哪位高人有检测纳米级别的粒度仪的资料,不要站内的那种仪器厂商的宣传资料。
“纳米压痕仪”就是根据字面理解检测物体上面纳米级的压痕的吗?
有兄弟姐妹用过纳米级的颗粒探测器吗?国内有销售吗? 多谢 。
我们公司新买台DelsaNano C 纳米级激光粒径仪,不知各位有没有用过引仪器,我们交流下注意、关键点:1,测粒径时,与稀释用的纯水,溶剂的粘度,屈折率有很大的关系,2,最好把稀释用的纯水,溶剂温度调整到所需的温度,如25度,更能检测出准确的结果,3,样品光强调到蓝色标,如果各位有更好的、更多的心得,希望能大家交流下,
今天用马尔文的MS2000粒度仪检测了由纳米级别的一次粒子结合成微米级别的二次粒子的钛酸锂粒度分布,发现重现性非常不好。用水和用IPA做分散剂的效果都一样。有时候检测得到20nm左右的粒子。有时候又没有。这到底是怎么回事啊。请各位高人指教。分数不多,如果哪位高手帮我解决了此问题可以额外加分。
我希望能收集一点关于纳米级测量的激光粒度仪的情况。方便购买。恳求您的帮助。
是从万方下载的西安工程科技学院的硕士学位论文,其研究内容应该算是本专业的前沿了,与朋友们共享。【 摘 要 】 电子产品的普及,给人类的生活带来了极大进步的同时,却使电磁辐射无处不在,危害到了人类的健康.开发电磁屏蔽织物已成为纺织业的一个研究热点,虽然已研制出了各种纳米级的兼具导电、导磁性能吸波材料,但吸波材料与织物相结合、用于个人防护的纳米级吸波纺织品仍是一个空白.该文首次将镀镍织物制成纳米级晶粒镀镍织物,由于纳米晶粒自身的特性,具有优良的吸波性能,能制得质量轻、厚度薄、吸收的频带宽、吸收能力强的织物.该文采用碱性预处理、敏化处理、活化处理,使织物表面具有催化活性.通过正交实验确定了粗化工艺的最佳温度、浓度和时间等工艺条件.分析研究了敏化液、活化液在不同浓度和时间对金属化织物增生的影响,从而确定了最佳预处理工艺.化学镀镍溶液以碱性的次亚磷酸钠为镀液,镀液在60℃的条件下者.考察了镀液pH值、施镀温度、氯化镍、次亚磷酸钠、柠檬酸钠、硼酸的用量,以及硫代硫酸钠浓度等因素对化学镀镍反应时间、镀速、增重率的影响,确定了最佳工艺.织物镀覆开始并经过一段时间后,反应会自动停止.对镀覆后镀液成分的分析表明,反应自发停止的原因是由于镀液pH值过低或镀液中次亚磷酸钠在施镀过程中被消耗,使其浓度下降到极低所致.该段时间定义为"反应时间",镀速用增重法,镀液成分用化学滴定法确定.该文首次采用在镀液化气中加入分散剂,并在搅拌的条件下进行化学镀,分别选用了扩散剂NNO、十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇4000作为分散剂,用扫描电子显微镜考察了分散剂对在织物上形成的金属镍晶粒的粒径尺寸的影响.上述分散剂单独使用无法得到纳米级晶粒,考虑到表面活性剂的协同作用,故对分散剂进行复配,结果表明,扩散剂NNO与聚乙二醇4000复配的镀液化学镀得到的金属镍晶粒粒径能达到纳米级.电磁波屏蔽性能测试,证明该纳米级晶粒镀镍织物比普通化学镀镍织物有更好的屏蔽效果,而且这种结构特征使该织物具有吸波频带宽、兼容性好、质量轻和厚度薄等特点.镀镍织物的抗菌效果测试证明该织物具有抗菌效果,这为已经形成的镀层具有纳米材料的特性提供了旁证.[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=34313]纳米级镀镍晶粒屏蔽织物的研究[/url]
在激光粒度仪的性能指标中测试下限标称为0.1甚至为0.02等,那么这部分粒度是怎么检测出来的呢?如果下限为0.1微米,那么探测器所能接收的前向角度至少要达到70度,或是有后向探测器.如果下限为0.02微米必须要应用后向散射技术,而且还要看后向激光器的波长,如果是普通的红光激光器,波长范围大概为600-800nm的激光器将无法区分纳米级颗粒后向的散射信号区别.所以必须采用波长更短的激光器,比如蓝光激光器,波长405nm等,这样纳米颗粒的后向信号区别会比较明显,但还要有特殊的采样与处理方式,否则测量下限0.02也是无法做到的.具体的方法不便说出,但用户可以采用纳米级颗粒去验证,最好中位径范围在0.05um以下的几种颗粒,比如中位径分别为0.02,0.03,0.04,0.05等几种接近单分散样品,确实在实际中这种验证比较困难,这里只是建议方法而已,希望用户能选择到一款性价比较高的仪器!尤其是检测中位径在0.2-0.02um的用户尤其要注意!
国产激光粒度仪能否达到纳米级? 如果不能,是什么因素影响?希望了解的朋友 能帮帮我 lzbok@sina.com
如何估测纳米级切片厚度
最近在做饮用水处理,选用的催化剂为纳米级的TiO2,文献中有选用Millipore或Whatman的过滤器来去除颗粒,求助各位大侠是否可行,或有其他什么方法?还有就是过滤器的价格如何,谢!!![em09505]
要测量的样品中,因含有纳米级的颗粒物,所以原来买的国产电极很容易因被堵塞而失效,现请教各位,有没有哪个厂家的电极,能满足这种使用的特殊需要?
中国农业大学3月26日发明成功一种能够有效防治猪口蹄疫的纳米级酸性干燥消毒粉。 试验检测显示,这种干粉消毒剂对口蹄疫病毒有非常显著的杀灭作用。研究者之一的中国农业大学生物学院教授赵兴波说,干粉呈弱酸性,而口蹄疫病毒对酸碱均十分敏感,故而酸性的环境能够明显抑制和杀灭病毒。但由于液体酸的时效短,过氧乙酸等喷洒后酸性仅能持续几小时,而固体酸则具有持续时间长、不受环境因素影响的特点。 经现场微生物检测显示,喷撒干粉一小时后,空气中大肠杆菌菌落数略高于液体消毒组,平皿培养大肠杆菌菌落数为13个左右,但随后的检测显示,使用干粉消毒的畜舍内,空气中大肠杆菌数和杂菌数一直维持在较低水平,12小时后达到最低,和液体消毒剂12小时后细菌数不可计数形成鲜明对比。赵兴波说,传统的方法是通过在畜舍内外喷洒消毒液达到消毒环境,它的缺点是消毒时效短,易受环境潮湿、酸碱度、粪便、饲料污染等因素影响,会增大致病微生物繁殖的几率。这种新技术克服了液体消毒剂潮湿、消毒时效短、受环境因素干扰大的缺点。采用无毒、无污染的纳米新材料,对人和动物没有任何危害,动物接触到干粉颗粒也没有任何副作用。 赵兴波说,由于纳米级颗粒分散好,通过鼓风机扬撒,干粉颗粒弥漫舍内长达30分钟,可以触及每一个空隙,故而消毒无死角,环境干爽,能够有效杀灭环境中的细菌、病毒等病原体。 试验表明,这种干粉还能吸附环境中的水和病毒,有很好的收敛性,能够促进猪外伤创口愈合。在对广东、江西、湖南、山东等省市数十家猪场几十万头猪试验证明,对口蹄疫的防治有明显效果。山东某猪场场长表示,在使用该技术干粉消毒剂后,猪场环境明显改善,场内刺鼻的氨气没有了,小猪生活在干爽舒适的环境中,不再是以前那种潮湿、肮脏的环境,猪的发病率明显降低,仔猪成活率95%%以上。
求购纳米级分子筛(ZSM-5,NaY等)
日本广岛大学的研究小组日前开发出纳米级超小型天线,它能够收发某个特定波段的电磁波。这种天线是广岛大学博士生小迫照和与教授鱼屋丰等共同开发的。天线宽75至125纳米、长500纳米,相当于把普通电视天线缩小到百万分之一。构成天线的5根“枝杈”是用金制作的,固定在透明的氧化硅板中。这种纳米级天线与普通天线工作原理相同。目前制成的这种天线能够收发波长400至800纳米的电磁波。如果改变天线“枝杈”的长度和配置,就可以收发不同波段的信号。鱼屋教授希望这项发明能够帮助开发新一代数据存取设备。此项成果已刊登在近日出版的《自然—光子学》杂志上。资料来源:[url]http://paper.sciencenet.cn//htmlpaper/20104261028215628913.shtm[/url]
深圳哪里可以测试纳米级颗粒的透射电镜?请告知联系方式。谢谢!
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有什么纳米级的标准物质是目前的应用领域需要的?
美国加州大学洛杉矶分校17日表示,该校纳米系统科学主任保罗·维斯领导的研究小组开发出了研究纳米级材料相互作用的工具——双扫描隧道显微和微波频率探针,可用于测量单个分子和接触基片表面的相互作用。 过去50年中,电子工业界努力遵循着摩尔定律:每两年集成电路上晶体管的尺寸将缩小大约50%。随着电子产品尺寸的不断缩小,目前已到了需要制作纳米级晶体管才能继续保持摩尔定律正确性的地步。 由于纳米级材料和大尺寸材料所展现的特性存在差异,因此人们需要开发新的技术来探索和认识纳米级材料的新特征。然而,研究人员在研发纳米级电子元器件方面遇到的障碍是,人们没有相应的能力去观察如此小尺寸材料的特性。
国内外微细碳酸钙浮子流量计(PCC)与纳米级碳酸钙应用概述 在美国、日本、西欧等发达国家中,造纸消费 PCC 占各行业首位,而中国目前处于第三四位。 在造纸工业中,随着造纸工艺过程中的施胶技术由酸性施胶向中-碱性施胶转变,为碳酸钙的应用提供了一个巨大的潜在市场。碳酸钙用做造纸填料白度高,光散射性好,添加后的纸张有较高的松密度,良好的可塑性和柔软性,纸张表面细腻,可大大改善纸张性能,使纸厂获得明显的经济效益。所以,欧美和日本的造纸厂大多从酸性施胶改为中-碱性施胶工艺。近年来,中国造纸行业在造纸技术上也开始由酸性施胶向中性施胶技术转变,原轻工部已将中-浮子流量计碱性施胶技术列入国家“八五”重点推广项目之一,这就要求我们只有不断开发碳酸钙新产品,才能适应造纸 行业的需求。 轻质碳酸钙在碱性造纸中主要用做填料,也有少部分用做颜料。广泛用于不含磨木浆的纸浆市场,比高岭土、重钙具有极佳物理性能,如高透明、高密度、高膨胀能力、粒度均匀、颜料牢固等。以目前世界最大的造纸生产国和纸品消费国美国为例,2005 年造纸填料选用轻质碳酸钙的 比例达到 65%,增长率为4%。美国超细碳酸钙主要应用于造纸和涂料,其中包括多种晶型的纳 米碳酸钙产品。日本 1952 年研制出了平均粒活为 0.04um的超细碳酸钙,1983 年又研制出了平均 粒活为 0.005um 的超细碳酸钙。 造纸工艺是 PCC 最大用户,占世界 PCC 使用量的 73%, PCC 在造纸上的两个不同工艺用途是纸张填料和纸张涂料。其主要用在填充无磨木浆涂敷纸(WFO),最高填充量可达到 25%, 且用量有望增加。 纳米级碳酸钙作为造纸填料具有高蔽光性、高亮度,提高纸制品的白度和蔽光性;还具有高膨胀性,能使造纸厂使用更多的填料量,而少用纸浆,大幅度降低原料成本;粒度细小、均匀,对纸机的磨损小,并使生产的纸制品更加均匀、平整;吸油值高,能提高彩色纸张的颜料牢固性等优点。玻璃管浮子流量计目前纳米级碳酸钙在造纸工业上的应用主要在高档卫生巾、纸尿布及家庭用护理成人失 禁垫片、卷烟纸及造纸涂料等。
如何测定润滑油中所含纳米级活性碳
我是做金属表面改性的,我们认为金属表面生成了一种化合物的纳米级薄层。为了研究薄层厚度,想询问关于原子力显微镜和纳米划痕仪的具体情况。望告知,谢谢
请问纳米级的二氧化硅材料用什么方法分析其粒度大小表面积和其纯度?
英国和新加坡研究人员1日报告说,他们制造出能够观测50纳米大小物体的光学显微镜,这是迄今观测能力最强的光学显微镜,也是世界上第一个能在普通白光照明下直接观测纳米级物体的光学显微镜。http://www.bioon.com/tech/UploadFiles_3081/201103/2011030214521841.jpg英国曼彻斯特大学研究人员和新加坡同行当天在新一期《自然·通信》杂志上报告了这项成果。由于光的衍射特性的限制,光学显微镜的观测极限通常约为1微米。研究人员通过为光学显微镜添加一种特殊的“透明微米球透镜”,克服了上述障碍,使这一极限达到50纳米,观测能力提高了20倍。论文第一作者王增波博士告诉新华社记者:“这是目前世界上唯一能在普通白光照明下直接观测纳米级物体的光学显微镜,是一个新的世界纪录。”
[b]网络讲座:[/b]原子力显微镜纳米级模量表征新技术及应用[b]举行时间:[/b]2018年03月29日 09:30[b]报告人:[/b]石雯晴 Park Systems应用科学家。2011年于武汉大学化学系获学士学位,博士期间就读于美国印第安纳大学,师从Lane Baker教授。[b]报告内容:[/b]这一期网络讲堂的主题是使用PinPoint力模式进行AFM纳米级模量表征,确切来说,我们将探究悬臂刚度和施加的力对测量模量的影响。石雯晴博士首先将为大家说明原子力显微镜的工作原理,之后她将讲解为什么需要PinPoint力模式以及它的工作原理。最后,为了让大家更好的了解PinPoint力模式,我们将探究探针刚度和施加的力对测量模量的影响。实验中使用的探针为ONTSCR (0.2N/m), FMR (3N/m)和 AC160TS (30 N/m)。石雯晴博士将依次为大家在讲堂中展示实验结果。[b]免费报名链接:[/b][url]http://www.instrument.com.cn/webinar/meeting_3457.html[/url]
1、在不久前的国际探针显微镜图像竞赛上,科学家向公众展示了一组最佳的隧道扫描显微镜图像。这些纳米级图像是科学家制作的艺术品。1、量子森林 由德国实验室的这一图像显示了一片GeSi量子点“森林”,其实,它们只有15纳米高,直径也只有70纳米。[img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2008/02/200802201437_79288_1638240_3.jpg[/img] 2、蓝宝石 此蓝宝石是通过飞秒级激光脉冲击打其表面而受热的,在此过程中,蓝宝石喷射出原子而留下一个浅浅的弹坑。此晶体经再加热和再次喷射,形成了这里所展示的内部深层结构。1飞秒是千万亿分之一秒。[img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2008/02/200802201437_79289_1638240_3.jpg[/img] 3、大肠杆菌 此大肠杆菌展示了其保存完好的仅仅30纳米长的鞭毛。科学家是用原子力显微镜来拍摄到此图像的。原子力显微镜与扫描隧道显微镜最大的差别在于并非利用电子隧道效应,而是利用原子之间的范德华力作用来呈现样品的表面特性。[img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2008/02/200802201438_79290_1638240_3.jpg[/img]
不了解激光共聚焦,问一下激光共聚焦显微镜能观测到纳米级的囊泡吗?
Winner801光相关纳米粒度仪Winner801是我公司最新推出的基于动态光散射原理的纳米粒度仪,也是国内首款采用光子相关光谱(PCS)技术的纳米粒度仪。它采用我公司自主研制的高速数字相关器和专业的高性能光电倍增管作为核心器件,具有快速、高分辨率、重复及准确等特点,是纳米颗粒粒度测定的首选产品。主要性能特点:先进的测试原理:本仪器采用动态光散射原理和光子相关光谱技术,根据颗粒在液体中的布朗运动的速度测定颗粒大小。小颗粒布朗运动速度快,大颗粒布朗运动速度慢,激光照射这些颗粒,不同大小的颗粒将使散射光发生快慢不同的涨落起伏。光子相关光谱法就根据特定方向的光子涨落起伏分析其颗粒大小。因此本仪器具有原理先进、精度极高的特点,从而保证了测试结果的真实性和有效性;是纳米激颗粒粒度测定的首选仪器。高灵敏度与信噪比:本仪器的探测器采用专业级高性能光电倍增管(PMT),对光子信号具有极高的灵敏度和信噪比,从而保证了测试结果的准确度;极高的分辨能力:使用PCS技术测定纳米级颗粒大小,必须能够分辨纳秒级信号起伏。本仪器的核心部件采用微纳公司研制的CR140数字相关器,具有识别8ns的极高分辨能力和极高的信号处理速度,因此可以得到准确的测定结果。超强的运算功能:本仪器采用自行研制的高速数字相关器CR140进行数据采集与实时相关运算,其数据处理速度高达125M,从而实时有效地反映颗粒的动态光散射信息。稳定的光路系统:采用短波长LD泵浦激光光源和光纤技术搭建而成的光路系统,使光子相关谱探测系统不仅体积小,而且具有很强的抗干扰能力,从而保证了测试的稳定性。高精度恒温控制系统:样品测试区域设计有半导体恒温装置,温控精度高达0.1℃,保证测试样品温度恒定,消除因温度的变化导致介质的折射率、粘度的变化以及布朗运动突变等因素,从而保证测试结果的准确度和稳定性。 适用测试对象:各种纳米级、亚微米级固体颗粒与乳液。
离心沉降法测纳米级颗粒时,普通的CH3OH—H2O的缓冲液—旋转液已不能满足要求,请高手帮帮忙,介绍一两种。
[b]1. [font=黑体]电子束尺寸测量的意义[/font][/b][font=宋体]通常电子束光刻([/font]EBL[font=宋体],[/font]Electron BeamLithography[font=宋体])的曝光工艺,需要根据电子束的辐照密度确定曝光时间,准确测量聚焦电子束的尺寸才能得到准确的电子束辐计量。[/font][font=宋体]电子束斑测量可作为扫描电子显微镜([/font]SEM[font=宋体],[/font]Scanning ElectronMicroscope[font=宋体])、透射电子显微镜([/font]TEM[font=宋体],[/font]Transmission Electron Microscope[font=宋体])电子光学参数调校依据,可作为[/font]EBL[font=宋体]关键工艺参数。[/font][img=,364,266]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/12/202312271753391454_3326_5849699_3.gif!w364x266.jpg[/img][font=黑体]电子束光刻[/font][b]2. [font=黑体]电子束尺寸测量的方法[/font][/b][font=宋体]([/font]1[font=宋体])成像法[/font][font=宋体]使用电子轰击荧光屏,通过观察荧光屏判断电子束尺寸,考虑到光学传递误差,通常可观察最小电子束斑约[/font]10um[font=宋体]。[/font][img=,126,191]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/12/202312271753446949_597_5849699_3.png!w157x239.jpg[/img][font=宋体]([/font]2[font=宋体])扫描法[/font][font=宋体]利用法拉第杯来测量电子束电流,挡板水平运动遮挡电子束流,同时监测法拉第杯中电流变化,根据电流的微分曲线可以直接定量测量电子束的宽度,对于系统的分辨率具有较高要求。[/font][img=,554,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image005.jpg[/img][b]3. [font=黑体]阿米精控测量方案[/font][/b][font=宋体]阿米精控科技(山东)有限公司专注于纳米运动控制及超精密机电系统领域的创新设计及产品研发,是一家集研发设计、制造、销售于一体,拥有全自主知识产权的微纳测控及超精密自动化“系统级硬科技”公司。[/font]AttoMotion[font=宋体]纳米运动平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动,内置光栅[/font]/[font=宋体]电容微位移传感器,通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。[/font][img=,137,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image007.jpg[/img][img=,185,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image009.jpg[/img][img=,133,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image011.jpg[/img][font=宋体]技术特点:超高定位精度、多轴高动态协同联动、高刚度高负载、紧凑型结构设计、轴间运动学解耦设计、多运动模式(定位[/font]/[font=宋体]扫描)、可实现正置倒置的灵活应用、真空兼容性温度使用范围广、运动行程[/font]50~200[font='Cambria Math',serif]μ[/font]m[font=宋体]。[/font][font=宋体]应用领域:扫描电子显微镜、同步辐射光源、纳米操作、光纤定位和对准。[/font][b]3.1 [font=黑体]测量装置搭建[/font][/b][font=宋体]([/font]1[font=宋体])选用[/font]SEM[font=宋体],测试过程中拔掉偏转线圈控制线或者采用点扫模式,使得电子束位置固定。[/font][img=KYKY-EM8100场发射扫描电子显微镜,383,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image013.jpg[/img] [table][tr][td=2,1] [align=center][font=宋体]扫描电镜([/font]SEM[font=宋体])详细参数[/font][/align] [/td][/tr][tr][td] [align=center][font=宋体]分辨率[/font][/align] [/td][td] [align=center]3.0nm@1KV[font=宋体]([/font]SE[font=宋体])[/font][/align] [align=center]2.5nm@30KV[font=宋体]([/font]BSE[font=宋体])[/font][/align] [/td][/tr][tr][td] [align=center][font=宋体]放大倍率[/font][/align] [/td][td] [align=center]6[font=宋体]倍[/font]-1000000[font=宋体]倍[/font][/align] [/td][/tr][tr][td] [align=center][font=宋体]电子枪[/font][/align] [/td][td] [align=center][font=宋体]肖特基场发射电子枪[/font][/align] [/td][/tr][tr][td] [align=center][font=宋体]加速电压[/font][/align] [/td][td] [align=center]0[font=宋体]~[/font]30kV[/align] [/td][/tr][/table][font=宋体]([/font]2[font=宋体])三轴并联压电扫描平台[/font][img=,202,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image015.jpg[/img][img=,258,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image017.png[/img] [img=,230,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image019.png[/img][img=,401,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image021.jpg[/img][font=宋体]([/font]3[font=宋体])弱电流放大器[/font][img=,554,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image023.png[/img][font=黑体]可变增益弱电流放大器[/font][img=,481,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image025.png[/img][font=宋体]([/font]4[font=宋体])位移台安装[/font][font=宋体]位移台与转台绝缘,与大地相接,法拉第杯与转台相连,接弱电流前放。[/font][img=,554,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image027.jpg[/img][font=宋体]([/font]5[font=宋体])控制采集系统[/font][font=宋体]采用高动态数字微纳运动伺服器,电流和位置信息同步采集,采样率为[/font]10K/S[font=宋体],采集时间[/font]10s[font=宋体],纳米扫描台运动一个往复周期。[/font][img=,303,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image029.jpg[/img] [img=,177,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image031.jpg[/img][font=宋体]([/font]6[font=宋体])数据采集[/font][img=,512,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image033.jpg[/img][font=宋体]([/font]7[font=宋体])测试效果[/font][font=宋体]上方横线为硅片挡板边缘,中部方框为二次电子探测器信号。变亮时,电子被硅片挡住,增加了散射电子信号;变暗时,电子束落入法拉第杯,散射电子减小。[/font][img=,554,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image034.gif[/img][b]3.2 [font=黑体]测量结果[/font][/b][font=宋体]平台拥有极高的运动精度,往复运动电流和位置曲线完美重合。利用电流和位移的微分曲线,进行高斯拟合可以直接得到电子束的测量宽度。如图所示:加速电压[/font]5kV[font=宋体],聚光镜值[/font]850[font=宋体],束斑半高宽[/font]32.4nm[img=,348,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image036.jpg[/img][img=,344,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image038.jpg[/img][font=宋体]此外,由于单次采集时间小于[/font]5[font=宋体]秒,还可以监控电子束的稳定性。如下图所示,来回测量过程中电子束发生漂移情况。[/font][img=,359,]file:///C:/Users/AMI/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image040.jpg[/img]