO：最佳气体分析解决方案 Prima PRO能利用精确测量选择性和测量碳氧分子平衡实现气体分析过程的最优化。采集的数据经常用于控制氯添加剂。Prima PRO也能用于催化剂的开发研究，其目的是在高活化率的条件下增加催化效率。聚烯烃生产聚乙烯（PE）主要按其密度和支链分为几种不同的类别。聚乙烯的物理性能主要取决于几个变量，包括支链的长度和类型，晶体结构和分子量。高密度聚乙烯（HDPE）的支链少，因此具有较强内部分子力和抗拉强度。选择适当的催化剂和反应条件可以减少支链。线性低密度聚乙烯（LLDPE）是一种有大量短支链的聚合物，通常由乙烯与短链α烯烃（如：1-丁烯、1-己烯和1-辛烯）发生共聚作用形成。可利用一个或两个流化床气相反应器的交换工艺来制造全范围聚合物。这些聚合反应器的进料为乙烯、氢气、共聚单体和循环气。聚合物的质量是通过气体组份来控制的，这就需要准确、快速在线分析Prima PRO：精确，快速和多流路监测实验期间生成的数据。其中将专为监测五个工艺流路而配置的Prima PRO与专为监测反应器进料气体组分而整理的GC数据进行比较。Prima PRO清楚追踪了氢气/乙烯比的变化，精度高于GC。此外，Prima PRO更新DCS的速度要比单流路GC快九倍，即便Prima PRO测量五个流路亦是如此。在前四十个PMS数据点中，DCS试图利用GC数据来控制这个比率。当控制切换至Prima PRO数据时，此比率变化的监测得到显著改进，包括： 产品质量更稳定 分子量分布更集中 不合格产品更少 稳态动力学有所改进合成氨从烃进料中除去硫，然后与蒸汽混合通过镍基催化剂，生成氢气和一氧化碳。通过将蒸汽 /碳比维持在 3:1以上，将单质碳的形成减至最低限度，从而保护催化剂。未反应的甲烷（称作“损耗”）亦需控制在较低水平，以便优化转化炉 /变换炉的性能。在次级重整 /裂化装置中，空气在流量控制条件下引入，使氢 /氮比为 3:1。空气中的氧气可将大部分 CO氧化成 CO2，同时加入蒸汽，以便将剩余的 CO转化为CO2和氢气。在吸收塔中除去大部分CO2，微量的碳在催化剂作用下转化成甲烷。转炉进料气与循环气混合，转炉入口处的氢 /氮比（H:N）再次受到严格控制，以实现NH3转化效率的最大化。进气中所包含的惰性气体（如：氩气和氦气）的聚集情况需要予以监测，因为这些气体如果不定期清除的话，会成为重要的稀释剂。Prima PRO：稳定，可靠的在线气体分析 进气组分和热值计算精度最高；因严格控制蒸气/碳比（±0.01%）而减少消耗掉的能量 精确控制氢 /氮比（±0.003%），使产量最大准确测量甲烷损耗，以降低生产成本与较慢的色谱或稳定性较差的质谱控制作用相比，高取样率（在不到两分钟内10至12流路）可使产量提高1%至2%总成本极低 快速收回成本 有毒挥发性有机物（VOC）的泄漏只要化学品生产装置存在，就存在有毒挥发性有机物泄漏的潜在危险，监管机构通常都会要求工厂监测环境气体成分，以避免工人受到长期接触的伤害。有各种形式的捕获装置包括真空罐（苏玛罐）、可挥发性有机物报警器或吹扫和捕获装置。收集到的样品需要送往环境实验室进行分析。另外，还可利用电化学传感器来即时显示是否存在浓度超过预定水平的目标分子。还有一种定量方法是使用开路式傅利叶变换红外光谱仪测定VOC是否在警戒线以内。利用这些不同技术获得的数据，通常都用来满足当地法规的要求。然而，这些技术都不能提供满足诉讼依据要求的时间和空间的分辩率。Sentinel PRO环境质谱仪：简单全面的数据采集Sentinel PRO环境质谱仪能够在15分钟以内监测100个以上的取样点，并在0.01至1ppm精度范围内检测特定物质。凭借其速度和精度，它可监测所有关键区域的短时泄漏，并提供准确的8小时、时间加权平均泄露数据。由于具有大量可用的取样点，许多取样点可位于靠近潜在泄漏点的地方，如：阀杆处等，以便在有毒危害发生之前进行泄漏检测和修复。尽管安装这种装置的主要目的是为了保护操作人员和符合环保法规，但其使用效果往往超越了对泄露防护的要求。

OmniStar和 ThermoStar全新一代高效气体分析解决方案。智能软件，操作简便，设计紧凑，可定制化。OmniStar和 ThermoStar是什么？OmniStar 和 ThermoStar 是能够在大气压下进行样品气体分析的紧凑型台式在线质谱仪。它们能提供出色的气体分析整体解决方案，尤其适用于化学工艺、半导体工业、冶金、发酵、催化、冷冻干燥和环境分析。分析系统由进气系统、PrismaPro 质谱仪、干式膜片泵 MVP 和HiPace 系列涡轮分子泵组成。进气口配有毛细管，可加热至350°C；这种毛细管在 OmniStar 中为不锈钢制成，在 ThermoStar中为石英玻璃制成。加热的毛细管可防止蒸汽在分析样气过程中凝结。由于采用了两级进气系统，因此可以实现几乎同步的无偏析气体供应。PV MassSpec 质谱仪软件可进行定性和定量分析。该系统涵盖了1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu 的质量范围ThermoStar– 特殊解决方案ThermoStar 解决方案专为与热平衡耦合而开发。进气系统包含石英毛细管和铂孔，确保即使是微小的浓度仍可分析。与竞争分析方法（如 FTIR 和 IR）相比，可检测质量范围内的所有气体。优势一览■ 定性和定量气体分析，具有校准气体进气系统的连接端口■ 低检测限 (100 ppb)，即使是可凝气体也可以被检测到■ 紧凑、易于操作的分析单元，带有 7 英寸彩色触摸屏或 Web 用户界面■ 加热过的进气口，温度高达 350 °C■ 低背景下可烘烤全金属密封高真空室■ 可定制版本，例如：压力控制进气、特殊进气系统、特殊外壳设计■ 质量范围为 1 至 100 amu、1 至 200 amu 和 1至 300 amu■ 快速、可靠、精确地测量非极性和惰性气体■ 软电离选项 (15 – 100 eV)■ 小巧便携（总重约 23 kg）■ 耗气量低 (1 – 2 sccm)■ 测量时间短（最长 1 ms/amu 停留时间）PV MASSSPEC用于全面分析的软件PV MassSpec 分析软件PV MassSpec 软件专门为 PrismaPro 开发，为测量数据和参数记录的获取和可视化提供了一种易于读取、用户友好型平台。可以对全套测量程序进行编程。空气中的氙气/OmniStar该图（质量范围 125-140 amu）显示了氙同位素和 OmniStar 的优异检测限。氙在 129、131、132、134 和 136 amu 时具有稳定的同位素。空气中 136Xe 的浓度为 7.8 ppb。呼吸气体分析/OmniStar耐力测试的三个呼吸周期。呼吸的特征在于气体 O2 和 CO2。空气中的氩气用作参考气体，用于证明系统的稳定性。在多浓度测定 (MCD) 模式下，OmniStar 在大气压下非常快速地进行测量。优势一览■ 用户友好、直观的操作■ 通过包含的序列发生器实现自动测量程序■ 只需单击即可进行泄漏检测和真空诊断■ 自动校准和调整■ 测量参数容易定义■ 质谱仪数据可以链接外部信号（例如外部触发信号）THERMOSTAR与热平衡相关的特殊解决方案。ThermoStar ThermoStar 气体分析装置是专门设计用于与热平衡耦合的版本。可以通过石英毛细管引入高温气体样品。TGA-MS在进行草酸钙的热分析时产生的气体水蒸气 (18)、一氧化碳 (28) 和二氧化碳 (44)显示为时间与重量和温度的函数。优势一览■ 甚至可以检测到小浓度的反应性气体和可冷凝气体■ 惰性气体进气口，气体成分无变化■ 进气口可加热至 350 °C■ 多气体分析OMNISTAR/THERMOSTAR尺寸（mm）技术数据气体分析系统 GSD 350 – OmniStarGSD 350 – ThermoStar质量范围 (amu)1 – 100 / 1 – 200 / 1 – 300气体接头不锈钢毛细管石英毛细管进气口通过软件控制的进气阀或用户界面始终通畅减压2 级，无隔离气体流速，sccm1 – 2样气压力，hPa (mbar)高达 1,000毛细管工作温度，°C 高高达 350操作7 英寸彩色触摸屏或 Web用户界面杆系统，材料/直径/长度，mm不锈钢/6/125探测器C-SEM/Faraday质谱仪电子器件PrismaPro软件PV MassSpec有助于相邻质量：40 到 41 10 ppm / 20 ppm / 50 ppm最低检测限，C-SEM 100 ppb解析度，在 10% 峰值高度时可调，amu 0.5 – 2.50.5 – 2.5驻留时间1 ms – 16 s/amu尺寸 (l x w x h)，mm615 x 358 x 274重量，kg23主电源要求：电压（范围），VAC85 – 265接口以太网模拟输入：5x ± 10 V / 16 位模拟输出：4x 0...10 V / 16 位数字输入：4x数字输出：7x 槽，光学隔离，24 V

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪保护环境免受有害气体排放污染半导体和薄膜太阳能工艺使用并产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体需要以受控方式进行处理. 许多废料的处理受环境法规的规定，如美国 NESHAP 标准. 此规则规定的主要有害空气污染物包括但不限于占有害空气污染物排放总量 90% 以上的五种化学物质: 盐酸 HCl , 氟化氢 HF, 乙二醇醚, 甲醇, 和二甲苯.美国环境保护局对混合空气毒物工艺通风孔 (有机和无机) 的排放限值为 14.22 PPM（按体积计算）. 监测并销毁额外的全氟化碳气体 PFC 和硅烷 SiH4 等自燃气体.问题减排面临着多重挑战. 需要监测来自减排系统的环境废气, 以确保符合法规要求, 需要一款具有高灵敏度, 实时, 现场计量, 且精度达到 PPM 级的质谱分析仪. 此外, 优化减排需要测量废气中进入减排系统的污染物浓度, 从而可以调节氮气稀释和减排燃烧气体消耗量, 以确保快速去除污染物. 天然气 (甲烷) 通常用于普通烧洗减排系统中的高温热气体分解, 优化其使用可降低减排过程成本和二氧化碳排放.上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供有害气体排放污染解决方案: 数据驱动的减排许多减排系统是“开环”运行的, 导致天然气和氮气消耗量较高. 此外, 通常不会对减排成功的分析数据进行监控和记录, 从而使公司面临环境监管责任. 使用 Atonarp Aston™ 质谱分析仪, 可以根据进入的废气浓度和测量的排放气体数据, 记录日志, 对减排燃烧过程进行现场优化控制, 以记录环境合规性. Aston™ Plasma 质谱分析仪能够承受严酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）气体, 并能提供低至 PPB 水平的灵敏度. 通过快速, 准确的现场计量, 实现快速地减排气体监测和废气环境合规性.Atonarp Aston™ 质谱分析仪技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

质谱检测器是定性分析中有效的方法之一。但是，同时它有较差的定量分析能力。由于它只分析了微量气体，所以很难获得较好的定量结果。通过选择合适的材料和组分分层，麦奇克拜尔制造了更高定量功能的在线质谱BELMASS II。利用管路加热和配备干泵，BELMASS II甚至能检测氨气。BELMASS II 在线质谱仪-产品特点&bull 桌面四级杆质谱分析仪&bull 管理加热功能确保蒸汽分析&bull 定性和定量分析功能BELMASS II 可以连接多种仪器：（1）全自动化学吸附仪（2）微反应器（3）热重分析仪 BELMASS II 连接Microtrac 公司产品质量数1-200amu检测器法拉第杯/C-SEM最小检测限＜1ppm（与检测气体有关）扫描速度Auto, 0.01, 0.03, 0.1, 0.3, 1, 3, 10 sec / a.m.u检测通道最大16个

针对生物发酵尾气分析需求，SHP8400PMS过程气体质谱分析仪配置多通道采样系统，高稳定性四级杆质量分析器，耐水、耐氧性双灯丝离子源等进口关键部件。整个仪器精度高、漂移小 、响应快、维护少并且可以实现多个生物反应器发酵尾气实时、连续、精确的全组分气体分析 ，是提供发酵尾气监测的理想工具。详细信息 SHP8400PMS 过程气体质谱分析仪依托多年研发应用经验，以实时、高精度、在线监测多路生物过程气体为目标，配置16通道采样系统，具有指纹谱图库的电子轰击离子源，经典、成熟的四极杆质量分析器，性能稳定，使用寿命长的法拉第检测器等。另有专业设计的发酵尾气预处理系统，保证分析结果准确的同时确保了仪器不受溢罐等特殊情况的伤害。更高的投资回报率◆一台过程质谱多可同时分析15台发酵罐尾气组分，台均投入费用少；◆快速在线气体分析（每个取样点快30秒），准确反映工艺动态，给工艺优化提供强有力支撑；◆高稳定性，3-6个月的标定间隔，可长时间稳定运行；◆全组分分析，自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线；◆自动化程度高，维护需求少，运营成本低；16通道采样系统◆每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰◆连续流动式取样，保证气体的实时更新◆可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝全组分气体分析◆SHP8400PMS可实现气体全组分分析，除了提供N 2 、O 2 、C O 2 、A r等无机气体的监测结果，也能实现甲醇、乙醇、甲烷等有机气体的实时分析。高精度流量控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流量控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1am u，是连续稳定监测的可靠保证。全中文在线质谱分析工作站◆采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。质谱仪在线监控示意图 在线气体前处理系统◆针对生物过程设计的多通道样气在线处理系统，具备除尘、除湿、除泡沫、控温及调压等功能，保证样气的真实快速传输和质谱仪的长期稳定运行。 完美兼容各种发酵控制系统和工艺分析软件◆软件的数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，与其他软件系统完美兼容。 SHP9000PA在线监控及工艺分析软件◆中文软件界面，适用于工业生产以及实验室多参数过程监控，可根据用户工艺流程定制工艺画面，通过实时数据的采集即时掌握整个工艺流程的概况。◆支持各类工业P LC ，数据采集装置以及本公司在线质谱仪等各类在线分析仪器。自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线，提供趋势图，柱状图等显示监测数据或历史数据，可更直观地对参数进行分析处理，用户可轻易发现参数之间的相关性，同时按要求格式保存输出。◆可输出控制信号，具有报警功能。

光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪在催化科学的研究中，对反应机理的认识十分重要，但是机理的研究通常并不容易，需要结合大量实验证据和表征手段。在气固相催化反应的研究中，使用最多的催化剂评价装置主要是固定床催化反应器，反应器出口连接气相色谱，可以实现对反应稳定产物的分析，进而实现对催化剂性能的分析。但是单纯对反应产物的研究无法深入认识催化反应过程的全貌，因为许多关键的反应中间产物十分不稳定或极难捕获，在常规的产物分析中丢失了这部分信息。因此在催化研究中经常要结合红外、紫外、核磁等手段来研究催化反应中的物种变化，进而获知催化剂表面发生的反应。而对于气相的活泼中间体而言，原位质谱是目前最有力的检测方法之一。原位催化质谱在气固相催化领域的应用近年来，光电离质谱在催化领域的应用为一些关键反应的机理认识提供了极大的帮助。利用低压催化反应器结合光电离质谱，可以对合成气制烯烃反应的中间产物进行了探测，确认乙烯酮是合成低碳烯烃的关键中间产物，即CO和H2首先在金属氧化物表面被活化形成含有CH2的化合物，随后生成乙烯酮，乙烯酮经气相扩散进入SAPO沸石孔道内，在酸性位点上转化为低碳烯烃，这一机理认识促进了对催化剂的设计，使产物选择性远超传统费托合成的极限(图1)。图1. 合成气制烯烃反应的光电离质谱解析在甲烷氧化偶联反应中，低压反应器结合光电离质谱方法可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测(图2)，对该过程中气相反应机理的建立提供了帮助。图2. 甲烷氧化偶联反应中的光电离质谱解析在甲醇制烯烃反应中，上述方法可对活泼中间体甲醛直接捕获，并可获得甲醛及其他产物在诱导期至失活期的动态变化过程(图3)。图3. 甲醛的捕获和动态变化过程光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪基本性能指标的设置说明温度调节范围25 ~ 1200 °C，压力调节范围1 Torr ~0.5 MPa质量检测范围1-450 amu检测限0.1ppm质谱分辨率 3000@(m/z=92)自动数据采集及分析程序附属设备常压热解反应器 反应温度：室温~1200 ℃真空度：常压材质：刚玉/石英低/高压热解反应器工作温度：室温~1200 ℃真空度：10-1Pa-0.5MPa(基于真空泵的选择)材质：刚玉/石英光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪产品特点可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪主要附件(选配)：多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱、红外、热重接口及操作软件光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附应用领域石油化工/煤化工固废/生物质 食品加工卷烟发酵环境监测光电离质谱仪 ProC-1C 原位催化光电离质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁)聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成质谱-红外联用研究MTH反应 同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图使用总结：在气固相催化科学研究中，反应机理一直受到人们关注。为了研究机理，要建立各种表征手段以获得实验证据。气固相催化过程会产生大量吸附态和气相反应中间体，甚至短寿命自由基。近年来发展起来的原位催化紫外光电离质谱，可通过分子束取样和光电离技术，获得气相短寿命自由基等中间体信息，在已FTO、OCM、MTH等反应体系机理研究中发挥了重要作用，相关研究成果发表在Science等期刊。ProC-1C型原位催化光电离质谱不仅可以在秒量级时间内获得稳定气相催化产物信息，还可以对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测，对研究气固相催化反应机理有重要的意义。该型原位催化紫外光电离质谱质量分辨率超过3000，灵敏度达到10ppb，参数合理。公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。