半导体荷重传感器

新一代MEMS传感器将为智能手机、消费类智能产品、医疗保健和零售终端在性能和功能方面带来又一次飞跃。 　　MEMS技术是强大的运动、环境等微型传感器的基石，这些传感器为当今的智能手机和可穿戴设备提供了直观的情境感知功能。现在，意法半导体的新一代MEMS技术将传感器性能提升到了新的高度，超越了现有市售产品在输出精度和功耗方面的技术限制。新一代MEMS传感器可以为活动检测、室内导航和精密工业传感等应用提供业界最高的精度。同时，它们还可以保持较低的功耗以延长运行时间。 　　部分MEMS产品具有的额外功能包括意法半导体的机器学习内核(MLC)和静电传感。MLC为以极低功耗运行的边缘应用带来了自适应的机器学习功能。电荷变化(QVAR)感应通道通过智能手表或健身手环中与身体接触或非接触式感应(雷达)来监测静电电荷的变化。带有QVAR的意法半导体MEMS传感器可以增强用户界面控制，以确保无缝交互，或简化湿度和冷凝检测。雷达模式应用包括人员存在检测、活动监控以及人员计数。 　　意法半导体MEMS营销总监Simone Ferri表示：“开创性的新一代产品基于意法半导体在MEMS专业知识和工艺技术方面的广泛投入和历史积累。除了彻底革新传感器的性能，我们还通过可选的静电传感和机器学习来进一步扩展它们的功能。由此提供了为Onlife时代做好准备的新一代MEMS传感器，通过始终存在、始终在线以及始终连接，使智能生活更透明、更顺畅。” 　　此次推出的新一代传感器包括LPS22DF和LPS28DFW(防水)大气压力传感器，其工作电流为1.7 µA，绝对压力精度为0.5 hPa。LPS28DFW具有双满量程功能，能够在水下和水上提供精确的垂直定位。其满量程范围可选择最大1260 hPa或4060 hPa，相当于约30 m深度处的水压。这两款传感器可以提高便携式设备和可穿戴设备(包括运动手表)的高度计和气压计性能。典型的工业应用包括天气监测和精确水深传感等。 　　新款三轴MEMS加速度计LIS2DU12，专门用于构建具有主动抗混叠功能的超低功耗架构。其抗混叠滤波器的电流消耗是市场上较低的。LIS2DU12在100 Hz输出数据速率(ODR)下电流消耗仅3.5 µA，也是第一款带I3C接口的市售MEMS加速度计。所有这些功能都集成在最小的2.0 mm x 2.0 mm x 0.74 mm封装中。这款加速度计非常适用于可穿戴设备、助听器、真无线立体声(TWS)耳机、无线传感器节点以及任何必须进行系统优化的应用。 　　新款6轴iNEMO惯性模块LSM6DSV16X包含QVAR静电传感，以及MLC和有限状态机(FSM)，可增强响应并节省电源，其工作电流可低至12 µA。新的FSM可实现自适应自配置(ASC)，由此，该6轴MEMS器件可以感知情境，并在不唤醒系统的情况下自行重新配置，从而实现显著的额外节能效果。这款产品即将投入量产，已在一种静电雷达应用中进行了演示，用于用户检测以加速唤醒笔记本电脑。 　　新款压力传感器LPS22DF提供2.0 mm x 2.0 mm x 0.73 mm 10-lead LGA封装(eStore有售)，LPS28DFW提供2.8 mm x 2.8 mm x 1.95 mm 7-lead LGA封装(eStore提供免费送样)，这两款产品目前已在量产，可通过分销商采购，售价1.90美元起。LIS2DU12和LSM6DSV16X计划于2022年晚些时候推出。

称重传感器精准与否，差别究竟在哪里？作为称重核心元器件的称重传感器，其质量的好坏直接决定了称量结果的精准。俗话说，“失之毫厘，差以千里”，有时候小小的误差就会造成难以挽回的损失，那么小梅家是如何做到每一只传感器都精准如一的呢？就让小编为大家来一一揭秘吧。 “工欲善其事，必先利其器”梅特勒-托利多的传感器精准的背后除了其先进的精益生产理念，更离不开货真价实的设备投入。 可靠的力源 1000kg力机 称重界大家都说自己准，那问题来了，准不准到底谁说了算？小编为大家科普一下，国家计量法规规定，可溯源的标准力值必须来自国家或国际的法定计量单位(国际法制计量组织或中国国家计量院)。梅特勒-托利多的实验室和生产车间的测试设备力值均使用标准的静重力机, 其砝码均可溯源到国家计量院，确保梅特勒-托利多的称重传感器的精度满足国家和国际标准。 力机界的“劳斯莱斯” 50T 静重式力标准机 小梅家独有的“力机界的劳斯莱斯” – 由中国运载火箭技术研究院101所研制的50T静重式力标准机， 在称量界可谓无出其右。 除此之外，小梅家的生产工艺还拥有多道检测工序，层层把关，为用户提供最优质可靠的称重传感器 全自动角差修正 温度补偿 自动角差机 自动角差机将最大程度地对传感器进行角差修正，高低温测试让传感器从容面对严寒酷暑 盐雾试验 沙尘试验箱 为了保证每只传感器的精准可靠，梅特勒-托利多绝不放过每一个有可能出现差错的环节，称重传感器精确度的差别，就源自对质量的严格把控！ 选择正确称重模块的8个步骤1. 计算称重量程 2. 确定机电控制要求 3. 在安装和操作过程中确保安全 4. 符合准确度要求 5. 符合危险区域要求 6. 符合环境条件 7. 促进快速且经济的安装 8. 确定校准方法 标准秤不适用的场合，压式称重模块可以组建成一台秤。 组建的秤可以是定制平台秤、传送带秤、料罐、料斗或反应器。勿庸置疑，称重模块必须进行仔细选择，以提供其整个生命周期所需的性能。《称重模块购买指南》旨在支持工程师对适合的称重模块进行评估，引导工程师在 8 个步骤内，通过所有相关点为其称重应用做出正确的选择。浏览梅特勒-托利多官方网站，即可快速下载指南！ 盐雾腐蚀试验箱

11月10日，中国最大的传感器企业在瑞士证券交易所上市，成为中国A股首家走出去的国产传感器公司，并创造了中国半导体行业最大GDR发行等多项境外IPO记录，详请见下文。第一家走上国际市场的A股国产传感器公司！募资4.45亿美元，18年来中国半导体企业最大境外IPO！11月10日，中国最大的传感器企业、全球第三大图像传感器公司韦尔股份，成功发行全球存托凭证（下文简称“GDR”），正式在瑞士证券交易所上市，股票代码为“WILL”。GDR是指符合条件的A股上市公司，在规定海外交易所发行的股票。简单点说，就是公司不在瑞士发行新股，而是把国内股票换个“包装”拿来卖，更简单，也更省钱省力。同理，在美国以这样的形式上市，发行的证券就叫美国存托凭证。据悉，本次韦尔股份境外IPO发行的GDR数量为31,000,000份，所代表的基础证券A股股票数量为31,000,000股，最终定价为每份GDR14.35美元（约合104.72元人民币），募集资金总额约为4.45亿美元（约合32.47亿人民币）。▲来源：瑞士交易所韦尔股份成为2023年第七家在瑞士交易所上市的公司，并且也是中国A股国产传感器企业中，第一家走上国际市场的公司。据摩根大通等多家券商信息显示，本次韦尔股份境外IPO创造了多项第一：今年年初以来最大的中国科技行业公司境外IPO；中国半导体行业2005年以来最大的境外IPO；中国半导体行业最大的GDR发行。据此前公告显示，本次发行GDR的募集资金扣除发行费用后，预计将主要用于公司的核心产品和技术的研发和升级，包括收购或投资与公司核心业务互补或协同的业务、产品、服务和技术；此外，还将用于支持公司的全球扩张和补充公司营运资金。韦尔股份认为，本次境外发行全球存托凭证并上市的目的主要有三个，分别是：加强技术创新与产品研发投入、深化全球战略布局和利用资本市场支持，进一步优化股权结构和公司治理水平。韦尔股份如何成就？国际化竞争，投融资并购！中国最大传感器企业境外IPO背后，折射国产传感器企业的未来出路！在上文，韦尔股份本次境外IPO募资目的介绍中，除了产业和技术的研发外，韦尔股份还着重提到了收购/投资公司核心业务互补或协同的业务、产品；以及支持公司全球扩展等重要战略目的：作为全球知名的半导体设计公司，公司拥有广泛的全球化业务布局和客户基础，研发中心和业务网络遍布全球。国际化是公司发展的长期战略，公司将利用本次发行进一步提升国际市场知名度，加大海外市场资源投入，扩大全球市场份额。加强美国、欧洲、亚太等地区的供应链及销售体系建设；加强与全球客户和供应商的战略合作，进一步提升公司全球品牌形象；增强国际研发力量，规划布局全球化研发中心，持续加强产品研发投入，保持技术领先优势。大力引进国际化背景的管理人才和设计人才，加强人力资源建设。面向国际化竞争进行全球扩张，以及投融资并购，是国产传感器企业进一步发展的必然道路。据工信部赛迪顾问的统计数据显示，2022年全球传感器市场规模达1840.5亿美元（约合13404.9亿人民币），显然就整个传感器产业来说，这是一个庞大的市场。▲来源：赛迪顾问然而，传感器种类繁多，细分领域数不胜数，据相关资料显示，全球有超过3.2万种传感器，包含了力、热、电、光、磁、声、气体、湿度等等众多领域，以至于对传感器产业来说分类也是一件极为艰难的工作。庞大的传感器产业分布到每条细分赛道，导致许多传感器赛道产值有限，靠单一种类的传感器业务，难以支撑企业的发展壮大。同时，传感器又是一个技术门槛高、厚积薄发的高科技产业，单靠自身研发，去攻克不同的传感器领域，需要花费相当长的时间。因此，投融资及并购，成为许多传感器巨头壮大的重要发展战略。譬如美国传感器巨头精量电子（MEAS）旗下就汇聚了ICSensors，PEncoder Devices，MWS，Atex等收购回来的传感器品牌，后来自己又被另一个传感器巨头TE（泰科电子）收购，成为TE巩固其传感器地位的基石，目前TE已收购了全世界近30家传感器公司，是全球传感器产品种类较多的公司之一。▲TE公司传感器产品种类，来源：第二届传感器与应用技术大会韦尔股份也是从元器件分销开始，通过“蚂蚁吞象”的教科书式资本运作，并购了世界前列的图像传感器企业豪威科技，从而切入传感器赛道，发展为全球第三大图像传感器企业，成为中国半导体产业不可忽视的力量。也正因为传感器产业的碎片化，许多传感器赛道的产值在单一国家、单一市场是比较细小的，只有通过全球化，参与国际化竞争，才能获得更大的市场，国产传感器企业的国际化战略十分关键。全球工业观察家林雪萍也曾指出：传感器的市场是高度国际化，没有国际化市场的支撑，传感器厂家很难形成规模效应，就很难分担研发成本；而五花八门传感器的技术源头，也是广泛国际化的，只有借力不同国家聪明的工程师和科学家们，才能找到了撬开物理世界秘密的传感器钥匙。这意味着，传感器是一个市场国际化、技术国际化、极富于流动性的产业形态。但是在传感器的并购市场上，中国企业一向很难挤进去，这对于中国传感器的未来发展是一个巨大的隐患。即使中国是全球最大的市场，但细分到众多的传感器，靠单一的中国市场远远无法很好的支撑传感器企业的成长。博世、安森美、三星、索尼等企业在各自细分传感器领域，都是国际化的市场战略才能支撑其企业规模。作为中国最大的传感器企业，韦尔股份的营收大头，也是来自境外地区，据其2022年度报告显示，韦尔股份境外营收达164亿元，境内收入则为36亿元，正是深入参与国际化竞争，才能支撑韦尔股份庞大的图像传感器营收。▲韦尔股份分地区营收情况，来源：韦尔股份2022年度报告韦尔股份背后的光环：全球第九大半导体设计企业，全球第三大图像传感器企业，中国最大传感器公司，中国半导体首富据知名市场调研机构TrendForce集邦咨询统计数据显示，韦尔股份（Will Semiconductor）自2022年以来，连续进入全球IC设计TOP 10 名单内，据2023年第二季度数据显示，韦尔股份排名全球IC设计公司第九。韦尔股份是继华为海思被制裁后，唯一一家进入全球前十的中国大陆本土IC设计公司。▲来源：TrendForce韦尔股份的主要营收为CMOS图像传感器芯片设计业务，是全球COMS图像传感器三大巨头之一，据知名咨询企业Yole的2023年CMOS产业报告显示，韦尔股份（Omnivision）占据全球CIS市场份额的11%，仅次于索尼与三星电子。▲图片来源：Yole Développement据韦尔股份的2022年度报告显示，其“图像传感器解决方案”营收达136.75亿元，占总营收的69%，是中国企业中，纯传感器业务营收最高的公司，其目前市值为1300亿元，市值高峰时超过2200亿元，无论是市值还是营收，韦尔股份均是中国最大的传感器企业。此外，据10月份刚刚发布的《2023胡润百富榜》显示，韦尔股份创始人虞仁荣以445亿元的身家，排名中国富豪榜第102名，同时也是中国半导体产业首富。相关信息参看《445亿，他再次成为中国传感器首富！》▲韦尔股份虞仁荣，来源：网络结语作为中国最大的传感器企业，韦尔股份的壮大历程，折射出国产传感器企业重要的发展战略：投融资并购、国际化竞争。通过并购，韦尔股份收购了豪威科技，切入CMOS图像传感器赛道，通过国际化竞争，韦尔股份发展成为全球第三大图像传感器企业，其境外收入是企业主要营收来源。本次韦尔股份境外IPO，成为首家走进国际市场的A股国产传感器企业，也是其国际化战略的重要贯彻。对于传感器这样高科技门槛、高度碎片化的产业，天然具有并购、国际化的需求，通过并购破除不同传感器赛道的壁垒，通过国际化攫取更大的市场。期待，未来越来越多的中国传感器企业参与国际化竞争！

据怀柔区消息，怀柔区与中科院半导体所、海创微芯公司合作签约仪式1月29日在怀柔科学城产业转化示范区举行。伴随科研院所和头部企业入驻，怀柔区高端仪器装备和传感器产业集聚发展再添新动力。　　当前，怀柔科学城全面进入建设与运行并重新阶段，综合性国家科学中心29个在建科学设施平台全面提速，“十四五”科学装置设施平台加快布局落地。以怀柔科学城建设为重要契机，怀柔区着力发展高端仪器装备和传感器产业，致力于把科学城建设过程作为科技创新成果转化过程，打造高端仪器装备和传感器产业基地。　　据悉，中科院半导体所拟将重组的全国重点实验室、光电子器件国家工程研究中心和国家光电子工艺中心和半导体激光器落地怀柔。“我们将发挥自身科研和人才优势，在技术研发和成果转化方面为怀柔产业发展提供活力，进一步促进科研成果转化为现实生产力。”中国科学院半导体所所长谭平恒说。　　另据了解，赛微电子公司是全球领先、国际化运营的高端集成电路晶圆代工生产商，也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业晶圆制造商。海创微芯公司作为其全资子公司，主要承担MEMS高频通信器件、氮化镓功率器件的设计及制造工艺开发，将负责建设运营6/8英寸MEMS晶圆中试生产线和研发平台、8英寸晶圆级封装测试线，先进MEMS工艺设计与服务北京市工程研究中心。该公司董事长杨云春表示，将着力推动MEMS行业关键核心技术、优秀人才团队、上下游合作伙伴集聚怀柔，争取把合作项目打造成为怀柔区、北京市乃至全国示范标杆。　　怀柔区区长于庆丰表示：“半导体所和海创微芯入驻怀柔，把优质资源集聚在怀柔，把优秀人才放在怀柔，为国家战略科技力量做出贡献。这不仅是物理聚集，更是化学反应。”目前北京市相继出台了《关于推动北京市传感器产业创新发展工作方案》《关于支持发展高端仪器装备和传感器产业的若干政策措施》等产业发展支持政策，怀柔区也已出台相关支持政策并配套产业空间，吸引百余家仪器装备和传感器企业聚集，产业生态体系初步形成。　　此外，怀柔科学城产业转化示范区依托怀柔科学城大科学装置和交叉研究平台的核心资源，建设集研发办公、中试生产、科技服务于一体的硬科技产业园区，推动怀柔“两区”建设，将老城区空间资源、怀柔科学城的产业辐射、周边的生态环境有机融合，打造最具智慧的一平方公里，树立产城融合新典范，形成高端仪器装备和传感器产业战略高地。

2017年11月24日，国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项“一体化高精度称重传感器的研制及应用”项目在牵头单位上海舜宇恒平科学仪器有限公司召开了启动会。上海市科学技术委员会基地处领导，行业专家，项目参与单位的领导、科研骨干等参加了本次会议。该项目为期三年，由上海舜宇恒平科学仪器有限公司牵头，联合中国工程物理研究院机械制造工艺研究所、长沙湘平科技发展有限公司、四川中测测控科技有限公司共同承担。项目将开发十万分之一分辨的高精度称重传感器，并完成工程化产业化开发和计量测试标准方法，实现批量生产，在天平称重、水分测量、密度和热重测量等领域形成应用示范和产业化推广。 据项目负责人朱新强总经理介绍，高精度称重传感器不但在工业、制药、环境、医疗等诸多行业中不可或缺，广泛应用，而且也是精确量值传递的计量保障，具有重要科学意义。我国只能实现万分之一分辨，对这一传感器部件进行研究，不但可打破国外的垄断，使我国称量和计量领域进入国际先进行列，而且对各领域的基础研究可提供有力支撑。上海舜宇恒平科学仪器有限公司在精密称重技术和电子天平产品方面具有自己的核心技术和丰富研究经验，是我国首先开发出万分之一称重传感系统并商品化的企业，当前是国产天平品种最多、技术领先、国内产值最大的公司，开发的AE224型电子分析天平2016年被行业协会等权威机构评为“国产好仪器”中唯一称重类产品。

4月7日，2022年第二批安徽省重大项目集中开工动员会马鞍山分会场活动举行。图片来源：见马鞍山“见马鞍山”消息显示，马鞍山市第二批集中开工项目56个，总投资397.8亿元。其中包括德胜芯片封装及光学摄像头生产项目、智能超声波计量传感器研发制造项目、半导体封装测试项目等。以下是部分项目介绍：德胜芯片封装及光学摄像头生产项目该项目由安徽省中科达智能科技有限公司投资建设，总投资1.5亿元，租赁7500平方米厂房，建设芯片封装及光学摄像头生产线，年产芯片封装300万个，摄像头模组400万个。智能超声波计量传感器研发制造项目该项目由迈拓科技（安徽）有限公司投资建设，总投资10.6亿元，总建筑面积7.38万平方米，建设智能超声波水表生产线3条和智能超声波气表生产线1条，年产148万套仪表设备。半导体封装测试项目该项目总投资5.0亿元，租赁3万平方米厂房，建设半导体封测生产线8条，年产1.9亿个半导体元器件。

p　　2017年11月24日，国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项“一体化高精度称重传感器的研制及应用”项目在牵头单位上海舜宇恒平科学仪器有限公司召开了启动会。上海市科学技术委员会基地处领导，行业专家，项目参与单位的领导、科研骨干等参加了本次会议。/pp　　该项目为期三年，由上海舜宇恒平科学仪器有限公司牵头，联合中国工程物理研究院机械制造工艺研究所、长沙湘平科技发展有限公司、四川中测测控科技有限公司共同承担。项目将开发十万分之一分辨的高精度称重传感器，并完成工程化产业化开发和计量测试标准方法，实现批量生产，在天平称重、水分测量、密度和热重测量等领域形成应用示范和产业化推广。/pp　　据项目负责人朱新强总经理介绍，高精度称重传感器不但在工业、制药、环境、医疗等诸多行业中不可或缺，广泛应用，而且也是精确量值传递的计量保障，具有重要科学意义。我国只能实现万分之一分辨，对这一传感器部件进行研究，不但可打破国外的垄断，使我国称量和计量领域进入国际先进行列，而且对各领域的基础研究可提供有力支撑。上海舜宇恒平科学仪器有限公司在精密称重技术和电子天平产品方面具有自己的核心技术和丰富研究经验，是我国首先开发出万分之一称重传感系统并商品化的企业，当前是国产天平品种最多、技术领先、国内产值最大的公司，开发的AE224型电子分析天平2016年被行业协会等权威机构评为“国产好仪器”中唯一称重类产品。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/ee74af00-ad68-4bfd-8b50-828e3ceb74e1.jpg" title="微信图片_20171219134856(1)_meitu_1.jpg"//pp style="text-align: center "（一）项目启动大会/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/b791e411-dc3b-4cc4-885a-5c19d9754690.jpg" title="微信图片2_meitu_2.jpg"//pp style="text-align: center "（二）颁发技术专家组聘书/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/7de672c8-8b51-4a22-bf08-4b593324bf75.jpg" title="微信图片3_meitu_3.jpg"//pp style="text-align: center "（三）颁发用户专家委员会聘书/p

中国科学院半导体研究所超晶格国家重点实验室研究员吴南健团队研制出一种低功耗无源/半无源双模无线温湿度传感器。相关研究成果在传感器领域学术期刊IEEE SENSORS JOURNAL上发表，该论文在2015年2月和3月连续入选为该期刊的前50热点论文。　　无线温湿度传感器在高危环境监测、紧急救援、先进物流仓储系统、设备监测、建筑物监测和文物监测等领域具有非常广阔的应用前景，但无线传感器的功耗和成本严重限制了无线传感器网络的大规模应用。在国家自然科学基金和国家科技支撑项目的支持下，课题组研制出一种可与现有商用超高频RFID系统完全兼容的低成本低功耗无源/半无源双模无线温湿度传感器。传感器采用了自主研发的核心芯片，可实现高效率的电磁波能量采集、身份识别、温湿度测量、数据处理和无线通信的功能，传感器的最大工作距离可达6米。该传感器符合ISO18000-6C国际标准，可通过现有商用超高频RFID阅读器进行操作，还可支持扩展多种其他功能的传感器。使用这种传感器有望将无线传感器网络融合至现有的超高频RFID系统中，从而大幅降低无线传感器网络的应用成本，提升无线传感器网络的市场竞争力。

培训内容：- HBM称重传感器概览，包括传感器基础原理、产品特点；- HBM称重传感器在各行业的应用和配置，如传统衡器，工业检重，食品灌装等。培训时长1小时课程对象应用称重技术实现工业自动化的技术工程师，如自动化机械制造厂家等。主讲讲师简介高岳文，2018年加入HBM公司，现担任HBK公司称重传感器产品经理，负责称重传感器产品的市场推广。培训时间6月30日（周二）下午14:00-15:00 费用：免费备注培训将通过网络授课的方式进行，请自备具备上网条件的电脑报名方式：长按识别下方二维码进入报名已通过其他方式报名，并收到报名确认邮件的客户，无需重复报名

2006年MICONEX展会期间，德国赛多利斯公司的“PR6202称重传感器”荣获了由中国仪器仪表学会颁发的“仪器仪表科技成果奖”。该奖项由中国仪器仪表学会设立，用于奖励在全国仪器仪表领域中做出卓越贡献的科技工作者或集体，被誉为中国仪器仪表界的一项盛事。 PR6202称重传感器专门为制药行业和食品行业而设计，是世界上第一只符合“EHEDG——欧洲卫生工程设计集团”标准的卫生型传感器。其100%的卫生设计和100%的免维护，使它一问世便成为了赛多利斯璀璨的新星。背景资料： 中国仪器仪表学会科学技术奖是经国家科学技术部批准，在国家科技奖励主管部门注册，经国家科学技术奖励工作办公室颁证，由中国仪器仪表学会设立的面向全国仪器仪表领域的综合性奖项。仪器仪表科学技术奖包括：（一）仪器仪表科学技术特等奖；（二）仪器仪表科学技术创新奖；（三）仪器仪表科学技术成果奖；（四）仪器仪表优秀产品奖。

近日，以中国科学院上海微系统与信息技术研究所为牵头单位的国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“高精准分子识别有机半导体光电双模智能嗅觉传感器”项目启动暨实施方案论证会在上海召开。科技部高技术研究发展中心领导、中科院重任局领导、项目咨询专家组、项目和课题单位管理部门、项目核心成员等30余人参加了本次会议。项目咨询专家组由中科院化学研究所刘云圻院士、华东理工大学田禾院士、吉林大学卢革宇教授、海关学院谢秋慧教授、中科院上海技术物理研究所胡伟达研究员、复旦大学邓勇辉教授、华中科技大学刘欢教授、北京信息科技大学尤睿教授、华中科技大学段国韬教授组成。 　　会上谢晓明所长代表项目牵头单位对与会领导及专家表示热烈欢迎，希望各位专家对项目实施方案提出可行的宝贵意见与建议，并表示将为项目实施提供全方位的支持和保障，以确保项目顺利推进并取得创新成果。项目负责人兼课题三负责人付艳艳研究员、课题一负责人马骧教授、课题二负责人黄佳教授，分别就项目和具体课题的研究内容、技术实施方案、预期成果及推进计划等内容进行了详细汇报。 　　项目专家组充分肯定了本项目的总体实施方案，并着重指出在未来研究过程中，项目团队各课题承担方应紧密合作，强化协同机制，确保项目各关键节点把控及整体研究目标顺利实现。此外，专家组聚焦课题研究方向、技术创新点及项目实施可能面临的挑战和问题等方面，共同提出了针对性指导意见。经专家质询答疑、技术指导和综合评议，项目实施方案顺利通过专家论证。

科技日报北京1月22日电 德国维尔茨堡—德累斯顿卓越集群ct.qmat团队的理论和实验物理学家开发出一种由铝镓砷制成的半导体器件。这项开创性的研究发表在最新一期《自然物理学》杂志上。由于拓扑趋肤效应，量子半导体上不同触点之间的所有电流都不受杂质或其他外部扰动的影响。这使得拓扑器件对半导体行业越来越有吸引力，因为其消除了对材料纯度的要求，而材料提纯成本极高。拓扑量子材料以其卓越的稳健性而闻名，非常适合功率密集型应用。新开发的量子半导体既稳定又高度准确，这种罕见组合使该拓扑器件成为传感器工程中令人兴奋的新选择。利用拓扑趋肤效应可制造新型高性能量子器件，而且尺寸也可做得非常小。新的拓扑量子器件直径约为0.1毫米，且易于进一步缩小。这一成就的开创性在于，首次在半导体材料中实现了微观尺度的拓扑趋肤效应。这种量子现象3年前首次在宏观层面得到证实，但只是在人造超材料中，而不是在天然超材料中。因此，这是首次开发出高度稳健且超灵敏的微型半导体拓扑量子器件。通过在铝镓砷半导体器件上创造性地布置材料和触点，研究团队在超冷条件和强磁场下成功诱导出拓扑效应。他们采用了二维半导体结构，触点的排列方式可在触点边缘测量电阻，直接显示拓扑效应。研究人员表示，在新的量子器件中，电流—电压关系受到拓扑趋肤效应的保护，因为电子被限制在边缘。即使半导体材料中存在杂质，电流也能保持稳定。此外，触点甚至可检测到最轻微的电流或电压波动。这使得拓扑量子器件非常适合制造尺寸极小的高精度传感器和放大器。

24日，美国商务部通过其工业和安全局（BIS）对俄罗斯进一步入侵乌克兰做出了回应，实施了一系列全面的严格出口管制，这将严重限制俄罗斯获得维持其侵略性军事能力所需的技术和其他物品。这些控制措施主要针对俄罗斯的国防、航空航天和海事部门，并将切断俄罗斯获得重要技术投入的机会，使其工业基础的关键部门萎缩，并削弱其在世界舞台上施加影响的战略野心。国际清算银行的行动，以及财政部的行动，是拜登-哈里斯政府对俄罗斯侵略迅速而严厉回应的一部分。当天宣布的出口管制措施是商务部出口当局对美国物品（包括技术）以及针对单个国家使用美国设备，软件和蓝图生产的外国物品的最全面应用。国际清算银行针对俄罗斯的出口管制措施对莫斯科国防、航空航天和海运业所依赖的敏感物品实施了拒绝政策。这些物品，其中许多以前在运往俄罗斯时不受控制，包括半导体，计算机，电信，信息安全设备，激光器和传感器。制裁措施还对49个俄罗斯军事最终用户实施了严格的控制，这些最终用户已被添加到BIS的实体清单中。欧盟、日本、澳大利亚、英国、加拿大和新西兰已宣布计划实施实质上类似的限制，并免除对其本国生产的物品的新要求。

p 中国科学院半导体研究所超晶格国家重点实验室高速图像传感及信息处理课题组副研究员刘力源等研制出面向860GHz CMOS太赫兹图像传感器的像素器件。相关研究成果将于2017年在太赫兹领域学术期刊IEEE Transaction on Terahertz Science and Technology 上发表。/pp　　太赫兹 (Terahertz, THz) 波是指频率在0.3 THz - 3 THz 范围内，波长(1mm ~ 100mm) 介于毫米波与远红外光之间的电磁波。太赫兹波成像技术作为一种新型无损成像技术正在兴起，在生物医学、医疗诊断、安全检测、危险物品检查、隐形武器探测、材料表征和探伤等科学研究以及日用领域具有非常广阔的应用前景，业已成为各国争相研究的热点技术。在国家重点研发计划课题、国家自然科学基金、北京市自然科学基金、中科院青年创新促进会基金和中科院基金的支持下，课题组研制出一种基于标准CMOS工艺的太赫兹像素器件及其集成化低噪声信号处理电路，如图1所示。器件采用了自主设计的CMOS片上天线、太赫兹波段匹配网络和高电压响应度晶体管结构。在常温工作条件下，像素器件的太赫兹电压响应率为3.3kV/W @860GHz，噪声等效功率为106pW/Hz0.5。课题组也验证了像素器件信号处理电路，它集成了低噪声斩波式仪表放大器和高精度的SD-ADC，为实现单片集成高分辨率太赫兹图像传感器奠定了基础。图2是基于像素器件扫描成像的实验结果。基于像素器件，有望进一步实现大面阵CMOS太赫兹图像传感器，提升我国在太赫兹成像领域的国际竞争力。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201706/insimg/bbac28dc-c956-49ab-9abd-667953f56d61.jpg" title="1.jpg"/　/pp style="text-align: center "图1 太赫兹像素器件结构(左)芯片照片(右)/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201706/insimg/8884854d-8f47-4c43-9977-98688dfc232b.jpg" title="2.jpg"//pp style="text-align: center "图2 成像结果：(a) 树叶的成像 (b) 隐藏在信封内的物体成像/ppbr//p

传感器行业盛事——2022深圳国际传感器展暨高峰论坛6月于深圳国际会展中心启幕传感器行业盛事深圳国际传感器技术与应用展览会暨高峰论坛（SENSOR EXPO）确定于2022年8月23-25日在全球最大会展中心深圳国际会展中心（宝安新馆）举行展会概况随着5G技术以及人工智能、物联网及其他智慧领域等高新技术产业的迅速崛起和高速发展，人类社会进入了一个万物互联的新时代，传感器作为感知与传导信息的核心组件，也成为了当下炙手可热的焦点。为推动新一代传感器技术在应用领域的创新实践和产业上下游之间的贸易交流，由广东智展展览有限公司牵头，联合国内外多家行业协会、机构、高校及媒体，于2022年8月23-25日在深圳国际会展中心举办2022深圳国际传感器技术与应用展览会暨高峰论坛（以下简称：SENSOR EXPO 2022）。展会重点展示各类传感器产品、原材料及元器件、设计与制造设备、传感系统集成模块、仪器仪表、终端应用等，进行产业链的融合展出，以“专业展览+主题论坛”的形式，为行业呈现一场精彩的传感器盛宴。2021深圳国际传感器展览会已于2021年9月27-29日在深圳会展中心成功举办，组委会广东智展展览有限公司联合深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会打造，展出面积达15,000平方米，汇集众多国内外知名企业，展会吸引了来自比利时、日本、韩国、美国，俄罗斯、德国等多个国家和台湾、香港等地区的专业观众累计15,000余人次参观采购， 60多个采购团。高起点立足大湾区，Sensor Expo2022将成为推动行业交流与技术应用的前沿阵地2020年，大湾区国家级高新技术企业总数突破两万家，位居全国之首。作为大湾区创新驱动的引擎，深圳前瞻布局5G、人工智能、集成电路、智能制造、无人机、生物医药等未来科技领域，并取得卓越成果，直接带动了传感器技术的研究与发展，并孕育了广阔的市场。SENSOR EXPO 2022聚焦传感器设计、制造与应用所涉及的材料、装备与技术，突出产品与技术应用，将成为推动中国传感器行业进行产品与技术展示、深入应用市场的前沿阵地。高规格SENSOR EXPO 2022将在全球最大的展馆举行SENSOR EXPO 2022选择在全球最大的会展中心-深圳国际会展中心（宝安新馆）举行，良好的硬件设施及服务，将为展会的品质提供更好的保证。作为全球超大型的会展中心，深圳国际会展中心地处粤港澳大湾区湾顶，地理位置优越，硬件设施先进，全馆5G覆盖，交通便利、配套完善，集海陆空铁轨五大交通优势。通往会展中心的地铁已正式开通，地铁口分别位于南、北登录大厅，为参展参观的人士带来了极大的便利。展馆同期将有汽车、新能源、智慧出行等多场下游展会举行，共享40多万平方米超大展会带来的蓬勃商机。高水平专业组展机构精心打造，凸显SENSOR EXPO2022专业品质展会主办方——智展展览为国际展览业协会UFI成员单位，荣膺2015年“中国十佳品牌组展商”、2018年“中国展览产业百强展览主办机构”殊荣，在工业类及科技类展会的品质管理和长远培育上经验丰富。主办方将整合传感器行业权威机构、科研院所、活跃媒体、重点企业，共同塑造SENSOR EXPO2022的专业品质。此外，主办方将充分深耕物联网、消费电子、智能汽车、自动化、仪器仪表、国防电子、航空航天、交通运输、农业水利、环境监测等多个应用领域，为供需双方挖掘潜在客户，创造商业机会。高质量SENSOR EXPO 2022聚焦传感器制造与应用，五大专题融合展出SENSOR EXPO 2022展会规划面积达20,000平方米，共分为五大专题展区。通过上下游产业链及关联模块的融合展出，能够全方位展示传感器行业各细分领域的技术与产品，让SENSOR EXPO2022真正成为传感器行业人士必须参加的交流盛宴。各类传感器展区压力传感器、光敏传感器、声音传感器、图像传感器、视觉传感器、温度传感器、称重传感器、重力传感器、生物传感器、无线传感器、变频功率传感器、电阻应变式传感器、压阻式传感器、热电阻传感器、电导传感器、激光传感器、霍尔传感器、加速度传感器、无线温度传感器、位移传感器；超声波测距传感器、雷达传感器、液位传感 器、真空度传感器、电容式物位传感器、锑电极酸度传感器、酸、碱、盐浓度传感器等；陶瓷传感器、薄膜传感器、厚膜传感器、集成传感器等；MEMS传感器、智能传感器等；传感器设计与制造设备、原材料及元器件展区封装与测试设备：传感器集成设备、各类封装设备、机械测试设备、电气测试设备、热力学测试设备、实验室设备等；原材料：半导体材料、金属材料、陶瓷材料、有机材料及其他材料等；元器件及配件：敏感元件、转换元件、连接器、陶瓷部件、 保护膜、光学元件、特种玻璃、变换电路和辅助电源；传感器ASIC、传感器IC接口、混合电路、LCD、密封壳体、 编码器、PCB电路板、精制螺栓、拉头材质、声波部件、温度计保护管、特种胶等配件等；传感器设计：传感器设计企业、科研院所、实验室等；传感器芯片、嵌入式系统及相关集成模块展区传感系统供应商和集成商、嵌入式软件和硬件企业、传感器芯片制造商、各类算法、通讯模块及云计算服务商、传感器AI技术服务商等；仪表仪器展区各类标准计量（量值传递）仪器、科学实验仪器、教学仪器、航空航天仪表、汽车仪表、矿用仪表、工业仪表、测试测量、变送器、流量计等；终端应用展区智慧城市、智慧医疗、物联网、机器人、消费电子（可穿戴、移动智能终端等）、智慧环境、智慧能源、智慧农业、汽车电子、智能家居、智能制造、人工智能、大数据、云计算、航空航天、工业自动化、电力等。高体验同期举办多场行业峰会及交流活动更好的商业体验，呈现更好的展出效果由中国电子元件行业协会敏感元器件与传感器分会、中国仪器仪表学会传感器分会指导，广东智展展览有限公司联合湖南省传感器产业促进会、广州市半导体协会、深圳市半导体行业协会、深圳市物联网智能技术应用协会、珠海市物联网行业协会、浙江省半导体行业协会、深圳市集成电路产业协会、《仪表技术与传感器》等国内行业权威组织、专家学者、重点企业，在展会同期重点打造主题论坛——2022深圳国际传感器技术与应用高峰论坛，围绕传感器研发领域“卡脖子”技术、未来发展趋势、应用场景等进行技术分享和观点交流。同时举办MEMS及智能传感器技术研讨会，境外采购商洽谈会，传感器新产品、新技术推广会，工程师沙龙活动，一对一供需对接会等30多场多层次的商业活动，进一步提升观展体验和参展效果。同时，SENSOR EXPO同期还有第20届深圳国际小电机及电机工业、磁性材料展览会，2022深圳国际线圈工业、电子变压器及绕线设备展览会，2022深圳国际粉末冶金、硬质合金及先进陶瓷展览会等相关工业类展会举行。参展费用标准展位光地（36㎡起租）外资企业RMB14800/12㎡RMB1200/㎡USD2600/12㎡注：双开口展位在原展位费基础上加收10%费用。展位配置说明每个标准展位提供如下基本设施：三面围板(转角位2面或1面)、一桌两椅、地毯满铺、两支射灯、220V电源插座，中英文公司楣板制作。（注:租用光地展位不含以上设施。）组委会联络处电话：020-29193588，020-29193589手机：18520254916（微信同号）传真：020-29193591E- mail：ex36035@126.com 官网网址：http://www.sensor-expo.com.cn/ 微信公众号：sensorexpoandsummit

所谓气体传感器，是指用于探测在一定区域范围内是否存在特定气体和/或能连续测量气体成分浓度的传感器。在煤矿、石油、化工、市政、医疗、交通运输、家庭等安全防护方面，气体传感器常用于探测可燃、易燃、有毒气体的浓度或其存在与否，或氧气的消耗量等。气体传感器主要用于针对某种特定气体进行检测，测量该气体在传感器附近是否存在，或在传感器附近空气中的含量。因此，在安全系统中，气体传感器通常都是不可或缺的。从工作原理、特性分析到测量技术，从所用材料到制造工艺，从检测对象到应用领域，都可以构成独立的分类标准，衍生出一个个纷繁庞杂的分类体系，尤其在分类标准的问题上目前还没有统一，要对其进行严格的系统分类难度颇大。气体传感器的分类从检测气体种类上，通常分为可燃气体传感器（常采用催化燃烧式、红外、热导、半导体式）、有毒气体传感器（一般采用电化学、金属半导 体、光离子化、火焰离子化式）、有害气体传感器（常采用红外、紫外等）、氧气（常采用顺磁式、氧化锆式）等其它类传感器。从使用方法上，通常分为便携式气体传感器和固定式气体传感器。从获得气体样品的方式上，通常分为扩散式气体传感器（即传感器直接安装在被测对象环境中，实测气体通过自然扩散与传感器检测元件直接接触）、吸入式气体传感器（是指通过使 用吸气泵等手段，将待测气体引入传感器检测元件中进行检测。根据对被测气体是否稀释，又可细分为完全吸入式和稀释式等）。从分析气体组成上，通常分为单一式气体传感器（仅对特定气体进行检测）和复合式气体传感器（对多种气体成分进行同时检测）。按传感器检测原理，通常分为热学式气体传感器、电化学式气体传感器、磁学式气体传感器、光学式气体传感器、半导体式气体传感器、气相色谱式气体传感器等。先来了解一下气体传感器的特性：1、稳定性稳定性是指传感器在整个工作时间内基本响应的稳定性，取决于零点漂移和区间漂移。零点漂移是指在没有目标气体时，整个工作时间内传感器输出响应的变化。区间漂移是指传感器连续置于目标气体中的输出响应变化，表现为传感器输出信号在工作时间内的降低。理想情况下，一个传感器在连续工作条件下，每年零点漂移小于10%。2、灵敏度灵敏度是指传感器输出变化量与被测输入变化量之比，主要依赖于传感器结构所使用的技术。大多数气体传感器的设计原理都采用生物化学、电化学、物理和光学。首先要考虑的是选择一种敏感技术，它对目标气体的阀限制或爆炸限的百分比的检测要有足够的灵敏性。3、选择性选择性也被称为交叉灵敏度。可以通过测量由某一种浓度的干扰气体所产生的传感器响应来确定。这个响应等价于一定浓度的目标气体所产生的传感器响应。这种特性在追踪多种气体的应用中是非常重要的，因为交叉灵敏度会降低测量的重复性和可靠性，理想传感器应具有高灵敏度和高选择性。4、抗腐蚀性抗腐蚀性是指传感器暴露于高体积分数目标气体中的能力。在气体大量泄漏时，探头应能够承受期望气体体积分数10~20倍。在返回正常工作条件下，传感器漂移和零点校正值应尽可能小。气体传感器的基本特征，即灵敏度、选择性以及稳定性等，主要通过材料的选择来确定。选择适当的材料和开发新材料，使气体传感器的敏感特性达到优。接下来是关于不同气体传感器的检测原理、特点和用途：一、半导体式气体传感器根据由金属氧化物或金属半导体氧化物材料制成的检测元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化而进行气体浓度测量的。从作用机理上可分为表面控制型（采用气体吸附于半导体表面而产生电导率变化的敏感元件）、表面电位型（采用 半导体吸附气体后产生表面电位或界面电位变化的气体敏感元件）、体积控制型（基于半导体与气体发生反应时体积发生变化，从而产生电导率变化的工作原理） 等。可以检测百分比浓度的可燃气体，也可检测ppm级的有毒有害气体。优点：结构简单、价格低廉、检测灵敏度高、反应速度快等。不足：测量线性 范围较小，受背景气体干扰较大，易受环境温度影响等。二、固体电解质气体传感器固体电解质是一种具有与电解质水溶液相同的离子导电特性的固态物质，当用作气体传感器时，它是一种电池。它无需使气体经过透气膜溶于电解液中，可以避免溶液蒸发和电极消耗等问题。由于这种传感器电导率高，灵敏度和选择性好，几乎在石化、环保、矿业、食品等各个领域都得到了广泛的应用，其重要性仅次于金属—氧化物一半导体气体传感器。这种传感器介于半导体气体传感器和电化学气体传感器之间，选择性、灵敏度高于半导体气体传感器，寿命长于电化学气体传感器，因此得到广泛应用。这种传感器的不足之处是响应时间过长。三、催化燃烧式气体传感器这种传感器实际上是基于铂电阻温度传感器的一种气体传感器，即在铂电阻表面制备耐高温催化剂层，在一定温度下，可燃气体在表面催化燃烧，因此铂电阻温度升高，导致电阻的阻值变化。由于催化燃烧式气体传感器铂电阻外通常由多孔陶瓷构成陶瓷珠包裹，因此这种传感器通常也被称为催化珠气体传感器。理论上这种传感器可以检测所有可以燃烧的气体，但实际应用中有很多例外。这种传感器通常可以用于检测空气中的甲烷、LPG、丙酮等可燃气体。四、电化学气体传感器电化学气体传感器是把测量对象气体在电极处氧化或还原而测电流，得出对象气体浓度的探测器。包含原电池型气体传感器、恒定电位电解池型气体传感器、浓差电池型气体传感器和极限电流型气体传感器。1、原电池型气体传感器（也称：加伏尼电池型气体传感器，也有称燃料电池型气体传感器，也有称自发电池型气体传感器），他们的原理行同我们用的干电池，只是，电池的碳锰电极被气体电极替代了。以氧气传感器为例，氧在阴极被还原，电子通过电流表流到阳极，在那里铅金属被氧化。电流的大小与氧气的浓度直接相关。这种传感器可以有效地检测氧气、二氧化硫等。2、恒定电位电解池型气体传感器，这种传感器用于检测还原性气体非常有效，它的原理与原电池型传感器不一样，它的电化学反应是在电流强制下发生的，是一种真正的库仑分析（根据电解过程中消耗的电量，由法拉第定律来确定被测物质含量）传感器。这种传感器用于：一氧化碳、硫化氢、氢气、氨气、肼、等气体的检测之中，是目前有毒有害气体检测的主流传感器。3、浓差电池型气体传感器，具有电化学活性的气体在电化学电池的两侧，会自发形成浓差电动势，电动势的大小与气体的浓度有关，这种传感器实例就是汽车用氧气传感器、固体电解质型二氧化碳传感器。4、极限电流型气体传感器，有一种测量氧气浓度的传感器利用电化池中的极限电流与载流子浓度相关的原理制备氧（气）浓度传感器，用于汽车的氧气检测，和钢水中氧浓度检测。主要优点：体积小，功耗小，线性和重复性较好，分辨率一般可以达到0.1ppm，寿命较长。主要不足：易受干扰，灵敏度受温度变化影响较大。五、PID——光离子化气体传感器PID由紫外光源和气室构成。紫外发光原理与日光灯管相同，只是频率高，能量大。被测气体到达气室后，被紫外灯发射的紫外光电离产生电荷流，气体浓度和电荷流的大小正相关，测量电荷流即可测得气体浓度。可以检测从10ppb到较高浓度的10000ppm的挥发性有机物和其他有毒气体。许多有害物质都含有挥发性有机化合物，PID对挥发性有机化合物灵敏度很高。六、热学式气体传感器热学式气体传感器主要有热导式和热化学式两大类。热导式是利用气体的热导率，通过对其中热敏元件电阻的变化来测量一种或几种气体组分浓度的。其在工业界的应用已有几十年的历史，其仪表类型较多，能分析的气体也较广泛。热化学式是基于被分析气体化学反应的热效应，其中广泛应用的是气体的氧化反应（即燃烧），其典型为催化燃烧式气体传感器，其主要工作原理是在一定温度下，一些金属氧化物半导体材料的电导率会跟随环境气体的成份变化而变化。其关键部件为涂有燃烧催化剂的惠斯通电桥，主要用于检测可燃气体，如煤气发生站、制气厂用来分析空气中的CO、H2 、C2H2等可燃气体，采煤矿井用于分析坑道中的CH4含量，石油开采船只分析现场漏泄的甲烷含量，燃料及化工原料保管仓库或原料车间分析空气中的石油蒸 气、酒精乙醚蒸气等。七、红外气体传感器一个完整的红外气体传感器由红外光源、光学腔体、红外探测器和信号调理电路构成。这种传感器利用气体对特定频率的红外光谱的吸收作用制成。红外光从发射端射向接收端，当有气体时，对红外光产生吸收，接收到的红外光就会减少，从而检测出气体含量。目前较先进的红外式采用双波长、双接收器，使检测更准确、可靠。优点：选择性好，只检测特定波长的气体，可以根据气体定制；采用光学检测方式，不易受有害气体的影响而中毒、老化；响应速度快、稳定性好；利用物理特性，没有化学反应，防爆性好；信噪比高，抗干扰能力强；使用寿命长；测量精度高。缺点：测量范围窄；怕灰尘、潮湿，现场环境要好，需要定期对反射镜面上的灰尘进行清洁维护；现场有气流时无法检测；价格较高。八、磁学式气体分析传感器在磁学式气体分析传感器中，常见的是利用氧气的高磁化特性来测量氧气浓度的磁性氧量分析传感器，利用的是空气中的氧气可以被强磁场吸引的原理。其氧量的测量范围宽，是一种十分有效的氧量测量传感器。常用的有热磁对流式氧量分析传感器（按构成方式不同，又可细分为测速热磁式、压力平衡热磁式）和磁力机械式氧量分析传感器。主要用途：用于氧气的检测，选择性极好，是磁性氧气分析仪的核心。其典型应用场合有化肥生 产、深冷空气分离、火电站燃烧系统、天然气制乙炔等工业生产中氧的控制和连锁，废气、尾气、烟气等排放的环保监测等。九、气相色谱式分析仪基于色谱分离技术和检测技术，分离并测定气样中各组分浓度，因此是全分析传感器。在发电厂锅炉试验中，已有应用。工作时，从进样装置定期采取一定容积的气样，在流量一定的纯净载气（即流动相）携带下，流经色谱柱，色谱柱中装有称为固定相的固体或液体，利用固定相对气样各组分的吸收或溶解能力的不同，使各组分在两相中反复进行分配，从而使各组分分离，并按时间先后流出色谱柱进入检测器进行定量测定。根据检测原理，气相色谱式分析仪又细分为浓度型检测器和质量型检测器两种。浓度型检测器测量的是气体中某组分浓度瞬间的变化，即检测器的响应值和组分的浓度成正比。质量型检测器测量的是气体中某组分进入检测器的速度变化，即检测器的响应值和单位时间进入检测器某组分的量成正比。常用的检测器有TCD热导检测器、FLD氢火焰离子化检测器、HCD电子捕获检测器、FPD火焰光度检测器等。优点：灵敏度高，适合于微量和痕量分析，能分析复杂的多相分气体。不足：定期取样不能实现连续进样分析，系统较为复杂，多用于 试验室分析用，不太适合工业现场气体监测。十、其他气体传感器1.超声波气体探测器这种气体探测器比较特殊，其原理是当气体通过很小的泄漏孔从高压端向低压端泄漏时，就会形成湍流，产生振动。典型的湍流气流会在差压高于0.2MPa时变成因素，超过0.2MPa就会产生超声波。湍流分子互相碰撞产生热能和振动。热能快速分散，但振动会被传送到相当远的距离。超声波探测器就是通过接收超声波判断是否有空气泄漏。这类探测器通常用于石油和天然气平台、发电厂燃气轮机、压缩机以及其它户外管道。2.磁氧分析仪这种气体分析仪是基于氧气的磁化率远大于其他气体磁化率这一物理现象，测量混合气体中氧气的一种物理气体分析设备。这种设备适合自动检测各种工业气体中的氧气含量，只能用于氧气检测，选择性极好。

随着物联网的快速发展，开发高灵敏柔性化学阻敏型气体传感器对有毒有害气体的实时监测和安全预警具有重要研究意义。对于传统的硅基气体传感器而言，其高功函数金属叉指电极与半导体敏感材料之间能垒不匹配的问题限制了电荷有效传递及传感性能提升。该工作设计了Ti3C2TxMXene非金属电极（ME）和Ti3C2Tx/WS2气敏材料集成的全柔性纸基传感器，通过同质导电电极和敏感材料的创新设计有效解决能垒不匹配的难题。Ti3C2Tx/WS2纳米片敏感材料具有高导电性、快速电荷转移和丰富的活性位点等优势，与MXene同质导电电极在单一传感通道中形成欧姆接触和肖特基异质结，其异质结调节效应、功函数匹配设计和金属诱导间隙态（MIGS）抑制效应等能有效提升气体传感性能。实验结果表明，柔性纸基ME+Ti3C2Tx/WS2对1 ppm NO2的气体传感响应值（15.2%）是传统金叉指电极Au+Ti3C2Tx/WS2传感响应值（4.8%）的3.2倍，最低理论检测极限为11.0 ppb，同时具备出色的抗湿度稳定性。该工作为基于MXene同质导电电极和气体传感材料集成的全柔性气体传感器设计提供了一种新的思路。研究亮点1.采用激光雕刻辅助压印技术制备柔性纸基Ti3C2TxMXene低功函数非金属材料电极，降低传统高功函数金属电极和半导体电子亲和力之间的能量差，抑制金属诱导间隙态的形成，有效提高金-半界面处的载流子迁移速率。2.构建基于柔性纸基同质Ti3C2TxMXene电极（ME）集成Ti3C2Tx/WS2气敏材料的全柔性气体传感器，实现了室温下对NO2气体的高灵敏度和高选择性传感，其气体传感性能优于传统金叉指电极（AuE）集成的传感器。3. Ti3C2Tx/WS2异质结调节效应促进界面处的电荷载流子传输效率，协同增强了对NO2的吸附性能和传感响应值。调节肖特基势垒高度（SBH）、抑制金属诱导间隙态形成能有效避免费米能级钉扎效应，实现了电荷载流子的自由转移。

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刚柔结合出奇“材”——美专家巧用沾笔纳米光刻技术获得生物超材料　　　你或许没有想过将坚硬的金属或半导体与柔软的有机物或生物产品结合起来会是何种情景，不过美国科学家可以告诉你的是，他们获得了自然界从没有见过的混合材料，而这些混合材料在医学和制造业中将具有惊人的应用前景。　　美国佛罗里达州立大学综合纳米研究所(INSI)的科学家完成了这项开创性的工作。在2010年4月出版的《自然纳米技术》杂志上，综合纳米科学研究所新成员、生物学家史蒂文勒恩荷特作为主要作者，与同事们共同发表了相关的研究文章。　　一类全新物质这样诞生　　这篇题为《脂质多层光栅》的文章介绍了勒恩荷特本人过去在德国明斯特大学和卡尔斯鲁厄工学院时设计出的基于沾笔纳米光刻(Dip-Pen Nanolithography, 简写为DPN)的新工艺。沾笔纳米光刻是一种用锋利的笔状工具和“墨水”在固体物质表面上勾画纳米级图形的技术。勒恩荷特将沾笔纳米光刻经过改进，让它成为一种让柔性材料(作为墨水)与坚硬材料结合从而形成新材料的工艺。　　实验中，研究人员通过自上而下及自下而上的制造方法，让多种柔性纳米级物质按需要以任意图案被“刻写”在预备好的结构物质表面，形成结构复杂的材料和器件。譬如，用该工艺对脂质材料进行操作，他们获得了易溶性光学衍射光栅。衍射光栅由多层脂质组成，高度被控制在5纳米至100纳米之间。　　勒恩荷特说，将柔性材料与硬性材料结合，他们获得了从本质上讲可以说是全新的一类物质，事实上它们就是学术界所称的生物超材料(biometamaterial )，它们并不存在于自然界中。这类材料的行为如同生物传感器，通过将敏感生物元素和物理器件结合起来，能现场检测生物制剂的存在与否。　　新材料应用范围广阔　　科学家表示，用生物纳米技术和沾笔纳米光刻技术制造的新材料，不仅能用于医学诊断，而且可用于需要材料的任何领域，从人体组织工程到药物开发以及计算机芯片制造。　　目前最有可能实现的是新材料在医学诊断领域的应用，科学家设想利用新材料生产出便于携带、价格便宜和用后可丢弃的芯片，并将其安装在手机中用于医学诊断。当前的诊断工作需要人们前去医院看医生并将样品交给化验室进行检验。未来的诊断芯片作为人们常说的“芯片实验室”，能够就地快速地分析血样或尿样，这类同于家用怀孕检测法。不过，科学家同时表示，其他种类的检测仍需要先进的化验室或实验室。　　跨学科团队的协同创新　　今年32岁的勒恩荷特出生在美国盐湖城，2004年在德国明斯特大学获得博士学位。在加入佛罗里达州立大学前，他一直是德国纳米科学研究小组的带头人。在2009年一次会议上，他无意中看到了佛罗里达州立大学散发的有关综合纳米科学研究所的宣传单，其上的内容深深地打动了他，并促使他接受佛罗里达州立大学的聘请，回国进入该大学的综合纳米科学研究所。　　综合纳米科学研究所集中了大学多个系不同学科的优秀人才，他们从事的领域包括细胞和分子生物学、化学和生物化学、材料科学、化学工程和生物医学工程，以及物理学。这种跨学科人才的氛围让勒恩荷特感到振奋并印象深刻。目前他与研究所的其他科学家合作从事着尖端科学技术的研究。　　勒恩荷特说：“我有幸在攻读研究生时有机会游学于不同的院系和学科，其中包括生物系、医学系、化学系和物理系。我觉得解决特殊问题的途径也许就在不远处。综合纳米科学研究所基于跨学科团队协同工作的原则，这是我喜欢它的原因。”　　勒恩荷特在生物纳米技术和沾笔纳米光刻技术领域所做的开创性研究工作受到全球同行的认可。大学教授布莱恩特切斯认为，勒恩荷特并非属于传统的生物学家，他是在今天从事未来的生物学研究。他在纳米技术和生物学领域接受的训练帮助他采用以前无法完成的新奇实验，来解答生物学的问题。他正在设计的新工具在科学和医学领域具有前所未有的应用前景。

俄乌战争延烧，加上中国疫情升温，冲击全球经济发展前景，研调机构已纷纷调降汽车及智能手机等产品销售预估，将为半导体产业景气增添变数。俄罗斯入侵乌克兰，至今已超过1 个月，对于全球经济产业造成多重影响，一方面在当地的生产销售锐减或停摆，据统计已有172 家跨国企业退出俄罗斯，有195 家企业暂停俄国业务，有31 家企业缩减业务。另一方面原物料短缺、价格扬升，生产成本大涨，能源和粮食价格高涨，连带加剧全球通膨问题，消费者紧缩荷包，进而影响需求降温。乌克兰2 大氖气供应商Ingas 和Cryoin，供应全球约45% 至54% 的半导体级氖气，2 家公司已暂停营运，短期晶圆厂仍备有安全库存，暂无断料危机，若战事持续蔓延，恐将直接影响半导体生产，格外受到关注。中国近来疫情急遽升温，包括苏州、深圳等地曾陆续封城，对当地工厂营运与货运产生影响，上海单日新增确诊人数逾2000 人，相关防疫措施备受瞩目。标普估计，俄乌战争加剧了全球供应链的中断，可能导致今年全球轻型汽车销量下降2%。集邦科技也将今年智能手机总产量自原先的13.8 亿支，调降至13.66 亿支，不排除持续下修全年总产量。动态随机存取记忆体（DRAM）厂南亚科先前即提醒，今年市况审慎乐观，不过应留意地缘政治风险及通膨问题可能影响需求。IC 设计业者表示，原本对今年营运展望乐观，但俄乌战争及中国大陆疫情为景气添增变数，实际表现如何须进一步观察供应链运作及消费者需求而定。ICinsights：半导体市场将在2024年碰壁行业研究公司ICinsights预测，半导体世界持续强劲的销售增长可能会在2024年碰壁。　　ICInsights预计2022年和2023年半导体收入将持续增长，之后一年将出现市场调整。　　“根据目前预计，2024年将是市场的下一个周期性低迷期，2025-2026年将恢复增长”，ICinsights市场研究副总裁BrianMatas告诉TheRegister。　　半导体行业的波动性很大，在上升周期中，芯片需求超过供应——正如我们现在所看到的——随后是下降周期，导致供过于求。　　公司调整制造以制造更多需求量大的芯片，但这最终导致市场上的半导体数量超过其需求。工厂减产或重新调整产能，直到清理掉多余的芯片库存，然后重新设置市场进入另一个增长周期。　　疫情期间芯片行业措手不及，芯片需求暴涨；在家工作推动了对个人设备的需求，并且升级了数据中心以处理基于云的通信和协作平台。这恰逢汽车电气化，这推动了对传感器和廉价芯片（如电源管理集成电路）的需求。　　半导体领域已经出现裂痕，随着新工厂的上线，28nm制造节点明年可能面临供过于求的局面。　　ICInsights估计，2022年半导体销售额将达到创纪录的6806亿美元，比2021年增长11%。与2020年相比2019年25%的增长，这是一个更现实的增长幅度。　　ICInsights表示，从2020年到2022年的三年增长将是该行业自1993年至1995年以来的首次实现连续两位数增长。1990年代的连胜受到PC出货量和DVD播放器等电子产品的推动。该分析机构预计，到2026年，复合增长率将达到7.1%，而2024年是下降的一年。　　ICInsights预测，2021-2026l年，光、传感器、分立器件（OSD器件）的总复合年增长率预计将以8.0%的健康速度增长，IC总销售额预计将以略低于6.9%的速度增长。预计主要半导体产品类别的复合年增长率从传感器/执行器的12.3%到分立器件的3.1%不等。　　传感器/执行器市场（预计2022年为243亿美元）是半导体市场中最小的主要产品领域，占销售额的不到4%。然而，在整个预测期内，汽车、手机以及便携式和可穿戴系统（例如，智能手表和健身/活动追踪器）的传感器销售预计将显着增加。此外，更多系统正在使用多个传感器和传感器融合软件进行多维测量，以支持更高的机器智能以及识别运动、了解位置和监控周围环境变化的能力。　　预计逻辑IC市场将在主要IC类别中发布最强的复合年增长率。逻辑IC市场近年来表现非常出色，汽车专用逻辑和工业专用逻辑器件成为该领域整体增长的强劲动力。　　“云计算、人工智能、机器学习、机器人技术、汽车电子、工业控制和自动化将成为增长动力，即使智能手机和个人计算平台等成熟市场进一步发展，”Matas评论道。　　从长远来看，对半导体的需求只会上升，尽管在此过程中管理起起落落会使判断需求和投资变得棘手。虽然预测是一门不完美的艺术，但2023/4年对于该行业来说似乎是艰难的一年。

7月11日，在位于洛阳高新区的洛阳单晶硅集团控股子公司麦斯克电子材料股份有限公司（以下简称麦斯克电子）超净车间里，单晶硅棒经过切割、倒角、化学清洗以及抛光，一片片光滑如镜的银灰色硅抛光片被送到自动化设备上接受质量检测。“今年上半年，我们克服不利因素，全力以赴拼经济，企业运行平稳有序。”洛阳单晶硅集团总经理兼麦斯克电子董事长史建强告诉记者，“我们的8英寸硅抛光片不仅替代进口，还逐步走向了国际市场。”作为中部地区首家具备规模化生产IC级8英寸硅抛光片能力的高新技术企业，麦斯克电子已具备100万片年产能，产品销往美国、韩国、新加坡、日本、印度等国家。硅抛光片是芯片等产品的上游原材料，然而，在大直径半导体硅片领域，我国对于进口的依赖程度依旧较高。“尺寸越大，可制造的芯片数量就越多，相应成本就越低。”史建强介绍，麦斯克电子的拳头产品为4至8英寸硅抛光片，尽管每次迭代产品只有2英寸的差别，但是每次提升工艺控制的难度都成倍地增加，在研发和生产的每个环节，都要精益求精。领跑的背后是科研的强力支撑。麦斯克电子是国务院国资委科改示范企业和国家级专精特新“小巨人”企业，公司建有企业技术中心、大尺寸硅抛光片工程技术研究中心及先进硅基低阻值电子材料工程研究中心等三个省级研发平台，致力于半导体硅片加工技术的研究和半导体硅材料产业自主水平的提升。麦斯克电子“工业互联网平台赋能硅基底材料全生命周期质量管控解决方案”入选工信部发布的“工业互联网平台+质量管理试点示范”名单。通过持续探索大规模集成电路硅抛光片智能化制造的新路径，麦斯克电子以数字化助力“中国芯”加速崛起。目前，麦斯克电子与国内知名设备厂商联合，在国内首创完成了半导体硅片用金刚线设备和切割工艺的开发。麦斯克电子还与国内产业链上下游建立了稳固的合作关系，积极推进设备与原材料国产化进程；在原材料方面，与省内多家知名企业密切合作，带动产业链上下游共同发展。“我们正在积极向半导体硅片领域进行纵深布局，将充分利用技术积淀优势，整合和优化现有产业链，提升企业价值和竞争力，为河南省加速抢滩半导体产业、实施换道领跑战略作出国资国企贡献。”史建强表示。

数字智能（光电传感）产业园，是黄渤海新区领建全市光电传感产业链而规划打造的特色园区，也是全省智能传感产业行动计划两大重点园区之一，规划面积4500亩，主要发展智能传感、微纳制造、光电半导体及集成电路关键材料等产业。现已落户项目25个，其中建成项目11个、在建项目14个，已完成投资82亿元，落成建筑面积70万平方米，达产后可形成产值150亿元、利税30亿元。园区按照“整体规划、分区建设、联动发展”思路，以链主骨干企业为引领，空间布局分为A、B、C三区：A区，主要依托睿创微纳公司，打造光电半导体产业集聚区，由睿创微纳厂区、光电传感孵化园两部分组成。其中，光电传感孵化园已完成15栋单体建设，建筑面积8.7万平方米，6月底全部投用，已入驻静电吸盘、硅基雷达、加密芯片等7个项目，还有汇芯半导体、异方性导电膜等一批项目确定入驻。B区，主要依托万华电子材料公司，打造集成电路关键材料产业集聚区，已落地大硅片、平坦化、光刻胶及芯片封测等6个项目，正在导入光敏聚酰亚胺、导电胶膜等一批新项目。C区，主要依托明石创新等企业，打造微纳制造及智能传感产业集聚区，正在实施压力、气体、流量传感器技术攻关及MEMS产业化系列项目，全力冲刺工信部国家制造业创新中心，填补烟台空白。未来3-5年，园区计划引进孵化转化项目100个以上，项目投资350亿元以上，产值达到500亿元左右，建成“中国北方最具竞争力的特色半导体及智能传感产业高地”。

据韩联社报道，正在荷兰进行国事访问的韩国总统尹锡悦13日与荷兰首相马克吕特举行首脑会谈并发表联合声明，宣布两国正式结为“半导体同盟”，并设立经济、安全、产业领域的双边协商机制。韩国国家安保室第一次长金泰孝在阿姆斯特丹新闻中心举行的记者会上表示，韩国和荷兰决定在半导体领域加强常态化特别合作，两国将致力于构建一个在供应链危机发生时，能提供立即且高效解决方案的同盟关系。他还透露，两国通过紧密合作在共同声明中写入了“构建半导体同盟”的表述。这一举措标志着韩国政府首次宣布与特定国家结为“半导体同盟”，而据韩国总统府高级官员表示，相信这对荷兰来说也是第一次。两国将通过发表联合声明，商定共同努力缩小技术差距，共同应对供应链危机。为此，两国外交部门将定期举行经济安全对话，商务部门将设立对话机制协调芯片政策，并建立基于关键品目供应链合作的谅解备忘录（MOU）。尹锡悦此次访荷的重点是提升两国经济合作水平，并将走访全球知名的半导体设备供应商阿斯麦公司（ASML）。全球存储半导体巨头三星电子会长李在镕和SK集团会长崔泰源将陪同访问。

北京时间11月11日消息 据科学日报报道，近日德国海德堡大学的科学家与吉森大学的研究人员密切合作，首次成功的电化学检测到蛋白结合的半导体材料，这多亏了基于电荷差异而研发出的一种新的调查方法。现在物理学家正在研究光学过程以实现在显微镜下检测和定位蛋白结合，这种方法将在医学研究和诊断领域具有新的应用。　　电化学检测蛋白结合的基础是实验室产生的生物膜，后者包含所谓的支持性脂质单分子膜&mdash &mdash 一种作为分子膜至关重要的建构单元的二维分子结构。研究人员将这些膜放在半导体氮化镓(GaN)的纳米结构上，氮化镓因它的化学和电化学稳定性以及独特的光电子特性闻名(它是蓝光LED器件中的一种具有重要应用价值的半导体)。科学家们利用电化学电荷传感器首次检测到混合生物膜-氮化镓结构上的蛋白结合。传感器测量了当蛋白结合到所谓的膜的脂质锚上时的电荷差异。这种混合的生物膜-氮化镓结构的发展是基于海德堡大学田中元梦(Motomu Tanaka)教授带领的生物系统的物理化学研究小组的博士研究生娜塔莉雅&bull 弗兰科尔(Nataliya Frenkel)的研究工作。海德堡的研究人员与吉森大学的半导体物理学家们在马丁&bull 艾柯夫(Martin Eickhoff)教授的指导下进行了传感器应用方面的研究。　　这项发表在期刊《先进功能材料》上的研究为研发新的过程奠定了基础，后者可以提供蛋白结合的光学证据。生物膜将被放置在基于氮化镓的量子点上，量子点是指大小只有几纳米的结构。随后将利用光激活量子点从而释放辐射。细胞膜上的蛋白结合将改变放射的密度。研究人员已经展示了这一方法适合蛋白结合的光学检测。目前他们正在与法原子能研究中心(CEA)密切合作研究具体的实现方法。

近日，南京湃睿半导体有限公司（以下简称“湃睿半导体”）完成由毅达资本领投的数千万元A轮融资。本轮融资将用于传感与混合信号芯片的新产品拓展、新技术研发等。湃睿半导体成立于2020年，专注于高端ATDC（Analog-Time-Digital Converter，又称模拟-时间-数字转换）芯片的研发、生产和销售。ATDC芯片，是用于将真实世界产生的模拟信号（如温度、压力、声音或者图像等），转换成更容易储存、处理和传输的数字形式。湃睿半导体总部设立于南京，在无锡、厦门设有控股子公司，分别专注于MEMS技术和标准化技术开发，在深圳设有销售与技术支持办公室。此外，在德国法兰克福、多特蒙德分别设有后端设计与验证团队，致力于利用全球技术优势，同时立足本土制造与运营，打造融合传感与混合信号领域的创新品牌。ATDC芯片与传统的ADC芯片作用一样，主要用于模数转换，但两者在实现原理上有较大差异。ADC全称为AVDC，即“模拟-电压-数字转换”，ATDC则是“模拟-时间-数字转换”，两者的差别在于转换的介质从电压变成了时间。ATDC芯片引入时间要素作为中间变量，可以减少混合信号中的模拟部分，提高数字部分占比，实现更高精度、更低噪声、极低功耗和极低成本。同时，客户使用时，两种芯片的方案一致，并不会产生迁移门槛。因此，ATDC芯片有望逐步替代传统的ADC芯片。湃睿半导体创始人黄孙峰表示，此前，不少芯片巨头也尝试过ATDC路线，但由于本地工艺变异的影响，导致最终成片表现不佳。而湃睿半导体则凭借在前端VTC（电压-时间）、后端TDC（时间-数字）上的技术创新，使得ATDC芯片能够在更成熟的90-180nm芯片制程下实现，突破了困扰行业多年的技术壁垒。湃睿半导体拥有全球化的创始团队，四位联合创始人拥有慕尼黑工业大学（MUT）、卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）、东南大学、浙江大学等高校硕士及以上学历，在传感器半导体领域都有着20年以上的经验，拥有研发和市场的复合背景。公司产品进展迅速，在2023年上半年正式流片了两款细分产品，截至目前，公司已出货接近五百万颗。此外，公司已经和新能源汽车、工业传感器、轨道交通系统等多个行业的头部客户完成了产品验证和导入，预计将在2024年进入快速增长阶段。毅达资本投资总监姚博认为，当前国内模拟芯片厂商面临需求不振、海外巨头低价倾销等多方面挑战。湃睿半导体在艰难的市场环境中仍能保持订单快速增长，并获得行业头部客户高度认可，充分展示出其颠覆式创新的巨大价值。毅达资本长期看好ATDC技术在消费、工业、汽车领域的应用，并相信其在医疗、通信等高端传感场景的延展价值。期待湃睿半导体未来能够依托自身的技术优势，持续增强研发力度，进一步为ATDC赛道的标准化发挥引领作用。

据美国物理学家组织网1月3日报道，由于排列在矩阵上的大像素不支持较高的读出速度，因此传统的“互补金属氧化物半导体”(CMOS)影像传感器不适合荧光灯等低光亮度应用。德国弗劳恩霍夫研究所研制出的一种新型光电组件能加速这一读出过程，催生出更佳的图像质量。目前该技术已申请了专利，有望于明年正式投入生产。　　CMOS影像传感器早已成了数码摄影的主要解决方案。它们比现存的其他品种传感器更加经济，在能量消耗和处理方面也很出色。因此，手机和数码相机制造商几乎无一例外地将CMOS芯片应用在自家的产品之中。这不仅降低了数码产品对电池的需求，也使生产出更多越来越小的相机成为可能。　　然而这些光学半导体芯片已经达到了自己的极限，当消费类电子产品体积越来越小时，像素的大小也随之递减至1微米左右。但特定的应用需要超过10微米的更大像素，尤其是在X射线摄影或天文学研究等光线十分有限的领域，而较大的像素可以补偿光线的缺失。针状光电二极管(PPD)可被用于将光信号转化为电脉冲，这种光电组件对于图像处理十分关键，也可以作为CMOS芯片的组成部分。“然而当像素超过一定的尺寸，PPD就会产生速度问题。低亮度的应用需要更高的图像率，但使用PPD的读出速度明显偏低。”弗劳恩霍夫研究所微电子电路和IMS系统部门的负责人维尔纳布洛克赫德解释说。　　研究人员现在提出了有关这一问题的解决方案，他们研发出了名为“横向漂移场光电探测器”(LDPD)的新型光电组件。在这个组件中，高速移动的入射光能在读出点产生电荷载子，借助PPD则可将电子扩散至出口。这一过程相对缓慢，但它却足以满足多种应用。　　为了生产出新的组件，研究人员基于0.35微米的标准改进了当前使用的CMOS芯片的制造过程。布洛克赫德表示，附加的LDPD组件不会损害其他组件的特性，利用模拟计算，专家会对其进行管理以满足这些需求。目前，新型高速CMOS图像传感器的原型已经成形，有望于明年得到批准开始大批生产。

日本佳能正通过光刻机加快抢占高功能半导体市场。佳能时隔7年更新了面向小型基板的半导体光刻机，提高了生产效率。在用于纯电动汽车（EV）的功率半导体和用于物联网的传感器需求有望扩大的背景下，佳能推进支持多种半导体的产品战略。目标是在三大巨头垄断的光刻机市场上确立自主地位。佳能将于2021年3月发售新型光刻机“FPA-3030i5a”，该设备使用波长为365纳米的“i线”光源，支持直径从2英寸（约5厘米）到8英寸（约20厘米）的小型基板。分辨率为0.35微米，更新了测量晶圆位置的构件和软件。与以往机型相比，生产效率提高约17％。佳能的光刻机新机型调整了测量晶圆位置的“校准示波器”的构成，与曝光工序分开设置了测量单元。通过同时进行纵横两个方向的测量而缩短了时间，并通过扩大测量光的波长范围，实现了对难以识别标记的多层基板和透明基板的支持，而且能够识别出晶圆背面的标记。除了目前主流的硅晶圆之外，新机型还可以提高小型晶圆较多的化合物半导体的生产效率。包括功率器件耐压性等出色的碳化硅（SiC），以及作为5G相关半导体材料而受到期待的氮化镓（GaN）等。随着纯电动汽车和物联网的普及，高性能半导体的需求有望增加。在半导体光刻机领域，荷兰ASML和日本的佳能、尼康3家企业占据了全球9成以上的份额。在促进提升半导体性能的精细化领域，可使用短波长的“EUV”光源的ASML目前处于优势地位。佳能光学设备业务本部副业务部长三浦圣也表示，佳能将根据半导体材料和基板尺寸等客户制造的半导体种类来扩大产品线。按照客户的需求，对机身及晶圆台等平台、投影透镜、校准示波器三个主要单元进行开发和组合，建立齐全的产品群。佳能还致力于研发“后期工序”（制作半导体芯片之后的封装加工等）中使用的光刻机。2020年7月推出了用于515毫米×510毫米大型基板的光刻机。以此来获取把制成的多个芯片排列在一起、一次性进行精细布线和封装的需求。佳能还致力于“纳米压印”（将嵌有电路图案的模板压在硅晶圆的树脂上形成电路）光刻设备的研发。据悉还将着力开展新一代生产工艺的研发。

据中国海关数据显示，在日本和荷兰针对半导体设备的出口限制新规生效前，今年6月和7月，中国进口的半导体设备价值总额接近50亿美元，相比去年同期的29亿美元增长了70%，其中大部分进口的半导体设备来自于荷兰和日本。　　自去年10月，美国限制先进半导体设备对华出口之后，另外两大半导体设备强国——日本和荷兰也相继出台了对先进半导体设备的出口管制规定。　　日本自7月23日开始实施限制措施，而荷兰的限制措施将于9月1日正式生效。这些限制意味着相关设备厂商的出口，需要向政府申请许可证，这也引起了中国的芯片制造商的普遍担忧。　　因此，可能会有一些芯片制造商希望在限制措施生效前采购更多的设备，以减少未来的不确定性所带来的冲击。　　据中国海关总署数据，2022年我国光刻机进口总额39.63亿美元，其中从荷兰进口额为25.48亿美元，占比64.3%。　　2023年1-7月份，从荷兰进口的光刻机金额为25.86亿美元，同比增长64.8%，7月份进口额为6.26亿美元，同比增长近8倍，不过环比下降了28.4%。　　熟悉荷兰半导体设备采购的业内人士表示，由于全球最大的光刻机制造商ASML向中国客户交付了更多光刻机，今年6月和7月，中国对荷兰芯片制造设备的进口量相比5月翻了一番。　　虽然目前尚不清楚中国进口半导体设备的增加在多大程度上与将受到限制有关，但这些半导体设备进口的增长表明，中国扩大芯片制造规模的努力并未因为外部的阻挠而放缓。　　ASML公布的财报也显示，今年二季度，来自中国大陆的销售收入占比为24%，相比一季度的8%，大幅增加了16个百分点，增长了200%。　　在所有销售的设备当中，ArFi设备(浸没式DUV设备)销量相比一季度大涨了56%，增长了14台至39台。　　对于二季度DUV设备销量的大幅增加，ASML首席执行官彼得温宁克(Peter Wennink)解释称，“在DUV上，需求仍然高于我们的生产能力。虽然我们已经看到了行业中不同细分市场的需求出现了一些挤出。然而，我们的中国客户在过去两年中的需求满足率远远低于50%。所以，我们的中国客户说：我们很乐意接受别人不想要的机器。因为他们的工厂已经准备好了。因此，当有可用的设备时，他们会拿走这些设备。所以，总的来说，我们的DUV业务看起来仍然相当强劲。”　　除了荷兰外，中国从日本进口的设备也有所增加。2020年美国开始收紧对半导体设备的出口管制后，一些中国公司开始从日本公司购买蚀刻设备和晶圆涂布机。　　中国从包括新加坡和中国台湾在内的其他地区购买的半导体设备，也为这个创纪录的进口额做出了贡献。资料显示，应用材料公司有在新加坡生产半导体制造设备。　　根据中国海关的数据，中国 4 月份从新加坡进口了价值约 4.07 亿美元的半导体制造设备。这是自 2022 年 8 月以来的最高金额，较 3 月份增长 9.6%。　　专家表示，尽管出口管制收紧带来了挑战，但中国对半导体设备进口额的大幅增长，显示中国正在继续扩大成熟制程的生产。　　市场研究机构Counterpoint的数据显示，今年第二季度，前五大半导体设备制造商对中国的出货量增长了30%。　　Counterpoint高级研究分析师Ashwath Rao表示：“中国制造商对于成熟制程的投资有助于确保当地供应，同时也可以缓冲地缘政治的不确定性。”电动汽车、绿色能源转型和工业应用的大多数芯片，只需要成熟制程设备进行制造。　　值得一提的是，中国本土的半导体设备厂商也在奋力发展，并有望帮助国内半导体制造商实现对于部分进口受限设备的替代。同时这些国产半导体设备制造商也在推动对于自身所需的进口受限零部件的国产替代。　　8月25日，国产半导体设备大厂中微公司董事长尹志尧在与分析师举行的电话会议上就公开表示，自去年10月以来，国内客户加速采用中微的蚀刻设备。　　在全球及国内半导体设备投资整体下滑的趋势(上半年中国大陆半导体设备市场同比萎缩33%)之下，中微公司今年上半年的销售额逆势增长了28.13%。　　据尹志尧透露，中微在中国电容耦合等离子体(CCP)刻蚀设备市场的市场份额预计将从去年10月的24%增至60%。在电感耦合等离子体(ICP)工具市场，在曾经占据主导地位的美国泛林半导体(Lam Research)的份额大幅下降后，其份额可能会从几乎为零上升到75%。　　业绩报告显示，上半年CCP和ICP两种主要刻蚀设备合计收入约占该公司总收入的68%。　　尹志尧表示，随着中国深化半导体自给自足，将半导体制造设备和关键零部件纳入其中。　　预计到今年年底，中微公司80%的限制进口零部件可以在国内进行替代，随后将在明年下半年实现100%的替代。　　“我们有详细的关键零部件国产化路线图。”尹志尧说道：“设备使用国产零部件可以进一步打开中微公司的中国市场。”

2016年度的基因组生物学技术进展大会(AGBT)于上周在美国奥兰多举行。Illumina的CEO Jay Flatley在大会上宣布了其半导体测序平台，即Firefly计划的更多细节。　　Flatley表示，Firefly将打开新的市场，因为它是如此简单。最终目标是制成这样一种设备，输入的是原始样本，而输出的是报告。尽管Illumina还没有实现，但Firefly无疑是朝着那个方向迈进了一步。　　正如Illumina之前提到的，Firefly是基于它在2008年收购Avantome时获得的CMOS技术。Illumina一直在开发Avantome的技术，但从未商业化，因为这项技术离不开emulsion PCR。然而，Illumina希望将边合成边测序技术(SBS)与半导体芯片相融合。　　Firefly设备本质上是一个带有纳米孔的CMOS传感器。纳米孔嵌入光电二极管中，让DNA沉积。簇生成和测序都在CMOS芯片上直接发生。由于CMOS是个单通道的设备，Flatley表示，研究人员必须弄清楚如何开发单通道的边合成边测序技术。　　Firefly将采用一种新的编码技术。对于Illumina HiSeq测序仪采用的四通道技术，每个核苷酸被一种单独的荧光染料标记，并在四个不同的光学通道中检测。而之后推出的NextSeq则采用了一种双通道技术。这种技术使用两种荧光染料，其中鸟嘌呤总是暗的，腺嘌呤和胞嘧啶用单个染料标记，而胸腺嘧啶用两个染料标记。　　在单通道技术中，胸腺嘧啶将有一个永久的荧光标记。腺嘌呤将有相同的荧光标记，但这种染料是可以去除的。鸟嘌呤将永远是暗的。另外，胞嘧啶一开始是暗的，但之后会加上荧光标记。　　Flatley随后演示了这个方案如何读取DNA。在四个核苷酸的第一幅图像中，A和T同时被标记并可以检测。之后，在第二幅图像中，A的染料切除，并添加到C上。这样，第二幅图像中只有C和T发荧光。通过综合两幅图像的信息，所有四种碱基很容易被区分。在内部测试中，Illumina已经证明了99%的原始读取准确性和2x150 bp读长，与HiSeq X的表现相当。　　这个平台将包含两个模块，总体积达1立方英尺。一个模块将用于文库制备，能够在3.5小时内平行制备8个文库，且无人值守。文库制备卡盒将利用Illumina NeoPrep所使用的数字微流体技术。用户只需加入样品和引物。这个设备将带来8个单独的文库，或合并成一个文库，用于测序。　　制备好的文库随后上样到测序卡盒中，其中包含CMOS芯片。测序大约需要3.5-13小时，具体取决于应用，随后结果可上传到BaseSpace云计算环境，进行数据分析。这个系统将由iPad驱动，因此可无线监控。　　Firefly有望在2017年下半年商业化，售价低于3万美元，而每个样品的耗材成本约为100美元。Flatley表示，Firefly的产量达到1 Gb，使其特别适合靶向研究、耐药性监控以及个人基因组测序等应用。

近日，中国科学技术大学火灾科学国家重点实验室易建新副教授课题组提出一种化学电阻-电位型多变量传感器，实现了单一传感器对多种气体和火灾特征的三维探测和准确识别。相关成果以“A chemiresistive-potentiometric multivariate sensor for discriminative gas detection”为题发表在国际学术期刊《自然通讯》上（Nature Communications 14,2023, 3495）。低浓度气体的高灵敏探测和准确识别对于公共安全、环境保护、健康诊断和工业生产等诸多应用具有重要意义。相比于气相色谱和质谱等传统气相分析技术，气体传感器具有成本低、尺寸小、易集成和实时监测等优点，有利于大规模应用。但是，常规传感器仅输出单一信号，不能识别气体，因此探测准确性低，在实用中易受其它气体或环境湿度等干扰而引起误报或漏报。这一问题严重限制了气体传感器的应用。图1. 基于双敏感电极的化学电阻-电位型多变量气体传感器的原理和三维响应研究人员首先利用半导体氧化物电极在表面和界面上不同的响应机制，在同一电极上成功提取出化学电阻和电位两种不同原理的传感信号；进一步，采用钙钛矿型氧离子-电子混合导体氧化物取代贵金属铂电极，和常规的电子导电的敏感材料进行配对，获得了输出三个独立响应信号的双敏感电极传感器。得益于钙钛矿非常规的反向电位响应，传感器的气敏性能得到了显著提高，实现了2-乙基己醇、一氧化碳等多种危险和火灾特征气体的(亚)ppm级三维探测和准确识别，并展现出在火灾危险早期预警方面的应用潜力。图2. 多变量气体传感器在火灾早期预警中的应用这种兼具探测和识别功能的多变量气体传感器简单、高效、成本低，可适用于不同半导体材料电极和固体电解质基底，工作温度范围宽，并可进一步拓展获得更高维度的响应，为复杂环境中气体的高灵敏和准确探测提供了新思路。论文的第一作者为宋卫国研究员和易建新副教授共同指导的博士生张红，通讯作者为易建新副教授。研究得到了国家重点研发计划项目、国家自然科学基金和中央高校基本科研业务费的资助。