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哪儿有光学轮廓仪,可以表征三维形貌及纵向深度?谢谢了。。。
成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗?想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌,分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量,与大家分享一下。
Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全,使用方便,是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数,如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等,为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度,线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测,多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像,然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源:高亮度白光LED物镜:5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜:0.5x自动载物台:200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴:30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器:英特尔®酷睿2 双核(最低2.5GHz)随机存储器3GB硬盘驱动器:320GB显示器:22英寸宽屏液晶显示器(1680x1050像素) Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集(每处1分钟)三维表面浏览:倾斜,旋转,缩放,过滤•体积计算二维表面分析:特性尺寸,直径,面积图案间距,标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC