半导体位移传感器

SPM300系列半导体参数测试仪设备概览基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪，具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析，空间分辨率＜ 800nm （典型值），也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件，可对数据进行拟合计算，直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定，重复性好，可用于实验室检验或者产线监测。① 光路接口盒：内置常用激光器及激光片组，拓展激光器包含自由光及单模光纤输入；② 光路转向控制：光路转向控制可向下或向左，与原子力、低温、探针台等设备连用，可升级振镜选项③ 明视场相机：明视场相机代替目镜④ 显微镜：正置科研级金相显微镜，标配落射式明暗场照明，其它照明方式可升级⑤ 电动位移台：75mm*50mm 行程高精度电动载物台，1μm 定位精度⑥ 光纤共聚焦耦合：光纤共聚焦耦合为可选项，提高空间分辨率⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合：标配CCD- 狭缝耦合方式，可使用光谱仪成像模式，高光通量⑧ 光谱CCD：背照式深耗尽型光谱CCD相机， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%⑨ 320mm 光谱仪：F/4.2高光通量影像校正光谱仪， 1*10-5 杂散光抑制比SPM300系列半导体参数测试仪主要应用SPM300系列半导体参数测试仪选型表型号描述SPM300-mini基础款半导体参数分析仪，只含一路532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台SPM300-SMS532多功能型半导体参数分析仪，含532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台，可升级耦合最多4 路激光器SPM300-OM532开放式半导体参数测试仪，含532nm 激光器，定制开放式显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台，可升级耦合最多4 路激光器系统参数项目详细技术规格光源标配532nm，100mW 激光器，其他激光可选，最多耦合4 路激光，可电动切换，功率可调节光谱仪320mm 焦距影像校正光谱仪，光谱范围90-9000cm-1,光谱分辨率2cm-1空间分辨率1μm样品扫描范围标配75mm*50mm，最大300mm*300mm显微镜正置显微镜，明场或者暗场观察，带10X,50X,100X 三颗物镜；开放式显微镜可选载流子浓度分析测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3，重复性误差5%应力测试可直观给出应力属性（拉力/ 张力），针对特种样品，可直接计算应力大小，应力均匀性分析（需额外配置电动位移台）, 应力解析精度0.002cm-1晶化率测试可自动分峰，自动拟合，自动计算出晶化率，并且自动计算晶粒大小和应力大小测试案例举例

管道本体位移监测站产品介绍管道本体位移监测站可用于测量管道的裂缝或位移量。振弦式传感器是目前国内外普遍重视和广泛应用的一种非电量电测的传感器。它包括经过热处理的振弦检测元件，一根一端与振弦连接，另一端与滑动拉杆相连的消除了应力的弹簧构成。随着滑动拉杆的拉动，弹簧开始伸长并引起振弦张力的增加，钢弦的振动频率也随之产生改变，张力与弹簧的伸长成正比。因此位移的变化可以通过测量钢弦的张力即钢弦的振动频率变化来实现。振弦位移传感器广泛应用于大坝、桥梁、岩石、混凝土、土体、道路、厂房、隧道、地下洞室及模型试验等工程中的结构物体的位移、沉降、变形、裂缝等，进行长期相对位移变化监测。产品特点1）高精度、高分辨率；2）抗干扰能力强、受电参数影响小；3）全不锈钢结构、防旋转、防折弯、抗冲击、接地防雷、适应长期工作在水下；4）测量系统智能识别信息、智能故障诊断、云平台手机无缝对接；5）零点飘移小、受温度影响小、性能稳定可靠、耐震动、寿命长。产品参数位移测量范围0-100mm分辨率0.025%F.S灵敏度mm≤0.04mm测温范围-40℃~+80℃灵敏度±0.1℃测温精度±0.5℃智能识别≥1600米信息识别智能诊断≥1600米故障诊断超量程25%正常工作仪器材料不锈钢耐水压≥1MPa绝缘电阻≥50MΩ

微型探针台主要应用于传感器 半导体探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测三：主要技术要求微型探针台主要应用于传感器 半导体1． 类型：高温型：室温～350℃ 低温型 -190℃:350℃ 低温型：室温到-190℃2． 腔体材质：304不锈钢3． 腔体内尺寸：φ90x40mm4． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）5． 腔体抽气口：KF166． 腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选7． 腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选8． 腔体正压：≤0.05MPa9． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）10． 样品台材质：304不锈钢11． 样品台尺寸：26X26mm12． 样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm）13． 样品台测温传感器：*级PT100铂电阻14． 样品台温度：室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）15． 样品台测温误差：±0.2℃16． 样品台变温速率：高温10℃/min 低温5℃/min 最大值17． 温度显示：7寸人机界面18． 温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）19． 温度分辨率：0.1℃20． 温控精度：±0.5℃21． 温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）22． 温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）23． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线24． 电信号接头：配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米25． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA26． 探针数量：4探针（可定做6探针）27． 探针材质：镀金钨针28． 探针尖：10μm29． X轴移动行程：12mm ±6mm30． X轴控制精度：≤5μm31． Y轴移动行程：12mm ±6mm32． Y轴控制精度：≤5μm33． Z轴移动行程：12mm ±6mm34． Z轴控制精度：≤5μm35． 显微镜类别：物镜放大+电子放大36． 显微镜放大倍数：100倍37． 显微镜工作间距：50-150mm38． 相机分辨率：1080P 60帧39． 相机信号输出：HDMI输出+USB输出40． LED可调光源：LED光源41． 显示屏：5寸 屏幕一体机四：主要配置要求1．1台 KT-0904T-RL微型探针台一台2．1台 触摸屏温控箱3. 1个 6mm聚四氟管4. 1根 电源线5: 2个 6mm金属内衬6： 1根 触摸屏笔7： 4个 SMA-香蕉插头8： 1根 功率输出线9: 6米 6mm水冷管10： 1套 K型上盖扳手、备用螺丝，内六角选配: 分子泵真空机组 机械泵

半导体器件新型光电传感器特性分析仪PD-QE新世代光电探测器 (PD) 的完整解决方案传统的量子效率系统在新型光电探测器面临许多测试方法挑战。如：偏置电压无法超过 12V：传统量子效率系统使用锁相放大器，其承受直流电压无法过大，因此在一般的量子效率测试仪，电偏压无法施加超过 12V。无法做噪声频率分析。无法直接测得 NEP 与 D*。光焱科技针对新世代的光电探测器 (PD) 提供了完整解决方案~命名为 PD-QE。半导体器件新型光电传感器特性分析仪PD-QE 特色：PD-QE 系统是光焱科技在过去十年的小光斑 (power mode) 基础上，进化开发完成。可应用在 PV 的 EQE 量子效率测试、新型光传感器的研究。在全新的软件平台 SW-XQE 上，具有便捷的扩展性：可测试标准 EQE 外，更可整合多种 SMU 的控制，并量测IV曲线。同时具备各种分析功能，如 D*、NEP、频率噪声图。半导体器件新型光电传感器特性分析仪PD-QE 规格:PD-QE 有不同的模块，偏置电压也可由 20 V 到 1000 V。同时，可测量高分辨率的光电流，分辨率最高可达 10-16 A。波长扩充可达 1800 nm。可选配软件升级控制 Kiethley 4200 SMU半导体器件新型光电传感器特性分析仪PD-QE 应用有机光传感器 (OPD, Organic Photodiode)钙钛矿光传感器 (PPD, Perovskite Photodiode)量子点光传感器 (QDPD, Quantum Dots Photodiode)新型材料光传感器实证：PD-QE 已整合 Keithley 与 Keysight 出产的多种 SMU，进行多种的 IV 曲线扫描。用户无需另外寻找或是自行整合 IV 曲线测试。图中显示 PD-QE 测试不同样品的 IV 曲线，并进行多图显示。PD-QE 凭借先进数字讯号采集与处理技术，直接可测试各种探测器在不同频率下的噪声电流图。用户无需在额外购买、整合频谱分析仪进行测种测试！并且软件可以进行多种频段的特性分析，如 Shot Noise、Johnson Noise、1/f Noise 等。PD-QE 是针对新世代 PD 测试的完整解决方案。

Microsense高精度电容式位移传感器、微位移传感器、纳米定位位移传感器、电容式微位移传感器Microsense（美国KLA子公司） 高精度电容式位移传感器原装进口，中国区总代理—岱美仪器技术服务（上海）有限公司 联系方式：、（贾先生）联系地址：北京市房山区长阳镇启航国际3期5号楼801公司网站： 一、优势简介：Microsense的高精度电容式位移传感器具有一般非接触式仪器所共有的非接触式特点外，还具有信噪比高，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂等部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。 二、特点：1 近距离高精度非接触式位置测量2 可达亚纳米级直至皮纳米级别分辨率，为世界上所有商用电容传感器中噪音性能***品牌3 可基于无论是高稳定性和线性还是测量带宽而提供多种型号探头“应用定制化”的优化方案。4 单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）可选 三、型号简介：1 被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。 2 主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列－－－－-突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承机床主轴。主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量（ run out measurement），如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动（NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。 四、性能：1） 测量距离－－± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择2） 高测量带宽（高频率响应）可选－－ 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz ａnd 100 kHz3） 适用于任何接地，导电的目标－－材料或表面光洁度对精度没有影响4） 高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定5） 5）线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定 五、应用： 1 定位功能 ： 1）用于伺服反馈传感器纳米定位器 2）快速机床私服系统定位 2 距离和位移测量： 1）尺寸测量和检验 2）转轴位移测量 3 跳动测量：1）精密马达和转轴的跳动测量2）主轴计量与主轴跳动测量 3）精密样品台的直线度和平面度测量 4 厚度测量 ：1）磁性介质厚度测量2）蓝光光盘模具厚度测量 5 自动对焦和调零：半导体晶片表面检测（聚焦平面控制） 6 振动测量：1）精密工作台振动测量 2）传动轴振动测量 3）主动隔震系统伺服反馈系统六、探头 应用示例】 平面度测量： 直线度测量： 转轴跳动测量：

TEST系列多功能半导体推拉力测试机是一种采用插拔传感器模块的推拉力机。它可以测试MCM封装的推拉力性能，确保各个芯片之间的连接稳固可靠。 该设备采用了AST自动变挡技术技术和VPT垂直定位技术，测试传感器采用自动量程设计，分辨率高达0.0001克。推拉力测试机是一种用于力学领域的物理性能测试仪器，可以应用于多个行业和材料。它可以用于测量各种材料的强度、弹性模量、屈服点、断裂韧性、延展性等力学性能参数。推拉力测试机可以用于芯片推力测试，金球推力测试和金线拉力测试 。智能LED灯光系统：当设备空闲状况下，照明灯光自动熄灭，人员操作时，LED照明灯自动开启；LED灯光亮度可调节，减少光源对视力的损伤、疲劳。智能防呆滞功能：每项传感器采用独立防碰撞及过力保护系统，触底时设备自动停止并提醒测试人员。二段限速功能：在推刀/钩针在下降到一定高度时，可以安全平缓地软着陆降到指定测试位置。自动化测试：点击测试按钮，设备自动测试，无须人为干预，避免人为操作引起的数据偏差。测试参数设置：产品参数、合格力值、测试速度、测试行程、剪切高度、测试结束回位方式...等均可根据需求调节。插拔式模块：采用插拔式模块，可配置多个传感器模块，适应功能强大；

GS-WOC150A水中臭氧浓度检测仪GS-WOC150A水中臭氧浓度检测仪是一款创新的水中臭氧分析仪器，基于不同波长光对臭氧吸收不同的原理设计，采用双光路采样感应技术及半导体级别接触材料，实时在线检测臭氧水溶浓度。仪器采用独特的反射测量腔体，数据稳定准确、使用寿命长，无论是半导体清洗还是臭氧水的杀菌领域均可使用，应用市场广泛。应用领域本仪器主要应用于超纯水系统、制药业、半导体湿法清洗及其他工业处理领域，为水中臭氧浓度仪器的创新开发。产品特点① 无移动部件，直线型设计，便于安装操作；② 半导体级别接触材料设计；③ 采用自动控制系统；④ 维护周期长；⑤ 采用双光路取样传感技术及反射测量腔室，开创了水中臭氧浓度检测的新技术；⑥ 精度高，数值波动小；⑦ 零点稳定，可手动校准修正。 技术参数量 程：0-150mg/L（ppm）精 度：1.5%F.S重 复 性：1%F.S零 漂 移：1%F.S/月响应时间：2秒到95%流 量：0-75L/min耐 压：max5.0bar模拟输出：4-20mA串口通讯：RS232，波特率9600bps电源输入：24V接 口：3/4″Flaretek接液材料：耐臭氧，与半导体制程兼容吹 扫 口：G1/8工作温度：5～40℃尺 寸：210*60*60mm重 量：1kg

英国真尚有_低成本定制型激光位移传感器|点激光传感器|ZLDS100 英国真尚有ZLDS100激光位移传感器是数字化集成一体化结构，具有0.01%高分辨率，0.05%高精度，以及160KHz高响应，IP67高防护等级的优点。可同步等高性能，工作温度范围广，特别适用工业环境高精度应用。 除标准系列产品外，还可根据用户特殊需要定制。主要特点：基本原理是激光三角反射法： 半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集，投射到CMOS阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。应用领域：广泛用于火车轮轮缘轮廓测量、平整度测量。也可用于非接触测量位移、三维尺寸、厚度、物体形变、振动、分拣及玻璃表面测量等。技术规格：除标准产品外，该产品系列还支持定制起始距离、量程等等。

英国真尚有_微小型激光位移传感器|硬币大小的点激光传感器|ZLDS103 ZLDS103激光位移传感器设计精致小巧却实力强悍， 产品尺寸相比之前的系列有着很大程度的缩小，仅有打火机 大小，可被安装在工作空间有限的测量任务中，但功能上一 如既往的强悍，0.05%线性度，0.01%分辨度，9400Hz测 量频率，适合于高速、高精度测量的工业领域应用。主要特点：◆ 使用集速度、灵活、高性能于一体，0.05%线性度，0.01%高分辨度，测量频率高达9400Hz，在高速测量情况 下仍然可以实现超高的测量精度 ◆ 两种可选激光任君选择，不仅有传统的红色激光，新改进蓝色激光器特别适用于控制高温物体和有机材料，防护等级 IP67，不惧恶劣环境 ◆ 应用广泛，强大的功能适用于大部分测量任务，非接触式测量和检查位置、位移、尺寸 、表面轮廓、变形、振动等 ◆ 小尺寸，大功能，小巧尺寸将传感器的安装难度降至最低应用领域：ZLDS103激光传感器可用于非接触式测量和检查位置、位移、尺寸、表面轮廓、变形、振动、分类，以及测量液体和散装材料的水平，常用于汽车生产过程、半导体/集成电路、机械加工、精密机械等行业领域。测量原理：技术规格：尺寸图：

Microsense(美国KLA子公司) 高精度电容式位移传感器原装进口，中国区总代理联系电话：，（贾先生）联系地址：北京市房山区启航国际3期5号楼801公司网址：精密电容式传感器，用于精确位置测量短距离高分辨率的非接触式位置测量与任何市售电容式传感器相比，MicroSense的电容式传感器提供的噪声性能最低，可实现纳米甚至皮米分辨率。有几种类型的传感器可供使用-这些“专用”电容式位置传感器针对高稳定性和线性度或针对快速响应的测量带宽进行了优化。所有MicroSense精密电容式传感器的特点： 完全非接触式电容位置测量-现有最精确的电传感技术 检测任何导电的，接地的目标-表面光洁度或材料对精度没有影响 针对较短的测量范围进行了优化10微米至4毫米，具体取决于传感器的尺寸电容式位置传感器-应用与其他类型的精密位置传感器相比，电容式位置传感器具有以下主要优势– 电容式传感器可在短范围内（通常从10微米到2毫米）提供高达纳米级的高分辨率。 电容式传感器是完全非接触式的，可与导电的接地目标一起工作 电容传感器提供高测量带宽–取决于型号，可达10KHz，20KHz或100KHz 一、型号简介：??1 被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列??被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。??2 主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列??-----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!??6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承??机床主轴。??主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量( run out measurement)，如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。?二、 性能：??1) 测量距离--± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择??2) 高测量带宽(高频率响应)可选-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz??3) 适用于任何接地，导电的目标--材料或表面光洁度对精度没有影响??4) 高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定??5) 5)线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定?三、 应用：??1 定位功能 ：??1)用于伺服反馈传感器纳米定位器??2)快速机床私服系统定位??2 距离和位移测量：??1)尺寸测量和检验??2)转轴位移测量??3 跳动测量：??1)精密马达和转轴的跳动测量??2)主轴计量与主轴跳动测量??3)精密样品台的直线度和平面度测量??4 厚度测量 ：??1)磁性介质厚度测量??2)蓝光光盘模具厚度测量??5 自动对焦和调零：??半导体晶片表面检测(聚焦平面控制)??6 振动测量：??1)精密工作台振动测量??2)传动轴振动测量??3)主动隔震系统伺服反馈系统

Microsense高精度电容式位移传感器、微位移传感器、纳米定位位移传感器、电容式微位移传感器 一、优势简介：Microsense的高精度电容式位移传感器具有一般非接触式仪器所共有的非接触式特点外，还具有信噪比高，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂等部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。 二、特点：1 近距离高精度非接触式位置测量2 可达亚纳米级直至皮纳米级别分辨率，为世界上所有商用电容传感器中噪音性能***品牌3 可基于无论是高稳定性和线性还是测量带宽而提供多种型号探头“应用定制化”的优化方案。4 单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）可选 三、型号简介：1 被动式高精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。 2 主动式高精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列－－－－-突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承机床主轴。主要应用与分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量（ run out measurement），如轴向和径向NRRO不可重复运行或异步误差运动（NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。 四、性能：1） 测量距离－－± 5 um 到± 2 mm内非接触式位移测量和尺寸测量的理想选择2） 高测量带宽（高频率响应）可选－－ 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz ａnd 100 kHz3） 适用于任何接地，导电的目标－－材料或表面光洁度对精度没有影响4） 高分辨率—可实现亚纳米级分辨率，据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定5） 5）线性度— 优于满量程测量的0.025%， 据传感器探头尺寸，带宽，测量距离共同决定 五、应用： 1 定位功能 ： 1）用于伺服反馈传感器纳米定位器 2）快速机床私服系统定位 2 距离和位移测量： 1）尺寸测量和检验 2）转轴位移测量 3 跳动测量：1）精密马达和转轴的跳动测量2）主轴计量与主轴跳动测量 3）精密样品台的直线度和平面度测量 4 厚度测量 ：1）磁性介质厚度测量2）蓝光光盘模具厚度测量 5 自动对焦和调零：半导体晶片表面检测（聚焦平面控制） 6 振动测量：1）精密工作台振动测量 2）传动轴振动测量 3）主动隔震系统伺服反馈系统六、探头

TC 系列激光位移传感器 激光测距传感器 尺寸:154*81*40(mm) 如今，工业或者平常的任何领域的自动检测和控制的方法中，除了超声波传感器和普通光电传感器外，又增加了一个能解决长距离测量和检验的新方法—激光位移传感器（亦叫激光测距传感常见叫它激光距离传感器）。它为各种不同场合提供了应用的灵活性。 TC系列激光位移传感器采用激光非接触方式来自动测量静态或动态的物体间的位移量，传感器距被测物体间的直线距离，监测物体的长度，宽度，厚度，实时显示采集结果，不需反光板。是一款长距离，精度高的工业场合使用的产品。内部采用了德国进口测距仪，大大提高了测量精度和抗干扰能力，信号输出稳定，结实的工业外壳，IP65的防护等级，抗振冲击能力强都是这个系列的突出特点。雾天，雨天，灰尘，粉尘等对测量结果影响不大。高精度激光位移传感器外形尺寸小，易于安装，设置功能齐全，操作方便，带有RS232(USB)，RS485,，RS422，0-10V,4-20mA，开关量等输出接口，配有软件。可广泛用于钢铁工业，冶金工业，汽车工业，纺织工业，印刷工业，食品工业，机器人控制，还用于产品厚度检测，相对距离位置检测，高度检测等等场合。免费提供检测方案。 型号 技术参数TC-01TC-10TC-10G（国产模块）TC-30TC-70TC-100TC-200量程1m10m10m30m70m100m200m精度1mm1mm2mm1mm1mm1mm1mm输出频率TC-10G采样频率1Hz,其他型号都是 1-15Hz(取决于物体表面反射材料）工作电压标准24V输出信号模拟量 电压0… 5V，0… 10V，电流4… 20 mA（可接工业PLC，二次仪表等终端设备，通过软件可以任意设置距离对应模拟量信号大，小值），数字量 RS232，RS485，开关量（任一种可选），（可通过软件设置不同的地址，方便编程通讯，通过串口或USB连接笔记本，在笔记本上实时显示，也可加PDA显示屏，LED屏等其他终端设备实时接收显示数据。开光量输出的可以任意设置距离，到达设定距离给一信号，通或者闭。（可以定做无线输出，需要时请特别说明） 工作方式两种方式，一种上电工作，上电后即自动进入连续测量，一种命令控制，输入命令进行测量，可设置调整 激光特性红色激光，波长620--650nm 激光等级2级 光斑类型点或线 功耗1W外壳材料铝合金镀膜或喷塑 窗口玻璃窗口 使用寿命50000小时 工作温度-15...50℃（加高低温保护措施，可使范围增大，需要时请说明）保存温度-20...70℃ 防护防尘，防烟，防雾，防水溅，抗震 应用领域 工业料位，液体液位的测量，一般物体及传送带上的物体宽度，高度，厚度测量，原木、线圈的直径测量，行吊XY定位、集装箱定位、靶距测量、船舶安全靠距、电梯上下运行距离监测、大型工件装配定位、运动物体位置监控、电气化铁路接触网测量、铁路建筑物限界测量以及江河湖海等的水位测量。 案例测量传送带上木块宽度 在传送带的两个侧面的对面安装两个激光位移传感器，当木块经过两边的传感器时每一个传感器测出距离木块的距离，设定其中一个为L1，另外一个为L2，将L1和L2的模拟量数据信息输入到PLC，PLC将两个传感器之间距离的总和减去L1和L2的距离，得出木块宽度W。

半导体TEC温控平台及设备产品介绍本系列的“半导体温控平台、设备”是建立在半导体制冷片(热电制冷片)基础上设计的高性能温度控制系统，其特点是高精度和高稳定度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。本系列产品带有完美的PID控制软件，智能无级控温，既可加热又可制冷。可用于控制激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制的地方。该产品采用现代电力电子器件和高速微处理器(MPU)程序控制技术，以及PWM调制、双向电源、PID调节技术，具有优良的电压、电流输出特性，开关机时无过冲、反冲、浪涌现象，并带有过流、过压、过温、欠温等保护电路，以及RS232或RS485远程控制接口注：为了获到的精度、线性度、定度等,本产品采用标准日本进口NTC（热敏电阻）作为温度采样元件。产品特点 智能无级调温，双向温度控制 温度控制精度为±0.1度或0.01度 工作温度可任意设置(常规在-60℃～300℃之间选择，其它范围可定制) 工作温度超过上限/下限(软件设定)时报警 用户可以修改温度PID反馈参数 恒温模式：双向冷热恒温 具有过流、过压、过热等保护 具有硬件过温、欠温等保护电路 高稳定,高抗干扰,完全消除温度采样通道中的50/60Hz工频干扰 点阵液晶或触摸屏控制 友好的人机界面和故障诊断功能(在操作不当或电源故障时,电源将给出故障号提示) 模块尺寸：根据产品型号不同，具体参见产品手册 接受定制：可根据客户需要定制温控平台，夹具平台、恒温盒、恒温箱产品应用 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制 固体温度控制、实验、科研温度控制 高低温实验等平台产品选型型号参数 TLT-FB120-30 TLT-FB120-50 TLT-WB120-80 TLT-WB120-120 TLT-WB120-200 TLT-WB120-300输入电压（VAC） AC220V±15%制冷功率（V） 30W 50W 80W 120W 200W 300W冷却方式 风冷 水冷控温精度 ±0.1℃或±0.01℃控温范围 -10℃~150℃ -60℃~100℃温度传感器 NTC（25℃-10K）平台体积 120*120*100mm温控仪体积 450×300×133mm 450×400×133mm远程接口 RS232或RS485显示 字符点阵液晶或真彩触摸屏4.3寸

→适合检测金属导电材料的位移、位置和距离→客户定制电涡流传感器和控制器→适合工业环境使用：高温、高压、灰尘→工业级的坚固结构设计→超高分辨率和温度稳定性→多种电涡流探头可选，适应各种应用要求→超高测量频率满足实时性要求→eddyNCDT3005电涡流传感器适合自动化设备集成电涡流位移传感器测量德国米铱公司提供的电涡流传感器，不仅被设计用于测量位移，距离，移动和位置，同时也适合于测量振荡和振动。德国米铱为客户提供的非接触电涡流传感器具有极高精度，甚至可以被用于微米级别的测量任务。目前，该系列电涡流位移传感器被广泛应用于半导体器件生产设备，航空航天，发电轮机，造船，铁路，汽车检测和机床行业。坚固的电涡流传感器测量系统eddyNCDT3005新型电涡流传感器测量系统，凭借其强大的性能，被用于需要高速，高精度的位移测量任务。该系统集成了控制器,探头和集成电缆并且在工厂被校准为适合测量铁磁性材料或者非铁磁性材料。在环境温度有波动的情况下，源于探头和控制器独特的温度补偿功能，整个测量系统仍然可以提供极高测量精度。探头被设计为最高适合+125°C的环境温度，但是也可以根据客户需要，设定为适合-30°C到+180°C的环境温度。测量系统可以承受高达10bar的压力，特别适合集成到客户的机械设备中。适合工业项目集成eddyNCDT3005电涡流位移传感器测量系统操作简单的同时具有出色的精度和分辨率，从而为客户提供具有杰出性价比的测量方案。因此，该电涡流位移测量系统特别适合OEM客户设备集成和工程中的应用，尤其适合被应用到存在高压，灰尘，油污和高温度的测量任务中。德国米铱公司还可以为需求量大的客户，提供量身定制的设计改型，以适应客户特殊的需要。避免相互干扰的多通道操作如果同时操作两套电涡流传感器测量系统甚至更多套系统，无需同步操作。当操作多个测量系统时，米铱公司提供了全新的频率分配方案，从而避免这些测量系统之间的相互干扰，无需通过同步电缆对系统进行调节。

产品名称：半导体制冷片温度控制半导体激光器温度控制产品介绍本系列的“半导体温控平台、设备”是建立在半导体制冷片(热电制冷片)基础上设计的高性能温度控制系统，其特点是高精度和高稳定度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。本系列产品带有完美的PID控制软件，智能无级控温，既可加热又可制冷。可用于控制激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制的地方。该产品采用现代电力电子器件和高速微处理器(MPU)程序控制技术，以及PWM调制、双向电源、PID调节技术，具有优良的电压、电流输出特性，开关机时无过冲、反冲、浪涌现象，并带有过流、过压、过温、欠温等保护电路，以及RS232或RS485远程控制接口注：为了获到的精度、线性度、定度等,本产品采用标准日本进口NTC（热敏电阻）作为温度采样元件。产品特点 智能无级调温，双向温度控制 温度控制精度为±0.1度或0.01度 工作温度可任意设置(常规在-60℃～300℃之间选择，其它范围可定制) 工作温度超过上限/下限(软件设定)时报警 用户可以修改温度PID反馈参数 恒温模式：双向冷热恒温 具有过流、过压、过热等保护 具有硬件过温、欠温等保护电路 高稳定,高抗干扰,完全消除温度采样通道中的50/60Hz工频干扰 点阵液晶或触摸屏控制 友好的人机界面和故障诊断功能(在操作不当或电源故障时,电源将给出故障号提示) 模块尺寸：根据产品型号不同，具体参见产品手册 接受定制：可根据客户需要定制温控平台，夹具平台、恒温盒、恒温箱等产品应用 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制 固体温度控制、实验、科研温度控制 高低温实验等平台产品选型型号参数 TLT-FB120-30 TLT-FB120-50 TLT-WB120-80 TLT-WB120-120 TLT-WB120-200 TLT-WB120-300输入电压（VAC） AC220V±15%制冷功率（V） 30W 50W 80W 120W 200W 300W冷却方式 风冷 水冷控温精度 ±0.1℃或±0.01℃控温范围 -10℃~150℃ -60℃~100℃温度传感器 NTC（25℃-10K）平台体积 120*120*100mm温控仪体积 450×300×133mm 450×400×133mm远程接口 RS232或RS485显示 字符点阵液晶或真彩触摸屏4.3寸

PMT-2半导体化学品液体颗粒计数器，采用英国普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器，双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统，可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线或离线颗粒监测和分析，目前是英国普洛帝分析测试集团向水质领域及微纳米检测领域的重要产品。 产品优势：应用：创新性、多用途、多模块条件；技术：第八代双激光窄光检测技术应用；软件：分析测试和校准计量相分离消除干扰；输出：IPAD数据采集技术使用；在线优势：清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线颗粒监测和分析，都是PMT-2微纳米监测仪的经典应用场所，并为生产线上的重要组成部分。在线、实时、连续取样、报警提示，能够即时掌握颗粒污染诊断和趋势。离线优势：移动测量和固定测量颗粒大小及多少双模式，解决连续跟踪监测的生产过程难题，无论您是即时测量还是清洁跟踪监测，都会为您提供完善的测试方案，让您的测试更加快捷。应用范围：可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片、手机零部件、纯水机、纳米过滤、微米过滤等领域进行固体颗粒污染度检测，及对有机液体、聚合物溶液进行不溶性微粒的检测。技术参数：订制要求：各类液体检测要求；传感器：第八代双激光窄光检测器；测试软件：V8.3分析测试软件集成版&PC版；测试标定：JJG1061或乳胶球或ISO21501；操作方式：彩色液晶触摸屏操作&无线键鼠组合；检测范围：0.1-0.5um、0.1-1.0um；特殊检测：自定义1~100μm或者4~70µ m（c）微粒，0.1μm或者0.1µ m（c）任意检测；取样方式：精准计量泵；进样精度：±1%精确度：±3%典型值；重合精度：1000粒/mL（2.5%重合误差）；模拟输出：4mA～20mA接口；并带超标报警功能（可定制）； 报告方法：颗粒数/ml及污染度等级；输入电压：100V～265V,50Hz～60Hz；售后服务：普洛帝服务中心/中特计量检测研究院。

该测试方案可适用于多数半导体器件的测试，以五种器件为例：场效应晶体管式传感器、电阻型二极管式传感器、电阻式存储器、生物器件脉冲式和电容测试。其他要求为系统漏电小于10-13（100fA）。测试需求整体可以归纳为微纳传感器件的IV、脉冲IV 和CV测试，漏电需求为100fA。整体系统组成为微纳器件测试探针台和半导体参数分析仪。可测器件器件1：场效应晶体管式传感器器件2：电阻型二极管式传感器器件3：电阻式存储器器件4：脉冲式（输入脉冲电压，测量电流值）器件5：电容测试欢迎与我司联系了解详情，可按需定制系统。

WD4000中图仪器半导体晶圆量测设备采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立3D Mapping图，实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。非接触测量方式在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。WD4000中图仪器半导体晶圆量测设备兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。 产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量WD4000中图仪器半导体晶圆量测设备集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。 3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

拉曼激光器拉曼光谱测试都需要高功率，高稳定，窄线宽的激光光源，常用的波长主要是785和532nm。785nm的最大激光功率一般要求300mw以上，532nm的最大激光功率在50mW以上。线宽也要优于0.2nm。我们供应SPL-785、SPL-532系列高质量光源用于拉曼检测。SPL-Laser-785拉曼半导体激光器系统 SPL--532nm拉曼稳定光谱窄线宽激光器SPL-532nm拉曼稳光谱窄线宽激光器，基于先进的激光技术，具备优越的可靠性与长期的稳定性，产品内装配有温度控制模块与APC激光功率反馈功能，以确保激光长期工作的稳定性。SPL-532nm拉曼稳光谱窄线宽激光器可以提供2种类别的激光器选择方案，其一是自由光路输出的方式；其二是可以提供耦合到光纤输出的方式。应用领域：拉曼光谱、光纤传感等。 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务于国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 Tell:0571-88076956 Email: SPL 785nm 拉曼半导体激光器系统 特性和参数：

光纤光栅位移传感器产品介绍光纤光栅位移计原理是利用反射的激光信号中心波长移动量来检测位移值，测量精度不受光源功率波动及传输线路损耗的影响，可在一根光纤上串接几十个光纤光栅位移计并直接进行信号远程传输，监测现场无需供电。光纤光栅式位移计可用于测量大型结构的裂缝或位移，如：大型建筑、管道、桥梁、大坝、钢结构以及岩石等的裂缝或位移量。传感器内部组成包括光纤光栅应变计、高性能弹簧、拉杆、保护外壳、万向节等几个部件组成，传感器完全密封，当连接杆从传感器主体拉出，会导致光纤光栅波长的变化，通过读取光纤光栅的波长可以精确地得到位移值。产品特点1）高精度、高分辨率；2）不受电磁干扰，自然防爆；3）全不锈钢材料封装，内部全密封；4）安装方便、可重复使用；5）光纤双端出口，可串联测量；6）内置温度补偿传感器，无需外置温度传感器；7）性价比高；8）可根据用户要求定制外型尺寸和安装座。产品参数位移测量范围100mm（其它可定制）中心波长选择范围1510nm~1590nm分辨率0.1%F.S.精度0.5%F.S.反射率≥80%温度补偿自带光纤类型SMF-28涂覆方式和类型机器涂覆；Acrylate或polyimide尾纤类型3mm金属铠装光缆光纤接口FC/APC (可选)工作温度-40℃~+80℃

设备概览基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪，具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析，空间分辨率＜ 800nm （典型值），也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件，可对数据进行拟合计算，直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定，重复性好，可用于实验室检验或者产线监测。① 光路接口盒：内置常用激光器及激光片组，拓展激光器包含自由光及单模光纤输入；② 光路转向控制：光路转向控制可向下或向左，与原子力、低温、探针台等设备连用，可升级振镜选项③ 明视场相机：明视场相机代替目镜④ 显微镜：正置科研级金相显微镜，标配落射式明暗场照明，其它照明方式可升级⑤ 电动位移台：75mm*50mm 行程高精度电动载物台，1μm 定位精度⑥ 光纤共聚焦耦合：光纤共聚焦耦合为可选项，提高空间分辨率⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合：标配CCD- 狭缝耦合方式，可使用光谱仪成像模式，高光通量⑧ 光谱CCD：背照式深耗尽型光谱CCD相机， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%⑨ 320mm 光谱仪：F/4.2高光通量影像校正光谱仪， 1*10-5 杂散光抑制比SPM300 半导体参数测试仪主要应用选型表型号描述SPM300-mini基础款半导体参数分析仪，只含一路532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台SPM300-SMS532多功能型半导体参数分析仪，含532nm 激光器，常规正置显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台，可升级耦合最多4 路激光器SPM300-OM532开放式半导体参数测试仪，含532nm 激光器，定制开放式显微镜，光谱仪，高精度XYZ 位移台，可升级耦合最多4 路激光器系统参数项目详细技术规格光源标配532nm，100mW 激光器，其他激光可选，最多耦合4 路激光，可电动切换，功率可调节光谱仪320mm 焦距影像校正光谱仪，光谱范围90-9000cm-1,光谱分辨率2cm-1空间分辨率1μm样品扫描范围标配75mm*50mm，最大300mm*300mm显微镜正置显微镜，明场或者暗场观察，带10X,50X,100X 三颗物镜；开放式显微镜可选载流子浓度分析测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3，重复性误差5%应力测试可直观给出应力属性（拉力/ 张力），针对特种样品，可直接计算应力大小，应力均匀性分析（需额外配置电动位移台）, 应力解析精度0.002cm-1晶化率测试可自动分峰，自动拟合，自动计算出晶化率，并且自动计算晶粒大小和应力大小测试案例举例

产品概要：4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的半导体参数分析仪，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能很高的参数分析仪，4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。基本信息：使用强大的 Clarius 软件，可以更加快速的完成 I-V, C-V 和脉冲 I-V 测试，结果清晰。 I-V 源测量单元 (SMU) ● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块● 100 fA 测量分辨率● 选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量● 四象限操作● 2 线或 4 线连接C-V 多频率电容单元 (CVU)● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)● 1 kHz - 10 MHz 频率范围● ± 30 V (60V差分)内置 DC 偏置源，可以扩展到 ± 210 V(420 V 差分 )● 选配 CVIV 多功能开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)● 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道● 200 MSa/s，5 ns 采样率● ±40 V (80 V p-p)，±800 mA● 瞬态波形捕获模式● 任意波形发生器Segment ARB模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率高压脉冲发生器单元 (PGU)● 两个高速脉冲电压源通道● ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA● 任意波形发生器Segment ARB模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率-V/C-V 多开关模块 (CVIV)I● 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或 抬起探针● 把 C-V 测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)● 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换● 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安● 降低电缆电容效应 技术优势：1、随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件，缩短测试开发时间2、内置测量视频的仪器，测试视频由全球应用工程师提供，分为4种语言，缩短学习周期3、pin to pad接触检查，确保测量可靠4、多种测量功能5、数据显示、分析和代数运算功能6、专家视频，降低特性分析复杂度，观看吉时利全球应用工程师制作的内置视频，迅速掌握应用，缩短学习周期。数小时的专家测量专业帮助，在发生意想不到的结果或对怎样设置测试存在疑问时，将为您提供指引。Clarius Software短专家视频支持四种语言(英语、中文、日语和韩语)，可以迅速让你洞察先机。7、大量随时可以使用的应用测试可供选择，通过Clarius库中装备的450多项应用测试，您=可以选择或修改预先定义的应用测试，加快特性分析速度，或从一开始简便地创建自定义测试。只需三步，Clarius Software就可以引导新用户像专家一样完成参数分析。8、实时结果和参数，自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能，加快获得所需信息的速度。不必担心数据丢失，因为所有历史数据都会保存下来。9、无需示波器检验脉冲测量，脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数，确认脉冲式I-V测试按希望的方式执行。使用瞬态I-V或波形捕获模式，进行基于时间的电流或电压测量，而无需使用外部示波器。应用方向：MOSFET, BJT 晶体管；材料特性分析；非易失性存储设备；电阻率系数和霍尔效应测量；NBTI/PBTI；III-V 族器件；失效分析；纳米器件；二极管和 pn 联结；太阳能电池；传感器；MEMS器件；电化学；LED和OLED。

产品名称：半导体激光器|脉冲半导体激光器脉冲激光器模块产品介绍本公司设计和生产的TLTP-YTH系列半导体激光电源是连续可调恒流电源，采用了目前国际先进的半导体激光电源驱动方案，选用元器件生产。具有输出噪声小、恒流特性好、电流稳定、抗干扰能力强等优点，具有防过冲、反冲和反浪涌的稳压、恒流双重保护电路，保证激光器的稳定工作和使用寿命。电源采用真彩触摸液晶控制，能提供电源工作的各个参数及其工作状态的调节和显示，具备过压、过流、水温和水流报警功能，可以完美匹配DILAS、LIMO、nlight、QPC、西安炬光、BWT模块，是紫外、绿光激光器理想的驱动电源。产品特点 1路LD半导体恒流驱动【含电压钳位，带过压、过流保护，支持过热保护】 4路TEC驱动【半导体LD、一倍频晶体、二倍频晶体、三倍频晶体】 日本进口高精度高灵敏度NTC，全数字PID控制，各参数可调节 温度控制精度：正负0.1℃或0.01℃可选。支持TEC热端温度检测和风扇控制 内置PWM，频率1KHz-200KHz 可调，步进1KHz。 脉宽可调1us~30us. 带红光指示 激光控制内控、外控可切换。 支持Q驱告警检测。 完美兼容市面上主流打标板卡控制 温度异常报警、激光器内部温湿度控测 光功率探测 光闸控制、步进电机控制应用： 端泵打标泵浦电源 半导体激光电源 绿光打标机电源 紫外打标机电源 倍频晶体温控控制 高低温温度控制参数介绍：系统功能参数简介4路制冷系统 日本进口高精度高灵敏度NTC温控稳定度正负0.1℃、0.01℃可选支持TEC双向控制，可加热可制冷CHANNEL1 双向12V/10A【半导体LD-808】CHANNEL2 双向12V/10A【1倍频晶体】CHANNEL3 双向12V/10A【2倍频晶体】CHANNEL4 双向12V/10A【3倍频晶体】半导体激光模块驱动器 低压高流【3V60A】、高压低流 【8V10A、12V10A、26V10A等】效发率88%。电流纹波10mA,电压纹波15mV。含电压钳位，带过压过流保护，支持过热保护。含欠压保护，过流熔断保护。支持外部使能控制，外部电流控制。声光控制器 内置PWM，频率1KHz-200KHz，步进1KHz。脉宽可调1us~30us激光控制内控外控可切换。支持Q驱告警检测。温度异常报警。附加功能 RS232通讯接口。(选配)产品选型：型号参数 TLTP-YTH0345-N TLTP-YTH0360-N TLTP-YTH0812-N TLTP-YTH1212-N TLTP-YTH2612-N输入电压（VAC） 220±15%温控路数 温控1~5可选控温精度 ±0.1℃/±0.01℃可选控温范围 5℃~85℃温度传感器 NTC（25℃-10K）激光器电压 0~3V自适应 8V自适应 12 V自适应 26V自适应激光器电流 45A 60A 12A 12A 12A声光控制器 15V/24V供电可选PWM频率 1K~200KHz仪器体积 W×L×H＝450×130×400mm远程接口 RS232、485（选配）外控接口 DB15【兼容JCZ、国产打标板卡】LD放置 机箱内、激光器内可选冷却方式 风冷、水冷可选其它功能 光功率探测、湿度探测、光闸控制、步进电机控制

半导体零度恒温器采用半导体制冷技术，为热电偶参考端提供稳定而精确的0℃，是替换传统以冰水混合物为热电偶参考端提供恒温0℃和利用传感器进行室温补偿的方法，免去繁杂的制冰、刨冰过程，提高热电偶/阻检定精度。半导体零度恒温器具有工作温度稳定、精度高、温场均匀、体积小及使用方便等特点。检定各类热电偶/阻时，克服了传统检定时间长需抽 水加冰的不便、水污染造成的冰点偏离及室温补偿的温度波动和补偿滞后等不足。三种配置方式（插孔，冷端补偿线连接、端子连接）可选，广泛应用于各种热电偶/阻在0℃的相关检测及热电偶类二次仪表的冷端补偿。1．技术特点（1）半导体制冷（2）介质：空气（3）主要制冷片降温速度更快，使用寿命延长5倍（4）孔径大，防震、静音设计（5）符合CE认证的设计（6）高精度智能温控仪，PID控制（7）选配专用冷端无磁不锈钢套件，冷端补偿接线更方便2．技术参数（1）准确度∶0℃±0.05℃ 分辨率∶0.01℃（2）稳定度∶±0.02℃/10Min 均匀度∶0.02℃ （3）插孔孔径及数量∶φ9×6，φ8×10（可选）（4）降温时间：15Min （5）孔间差∶≤0.01℃ （6）插入深度：200mm（7）外形尺寸及重量∶260×140×315mm 7kg （8）工作环境条件∶环境温度5～30℃，相对湿度10%—80%RH（9）接线方便三种使用方式（插孔，冷端补偿线连接、端子连接）可选。快速完成接线工作。注∶*不间断运行5000小时是指不关机连续运行时间，非设备使用寿命*开口尺寸及工作区域大小可根据客户需要定制

半导体TEC温控驱动模块产品介绍本系列的“半导体制冷控制器”是专门为驱动半导体制冷片(热电制冷片)而设计的高性能温度控制系统(风冷)，其特点是高精度和高稳定度。输出负载为半导体制冷片(热电制冷片)。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。本系列产品带有完美的PID控制软件，智能无级控温，既可加热又可制冷。可用于控制激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制的地方。该产品采用现代电力电子器件和高速微处理器(MPU)程序控制技术，以及PWM调制、双向电源、PID调节技术，具有优良的电压、电流输出特性，开关机时无过冲、反冲、浪涌现象，并带有过流、过压、过温、欠温等保护电路，以及RS232或RS485远程控制接口注：为了获到的精度、线性度、定度等,本产品采用标准日本进口NTC（热敏电阻）作为温度采样元件。产品特点 智能无级调温，双向温度控制 温度控制精度为±0.1度或0.01度 工作温度可任意设置(常规在-20℃～120℃之间选择，其它范围可定制) 工作温度超过上限/下限(软件设定)时报警 用户可以修改温度PID反馈参数 恒温模式：双向冷热恒温 具有过流、过压、过热等保护 具有硬件过温、欠温等保护电路 高稳定,高抗干扰,完全消除温度采样通道中的50/60Hz工频干扰 触摸屏控制接口 友好的人机界面和故障诊断功能(在操作不当或电源故障时,电源将给出故障号提示) 模块尺寸：W×L×H＝90×50×35mm 接受定制：可根据客户需要定制温控电源，定制夹具平台等 同时提供各种温控模块产品选择产品应用 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制 固体温度控制、实验、科研温度控制 高低温实验等产品选型型号参数 TLTM-TEC0505 TLTM-TEC0510 TLTM-TEC0805 TLTM-TEC0810 TLTM-TEC1205 TLTM-TEC1210输入电压（VDAC） 5±15% 5±15% 12±15% 12±15% 15±15% 15±15%输出电压（V） 1~5V(可调节) 1~5V(可调节) 5~8V(可调节) 5~8V(可调节) 5~12V(可调节) 5~12V(可调节)输出电流（A） 0~5A 0~10A 0~5A 0~10A 0~5A 0~10A通道数 1通道或2通道控温精度 ±0.1℃或±0.01℃控温范围 -20℃~120℃温度传感器 NTC（25℃-10K）模块体积 90*50*35或150*100*35mm远程接口 RS232或RS485显示 真彩触摸屏3.5寸、4.3寸、5.7寸、7寸可选

固体激光器打标驱动电源产品介绍本公司设计和生产的TLTP-YTH系列半导体激光电源是连续可调恒流电源，采用了目前国际先进的半导体激光电源驱动方案，选用元器件生产。具有输出噪声小、恒流特性好、电流稳定、抗干扰能力强等优点，具有防过冲、反冲和反浪涌的稳压、恒流双重保护电路，保证激光器的稳定工作和使用寿命。电源采用真彩触摸液晶控制，能提供电源工作的各个参数及其工作状态的调节和显示，具备过压、过流、水温和水流报警功能，可以完美匹配DILAS、LIMO、nlight、QPC、西安炬光、BWT模块，是紫外、绿光激光器理想的驱动电源。产品特点 1路LD半导体恒流驱动【含电压钳位，带过压、过流保护，支持过热保护】 4路TEC驱动【半导体LD、一倍频晶体、二倍频晶体、三倍频晶体】 日本进口高精度高灵敏度NTC，全数字PID控制，各参数可调节 温度控制精度：正负0.1℃或0.01℃可选。支持TEC热端温度检测和风扇控制 内置PWM，频率1KHz-200KHz 可调，步进1KHz。 脉宽可调1us~30us. 带红光指示 激光控制内控、外控可切换。 支持Q驱告警检测。 完美兼容市面上主流打标板卡控制 温度异常报警、激光器内部温湿度控测 光功率探测 光闸控制、步进电机控制应用： 端泵打标泵浦电源 半导体激光电源 绿光打标机电源 紫外打标机电源 倍频晶体温控控制 高低温温度控制参数介绍：系统功能参数简介4路制冷系统 日本进口高精度高灵敏度NTC温控稳定度正负0.1℃、0.01℃可选支持TEC双向控制，可加热可制冷CHANNEL1 双向12V/10A【半导体LD-808】CHANNEL2 双向12V/10A【1倍频晶体】CHANNEL3 双向12V/10A【2倍频晶体】CHANNEL4 双向12V/10A【3倍频晶体】半导体激光模块驱动器 低压高流【3V60A】、高压低流 【8V10A、12V10A、26V10A等】效发率88%。电流纹波10mA,电压纹波15mV。含电压钳位，带过压过流保护，支持过热保护。含欠压保护，过流熔断保护。支持外部使能控制，外部电流控制。声光控制器 内置PWM，频率1KHz-200KHz，步进1KHz。脉宽可调1us~30us激光控制内控外控可切换。支持Q驱告警检测。温度异常报警。附加功能 RS232通讯接口。(选配)产品选型：型号参数 TLTP-YTH0345-N TLTP-YTH0360-N TLTP-YTH0812-N TLTP-YTH1212-N TLTP-YTH2612-N输入电压（VAC） 220±15%温控路数 温控1~5可选控温精度 ±0.1℃/±0.01℃可选控温范围 5℃~85℃温度传感器 NTC（25℃-10K）激光器电压 0~3V自适应 8V自适应 12 V自适应 26V自适应激光器电流 45A 60A 12A 12A 12A声光控制器 15V/24V供电可选PWM频率 1K~200KHz仪器体积 W×L×H＝450×130×400mm远程接口 RS232、485（选配）外控接口 DB15【兼容JCZ、国产打标板卡】LD放置 机箱内、激光器内可选冷却方式 风冷、水冷可选其它功能 光功率探测、湿度探测、光闸控制、步进电机控制

半导体参数分析仪概述：SPA-6100半导体参数分析仪是武汉普赛斯自主研发、精益打造的一款半导体电学特性测试系统，具有高精度、宽测量范围、快速灵活、兼容性强等优势。产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试，旨在帮助加快前沿材料研究、半导体芯片器件设计以及先进工艺的开发，具有桌越的测量效率与可靠性。基于模块化的体系结构设计，SPA-6100半导体参数分析仪可以帮助用户根据测试需要，灵活选配测量单元进行升级。产品支持Z高1200V电压、100A大电流、1pA小电流分辨率的测量，同时检测10kHz至1MHz范围内的多频AC电容测量。SPA-6100半导体参数分析仪搭载普赛斯自主开发的专用半导体参数测试软件,支持交互式手动操作或结合探针台的自动操作,能够从测量设置、执行、结果分析到数据管理的整个过程，实现高效和可重复的器件表征 也可与高低温箱、温控模块等搭配使用，满足高低温测试需求。产品特点：30μV-1200V；1pA-100A宽量程测试能力；测量精度高，全量程下可达0.03%精度；内置标准器件测试程序，直接调用测试简便；自动实时参数提取，数据绘图、分析函数；在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线；提供灵活的夹具定制方案，兼容性强；免费提供上位机软件及SCPI指令集；典型应用：纳米、柔性等材料特性分析；二极管；MOSFET、BJT、晶体管、IGBT；第三代半导体材料/器件；有机OFET器件；LED、OLED、光电器件；半导体电阻式等传感器；EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管；电阻率系数和霍尔效应测量；太阳能电池；非易失性存储设备；失效分析；系统技术规格半导体电学特性测试系统CV+IV测试仪订货信息模块化构成：低压直流I-V源测量单元-精度0.1%或0.03%可选-直流工作模式-Z大电压300V，Z大直流1A或3A可选-最小电流分辨率10pA-四象限工作区间-支持二线，四线制测试模式-支持GUARD保护低压脉冲I-V源测量单元-精度0.1%或0.03%可选-直流、脉冲工作模式-Z大电压300V,Z大直流1A或3A可选，Z大脉冲电流10A或30A可选-最小电流分辨率1pA-最小脉宽200μs-四象限工作区间.-支持二线，四线制测试模式-支持GUARD保护高压I-V源测量单元-精度0.1% -Z大电压1200V,Z大直流100mA-最小电流分辨率100pA-一、三象限工作区间-支持二线、四线制测试模式-支持GUARD保护高流I-V源测量单元-精度0.1%-直流、脉冲工作模式.-Z大电压100V，Z大直流30A,Z大脉冲电流100A-最小电流分辨率10pA-最小脉宽80μs-四象限工作区间支持二线、四线制测试模式-支持GUARD保护电压电容C-V测量单元-基本精度0.5%-测试频率10hZ~1MHz，可选配至10MHz-支持高压DC偏置，Z大偏置电压1200V-多功能AC性能测试，C-V、 C-f、 C-t硬件指标-IV测试半导体材料以及器件的参数表征，往往包括电特性参数测试。绝大多数半导体材料以及器件的参数测试，都包括电流-电压(I-V)测量。源测量单元(SMU)，具有四象限，多量程，支持四线测量等功能，可用于输出与检测高精度、微弱电信号，是半导体|-V特性测试的重要工具之-。SPA-6100配置有多种不同规格的SMU,如低压直流SMU,低压脉冲SMU,大电流SMU。用户可根据测试需求灵活配置不同规格,以及不同数量的搭配，实现测试测试效率与开支的平衡。灵活可定制化的夹具方案 针对市面上不同封装类型的半导体器件产品,普赛斯提供整套夹具解决方案。夹具具有低阻抗、安装简单、种类丰富等特点，可用于二极管、三极管、场效应晶体管、IGBT、SiC MOS、GaN等单管，模组类产品的测试 也可与探针台连接，实现晶圆级芯片测试。探针台连接示意图

半导体TEC温控仪产品介绍本系列的“半导体制冷控制器”是专门为驱动半导体制冷片(热电制冷片)而设计的高性能温度控制系统(风冷)，其特点是高精度和高稳定度。输出负载为半导体制冷片(热电制冷片)。半导体制冷是利用帕尔帖效应原理工作的，具有高精度、长寿命、体积小、无噪声、无磨损、无振动、无污染、既可制冷又可加热等优点，是真正的绿色产品。本系列产品带有完美的PID控制软件，智能无级控温，既可加热又可制冷。可用于控制激光器件、医疗器件、半导体器件、红外探测器、光电倍增管、或其它任何需要温度控制的地方。该产品采用现代新电力电子器件和高速微处理器(MPU)程序控制技术，以及PWM调制、双向电源、PID调节技术，具有优良的电压、电流输出特性，开关机时无过冲、反冲、浪涌现象，并带有过流、过压、过温、欠温等保护电路，以及RS232或RS485远程控制接口注：为了获到好的精度、线性度、定度等,本产品采用标准日本进口NTC（热敏电阻）作为温度采样元件。产品特点 智能无级调温，双向温度控制 温度控制精度为±0.1℃、0.01℃、0.005℃、0.001℃ 工作温度可任意设置(常规在-40℃～100℃之间选择，其它范围可定制) 工作温度超过上限/下限(软件设定)时报警 用户可以修改温度PID反馈参数 恒温模式：双向冷热恒温 具有过流、过压、过热等保护 具有硬件过温、欠温等保护电路 高稳定,高抗干扰,完全消除温度采样通道中的50/60Hz工频干扰 触摸屏控制接口 友好的人机界面和故障诊断功能(在操作不当或电源故障时,电源将给出故障号提示) 模块尺寸：W×L×H＝450×300×133mm 接受定制：可根据客户需要定制温控电源，定制夹具平台等 同时提供各种温控模块产品选择产品应用 半导体激光器、激光晶体，激光倍频晶体温度控制 固体温度控制、实验、科研温度控制 高低温实验等产品选型型号参数 TLTP-TEC0510 TLTP-TEC1210 TLTP-TEC2410 TLTP-TEC2420 TLTP-TEC3610 TLTP-TEC4810输入电压（VAC） AC220V±15%输出电压（V） 1~5V(可调节) 3.6~12V(可调节) 7.2~24V(可调节) 7.2~24V(可调节) 10.8~32V(可调节) 15~45V(可调节)输出电流（A） -10A~10A -10A~10A -10A~10A -20A~20A -10A~10A -10A~10A通道数 1到60通道可选控温精度 ±0.1℃或±0.01℃或±0.005℃或±0.001℃控温范围 -40℃~100℃温度传感器 NTC（25℃-10K）模块体积 450×300×133mm或450×400×133mm远程接口 RS232或RS485显示 字符点阵液晶或真彩触摸屏4.3寸

WD4000半导体晶圆表面形貌参数测量仪通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。能实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。WD4000半导体晶圆表面形貌参数测量仪采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立表面3D层析图像，实现Wafer厚度、翘曲度、平面度、线粗糙度、总体厚度变化(TTV)及分析反映表面质量的2D、3D参数。可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量WD4000半导体晶圆表面形貌参数测量仪集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量 通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

特点：100 mA至4 A电流输出60 W TEC温度控制低噪声、双量程范围先进的激光器保护措施 6300系列半导体激光器控制器是高精度、低噪声、双量程激光驱动器和强大的60 W 精密温度控制器的完美组合。而且体积小、结构紧凑。卓越的性能，优惠的价格使其成为公司的旗舰产品。使用简便，易于配置 ComboSource控制器的用户界面是非常简单的…易于使用，即刻设置与运行。Arroyo控制器采用高对比度的VFD真空荧光显示屏直接显示易于读取的信息，同时显示电流值、电压值、温度值、光电二极管的电流值等信息…无需切换读数。展示信息您可以自己配置，让控制器按照您预想的方式进行工作。所有的ComboSource控制器都设计有USB 与RS232计算机接口，可以快捷方便地与PC连接，实现远程操作。并且ComboSource尺寸紧凑，易于集成到您现有的测试系统中去。便捷的功能键 控制器的功能键可用于快速选择不同的配置状态，或者执行预先设定的命令。比如在两个不同的实验之间转换或者执行重复操作等。任何您可以手动控制的操作都可以编程到功能键里。高性能温度控制器 60 W的输出功率和可调节PID控制，使其应用更加广泛。它支持所有通用传感器，包括额敏电阻、RTD、LM335和AD590传感器。卓越的半导体激光器保护功能 ComboSource具备您所期望的激光驱动器的所有安全能能：可调节的电流和电压极限值，缓启动、瞬态/峰值监测，所有这些性能都能通过硬件实现。独立且隔离的输出设备 所有的ComboSources的输入与输出接口之间无论在光学上还是电学上都是隔离的，确保设备免受接地循环带来的损坏。MODELCURRENTVOLTAGEACCURACYNOISEBWTEC POWER6301100 mA10 V0.025% + 0.03 mA 1 uA325 kHz60 W6305500 mA10 V0.025% + 0.12 mA 1.5 uA325 kHz60 W63101 A10 V0.025% + 0.3 mA 2.5 uA200 kHz60 W63404 A5 V0.05% + 0.8 mA 40 uA150 kHz60 W6310-QCL1 A18 V0.025% + 0.3 mA 2.5 uA200 kHz60 W6340-QCL4 A15 V0.05% + 0.8 mA 40 uA150 kHz60 W 半导体激光控制器 6301 光学测量仪