仪器简介: 德国Klocke Nanotechnik公司生产的纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标,是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸,表面轮廓、粗糙度等,并可与超精密微加工、微组装系统组合,进行在线检测、质量控制等。系统拥有5个自由度,可以根据样品设定测量路径,测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。 技术参数:设备主要参数: 测量范围: X = 10, 20 or 50 mm Y = 10, 20 or 50 mm Z = 10 or 20 mm 采用花岗岩基底,XY方向行程扩展为: 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 测量特性: 运动分辨率: 1 nm 针尖分辨率: 0.5 nm 水平与竖直方向均配有操纵传感器 线形轮廓测量 样品内部与外部轮廓测量 坐标测量功能 测量用探针: 针尖型金属丝, 尖端半径 100 nm 钩型金属丝, 尖端半径 100 nm 圆形针尖, 直径 0.12-0.3 mm 金刚石针尖, 如用于表面压痕 软件: 针尖自动校准与逼近 2D 和 3D 图形功能 分析软件 自动化模块选项(序列发生器) 可选择的配置: 小型花岗岩平台式3D-Nanofinger 便携式3D-Nanofinger 3D-Nanofinger 模块,如集成到CNC机床内部 适合电镜中安装的3D-Nanofinger 模块 可安装到多功能检测工作台中 附件: 纳米精度自动旋转平台 摄像机 图形识别系统主要特点:1.纳米精度测量,而且是三维方向都可保持统一的精度。 2.测量量程跨越纳米到厘米,甚至分米级。 3.多功能多参数测量设备,可以涵盖三坐标、轮廓仪、形貌仪、粗糙度仪等的功能。 4.用户可以设定测量路径,这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。 5.配合多种不同功能的探针,可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。 6.用户可以根据需要灵活设置测量方法,可以进行大面积精确测量,也可以先进行大面积低精测量,然后对特定感兴趣的区域进行高精测量,以节省时间。 7.整个过程非接触的,间距可以保持在可以设定为几个纳米。适合各种固态样品测量,对材料性质没有特别要求和限制。 8.布局灵活,根据用户测试要求组成合适的系统。平台可以任意组合,探头也以改变安装方向。 9.如果和微加工设备组合,可以实现在线测量。
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