真空下温度传感器

产品介绍:FOT-F和FOT-N型光纤温度传感器适用于各种ROCTEST公司的光纤信号调节器。FOT-F和FOT-N光纤温度传感器将一个用户期待的理想传感器的各种特性集于一体：体积小巧、不受电磁和射频干扰、耐腐蚀、性环境、精度高、可靠性高，是在恶劣环境下测量温度的最佳选择。光纤温度传感器是基于高度稳定玻璃的热膨胀而设计的，可用于高度精确、高度稳定和高度可重复性的测量。FOT-N的外保护管在尺寸上比FOT-F的小，它是NPT常温常压不锈钢材料制成。FOT-F可以安置在真空环境、高压力环境，或者高电压应用场合，而FOT-N主要用于埋入砼内部或者在空气中的应用场合。这两种型号的温度传感器都是属于置入在不锈钢保护外壳内部的外在型法布里——珀罗传感器。其信号调节器是为土木工程、R&D、工业应用而设计的，并且具有内置的可达50000个测点的数据记录能力，光缆信号传输可达数公里距离。主要特性：●本征的安全特性●不受电磁、射频和雷电干扰●温度可达250 ℃●精度高●小巧而坚固●适用于ROCTEST公司信号调节器 产品应用：1.大坝2.桥梁3.隧道衬砌4.建筑物5.微波和射频场合6.现场监测 7.恶劣环境8.高温/高电压/高压力环境

自1968年成立以来，Lake Shore一直是高性能低温传感器、霍尔传感器和仪器设备的可靠供应商。Lake Shore提供全面的低温温度传感器系列，覆盖从10 mK测量到超过1500 K的温度范围。其中Lake Shore最受欢迎的Cernox薄膜电阻温度传感器，其特点是磁场导致的误差低，在反复热循环和长时间暴露于电离辐射后保持卓越的稳定性，同时Cernox温度计具备多功能性，被广泛应用于低温环境中，如粒子加速器，航空人造卫星，MRI系统，低温磁场系统及科学研究中。随着稀释制冷机制造商在将基础温度远低于10 mK 方面取得的飞速进展，对准确、简化的温度测量的需求不断增长，氧化钌（Rox&trade ）温度传感器RX-102B-RS作为电阻温度器件满足了这一需求，可将灵敏度保持在远低于 10 mK 的水平。其他传感器包括硅二极管、锗和以及铂电阻温度传感器和具有美国国家标准与技术研究院可追溯校准的专用传感器等。温度传感器选型指引 温度范围标准曲线(温度计可互换)耐辐射磁场下性能真空兼容适用于负温度系数电阻型温度传感器Cernox0.10 K ~ 420 K低温下的理想选择1 K以上很好超高真空 (至 10-10 Pa)温度范围宽；在磁场或辐射条件下具有极高的准确度和精确度；多种型号可选，最大限度地提高在不同温度下的灵敏度；Lake Shore最受欢迎的低温传感器系列可互换的Rox&trade 0.05 K ~ 40 K■■很好高真空 (至 10-4 Pa)当传感器的互换性要求低于1.4 K或存在中等磁场时超低温Rox&trade 0.01 K ~ 40 K■很好高真空 (至 10-4 Pa)温度测量低于50 mK时锗电阻0.05 K ~ 100 K■不推荐高真空 (至 10-4 Pa)长时间高度稳定的测量二极管温度传感器硅二极管1.4 K ~ 500 K■60 K以上一般超高真空 (至 10-10 Pa)适用于低至1.4 K、不涉及磁场或辐射的低温应用正温度系数电阻型温度传感器铂电阻14 K ~ 873 K■■30 K以上一般高真空 (至 10-4 Pa)在500 K~873 K的温区范围内进行精确且可重复的测量；经济实惠的传感器，适用于温度保持在14 K以上的应用其他电容1.4 K ~ 290 K极好高真空 (至 10-4 Pa)低温强磁场下，控制稳定性最高；需要辅助传感器提供温度值热电偶线1.2 K ~ 1543 K■一般超高真空 (至 10-10 Pa)适用于温度超过600°C（873 K）的情况；应用于其他温度范围时是价格最低的传感器，但会严重降低精度专用温度传感器HR 高可靠性系列20 K ~ 420 K■极好超高真空 (至 10-10 Pa)空间应用（航空航天） 温度传感器选型概览 DT-670硅二极管温度传感器查看详情DT-670-SD√ 1.4 K-500 K温度范围内具有超高精度√ 30 K-500 K温度范围内极小误差√ 坚固可靠的SD封装设计，可承受重复热循环并尽可能地减少传感器自发热√ 符合标准曲线DT-670温度响应曲线√ 多种封装选项DT-670E-BR√ 温度范围：1.4 K-500 K√ 裸装传感器是尺寸极小、热响应时间超快的二极管传感器√ 无磁传感器DT-621-HR√ 温度范围：1.4K-325K*√ 无磁封装√ 用于表面安装的裸露平面基板* 标定的低到1.4K，未标定的(曲线DT-670)低到20KCernox温度传感器查看详情 √ 低磁场误差√ 温度范围：100 mK-420 K(依据型号)√ 在低温时灵敏度高，全量程温度范围内灵敏度良好√ 极好的抗电离辐射性能√ 裸片低温传感器具有快速热响应时间：4.2K@1.5毫秒，77K@50毫秒√ 多种型号可满足用户测温需求√ 极高的稳定性√ 多种封装选项锗电阻温度传感器查看详情 √ 公认的二级标准温度计√ 高灵敏度，温度低于4.2 K时提供亚mK温度控制√ 极好的重复性，在4.2K时优于±0.5mk√ 0.05K~100K，多种型号可选√ 优异的抗电离辐射性能超低温Rox&trade 温度传感器查看详情RX-102B-RS√ 10 mK以下使用√ 可校准至10 mK√ 包括额外的外推点至5 mK√ 光学屏蔽减少了不必要的传感器加热可互换的Rox&trade 温度传感器查看详情RX-102A√ 标准曲线可互换√ 良好的抗辐射性√ 适用于50 mK√ 低磁场引起的误差RX-202A√ 标准曲线可互换√ 良好的抗辐射性√ 温度曲线从50 mK到300 K单调下降√ 磁场引起误差较其他氧化钌传感器改进4倍RX-103A√ 标准曲线可互换√ 良好的抗辐射性√ 从1.4 K到40 K的最佳互换性选择√ 低磁场引起的误差电容温度传感器查看详情√ 几乎无磁场引起误差√ 能够在强磁场下保持mK控制稳定性√ 从低温接近室温时电容与温度保持单调性√ 需要辅助传感器提供温度值热电偶线温度传感器查看详情E型（铬镍合金-康铜）√ 在通常用于低温的标准热电偶类型中具有极高的灵敏度。温度低至 40 K 的极佳选择。K型（铬镍合金-铝镍合金）√ 建议在惰性环境中连续使用。在20 K时灵敏度为4.1 mV/K（约为E型的1/2）。铂电阻温度传感器查看详情√ 温度范围14 K~873 K（取决于型号）√ 可作为传统的绕线封装或螺栓连接适配器提供√ 符合IEC 751铂传感器标准√ 高重复性77 K时±5 mK√ 40K以上低磁场依赖性√ 非常适合用于电离辐射√ 具有单个曲线的传感器组的校准选项HR系列高可靠性温度传感器查看详情√ 15年材料全程可追溯√ 所有传感器均可获得电阻和灵敏度数据√ 减少交货时间√ 从我们的测试协议中获得信心√ 无隐藏成本，只需传感器购买费用

TC Wafer温度传感器产品介绍TC Wafer是使用特殊加工工艺将耐高温传感器热电偶（Thermocouple）镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。通过TC Wafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况。也可用于持续监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化，比如：升温，降温，恒温过程及延迟时间等。官网www.rsuwei.com规格参数序号参数内容1精度±1.1℃/0.4%2测温范围RT~1200℃3传感器类型TC4热电偶型号K Type（ I 级精度）5TC线径0.127mm/0.254mm6测温点数1~347基底材质硅/ 蓝宝石等8晶圆尺寸2”，4”，6”，8”，12”9线长L1-腔体内部；L2-仓门过渡段；L3-腔体外部10使用寿命3~6个月（视具体情况而定）10校准寿命6个月11使用环境真空/大气/惰性气体/其他主要应用炉管匀胶显影机PVD chamberCVD chamberRTP/rta chamber去胶StrippersPVD真空回流炉加热台三温台生产周期35天如何选型1.确定温度范围及精度要求与尺寸（不同温度及精度对应的TC type）2.确定真空度要求（主要考虑过渡 段L2在仓门处的宽度及厚薄）3.确定测量点数量及分布（柔性客制化）4.确定各线段L1、L2、L3的线长（主要考虑TCWafer放置于Chamber里的线长）5.其他：插头型式