磁悬浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
Pfeiffer 普发磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M上海伯东德国 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范围在 1400-2800l/s 的磁悬浮涡轮分子泵. ATH 系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性, 同时运行时也非常安静. 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 系列广泛应用于半导体, 镀膜和离子刻蚀等行业.Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 优点1. 清洁无油, 大抽速2. 免维护低成本保养费3. 涡轮分子泵极低的噪音和震动4. 可任意角度安装 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技术参数分子泵型号分子泵连接尺寸 DN抽速 l/s压缩比最高启动压强hPa极限压力全转速气体流量hPa l/s启动时间重量进气口排气口氮气N2氦气He氢气 H2氮气N2氮气N2hPa氮气N2minkg ATH 1603 MATH 1600 MT250401,400970 540 1X1081.7 6X10–967642ATH 2303 MATH 2300 MT250402,1501,8001,100 1X1082.9 6X10–967868ATH 2800 MATH 2800 MT250402,2002,4001,550 1X1082.1 6X10–9841093ATH 3200 MATH 3200 MT320402,8002,5001,700 1X1082.1 6X10–9841093ATP 2300 M320401,9502,0501,700 1X1082.1 6X10–937860 MT 型号的分子泵配有集成加热带可以进行温度控制. 其自带加热系统和水冷系统同时作用, 可以确保泵的工作温度相对恒定 (最高工作温度75°C), 同时最小化过程化学物或副产物在泵体内因冷凝而产生的沉积.上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东罗先生伯东版权所有, 翻拷必究!