数显收敛仪

继今年2月检出1批土耳其进口仿真铜耳环镍释放量超标后，近日广东东莞检验检疫局再次检出一批进口奥地利仿真手链镍释放量超标。 　　日前，东莞某公司向东莞局申报异地调离进口1批奥地利生产的仿真手链。经检验检疫人员现场查验及抽样送检，检测结果显示手链中的玫瑰色接口扣中镍元素释放量为0.65μg/cm2/week，超过国家标准限量0.5μg/cm2/week的要求，判定该项目不合格。由于进口商无能力对不合格部分进行整改，东莞局按规定对该批手链作出退运出境的处理决定。 　　鉴于进口仿真饰品屡屡被检出不合格的情况，东莞局将进一步加强对进口仿真饰品的安全卫生项目的监控，对进口用于国内销售的仿真饰品逐批抽样检测，检测合格后方允许使用或销售。同时将案例向辖区内出口仿真饰品生产企业进行宣传，要求企业加强产品质量控制，特别是加强对电镀类产品中重金属含量的监管，严格对电镀承包商的审核与选择，防止仿真饰品因电镀而产生镍释放量超标的情况。

据美国世界新闻网5月10日援引美联社消息，美国消费品安全委员会宣布召回近2万个含镉量过高的儿童手链，这些玩具手链大都是从中国进口的。美国消费品安全委员会正扩大调查，希望在危险品上架前，事先阻止其流入市面。 　　报道称，美国消费品安全委员会发言人沃夫森表示，该委员会正在全国最大的十个港口扩大检查进口儿童玩具珠宝，通常儿童玩具珠宝均自中国进口。他说：“我们现在利用X光枪加强检查。”X光枪发射的光线可估计出受测产品的含镉量。美联社1月披露的独立检验报告显示，“良伴”牌玩具手链含镉量过高，高达91%。美国消费品安全委员会科学家证实了该报告的正确性。 　　报道称，厂商自动召回中国制造的1.9万个玩具手链，这些产品由全国连锁店Claire's独家销售。Claire's连锁店在全国有3000家店，召回的产品仅限于早先在Claire's销售的产品。美联社报导该产品含镉量过高数天后，该连锁店宣布将立即停止销售不安全的产品。 　　美国消费品安全委员会指出：“镉进入儿童消化道后，会导致严重有害健康的后果。”研究显示，镉的摄取量过高会致癌，也会伤害肾脏和骨骼。

近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心在极紫外光刻基板缺陷补偿方面取得新进展。 与采用波长193nm的深紫外（DUV）光刻使用的掩模不同，极紫外（EUV）光刻的掩模采用反射式设计，其结构由大约由40层Mo和Si组成的多层膜构成。在浸没式光刻技术的技术节点上，基板制造和掩模制造已足够成熟，掩模缺陷的密度和尺寸都在可接受的水平。但是在EUV光刻系统中，由于反射率及掩模阴影效应的限制，掩模基板缺陷是影响光刻成像质量、进而导致良率损失的重要因素之一。 基于以上问题，微电子所韦亚一研究员课题组与北京理工大学马旭教授课题组合作，提出了一种基于遗传算法的改进型掩模吸收层图形的优化算法。该算法采用基于光刻图像归一化对数斜率和图形边缘误差为基础的评价函数，采用自适应编码和逐次逼近的修正策略，获得了更高的修正效率和补偿精度。算法的有效应性通过对比不同掩模基板缺陷的矩形接触孔修正前后的光刻空间像进行了测试和评估，结果表明，该方法能有效地抑制掩模基板缺陷的影响，提高光刻成像结果的保真度，并且具有较高的收敛效率和掩模可制造性。 基于本研究成果的论文Compensation of EUV lithography mask blank defect based on an advanced genetic algorithm近期发表在《光学快报》期刊上[Optics Express, Vol. 29, Issue 18, pp. 28872-28885 (2021)，DOI: 10.1364/OE.434787]，微电子所博士生吴睿轩为该文第一作者。微电子所韦亚一研究员为该文通讯作者。此项研究得到国家自然科学基金、国家重点研究开发计划、北京市自然科学基金、中科院的项目资助。图1 (a)优化算法流程 (b)自适应分段策略样例 (c) 自适应分段的合并与分裂 图2 (a)对不同大小的基板缺陷的补偿仿真结果 (b) 对不同位置的基板缺陷的补偿仿真结果 (c) 对复杂图形的基板缺陷的补偿仿真结果 (d) 对不同位置的基板缺陷的补偿、使用不同优化算法，目标函数收敛速度的比较