电子探针能谱分析

岛津场发射电子探针EPMA-8050G 开创新纪元——卓越的空间分辨率与超高灵敏度的完美结合 “The Grand EPMA” 诞生搭载最尖端场发射电子光学系统将岛津EPMA分析性能发挥到极致。从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有无与伦比卓越空间分辨率的尖端场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至极致。 当之无愧的 “The Grand EPMA” ，最高水准的EPMA诞生！ [性能特点]● 卓越的空间分辨率电子探针可达到的最高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV），分析条件下No.1的二次电子分辨率。（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）● 大束流超高灵敏度分析实现3.0μA（加速电压30kV）的最大束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑。● 高性能X射线谱仪秉承岛津电子探针颇具优势的52.5°X射线取出角。采用4英寸罗兰圆半径的分光晶体兼顾高灵敏度与高分辨率。可同时搭载5通道高性能X射线谱仪。分析性能更胜一筹。● 全部分析操作简单易懂全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。 ◎实现微区超高灵敏度分析的先进技术 1　高亮度肖特基发射体岛津场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。 2　 EPMA专用电子光学系统电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的。简单的透镜结构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定最合适的打开角度，将电子束压缩到最细。当然是不需要更换物镜光阑的。3　超高真空排气系统电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小，以控制流入中间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。4　高灵敏度X射线谱仪岛津场发射电子探针最多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线的吸收，实现高灵敏度的分析。 [应用举例] 1. 岛津场发射电子探针EPMA-8050G检测：无铅焊锡焊料中Ag与Cu的分布对无铅焊锡焊料中大量含有Ag的区域进行面分析的数据。（加速电压：10kV；照射电流：20nA）Ag的X射线像中颗粒形状与BSE像（COMPO）的颗粒形状一致。直径约0.1μm的Ag颗粒也清晰可辨（红色虚线圈出）。同时可确认Cu颗粒的存在（黄色虚线圈出）。 岛津场发射电子探针EPMA-8050G应用数据 2. 岛津场发射电子探针EPMA-8050G检测：生物体组织中的金属元素 以下数据为EPMA捕捉到的肿瘤细胞中铂（Pt）元素图像，通过靶向给药将抗肿瘤药物卡铂（铂络合物）导入小鼠头颈部肿瘤组织中后进行分析检测。卡铂通过与癌细胞内的遗传因子DNA链结合，阻碍DNA的分裂（复制）以杀灭癌细胞，我们可以通过元素图像了解抗癌药物以何种形态进入癌细胞内。 岛津场发射电子探针EPMA-8050G应用数据

电子探针简介：电子探针(EPMA)是用极细的电子束对样品表面进行照射产生特征性X射线，对特征性X射线进行分光和强度测定，得到微小区域的元素组成及样品表面元素浓度分布的分析装置。EPMA 采用波长色散型X 射线分光器（WDS），与能量色散型X 射线分光器（EDS）相比，具有高分辨率的特点。因此，EPMA与扫描型电子显微镜（SEM）配置EDS 检测器比较，可以进行更高精度和更高灵敏度的分析。 技术特点：岛津电子探针EPMA-1720系列优势在于传承52.5°的高X射线取出角技术，可以进行高灵敏度的X射线测定。高速稳定驱动的样品台，可以高精度设定分析位置和分析区域。配备各种自动功能和联动功能，电子束的设定简单易行。集多年分析经验于一体的控制?分析软件，实现了从数据采集到数据解析及报告制作的清晰易懂、操作便捷的良好操作环境。对于初学者，装备了从SEM 观察到定性分析?成图分析的简易可行的简单模式。数据浏览程序可以方便地进行数据的批次管理。

电子探针是电子光学产品中唯一进行准确定量分析的仪器，利用波谱的高分辨率和能谱的高速度，可以很快将材料中的成份进行精准分析。 详情请咨询捷欧路（北京）科贸有限公司各分公司。

电子光学仪器上发射的电子束与样品发生复杂的交互作用，产生各种信号，收集不同信号进行分析，可以获得样品的各种不同信息。软X射线分析谱仪就是通过采集样品上被激发出来的软X信号进行分析的仪器。它的能量分辨率为0.3eV，远高于能谱仪（EDS)和波谱仪（WDS）的分辨率；对轻元素的定量分析非常准确，比如B元素的检出极限可达20ppm；还可以进行元素价态分析。将扫描电镜从以侧重图像为主的仪器变身为图像、成分、价态均可清晰表达的超级分析仪器。也将电子探针的分析能力大幅度提升。 详情请咨询日本电子株式会社在中国的全资子公司捷欧路（北京）科贸有限公司及其各分支机构。

可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。日本电子新开发出的EPMA （电子探针）秉承近半个世纪的EPMA的发展历史，JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析，这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能完全满足多种需求的强力分析工具之一。EPMA快速启动点击任何一点，就能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。用户菜单（User recipes）能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件，菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。EDS 的性能数字化脉冲处理器全谱面分布(WD/ED, 样品台和电子束扫描)无风扇SDD (选配)产品规格检测元素范围 WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～UX射线检测范围 WDS检测的波长范围: 0.087～9.3nm,EDS EDS检测的能量范围: 20keV分光谱仪数量 WDS: 1～5道可选、EDS: 1台，zui大样品尺寸 100mm × 100mm × 50mm（H）加速电压 0.2～30kV（以0.1 kV为步长）束流电流范围 10-12 ～ 10-5 A束流电流稳定度 5%/h, ±0.3%/12h（W）二次电子分辨率 6nm（W）, 5nm（LaB6）*2（W.D. 11mm, 30kV）扫描倍率 ×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm）扫描图像分辨率 zui大 5,120× 3,840彩色显示器 EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024*1: 需安装用于Be分析的选配分光晶体。*2: LaB6 为选配。

产品详情JXA-iHP100 电子探针显微分析仪 可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。 产品规格：检测元素范围WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～UX射线检测范围WDS检测的波长范围: 0.087～9.3nm,EDS EDS检测的能量范围: 20keV分光谱仪数量WDS: 1～5道可选、EDS: 1台最大样品尺寸100mm × 100mm × 50mm（H）加速电压0～30kV（以0.1 kV为步长）束流电流范围10-12 ～ 10-5 A束流电流稳定度5%/h, ±0.3%/12h（W）二次电子分辨率6nm（W）, 5nm（LaB6）*2（W.D. 11mm, 30kV）扫描倍率×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm）扫描图像分辨率最大 5,120× 3,840彩色显示器EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024光学显微镜分辨率～1um焦深1um真空系统机械泵、分子泵、离子泵 *2真空度样品室: 优于8.0 x 10-4Pa,电子枪: 优于9.0 x 10-5Pa 产品特点： 可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。 日本电子新开发出的EPMA （电子探针）秉承近半个世纪的EPMA的发展历史，JXA-iHP100具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析，这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-iHP100电子探针是下一代能完全满足多种需求的强力分析工具之一。 EPMA快速启动 点击任何一点，就能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。 用户菜单（User recipes） 能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件，菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。 EDS 的性能 数字化脉冲处理器 全谱面分布(WD/ED, 样品台和电子束扫描) 无风扇SDD (选配)

日本电子JEOL场发射电子探针显微分析仪 JXA-iHP200FJXA-iHP200F在保持高局部微量元素分析性能的同时，追求每个人都能简单快速地使用好仪器。该仪器能更加有效地进行观察分析和操作，是更先进的一体化集成FE-EPMA。 产品规格：检测元素范围：WDS: Be＊1 / B to U, EDS: Be to U检测X-ray 范围：波长范围WDS: 0.087 to 9.3 nm能量范围EDS: 20 keV谱仪数：WDS: 最多5个可选, EDS: 1个最大样品尺寸：100 mm × 100 mm × 50 mm (H)加速电压：1 to 30 kV (0.1 kV steps)探针电流范围：1 pA to 3 μA探针电流稳定性：± 0.3％ / h, ± 1.0％ /12 h＊2二次电子像分辨率（观察模式）：2.5 nm二次电子像分辨率（分析模式下）： 20 nm（ 10 kV, 10 nA） 50 nm（ 10 kV, 100 nA）扫描放大倍率：×40 to 300,000 (W.D. 11 mm)扫描图像分辨率：Maxium 5,120 × 3,840产品特点：电子探针显微分析仪在钢铁、汽车、电子零件和电池材料等各种工业领域，作为研究开发和品质保证的分析工具被广泛使用，其用途越来越广。此外，在学术领域 ，地球空间科学、材料科学领域也在广泛使用，矿物等资源能源研究、各种新型材料研究等，期待在各种各样前沿研究中做出贡献。与此相应，在保持高局部微量元素分析性能的同时，追求每个人都能简单快速地使用好仪器。JXA-iHP200F能更加有效地进行观察分析操作，是更先进的一体化集成场发射EPMA。* EPMA是Electron Probe Microanalyzer简称◇ [Setting] 自动定位，准确安装样品台！迅速找到想观察的点！进样和获取样品台导航像一键完成。从导航像能够指定分析区域。◇ [Analysis] 充分的自动功能，谁都可以拍到高级的SEM像繁琐的设定也能对应，EPMA立马进行元素分析光学显微镜的自动聚焦功能与配备高精度/高速化新系统的SEM自动功能相结合，任谁都可以拍到高级的SEM像。【live Analysis】通过【live Analysis】能够在观察中进行筛选分析。初学者也能操作的【简单的EPMA】。用【EPMA-XRF integration】在XRF数据的基础上能够进行EPMA的条件设定。用【WD/ED integration】能够缩短分析时间。SEM、EDS、XRF、WDS、光学像的集成一体化提高了仪器的操作性能。 通过WD/ED integration，分析时间缩短的例子integration：用这些仪器推定的元素在一体化EPMA上可以一键设定分光晶体的组合◇ [Self Maintenance] 内置18种类校正样品，有效进行校正配置【分光器校正功能】减轻了定期进行分光器校正的作业而且也避免了校正样品设定时的人为失误；利用夜间对仪器进行校正，提高了工作效率。按照【维护通知功能】，在必要时期对仪器进行自我维护，保持设备最佳状态。 维护通知功能【客户支持工具】◇ 标配场发射电子枪能够在高倍率下获得高空间分辨率的SEM像和分析结果。在大电流下保持长时间稳定的热电子枪在短时间内分析微量元素的时候、整夜运行分析大量样品的时候显示出它的威力。

电子探针简介：电子探针(EPMA)是用极细的电子束对样品表面进行照射产生特征性X射线，对特征性X射线进行分光和强度测定，得到微小区域的元素组成及样品表面元素浓度分布的分析装置。EPMA 采用波长色散型X 射线分光器（WDS），与能量色散型X 射线分光器（EDS）相比，具有高分辨率的特点。因此，EPMA与扫描型电子显微镜（SEM）配置EDS 检测器比较，可以进行更高精度和更高灵敏度的分析。 技术特点：岛津电子探针EPMA-1720系列优势在于传承52.5°的高X射线取出角技术，可以进行高灵敏度的X射线测定。高速稳定驱动的样品台，可以高精度设定分析位置和分析区域。配备各种自动功能和联动功能，电子束的设定简单易行。集多年分析经验于一体的控制?分析软件，实现了从数据采集到数据解析及报告制作的清晰易懂、操作便捷的良好操作环境。对于初学者，装备了从SEM 观察到定性分析?成图分析的简易可行的简单模式。数据浏览程序可以方便地进行数据的批次管理。

电子探针是电子光学产品中唯一进行准确定量分析的仪器，利用波谱的高分辨率和能谱的高速度，可以很快将材料中的成份进行精准分析。 详情请咨询捷欧路（北京）科贸有限公司各分公司。

从软件到硬件凝结了新技术，铸就了新一代EPMA。岛津EPMA在保持了一贯的高灵敏度高精度高分辨率的基础上，又新增了简单易懂的操作性能，将电子探针功能发挥至极。既可满足初学者简易操作的需求，又能适合专家级的科研分析。 范围 分析元素：4Be~92U 发射源；W灯丝，CeBe灯丝 二次电子图像分辨率：6nm(W灯丝），5nm(CeBe灯丝） X射线取出角角度：52.5°，大限度减少X射线被吸收 分光晶体：全聚焦型 X射线谱仪：高灵敏度、高分辨率型

产品详情高灵敏度 高精度 高分辨率 「简单&bull 易懂的操作」 从软件到硬件凝结的技术，铸就了新一代EPMA。岛津EPMA在保持了一贯的高灵敏度高精度高分辨率的基础上，又新增了简单易懂的操作性能，将电子探针功能发挥较好。既可满足初学者简易操作的需求，又能适合专家级的科研分析。 设计的X射线分光器可以实现高灵敏度高精度分析，X射线取出角决定分析性能，52.5°高取出角更胜一筹 图为小孔穴中异物的分析实例。左下图为铁（Fe）、右下图为钛（Ti）的元素分布。因EPMA-1720具有高取出角，对表面凹凸明显的样品也能进行高精度分析。 从SEM观察到开始分析，简便易行，大幅度提高工作效率。 同一显示器上同时显示高灵敏度的光学图像和SEM图像 在同一个显示器上观察光学图像和SEM图像。 通过高灵敏度的CCD可以观察很暗的样品SEM图像和光学图像在同一显示器上，减少视线的移动 只需单击一下即可开始SEM图像观察只需点击【SEM AUTO】图标，就可以根据事先设定的条件进行SEM图像的观察 束流变换更加简单快速高精度，且保持聚焦只需选定束流目标值即可快速、高精度地自动设定束流通过联动控制，束流大小改变后也能保持图像聚焦状态

概述“The Grand EPMA” 诞生搭载最尖端场发射电子光学系统 将岛津EPMA分析性能发挥到极致从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有无与伦比卓越空间分辨率的尖端场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至极致。当之无愧的“The Grand EPMA” ，最高水准的EPMA诞生！超高分辨率面分析对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像（左侧）上直径只有50nm左右的Sn颗粒，在X射线图像（右侧）上也是清晰可见。最尖端技术实现■ 无与伦比卓越的空间分辨率EPMA可达到的最高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV）分析条件下No.1的二次电子分辨率。（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）■ 二次电子图像最高分辨率3nm碳喷镀金颗粒的观察实例。实现最高分辨率3nm（@30kV）。相对较高的束流也可将电子束压细聚焦，更加容易的获得高分辨率的SEM图像。■ 大束流超高灵敏度分析 实现3.0μA（加速电压30kV）的最大束流。全束流范围无需更换物镜光阑。■ 最多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪无人可及的52.5°X射线取出角。4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。最多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。■ 全部分析操作简单易懂 全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。超高灵敏度面分析使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。精确地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相（左侧），同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前（右侧）。实现微区超高灵敏度分析的先进技术1　高亮度肖特基发射体 场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。2　 EPMA专用电子光学系统 电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的（日本专利：第4595778号）。简单的透镜结构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定最合适的打开角度，将电子束压缩到最细。当然是不需要更换物镜光阑的。3　超高真空排气系统 电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小，以控制流入中间室的气体，使电子枪室始终保持着超高真空，确保发射体稳定工作。4　高灵敏度X射线谱仪 最多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线的吸收，实现高灵敏度的分析。无与伦比卓越的空间分辨率使用分析条件束流，引以为傲No.1的二次电子图像分辨率。（加速电压10kV时，20nm@10nA//50nm@100nA/150nm@1μA）。与原来的电子枪（CeB6、钨灯丝）的结果相比，一目了然。由于可用更大的束流得到与原来电子枪相同分辨率的图像，所以可进行超高灵敏度的X射线分析。 更加值得注意的是，束流为1μA时的SEM图像。能够得到1μA以上束流，而且可以压缩到如此细的只有EPMA-8050G。各种电子枪产生电子束的特性比较（加速电压10kV）大束流超高灵敏度分析场发射类型的SEM、EPMA可实现其他仪器所不能达到的大束流（加速电压30kV时最大3μA）。在超微量元素的检测灵敏度上实现了质的飞跃，将元素面分析时超微量元素成分分布的可视化成为现实。而且，所有束流范围内不需要更换物镜光阑，完全不用担心合轴，实现了高度自动化分析。面的3个图像为不同束流下，对不锈钢中约1%左右Si进行面分析的结果※。束流越大，偏差越小，越能更加清楚的确认包含Si的范围。※ 分析条件：加速电压10kV，积分时间50msec。分析花费时间约1小时。最多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪

产品详情 搭载场发射电子光学系统 高分辨率面分析对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像（左侧）上直径只有50nm左右的Sn颗粒，在X射线图像（右侧）上也是清晰可见。 ■ 大束流高灵敏度分析 实现3.0μA（加速电压30kV）的束流。全束流范围无需更换物镜光阑。■ 最多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪无人可及的52.5°X射线取出角。4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。最多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。■ 全部分析操作简单易懂 全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。 ■ 优良的空间分辨率EPMA可达到的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV）分析条件下No.1的二次电子分辨率。（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA） ■ 二次电子图像最高分辨率3nm碳喷镀金颗粒的观察实例。3nm（@30kV）。相对较高的束流也可将电子束压细聚焦，更加容易的获得高分辨率的SEM图像 高灵敏度面分析使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。准确地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相（左侧），同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前（右侧）。 实现微区高灵敏度分析的先进技术1　高亮度肖特基发射体 场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大，输出更高。即可以保持其高亮度，还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。2　 EPMA专用电子光学系统 电子光学系统，聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧，交叉点不是靠聚光透镜形成，而是由安装在与物镜光阑相同位置上，具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的。简单的透镜结构，既能获得大束流，同时全部电流条件下设定合适的打开角度，将电子束压缩到最细。当然是不需要更换物镜光阑的。3　高真空排气系统 电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔（orifice）间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到最小，以控制流入中间室的气体，使电子枪室始终保持着高真空，确保发射体稳定工作。4　高灵敏度X射线谱仪 最多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时，又可减小样品对X射线的吸收，实现高灵敏度的分析。

俄歇电子能谱仪（Auger Electron Spectrometer, AES）为微电子业常见的表面分析技术之一。原理是利用一电子束为激发源，使表面原子之内层能阶的电子游离出，原电子位置则会产生电洞，导致能量不稳定，此时外层电子会填补产生之电洞，进而释放能量传递至外层能阶电子，造成接受能量的电子被激发游离，游离的电子即为Auger电子。因其具有特定的动能，所以能依据动能的不同来判定材料表面的元素种类。PHI的710纳米探针俄歇扫描 提供高性能的俄歇（AES）频谱分析，俄歇成像和溅射深度分析的复合材料包括：纳米材料，催化剂，金属和电子设备。维持基于PHI CMA的核心俄歇仪器性能，和响应了用户所要求以提高二次电子（SE）成像性能和高能量分辨率光谱。PHI的同轴镜分析仪（CMA）提供了同轴分析仪和电子枪的几何实现高灵敏度多角度广泛收集，以便完成三维结构图，在纳米级技术的发展这是最基础的。为了提高SE成像性能，闪烁探测器（Scintillator）已被添加以提高图像质量，另再加上数码按钮的用户界面再一次的提高了易用性。在不用修改CMA和仍维持俄歇在纳米分析的优势下，再添加了高能量分辨率光谱模式，使化学态分析的可能再大大的提高。总括来说，700Xi以优越的俄歇纳米探针从世界ling先的俄歇表面分析仪器，提供了实用和成熟的技术，以满足纳米尺度所需要的广泛实验与研发的用途。同轴电子枪和分析几何和高级的俄歇灵敏度：710的场发射电子源提供了一个高亮度而直径小于6 nm的电子束以产生二次电子成像。710的同轴几何使用了“同轴式分析器（CMA）”，促使高灵敏度俄歇通过广泛角度收集进行分析，即使样品是表面平滑或复杂的形状或高表面粗糙度，都可以确保迅速完成所有分析程序。高稳定性成像平台：隔声外壳与振动隔离器提供更稳定的成像和分析。隔声外壳从真空控制面板降低频率范围从30赫兹到5K赫兹左右的20 dB的声压等级（SPL），稳定的温度大约降低系统造成SEM图像漂移。新的振动隔离器也减少了地面振动对扫描电镜图像和小面积分析的影响。增强的SE图像用户界面：PHI710增强SE成像性能，闪烁器检测器（Scintillator）已被添加在仪器上从而提高图像质量，加上数码按钮的用户界面更再次提高了使用的方便性。新的高分辨率光谱模式：随着PHI的新技术，能量分辨率可调从0.5%到0.05%。多种化学物质的状态可以更容易有效的被观察出来。PHI SmartSoft-AES用户界面：PHI SmartSoft是一个操作仪器上为用户的需要而着想的软件界面。该软件是任务导向型和卷标在顶部的显示指引用户通过引入样品，分析点的定义，并设置了分析。多个位置分析可以定义和zui佳范例的定位提供了一个强大的“自动Z轴调整”的功能。在广泛使用的软件设置，可让新手能够快速，方便地设置了测量，并在未来可以轻易的重复以往或常用的类似测量。

布鲁克（BRUKER）探针不为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针

肖特基场发射电子探针PlusJXA-8530F Plus采用浸没式肖特基场发射电子枪,优化了角电流密度，能利用2 μA以上的大探针电流进行分析，还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率。高级软件新开发了多种基于Windows操作系统的软件，其中包括：能使痕量元素分析更加简便的“痕量元素分析程序”、能自动制作相图的“相图制作器”以及只需简单输入就能对表面凹凸不平样品进行测试的“不平坦样品的分析程序”等。灵活的WDS配置X射线波谱仪可以选择140 R或100 R罗兰圆， 罗兰圆半径为140 mm的XCE/L型X射线谱仪检测范围宽，波长分辨率高和P/ B比优异，100 mm的H型X射线谱仪具有X射线衍射强度高的特点，可以根据需要选择使用。WDS/EDS组合系统JXA-8530FPlus标配了JEOL制造的30平方毫米 SD检测器（以下简称SD检测器），凭借高计数率的SD检测器，在与WDS相同的分析条件下可以进行EDS分析，通过简单的操作就能采集EDS谱图。强力、清洁的真空系统高强力真空系统包括两台磁悬浮涡轮分子泵， 镜筒内还采用两个中间室，通过差动抽气保持电子枪室的高真空。软X射线分析谱仪 (SXES)SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)软X射线分析谱仪是日本东北大学多元物质科学研究所（寺内正己教授）和日本电子株式会社共同开发的的高分辨率软X射线分析谱仪。 新开发的变栅距衍射光栅(VLS）和高灵敏度的CCD相机组合，同时检测Li-K系谱线和B-K系谱线，该谱仪实现了极高的能量分辨率，因而能进行化学结合状态分析等。miXcroscopy （关联显微镜)miXcroscopy 光学显微镜/扫描电子显微镜关联系统能批量登录光学显微镜指定的坐标数据作为EPMA的分析点，该系统最适合于需要用光学显微镜决定分析位置的样品。多功能样品室样品室的可扩展性强，配备了样品交换室，可以安装各种附件。可以安装的附件：电子背散射衍射系统（EBSD）阴极荧光检测系统软X射线分析谱仪不暴露在大气环境下的转移舱高蚀刻速率的离子源

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um； 表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸8英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸6英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸4英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

表面综合分析测试探针台产品简介整体集成度高，且测试方便简单，底座行程大，弥补了基础型的缺陷，可以满足多种测试应用，且可以升级射频探针台；优点：高性价比，应用面广，稳定性高；应用：一般用在高校/研究所科研实验是居多，以及科研型单位研发部；表面综合分析测试探针台产品优势两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附；可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；1微米以上电极/PAD使用；可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机； 有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑；HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900；选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm 30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度1um；整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性；最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程；位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调；整体位移精度1um；表面综合分析测试探针台模块介绍表面综合分析测试探针台通用参数样品台尺寸12英寸样品台行程XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调 整体位移精度1μm（可定制）光学放大倍数270倍高清（体式显微镜）漏电精度 100fA针座精度3μm（可升级1μm/0.5μm）接口形式BNC/三同轴接口背电极可引出背电极针座数量标配2个（可升级到6个）产品应用多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等产品示意图谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

阴极发光辅助能谱系统工作原理: 将阴极发光仪固定在光学显微镜的载物台上，通过主控箱控制阴极发光仪的相关操作。通过在真空室的观察窗的位置配备能谱分析探测器附件，然后将探测器与真空室连接，并将探测器连接到电脑上。通过高压电子枪激发样本的阴极X荧光，用探测器探测X荧光，并通过能谱分析软件控制获取能谱图并进行能谱定性和半定量分析。阴极发光仪辅助能谱系统组装图1、电脑主机；2、电脑显示器；3、数字脉冲处理器；4、真空样品室；5、探测器；6、CCD采集系统；7、显微镜；8、探测器附件；9、高压电子枪；10、主控制箱；11、电源适配器；12、真空泵。配套特点： 1、20世纪60年代早期，随着电子探针的发展，开始使用特征X射线辐射分析矿物标本。这项工作的一个附属产品是阴极发光观测，并迅速成为一个非常重要的独立研究领域，从而促使电子束源向更简单、显微镜式发展，使用冷阴极作为该电子束源。不会在真空内产生热量，对样品及探头有很好的保护作用。 2、冷阴极基础上的阴极发光仪是能谱分析系统的基础，正如RELIONⅥCL,该类型的电子枪用于阴极发光显微镜的附加装置（CMA）中，是基于冷阴极放电原理，相对电子显微探针（EMP）和扫描电子显微镜(SEM)应用最广泛、简单。 它还提供了一个中和的环境，所以没必要使用具有导电涂层的样品，便于样品制备。电子轰击生成阴极发光的过程中会产生X射线。将X射线检测器用于阴极发光显微镜的附加装置中，结合阴极发光和透光观测，提供了快速元素分析这样一种通用功能。 3、阴极发光仪采用冷阴极的是电子枪，电子枪在冷阴极放电下产生电子束。系统工作气压一般在40到100毫托之间即可，当束流高达1-2mA的时候，电子枪内会产生1到25Kv的电子束。通常高压在8-15Kv时，碳酸盐（岩）、石英、锆石、烃包裹体以及碎硝盐岩等岩石、矿物的阴极发光图像已经非常亮；样品上的散聚焦射束点大约为10mm,散聚焦至点聚焦可以连续可调；能谱采集时可缩小到直径0.5mm或更小。阴极发光和能谱系统图片 阴极发光上使用的能谱系统,基本的分析功能及其探测范围等都和其他的EDS系统相同，因为它们都依赖于电子光源。RELIOTRON阴极发光设备安装紧凑，同时可以与多种显微镜配套使用来观测阴极发光及EDS图谱，同时用来辅助对预定位置进行的分析，从而在样品测试时可以得到图像、谱线、数据更多信息。 阴极发光仪及能谱系统主要技术参数如下:真 空 度：最高极限为0.25帕，最大限度保护样品。电 子 枪：电子枪是一种水平式冷阴极电子束射线型，高达30 KV，通常使用在5 KV至25 KV之间调节。阴 极 电压：0-30KV，过压保护。最 佳 电流：0.15-2mA，连续可测，过流保护。聚 焦：能够散聚焦到点聚焦的调节功能，电子束光斑可根据样品适用要求调节。探测器类型：硅漂移探测器 (SDD)、尺寸10mm2、硅厚度500&mu m；(可选)能量分辨率：最低145 eV（可选）；信 噪 比: 8200:1Be窗 厚度： 12.5um、25&mu m（可选） 具有以下主要特点：1：价格实惠。2：操作的高速性。3：操作和维护方便和简易。4：采样准备工作简捷方便。5：能够保持良好的光学显微镜的各项能力。6：对于采样的显微照相处理能够方便实现。7：具备普通透射光（TRL）, 偏振光（POL）, 阴极发光（CL）以及EDS的联合观测能力。

电子光学仪器上发射的电子束与样品发生复杂的交互作用，产生各种信号，收集不同信号进行分析，可以获得样品的各种不同信息。软X射线分析谱仪就是通过采集样品上被激发出来的软X信号进行分析的仪器。它的能量分辨率为0.3eV，远高于能谱仪（EDS)和波谱仪（WDS）的分辨率；对轻元素的定量分析非常准确，比如B元素的检出极限可达20ppm；还可以进行元素价态分析。将扫描电镜从以侧重图像为主的仪器变身为图像、成分、价态均可清晰表达的超级分析仪器。也将电子探针的分析能力大幅度提升。 详情请咨询日本电子株式会社在中国的全资子公司捷欧路（北京）科贸有限公司及其各分支机构。

AFM探针/原子力探针/导电探针(DDESP-10) AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。 Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。 NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) DDESP-10UnmountedDoped DLC Coated Tips, 42N/m, 320kHz, Al Reflective Coating1035

大气压分析探针 (ASAP) 质谱是原位质谱分析技术，用于升级现有的商品化液-质(LC/MS) 联用平台，快速简便分析固体、液体、组织或材料(如聚合材料)样品中挥发性和半挥发性化合物而无需样品制备和分离。 携带样品的 ASAP 探针插放于商品化的质谱离子源的源体内，热的氮气流使样品快速脱附至空气中，经电晕放电离子化产生质子化(正离子方式)或去质子化(负离子方式)离子，随后进行质谱或多级质谱定性、定量分析。ASAP 不干扰同一源体上的电喷雾(ESI)源或 APCI 源的运行，互为补充，且切换即时便捷。该离子化方式尤其适用于高端液质平台，充分展示其多级质谱的选择性碰撞碎裂能力，进行快速(30秒钟以下)鉴定和高灵敏度定量(pg 级)，以及精确质量分析能力，实现复杂混合物中化合物的快速鉴定和定量分析。成功的例子已经包括(但不限于) Bruker Qh-FTMS&trade , Thermo Ortitrap&trade , Waters Synapt HDMS，和 QTOF 等。ASAP 将成为替代现有的 EI/CI 固体分析探针的优选技术。同时，由于 ASAP 将 LC 分离和质谱分析相隔离，对于实现复杂液相色谱分离体系(如使用磷酸盐等非挥发性缓冲盐)的液质联用，将成为可能。 　例如，ASAP 用于轻松观察比较植物叶在正常气候条件下和在寒冷和黑暗条件下的不同化学变化。又比如，聚合物添加物可以 ASAP 快速鉴别，同时，在较高温度下聚合物本身热裂解，更增加鉴定可靠性。 ASAP 还可快速检测生物体液如尿样中的药物而无需样品前处理，或应用于检查钱币上的毒物等。环境污染物比如多环芳烃(PAH)，以及石油中的高馏分成份，均可以ASAP 轻松分析。产品性能：1、可升级 FT-MS、TOF、QTOF、离子阱、Orbitrap，单四极杆、三重四级杆、或其他各种类型的质谱仪2、兼容安捷伦、布鲁克、SCIEX、赛默飞、沃特斯等厂家的 LC-MS 液质质谱仪3、可分析液体、粘液、固体、粉末样品4、无需繁杂的样品制备和耗时的色谱分离5、样品分析在 30 秒内完成6、采用氮气为载气，无需消耗化学溶剂，无需处理化学废液，为“绿色”检测技术7、无需流动相，无需色谱设备及分离用消耗品（如色谱泵、色谱柱、进样器、试管）8、可供调节的实验参数少，简便易学9、不干扰 ESI 和 APCI 离子化。同一源体可安装 ASAP 和 APCI（或 ESI）离子化探针10、载气（氮气）流速取决于质谱仪随机携带的 APCI 源的氮气流速，通常为2.0-6.0 L/分之间（可依质谱仪型号不同而有所不同） 11、放电电压：利用质谱仪随机携带的 APCI（或ESI）源的放电电压12、气体加热：利用质谱仪随机携带的 APCI（或ESI） 源的加热传感功能，通常为 25℃ - 500℃（取决于自带源的温度范围）13、质量范围：取决于质谱仪本身的质量范围，通常为 5～3000 amu14、检测限：取决于质谱仪本身的灵敏度，通常为 1-10 pg 绝对量或 ppb 级浓度15、调节式探针：可调节电绝缘样品管的伸出幅度，便于灵敏度调谐16、无真空切换，样品分析在常压下进行17、工作环境条件：工作电压：230V,+/-10V；操作环境温度：10-400℃18、该仪器不属于含放射源设备或射线装置制造厂商：IonSense，Inc.（美国），大中华区代理为华质泰科生物技术（北京）有限公司。

太阳能电池IV测试探针台产品介绍谱量光电系列太阳电池IV测试探针台由高精度探针座、探针基座、镀金样品台、无油真空泵等模块组成，模块化设计， 可以适用于多种测试环境，满足不同客户的测试需求；TLRH系列太阳电池IV测试探针台探针座采用一体式探针夹具，化学镀金 处理，提高稳定性的同时保证测试精度，三维调整XYZ行程13mm 精度10μm方便移动，可根据客户应用搭建探针测试台以达到更好得使用效果。太阳能电池IV测试探针台技术优势双通道镀金样品台 三维调整，XYZ行程13mm，精度10μm 匹配水冷接口，提高测试稳定性 集成两种测试模块，均具有吸附功能 漏电流精度：10pA/100fA（屏蔽箱内1A） 用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；广泛用于高校，科研院校以及公司通用参数样品台尺寸： 4英寸样品台行程： 13mm整体位移精度 10um探针座精度： 10um（可升级3um.1um）漏电精度: 100fA三同轴线缆接口形式： 三同轴接口真空泵： 进口无油真空泵实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2450数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体电极，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：太阳能电池及电池片测试、半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

Thermo Fisher Scientific ESCALAB Xi+是新研发出的一款基于ESCALAB 250Xi产品后，具有可扩展功能、多种分析技术集成化的测试手段。该产品通过无与伦比的灵活性、完备的专业配置选项、直观的软件操作以及硬件配置，带给用户的是领先的的实验结果和生产力。强大的Avantage数据系统提供系统控制、数据采集、数据处理与系统运行报告等一站式服务。入围优秀新品获奖理由：先进的成像探测器设计，用于定量XPI成像： 电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成像的需求。空间连续的电阻阳极探测器创新技术，一方面使得XPI成像分辨率达1um，另一方面使得XPI成像得到数据无探测器背底特征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。 可选配的EDS探测器，实现体相分析技术和表面分析技术的结合： 新设计Xi+系统可选配EDS探测器与俄歇电子枪结合，可实现样品纳米尺度的体相微区元素成分分析，EDS可探测微米深度的元素组成，可以用于材料深度剖析前的元素组成预判。体相敏感的EDS技术和XPS表面分析技术的结合可更直观地用于研究合金等的表面偏析行为。 标配的反射电子能量损失谱REELS分析技术，用于弥补UPS能带分析和XPS元素分析： REELS可以探测材料的能级和带隙结果，并可用于材料中H元素含量的定量。与UPS技术结合可了解完整的价带导带信息，并弥补XPS、AES等技术不能检测H元素含量的缺陷 发展的系列基于Xi+的成熟准原位样品处理、制备、反应系统: 基于Xi+，设计的一系列成熟的ALD、MBE样品制备系统，高温高压催化还原反应系统和样品退火系统，满足不同的科研项目需求。配备为提供最佳 XPS 性能而设计的单色化X射线源，确保ESCALAB Xi+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针有最高的样品测试通量。多技术能力、一系列灵活的样品制备室及样品处理设备，使该仪器在解决任何表面分析问题时都能游刃有余。利用先进的 Avantage 数据采集和处理系统，从测试数据中挖掘尽可能多的信息。ESCALAB Xi+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针的特点：高灵敏度能谱小面积 XPS深度剖析能力角分辨 XPS标配离子散射能谱 (ISS)功能标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能标配“样品预处理”室多技术分析的多功能性多个样品制备技术可选全自动无人值守式分析多样品分析单色化X射线源双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm透镜、分析仪和检测器透镜/分析器/检测器一体化使 ESCALAB 250Xi XPS 能谱仪同时具备成像和小面积 XPS 分析能力的独特性两种类型的检测器可以确保为每种分析提供最佳检测——二维检测器用于成像，基于通道电子倍增器的检测器则用于需要检测高计数率的能谱分析透镜配备了两种电脑控制的光阑组件，一套视场光阑用于控制低至 20 μm 的分析区域，适用于小面积分析；另一套光阑则用于控制透镜的接收角，对于高质量角分辨 XPS 至关重要180° 半球型能量分析器深度剖析数控式 EX06 离子枪是一款高性能的离子源，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能提供方位角样品旋转多技术能力可配备其他分析技术而不降低 XPS 检测性能使用 EX06 离子枪时透镜组和能量分析仪的电源可反向（确保离子散射能谱 (ISS) 可用）电子枪可加压升至 1000 V，为 REELS 提供优异的离子源技术选项非单色化 X 射线光源的XPS分析AES（俄歇电子能谱）UPS（紫外光电子能谱）真空系统5 mm 厚高导磁 金属分析室，最大程度提高磁屏蔽效率与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳样品制备系统标配一体化的快速进样室和制备室额外的制备室可选Avantage 数据系统集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）管理从样品载入到报告导出的整个分析过程

便携组合式探针台产品介绍探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。便携型组合式探针台产品优势结构紧凑，功能实用，超高性价比；样品台XYZR四维调节，XYZ整体分辨率3um，360°旋转 粗调可锁紧；满足1um以上电极/PAD实用；兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转及微调升降；漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；精密传动机构，线性移动，无回程差设计；U型探针架，可以放置多个探针座；整体尺寸小，方便携带，底部蜂窝隔振板，提高测试稳定性。便携型组合式探针台通用参数 样品台行程 XY均为110mm/150mm样品台Z轴行程10mm样品台位移精度标配3um（可升级）背电极测试功能可以引出背电极真空吸附进口无油真空泵7L/min样品台固定方式 环形真空吸附探针座行程XYZ均为13mm位移精度标配10um,可升级（1um,3um,电动）漏电精度10pA(同轴线缆)，100fA（三同轴线缆）安装方式可调磁力吸附，真空吸附，螺丝固定安装接口形式香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB成像方式电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜/单筒金相显微镜/激光显微镜放大倍数7-200倍，（最大可升级成1000倍）CCD像素2000W高清显微镜移动XY行程25mm/50mm,分辨率3um 显示器12寸/24寸高清显示器，HDMI高清接口 实验附件及常规测试步骤：光学隔振平台(台面600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。应用领域：半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。 南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

1：四探针测试仪 四探针检测仪 四探针测定仪/四探针电阻率测定仪 型号：HARTS-8HARTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。仪器采用了电子行、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。　术　　标 ： 测量范围 电阻率：10-5～105 &Omega .cm(可扩展)； 方块电阻：10-4～106 &Omega /□(可扩展)； 电导率：10-5～105 s/cm； 电阻：10-5～105 &Omega ； 可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)； 200mmX200mm(配S-2B型测试台)； 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；恒流源 电流量程分为1&mu A、10&mu A、100&mu A、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　 分辨力：10&mu V； 输入阻抗：1000M&Omega ； 度：± 0.1% ； 显示：四位半红色发光管数字显示；性、量程自动显示；四探针探头基本标 间距：1± 0.01mm； 针间缘电阻：&ge 1000M&Omega ； 机械游移率：&le 0.3%； 探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)；四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)模拟电阻测量相对误差( 按JJG508-87行) 0.01&Omega 、0.1&Omega 、1&Omega 、10&Omega 、100&Omega 、1000&Omega 、10000&Omega &le 0.3%± 1字整机测量相对误差(用硅标样片：0.01-180&Omega .cm测试)&le ± 5%整机测量标准不确定度 &le 5%计算机通讯接口 并口，速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量 能，自动选择适合样品测试电流量程；标准使用环境 温度：23± 2℃； 相对湿度：&le 65%； 无频干扰； 无强光直射；配置 四探针测试仪主机、探针台、四探针探头、 2：多种气体采样器/多种气体取样器/多种气体出样器（100ml） 型号：HAD/CZY-100产品介绍：主要用于检查空气中各种气体的含量。配合气体检测管使用。配套使用检测管的方法及优势：1、用砂片稍用力将检测管两端各划圈割印。2、用硅胶管套套住检测管上的箭头所端，沿切割印掰断，用同样方法掰断另端。3、用硅胶管套套住检测管上的箭头所端（防止漏气），插入所要检测标注的气体通道口上（稍用力插紧）。注意方向性，箭头方向代表气体流过方向。4、将所需检测的若干项的检测管，按以上方法均插好之后，接通电源，即可正常使用。5、调节所需检测气体对应的时间控制器，使其符合标（见附表）。6、检测结束，拔出检测管。7、手持检测管箭头朝下，并垂直于地面放在与目光基本不平的位置，观察管上颜色变化所刻度，既为被检测气体的浓度。 （1）双重优点：测量气体的检测管实际是将化学分析方法仪器化，是种定量、定性、定值的检测方式,具有化学分析和仪器分析的双重优点。（2）适应性好：检测管现有Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ三种，从零点到几个PPM（10-6）到百分之几十，适用范围很大，为分析作提供了很大方便。（3）操作简便：为专业检验人员提供了很大的方便，操作人员按照使用说明书操作方法行测试即可。（4）使用安：使用时手动操作，无需要电源、热源，在有易燃易气体存在的场所能安使用。（5）分析速度快：由于操作方便，使得每次分析所需时间大为缩短，般仅需十几分钟即可得知结果，其分析速度是何化学分析和仪器方法不能比拟的。（6）测量度：在检测管含量标度的确定上模拟了现场分析条件，采用不同标准气标定，克服了化学分析中易带入的方法误差。同时减少了人为误差。 温馨提示：以上产品资料与图片顺序相对应。

产品简介探针座作为探针台的核心部件，主要用途是连接探针和线缆，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件，从调节精度上来区分可分为10um/5um/3um/1um/0.5um等，从操作方式来区分可分为手动和电动，此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等，广泛用于半导体行业以及光电行业的测试。产品优势主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，优质的机械性能，高强度，耐磨。采用进口交叉滚珠导轨，超高稳定性。采用进口高分辨率微分头驱动，提高整体位移精度。配置多功能调节夹具，实现180°旋转及60°精密定向倾斜调节。底部超强可调磁性底座，磁性吸附可达10Kg，保证扎针的稳定性。产品参数探针位移行程三轴均为13mm+180°旋转+60°精密倾斜调节调节精度3um配套线缆同轴线缆（BNC接口，附带香蕉插头及鳄鱼夹）漏电精度10pA/100fA 电流测量范围10pA~10A电压测量范围~1400V整体结构外形尺寸230mm*82mm*102mm线缆长度1.5米探针夹具多功能探针管夹具，配合0.5mm直径探针建议使用场景50um~100um电极测试案列产品实图应用领域适用于R/F测量，I/O点测量，直流DC测试，晶圆测试，电阻电压测试，太阳能电池测试，光电流测试，半导体器件分析测试等。谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。公司介绍南京谱量光电科技有限公司是一家专业从事集光电仪器、精密机械、计算机软硬件于一体的技术创新型企业。主营激光器、探针台、积分球、光电测试系统、光学机械、物理成像设备、光学设计镀膜及多种光电类测试服务。产品主要服务于物理光学、电子、材料、化学、生命科学等相关科学领域。谱量光电总部坐落于江苏南京，在济南设有生产中心，公司拥有成熟的研发及运营团队，我们坚持从研发设计、制造选型、装配调试等环节做好产品全方位质量保证。公司自成立运营以来，已成为国内科研用户的优选品牌，产品得到了众多高校、科研院所等高水平实验室的应用。我们一直以客户需求为导向，秉持“专业、品质、服务”的经营理念，为客户提供值得信赖的产品和服务体验。我们相信谱量光电的产品和技术将得到客户越来越广泛的应用和赞誉，我们愿意与广大客户和合作伙伴携手，共同在“科教兴国、科技强国”时代创造价值，实现共赢！ 为我国的光电子产业发展做出自己积极的贡献。 企业文化：企业愿景：产研融合，创新发展，赋能国内产学研革新！核心价值观：诚信、专注、创新、共赢技术理念：不断超越，追求完美服务理念：专业、贴心、及时、周到

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 我们的开尔文探针系统包括：□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 超高真空(UHV)开尔文探针；□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针； 单点开尔文探针系统 (ASKP) KP020系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在KP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器；□ 24个月超长质保期； 仪器的特色□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比； □ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation mode SM 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal UC 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters DC 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects PP 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode SA 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) WA 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting DC 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters QT 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution DE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software OC 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit FC 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) RS 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample 额外选配项 SPV 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package RH 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber AC 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet EDS 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope OPT 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts ST 针尖置换 Replacement Tips GCT 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips XYZ 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；目前通过我司购买的的开尔文探针测试系统，目前在南昌航空大学工作正常，运行稳定。。