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等离子射频磁控仪

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等离子射频磁控仪相关的资讯

  • 质谱仪器研制专辑分享二——用于低质荷比离子传输的射频四极杆导向装置的研制
    p style=" text-indent: 2em text-align: justify line-height: 1.5em " 近日,《质谱学报》出版了由复旦大学杨芃原教授组织,全国多家质谱研制相关课题组参与撰写的“质谱仪器研制专辑”,专辑主要包含四极杆的离子光学和串联振荡技术 四极杆的导向装置、四极杆质量分辨自动调节技术、三重四极杆仪器开发平台以及三重四极杆质谱分析软件等硬软件技术 双线形离子阱间离子传输技术和静电轨道离子阱离子切向引入技术 小型飞行时间质谱和离子束诊断飞行时间质谱 复合离子源技术和激光后电离技术 以及集成了质谱技术的超宽波段光解离光谱系统和调控纳微尺度分子组装装置的研制等内容。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em "   仪器信息网授权对本专辑内容进行转载,以下为系列分享第二期,题为“ strong 用于低质荷比离子传输的射频四极杆导向装置的研制” /strong 的文章,作者贺飞耀,通讯作者为四川大学段忆翔教授。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em "   段忆翔教授,博士生导师,现任四川大学分析仪器研究中心主任,是四川大学分析仪器研究中心的创始人。科技部重大科学仪器设备开发专项项目负责人。自2010年8月回国至今,开发研制了系列激光诱导击穿光谱仪,基于等离子体的便携式光谱仪,质子转移反应质谱仪,离子迁移谱仪等多种分析测试仪器,已申请专利共计80余项,发表SCI论文200余篇。作为项目负责人承担多个国家、省部各种项目。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em "   其课题组主要的研究方向有: 新型质谱离子源与质谱技术、激光光谱分析技术、新型生物传感器及光纤传感技术、创新型分析仪器的研发等。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em "   离子传输系统是质谱仪的重要组成部分,主要作用是将离子高效率地传输到质量分析器。文章介绍课题组研制了一种用于质子转移反应飞行时间质谱(PTR-TOF-MS)系统的射频四极杆离子导向装置,四极杆长80mm,杆半径2.6mm,内切圆半径2.25mm,该装置可针对性地实现低质荷比挥发性有机化合物(VOC)离子的聚焦传输。利用SIMION8.1离子光学模拟平台对装置的运行环境进行仿真,然后在自行搭建的测试平台上对装置的工作条件,如气压、频率和电压幅值进行测试。结果表明,仿真和测试结果具有较好的一致性,装置的工作气压范围较宽,在0.2-0.3Pa时的传输效率最高;当频率为3-4MHz,电压幅值(Vp-p)为500V左右时,对丙酮、甲苯等低质荷比VOCs(& lt m/z 100)的传输效率接近76%,且离子束直径≤0.7mm。该装置结构简单、成本低、传输效率高,具有潜在的实用价值,有望应用于PTR-TOF MS系统。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em text-indent: 2em " 以下为全文: /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/55294ba3-ee3b-4a51-81b4-b3374bbcc574.jpg" title=" 2-1.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/356e51c7-46c5-4f46-8b8a-736f2d0b82f9.jpg" title=" 2-2.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/e67497d5-d30a-4397-bd61-d9d94f224799.jpg" title=" 2-3.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/9ab83c14-288b-4340-af4f-8777b1bfc213.jpg" title=" 2-4.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/81272aa9-5927-41fa-859d-e931819754da.jpg" title=" 2-5.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/2bb18278-c628-4143-a84c-4b8d6e5caf15.jpg" title=" 2-6.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/78d1ba65-cb14-452c-90a7-bcf34602c317.jpg" title=" 2-7.png" / /p p style=" text-align: right " span style=" font-size: 18px " strong 来源:《质谱学报》 /strong /span br/ /p
  • CIF发布CIF扫描电镜等离子清洗机新品
    CIF扫描电镜等离子清洗机CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 高效低损伤技术参数产品型号CIF-SEM法兰接口KF40工作气压0.3-3Pa等离子电源13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面电源/功率220V,50/60Hz,300W可选配件可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 质量保证二年质保,终身维护创新点:CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效、低等离子体轰击损伤,核心部件采用国际一流品牌,保证设备优异的质量和稳定性。 CIF扫描电镜等离子清洗机
  • 中科院推出RFG系列射频电源与自动匹配器
    中国科学院微电子所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。   从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下,研发晶体管射频电源(13.56MHz),2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源,获得第七届国际发明展览会银奖。   经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。   目前射频电源组分为三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。   产品研发部:有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。   产品生产部:有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套,库房常年备有库存,可保证给客户随时发货。   产品推广与售后服务部:有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。   射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,射频感应加热,医疗领域的消毒与理疗美容,常压等离子消毒清洗等领域。   中国科学院微电子研究所射频电源组网址:www.rf-power.net
  • 中科院最新推出RFG系列高端2000W射频电源(3U风冷系列)
    为满足半导体设备客户的需求,中科院射频电源组(www.rf-power.net)经过2个月的设计研发,于2013年3月正式推出固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列),此型号适用于大腔室刻蚀等半导体设备。此型号带有RS232/RS485/USB通讯协议,模拟口通讯,脉冲调制,相位同步与移相等功能。 固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列)   中国科学院微电子所射频电源(RF Generator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源,获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。   从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下,研发晶体管射频电源(13.56MHz),2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源,获得第七届国际发明展览会银奖。   经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全, 目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。   年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。   目前射频电源组,实行组长负责制,下设三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。   产品研发部:实行部长负责制,有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。   产品生产部:实行部长负责制,有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套,库房常年备有库存,可保证给客户随时发货。   产品推广与售后服务部:实行部长负责制,有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。   射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,射频感应加热,医疗领域的消毒与理疗美容,常压等离子体消毒清洗等领域。   中国科学院微电子研究所射频电源组网址:www.rf-power.net
  • 一次性使用压力监测磁定位射频消融导管获批上市
    近日,国家药品监督管理局经审查,批准了上海微创电生理医疗科技股份有限公司生产的“一次性使用压力监测磁定位射频消融导管”创新产品注册申请。该产品由射频消融导管、连接尾线和尾线连接盒组成。其中导管主体包含高扭矩管身和可弯曲的头部,头部装有铂铱电极,1个头端电极和3个环形电极。该产品在医疗机构中与上海微创电生理医疗科技股份有限公司生产的三维心脏电生理标测系统和心脏射频消融仪配合使用,用于药物难治性、复发性、症状性阵发性房颤的治疗。该产品采用了基于应变片原理压力传感技术、磁场定位技术、头端多孔盐水灌注技术与三维电生理标测系统,可为房颤患者的治疗提供整体解决方案,是国产首个具有压力感知功能的心脏射频消融导管。与传统心脏类射频消融导管相比,该产品可以实时测量导管头端和心壁之间触点压力值,更好的辅助术者完成手术,有效防止术中导管与组织贴靠力过大造成蒸汽爆裂或过小引起消融不完全,可缩短医生学习曲线,达到更优的远期治疗成功率。该产品获批上市有利于该技术的临床应用推广和降低临床治疗费用,使更多房颤患者受益。药品监督管理部门将加强该产品上市后监管,保护患者用械安全。
  • 99万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标
    项目编号:0705-224002028082项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028082招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,进样系统可耐高盐样品预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 99万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目
    项目编号:0705-224002028082项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028082招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,进样系统可耐高盐样品预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 197万!复旦大学和生态环境部电感耦合等离子体发射光谱仪采购
    一、项目编号:项目名称:电感耦合等离子体质谱仪采购项目预算金额:98.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):98.0000000 万元(人民币)采购需求:1. 标的名称:包组1:电感耦合等离子体质谱仪采购项目2. 标的数量:包组1:1套3. 简要技术需求或服务要求:(1) 项目编号: CLF22SH01QY17(2) 最高限价: 人民币 ¥ 980,000.00元(3) 交货期限: 采购合同签订之日起至1个月内。(4) 本项目只允许采购本国产品;(5) 简要技术要求: a) 电感耦合等离子体质谱仪具备可搭配LC、自动进样器、全自动石墨消解系统、全自动微波消解系统等连用技术。 b) 可广泛应用于水质、土壤、大气颗粒物、固废、食品、动植物、食品接触材料、化妆品、半导体、高纯材料、矿产、石油化工、工业品、纺织等领域,且符合相关国家标准分析方法的要求。具体详见采购需求。 合同履行期限:自合同签订之日起至2023年10月前本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号:0705-224002028052项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028052招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,频率大于40MHz预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 2012年我国医用射频与核磁仪器市场规模119亿元
    近年来我国各级医院都在努力通过改造医院软硬件条件,不断更新医疗诊断设备以提高提高医疗服务收入,因此对质量好、多功能的大中型器械医疗设备的需求也在持续增长。根据驰昂咨询(Sinotes)最新统计数据显示,2012年我国医用射频与核磁仪器市场规模达119.8亿元人民币,同比增长21.1%。    图1. 2007至2012年我国医用射频与核磁仪器市场规模与增长   射频与核磁仪器主要包括X射线设备、CT设备、MRI设备等。X射线设备由于市场普及度较高,在射频与核磁仪器市场上占有较大比重,而CT及MRI设备则是增长较快的射频与核磁仪器类别。    图2. 2012年我国医用射频与核磁仪器市场份额
  • 159万!复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪等采购项目
    一、项目编号:0705-224002028052项目名称:复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额:99.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):97.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028052招标项目名称:电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器,频率大于40MHz预算金额:人民币99万元 最高限价:人民币97万元 合同履行期限:签订合同后4个月内合同履行期限:签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号:0705-224002028053项目名称:复旦大学激光粒度分析仪采购国际招标预算金额:60.0000000 万元(人民币)最高限价(如有):58.0000000 万元(人民币)采购需求:1、招标条件项目概况:激光粒度分析仪采购资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容:招标项目编号:0705-224002028053招标项目名称:激光粒度分析仪采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1激光粒度分析仪1套测量速度:扫描速度≥10KHz预算金额:人民币60万元 最高限价:人民币58万元 合同履行期限:签订合同后3个月内合同履行期限:签订合同后3个月内本项目( 不接受 )联合体投标。
  • 中科院RFG系列固态射频电源荣获“中国移动杯”暨第七届北京发明创新大赛金奖
    2013年5月20日,“中国移动杯”暨第七届北京发明创新大赛颁奖仪式在北京中国农业展览馆举行,微电子所受邀参加的成果“固态射频电源系统”获大赛组委会颁发的发明创新奖“金奖”。   此次大赛的颁奖仪式是在5月19日开幕的全国科技活动周暨北京科技周举办期间进行的。大赛以“弘扬北京精神科技改变生活”为主题,面向国内外征集科技发明项目。通过历时五个多月的参赛报名、网上公示和专家评审,经初赛、复赛和决赛三个阶段,大赛组委会最终在参赛的1272个项目中评选出特等奖1 项,金奖29项,银奖70项,铜奖100项,微电子所“固态射频电源系统” 和“45-22nm集成式光学临界尺度(OCD)在线检测设备”两项成果分获大赛组委会颁发的发明创新奖“金奖”和“铜奖”。   中国科学院微电子研究所射频电源课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz),1985年研制成功,获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。   从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)资金支持,研发晶体管射频电源,2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz),获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。   经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。   目前射频电源组分为三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。   产品研发部:有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。   产品生产部:有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套。   产品推广与售后服务部:有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。   目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。   射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,感应加热,医疗领域的消毒与理疗,等离子清洗等领域。   产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司,得到用户的一致好评。   中科院射频电源组网址:www.rf-power.net
  • 新到货18年底仪器安捷伦ICP-OES 5110等离子体原子发射光谱仪
    新到货安捷伦ICP-OES 5110电感耦合等离子体原子发射光谱仪,时间为18年底仪器,准新机,基本没用,有兴趣的欢迎来谱标科技实验室看机试机。Agilent 5110同步垂直双向观测(SVDV) ICP-OES将速度与分析性能完美结合: 卓越的分析速度●独特的智能光谱组合(DSC)技术可实现同步水平和垂直信号测量,在zui低气体消耗条件下,实现zui快速的ICP-OES分析测量●高级阀系统(AVS)可降低每次分析成本并使分析效率提高一倍以上●一次读数完成高精度的同步双向全谱测量.无等待延时●VistaChipll 检测器全密封设计.无需气体吹扫,无需预热,即开即用,节省气体消耗 强大的性能●垂直炬管设计.适用于各种复杂样品类型一 无论高基质样品或挥发性有机溶剂均可轻松应对●通过分析过程中精准气泡注入控制,AVS能够有效缩短样品提升、稳定时间和清洗延时,从而实现高精度的分析●专利的冷锥接口(CCI)技术,zui大限度减少干扰.提升仪器性能●gao效稳定的RF射频发生器系统,采用固态电源的专利技术设计.确保仪器的高精度运行及优异的长期稳定性 卓越的简便易用性●InelliQuant模式使样品中的所有元素一目了然,大大简化了方法开发过程并实现了快速样品筛选●直观的ICP Expert 软件和专利的DSC技术.保证方法开发更为简洁流畅●完全集成式切换阀与即插即用式炬管极大程度减少了培训需求.确保实现快速启动●智能诊断功能简化了故障排除流程. 从而大大延长仪器正常运行时间 灵活的配置Agilent 5110提供三种配置:●同步垂直双向观测(SVDV)一zui高速的分析测量,zui低的气体消耗●垂直双向观测(VDV)一更高的样品测量通量,更高的分析效率.并可现场升级为SVDV zui高配置模式●垂直观测(RV)一高性能的垂直观测设计,适用于高产率,复杂基质样品的实验室需求 应用:5110 ICP-OES分析碳酸锂中14种杂质元素(K、 Na、Al、 Ca、Cd、Cu、Fe、Mg、Mn、 Ni、Pb、S、Zn和Si),可在1 min内完成对所有元素的准确测量。具有良好的准确度和稳定性,可有效应用于大规模碳酸锂纯度鉴定工作中。
  • 聚光新品“ICP-5000电感耦合等离子体光谱仪”亮相CISILE2013
    2013年5月15日,由中国仪器仪表行业协会主办的&ldquo 第十一届中国国际科学仪器及实验室装备展览会(CISILE 2013)&rdquo 在中国国际展览中心召开。2013中国科学仪器及实验室装备高峰论坛同期举行。本次展会为期3天,展位超过850个。汇聚了近600家国内外科学仪器及实验室装备相关展商,展示了目前科学仪器产业的新产品与新技术。   聚光科技在展会上展出实验室、金属分析以及过程监测等领域的系列产品及相关整体综合解决方案,并同期发布了新品&ldquo ICP-5000电感耦合等离子体光谱仪&rdquo 。这是国内第一台全谱直读ICP-OES,采用自主开发的中阶梯光栅二维分光系统、自激式全固态射频电源,融合国际最先进的科研级告诉CCD,具有分辨率高、动态范围广、工作稳定和适用面广等优点,可分析多达72种元素,检出能力达到了国际先进水平,填补了国内在全谱直读领域的空白。    CISILE 2013展会展馆   聚光科技展台    ICP-5000电感耦合等离子体光谱仪
  • 行业应用 | 射频导纳物位技术如何监控火电厂原煤仓料位?
    火力发电占中国超过70%的发电量,全国遍布了成千上百座火电厂,火力发电厂的安全运营对于电力生产商至关重要。在火电厂中,AMETEK DREXELBROOK的物位产品在静电除尘器、输煤程控、气力输送领域以及汽轮机油箱液位监控、润滑油含水测量等领域有非常成熟的应用方案。在输煤程控领域,AMETEK DREXELBROOK的射频导纳物位开关(杆式或平板式)安装在原煤仓上进行低位、高位和高高位料位报警,DR6400/6500系列26/80GHZ雷达料位计安装在罐顶对煤位进行连续监控。下面图片均为AMETEK DREXELBROOK物位产品在现场安装使用的工况照:图1上图1位在原煤仓上的低位报警开关,该工况选用的射频导纳平板开关,开关的安装形式巧妙避免了落煤对传感器的损害,完美的实现了低位报警功能。图2上图2为原煤仓连续煤位测量,采用AMETEK DREXELBROOK DR6500系列80Ghz高频雷达,精确的为客户计算煤位,和开关一起,双重保证原煤仓安全运作。以上用实际应用图片体现了AMETEK DREXELBROOK产品在电厂多个场合的应用,除以上图片所显示实际应用案例之外,还有其他诸多场合,总体火力电厂应用总结如下:AMETEK DREXELBROOK射频导纳产品在国内的火电厂应用非常多,目前开关的使用量累计超过20000台,见证了中国火电厂的发展历程,也维护了火电厂的安全运行。
  • 谱育科技又一“国家重仪专项”通过验收:自激式全固态ICP射频源实现国产化
    p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   2020年11月18日,国家重大仪器设备开发专项——“自激式全固态ICP射频源研制及产业化”(2016YFF0100200)综合验收会议在北京举行。该项目自2016年立项,致力于推动我国自激式全固态ICP射频源国产化进程。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/a3c2aaa3-acc8-4702-84f3-925895b44734.jpg" title=" 1111.jpg" alt=" 1111.jpg" / /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   验收会议由科技部科技评估中心主持,以刘淑芬教授为组长的综合验收专家组分别对项目验收材料、项目目标完成情况、项目考核指标完成情况、项目成果应用推广和发挥作用、工程化与产业化情况等进行了验收。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   经过现场听取汇报、资料审查和质询,专家组就项目相关情况进行深入讨论,一致认为该项目整体符合验收要求,研究成果达到任务书中各项考核指标,完成工程化,实现了产业化,项目顺利通过综合验收。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "    strong 项目背景 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   本项目由聚光科技(杭州)股份有限公司牵头,旗下自孵化子公司杭州谱育科技发展有限公司(以下简称“谱育科技”)研发团队承担此次项目的仪器研发及产业化工作,该项目参与单位还有中国科学院微电子研究所、中国地质大学(武汉)、中国科学院上海硅酸盐研究所、北京海光仪器有限公司、北京普析通用仪器有限责任公司等。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   目前,元素检测及元素检测设备的需求在不断增大 国际上ICP-MS、ICP-OES技术也已比较成熟,在核心部件ICP射频源的研究上正往自激式全固态射频电源技术方向发展。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   国产相关仪器正处于起步阶段,在当前国际采用的主流核心技术上陷入瓶颈,竞争力较弱,导致国内高端的ICP-OES和ICP-MS设备基本依靠进口,面临进口设备价格昂贵、维护费用高、周期长等问题,亟待进一步改进以提升竞争力,实现国产化! /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/0a967953-509f-4428-84c7-5971722f92bc.jpg" title=" 222222.jpg" alt=" 222222.jpg" / /p p style=" text-align: center line-height: 1.75em text-indent: 0em "   具有自主知识产权的自激式全固态ICP射频源 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   本项目研制的具有我国自主知识产权的ICP射频源,将促进国产ICP-OES和ICP-MS在技术上成熟,达到国外同等先进水平 同时实现国产化应用、本土化维护和成本降低,实现替代进口。这不仅能促进仪器企业降低成本的同时提高产品竞争力,也帮助提高国产ICP类分析仪器在整个元素检测仪器市场竞争力。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "    strong 课题内容 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   1、本项目重点开展射频源功率放大及锁相环设计、高精度的阻抗匹配网络设计、ICP射频源的控制系统设计、射频功率检测装置等研究,攻克关键技术 基于ICP用射频电源研制、ICP射频源工程化开发,完成设备开发。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   2、本项目基于ICP射频源,研制开发台式、在线、车载的ICP-OES和ICP-MS, 针对水、土壤环境质量检测、水质重金属污染突发事件和食品重金属检测领域等行业的需求,建立适应国内的成熟应用模式,并建立年产能500台套ICP射频源的生产线。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "    strong 应用成果 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   研发团队经过多年技术攻关与创新,进行技术研究、设备开发并完成应用,实现产业化。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   strong  技术研究 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   完成基于并行推挽的射频功率放大技术 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   完成基于数值寻优的自激式阻抗网络匹配 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   完成非定值阻抗下功率测量 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   完成基于复杂基质下快速匹配 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   & #8230 & #8230 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "    strong 产品开发 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   完成具有自主知识产权的 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   自激式全固态ICP射频源仪器开发 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "    strong 应用示范及产业化 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   在3个厂家4个型号国产ICP-OES、ICP-MS上进行应用 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   在环境水样、高盐、有机、地矿等样品进行应用验证并通过 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   形成1个自激式全固态ICP射频源的生产基地 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em "   年产能力达到500台套以上,已经形成批量生产 /p p style=" text-align: center" img style=" width: 600px height: 415px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/b1e7d576-e68c-450b-bccc-b2095fa79713.jpg" title=" 44444444.jpg" width=" 600" height=" 415" border=" 0" vspace=" 0" alt=" 44444444.jpg" / /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 200px height: 200px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/71878879-5ea9-4a17-b8cc-4552ea90ea61.jpg" title=" 7000.jpg" alt=" 7000.jpg" width=" 200" height=" 200" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C319154.htm" target=" _blank" span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong span style=" text-align: center " 谱育科技SUPEC 7000 电感耦合等离子体质谱仪 /span /strong /span /a /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/55962fdc-ab82-4425-a5c5-f67a337f5762.jpg" title=" 6500.jpg" alt=" 6500.jpg" / /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C391682.htm" target=" _blank" span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong span style=" text-align: center " 聚光科技 EXPEC 6500新一代全谱ICP-OES /span /strong /span /a /p
  • 75万!南平市产品质量检验所采购电感耦合等离子体发射光谱仪等设备
    项目概况 受南平市产品质量检验所委托,福建晖源工程咨询有限公司对[350700]fjhy[GK]2022001、南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目组织公开招标,现欢迎国内合格的供应商前来参加。 南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件,并于2022-03-25 09:30(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号:[350700]fjhy[GK]2022001 项目名称:南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目 采购方式:公开招标 预算金额:750000元 包1: 合同包预算金额:750000元 投标保证金:7500元 采购需求:(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等)品目号品目编码及品目名称采购标的数量(单位)允许进口简要需求或要求品目预算(元)1-1A02100404-光学式分析仪器电感耦合等离子体发射光谱仪1(套)否2技术参数部分2.1 光学系统▲2.1.1:整个中阶梯光学系统无任何移动部件,所有光学元件均密封于35℃恒温光室中,保证最低的检出限和优异的长期稳定运行。2.1.2:中阶梯光栅+CaF2棱镜交叉色散多色器系统,波长连续覆盖167?785nm,无任何波长断点。■2.1.3:光学系统需让每一个波长在通过这个独特的自由曲面镜时,让每一个波长都很完美的形成聚焦,使检测器边缘波长的边缘效应影响降到最低。2.1.4:测定方式:紫外和可见区由同一狭缝,同一检测器同时测定,一次分析测定全谱覆盖,真正的全谱直读,一个样品选择任意多的元素波长,测试时间都不变;■2.1.5: 波长校正: 采用氩的发射谱线自动进行周期性的波长校准, 保证分析波长的正确性,没有汞灯或氖灯校准的预热和耗材问题。每半年或需要的场合可采用15种元素标准混合溶液进行波长例行校核。2.1.6:吹扫型光室:对189nm以下波长测定,可选择氩气或者氮气进行光路吹扫。吹扫流量:标准的光室吹扫气体流量为0.7L/Min,测定低紫外波长谱线时,电脑控制,增加3L/min 的气体流量,所有光室吹扫气体流量均由质量流量计(MFC)控制。■2.1.7:分辨率:光学分辨率<0.007nm (在As 188.980nm 处实际测量半峰宽) 。2.1.8:杂散光:≤2.0mg/L(10000mg/L Ca溶液在As 188.980nm处测定)。2.2 检测器 2.2.1:需要检测器覆盖从167-785nm整个波长范围;整个波长范围内所有元素一次测定一次读出。 2.2.2:紫外区平均量子化效率:独特的背投照射技术,使平均量子化效率≥75%,检测器表面无任何光转换化学涂膜。 ▲2.2.3:检测器冷却:半导体制冷,-40℃,暗电流和背景噪音低。检测器充氮密封,无需气体吹扫,开机即可点火,提高分析效率,降低气体消耗。 2.2.4: 防饱和溢出:针对每一个像素进行防饱和溢出保护,彻底消除谱线饱和溢出问题。2.2.5:积分方式:智能化积分,同时以最佳信噪比获得高强度信号和弱信号,使高低含量元素可以同时检测。2.3 射频发生系统 ▲2.3.1: 自激式27.12MHz固态发生器,耦合效率大于75%。2.3.2: 功率范围:700?1500W,10W增量,连续可调,计算机控制进行功率调节。■2.3.3:高效强劲的自激式固态发生器轻松应对从无机到有机各种复杂基体的样品,快速的功率反馈速度确保样品基体变化时仍然获得稳定准确的结果。2.4 观测方式★2.4.1:垂直火炬双向观测方式;更快分析效率;更高样品分析通量▲2.4.2:尾焰去除:需要有能够高效去尾焰CCI冷锥接口。检出限较垂直观测提高5-10倍,具有高的分析灵敏度。2.4.3: 冷锥接口无切割气体的消耗,降低运行成本。2.4.4: 观测位置调节:等离子体观测位置由计算机控制。 2.5 样品导入系统■2.5.1:进样系统:标配双通道玻璃旋流雾化室和玻璃同心雾化器,其它多种类型的雾化器和雾化室可选。■2.5.2:炬管:标配一体化炬管,快速插拔式炬管,无需气体管路连接和炬管准直定位,便于安装和维护,其它多种类型的炬管可选,同时可配置中心管为陶瓷或者石英的可拆卸式炬管。▲2.5.3:气体控制:所有等离子体相关气体均为质量流量计(MFC)控制,软件在线调节:等离子体气:8?20L/min,增量0.1L/min;辅助气:0?2.0L/min,增量0.01L/min;雾化气0-1.5L/min,增量0.01L/min;补偿气(用于可选附件):0?2.0L/min,增量0.01L/min; ▲2.5.4:蠕动泵:5通道蠕动泵,转速0-80rpm可调,全计算机控制,具有快泵功能。2.5.5:雾化器压力可以由用户自己设定阈值,当压力低于阈值下限或超过阈值上限的时候,软件会弹框提示雾化器压力异常,需要用户去检查进样系统。3、软件性能:3.1:软件需易学易用,可快速进行方法的开发、顺序的编辑。 3.2:计算机全自动化控制,仪器设置和参数选择可自动完成,包括气体流量、功率、点火、诊断等。具有自动安全连锁系统。3.3: 背景校正功能:包含传统的单边、双边离峰法背景校正技术,同时,具备多点自动拟合法(FITTED)背景校正技术。 ▲3.4: 谱图自动解析功能:快速自动谱线拟合技术(FACT),在线校正基体谱线干扰。3.5: 多重检量限(Multical)功能:根据不同的元素含量范围选择不同的谱线,使仪器能够同时测定高低含量的元素,使仪器的动态线性范围得到扩展。3.6:提供多种光谱分析方法:如标准比较法、内标法、干扰元素校正系数法(IEC)、标准加入曲线法等,丰富了用户多种分析研究的手段。 ■3.7:软件系统需内置计数器,能够在系统需要维护时为用户提供指导,可以在方便的时间安排维护,而不必中断工作进程,最重要的是,它能够帮助您最大程度延长仪器正常运行时间。3.8:数据存取:所有结果、方法和顺序可以在同一工作页面一起保存和读取;谱图、结果和标准曲线同时显示;实时图形显示光谱信号、结果和曲线谱图;快速运行过往数据的编辑。3.9:数据输出:提供多种报告打印和数据输出格式。 3.10: 需有详尽的中文在线帮助功能和操作、维护录像。 3.11:远程诊断功能:远程诊断—Web连接使远端的技术服务部门和应用支持部门能够对仪器实现完全远程控制和维修诊断。3.12:符合电子签名管理的21 CFR Part 11管理法规。 3.13:需实现快速全谱扫描,对样品中所有元素进行定性和半定量分析,并且可以设定阈值,实现样品的快速筛选,并且可以跟样品定量分析在同一个工作列表中,实现每一个样品的全元素监测。▲3.14: 需有强大的开发工具,能够针对不同的基体样品,快速的实现全元素扫描,实时反馈,根据不同基体样品和不同元素波长的各种干扰判断,自动选择最佳元素波长,可以把选定的波长直接导入定量工作表开始定量分析,还可以针对不同基体和不同的标准创建模板,让结果更精确。3.15:需有内标监测图,可以更直观准确的监控做样过程,快速的做出响应。3.16:软件需支持集成的高级采集阀,该高级采集阀系统可以极大的提升样品通量,降低氩气消耗,延长进样系统(炬管,雾化器,雾化室,蠕动泵管)使用寿命,降低后期维护消耗。3.17:需有强大的诊断软件,支持简便的仪器诊断和仪器错误提示。清晰的“仪表盘”式仪器状态显示,以及自检功能,使可能维修费用大大降低,并使仪器正常运行时间最大化。4、仪器性能指标:■4.1: 长期稳定运行:8小时,RSD≤1%(不加内标,不采用基线飘移修正);4.2: 短期稳定运行:RSD≤0.5%;▲4.3:冷启动时间:从待机状态到等离子体点燃时间小于35分钟;▲4.4: 做样速度:60个元素或波长,每个元素或波长积分时间10秒,测试时间小于60秒,内标和待测元素必须同时积分;4.5: 测定谱线的线性动态范围:≥106(以Mn257.610nm 来测定,相关系数≥0.9996);4.6: Pb220.353nm 2ug/L,4ug/L,6ug/L,8ug/L,10ug/L 拟合曲线,线性相关系数999以上;5、工作条件:5.1环境温度: 10℃-30 ℃;5.2环境湿度:20%-80% (不冷凝);5.3 电源:仪器整体功率不大于2.9kVA, 电源: 220VAC+/-10% ,50 或60Hz+/-1Hz;5.4 通风系统:最小流量要求:2.5m3/min。6、仪器配置要求:1.仪器主机一台2.循环冷却水机一台3.气源一套4.输入输出设备一套5.仪器耗材包一套750000 合同履行期限: 按招标文件要求 本合同包:不接受联合体投标二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.本项目的特定资格要求: 包1 (1)明细:招标文件规定的其他资格证明文件(若有) 描述:1、(强制类节能产品证明材料,若有,应在此处填写); 2、(按照政府采购法实施条例第17条除第“(一)-(四)”款外的其他条款规定填写投标人应提交的材料,如:采购人提出特定条件的证明材料、为落实政府采购政策需满足要求的证明材料(强制类)等,若有,应在此处填写)。 ※1上述材料中若有与“具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料”有关的规定及内容在本表b1项下填写,不在此处填写。 ※2投标人应按照招标文件第七章规定提供。 (2)明细:具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料(若有) 描述:1、招标文件要求投标人提供“具备履行合同所必需的设备和专业技术能力专项证明材料”的,投标人应按照招标文件规定在此项下提供相应证明材料复印件。 2、投标人提供的相应证明材料复印件均应符合:内容完整、清晰、整洁,并由投标人加盖其单位公章。(如项目接受联合体投标,对联合体应提出相关资格要求;如属于特定行业项目,供应商应当具备特定行业法定准入要求。) 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品,不适用于(本项目),节能产品,适用于(合同包1),按照财库[2019]19号文所附品目清单执行。环境标志产品,适用于(合同包1),按照财库[2019]18号文所附品目清单执行。信息安全产品,适用于(合同包1)。小型、微型企业符合财政部、工信部文件(财库〔2020〕46号),适用于(合同包1)。监狱企业,适用于(合同包1)。促进残疾人就业 ,适用于(合同包1)。信用记录,适用于(合同包1),按照下列规定执行:(1)投标人应在(填写招标文件要求的截止时点)前分别通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询并打印相应的信用记录(以下简称:“投标人提供的查询结果”),投标人提供的查询结果应为其通过上述网站获取的信用信息查询结果原始页面的打印件(或截图)。(2)查询结果的审查:①由资格审查小组通过上述网站查询并打印投标人信用记录(以下简称:“资格审查小组的查询结果”)。②投标人提供的查询结果与资格审查小组的查询结果不一致的,以资格审查小组的查询结果为准。③因上述网站原因导致资格审查小组无法查询投标人信用记录的(资格审查小组应将通过上述网站查询投标人信用记录时的原始页面打印后随采购文件一并存档),以投标人提供的查询结果为准。④查询结果存在投标人应被拒绝参与政府采购活动相关信息的,其资格审查不合格。四、获取招标文件 时间:2022-03-04 08:15至2022-03-19 23:59(提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日),每天上午00:00:00至11:59:59,下午12:00:00至23:59:59(北京时间,法定节假日除外) 地点:招标文件随同本项目招标公告一并发布;投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地,登录对应的(省本级/市级/区县))福建省政府采购网上公开信息系统操作),否则投标将被拒绝。 方式:在线获取 售价:免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022-03-25 09:30(北京时间)(自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止,不得少于20日) 地点:福建省南平市建阳市武夷新区建安大街318号赤岸统建房A区4号楼1104室晖源公司开标室六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无八、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:南平市产品质量检验所 地 址:南平市文体路203号 联系方式:0599-8830407 2.采购代理机构信息(如有) 名 称:福建晖源工程咨询有限公司 地  址:南平市延平区八一路73号延水大厦6楼 联系方式:0599-8314701 3.项目联系方式 项目联系人:小刘 电   话:0599-8314701 网址:zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名:福建晖源工程咨询有限公司 福建晖源工程咨询有限公司 2022-03-04
  • 大连理工大学突破等离子体工艺腔室仿真软件,助力半导体关键设备研发
    超大规模集成电路(ULSI)产业直接关系到国家的经济发展、信息安全和国防建设,是衡量一个国家综合实力的重要标志之一。在半导体芯片制备过程中,约有三分之一的工序要使用等离子体技术,因此配备等离子体工艺腔室的材料刻蚀和薄膜沉积设备是ULSI制造工艺的核心。目前,半导体工艺中最常用的两种等离子体源是CCP(容性耦合等离子体)和ICP(感应耦合等离子体)。等离子体工艺腔室制造过程极为复杂,不仅涉及精密机械加工技术,还要统筹考虑电源、气体、材料等外部参数的优化,以及与晶圆处理工艺的兼容性。如果采用传统的“实验试错法”,不仅成本巨大,而且延长了设备的研发周期,将严重制约我国ULSI产业的快速发展。因此,采用建模仿真与实验诊断相结合的方式、为等离子体工艺腔室的研发与优化提供方案,成为一种必然趋势。等离子体放电过程是极其复杂的,受到多种外界参数的控制,如电源功率与频率、气体成分与压强、腔室尺寸及材料属性等。此外,等离子体系统还包含了多空间尺度和多时间尺度的变化,以及多物理化学场的耦合过程。例如等离子体、鞘层、表面微槽等空间特征尺度相差10个量级;电磁场、带电粒子、中性气体及化学反应等时间特征尺度相差9个量级。如此复杂的等离子体工艺环境,给物理建模和数值仿真都带来了巨大挑战。物理学院PSEG团队在王友年教授的带领下,自2005年开始,历经近二十年时间,在国内率先研发出具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真软件——MAPS(Multi-Physics Analysis of Plasma Sources)。通过采用物理建模、数值仿真与实验诊断相结合的方法,解决了制约等离子体工艺腔室设计和制造中的一些关键技术难题,为我国研发具有自主知识产权的等离子体工艺腔室提供了技术支撑。MAPS是一款专门面向等离子体工艺腔室的数值模拟软件平台,可以同时为等离子体工艺腔室的参数设计和表面处理工艺(材料刻蚀和薄膜沉积)的结果预测提供模拟服务。基于不同的等离子体模型,MAPS包含不同的数值模拟方法,如粒子/蒙特卡洛碰撞模拟方法、流体力学模拟方法、流体力学/蒙特卡洛碰撞混合模拟方法、整体模型模拟方法等。软件平台包含输入部分、输出部分以及七大模块,分别是等离子体模块、中性气体模块、电磁模块、鞘层模块、化学反应模块、表面模块及实验验证模块。此外,PSEG团队研制了结构可变的大面积、多功能等离子体实验平台和多套CCP和ICP放电平台,并自主研发了射频磁探针、微波发卡探针、光探针、吸收光谱诊断系统、布拉格光栅测温系统、悬浮双探针等诊断工具和集成了商用的Langmuir探针、质谱仪、离子能量分析仪、光谱仪、ICCD及光致解离负离子诊断系统等。这些诊断手段为等离子体源多参数诊断提供条件。大量研究表明,MAPS的模拟结果与实验测量结果在量级和变化趋势上达到一致,证明了MAPS仿真软件的可靠性。近期,针对工业中常用的CCP源,MAPS仿真软件提供了一种新的快速仿真算法:基于多时间步长、泊松方程的半隐式修正、超松弛迭代等,可以将模拟速度提高几十倍。此外,针对ICP源,PSEG团队也建立了一种新的双极扩散近似模型,可以对带有射频偏压的感性耦合放电过程进行仿真。该方法不仅模拟速度快,还适用于低气压放电。MAPS仿真软件具有外界控制参数多、耦合物理场多、数值求解器多、数值仿真模型多等优势,能够对ICP刻蚀机、CCP刻蚀机、PECVD(等离子体增强化学气相沉积)和PVD(物理气相沉积)工艺腔室进行仿真,支持对优化工艺过程参数的进一步探索,受到了国内的多家半导体设备制造企业的青睐。近十年中,MAPS仿真软件已分别为北方华创、中微半导体设备(上海)、拓荆科技、苏州迈为、武汉长江存储及理想能源设备(上海)等多家企业提供仿真服务。未来,PSEG团队将继续专注于对MAPS仿真软件的完善和升级,希望可以为半导体、光伏及平板显示等产业的创新与发展注入源源不断的强劲动力。
  • 中国地质大学(武汉)电感耦合等离子体质谱仪竞争性磋商
    p    br/ 10月19日,中国地质大学(武汉)在政府采购网上发布公开招标公告。现对电感耦合等离子体质谱仪进行竞争性磋商招标,欢迎合格的供应商前来投标。 /p p   详细内容如下: /p p   一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍: /p p   采购电感耦合等离子体质谱仪1台。要求:标准模式下灵敏度为低质量数(Li)≥30M cps/ppm,中质量数(Y或In)≥100M cps/ppm,高质量数(Tl或U)≥80M cps/ppm 标准模式下,仪器信噪比≥100M(1 ppm中质量元素溶液,灵敏度/随机背景) 氧化物离子≤2.5%,双电荷粒子≤3% 轻质量元素检出限≤0.5 ppt,中质量数元素检出限≤0.1 ppt,高质量数元素检出限≤0.1 ppt 短期稳定性(RSD)≤2%,长期稳定性(RSD)≤3% 质谱校正稳定性≤0.05 amu/8h 质量范围:4-285 amu 2.5mm中心(喷射)矩管 具备高雾化效率和耐高盐性能的同心雾化器 双通道石英雾室,减少基体溶剂的引入量 数控式、固态射频发生器,射频频率≥30MHz ,功率范围600~1600W 脉冲模拟双模式检测器,12个数量级及以上动态范围 检测器采集速度≥ 10万点/s 同位素比精密度为107Ag/109Ag,& lt 0.08%RSD 用甲烷气分析 80Se 时,检出限优于1ppt。质保期至少3年。 /p p   二、对供应商资格要求(供应商资格条件): /p p   1.竞标供应商应具备《政府采购法》第二十二条规定的相关条件 2.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得同时参加本项目采购活动。为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理等服务的供应商,不得再参加本次采购项目 3.符合《财政部关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库〔2016〕125号)的相关要求,竞标人不得为& quot 信用中国& quot 网站(www.creditchina.gov.cn)中列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的供应商,不得为中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商(处罚决定规定的时间和地域范围内) 4. 如竞标产品为进口产品,竞标人必须是所投主要产品的制造商或代理商,代理商竞标须提供主要产品制造商或具有转授权资格代理商的有效授权 5.竞标人须按本项目采购公告的规定报名并获取采购文件 6.本项目不接受联合体竞标。 /p p   三、磋商和响应文件时间及地点等: /p p   预算金额:100.0 万元(人民币) /p p   谈判时间:2018年10月29日 14:31 /p p   获取磋商文件方式:现场报名 /p p   磋商文件售价:200.0 元(人民币) /p p   以下为公告概要: /p p style=" text-align: center " img title=" 地质大学.PNG" alt=" 地质大学.PNG" src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/2065c6c7-f255-411f-9199-c3385f75702f.jpg" / /p p & nbsp /p
  • 等离子体修饰碳纳米管在污染物处理方面取得进展
    低温等离子改性接枝是一种处理时间短、不产生化学污染、不破坏材料的整体体积结构、仅仅改变材料表面性能的处理技术。近年来,等离子体所“低温等离子体应用研究室”陈长伦、邵大冬、胡君、王祥科等所在的课题组利用低温等离子体技术对碳纳米管进行表面修饰改性组装,克服了碳纳米管的难溶性带来的制约等问题,大为提高了其实际应用程度。   该课题组在用低温等离子体技术对碳纳米管进行改性组装后,将其应用于环境污染物检测和治理研究方面,取得了一系列成果。   一是分别利用Ar/H2O,Ar/NH3,Ar/O2微波等离子体对碳纳米管进行表面处理,使其表面引入含氧、含氨基等功能基团,提高了碳纳米管的亲水性和分散性,使其可制备纳米溶液。这些经过处理的(表面修饰的)功能化材料对改善碳纳米管在生物、环境污染物吸附等方面,具有很好的应用前景。部分研究结果发表在Applied Physics Letter (2010, 96, 131504) Carbon (2010, 48, 939-948) The Journal of Physical Chemistry C (2009, 113, 7659-7665) Diamond & Related Materials (in press) 并受邀请在国际会议上做2次口头报告。   二是利用N2射频等离子体对碳纳米管表面进行活化处理,然后接枝上有机单体和天然高分子材料,制备碳纳米管/有机物复合材料。等离子体制备的复合材料表面具有各种功能基团,这些功能基团对持久性有机污染物(POPs)、有毒有害的重金属离子、放射性核素具有强的吸附、络合能力,因而提高了复合材料对污染物的吸附能力。部分研究结果发表在The Journal of Physical Chemistry B (2009, 113, 860-864) Chemosphere (2010, 79, 679-685) Plasma Processes and Polymers (in press,并被选为封面)。   三是碳纳米管由于尺度小,使其在吸附处理有机/无机污染物后,在回收和循环利用纳米材料方面具有很大的难度。采用传统的离心法需要高的转速,过滤法易导致过滤膜堵塞,如果吸附污染物的碳纳米管进入环境,会产生二次污染。针对上述问题,该课题组采用溶胶—凝胶法,首先在碳纳米管上组装上铁氧化物,然后利用N2射频等离子体对碳纳米管/铁氧化物表面进行活化处理,接枝上有机单体和天然大分子材料,制备出磁性多重复合纳米材料,该磁性复合纳米材料不仅具有高的吸附性能,且磁分离技术可以简单方便地把磁性复合纳米材料从溶液中分离出来,解决了固液分离的难题,同时可以大量的应用到实际工作中。部分相关研究成果发表在Environmental Science and Technology (2009,43,2362-2367) Journal of Hazard Material (2009,164, 923-928) Journal of Physical Chemistry B (jp-2009-11424k)。   该工作得到了国家自然科学基金,科技部973重大研究计划“面向持久性有毒污染物痕量检测与治理的纳米材料应用基础”,中科院合肥物质科学研究院重大项目,合肥研究院人才项目和火花项目,中科院新型薄膜太阳能电池重点实验室基金等经费的支持。
  • 【新品发布】锐意进取,东西分析光谱家族新秀-ICP-7700型电感耦合等离子体发射光谱仪荣耀上市
    新品发布锐意进取,东西分析光谱家族再添新秀-icp-7700电感耦合等离子体发射光谱仪,这是东西分析数十载又一精华力作。光源系统,采用固态射频发生器,端氏观测方式,具有检出限低、分辨率高、工作稳定和适用面广的特点,可以快捷、准确地检测微量至常量的70种元素。仪器特点icp固态射频发生器:体积小、重量轻、效率高,具有自动匹配功能,输出功率稳定性优于0.1%,可测试有机溶液的样品;观测方式:端式,具有检出限低的特点;进样系统:采用精密质量流量计,稳定可靠。先进的雾室,重复性rsd可达到应用领域地质、冶金、稀土分离、稀土磁性材料、医药卫生、环境、生物、海洋、石油、化工、核工业、农业、水质等科学领域。新品上市,购买有礼品赠送哦!登录公司网站了解更多详细内容。www.ewai-group.com关于我们北京东西分析仪器有限公司,拥有二十多年的分析仪器研发、制造、服务的历史,系北京市高新技术企业,分析仪器制造行业国际化企业。在行业内率先通过iso9001国际质量体系认证,iso14001环境管理体系认证,多个产品取得欧盟ce认证,系中华预防医学会卫检专用委员会产品信得过单位。“完美分析,辉映东西”。公司以科研技术实力为后盾,以质量管理为保证,以完善的售后服务为支撑,为用户提供高品质的分析仪器产品。
  • 应用:通过表面能表征等离子体对聚合物表面的处理效果
    研究背景等离子体处理是聚合物表面改性的一种常用方法,一方面等离子体中的高能态粒子通过轰击作用打断聚合物表面的化学键,等离子体中的自由基则与断开的化学键结合形成极性基团,从而提高了聚合物表面活性;另一方面,高能态粒子的轰击作用也会使聚合物表面微观形貌发生改变 。本文提出通过等离子体处理提高 PP的胶粘接强度。利用KRÜ SS光学接触角测量仪DSA100分析了等离子体处理对于PP表面的接触角、自由能的影响。利用胶粘剂将 PP薄膜与铝箔粘接到一起,采用T剥离强度试验方法对PP的胶粘接强度进行了测试,结果表明等离子体处理可以显著提高 PP的胶粘接强度。DSA100型液滴形状分析仪试验样品制备由于PP薄膜表面可能会有油污、脱模剂等残留物,本文采用超声清洗方法对其表面进行实验前的处理。结果与讨论1.PP表面接触角系统分析了等离子体改性的射频功率和处理时间对于PP表面接触角的影响。首先,将处理时间恒定为 120 s,射频功率分别选取了 80 W、120 W、180 W、240 W 和300 W。如图1(a) 所示,PP表面经等离子体处理后,去离子水和二碘甲烷的接触角均有较明显的下降。当射频功率超过120 W时,接触角下降趋势缓慢,此时去离子水的接触角由99.08°降到了79.25°,二碘甲烷的接触角则由69.31°降到了59.39°。当射频功率达到300 W时,去离子水的接触角为 74.88°,二碘甲烷的接触角为55.88°。去离子水属于极性溶液,它的接触角越小表明PP表面润湿性越好,PP与胶粘剂的粘接强度将越高。 图1.薄膜表面接触角的变化其次,将射频功率恒定为 80 W,处理时间分别为30 s、60 s、120 s、300 s和600 s,PP表面的接触角与处理时间的关系如图1(b)所示。可见,随着处理时间的增长,接触角逐渐减小。当处理时间长于120 s时,接触角变化缓慢,此时去离子水的接触角由 99.08°降到了77.39°,二碘甲烷的接触角由69.31°降到了56.05°。结合上述两个实验结果,本文选择射频功率120 W和处理时间120 s作为后续的PP等离子体改性工艺参数数值。2.PP表面自由能本文采用Owens二液法 ,通过测量去离子水和二碘甲烷在 PP表面的接触角,计算出PP表面的自由能。PP表面自由能与射频功率和处理时间的关系如图2所示。从图中可以看出,PP在等离子体处理后,色散分量和极性分量均有所提升,其中极性分量的提升更显著,PP的表面自由能得到了较大提高。经计算,未经等离子体处理的 PP表面色散分量、极性分量和自由能分别为18.68 mJ/m 2 、12.12 mJ/m 2 、30.8 mJ/m 2 ,经等离子体处理后的PP表面色散分量、极性分量和自由能分别为22.27mJ/m 2 、26.64 mJ/m 2 、48.91 mJ/m 2 。即,经等离子体处理后,PP表面色散分量增加了 19.22%,极性分量增加了119.8%,自由能增加了58.8%。可见,PP表面自由能的提高主要归因于极性分量的增加,而极性分量的增加则是由于等离子体处理使得PP表面形成了极性基团,从而有助于提高PP的胶粘接强度。 图2.PP表面自由能3.PP胶接强度根据T剥离强度试验记录的最大剥离力和最小剥离力计算得到平均剥离力(FT),而剥离强度(σT)为 式中:B为测试样品的宽度 ,本文测试样品的宽度为25 mm。在剥离过程中,可以看到胶粘剂形成的胶膜完全保留在铝箔表面,证明胶粘剂对铝箔的粘附性远高于对PP薄膜的粘附性,即通过该实验测试到的剥离强度为PP与胶粘剂之间的粘接强度。未改性的 PP薄膜和改性后的PP薄膜的剥离力与剥离长度的关系曲线如图3所示,由于夹持位置的差异,PP薄膜与铝箔之间开始出现分离的位置稍有不同。在二者刚出现分离时,剥离力较大,之后剥离力逐渐下降并保持稳定。根据上述公式可以计算出,未改性的PP薄膜最小剥离强度为588 kN/m,最大剥离强度为 661.2 kN/m,平均剥离强度为 624.8 kN/m;与之对应,改性后的PP薄膜最小剥离强度为734 kN/m,最大剥离强度为810.8 kN/m,平均剥离强度为775.2 kN/m。即,PP薄膜经过等离子体改性处理后最小剥离强度提高了24.83%,最大剥离强度提高了22.63%,平均剥离强度提高了24.07%。 图3.剥离长度和剥离力的关系结论本文从接触角、表面自由能等方面揭示了等离子体处理提高PP材料胶粘接强度的机理。实验结果表明,经过等离子体改性处理后,PP表面由疏水性变为亲水性,去离子水的接触角由99°减小到了75°,PP表面自由能由31 mJ/m 2 增大到了49 mJ/m 2 ,同时PP表面整体上变得凸凹不平,且出现了大量纳米级凸起和凹坑。PP表面发生的这些化学和物理变化共同作用,使得PP的胶粘接强度提高了24%。参考文献隋裕,吴梦希,刘军山.等离子体处理对于聚丙烯胶粘接强度的影响[J].机电工程技术,2023,52(01):30-32.
  • 半导体情报,科学家首次开发射频毫米波段的高性能忆阻器!
    【科学背景】记忆电阻器(memristor)是一种能够在电气应力作用下实现两个或多个非易失性电阻状态的设备,近年来被提出用于解决射频开关的挑战。这种效应最早在1960年代的硒铋合金中被报道,随后在包括金属氧化物和二维层状材料在内的许多其他材料中得到观察。通过改变材料的原子或电子结构,memristor能够实现不同的电阻状态,如高电阻态(HRS)和低电阻态(LRS)。尽管最初主要用于存储应用,memristor目前被提议用于数据加密、能效数据计算(如实现向量矩阵乘法引擎和人工神经网络的电子神经元)、以及射频数据传输开关等领域。针对射频应用,memristor的主要优势在于其非易失性,无需额外能量来维持其导电状态,与传统的p-i-n二极管开关相比,后者需要大量直流电流来维持其状态。最新的memristor技术基于相变材料,如GeTe或GeSbTe,通过控制加热器来实现晶态和非晶态之间的转变,从而切换设备的HRS和LRS。这些设备在50 GHz的频率下已有工业展示,并且在学术演示中能够达到高达109个循环的耐久性,但其集成到大型电路中需要精细的热设计,并可能引入不需要的寄生电容。针对RF mmWave应用的多层hBN memristor的开发,沙特阿卜杜拉国王科技大学Mario Lanza教授团队通过使用不同的电极材料展示了多个设备的射频性能和一致性行为。通过一种增强导电性的方法,作者成功地实现了RLRS低于10 Ω(最低可达4.5 Ω),并展示了2,000个循环的耐久性。作者的设备在高达260 GHz的频率下表现出低于2 dB的损耗和超过30 dB的隔离度,从等效电路模型中提取的截止频率为7 THz。此外,作者还报告了在120 GHz时串-并联配置中超过35 dB的隔离度的射频mmWave开关电路。【科学亮点】(1)首次开发了适用于射频毫米波(mmWave)应用的多层氮化硼(hBN)记忆电阻器。这些电阻器展示了在高达260 GHz频率下的射频性能,并通过不同电极材料验证了其稳定的行为。(2)通过采用一种新型的导电性增强方法,成功实现了低于10 Ω的低阻态电阻(RLRS),最低可达4.5 Ω。这种方法使得设备能够经受2,000个循环的使用测试,表现出良好的耐久性。(3)射频性能方面,这些设备展示了在频率高达260 GHz时低于2 dB的插入损耗和超过30 dB的隔离度。通过等效电路模型分析,提取的截止频率高达7 THz,显示出在超高频领域的潜力。(4)作者还报道了在120 GHz时串-并联配置中超过35 dB的隔离度的射频mmWave开关电路,突显了这些记忆电阻器在复杂电路中的实际应用潜力。【科学图文】图1: Au-hBN-Au器件的物理和直流特性。图2:通过脉冲写入-验证协议增强射频RF应用的低阻态low-resistance state,LRS性能。图3:Au–多层hBN–Au开关的毫米波性能。【科学结论】本文开发了多层氮化硼记忆电阻器作为射频毫米波应用中的关键组件。传统射频开关技术在高频率(如120 GHz)下存在插入损耗和隔离度方面的限制,而本研究通过精确控制低阻态电阻,利用脉冲偏置协议实现了9.3 ± 3.7 Ω的优异性能。这种方法不仅提高了射频开关的操作频率,还显著降低了信号传输过程中的能量损失。此外,作者展示了在21个设备中一致的双极性切换特性,证明了多层氮化硼在记忆电阻器中的可靠性和稳定性。这些成果不仅推动了射频毫米波技术的前沿,还为未来高速数据传输、增强现实和物联网等应用领域提供了新的解决方案。通过这些研究,作者不仅拓展了记忆电阻器在射频领域的应用潜力,还为探索更高频率、更低能耗的射频开关提供了有力支持。原文详情:Pazos, S., Shen, Y., Zhang, H. et al. Memristive circuits based on multilayer hexagonal boron nitride for millimetre-wave radiofrequency applications. Nat Electron (2024). https://doi.org/10.1038/s41928-024-01192-2
  • 将实验设备制成便携工具 杭电学生自研射频微波网络测量仪
    第八届浙江省国际“互联网+”大学生创新创业大赛决赛中获得“金钥匙奖”颁奖。 将一台手掌大小的长方形仪表盒子线头接上一段射频电路,仪表显示屏上随即出现电波图形… … 8月上旬,在杭州电子科技大学通信工程学院科协创新实验室内,一款由该院学生团队联合研发的便携式矢量网络分析仪进行应用演示。 “如果电波图形和被测试电路板上已绘制好的电波图形吻合,说明该射频电路发射性能优良,反之则说明该电路传输信号有问题。”该设备核心研发人员、杭电通信学院大三学生江逸宁介绍说,团队凭此在7月底落幕的第八届浙江省国际“互联网+”大学生创新创业大赛决赛中获得“金钥匙奖”,从而拿到这一赛事全国总决赛的入场券。 记者了解到,这一分析仪可用于检查信号发射状况,分析出基站天线、电缆接触状况等影响网络的变量,并进行修复,从而恢复基站正常功能。 射频电路的网络测试,具有广泛应用场景。比如当前在高校开展广泛的电子信息类学科竞赛,普遍要用到无线信号传递。通常智能车的通信模块、航模比赛的遥控装置等就要用到射频电路发射信号。 “在电子竞赛中深感现有市场上网络测试仪器使用起来不便或太贵,所以我们想自己研发性价比高、使用方便的网络测试仪,目标是使其成为射频微波领域的‘万用表’。”该项目主要负责人、杭电通信学院大三学生王来龙说。 “实验室用到的电子网络测试仪、基站维护领域的驻波仪等设备,通常价格不菲以及被国外垄断。”该团队指导老师、杭电通信学院教授张福洪说,他们鼓励学生研发推出具备类似功能甚至可实现部分替代的仪器。 据介绍,这一分析仪由学生团队通过自主设计核心电路优化仪器电路结构、使用国产全自主芯片以及提升机器学习方法研制而成,基于团队成员的快速锁相环、数模转换器等专利,使频率测量的效率大为提高,同时降低了生产成本。 “同学们从实践出发,学以致用,促进电子测试仪器的国有化,推动测量仪器进一步发展,是一次大胆而创新的尝试。”中国电子学会嵌入式系统专家委员会委员严义教授对此表示。
  • 等离子体刻蚀机、PVD和扫描电镜等创新成果亮相2024清华大学工程博士论坛!
    仪器信息网讯 2024年5月18-19日,2024清华大学国家卓越工程师学院春季工程博士论坛在北京亦庄举办。论坛围绕“先进装备”“大健康”“未来建设”“工业软件”“集成电路”“新能源”“综合交通”“大数据AI”“智能制造”九大产业集群要素开展主题沙龙。本次论坛作为又一次盛大的学术交流活动,现场展出了诸多优秀创新成果,仪器设备相关成果也位于其中,如“应用于集成电路制造的12英寸电感耦合等离子体刻蚀机和硅通孔(TSV)铜籽晶层物理气相成绩(PVD)设备”、“单束高通量扫描电镜及其跨尺度材料观测分析”。成果一:等离子体刻蚀机和硅通孔(TSV)铜籽晶层物理气相成绩(PVD)设备一、主要工程技术难点和创新性1、等离子体刻蚀机:先进脉冲射频脉冲等离子体产生和控制技术,实现多种等离子体参数的调控 先进的抗等离子体刻蚀的涂层技术实现纳米级别的颗粒环境调控,复合径向和角向联合小区域精确控温技术实现优异的整片关键尺寸均匀性,高精度终点检测技术(如光学发射光谱和光学相干光谱)识别精细刻蚀工艺过程中信号强度变化 双重/四重图形曝光工艺能力实现小线宽的图形控制等技术。2、TSV铜籽晶层物理气相沉积设备:高离化率磁控管技术、带有偏压的低温ESC技术 实现高深宽比下高台阶覆盖率沉积 实现优异的颗粒控制 二、工程应用价值和成熟程度目前研发的等离子刻蚀机,通过实现优异的双重/多重图形曝光、高介电常数介质/金属栅等刻蚀工艺形貌控制,适用于鳍式晶体管、多层3D NAND 闪存高密度DRAM内存等先进结构生成,广泛应用于国际主流逻辑、存储等芯片制造生产。TSV铜籽晶层物理气相沉积设备,已经广泛应用于逻辑,存储和先进封装芯片领域,能够实现较高深宽比的硅通孔铜籽晶层沉积,该设备已在多家客户端实现量产应用,代表国产金属薄膜沉积设备的较高水平。成果二:“单束高通量扫描电镜及其跨尺度材料观测分析”创新性的设计单束扫描电镜的电子光学系统:1、采用浸没式的电磁复合透镜保证1nA的落点电流下实现1.8nm@1keV的分辨率。2、采用位于透镜中的背散射(BSE)和二次电子(SE)探测器提高信号电子收集效率和图像信噪比,实现最短10nS/像素的驻留时间,即实现100M像素/秒的成像速度。工程博士论坛每年春季学期和秋季学期各举办一次,旨在加强工程领域的学术交流,激发工程博士生的创新思维,提高工程博士生解决复杂工程技术问题、进行工程技术创新、组织工程技术研究开发工作等能力,促进跨界交叉融合创新,不断扩大工程博士生在工程界、学术界和社会上的影响,推进产教融合,高起点、高质量地培养造就工程技术领军人才。工程博士论坛自2019年创办至今,已先后在北京、南通、深圳、成都、海盐、武汉、上海成功举办9届,经过几年不断地建设和发展,论坛活动成效和影响力不断扩大,逐渐打造成彰显清华特色的学术品牌。工程博士论坛网站:http://qhgbforum.ihaogo.com/index.htmlfor
  • 半导体情报,科学家利用自旋整流器实现低功率射频能量的高效收集与应用!
    【科学背景】随着无线传感器网络在健康监测、环境监测和物联网(IoT)等应用中的重要性日益增加,如何有效供电成为一个关键问题。当前,许多传感器需要在难以接触的地方进行安装,例如用于空气质量、温度和湿度监测的传感器,这些传感器的电力需求通常无法依赖传统电池供给。因此,开发一种能够从环境中收集能量并转化为电力的技术成为了一个重要研究方向。在众多能源收集技术中,射频(RF)能量收集因其全天候可用、易于获取且可以与小型无线传感器网络集成的优点而备受关注。射频能量收集的关键挑战之一是如何在低功率条件下提高能量转换效率。尽管已有技术如肖特基二极管和隧道二极管在较高功率条件下表现出较高的效率,但在环境射频功率低于 -20 dBm 的情况下,这些技术的效率大幅降低,无法满足实际应用需求。此外,传统射频整流器面临热力学极限和高频寄生阻抗等问题,这些因素严重制约了其在低功率环境下的性能。为此,新加坡国立大学Hyunsoo Yang等科学家们致力于改进自旋整流器的性能。例如,作者的研究团队开发了一种新型的自旋整流器 rectenna,其在 -62 dBm 的射频功率下具有约 10,000 mV mW&minus 1 的高灵敏度,能够在弱且嘈杂的环境中有效收集射频能量。此外,作者还开发了一种基于片上共面波导的自旋整流器阵列,该阵列展示了约 34,500 mV mW&minus 1 的零偏灵敏度和 7.81% 的高效率。作者的研究解决了传统自旋整流器在低功率环境下效率低的问题,通过利用电压控制的磁各向异性(VCMA)驱动的自参量效应,显著提高了灵敏度和检测带宽。这一进展使得作者的自旋整流器可以在 -27 dBm 的低射频功率下为传感器提供无线供电,展现出良好的应用前景。【科学亮点】1. 实验首次展示了高灵敏度自旋整流器(SR)rectenna的应用:本文首次报道了一种具有高灵敏度的 SR rectenna,能够在 -62 dBm 的低射频功率下进行能量收集,达到约 10,000 mV mW&minus 1 的灵敏度。这种 SR rectenna 能够在弱且嘈杂的环境中有效捕获射频能量。2. 通过优化器件特性提升灵敏度:研究中指出,单个 SR 的灵敏度与其内在特性密切相关,包括垂直各向异性、器件几何形状和来自极化层的偶极场。这些因素共同定义了纳米磁体的能量景观,并促使低输入功率下的大角度磁化进动。此外,SR 的灵敏度还与磁隧道结(MTJ)的动态响应相关,尤其是零场隧道磁阻(TMR)和电压控制的磁各向异性(VCMA)系数对增强零偏置整流电压的作用。3. SR 阵列的自参量效应提升了性能:实验还显示了 SR 阵列在没有外部天线或匹配设置的情况下,通过 VCMA 驱动的自参量效应,增强了灵敏度和检测带宽。该 SR 阵列基础的能量收集模块(EHM)能够在 -27 dBm 的低射频功率下为商业传感器供电,展示了其在实际应用中的有效性和高效性。【科学图文】图1:利用自旋整流器Spin rectifiers,SRs的射频Radiofrequency,RF能量收集。图2: 自旋整流器SR整流天线的性能。图3: 宽带和谐振整流的调谐。图4:基于宽带低功率自旋整流器SR的能量收集器energy harvesting module,EHM。图5: 肖特基二极管、自旋整流器SR阵列和SR整流天线之间的整流性能比较。【科学启迪】本文的研究通过优化自旋整流器的设计,包括垂直各向异性和设备几何形状,研究成功实现了在极低射频功率下的高灵敏度检测。这表明,通过精细调控材料和结构特性,可以显著提高纳米尺度整流器的能量转换效率,从而扩展其在低功率环境下的应用范围。其次,本文引入了基于电压控制的磁各向异性(VCMA)的自参量效应,展示了在没有外部天线或匹配设置的情况下,如何通过自参量激发实现更高的灵敏度和更宽的检测带宽。这一发现不仅突破了传统射频整流器在低功率和复杂环境下的性能瓶颈,还为未来开发更高效的射频能量收集模块提供了新的思路。最后,本研究表明,基于自旋整流器的射频能量收集模块在实际应用中具有良好的性能,如在 -27 dBm 的低射频功率下为商业传感器供电。这表明这些整流器不仅具备高灵敏度和高效率,还具备良好的实际应用潜力,适合于未来无线传感器网络和物联网设备的集成与应用。原文详情:Sharma, R., Ngo, T., Raimondo, E. et al. Nanoscale spin rectifiers for harvesting ambient radiofrequency energy. Nat Electron (2024). https://doi.org/10.1038/s41928-024-01212-1
  • 2276万!中国食品药品检定研究院电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目
    一、项目基本情况项目编号:CFTC-BJ01-2405058项目名称:中国食品药品检定研究院2024年专项设备购置项目第一批预算金额:2276.000000 万元(人民币)采购需求:预算金额:总预算:2276万元,其中05包预算金额:156万元采购需求:包号品目采购标的名称用途数量是否允许进口05包5-1电感耦合等离子体发射光谱仪用于国产和进口放射性药品注册检验中金属杂质检查项目测定1套否05包5-2电感耦合等离子体发射光谱仪对样品中的各个元素进行准确定量以及定性分析1套否 备注:具体产品技术参数见招标文件第八章。本项目按包公布分项控制预算。若投标人报价高于此分项控制预算,其投标将被作为无效投标处理。交货期:合同签订后60日内。合同履行期限:合同签订之日起至质保期结束本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间:2024年07月11日 至 2024年07月18日,每天上午9:00至12:00,下午12:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:网上获取方式:网上获取,详见其它补充事宜售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和
  • 英国Pickering公司推出新款基于MEMS的射频开关模块
    Pickering Interfaces与Menlo Microsystems的合作将新的开关技术引入PXI射频多路复用开关,以显著地提高性能。2023年6月26日,于英国Clacton-on-sea。Pickering Interfaces公司作为生产用于电子测试及验证领域的信号开关与仿真解决方案的主要厂商,于今日发布了一款采用新的开关技术的PXI/PXIe射频多路复用开关模块新产品。新款基于MEMS的射频多路复用开关是无线通讯和半导体测试的理想选择,与传统 EMR(电磁继电器)开关相比,操作寿命大大延长(高达300倍)、切换速度更快(高达60倍)、带宽更高,射频功率处理能力更强。插入损耗也与EMR相当,并且远低于固态开关。   新产品家族基于Menlo Microsystems的Ideal Switch®构建。这是首款性能特性能够支持要求严苛的射频测试环境,比如半导体、消费者无线设备和各种S波段的应用(包括移动服务、卫星通讯和雷达)的商用MEMS组件。“Pickering多年来一直在密切关注MEMS(微机电系统)技术,”Pickering Interfaces的开关产品经理Steve Edwards说。“Menlo Micro凭借Ideal Switch成为第一家提供满足射频测试所需规格的量产MEMS开关的公司。”   Menlo Microsystems的创始人兼全球营销高级副总裁Chris Giovanniello指出:“我们与Pickering Interfaces的合作伙伴关系建立在专注于下一代射频产品和应用的五年合作之上。“现在,我们的 Ideal Switch 已被Pickering用来构建首批射频多路复用开关,我们期待进一步推进我们的创新技术的发展。”   40-878 (PXI)和42-878 (PXIe)是50Ω 4:1 射频多路复用开关。为了适应不同规模的测试应用,40/42-878系列提供单组、双组或四组多种规格选择,都仅占用一个PXI或 PXIe机箱插槽。用户可以灵活地选择机箱,最大程度地减少所需插槽的数量。40-878也可以在Pickering的所有LXI/USB模块化开关机箱中安装使用。因此,受PXI、LAN或USB控制的不同的开关解决方案具有相同水平的高性能。该模块提供SMB或MCX连接器,用户可以选择最适合其应用的接口。另外,Pickering还提供类型齐全的线缆解决方案。   Pickering的开关产品经理Steve Edwards对新产品作了说明:“40/42-878系列提供大于30亿次的操作寿命,远超基于EMR的解决方案(通常为1千万次操作),最大程度地减少由于继电器损坏或需要维护造成的系统停机。仅50us的切换速度使得这些开关可以在EMR的一次切换时间内进行多次切换,因此最大程度地减短了测试周期时间,以及提高了系统吞吐量。快速切换的优点使得这款产品适用于类型广泛的各类应用。”   “另外,40/42-878提供4GHz的带宽(现有的EMR产品带宽为3GHz),可以支持新的更高频率的测试要求,因此有助于延长测试系统的使用寿命。提高了带宽的同时也提高了射频承载功率,超过了EMR解决方案的10W功率。”Edwards说:“最后,与固态解决方案不同,40/42-878中使用的MEMS开关具有低插入损耗,在4GHz时通常小于1.4db —— 与EMR解决方案相当,但具有基于MEMS设计的所有优势。”   40/42-878系列随附驱动程序,可在所有主流的软件编程环境中使用。在操作系统方面,支持所有微软当前的Windows版本和主流的Linux版本,以及其他实时硬件在环(HiL)工具。另外,Pickering为所有模块提高三年质保。
  • 衡昇发布衡昇iQuad系列电感耦合等离子体质谱新品
    iQuad系列ICPMS是四级杆式电感耦合等离子体质谱仪,以中国制造之品质助您应对环保、化工、特种材料、金属、地质地矿、食品等行业的痕量元素分析的检测挑战。1.高效率,易维护的进样系统: ☆低流量同心雾化器 ☆半导体制冷旋流/Scott雾化室 ☆12滚轮低脉冲蠕动泵 ☆快速六通阀 ☆Plasma TV2.高性能离子提取、传输、筛选和检测系统: ☆1.0mm采样锥,0.65mm截取锥 ☆4.0MHz六级杆碰撞反应池,同时具备KED和反应功能 ☆12mm纯钼四级杆,2.0MHz全数字四级杆射频发生器 ☆ETP最新ICPMS专用检测器,9个数量级动态范围 ☆创新点:1.标配快递六通阀进样系统,分析速度快,样品残留低,分析效率提高50%以上,节省成本。 2.我们采用了非常先进的双ARM+FPGA电路设计架构,以及自定义的高速通讯协议,确保了高速数据采集时数据传输和仪器控制的连续性,最小数据采集速度可以小于10us,达到世界先进水平,大大有利于提高纳米颗粒和单细胞分析的数据采集效率。 3.iTrace是一款智能化的软件,拥有一键启动功能,只需点击“Get Start”键,能实现从点火、预热、自动调谐与校准,性能测试,样品分析,QC检查等所有过程,测试完成后还能完成“熄火”,待机等步骤,也可以预约时间进行测试。 衡昇iQuad系列电感耦合等离子体质谱
  • 广电计量将举办无线射频产品SRRC、FCC、R&TTE认证等研讨会
    依据《中华人民共和国无线电管理条例》,第五章第二十七条,生产的无线电发射设备,其工作频率、频段和有关技术指标应当符合国家有关无线电管理的规定,并报国家无线电管理机构或者地方无线电管理机构备案。无线射频产品型号核准制度在中国是强制的认证制度。   频谱资源属于国家资源,因此每个国家对于无线射频产品的管理,也是强制性要求,除中国SRRC认证外,美国FCC认证,欧盟的R&TTE认证,是全球针对无线射频的主要法规要求。   如何让您的产品更顺利,更快捷的满足这些技术壁垒,迅速占有市场,特举办该研讨会,与各厂家共同发展。   【主要内容】   l 《中国无线电管理条例》法规解读以及有关新规定   l 中国无线电发射设备型号核准(SRRC)及测试规范   l 无线射频产品的美国FCC认证   l 无线射频产品的欧盟R&TTE认证   l 无线射频产品的其他地区(如巴西,日本,韩国,东南亚等地)认证要求   l 无线射频产品的模块认证   l 无线射频产品在船用产品,车用产品,飞机产品,及军品中的特殊要求   【适合对象】   电子企业技术研发人员、检测人员、质量控制人员、采购人员,相关部门领导   【举办单位】   l 广州广电计量检测股份有限公司   【演讲嘉宾/议题】   演讲题目:   无线射频产品SRRC、FCC、R&TTE认证等多国要求   演讲嘉宾:   吴煜民:GRGT电磁兼容检测中心中心总监,从事产品检测认证工作十余年,精通通信行业检测及认证,   在无线通信产品性能测试,射频测试,EMC测试,多国认证等业务领域拥有丰富经验。   【会议安排】 日期 2012年 7月26日(星期四) 时间 10:00-17:00 地点 成都市永丰路45号 长盛帝都国际酒店 3楼会议室 议程 9:30-10:00 签到 10:00-12:00 无线电管理条例以及相关新规及中国无线电发射设备型号核准认证流程及测试要求 12:00-13:30 午饭 13:30-14:30 FCC认证及R&TTE认证等多国要求 14:30-15:00 茶歇、互动交流、答疑 15:00-15:30 无线射频产品的模块认证 15:30-15:40 茶歇 15:40-16:30 无线射频产品在船用产品,车用产品,飞机产品,及军品中的特殊要求 16:30-17:00 互动交流、答疑、   【费用】 A、听课免费(不办理相关证件)        B、提供讲义教材       C、免费提供午餐   Registration form报名回执 课程名称:《无线射频产品SRRC、FCC、R&TTE认证等多国要求》 日期 2012年7月26日 公司名称: 公司地址: 联络人: 电话: 传真: E-mail: 参加人: 职位: 手机: E-mail: 参加人: 职位: 手机: E-mail: 请写下您感兴趣的问题,我们的专业讲师将在现场为您作详细解答 问题1: 问题2: 温馨提示:* 请将以上报名表于2012年7月22日前回传到我司,以便为您预留座位。 * 为方便签到,请携带您的名片入场。 * 会务组联系方式: 广州广电计量检测股份有限公司 成都分公司 地址:成都市高新西区西芯大道4号创新中心A219室 联系人: 曾永 电话:028-66259369 传真:028-66259366 手机:13882274060 电邮:zengy@grg.net.cn  * 为方便签到,请携带您的名片入场。   * 会务组联系方式:广州广电计量检测股份有限公司 成都分公司   地址:成都市高新西区西芯大道4号创新中心A219室   联系人: 曾永   电话:028-66259369 传真:028-66259366   手机:13882274060   电邮:zengy@grg.net.cn   交通指引:成都市永丰路45号 长盛帝都国际酒店 3楼会议室   交通路线: 84路 52路 92路 28路 11路 51路 408路
  • 华兴源创5G射频测试系统获得韦尔半导体批量订单
    2021年8月30日,在嘉盛半导体(苏州)有限公司举行了华兴源创5G射频测试系统交付仪式以及上海韦尔半导体股份有限公司、嘉盛半导体(苏州)有限公司、苏州华兴源创科技股份有限公司三方战略合作签约仪式。经过长达3年的潜心研究,由华兴源创自主研发的4台射频测试系统TS-1800,在韦尔半导体和嘉盛半导体大力支持下,顺利进入嘉盛半导体(苏州)有限公司的量产线用于韦尔半导体射频开关的测试。在中国大陆射频芯片封测产业,不得不提到嘉盛半导体苏州公司,全球超过一半的射频开关产品从这里完成封测。本次华兴源创交付的TS-1800射频测试系统,最核心的射频信号矢量信号收发仪板卡(VST)及射频矢量信号网络分析仪板卡(VNA)均为从底层架构完全自主研发,因此可以说是国内首台完全自主创新的5G射频测试系统。TS-1800设计的最高收发频率可达Sub6GHz,可满足所有5G射频开关(Switch)、低噪放大器(LNA)、功率放大器(PA)、滤波器(Filter)、射频调谐(Tuner)等射频前端芯片的测试,打破了国内在5G射频专用测试领域完全依赖进口设备和进口射频矢量板卡的局面。TS-1800射频测试系统的技术亮点主要有1.在硬件设计方面,TS800利用“高功率多频段复用技术”, HP Multi-band TM. 使客户在更换产品时,无需Loadboard硬件更换,只需控制切换即可实现不同的频段的高功率测试。这项技术区别于其他射频设备,实现轻松切换,进一步提高产能。2.在数据处理方面,TS1800 采用Auto-Detect 智能算法。这个强大的智能算法的成功应用,进一步提高测试精度,确保测量的稳定性和一致性。3.TS1800的优于分时系统利用双TX通道和双RX通道集成于一卡的优势实现低功率和高功率实时并行测试的技术,在测试时间上拥有竞争优势。4.高度集成的完全自主研发板卡在测试成本方面拥有天然的竞争优势。上海韦尔半导体股份有限公司董事副总经理纪刚代表公司出席了仪式。他表示韦尔半导体作为一家中国设计公司在保证芯片品质的基础上一直积极推进测试设备的国产化,目前公司的分立器件和模拟芯片的测试已经比较多的采用国产测试设备了,但其他产品的量产测试设备还是依靠海外测试供应商。2年多前豪威集团和华兴源创首先启动了合作,目前在其代工厂已采用华兴源创测试机加分选机的解决方案。经过2年多的不断改善,华兴源创的测试解决方案在效率、稳定性等多项关键指标上已经达到国际同类水平。今天交付的4台5G射频专用测试设备主要用于公司射频开关、LNA等前端芯片的测试,由于射频测试设备的技术门槛很高,截止目前我们基本上全部采用海外品牌测试机,此次首次采购数量不多,但意义重大。首先是韦尔半导体和华兴源创的战略合作又往前发展了一步,从一个品类变成了两个品类,其次今后韦尔半导体的射频前端芯片非常有机会能逐步通过采用高性价比的国产测试解决方案来提高产品竞争力。苏州华兴源创科技股份有限公司董事长陈文源出席了仪式,他表示:首先要感谢韦尔半导体和嘉盛半导体对华兴源创的信任和大力支持,因为公司作为半导体测试设备的新厂商,成败的关键因素之一就是一定要有几家下游铁杆客户不离不弃的陪跑。在韦尔半导体项目推进过程中接收端在高频5GHz范围左右扑捉小信号峰值的时候出现过数值不稳定现象,这是一个集硬件,算法,和信号完整性交织在一起的复杂问题。在韦尔半导体的信任和支持下我们工程师们历经约1个月的奋战,应用了严谨的鱼骨法问题解决方式,做了数十次DOE,终于找到原因,并用精巧的算法实现了稳定地抓取每一次数据的解决方案,这为今天的顺利交付奠定了扎实的基础。其次今天交付的设备,对于华兴源创只是万里长征开始的第一步,我们将持续投入研发,通过与海外同类畅销机型的对比以及从满足客户的各种需求出发,不断升级完善产品,希望在不久的将来,华兴源创的5G射频测试解决方案能成为国内射频芯片厂商乃至全球射频芯片厂商心目中的最佳测试解决方案。出席此次仪式的还有上海韦尔半导体股份有限公司运营总监蒋海林、生产运营高级总监褚彩萍、封装总监俞江彬、嘉盛半导体(苏州)有限公司总经理李操权、运营总监石岩、销售总监朱勤、测试总监向国平、苏州华兴源创科技股份有限公司运营中心长姚夏、董事会秘书朱辰、半导体事业部总监黄龙。华兴源创是行业领先的工业自动化测试设备与整线系统解决方案提供商,基于公司在电子、光学、声学、射频、机器视觉、机械自动化等多学科交叉融合的核心技术为客户提供从整机、系统、模块、SIP、芯片各个工艺节点的自动化测试设备。目前华兴源创产品已经服务于平板显示、半导体、可穿戴、新能源车等多个领域。
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