三维激描测量仪

基恩士 高精度三维扫描测量仪 VL-700系列全新 从扫描到分析、导出STEP一键即可完成 仅放置即可扫描、一键导出STEP 数据 自动CAD 转换实现了3D 数据的广泛应用 通过CAD 对比，实物对比实现难以完成的测量高精度三维扫描测量仪“VL-700 系列”配备了全自动CAD 转换功能。全自动执行从扫描到STEP 文件输出的整个流程。无需专属转换软件即可一站式输出CAD 软件可使用的格式，有助于缩短作业工序。此外，还配备了新开发的高分辨率投受光镜头——WDR CMOS 传感器。实现上一代2 倍*的检测能力。可以将目标物直接按照所展现的外观扫描，将形状和颜色转化为3D 数据。此外，可以基于CAD 数据进行比较测量。更新比较拟合算法，实现稳定的比较测量。还可基于CAD 坐标值进行比较测量。*与本公司VL-500 产品的比较产品外观产品特性1、仅放置即可扫描、一键导出STEP 数据一体化设计造就了硬件与软件杰出结合的全新功能：放置工件后仅需一键，即可全自动扫描&导出STEP。2、自动CAD 转换实现了3D 数据的广泛应用以往*2 倍的分辨率可获取再现性高的数据可以自动转化CAD，实现了各种应用场景的使用。*与本公司VL-500 产品的比较3、通过CAD 对比，实物对比实现难以完成的测量通过数据的对比，可实现以下分析：&bull 扫描数据与CAD 数据的比较&bull 良品与不良品的比较&bull 实验前后的评估&bull 模具差异的比较&bull 磨损前后的评估&bull 试作品改变条件时的比较・ ・ ・ 基恩士 高精度三维扫描测量仪 VL-700系列如果想了解更多信息可留言或电话咨询，我们将竭诚为您服务。

三维扫描测量仪-FLEX-3A(德国OTTO)3D扫描仪、非接触式3D扫描仪、三维尺寸光学测量仪、三维扫描仪、三维光学扫瞄测量仪OTTO Vision Technology GmbH-我们与合作伙伴在精密光学，机械工程和图像处理硬件方面保持密切合作，以此为基础开发复杂的测试和分类系统以及复杂的测量系统，目前已在大约2,000个工业应用中使用。FLEX-3A：光学3D扫描仪用于自动检查由于具有自动化功能，FLEX-3A系列的3D扫描仪适用于首样品和原型测量以及生产中的自动样品控制。封闭式外壳概念，长期稳定的系统校准以及数据采集，计算和评估的完全自动化，确保了在生产条件下过程稳定的使用。两个标准集成电动轴可以补充其他轴和运动顺序。 ①?小型测量场，物体场尺寸为20 mm③?模块化测量场变化⑤?无需注册标记的多幅图像记录⑦?数据采集 和评估自动化⑨?电动模块化扩展FLEX-3A / 12M(2)相机分辨率：1200万像素(4)尺寸（宽x深x高）：855毫米x 854毫米x 930毫米(6)作业系统：Windows 10(8)可选配振动隔离台 (1)可用的测量范围：20mm x 15mm至230mm x 172mm(3)测量点距离：8μm至90μm(5)重量：约145公斤(7)电源：230V / 50Hz / 5A

中图仪器SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪以白光干涉技术原理，用于对各种精密器件表面进行纳米级测量。通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）；SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。具有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

三维表面形貌测量仪InfiniteFocus SLInfiniteFocus SL三维表面形貌测量仪由奥地利Alicona公司研发并生产，操作原理是国际新型的全自动变焦(Focus-Variation)技术，该技术是光学系统的小景深和垂直扫描相结合。系 统InfiniteFocus SL是一款经济型、用于实验室研究和生产控制的光学三维表面形貌测量仪。InfiniteFocus SL除可以测量形貌及微观结构的表面外，还可以测量部件的粗糙度。完美的机身框架和智能的光源使InfiniteFocus SL的测量更快速，更容易。优 势InfiniteFocus SL测量速度快、稳定性强，而且经济实惠。超过33mm的超长工作距离及50X50mm测量范围使它拥有了极宽的应用范围，测量可以在几秒钟内完成。应 用应用范围从刀具工业的刃口测量到质量保证及微观结构的表面刃口测量。InfiniteFocus SL应用于汽车、航天、模具、刀具、机械加工等制造企业。 InfiniteFocus SL光学三维刀具测量仪的部分技术参数：位移范围（X/Y）:50mm×50mm(自动调节)位移范围（Z）:130mm(26mm自动调节)最佳垂直分辨率：20nm最大扫描高度：25mm最大操作距离：17.5（5×物镜）最大扩展视野范围：2500mm2最大单一方向测量范围：50mm最小测量半径：2μm最小测量楔角：20°最小测量粗糙度（Ra）：80nm最小测量粗糙度（Sa）：50nm

妙机三坐标测量仪和影像测量仪都以先进的测量技术而得以广泛应用，虽然两者都是通过对产品的尺寸、角度和位置等形位公差进行测量的，但这两种测量仪有着本质的区别，接下来妙机小编为大家介绍一下三坐标测量仪与影像测量仪的不同之处。　　1、测量方式不同。妙机三坐标测量仪是使用测头接触工件的，通过接触的方式获取点的坐标。而影像测量仪是通过对光学镜头获取的图像进行测量的，不用接触，只需要全程使用摄像功能就可以完成测量。　　2、测量工件类型不同。虽然妙机三坐标测量仪的测量精度比影像测量仪高，但其主要是通过与工件接触的方式进行测量的，无法很好的测量小薄软等类型的工件。影像测量仪虽然可以通过非接触的形式测量小薄软等类型的工件，但对一些需要进行三维测量或测量精度要求高的工件来说，却有些力不从心。　　3、测量维度不同。妙机三坐标测量仪是根据所取点的三维坐标值来进行测量的，空间内的每一个点都有唯一的坐标值，测量精度很高。而影像测量仪是通过光学影像技术获取工件的二维影像，然后再进行精密的测量，是在二维平面上进行测量的。　　上述文章就是东莞三坐标测量仪厂商的小编和大家说的内容，大家都清楚了吗？在这边我们也就不和大家多说啦，大家若是对测量产品有所需要或者感兴趣的话，都可以随时联系我们，也可以关注一下妙机科技的。妙机科技公司不断引进先进的生产技术和质量保证，在日趋激烈的市场竞争中不断发展壮大。

中图仪器SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。产品特点参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石"也能安然无恙；自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝"；双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动"。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：SuperViewW1白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

精确、快速、便携应用领域：金属，复合材料，织物等材质表面的划痕，裂纹，磨损，刮擦、凹坑、凿击、腐蚀等表面缺陷的现场检测和分析；铆接，焊接，接缝等阶差和凹凸量的三维检测；三维面粗糙度测量分析；划窝孔，槽深，圆弧，倒角等几何尺寸测量； 测量原理：德国GFM公司基于激光条纹相位投影技术和DSP高速图像处理芯片研制的便携式三维光学表面划痕测量仪，用于现场表面质量特性的检测，具有测量速度快，测量准确，便携性等优点。 仪器特点：便携式现场检测大型零件表面划痕缺陷,阶差等表面几何特性参数；三维测量表面划痕缺陷，通过拓扑色差图直观检测出划痕缺陷最深的部位；专业的划痕测量分析软件，多种滤波方式：包含了多项式滤波，高斯滤波，均值滤波等，有效消除曲面轮廓，倾斜，噪音信号，毛刺，灰尘等因素对测量结果的影响；大倾角光路设计，以及蓝光LED光源，测量不受高反光曲面的影响；SDK软件包，开放仪器接口，可二次开发；仪器附件 测量范围X/Y/Z：13X8X5 mm测量示值误差： (2+L/1000)μm L单位μm深度方向分辨力：1um聚焦距离： 107mm测量扫描时间: 3秒；扫描点云：36万点/幅使用环境温度：5-40°C符合国标校准规范的计量校准溯源

LT-12净空测量仪是我公司新开发的超远距离免棱镜全站仪，可以用于机场或雷达站周围建筑物三维坐标的测量。该产品在国际上率先采用1.57波长人眼安全激光，免棱镜测程达到12公里，测距精度优于1米，测距时间小于1秒，测量的坐标数据直接存储到内存中；可通过U盘将数据复制到电脑，本测量仪采用Windows mobile。LT-12净空测量仪集成了GPS定位功能和全站仪测角、测距功能，不受地域和时间限制，不依靠控制网，没有作业半径限制，是全天候、无盲区、智能型的测量系统。技术参数角度测量：水平角范围:0～360°垂直角范围：-45°-+90°水平角精度：2″(2秒=0.0005°)垂直角精度：2″(2秒=0.0005°)最小读数:1″/5″可选测角方法：绝对编码，动态测量角度补偿方式：电子补偿角度补偿范围：±3′（补偿范围内仪器自动消除仪器不平对角度的影响）采点速度：1点/3秒非合作目标距离测量：测程：12000米测距精度：1米测距激光波长：1.57波长测距激光类型：1级人眼安全激光（最安全等级）数据存储/通讯：可扩展内存:标配8G内存，可扩充至32G数据接口：U盘，蓝牙，Wifi,3G上网及语音通话功能（选配）数据格式：文本格式/CSV格式望远镜：放大倍数：16倍物镜口径：23mm视场：2°30′（100m处视场4.4m）调焦范围：2.5m至无穷远显示屏：显示屏：3.5寸电阻式彩色触摸屏，640×480像素，亮度可调节操作系统：Windows Mobile：6.5主频：800HZ激光对电器：类型：红色激光点对中精度：1.5m处对中精度1.5mm电池：类型：12V可充电锂电池1800mA操作时间：双电池在打开激光条件下可工作8小时以上物理指标：整机重量：5.3kg体积：170×160×330mm环境指标：工作温度范围：-30℃到+60℃，极地耐低温型-40℃到+60℃（可定制）防尘/防水：IP55，防雨防尘湿度：95%，无冷凝软件功能：后方交会法：有站点测量法：有角度定向法：有原始坐标输出：有原始坐标数据输出，便于用户验证检查，数据兼容性好智能测量导航：有产品特征1．可选配大范围倾角补偿器。2．可选配3G上网卡实施将测量数据发回办公室。3．LT-12净空测量仪系统从GPS获取绝对坐标，无需做控制网或控制点，使作业更简单。4．可选配高精度GPS进行定位定向，结合全站仪数据采集功能，实现全站仪、GPS测量数据共享。

仪器简介：是二维表面粗糙度测量仪、三维表面粗糙度测量仪和轮廓形状测量仪最高水平的组合，一体化的合理的测量仪器状解析记录模式三种功能，技术参数：二维粗糙度：测量参数：Ra、Rq、Ry、Rmax、Rt、Rz、Rz5、Rz3、R3z、R3zmax、RzmaxD、RzD、Sk、Ku、Pc、HSC、PPI、Rpm、Sl、Sm、S、Rp、Rv、 a、 q、 a、 q、 a、 q、K、tp、BC、ADC、FFT、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、WcA、WCM、WEA、WEM、真直度、离差、坐标放大倍率：竖直50 ~500,000 水平1~5000测量范围：竖直 600 m 水平100mm评价长度：0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm / 任意(0.2mm以上) /  C x1, x2, x3, x4, x5自动水平调整：最小二乘法, 二点法, R曲线修正, 二次曲线修正,辅助功能：自由画面设计记录, 图表模版, 平均处理, 统计处理, 去除缺陷后测量, 再计算,探测器登记,留言记录, 自动灵敏度校正, 公制/英制变换, 自动测量, 去除处理, 轮廓图放大缩小。三维粗糙度分析项目：平面图、等高线图 / 微分浓淡图 / 标高表示图鸟瞰图(水平, 俯角可变): 扫描图 / 细格图 / 等高线图 / 微分浓淡图三维分析值: SRp / SRv / SRmax / SRa / SGr / SSr / SRe / SRq / SRsK / S a / S a / Spc / 标高粒子分析: 山(或谷)粒子的密度, 平均面积, 平均体积, 平均直径图形: FFT/ BC测量范围：Z 600 m X 100mm Y 100mm辅助功能：分析和数据采集同时进行 / 部分选取 / 水平调整 / 三维数据的任意方向的二维分析传送速度：0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/S高速移动速度5, 10mm/S以及手动截止值：粗糙度  C 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8 mm,无截止，起伏fl 0.8, 2.5, 8, 25mm, fh 0.08, 0.25, 0.8, 2.5mm过滤方式：高斯型, 2CR, 特殊高斯型探测器上下移动：探测器上下移动范围250mm, 自动下降/上升精度 0.2 m/100mm以内(使用制动时)真直度测量精度：0.2 m / 100mm探测器：触针: R2m金刚石, 测量力0.7mN 制动: R40(测量方向) R2 m 蓝宝石轮廓形状测量分析项目对中 : 原点移动, 旋转, 反转, 移动要素分析: 点, 线, 圆, 山, 谷, 交点, 中点, 接点 / 定标器量: 座标差, 距离, 交角测量范围：竖直50mm 水平100mm传送速度：0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.2 mm / S 高速移动速度2, 10mm/S 以及手动辅助功能：自由画面设计记录, 图表模版, 宏观功能, 轮廓放大缩小, 数字式圆弧修正, 防止过载 震动器, 上下正反两方向测量 探测器上下移动范围：200mm真直度测量精度：1 m / 100mm探测器：R25 m 10~30mN超硬， 追踪角度： 上攀77度， 下移87度尺寸/ 质量、测量部600  395  593mm / 80Kg 计算部900  600  520mm / 30Kg电源：AC 100V 800VA 50/60Hz主要特点：三维粗糙度测量 数据采集和分析同时进行数据的采集和以前采集的数据的分析可以同时进行. 能节约测量时间.三维粗糙的形状记录能改变鸟瞰图的视角、高低并进行记录.对于平面图能得到浓淡图和等高线图, 当然, 可以取出感兴趣的部分放大或记录.三维粗糙度参数能进行面平均算术平均粗糙度SRa等各种三维粗糙度参数, ”山” , “谷” 粒子的平均面积、平均体积等的分析. 二维粗糙度测量 参数能对应于ISO、JIS、DIN、ANSI、BS等国际标准和各国的新旧标准进行测量自动测量功能从探测器的测量到数据图表的打印一连串的动作都能自动进行.去除处理可以避开测量形状中伤痕等不适和的部分,指定计算的区域进行分析.轮廓形状测量 多断面形状分析能对多到32个断面的数据同时处理. 而且, 能对n次分开测量的数据合在一起进行分析. 对中调整备有必要的充分对中的功能, 而且能进行极细微的调整.宏观功能利用很强的宏观功能,可以使同一类测量物体的测量、分析和打印变得很简单. 操作的宏观化是除了通常的操作外只要增加单键操作就可以了,使整个测量简单化.公差判定对于半径、距离、角度等的分析数据, 每次都要设定公差,并能进行对错的判断.二维粗糙度、轮廓形状测量的共同特点 数据图表能自由的对数据图表进行画面设计, 可以自由选择画面设计的数据, 其中, 有各种测量的数据, 名称等原始数据, 公司标记等图形数据, 进行画面设计, 作成图表.

SmartScope ZIP 800影像测量仪是具有大测量空间的多元传感落地式机型。其坚固的花岗岩基座和垂直正交的桥架式形式保证了高精度的影像测量所需要的机器结构。在强大的影像三维测量的基础上，还可以配置接触式和非接触式的传感器，包括可测量精密严苛要求的小型零件所需要的同轴TTL激光，彩虹扫描白光传感器，羽毛探针等微探测技术。 像所有的ZIP系列产品一样，SmartScope ZIP 800影像测量仪配备了7:1 AccuCentric 自校准的变焦光学镜头，适用于宽泛的制造业和很多领域。另外，SmartScope ZIP 800影像测量仪Z轴行程可以加高到300mm。每一款SmartScope ZIP 800 都可拓展为多元传感测量系统。可以增加的多元传感器：探针，激光或微测针等等,选择 QVI相应的测量软件来满足制造测量需要。XYZ 测量行程: 800 x 800 x 200 mm800 x 820 x 300 mm

中图仪器SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能(1)SuperViewW光学三维表面轮廓粗糙度形貌测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪基于白光干涉技术原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉摩擦磨损三维形貌快速精准高效测量仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。它采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立表面3D层析图像，实现Wafer厚度、翘曲度、平面度、线粗糙度、总体厚度变化(TTV)及分析反映表面质量的2D、3D参数。WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。应用领域可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

仪器简介： 德国Klocke Nanotechnik公司生产的纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标，是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等，并可与超精密微加工、微组装系统组合，进行在线检测、质量控制等。系统拥有5个自由度，可以根据样品设定测量路径，测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。 技术参数：设备主要参数： 测量范围: X = 10, 20 or 50 mm Y = 10, 20 or 50 mm Z = 10 or 20 mm 采用花岗岩基底，XY方向行程扩展为： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 测量特性： 运动分辨率： 1 nm 针尖分辨率： 0.5 nm 水平与竖直方向均配有操纵传感器 线形轮廓测量 样品内部与外部轮廓测量 坐标测量功能 测量用探针: 针尖型金属丝, 尖端半径 100 nm 钩型金属丝, 尖端半径 100 nm 圆形针尖, 直径 0.12-0.3 mm 金刚石针尖, 如用于表面压痕 软件： 针尖自动校准与逼近 2D 和 3D 图形功能 分析软件 自动化模块选项（序列发生器） 可选择的配置: 小型花岗岩平台式3D-Nanofinger 便携式3D-Nanofinger 3D-Nanofinger 模块，如集成到CNC机床内部 适合电镜中安装的3D-Nanofinger 模块 可安装到多功能检测工作台中 附件: 纳米精度自动旋转平台 摄像机 图形识别系统主要特点：1.纳米精度测量，而且是三维方向都可保持统一的精度。 2.测量量程跨越纳米到厘米,甚至分米级。 3.多功能多参数测量设备，可以涵盖三坐标、轮廓仪、形貌仪、粗糙度仪等的功能。 4.用户可以设定测量路径，这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。 5.配合多种不同功能的探针，可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。 6.用户可以根据需要灵活设置测量方法，可以进行大面积精确测量，也可以先进行大面积低精测量，然后对特定感兴趣的区域进行高精测量，以节省时间。 7.整个过程非接触的，间距可以保持在可以设定为几个纳米。适合各种固态样品测量，对材料性质没有特别要求和限制。 8.布局灵活，根据用户测试要求组成合适的系统。平台可以任意组合，探头也以改变安装方向。 9.如果和微加工设备组合，可以实现在线测量。

OGP 出品的SmartScope Flash CNC 500影像测量仪给您的生产检测带来不可评估的价值和高精度的测量保障。为了获得测量的稳定性，该影像测量仪在桥式支撑结构上安装了一套性能卓越的光学系统，并可将多种传感器配置在一个系统中，如接触式探针，Feather Probe™ 羽毛探针，激光传感器及 Rainbow Probe™ 彩虹激光扫描器，拓展测量性能和加大测量范围。 自动校准的变焦镜 专利的12:1 AccuCentricTM变焦镜在每次放大倍率变更后都会自动进行校准，确保在整个测量过程中维持很好的精度。 定位精度 影像测量仪由直流伺服马达驱动的精密机械轴承操控XYZ平台，加上坚固的桥式架构，保证了测量平台移动的快速流畅与高效。即使当平台快速移动时仍可保证测量时具备很好的定位精度。 多功能的照明系统 OGP影像测量仪所独有的照明技术具有程控能力，可显示复杂的工件影像，包括棱镜形或圆柱形工件。LED绿光轮廓灯与TTL同轴白光灯，甚至是可编程的专利SmartRing™ LED环光，都为OGP SmartScope CNC 500的标准配置。 可延伸的测量行程 SmartScope Flash CNC 500可配置加长的Y轴和/或Z轴行程以配合大工件或夹具的安放。 易用的测量软件 OGP Meausre-X测量软件利用“指向-点击”工具简化了复杂的测量过程，并提供了一套通用的多功能测量软件包。SmartScope Flash CNC 500影像测量仪也可以使用MeasureMind 3D多元传感测量软件，实现真正的三维影像测量。标准配置■测量范围(XYZ)：500x 450x 200 mm■测量系统尺寸(LWH)：114 x 120 x 153 cm，960kg(木箱包装尺寸和重量请联系OGP)■光栅尺分辨率：0.5μm■马达驱动：直流伺服马达驱动，四轴操纵杆控制((X, Y, Z, 变焦)■工作台：有夹具孔的镀镍平台，可拆卸平板玻璃,，65kg承载力■变焦镜：专利的12:1 AccuCentric 自动校准变焦镜, 校准位置可高达25个■摄像机：1/2″ 高分辨率彩色CCD，768x 494象素阵列■照明：平台下LED背光(绿光), 同轴LED表面光(白光)，??专利的8扇区 SmartRing™ LED环光(白光)■影像处理：10:1次象素分辨率，256灰色级■电力要求: 115/230vac，50/60Hz，1Ф , 700W■额定温度: 18-22℃ + 1℃/小时,30-80%湿度(无冷凝水),振动0.001克,低于15HZ■操作环镜: 15-30℃■测量软件: Measure-X■电脑配置: 双核处理器@ 2.8 GHz，2GB随机存储器，160GB硬盘(最低配置)，DVD/RW光盘驱动器，平行及串行接口，USB2.0接口，主板集成10/100网卡■操作系统: Microsoft WindowsTM 7■保修期：1年

SmartScope Flash CNC 670是创新的多用途的大行程影像测量仪。其XY测量行程分别为650mm和670mm,Z轴测量行程为200mm,最大可拓展到400mm。该移动桥式设备的测量头在横跨花岗岩桥的X轴上移动，而花岗岩桥又在平行的Y轴平行导轨上移动。 花岗岩桥式结构在整个X轴测量性能优异稳定，同时Y轴光栅尺保证了高精度和重复性。 SmartScope Flash CNC 670可以配置多元传感器，其标准配置专利高质量的12：1的自校准的变焦镜头，当放大倍率切换时自动校准镜头。 无论目前或未来是否需要配置多元传感器，SmartScope Flash CNC 670都可以满足需要。其优异的设计结构允许拓展高精度的附加多元传感器，包括触发式探针，微测针及激光扫描传感器等。 选择适当的 QVI 的测量软件 ，如ZONE3三维脱机测量软件来与您的制造要求相匹配。

SmartScope Flash CNC 635 影像测量仪的XYZ测量行程分别为635mm*635mm*200mm,其结构兼具测量速度和稳定性，而独有的碳纤维X轴复合导轨重量轻，便于测量提速的同时还具有抑制噪音的特性。当测量头在X, Y和 Z轴移动时零件在平台上岿然不动。 SmartScope Flash CNC635可以配置多元传感器，其标准配置专利高质量的12：1的自校准的变焦镜头，当放大倍率切换时自动校准镜头。 无论你目前或未来是否需要配置多元传感器，SmartScope Flash CNC635都可以满足需要。其优异的设计结构允许拓展高精度的附加多元传感器，包括触发式探针，微测针及激光扫描传感器等。 还可以选择适当的 QVI 的测量软件 ZONE3三维脱机编程软件来与您的制造要求相匹配。

产品详情德国Klocke Nanotech纳米级三维测量仪3D Nanofinger 纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标，是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等，并可与超精密微加工、微组装系统组合，进行在线检测、质量控制等。系统可以根据样品设定测量路径，测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。 工作原理： Nanofinger传感器是一个小的MEMS器件，用来监测针尖和样品之间的距离。这个距离小于10nm时，传感器检测到针尖和样品之间的范德华力。此过程针尖跟样品没有接触，即没有任何损伤。 Nanofinger的传感器由一个特殊的，带宽为几kHz的高速电子控制系统驱动，闭环控制朝向样品运动，增量为1nm直至达到理想的信号值（如，放大倍数为75%）。这时，位置信息以坐标数据信息存储下来。传感器继续运动，到达下一位置，任何时候，都是1nm增量的闭环控制。同时，在X.Y和Z方向都可以实现厘米的运动行程。 所有运动方向都实现1nm运动分辨率。线扫描后非常容易地获得三维图像。 应用灵活： 3D-Nanofinger可以作为一个模块，应用到其他系统中。 可以构建成一个独立的纳米级三维测量仪。 可以与Klocke公司的机械臂组合，安装在SEM/FIB系统中，进行三维测量。“实时的图像位置”模块引导Nanofinger轻松到达鼠标点击的SEM图像位置。 设备主要参数： 可选行程: X = 20 or 50 mm2 Y = 20 or 50 mm2 Z = 10 or 20 mm2 采用花岗岩基底，XY方向行程扩展为： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 测量特性： 运动分辨率： 1 nm针尖分辨率： 0.5 nm水平与竖直方向均配有操纵传感器线形轮廓测量样品内部与外部轮廓测量坐标测量功能 测量用探针: 针尖型金属丝, 尖端半径 100 nm钩型金属丝, 尖端半径 100 nm圆形针尖, 直径 0.12-0.3 mm金刚石针尖, 如用于表面压痕 软件: 针尖自动校准与逼近2D 和 3D 图形功能工序设置，实现复杂动作自动控制（选项） 应用图例： 轮廓测量 二维和三维轮廓和表面精糙度参数 TFT LCD显示行业的金字塔结构 外形测量 沿内部及外部形状 1.4 mm直径的内螺纹 尺寸测量 确定物体的方位和尺寸 钻床和磨床上使用的刀具刃部的三维图像

OGP已经售出两千多台 SmartScope FlashTM CNC200影像测量系统，是市场上非常受欢迎的影像测量仪和多元传感测量系统之一。该系统创新紧凑的设计满足了不同工业领域制造商的影像快速测量需求。 SmartScope Flash CNC200是台式设计中具效益的多功能影像测量仪。擅长视频三维测量的同时，还可选用TTL激光或接触式探针，将其配置成高性价比的多元传感测量系统。■创新的机械设计。独特的“升降桥”结构设计，使整个系统外型相比其他类似行程的机型更为紧凑。■精密的光学。高品质的12:1变焦镜在其整个聚焦范围内保持了优异的光学性能。这一专利的AccuCentricTM变焦镜在每次放大倍率改变后都会重新进行校准，确保系统一直维持最佳精度。■多功能的照明系统。获得专利的轮廓照明技术采用了LED阵列组成的平台下背光，当平台移动时光学系统依据程序设定自动打开关闭和调整。其中，TTL同轴LED表面光以及专利的SmartRing™ 环光，都是Flash CNC的标准配置。■功能强大的测量软件。Flash CNC 200影像测量仪拥有强健而又便于操作的 Measure-X测量软件。也可选用MeasureMind 3D多元传感测量软件，实现完整的三维测量功能。标准配置■ 测量范围(XYZ)：200x 200x 150 mm■ 测量系统尺寸(LWH)：76 x 60 x 73 cm，100kg■ 木箱包装尺寸(LWH)：94 x 87 x 90 cm，149kg■ XYZ光栅尺分辨率：0.5μm■ 马达驱动：直流伺服马达驱动，四轴操纵杆控制((X, Y, Z, 变焦)■ 工作台： 平台带有夹具孔, 镀硬膜层且阳极氧化,，可拆卸平板玻璃,，16kg承载力■变焦镜：专利的12:1 AccuCentric 自动校准变焦镜, 校准位置可高达25个■摄像机：1/2″ 高分辨率彩色CCD，768x 494象素阵列■照明： OGP专利所有，与数字光圈相匹配的LED背光, LED同轴表面光，专利的8扇区8环SmartRing™ LED环光■影像处理：10:1次象素分辨率，256灰色级■电力要求： 115/230vac，50/60Hz，1Ф , 500W■额定温度：18-22℃ + 1℃/小时,30-80%湿度(无冷凝水),振动0.001克,低于15HZ■操作环境：15-30℃■测量软件：OGP Measure-X■保修期：1年

SmartScope ZIP 635是针对大型零件的多元传感高速测量而研发的落地式机型。其测量轴的快速移动和加速使得测量效率更高，而测量的稳定性得益于自成一体坚固的花岗岩基座和桥架的结构形式。在强大的影像三维测量的基础上，还可以配置接触式和非接触式的传感器，包括独有的可开关的同轴TTL激光。 像所有的ZIP系列产品一样，SmartScope ZIP 635配备了7:1 AccuCentric 自校准的变焦光学镜头，适用于宽泛的制造业和很多领域。每一款SmartScope ZIP 635 影像测量仪都可拓展为多元传感测量系统任何时候都可以增加丰富的多元传感器：探针，激光或微测针等等,选择 QVI测量软件来满足制造测量需要。XYZ 测量行程: 635 x 635 x 200 mm

三坐标测量仪是由测量仪主机、控制系统、测头测座系统、以及计算机几部分构成的。我们每次开机时都要打开的长方体的控制柜，就是三坐标测量仪的控制系统。下面妙机就来介绍一下测量生产的三坐标测量仪控制系统的主要功能：　　1.控制和驱动三坐标测量仪的运动，对三轴同步、速度、加速度的控制，使三坐标测量仪的各轴能准确，平稳的移动。　　2.在测头触发后，对传送过来的触发信号进行数据采集，对光栅读数进行处理。　　3.采集温度数据，对三坐标测量仪由于温度偏离而产生的误差进行补偿。　　4.对三坐标测量仪的工作状态进行检测，当发生异常现象是，采取保护措施。　　5.根据补偿文件，对三坐标测量仪进行21项误差补偿，保证测量精度。　　以上为东莞三坐标测量仪生产厂家给大家讲解的内容，希望能帮助到大家，如有意向想要购买或者想了解更多关于这方面的知识的朋友们，欢迎关注妙机科技网站或者致电联系，我们妙机科技公司是一家致力于生产、销售为一体的测量厂家，值得信赖！

越联仪器提供三维扫描形位公差检测服务cav检测尺寸检测仪，用德国原装进口ATOS 三维扫描仪，精度高；工业级3D扫描仪是非接触便携式高精度3D扫描仪,适用于航空航天、手机配件，汽车、文物文物扫描，大桥建筑等领域。越联逆向工程服务,专业的团队和先进的设备,给你带来更加优质的服务。CAV检测服务服务详情随着科学技术的发展和制造水平的提高，在家电、飞机、汽车，文件，古建筑等零部件中出现了大量的A 级曲面。用户对曲面零件的精度要求也越来越高，而曲面零件形状复杂，用传统的检具检验时难度大，且检测精度不高，尤其在曲面尺寸测量方面不能满足现实对于时间和操作难度的要求。 越联仪器CAV全尺寸检测（简称cav检测，逆向检测）服务的优势是：1.ATOS三维扫描测量仪属于高精度三维扫描仪，扫描精度高达0.002mm，速度快，精度高；2.专业的三维检测软件,德国GOM Inspect Professional软件用于三维点云的三维分析。三维点云应为出自 ATOS 测量系统和 GOM Inspect Professional 应用软件的数据集，快速完成 CAD模型与已有实际零件之间进行自动的3D 比对和误差分析3.大限度的减少误差与节省时间：减少了人为误差，可加快检测过程。CAV全尺寸检测的方案的关键点是：高精度三维扫描与专业的三维检测软件。CAV全尺寸检测（简称cav检测）服务，可以适用于板金件、工模具、涡轮叶片、原型、注塑件、铸件等大部分工业部件的扫描与全尺寸测量，广泛应用于不同行业，适于不同尺寸、不同结构和形状的对象。

SmartScope FlashTM CNC300是一种大容量的零部件三维影像测量仪。影像可以实现三维几何尺寸测量外，我们还可以选用TTL激光、接触式探针或微型探针将其配置成高性价比的多元传感的影像测量系统。Flash CNC300系统Z轴方向的测量范围可达250mm，即使在安装了旋转台以实现四轴测量功能的情况下，也能够装载大型工件。■革新的机械设计。独特的“升降桥”专利设计，使整个系统外型相比其他类似行程的机型更为紧凑。■可靠的精度。精密机械确保了稳定的轴向直线度和垂直度，其特有的机械结构设计令系统满足严格的空间精度要求。■精密的光学。Flash CNC300配备了高品质的12:1变焦镜，在其整个聚焦范围内保持了优异的光学性能。这一专利的AccuCentricTM变焦镜在每次放大倍率改变后都会重新进行校准，确保系统一直维持在很好的精度。■多功能的照明系统。获得专利的轮廓照明技术采用了LED阵列组成的绿色背光，当平台沿X轴方向移动时就会追踪到光学系统。另外，TTL同轴照明以及OGP专利所有的SmartRing&trade LED环光，都是Flash CNC的标准配置。■功能强大的测量软件。Flash CNC 300拥有强健而又便于操作的 Meausre-X测量软件。也可选用MeasureMind 3D多元传感测量软件，实现完整的三维测量功能。标准配置■测量范围(XYZ)：300x 300x 250 mm■测量系统尺寸(LWH)：80 x 85 x 80 cm，160kg■木箱包装尺寸(LWH)：150 x 112 x 115 cm，192kg■XYZ光栅尺分辨率：0.5μm■马达驱动：直流伺服马达驱动，四轴操纵杆控制((X, Y, Z, 变焦)■工作台： 平台带有夹具孔, 镀硬膜层且阳极氧化,，可拆卸平板玻璃,，30kg承载力■机械设计：OGP专利所有的“升降桥”结构，在紧凑的设备尺寸中实现大行程XYZ测量■变焦镜：专利的12:1 AccuCentric 自动校准变焦镜, 校准位置可高达25个■摄像机：高分辨率彩色CCD，768x 494象素阵列■照明：OGP专利所有，与数字光圈相匹配的LED背光(绿光), LED同轴表面光(白光)，专利的8扇区8环SmartRing&trade LED环光(白光)■影像处理：10:1次象素分辨率，256灰色级■电力要求：115/230vac，50/60Hz，1Ф , 600W■额定温度：18-22℃ + 1℃/小时,30-80%湿度(无冷凝水),振动0.001克,低于15HZ■操作环镜：15-30℃■测量软件 ： OGP Measure-X■保修期：1年

想要拥有一套好的影像测量仪器，就会考虑到这个仪器能保证测量产品的精准、高效检测，那么你可以选择妙机影像测量仪器，MPC精准测量，你值得选购！接下来妙机小编和大家讲讲选购好的测量仪器精准度的方法。　　1.保证影像测量仪器在有效的校准期间内：影像测量设备在出厂时都会有标示的测量不确定度，该不确定度代表在实际测量产品时可能发生误差的范围，但是设备在使用一段时间后，是否还能够有足够的精度测量产品，这就需要年度校准证书来保证。通常影像测量仪器与传统的三坐标测量仪器一样，都是采用年度精度校准的方法，由设备的生产厂家或授权的校验机构使用可以追溯到国际标准的标准件进行校验并提供报告，测量精度是否达标就要看精度报告的具体数值了，当然，您也可以请第三方校验机构进行精度验证贴牌，但是这个过程不是必须的，因为不能保证设备偏离后的回归精准。　　2.熟悉零件图纸和测量要求：影像测量仪器的程序与三坐标的编程方式相同，可以建立三维空间坐标系，并在坐标基准下来评估几何形位公差。因此，结合测量要求和基准位置，摆放零件并在一个拜访位尽可能测量到多的尺寸，提高检测效率。对于成为基准的特征边界或平面，如果具有好的边界条件和平面度，其余特征的测量位置及重复性也就会得到好的保障。另外，影像仪的编程人员需要熟悉对应产品图纸的边界位置，以防测错边界。　　3.影像测量程序的优化：结合测量需要，根据测量放大倍率，统筹规划合理安排测量路线，使测量平台按照安排顺序或路径或顺时针或逆时针有序完成测量，尽可能压缩单件测量时间。　　以上就是我们影像测量仪厂家的内容介绍了，相信大家对此会有更深入的了解了，如有朋友需要购买的或者想了解更多关于这方面的知识，可以随时联系妙机科技咨询或者关注妙机科技了解更多。广东妙机精密科技股份有限公司（以下简称妙机科技）致力于为高科技领域提供完整的微米、奈米测量解决方案。妙机科技拥有完全自主品牌体系，从研发、生产、销售等关键环节，提供上、中、下游完整的产品供应及售后服务，目前在国内外占有一定的市场并享有较高的品牌知名度，未来将持续朝更高速、更高精度测量产品方向发展。

二次元测量仪、三次元同时作为两项光学测量仪的新型技术产品，按常理来讲，二次元影像测量仪在应用方面确实比三次元要低些。必竟，三次元是在二次元影像测量仪的基础上进行改良的。但是这样是不是意味着，二次元的市场将要被三次元取代呢？下面妙机专业人士给大家解答一下这个问题。有很多的客户在选购时，也经常问到：我们该买哪一款好呢？在这里，我们妙机二次元测量仪生产商可以很负责任的跟您讲，二次元和三次元都有各自的应用领域。并不一定是二次元能用到的地方，三次元测量仪就一定能用上。在这里我们还是再次澄清一下它们两者之间的区别和用途。通常，在测量体积不太，而且只需二维平面测量的，二次元测量仪厂家建议使用二次元影像测量仪。二次元固名思义，它能解决是二维测量问题。对三维的轮廓扫描是没有办法做得到的。因此通过二次元扫描成影的图像也只能生成CAD图纸。另外，二次元还有一显著特点：它是属于非接触型测量。这跟三次元是本质上的区别。所以二次元在测量平面的工件较适合了。例如：PCB板，手机平板，薄膜等。三次元测量仪主要是用在三维测量领域。主要针对的是立体的工件。并且扫描后的数据可以直接生成三维图纸。它可以对立体工件任何角度，任何部位进行测量。从而迷补了二次元的立体测量的空缺。它主要是用在五金模具，机械零件，自由曲面等领域。所以，我们的客户选购时，要根据他们本公司的需要，适当的选择合适他们的仪器。并不是三次元测量仪的功能多就一定要选。综合上影像测量仪厂家小编给大家讲的知识，相信大家对这方面的资讯已经非常了解，如有疑惑可以关注我们妙机科技的咨询了解，我们将竭诚为您服务。妙机科技达到高要求生产和测试标准，生产设备齐全先进，目前在国内外占有一定的市场并享有较高的品牌知名度，未来将持续朝更高速、更高精度测量产品方向发展。

用途JSS手持激光三维扫描系统是一款便携式手持三维激光测量仪，符合德国VDI/VDE 2634标准，具有大范围调整激光扫描、最高0.03mm测量精度，自定位、动态实时识别，抗干扰能力强、精度可靠，轻巧便携的特点，广泛应用于产品分析测量、逆向及工业设计、零部件到CAD检测、初样检测（FAI)、仿真分析（FEA）、磨损分析及修复、快速制造、3D打印、文化遗产及珍贵文物的存档、修复等行业。 产品特点超便携手持三维激光测量系统极速测量，大范围调整扫描交叉激光线、抗干扰能力强工业级测量、最高可达0.03mm测量精度坚固耐用，轻巧便携（小于1kg）自定位、动态实时识别狭小空间应对自如精度可靠，依据德国VDI/VDE 2634标准测试 技术参数 产品型号JSS 330JSS 550扫描形式手持激光三维扫描扫描速度265000次/秒430000次/秒激光类别GLASSⅡ（人眼安全）测量精度最高0.03mm体积精度Ⅰ（单独使用）0.02mm+0.08/m0.02mm+0.1/m体积精度Ⅱ（配合三维摄影测量系统）0.02mm+0.025/m景深250mm有效工作距离200-450mm支持数据格式ASC等工作温度－10°C—45°C激光器JSS 330：6束交叉激光线JSS 550: 10束交叉激光线

东莞市嘉绎科技有限公司拥有工业级高精度拍照式3D扫描仪和手持3D扫描仪设备。它可以快速完成、高分辨率的三维扫描。精度可达0.01mm。借助该软件平台，可以快速完成数据，并自动优化扫描文件。1.钣金零件的尺寸公差测量在此期间，客户需要测量某气阀机底部金属板包装板安装孔位置的孔距、安装面平整度等三维尺寸值，以验证产品与标准数字模拟之间的偏差是否满足精度范围。扫描检测过程：（1） 用三维扫描测量仪扫描钣金件的速度非常快，可以方便地获取钣金件的三维数据。（2） 通过扫描获取钣金零件的多角度三维数据，通过去噪、坐标对齐和拼接形成完整的三维数据。（3） 钣金零件的三维尺寸测量和几何公差检测（4）以侧板三维定位孔尺寸为基准点；（5）测量钣金零件安装平面的平整度2.三维扫描逆向建模对于一些中小型工件，拍照式3D扫描仪可用于高精度扫描建模。以下是客户需要对旧零件的损坏样品进行建模，然后根据原始尺寸对其进行修复和重新建模，并以3D打印建模图纸，以便小批量生产。3.三维扫描模具偏差检测三维扫描仪广泛应用于模具行业。它可以根据检测软件生成误差分析和数据报告，纠正模具或生产中的缺陷，并及时反馈给模具设计和加工。使用3D扫描模具的高密度点云，获得模具的原始3D数据模型。扫描速度快，三维轮廓清晰。通过多角度扫描获取三维数据，并调整三维扫描软件的参数，以确保模具上某些特征点的扫描精度。获得三维扫描数据后，将尺寸与原始三维数模文件图纸进行比较，以获得所生产模具的实际偏差标注图纸，并确定模具是否满足精度要求。数据存储直观方便，大大节省了时间，提高了效率。br东莞三维扫描服务全尺寸形位公差测量偏差检测逆向建模案例：

中图仪器GTS三坐标激光动态跟踪测量仪集激光干涉测距技术、光电检测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论于一体，主要用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量，在大尺度空间测量工业科学仪器中具有高的精度和重要性。GTS三坐标激光动态跟踪测量仪作为高精度、便携式的空间大尺寸坐标测量机，广泛应用在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中，解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。产品应用在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量；在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量；在汽车制造中对车型的在线测量；在制造中对运动机器人位置的精确标定；此外，激光跟踪仪还可以广泛应用到造船、轨道交通、核电等先进制造各个领域。中图仪器GTS三坐标激光动态跟踪测量仪已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列，可以和多种形式的合作目标测头配合使用：1、GTS3000激光跟踪仪与光学回射靶球配合组成三自由度激光跟踪仪，能对大尺度空间内的点、线、面、曲面等几何特征进行精确测量；2、GTS6000激光跟踪仪与空间姿态探头配合组成六自由度激光跟踪仪，能够根据合作目标的精确空间姿态对被测工件的内部特征、隐藏特征或曲面等复杂特征进行快速、高精度的测量。功能特点1、主机测量系统（1）集成化控制主机设计强大CPU处理能力、紧凑型的控制主机内置于激光跟踪头，主机集成化的设计大大减少设备连接线缆和携带箱体数量，方便现场快速安装。（2）目标球自动锁定技术目标锁定相机在断光时会在小范围内自动搜索到目标球，完成断光续接，自动锁定目标球，全过程不需人为操作，提高测量效率。（3）HiADM测距技术激光绝对测距（ADM）和激光干涉测距（IFM）融合技术（HiADM），将激光干涉测长的高动态速度与激光绝对测距功能相结合，保证测量精度，并实现挡光恢复。（4）一体化气象站一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。（5）MultiComm通信设备与电脑之间可以通过硬件触发、有线网络或无线WIFI等多种方式数据通信，方便保密车间的现场使用，最高测量数据输出速度1000点/秒。（6）便携性运输集成化主机设计的激光跟踪头，集成式的配件运输箱，使得整个运输箱体系统体积小、重量轻，并且便于在不同的工作地点之间进行运输。（7）密封防护设计IP54防护等级，保证主机免受灰尘和其他污染物的进入，环境适用性强。（8）稳固三脚架稳定、便捷的三角架和底盘设计确保稳定的地面测量条件，灵巧升降机构设计省力操作，稳固的三角支撑系统避免环境震动带来的精度损失。2、iProbe 6D姿态探头（1）机器视觉和重力对齐的传感融合技术测量空间姿态。（2）可以测量孔、洞等内部特征、隐藏特征的几何结构。（3）双探头设计，对复杂特征测量时更加高效。（4）无线传输，简易随行。3、iTracker 6D姿态智能传感器（1）姿态传感器自动跟随锁定激光束，测量灵活性高。（2）俯仰角和偏航角不受光学回射器接收角度的限制。（3）简易接口连接，便于安装在机床或机器人上，重复性高、精度高。（4）专用波段激光束和滤光设计，对环境光不敏感。（5）采样速度200点/秒。4、EyeScan跟踪式激光扫描系统（1）动态追踪，无需贴点（2）测量范围广，支持大跨度转站（3）41条蓝色激光线，不惧黑亮（4）碳纤维材质，便携稳定（5）高采扫描速度1360000点每秒5、SpatialMaster空间测量软件SpatialMaster（简称SMT）是一款自主研发，专为大尺寸测量设备如激光跟踪仪配套使用，并且通过PTB认证的通用三维测量分析软件。SMT支持多个任意类型的仪器同时测量，测量数据可溯源的，具有强大的数据处理分析功能，支持生产制造过程中的几何尺寸公差(GD&T)评定，此外SMT具有优秀的用户交互性，方便灵活的分析报告功能。6、RobotMaster机器人检测校准套件基于GTS激光跟踪仪的RobotMaster机器人套件为工业机器人空间绝对位置精度测量标定和性能检测提供高效可行的解决方案，既提供基于光学靶球的经济方案，也提供基于6D姿态智能传感器的增强方案。性能特点1、速度与精度的融合实现测量精度和速度的同时，具备挡光自动恢复的功能。2、目标球自动搜索断光时自动搜索目标球，完成断光续接，目标球自动锁定，提高测量效率。3、大尺寸测量范围广激光跟踪仪可测量直径达到160m的空间范围，适用于大尺寸三维测量。4、接触式测量借助靶球反射激光光束（SMR）确定三维空间坐标。5、持续稳定的支撑系统三脚架底盘确保稳定的测量条件，避免环境震动带来的精度损失。6、集成化设计易携带结构设计紧凑，集成式的配件运输箱，整备体积小、重量轻，便于运输。

GOM三维扫描仪TRITOP兼备灵活性和机动性的光学摄影测量系统。移动式测量系统便携式GOM三维扫描仪TRITOP坐标测量系统可快速准确地测量物体的三维坐标。相较于传统接触式三维坐标测量机，使用TRITOP系统可以更轻松地开展测量工作。无需任何复杂、笨重和精密维护的硬件。只需要让测量仪趋近物体即可。与接触式坐标测量设备类似，GOM三维扫描仪TRITOP能记录所有几何特征的空间坐标及其方向。表面点和截面基元孔、冲孔和边直径、长度、角度确定三维坐标以后，系统自动将测量结果转换至部件坐标系统中。RPS量具对齐最佳拟合将实际测量数据与CAD数据（IGES、VDA、STEP、Catia、ProE、UG）进行比较，生成用户熟悉的测试报告格式。假色图示标注显示个别偏差点截面、角度和距离直径和平面度表格和列表用于不同任务的测量数据和对齐数据。CAD比较验证形状和位置公差验证各种样图、文档或表格的规格首检应用范围钣金件和车身的检测（如在试生产、工艺优化、工装验证、启动批量生产或者随机取样过程中)大型物体的质量控制（如飞机、船舶、风力涡轮等)塑件的检验（如首件检验）夹具的检验和记录模型和原型的测量（如汽车内饰和外观设计）管路和电缆的三维形状验证二维板金坯件的切边测量汽车和气候箱测试的变形分析参考点标区的测量TRITOP技术优点整套三维测量仪的组件极少（两个仪器箱总重23公斤）测量过程中无需接触被测物体可高精度测量大型物体不会因为机械磨损造成精度降低易于操作不受环境条件影响

复合式三坐标测量仪是在影像测量仪的基础上发展起来的智能检测技术，那么他都作用效果呢？今天妙机小编就和大家分享一下。　　影像测量仪使用本身的硬件将所能捕捉到的图像通过数据线传输到电脑的数据采集卡中，之后由软件在电脑显示器上成像，由操作员用鼠标在电脑上进行快速的测量。因工件大小不同，工作台可以选择不同行程。光源亮度可调，可以在各种光线条件下选择最合适的光源亮度，通过影像分析的方式测量产品的三维尺寸。但是对于产品隐藏部分的产品特征面光学无法到达的部分、对于自由型面的产品特征该如何评价呢？　　OGP影像测量仪厂家的解决方案就是在三维光学测量仪器基础上加装激光、探针、转台等传感器，通过接触和非接触的方式进行一个坐标系下的综合测量，这形成了复合式三坐标测量仪。　　这种复合式三坐标测量仪通过不同的测量传感器捕捉产品的特征面、线及特征，在一个坐标系下进行综合分析，生成所需的测量参数和报告，极大地提升了检测效率和评价手段。　　综合上影像测量仪厂家小编给大家讲的知识，相信大家对这方面的资讯已经非常了解，如有疑惑可以关注我们妙机科技的咨询了解，我们将竭诚为您服务。妙机科技采用创新性的SIC（SysteminCase）设计理念，将全自动测量仪常用的各种电路模块整合在一个盒子里，解决了过去板卡组件的系统繁杂，接线复杂，性能低下，故障率高的问题，使得全自动测量仪功能强大，结构简洁，高效可靠，易于接线和维护，从而率先推出龙门式全自动影像测量仪、一体式影像测量仪等高端重磅级测量设备，在全国乃至全球处于领先水平。