探针式位移传感器

简介：位移探针台可以在测试准备和测试过程中精确移动探针位置，实现微米级别的电极接触；同时探针前端可调整角度和长度，从而适应样品范围更加广泛。用途：1.用于光刻器件的高低温光电测试；2.用于IV、介电常数、霍尔效应、射频、低温电路等测试；3.可拓展低温温控和真空管路模块，实现液氮温度测量。制冷方式：液氮温度范围（℃）：-196到600℃显示精度（℃）：0.1控温精度：0.1℃样品区域：30*35mm最大加热速率：50℃/min最大冷却速率：-40℃/min正面观察窗口大小：φ41mm探针类型：探针后端XYZ轴方向位置可调，位移精度1um，位移范围±6mm探针材质：钨钢或铍铜（探针针尖1um）探针数量：四个（可拓展为6个）外观尺寸：410*410*80mm腔体净重：10Kg备注：探针前端水平角度和长度可调

微型探针台主要应用于传感器 半导体探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测三：主要技术要求微型探针台主要应用于传感器 半导体1． 类型：高温型：室温～350℃ 低温型 -190℃:350℃ 低温型：室温到-190℃2． 腔体材质：304不锈钢3． 腔体内尺寸：φ90x40mm4． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）5． 腔体抽气口：KF166． 腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选7． 腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选8． 腔体正压：≤0.05MPa9． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）10． 样品台材质：304不锈钢11． 样品台尺寸：26X26mm12． 样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm）13． 样品台测温传感器：*级PT100铂电阻14． 样品台温度：室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）15． 样品台测温误差：±0.2℃16． 样品台变温速率：高温10℃/min 低温5℃/min 最大值17． 温度显示：7寸人机界面18． 温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）19． 温度分辨率：0.1℃20． 温控精度：±0.5℃21． 温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）22． 温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）23． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线24． 电信号接头：配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米25． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA26． 探针数量：4探针（可定做6探针）27． 探针材质：镀金钨针28． 探针尖：10μm29． X轴移动行程：12mm ±6mm30． X轴控制精度：≤5μm31． Y轴移动行程：12mm ±6mm32． Y轴控制精度：≤5μm33． Z轴移动行程：12mm ±6mm34． Z轴控制精度：≤5μm35． 显微镜类别：物镜放大+电子放大36． 显微镜放大倍数：100倍37． 显微镜工作间距：50-150mm38． 相机分辨率：1080P 60帧39． 相机信号输出：HDMI输出+USB输出40． LED可调光源：LED光源41． 显示屏：5寸 屏幕一体机四：主要配置要求1．1台 KT-0904T-RL微型探针台一台2．1台 触摸屏温控箱3. 1个 6mm聚四氟管4. 1根 电源线5: 2个 6mm金属内衬6： 1根 触摸屏笔7： 4个 SMA-香蕉插头8： 1根 功率输出线9: 6米 6mm水冷管10： 1套 K型上盖扳手、备用螺丝，内六角选配: 分子泵真空机组 机械泵

中图仪器探针接触式台阶仪NS200是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。台阶仪工作原理当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台（1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。 3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。中图仪器探针接触式台阶仪NS200采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能中图仪器探针接触式台阶仪NS200配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台 系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

胶带探针式初粘力测定仪又叫探针式初粘力试验机（Probe Tack Tester），是胶带初粘力测试的方式之一，主要用于各种胶带、粘合剂类等各种不同产品的初始粘着力测试，产品满足ASTM D2979 的规范等标准，适合各类研究机构、胶粘剂企业、不干胶等检验检疫机构等。测试原理：使用5mm直径研磨的平面探头压在黏胶面，完全接触之后，再反方向恒速完全分离所产生的 大力，这个 大力值即为所测试样的初粘力，机器会记录离开时 大拉力数值。 胶带探针式初粘力测定仪特点：1.数据收集系统具有即又易用的特点，是当前先进的测量仪器。2.采用微电脑控制技术，，精度高，操作简便。3.采用高精度传感器，度可以达到重量感应器标准的+0.1%。4.先进的静音电机和滚珠丝杠，传动运行平稳，位移测量更加准确。5.高清晰LCD显示，操作一目了然6.连接微型打印机：可实现实验日期、试验结果，直接及时打印.7.具有试验力值保持功能，查看实验结果更加方便。8.无级调速可在1—800范围内任意设定精度胶带探针式初粘力测定仪技术参数：1.负荷范围：0－20N2.精 度：0.5级3.分 辨 率：0.01N4.试验速度：24 ipm (英寸/分)，61cpm (公分/分)，610 mm/min（0.001～800mm/min可调 ）5、试验行程：600mm（标配）或1000mm（可定做）6、速度控制范围：1mm/min～800mm/min7、试验机尺寸：530*266*1450或1810 mm8、供电电源：220V，50Hz9、重量:75kG探头式初粘力测试仪标准配置：主机、电源线、探头一副、试验板3片，夹持辅具一副

PW-US16T探针式初粘力测试仪YL-1106E环型初粘性试验机PW-US16T探针式初粘力测试仪又叫探针式初粘力试验机（Probe Tack Tester），是胶带初粘力测试的方式之一，主要用于各种胶带、粘合剂类等各种不同产品的初始粘着力测试，产品满足ASTM*2979 的规范等国际标准，适合各类研究机构、胶粘剂企业、不干胶等检验检疫机构等。　　测试原理：使用5mm直径精密研磨的平面探头压在黏胶面，完全接触之后，再反方向恒速完全分离所产生的da力，这个da力值即为所测试样的初粘力，机器会记录离开时da拉力数值。产品特点：　　1.数据收集系统具有即又易用的特点，是当前先进的测量仪器。　　2.采用电脑控制技术，，精度高，操作简便。　　3.采用高精度传感器，度可以达到重量感应器标准的+0.1%。　　4.先进的静音电机和精密滚珠丝杠，传动运行平稳，位移测量更加准确。5.全电脑操作显示，测试数据一目了然 　　6.具有试验力值保持功能，查看实验结果更加方便。技术参数：　　1.负荷范围：0－50N　　2.测量精度：±1%测量误差　　　3.分 辨率：0.01N　　4.加载速度：0.5—500mm/min） 　　5、 试验行程：200mm　　6、 速度控制范围：1mm/min～800mm/min7、试验机尺寸：360mm（B）×380mm（L）×520mm（H） 8、供电电源：220V，50Hz　　9、重量:75kG

一、产品概述：探针式轮廓仪（又称台阶仪）是一种用于测量材料表面轮廓和微观形貌的高精度仪器。它通过机械探针在样品表面移动，获取表面高度变化信息，广泛应用于材料科学、半导体和微电子工程等领域。二、设备用途/原理：设备用途探针式轮廓仪主要用于测量材料表面的粗糙度、台阶高度和形貌特征。常见应用包括半导体器件的表面特性分析、薄膜厚度测量、材料缺陷检测以及表面处理过程的监控。这些数据对于材料的性能评估和质量控制至关重要。工作原理探针式轮廓仪的工作原理是通过细探针在样品表面沿着预设路径移动，测量探针与样品表面之间的高度变化。当探针接触到样品表面时，其位移会被转换为电信号，通过数据采集系统进行记录和分析。仪器通常配备高精度的位移传感器和控制系统，以确保测量的准确性和重复性。最终生成的轮廓图可以直观地展示材料表面的微观特征和结构变化。三、主要技术指标：1. 测量功能：二维表面轮廓测量 /可选三维测量2. 样品视景：可选放大倍率，1 to 4mm FOV3. 探针压力：使用LIS 3 传感器 1至15mg4. 低作用力：使用N-Lite+低作用力传感器: 0.03至15mg5. 探针曲率半径可选范围: 50nm至25 um6. 高径比(HAR)针尖: 10um x 2um和200um x 20um 可按客户要求定制针尖7. 样品X/Y载物台：8. 手动X-Y平移：100mm (4英寸）9. 机动X-Y平移：150mm (6 英寸)10. 样品旋转台：手动，360° 旋转 机动，360°旋转 11. 扫描长度范围：55mm(2英寸)12. 每次扫描数据点：多可达120.000数据点13. 大样品厚度：50mm(2英寸)14. 大晶圆尺寸：200mm(8英寸)15. 台阶高度重现性：4A，1sigma在1um台阶上 16. 垂直范围：1mm(0.039英寸)17. 垂直分辨率：大1A (6.55um垂直范围下)

英国真尚有-电容位移传感器|电容传感器|皮米电容传感器|ZNX系列ZNX超精密电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围，频率响应高达 5KHz，线性度低至 0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移。CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。 当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时，电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化，此比例可由用户设置。ZNX超精密电容位移传感器其紧凑的尺寸、独立操作和高分辨率使其成为升级需要纳米定位的现有系统的理想选择。主要特点：(1)、量程20～1250μm； 分辨率0.1nm；线性最高0.02%；(2)、对位置的尺度变化非常敏感，精确测量到皮米级位移变化；(3)、可调谐以满足应用要求；(4)、高精度，线性度最高可至0.02%FS；(5)、高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以最大限度地减少位置漂移；(6)、适用于各种应用并适应各种环境挑战，可用于真空，极端低温，强辐射。应用领域： 可用于对精确定位：平台控制； 显微镜； 结构变形； 振动控制； 材料测试； 精密工程； 有源光学； 精密光束转向； 空间站机械臂。 如压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。技术规格：传感器型号ZNXBZNXCZNXD小量程μm20100250灵敏度μm/V21025噪音nm rms Hz-1/20.0010.0050.013温漂nm/K14.411线性度%0.080.050.06大量程μm1005001250灵敏度μm/V1050125噪音nm rms Hz-1/20.0150.0750.188温漂nm/K3 或 2303 或 2303 或 230线性度%0.080.050.06工作温度+10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探头）存储温度0～+70℃相对湿度5～95%（无冷凝）频响Hz50/500/5000控制器型号CC-A-4101传感器通道最大个数1供电±15V，75mA模拟输出V±10数字输出尺寸mm218 x 77 x 34频响Hz100 or 1k or 10k◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。

中图仪器NS系列国产探针接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。仪器测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。NS系列国产探针接触式台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。 3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。中图仪器国产探针接触式台阶仪配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量；还配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。NS系列台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

Microsense高精度电容式位移传感器、微位移传感器、纳米定位位移传感器、电容式微位移传感器Microsense（美国KLA子公司） 高精度电容式位移传感器原装进口，中国区总代理—岱美仪器技术服务（上海）有限公司 联系方式：、（贾先生）联系地址：北京市房山区长阳镇启航国际3期5号楼801公司网站： 一、优势简介：Microsense的高精度电容式位移传感器具有一般非接触式仪器所共有的非接触式特点外，还具有信噪比高，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂等部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。 二、特点：1 近距离高精度非接触式位置测量2 可达亚纳米级直至皮纳米级别分辨率，为世界上所有商用电容传感器中噪音性能***品牌3 可基于无论是高稳定性和线性还是测量带宽而提供多种型号探头“应用定制化”的优化方案。4 单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）可选 三、型号简介：1 被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。 2 主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列－－－－-突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承机床主轴。主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量（ run out measurement），如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动（NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。 四、性能：1） 测量距离－－± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择2） 高测量带宽（高频率响应）可选－－ 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz ａnd 100 kHz3） 适用于任何接地，导电的目标－－材料或表面光洁度对精度没有影响4） 高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定5） 5）线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定 五、应用： 1 定位功能 ： 1）用于伺服反馈传感器纳米定位器 2）快速机床私服系统定位 2 距离和位移测量： 1）尺寸测量和检验 2）转轴位移测量 3 跳动测量：1）精密马达和转轴的跳动测量2）主轴计量与主轴跳动测量 3）精密样品台的直线度和平面度测量 4 厚度测量 ：1）磁性介质厚度测量2）蓝光光盘模具厚度测量 5 自动对焦和调零：半导体晶片表面检测（聚焦平面控制） 6 振动测量：1）精密工作台振动测量 2）传动轴振动测量 3）主动隔震系统伺服反馈系统六、探头 应用示例】 平面度测量： 直线度测量： 转轴跳动测量：

NS系列中图仪器探针式高重复性台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。NS系列中图仪器探针式高重复性台阶仪用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。 3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能NS系列中图仪器探针式高重复性台阶仪采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。 磁吸针实物外观图（330μm量程）典型应用台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。台阶仪广泛应用于：大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。部分技术指标型号NS200样品观察500万像素彩色摄像机 正视视野：2.2×1.7mm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm630×610×500重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

可应客户要求生产特型探头:-根据探头安装尺寸要求-根据探头材质要求-特型导线-微型探头-耐低温或高温探头-控制电路内置OEM探头德国米铱电容式位移传感器有众多不同产品系列，根据量程范围，设计结构，加工工艺及技术配置进行区分。传感器探头一般为圆柱体结构，配置集成导线或导线接头。平板探头均配有集成导线。传感器探头可被简便、快速的更换，无须对测量系统进行重新校准。

台阶厚度仪是一种常用的膜厚测量仪器，它是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶厚度仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；NS200台阶厚度仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性； 2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。典型应用部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器NS系列探针接触式台阶高度仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。磁吸针实物外观图（330μm量程）NS系列探针接触式台阶高度仪测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。NS系列探针接触式台阶高度仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。典型应用部分技术指标型号NS200样品观察500万像素彩色摄像机 正视视野：2.2×1.7mm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm630×610×500重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

KPM23微型铰接式位移传感器（别名：电子尺，电阻尺，电位器，位移传感器）原理：电位计原理，所有传感器为位置测量型，用于调节系统（控制系统）和测量系统中，对位移和长度进行直接测量，输出直流电压信号，也可以外置的V/A变送模块讲信号转换成标准的0-5V、0-10V或者4-20mA直流信号，也可以远距离传输控制要求。KPM23微型铰接式位移传感器（别名：电子尺，电阻尺，电位器，位移传感器）输出位移变化：0-100%给定输入工作电压（随位移变化而变化）。KPM23全系列产品大部分是两端固定安装的微型绞接运动方式，适合于较小机械行程且有摆动的位置检测，对安装的对中性无任何要求，如：注塑机顶针、鞋机、3 D座椅、预应力千斤顶、机械手臂、机器人、取出机、砖机、陶瓷机械、水闸等

探针式初粘力测试仪、探头式初粘力试验机、胶带/粘合剂初粘力测试HP-TCN-B探针式初粘力测试仪又叫探头式初粘力试验机（Probe Tack Tester），是胶带初粘力测试的方式之一，主要用于各种胶带、粘合剂类等各种不同产品的初始粘着力测试，产品满足ASTM D2979 的规范等国际标准，适合各类研究机构、胶粘剂企业、不干胶等检验检疫机构等。测试原理：使用5mm直径精密研磨的平面探头压在黏胶面，完全接触之后，再反方向恒速完全分离所产生的最大力，这个最大力值即为所测试样的初粘力，机器会记录离开时最大拉力数值。探针式初粘力测试仪产品特点：1.数据收集系统具有即精确又易用的特点，是当前先进的测量仪器。2.采用触摸屏控制，控制技术，精度高，操作简便。3.采用高精度传感器，精确度可以达到重量感应器标准的+0.1%。4.先进的静音电机和精密滚珠丝杠，传动运行平稳，位移测量更加准确。5.高清晰LCD显示，操作一目了然6.连接微型打印机：可实现实验日期、试验结果，可打印.7.具有试验力值保持功能，查看实验结果更加方便。8.无级调速可在1—800范围内任意设定精度9.接触时间可以任意设置。10、探针安装在下辅具，针朝上，试样在上辅具。探针式初粘力测试仪技术参数：1.负荷范围：0－50N2.精 度：0.5级3.分 辨率：0.01N4.试验速度：24 ipm (英寸/分)，61cpm (公分/分)，610 mm/min（0.001～800mm/min 可调）5、试验行程：600mm（标配）6、速度控制范围：1mm/min～800mm/min7、试验机尺寸：530*266*1450或1810 mm8、供电电源：220V，50Hz9、重量:75kG探针式初粘力测试仪标准配置：主机、电源线、探头一副、辅具一副。探针式初粘力测试仪、探头式初粘力试验机、胶带/粘合剂初粘力测试

产品简介 Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 桌上型温控探针台，占地面积小可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定）加热块材质铝合金 或 银 或 陶瓷传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）最小加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃ RTD传感器0.1℃ 热电偶传感器温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离25 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 适用样品10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）*可定至300mm的样品台面样品腔高6 mm探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近台体尺寸/重量1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg选型表 TP102SV-PS温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔HCP422V-PS温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔HP1000V-PS温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔定制型号按客户需求定制，适用300mm晶圆样品

中图仪器NS系列国产探针式膜层厚度表面粗糙度台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。样品适应面广，对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。台阶仪测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能NS系列国产探针式膜层厚度表面粗糙度台阶仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。性能特点1.亚埃级位移传感器具有亚埃级分辨率，结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰，确保仪器具有良好的测量精度及重复性；2.超微力恒力传感器1-50mg可调，以适应硬质或软质样品表面，采用超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的接触式测量；3.超平扫描平台系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。NS系列国产探针式膜层厚度表面粗糙度台阶仪广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。典型应用部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

Microsense高精度电容式位移传感器、微位移传感器、纳米定位位移传感器、电容式微位移传感器 一、优势简介：Microsense的高精度电容式位移传感器具有一般非接触式仪器所共有的非接触式特点外，还具有信噪比高，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂等部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。 二、特点：1 近距离高精度非接触式位置测量2 可达亚纳米级直至皮纳米级别分辨率，为世界上所有商用电容传感器中噪音性能***品牌3 可基于无论是高稳定性和线性还是测量带宽而提供多种型号探头“应用定制化”的优化方案。4 单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）可选 三、型号简介：1 被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。 2 主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列－－－－-突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承机床主轴。主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量（ run out measurement），如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动（NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。 四、性能：1） 测量距离－－± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择2） 高测量带宽（高频率响应）可选－－ 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz ａnd 100 kHz3） 适用于任何接地，导电的目标－－材料或表面光洁度对精度没有影响4） 高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定5） 5）线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定 五、应用： 1 定位功能 ： 1）用于伺服反馈传感器纳米定位器 2）快速机床私服系统定位 2 距离和位移测量： 1）尺寸测量和检验 2）转轴位移测量 3 跳动测量：1）精密马达和转轴的跳动测量2）主轴计量与主轴跳动测量 3）精密样品台的直线度和平面度测量 4 厚度测量 ：1）磁性介质厚度测量2）蓝光光盘模具厚度测量 5 自动对焦和调零：半导体晶片表面检测（聚焦平面控制） 6 振动测量：1）精密工作台振动测量 2）传动轴振动测量 3）主动隔震系统伺服反馈系统六、探头

Microsense(美国KLA子公司) 高精度电容式位移传感器原装进口，中国区总代理联系电话：，（贾先生）联系地址：北京市房山区启航国际3期5号楼801公司网址：精密电容式传感器，用于精确位置测量短距离高分辨率的非接触式位置测量与任何市售电容式传感器相比，MicroSense的电容式传感器提供的噪声性能最低，可实现纳米甚至皮米分辨率。有几种类型的传感器可供使用-这些“专用”电容式位置传感器针对高稳定性和线性度或针对快速响应的测量带宽进行了优化。所有MicroSense精密电容式传感器的特点： 完全非接触式电容位置测量-现有最精确的电传感技术 检测任何导电的，接地的目标-表面光洁度或材料对精度没有影响 针对较短的测量范围进行了优化10微米至4毫米，具体取决于传感器的尺寸电容式位置传感器-应用与其他类型的精密位置传感器相比，电容式位置传感器具有以下主要优势– 电容式传感器可在短范围内（通常从10微米到2毫米）提供高达纳米级的高分辨率。 电容式传感器是完全非接触式的，可与导电的接地目标一起工作 电容传感器提供高测量带宽–取决于型号，可达10KHz，20KHz或100KHz 一、型号简介：??1 被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列??被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。??2 主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列??-----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!??6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承??机床主轴。??主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量( run out measurement)，如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。?二、 性能：??1) 测量距离--± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择??2) 高测量带宽(高频率响应)可选-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz??3) 适用于任何接地，导电的目标--材料或表面光洁度对精度没有影响??4) 高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定??5) 5)线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定?三、 应用：??1 定位功能 ：??1)用于伺服反馈传感器纳米定位器??2)快速机床私服系统定位??2 距离和位移测量：??1)尺寸测量和检验??2)转轴位移测量??3 跳动测量：??1)精密马达和转轴的跳动测量??2)主轴计量与主轴跳动测量??3)精密样品台的直线度和平面度测量??4 厚度测量 ：??1)磁性介质厚度测量??2)蓝光光盘模具厚度测量??5 自动对焦和调零：??半导体晶片表面检测(聚焦平面控制)??6 振动测量：??1)精密工作台振动测量??2)传动轴振动测量??3)主动隔震系统伺服反馈系统

中图仪器台阶厚度仪探针式表面粗糙度测试仪NS200是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。工作原理当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。通常使用2μm半径的金刚石针尖来测量这些小特征。一个精密的xy载物台联合扫描轴R和转台θ，在测针下移动样品，测针中的垂直位移被转换为与特征尺寸相对应的电信号。然后将这些电信号转换为数字格式，在其中它们可以显示在计算机屏幕上并进行操作以确定有关基材的各种分析信息。可以微调扫描长度和扫描速度，以增加或减少分析时间和分辨率。此外，测力可调以适应硬质或软质材料表面。中图仪器台阶厚度仪探针式表面粗糙度测试仪NS200采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。产品功能1.参数测量功能 1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能中图仪器台阶厚度仪探针式表面粗糙度测试仪NS200配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。典型应用在太阳能光伏行业的应用 NS系列台阶仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在薄膜厚度的测量上具有很强的优势。如针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术指标型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国PYROSCIENCE可伸缩氧探针传感器OXR50产品介绍光学氧微传感器和微传感器原创REDFLASH技术适用于气体（％O2）和液体（DO）无氧气消耗响应时间低至0.3秒传感器可在针头中伸缩不锈钢提供水下/深海版本跟踪范围版本可用这些光纤氧传感器提供快速响应时间（低至 1s）和高空间分辨率（低至~50μm直径）。它们基于光学检测原理（REDFLASH技术），可非常测量，因为它们不消耗任何氧气并且没有显示出搅拌灵敏度。此外，它们具有超过3年的极长搁置时间。实际的传感器由40毫米长的注射器针头包围，可以通过独特的4步滑动机构移出。当缩回到针头中时，传感器受到保护，在处理传感器时或在穿透包装或隔垫时提供更大程度的保护。完整的传感器可抵抗腐蚀性环境（例如海水），因为所有金属部件均由不锈钢制成。跟踪范围版本。特殊的跟踪范围版本可用于接近0％O2的高精度测量。与全范围氧传感器相比，它们的分辨率提高了约4倍。建议的测量范围是0-10％O2。但是，可以在环境空气（21％O2）下进行校准，确保无需特殊校准标准即可直接校准。产品参数可伸缩氧气微传感器（0.5mm /ca.50-70μm）响应时间：2秒（液体）1秒（气体）交叉敏感性：其他有机溶剂，氯，漂白剂无交叉敏感性：pH 1-14，CH4，CO2，H2S，任何离子物质灭菌：环氧乙烷（EtO），70％乙醇（不适用于选项-OI），70％异丙醇（不适用于选项-OI），不使用漂白剂清洗：3％H2O2，乙醇（不适用于选项-OI），肥皂溶液储存时间：在室温下在避光处 3年校准：1点或2点校准尺寸：总长度约230毫米（从针尖到电缆），轴直径8毫米针长：40毫米位置：传感器相对于针尖可调节为-6,0,6,12 mm连接器：ST插头（可选：水下连接器）电缆长度：2米（标准），可选长达20米生命周期：至少1,000,000个数据点天津瑞利光电科技有限公司于2016年成立，坐落于渤海之滨天津，地理位置得天独厚，交通运输便利，进出口贸易发达。凭借着欧洲的采购中心，我们始终为客户提供欧美工业技术、高新科技等发达国家原装进口的光电设备、光学仪器、机电设备及配件、电气成套设备、工业自动化控制设备产品，同时拥有多个品牌的授权经销和代理权。

KTC2微型拉杆直线位移传感器（别名：电子尺，电阻尺，电位器，位移传感器）原理：电位计原理，所有传感器为位置测量型，用于调节系统（控制系统）和测量系统中，对位移和长度进行直接测量，输出直流电压信号，也可以通过内置或者外置的V/A变送模块讲信号转换成标准的0-5V、0-10V或者4-20mA直流信号，也可以远距离传输控制要求。KTC2微型拉杆直线位移传感器（别名：电子尺，电阻尺，电位器，位移传感器）输出位移变化：0-100%给定输入工作电压（随位移变化而变化）。主要特点：专门为注塑机顶针控制以及安装空间受限且运动速度较快的场合设计结构紧凑使用寿命长，视不同应用场合，运行次数可达5000万次分辨率优于0.01mm可选尾部直出线方式和侧面出线方式信号输出多样，有电位器（默认）、标准电流或电压、 RS485等信号输出方式抗冲击和振动的性能优异运行速度最高可达 10m/S.非线性精度可达0.05%

HCL自复位式位移传感器（别名：电阻尺，电子尺，电位器，位移传感器）原理：电位计原理，所有传感器为位置测量型，用于调节系统（控制系统）和测量系统中，对位移和长度进行直接测量，输出直流电压信号，也可以通过内置或者外置的V/A变送模块讲信号转换成标准的0-5V、0-10V或者4-20mA直流信号，也可以远距离传输控制要求。HCL自复位式位移传感器（别名：电阻尺，电子尺，电位器，位移传感器）输出位移变化：0-100%给定输入工作电压（随位移变化而变化）。 HCL微型自复位式位移传感器广泛应用于微型控制系统。如：伺服控制阀位置检测和控制、医疗设备、皮革机械、合模控制、IT设备、纸品机械、纺织机械、船舶操舵系统、以及其它位移检测等场合。

KLA-Tencor先进的探针式台阶仪，可精确测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率,是目前商业化仪器里（经市场验证）特别高精度的台阶仪产品。 1. D系列台阶仪：Alpha-Step D-600 Stylus Profiler KLA-Tencor AlphaStep轮廓仪配置自动台，采用了新型光学反射探测系统来测量高度，同时应用电磁力控制探针压力，能有效的实现超微力和低惯量 。这些创新型使表面轮廓仪能够无伤测量软薄膜样品。2. P系列台阶仪：P-7 Stylus Profiler Product Introduction P-7探针式轮廓仪可靠的测量性能提供了行业先进的测量重复性。自动样品台，闭环自动移动范围150mmx150mm，是市场上唯一具有长扫描能力的探针式轮廓仪。UltraLite传感器包括动力控制、优良的线性度和垂直分辨率，使其成为表面测量系统中抢手的传感器。

磁致伸缩位移传感器的原理是利用两个不同磁场相交时产生一个应变脉冲信号，然后计算这个信号被探测所需的时间周期，从而换算出准确的位置。这两个磁场一个来自磁环中的永磁铁，另一个来自传感器电子仓中的电子部件产生的激励脉冲。激励脉冲沿传感器内用磁致伸缩材料制造的波导丝以声速运行。当与磁环中的永磁场相交时，由于磁致伸缩现象，波导丝产生的机械振动形成一个应变脉冲。应变脉冲很快便被电子仓中的感测电路探测到。从产生激励脉冲的一刻到应变脉冲被探测到总的时间乘以固定的声速，我们便能准确的计算出磁铁的位置变化。这个过程是连续不断的，所以每当滑块位置改变时，新的位置会被迅速测量出来。由于输出信号是真正的优良值，而不是比例的或需要再放大处理的信号，所以不存在信号漂移或变值的情况，更不必像其他传感器那样需要定期重标。DP为磁悬浮滑块式，此款有效测量行程50-5000mm，上下缓冲可以根据客户需要定制。输出信号多样。内置进口波导丝作为测量单元，经DSP数字信号处理，精度高，无温漂，无接触，寿命长达二十年；外壳表面阳极处理，防腐蚀；可以适用在大多数应用场合

KPM12R自复位式电阻尺（别名：电子尺，电位器，位移传感器）原理：电位计原理，所有传感器为位置测量型，用于调节系统（控制系统）和测量系统中，对位移和长度进行直接测量，输出直流电压信号，也可以通过内置或者外置的V/A变送模块讲信号转换成标准的0-5V、0-10V或者4-20mA直流信号，也可以远距离传输控制要求。KPMR12自复位式电阻尺（别名：电子尺，电位器，位移传感器）输出位移变化：0-100%给定输入工作电压（随位移变化而变化）。KPM12R全系列产品大部分是两端固定安装的微型绞接运动方式，适合于较小机械行程且有摆动的位置检测，对安装的对中性无任何要求，如：注塑机顶针、鞋机、3 D座椅、预应力千斤顶、机械手臂、机器人、取出机、砖机、陶瓷机械、水闸等

HP-TCN-A探头初粘力测试仪粘附力分析仪产品介绍：探头式初粘力试验仪 胶带探针式初粘力试验仪 全程自动 触屏显示又叫探针式初粘力试验机（Probe Tack Tester），是胶带初粘力测试的方式之一，主要用于各种胶带、粘合剂类等各种不同产品的初始粘着力测试，产品满足ASTM D2979 的规范等标准，适合各类研究机构、胶粘剂企业、不干胶等检验检疫机构等。测试原理：使用5mm直径研磨的平面探头压在黏胶面，完全接触之后，再反方向恒速完全分离所产生的 大力，这个 大力值即为所测试样的初粘力，机器会记录离开时 大拉力数值。 HP-TCN-A探头初粘力测试仪粘附力分析仪全程自动 触屏显示特点：1.数据收集系统具有即又易用的特点，是当前先进的测量仪器。2.采用微电脑控制技术，，精度高，操作简便。3.采用高精度传感器，度可以达到重量感应器标准的+0.1%。4.先进的静音电机和滚珠丝杠，传动运行平稳，位移测量更加准确。5.高清晰LCD显示，操作一目了然6.连接微型打印机：可实现实验日期、试验结果，直接及时打印.7.具有试验力值保持功能，查看实验结果更加方便。8.无级调速可在1—800范围内任意设定精度HP-TCN-A探头初粘力测试仪粘附力分析仪技术参数：1.负荷范围：0－20N2.精 度：0.5级3.分 辨 率：0.01N4.试验速度：24 ipm (英寸/分)，61cpm (公分/分)，610 mm/min（0.001～800mm/min可调 ）5、试验行程：600mm（标配）或1000mm（可定做）6、速度控制范围：1mm/min～800mm/min7、试验机尺寸：530*266*1450或1810 mm8、供电电源：220V，50Hz9、重量:75kG 探头式初粘力试验仪 胶带探针式初粘力试验仪 全程自动 触屏显示标准配置：主机、电源线、探头一副、试验板3片，夹持辅具一副。

KTM微型拉杆式位移传感器（别名：电子尺，电阻尺，电位器，位移传感器）原理：电位计原理，所有传感器为位置测量型，用于调节系统（控制系统）和测量系统中，对位移和长度进行直接测量，输出直流电压信号，也可以通过外置的V/A变送模块讲信号转换成标准的0-5V、0-10V或者4-20mA直流信号，也可以远距离传输控制要求。KTM微型拉杆式位移传感器（别名：电子尺，电阻尺，电位器，位移传感器）输出位移变化：0-100%给定输入工作电压（随位移变化而变化）。通用拉杆导电塑胶膜微型系列，有效行程10mm～300mm，两端均有2mm缓冲行程。外壳表面阳极处理，防腐蚀；内置碳膜线板测量单元，无温漂，寿命长；具有自动电气接地功能。密封等级为IP67，有直接出线和五芯插头插座输出两种选择，可以适用在大多数通用场合，特别适用于安装空间狭小的场合；拉杆球头具有0.5mm自动对中功能，允许极限运动速度可达到5m/s。产品自配1米线，固定支架专门固定，线板全经电脑修刻，高精度，耐磨损

中图仪器NS200探针纳米级表面测量台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。NS200探针纳米级表面测量台阶仪通常使用2μm半径的金刚石针尖来测量这些小特征。一个精密的xy载物台联合扫描轴R和转台θ，在测针下移动样品，测针中的垂直位移被转换为与特征尺寸相对应的电信号。然后将这些电信号转换为数字格式，在其中它们可以显示在计算机屏幕上并进行操作以确定有关基材的各种分析信息。可以微调扫描长度和扫描速度，以增加或减少分析时间和分辨率。此外，测力可调以适应硬质或软质材料表面。结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台 （1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。NS200探针纳米级表面测量台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。磁吸针实物外观图（330μm量程）应用场景介绍部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。