布鲁克纳米压痕仪

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其最大特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

布鲁克Hysitron TI Premier高精度纳米力学测试系统是布鲁克公司研制的自动化、高通量测试仪器，通过纳米级位成像，可实现压痕、划痕和磨损过程的纳米尺度原位可视化表征。Hysitron（海思创）应用其工艺领先的专利技术“三板电容传导”，从源头上保证了仪器稳定性和灵敏度。使用Hysitron（海思创）纳米力学材料检测系统通过探针可以获得材料微区的硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、断裂刚度、失效、蠕变、粘附力（结合力）等力学数据。后续可选择升级模块有高温台、电学性能测试、湿度控制模块、冷台、与拉曼连用等。不仅在微纳米水平上开展力学行为特性的研究，还可以进行纳米尺寸上的机械加工。

布鲁克Hysitron PI 85L是SEM专用的多用途、高灵敏度热学、电学和力学的测试系统，利用SEM的高分辨率，可以直接观测整个材料动态变化的过程。传统纳米压痕仪通过光学显微镜或原位扫描只能观察到压痕前及压痕后的形貌变化，中间过程无法观察到，载荷位移曲线上的一些突变我们无法解释，甚至单从曲线分析会导致错误的解释。PI 85L安装于电镜，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下做压痕、拉伸、弯曲、压缩、加热、电学和划痕测试，可以借助电镜的高分辨率，观测并记录整个材料测试过程，观测材料在力下发生的动态变化，如金属蠕变、相变、断裂起始等。PI 85L采用Hysitron专利技术三板电容传感器，具备载荷和位移同时监测和驱动的独特功能。具备业界领先的精度，重复性和低背景噪音等优点。PI 85L拥有多种特色测试功能模块可供选择，如动态力学测试、MEMS加热、拉伸测试、电学测试、纳米划痕等功能模块。

布鲁克TI 980高精度纳米力学测试系统是布鲁克公司研制的自动化、高通量的测试仪器，可以用来表征材料多项纳米力学性能，包括硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、破裂韧性、失效、蠕变、粘附力（结合力）等力学数据。高性能的样品加载系统和工艺领先的专利技术三板电容传传感技术赋予仪器超高的稳定性和广泛的应用领域，支持多种类型的不同形状和尺寸的样品。在薄膜、陶瓷、复合物、聚合物、微机电系统、生物和金属等领域都有广泛应用。后续可选择升级模块有高温台、电学性能测试、湿度控制模块、冷台、与拉曼连用等，TI980是最多样化的纳米力学表征工具，是高校、研究所及工业界用户的最佳选择。

布鲁克Hysitron PI 95是TEM专用的多用途、高灵敏度热学、电学和力学的测试系统，在TEM上检测时，直接观察检测过程，使用侧面进样支架，不仅可以实现纳米尺度材料的成像观察，还可以同时进行加热和通电测试，并同步得到材料的力学数据，通过视频接口可以将材料的力学数据（载荷位移曲线）与相应TEM视频之间实现时间同步。该系统为方便研究者瞬间得到特定参数，比如化学复合物的种类，或对材料已经造成的影响，除成像外，选择区域衍射可以检测样品的取向，原位力学检测可以实时观测和验证。适用JEOL、FEI、Hitachi、Zeiss（不适用于UHR极靴）的PI 95可在纳米尺度既可以轻松完成材料的电学测试，也可以同时进行拉伸、压缩、弯曲等力学实验。后续可升级模块有高温台、原位力电性能测试、纳米划痕等。

Hysitron TS 77 精选是自动化台式纳米力学和纳米摩擦测试系统，可提供同类仪器的最高性能、多功能和易用性。这种新型测试系统以布鲁克著名的TriboScope电容式传感器技术为设计，在纳米至微米尺度上提供可靠的力学和摩擦学表征。TS 77 精选 支持最主流的测试模式，是定量纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损和高分辨力学性能成像的高性价比解决方案。多方向照明增强样品的可视化和导航快速、可靠、稳定的样品安装一体化的隔震系统提供极高的测试灵敏度通过隔音、隔热和隔绝气流，在实验室环境下实现极高的测试稳定性SPM成像模式可实现原位表面形貌测量和精确定位极低的热漂移保证了极高的测量灵敏度轻松的样品导航和多样品自动化测试极高的机械刚度和热稳定性保证了测量结果的可靠性

布鲁克的 Hysitron TI 980 TriboIndenter 同时具有最大性能、灵活性、可靠性、可用性和速度。这台行业领先的系统以数十年的 Hysitron 技术创新为基础，在纳米力学特性测试方面提供更高水平的非凡性能、增强的功能和极致的多功能性。Hysitron TI 980 纳米压痕仪是一台卓越的纳米力学测试仪器，在准确控制、测试带宽、测试灵活性、适用性、测量可靠性和系统模块化方面都取得了显著进步。强大的标准配置1原位 SPM 成像2高分辨率光学成像32D 电容式传感器4计量级花岗岩5主动防振隔离6Performech II 高级控制模块7环境隔离罩8高速性能成像 （XPM）9动态纳米压痕（纳米DMA III）10模块化系统架构11多功能样品夹头12高精度样品台让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有最好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。

布鲁克的 Hysitron TI 980 TriboIndenter 同时具有最大性能、灵活性、可靠性、可用性和速度。这台行业领先的系统以数十年的 Hysitron 技术创新为基础，在纳米力学特性测试方面提供更高水平的非凡性能、增强的功能和极致的多功能性。Hysitron TI 980 纳米压痕仪是一台卓越的纳米力学测试仪器，在准确控制、测试带宽、测试灵活性、适用性、测量可靠性和系统模块化方面都取得了显著进步。强大的标准配置1原位 SPM 成像2高分辨率光学成像32D 电容式传感器4计量级花岗岩5主动防振隔离6Performech II 高级控制模块7环境隔离罩8高速性能成像 （XPM）9动态纳米压痕（纳米DMA III）10模块化系统架构11多功能样品夹头12高精度样品台让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有最好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。

——纳米力学和纳米摩擦学测试系统，加速纳米力学研究进入更高阶段。布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有良好的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。先进的Performech II控制模块和电子设计高性能的高速闭环控制业界噪音控制集成的带输入/输出信号的多参数控制五百倍于前代产品的力学测试速度多维度测量耦合充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等。丰富的系统控制和数据分析软件TriboScan(TM) 10提供了创新性的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质布鲁克纳米压痕仪Ti 980提供了多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品。始终处于材料研究和开发的最前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。简洁、高速的自动控制——系统自动校正使得每次测试都无懈可击针尖面积函数自动校正传感器自动校正压针和光学系统校正自动测试程序快速、多样品自动测试功能实现高通量表征智能化自动程序确保用户选择合适的针尖高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索，极大简化测试流程低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征从微米到几个纳米的多尺度测量纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现最快的反馈控制速率布鲁克纳米压痕仪Ti 980精确控制测试过程实现精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式强大的测试模块配置，放大化您的表征潜能自下而上的先进设计提供了世界zui xian jin的纳米力学测试系统实现最丰富的潜在测试能力Performech II高级控制模块精确控制纳米力学测试过程力和位移噪音水平实现测量精度和重复性超快反馈控制算法提供整个测试过程的精确控制专为各种不同测试而开发的一整套高性能传感器多达24个通道的数据采集能力，每个通道都能同时达到1.2MHz采样率多个测试头的耦合——一整套传感器适用于各种测试任务任意两个测头之间无缝连接标配二维传感器和nanoDMA III传感器实现系统的多种测试功能和高性能多种有效的测试模块配置纳米压痕：硬度，模量，蠕变，应力弛豫，断裂韧性、高速力学性能成像纳米摩擦：薄膜结合力，摩擦系数，抗划擦性能，磨损扫描探针显微镜成像：形貌和梯度成像，纳米级别定位精度，摩擦力成像动态纳米压痕：随着深度连续测量硬度和模量，存储模量，损失模量，损耗角正切布鲁克纳米压痕仪Ti 980nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用；集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征；原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高。XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些性能是通过以下三个技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。更少时间测量更多参数超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）快速、高分辨空间硬度和模量分布统计一分钟内可靠完成针尖函数自动校正；比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量。SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。高定位精度（+/-10nm）——可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率，可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像，纳米力学性能成像分辨率和调色板，可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内，基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能，灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优异控制TriboIQ: 可编程数据分析程序易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告直观可自定义的数据处理和分析模块开放式架构使得多用户合作更加容易海思创TI980升级选项xSol环境控制腔与载台环境控制腔实现了定量纳米力学性能和纳米摩擦学特征随着温度、气氛和湿度的变化。nanoECR纳米压痕测试的原位导电特性可以和纳米力学性能，材料形变行为和接触电阻等同步研究。xProbe基于MEMS传感器的探针可以实现原子力显微镜级别的超低力和位移噪音水平。iTF专利的原位薄膜力学性能分析包提供了排除基底效应影响的薄膜和多层膜结构的定量力学性能。3D OmniProbe和多量程通过扩展力和位移测量量程实现微米尺度的力学和摩擦学特性表征。NanoProbe同步拉曼光谱原位研究力学性能和摩擦学特性与材料结构和化学成分的相关性。模量成像动态扫描纳米压痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。荧光显微镜联用集成荧光显微镜可实现荧光共定位纳米力学测试等。电化学模块实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究。自动探针更换模块按钮操作的自动探针更换模块。样品台多尺度的磁性、机械和真空固定方式可以固定几乎所有待测样品，包括300mm晶圆。TriboAE&trade 声音传感器能通过针尖原位监测纳米压痕过程中的断裂和形变产生的声音信号。TriboImage&trade 纳米尺度划痕/磨损的实时表征。

——世界上领先的纳米力学和纳米摩擦学测试系统，加速纳米力学研究进入更高阶段。布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。先进的Performech II控制模块和电子设计很高性能的高速闭环控制业界领先的噪音控制集成的带输入/输出信号的多参数控制五百倍于前代产品的力学测试速度多维度测量耦合充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等。丰富的系统控制和数据分析软件TriboScan(TM) 10提供了创新性的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质布鲁克纳米压痕仪Ti 980提供了多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品。始终处于材料研究和开发的前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的领先位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。简洁、高速的自动控制——系统自动校正使得每次测试都无懈可击针尖面积函数自动校正传感器自动校正压针和光学系统校正自动测试程序快速、多样品自动测试功能实现高通量表征智能化自动程序确保用户选择合适的针尖高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索，极大简化测试流程低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征从微米到几个纳米的多尺度测量纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现很快的反馈控制速率布鲁克纳米压痕仪Ti 980精确控制测试过程实现很大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式强大的测试模块配置，很大化您的表征潜能

The Hysitron PI 89 扫描电镜联用纳米压痕仪利用扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM）的卓越成像能力，可以在成像的同时进行定量纳米力学测试。这套全新系统搭载 Bruker 领先的电容传感技术，继承了引领市场的第一批商业化原位 SEM 纳米力学平台的优良功能。该系统可实现包括纳米压痕、拉伸、微柱压缩、微球压缩、悬臂弯曲、断裂、疲劳、动态测试和力学性能成像等功能。控制和性能具有固有的位移控制，位移范围从1nm to 150μm，业界领先的力范围从1μN to 3.5N，和78kHz的反馈速率和39kHz的数据采集速率，从而记录各种瞬态事件。Hysitron PI 89的紧凑设计允许最大的样品台倾斜，以及测试时成像的最小工作距离。PI 89为研究者提供了比竞争产品更广阔的适用性和性能：重新设计的结构增加适用性和易用性 1 nm精度的线性编码器实现更大范围下更好的自动测试定位重复性更高的框架刚度(~0.9 x 106 N/m)提供测试过程更好的稳定性两种旋转/倾斜模式实现城乡、FIB加工、以及各种探测器的联用，包括EDS, CBD, EBSD, and TKD等。

Hysitron TI 980 TriboIndenter加速纳米力学研究进入更高阶段 布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有最 高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优 异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。 先进的Performech II控制模块和电子设计。 最 高性能的高速闭环控制。 业界领 先的噪音控制。集成的带输入/输出信号的多参数控制。 五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合。充分优 化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合。 多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件。TriboScan(TM) 10提供了创新的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质。多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口。万 能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品 保持处于材料研究和开发的最 前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的领 先位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。 简洁、高速的自动控制系统自动校正使得每次测试都无懈可击。 针尖面积函数自动校正。 传感器自动校正。压针和光学系统校正 自动测试程序。快速、多样品自动测试功能实现高通量表征。 智能化自动程序确保用户选择正确的针尖。 高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索， 极大简化测试流程最 低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征。从微米到几个纳米的多尺度测量。 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征。系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量。力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现 最 快的反馈控制速率精确控制测试过程。实现最 大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征。 特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法。每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式 在纳米力学测试上领 先一步nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。。 全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用。 集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征。 原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高 XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些领 先的性能是通过以下三个业界领 先的技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。 更少时间测量更多参数。 超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）。 快速、高分辨空间硬度和模量分布统计。 一分钟内可靠完成针尖函数自动校正。 比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率。 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量 SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了最 高的定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。。 高定位精度（+/-10nm）。 可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率。 可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像。 业界领 先的纳米力学性能成像分辨率和调色板。 可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用 强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性。 将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内。 基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能。灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优 异控制 TriboIQ: 可编程数据分析程序。易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包。 直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告。 直观可自定义的数据处理和分析模块。 开放式架构使得多用户合作更加容易

纳米力学和纳米摩擦学测试的一大飞跃Bruker’s Hysitron TI 980 TriboIndenter海思创TI 980 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克最先进的纳米力学测试设备，同时具有最高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。TI 980纳米压痕仪是布鲁克著名的海思创纳米压痕设备的新一代产品。它建立在几十年的技术创新上，提供了纳米力学和纳米摩擦学表征领域全新水平的非凡性能、能力和功能。Contact Us Download Brochure 让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。 简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。 不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有最好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。

Hysitron TI 980 TriboIndenter加速纳米力学研究进入更高阶段 布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有最高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。 先进的Performech II控制模块和电子设计。 最高性能的高速闭环控制。 业界领先的噪音控制。集成的带输入/输出信号的多参数控制。 五百倍于前代产品的力学测试速度 多维度测量耦合。充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要，通过多维传感器的选择实现不同测量间的无缝耦合。 多种有效的测试模块配置，包括纳米/微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速力学性能成像等 丰富的系统控制和数据分析软件。TriboScan(TM) 10提供了重要的控制功能，包括XPM超快纳米压痕，SPM+原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。Tribo iQ (TM)提供了强大的数据处理、分析和画图功能，并具有可编程数据分析模块和自动生成的定制测试报告功能。 极大的灵活性和具有前瞻性的表征潜质。多级别的防护罩提供了超强环境隔绝能力，并具有用于将来的升级可扩展接口。万能样品台提供了机械、磁性和真空固定方式，适用于各种样品 保持处于材料研究和开发的最前沿海思创从1992年起就在全球范围内处于纳米力学和纳米摩擦学表征的领先位置。通过与研究人员和工程师的持续合作，布鲁克理解您的独特需求，通过创新的技术帮助您解决当下和将来面临的材料挑战。海思创TI 980 TriboIndenter是这些努力的集大成者。它提供了卓越的性能，能满足您持续更新的材料表征需求。 简洁、高速的自动控制系统自动校正使得每次测试都无懈可击。 针尖面积函数自动校正。 传感器自动校正。压针和光学系统校正 自动测试程序。快速、多样品自动测试功能实现高通量表征。 智能化自动程序确保用户选择正确的针尖。 高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索， 极大简化测试流程最低的噪音水平，实现真正纳米尺度表征。从微米到几个纳米的多尺度测量。 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征。系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量。力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现 最快的反馈控制速率精确控制测试过程。实现最大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征。 特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法。每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式 在纳米力学测试上领先一步nanoDMA III：动态纳米压痕布鲁克的nanoDMA III是强大的动态纳米压痕技术。它提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系。。 全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用。 集成直流和交流调制使得从初始接触点开始就能实现纳米尺度动态性能的可靠、定量表征。 原位参考频率法校正温漂使得长时间测试的精度大大提高 XPM：快速力学性能成像不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆。有了XPM，原来可能需要一整年才能获得的数据，现在只需要一个下午就能获得。这些领先的性能是通过以下三个业界领先的技术实现的。1）高带宽静电激励传感器；2）快速控制和数据采集电子系统；3）自上而下的原位扫描探针显微镜成像。这些技术联用能实现每秒六次纳米压痕测试，从而获得全面的定量纳米力学性能图谱以及性能分布的统计数据。 更少时间测量更多参数。 超高速定量力学性能测量（每秒6次测量）。 快速、高分辨空间硬度和模量分布统计。 一分钟内可靠完成针尖函数自动校正。 比传统纳米压痕测试快500倍的数据采集速率。 xSol 环境控制腔及载台，可实现极端环境条件下高通量测量 SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像布鲁克首创的扫描纳米压痕技术使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试。这种方法实现了最高的定位精度，并且可以在纳米压痕测试后立即对样品塑性形变进行成像，加快测试速度。。 高定位精度（+/-10nm）。 可以从64x64到4096x4096范围内设定扫描分辨率。 可以对各种高长宽比的特征形貌进行不同X-Y分辨率成像。 业界领先的纳米力学性能成像分辨率和调色板。 可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol环境控制腔等联用 强大的系统控制和分析TriboScan 10：强大的测试灵活性提供了无限的测试可能性。 将布鲁克纳米压痕全套测试技术集成到一个直观的软件内。 基于标签页架构的软件设计使得用户可以方便的使用软件功能。灵活的测试过程分段定义方法提供了适用于所有测试模式的优异控制 TriboIQ: 可编程数据分析程序。易用的操作界面，从简单到复杂的可定制数据分析包。 直观的数据组织和分析流程，简单点击即可生成数据报告。 直观可自定义的数据处理和分析模块。 开放式架构使得多用户合作更加容易

布鲁克的Hysitron IntraSpect 90是一种原位压痕系统，专门设计用于在变形过程中实时观察物理化学变化。该系统与现有显微镜集成，在压痕、拉伸、压缩或弯曲测试期间同时进行拉曼表征。米尺度到微米尺度力学测试提供高达 500 mN 的载荷和 150 μm 的位移，具有无与伦比的噪音水平。PTP （压转拉）样品安装允许通过同步的 Raman 光谱成像对光纤、电线和其他样品进行单轴拉伸测试。

纳米力学测试设备Bruker’s TI 950 TriboIndenter海思创TI 950 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克一台用于多种纳米力学和纳米摩擦学表征的自动化、高通量测试设备。海思创TI 950纳米压痕仪集成了强大的Preformech I先进控制模块，显著提高了纳米力学测试反馈控制的准确度，提供了空前的低噪音水平。结合布鲁克的大量纳米力学测试技术和正在研发的测试方法，TI 950 TriboIndenter 是一台多功能和极其高效的纳米力学测试系统，适用于广泛的应用。Contact for More Information 优异的控制反馈和灵敏度布鲁克先进的反馈控制算法和测量灵敏度为所有海思创纳米力学测试技术提供了精确的控制。海思创TI 950上所有的反馈控制功能都基于集成了数据信号处理器（DSP）和现场可编程门阵列（FPGA）的专业控制系统，用于精确实现用户的测试需求。 电容传感器技术专业的电容传感器技术提供了纳米压痕过程中前所未有的测量灵敏度（30nN, 0.2nm），准确性和可信度。静电激励模式使用微小电流，具有zui好的温漂性能，从而实现更快的数据采集，更高的精度和更好的重复性。集成原位扫描探针成像的高分辨光学系统海思创TI 950集成了带彩色CCD相机的光学系统，用于高放大倍数下的样品表面观察和测试位置选择。原位扫描探针成像系统能提供更精确的测试位置选择（±10nm）。TI 950的这种双模式成像设计实现了许多应用对精确控制测试位置的需求。 纳米力学和纳米摩擦学测试的一大飞跃Bruker’s Hysitron TI 980 TriboIndenter海思创TI 980 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克zui先进的纳米力学测试设备，同时具有zui高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。TI 980纳米压痕仪是布鲁克著ming的海思创纳米压痕设备的新一代产品。它建立在几十年的技术创新上，提供了纳米力学和纳米摩擦学表征领域全新水平的非凡性能、能力和功能。Contact Us Download Brochure 让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。 简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。 不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有zui好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。 设备咨询电话：（微信同号）；QQ：；邮箱：欢迎您的来电咨询！网址：

布鲁克BRUKER纳米力学测试设备Bruker’s TI 950 TriboIndenter海思创TI 950 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克一台用于多种纳米力学和纳米摩擦学表征的自动化、高通量测试设备。海思创TI 950纳米压痕仪集成了强大的Preformech I先进控制模块，显著提高了纳米力学测试反馈控制的准确度，提供了空前的低噪音水平。结合布鲁克的大量纳米力学测试技术和正在研发的测试方法，TI 950 TriboIndenter 是一台多功能和极其高效的纳米力学测试系统，适用于广泛的应用。 优异的控制反馈和灵敏度布鲁克先进的反馈控制算法和测量灵敏度为所有海思创纳米力学测试技术提供了精确的控制。海思创TI 950上所有的反馈控制功能都基于集成了数据信号处理器（DSP）和现场可编程门阵列（FPGA）的专业控制系统，用于精确实现用户的测试需求。 电容传感器技术专业的电容传感器技术提供了纳米压痕过程中前所未有的测量灵敏度（30nN, 0.2nm），准确性和可信度。静电激励模式使用微小电流，具有最好的温漂性能，从而实现更快的数据采集，更高的精度和更好的重复性。集成原位扫描探针成像的高分辨光学系统海思创TI 950集成了带彩色CCD相机的光学系统，用于高放大倍数下的样品表面观察和测试位置选择。原位扫描探针成像系统能提供更精确的测试位置选择（±10nm）。TI 950的这种双模式成像设计实现了许多应用对精确控制测试位置的需求。

Hysitron PI 89 扫描电镜联用纳米压痕仪利用扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM）的卓越成像能力，可以在成像的同时进行定量纳米力学测试。这套全新系统搭载 Bruker的电容传感技术，继承了引领市场的一批商业化原位 SEM 纳米力学平台的优良功能。该系统可实现包括纳米压痕、拉伸、微柱压缩、微球压缩、悬臂弯曲、断裂、疲劳、动态测试和力学性能成像等功能。特点独有的可互换传感技术，实现了更大范围(10mNx500 mN、3.5N和150μ.m)的原位纳米力学测试和微尺度力学测试独有的载荷和位移控制测试模式,可进行纳米压痕、压缩、 拉伸、疲劳或弯曲测试采用全新编码样品台技术(1 nm分辨率)，可以在纳米晶粒 内部进行压痕操作提供旋转/倾斜台两种配置，从而在进行纳米力学测试、二次电子成像、原位FIB加工和分析成像等操作时，样品定位能力进一步提高采用永不过时的模块化设计,原位测试相关技术得以不断升级，包括800℃加热、划痕测试、电特性、扫描探针显微镜 (SPM)成像、力学性能成像(XPM)及动态疲劳测试等技术配备PerformechII先进控制模块，反馈频率达到78 kHz, 数据采集频率达到39 kHz,可以捕捉断裂引发等瞬时事件功能齐全Hysitron PI 89可以轻松安装到扫描电子显微镜台上,不需 要一直固定在显微镜上。其设计小巧，大幅增加物台倾斜 度、缩短工作距离,确保测试期间实现佳成像。PI89平台经过改装，在系统的样品位置增加了一个滑移台。该设计可方便快速地调整样品相对于传感器的位置,并可配置可更换压头、样品和其它附加装置。同时扩大了可用空间，可以容纳更大的样品、附加样品台和新的配件。此外,选用新的直线编码样品台,可以提高自动运动中的 重复性，同时扩大行程范围。通过重新设计机械载荷架轴，提升了框架刚度。

Hysitron PI 89 扫描电镜联用纳米压痕仪利用扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM）的卓越成像能力，可以在成像的同时进行定量纳米力学测试。这套全新系统搭载 Bruker的电容传感技术，继承了引领市场的一批商业化原位 SEM 纳米力学平台的优良功能。该系统可实现包括纳米压痕、拉伸、微柱压缩、微球压缩、悬臂弯曲、断裂、疲劳、动态测试和力学性能成像等功能。特点独有的可互换传感技术，实现了更大范围(10mNx500 mN、3.5N和150μ.m)的原位纳米力学测试和微尺度力学测试独有的载荷和位移控制测试模式,可进行纳米压痕、压缩、 拉伸、疲劳或弯曲测试采用全新编码样品台技术(1 nm分辨率)，可以在纳米晶粒 内部进行压痕操作提供旋转/倾斜台两种配置，从而在进行纳米力学测试、二次电子成像、原位FIB加工和分析成像等操作时，样品定位能力进一步提高采用永不过时的模块化设计,原位测试相关技术得以不断升级，包括800℃加热、划痕测试、电特性、扫描探针显微镜 (SPM)成像、力学性能成像(XPM)及动态疲劳测试等技术配备PerformechII先进控制模块，反馈频率达到78 kHz, 数据采集频率达到39 kHz,可以捕捉断裂引发等瞬时事件功能齐全Hysitron PI 89可以轻松安装到扫描电子显微镜台上,不需 要一直固定在显微镜上。其设计小巧，大幅增加物台倾斜 度、缩短工作距离,确保测试期间实现佳成像。PI89平台经过改装，在系统的样品位置增加了一个滑移台。该设计可方便快速地调整样品相对于传感器的位置,并可配置可更换压头、样品和其它附加装置。同时扩大了可用空间，可以容纳更大的样品、附加样品台和新的配件。此外,选用新的直线编码样品台,可以提高自动运动中的 重复性，同时扩大行程范围。通过重新设计机械载荷架轴，提升了框架刚度。

纳米力学测试设备Bruker’s TI 950 TriboIndenter海思创TI 950 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克一台用于多种纳米力学和纳米摩擦学表征的自动化、高通量测试设备。海思创TI 950纳米压痕仪集成了强大的Preformech I先进控制模块，显著提高了纳米力学测试反馈控制的准确度，提供了空前的低噪音水平。结合布鲁克的大量纳米力学测试技术和正在研发的测试方法，TI 950 TriboIndenter 是一台多功能和极其高效的纳米力学测试系统，适用于广泛的应用。Contact for More Information 优异的控制反馈和灵敏度布鲁克先进的反馈控制算法和测量灵敏度为所有海思创纳米力学测试技术提供了精确的控制。海思创TI 950上所有的反馈控制功能都基于集成了数据信号处理器（DSP）和现场可编程门阵列（FPGA）的专业控制系统，用于精确实现用户的测试需求。 电容传感器技术专业的电容传感器技术提供了纳米压痕过程中前所未有的测量灵敏度（30nN, 0.2nm），准确性和可信度。静电激励模式使用微小电流，具有zui好的温漂性能，从而实现更快的数据采集，更高的精度和更好的重复性。集成原位扫描探针成像的高分辨光学系统海思创TI 950集成了带彩色CCD相机的光学系统，用于高放大倍数下的样品表面观察和测试位置选择。原位扫描探针成像系统能提供更精确的测试位置选择（±10nm）。TI 950的这种双模式成像设计实现了许多应用对精确控制测试位置的需求。 设备咨询电话：欢迎您的来电咨询！

Hysitron TS 77 Select™ 自动化纳米力学和纳米摩擦学测试系统是一台具有最高的性能、功能和易用性的台式纳米压痕仪。这款新测试系统采用了布鲁克著名的 TriboScope 电容式传感器技术，能可信地测试从纳米到微米尺度上的机械和摩擦特性。TS Select 支持模式包括定量纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和高分辨率机械性能成像等功能。 Ts Select特性：提供核心测试技术， 包括纳米压痕、动态纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损和原位 SPM 成像通过电容式传感器技术，使用静电力驱动同时提供高灵敏度和低温漂具有高速纳米压痕功能，可快速对机械性能进行成像，获得具有统计性的结果使用直观且易于使用的控制软件，使操作人员能够进行可靠的测量系统预设了满足ISO 14577 和 ASTM E2546标准的测试脚本具有系统自动校正功能和多样品自动测试功能，更快地获得结果

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

布鲁克Hysitron TI Premier高精度纳米力学测试系统是布鲁克公司研制的自动化、高通量测试仪器，通过纳米级位成像，可实现压痕、划痕和磨损过程的纳米尺度原位可视化表征。Hysitron（海思创）应用其工艺技术“三板电容传导”，从源头上保证了仪器稳定性和灵敏度。使用Hysitron（海思创）纳米力学材料检测系统通过探针可以获得材料微区的硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、断裂刚度、失效、蠕变、粘附力（结合力）等力学数据。后续可选择升级模块有高温台、电学性能测试、湿度控制模块、冷台、与拉曼连用等。不仅在微纳米水平上开展力学行为特性的研究，还可以进行纳米尺寸上的机械加工。

布鲁克Hysitron PI 85L是SEM专用的多用途、高灵敏度热学、电学和力学的测试系统，利用SEM的高分辨率，可以直接观测整个材料动态变化的过程。传统纳米压痕仪通过光学显微镜或原位扫描只能观察到压痕前及压痕后的形貌变化，中间过程无法观察到，载荷位移曲线上的一些突变我们无法解释，甚至单从曲线分析会导致错误的解释。PI 85L安装于电镜，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下做压痕、拉伸、弯曲、压缩、加热、电学和划痕测试，可以借助电镜的高分辨率，观测并记录整个材料测试过程，观测材料在力下发生的动态变化，如金属蠕变、相变、断裂起始等。PI 85L采用Hysitron专利技术三板电容传感器，具备载荷和位移同时监测和驱动的独特功能。具备业界领先的精度，重复性和低背景噪音等优点。PI 85L拥有多种特色测试功能模块可供选择，如动态力学测试、MEMS加热、拉伸测试、电学测试、纳米划痕等功能模块。

Hysitron TS 77 Select 纳米压痕仪可靠的定量表征 TS 77 Selec产自动台式纳米力学和纳米摩擦测试系统提供了同级别仪器中高的测试性能，功能性和易用性。基千布鲁克zhu 名的Triboscop铲电容式传感器技术，这套新的测试系统支持从纳米到微米尺度的可靠的力学和摩擦学表征。 TS Select具有极高的性价比，提供众多性能优异的测试模块，包括定量纳米压痕、 动态纳米压痕、 纳米划痕、 纳米磨损和高分辨力学性能成像功能。 • HysitronTS SelectTesting Modes 纳米压痕高精度力学表征 纳米压痕是表征局部微结构、界面＼表面微结构和薄 膜的弹性模噩、硬度 ＼ 蠕变、应力松弛和断裂韧性的常见技术 。采用布鲁克独创的 Hysit ron T「iboScope 电容式传感器技术，丁 S Select 支持纳米到微米尺度定星可靠的力学 性能测量。 力学性能成像快速数据采集和高速成像 TS Select 提供比传统纳米压痕测试快180倍的高速测试能力。在写秒两次的纳米压痕测试速度下， 可以在几分钟内得到非均相材料的高分辨率力学性能图像 。此外， 高 速测试可以快速采集和统计分析大量测试数据， 从而提高则罩结果的可信度。 原位SPM成像实现卓越的纳米力学 布鲁克原位扫描探针显微技术( SPM ) 利用纳米力学测试的压头扫描样品表面从而实现表面形貌成像。同—尺度下的力学测试和形貌扫描保证了纳米力学表征结果的卓越性 和可靠性。原位 SPM 成像可以实现纳米尺度的精确定位， 确保力学测试在材料上指定的位置进行。 磨损测试定量纳米尺度耐磨性能 利用TS Select 的SPM 原位扫描成像技术 ， 可以精确测噩磨损量和磨损率随接触力＼滑动速度和磨损次数的变化。得 益千宽泛的空间测噩范围， TS Select可以轻松实现局部微观结构、界面和薄膜的摩擦性能测试。 TS Select 控制软件简化的系统操作和数据分析 布鲁克 丁S Select 的 控制和分析软件包专门针对测试过程进行了精简优化。优化内容涵盖了样品加载、测试设置、测试执行和数据分析。TS Select 控制软件集成了自动化样品测试和仪器校准程序， 来实现简单、高效和无误的表征。 Hysitron TS Select Options 动态纳米压痕 纳米划痕 动态纳米压痕通过在准静态力上登加—个小的振荡力来实现材料表面硬度和模量随深度变化的连续测星。 基于—个针对动态测试优化的电容传感器和一个集成的锁相放大器， 动态纳米压痕非常适用千表征力学性能与测试深度、 频率和时间的关系。 纳米划痕利用— 个静电驱动的二维传感器来精确控制法向力， 同时测星探针移动所需的横向力。 由于其横向位移不依赖千电动样品台， 纳米划痕提供了市场上最灵敏和最可靠的纳米尺度摩擦和薄膜粘附力的测噩手段。 OnlyTS 77 Select• 提供核心测试技术的基本工具包：包括纳米压痕、 动态纳米压痕、 纳米划痕、 纳米磨损和原位SPM成像• 通过静电驱动的电容式位移传感器实现高灵敏度和低热漂移• 具有快速力学性能成像和大数据统计分析的快速压痕功能• 通过直观易用的软件设计，使入门级操作人员都能够进行可靠的测呈• 通过预先编入基于ISO 14577和ASTM E2546标准的测试函数，使测试设备简单易用• 自动化的系统校准和多样品程序化测试可以大大缩减测试周期

Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex一、概述布鲁克的摩擦测试设备，居于世界领dao者地位，成为摩擦学和机械性能测试的标杆，能在各种环境条件下执行多重检测，获取纳米级、微米级以及宏观尺度上材料的摩擦和机械性能数据。目前，全球有上千台设备成功安装并投入使用，进行材料基本性能的测试，尤其在薄膜研究以及工业生产的质量监控方面。图1、CETR-Apex微纳压痕划痕测试仪 Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex，是一款多功能微米、纳米机械性能测试平台。性能卓越，操作简易。CETR-APEX压痕和划痕测试仪，配备6种容易互换的机械头，高倍率显微镜和成像模块(AFM和三维光学轮廓仪)。纳米压头用来测量超薄涂层尤其是纳米级涂层以及块体材料的厚度、硬度、杨氏模量等。微米压头用于较厚涂层和块体材料的硬度、杨氏模量等机械性能测量。纳米、微米级摩擦学压头用于薄膜、涂层以及块体材料的摩擦磨损测量、静态/动态摩擦学测量、耐用度、附着力，粘滑性等机械性能测量。图2、CETR-Apex 微米摩擦学头 图3、CETR-Apex 纳米摩擦学头1. CETR-Apex三个测量探头l 左侧：机械性能测试，可以简便更换纳米、微米压头；l 中部：显微镜，多达4个不同放大倍数的物镜，随意切换；l 右侧：扫描成像，AFM和三维光学轮廓仪随意切换。 2. 六种机械压头l 奈米压痕压头用来测量超薄涂层尤其是奈米级涂层以及块体材料的硬度,杨氏模量等（样品表面需较为光滑，以确保数据可靠性) 。l 奈米划痕压头主要用于奈米级超薄涂层的厚度测量(DLC、ALD、太阳能薄膜、ITO薄膜和光学涂层等)。l 微米压痕压头仪器的微米压痕压头用于较厚涂层和块体材料的硬度和杨氏模数等机械性能测量。l 微米划痕压头主要用于较厚涂层的微米级划痕测量(PVD、CVD、油漆、装饰涂料等)。l 毫米划痕压头用于宏观尺度的划痕测量。l 纳米、微米级摩擦学压头用于薄膜、涂层以及块体材料的磨润测量、静态/动态摩擦学测量、耐用度、附着力、粘滑性等机械性能测量。 3. 可供选择的模块与软件l 原位成像模块可供选择的原位成像模块,无需移动样品的情况下，将样品测试的结果自动生成为高分辨图像(压痕、划痕、磨润等)。l 摩擦学测试&机械性能测试分析软件基于windows系统设计的软件包秉承布鲁克测试仪器的一贯标准，快速采集并且灵活处理资料，进行详细可靠的数据分析。图4、在线成像 4. ASTM/DIN/ISO的标准认证Apex适用于 多重认证标准：l ASTM E2546 纳米压痕检测标准l ISO 14577 仪器压痕硬度检测l ASTM C1624 陶瓷涂层的附着力和机械性能实效检测l ASTM G171 材料化划痕硬度检测l ASTM E384 材料微米尺度的压痕硬度检测 二、纳米模块NH随着纳米技术的进步和薄膜工艺的发展（太阳能电池，CVD，PVD，DLC，MEMS等），纳米尺度的机械性能测试趋向标准化。这种方法改进了传统硬度测试的不足，通过设计高深宽比的探针测试更深、更窄的沟槽，还实现了低载荷，高空间分辨率和原位载荷-位移数据的精确测量。纳米压痕--- 参照ISO14577标准，选取 单点/多点压痕来测量薄膜、涂层和块体材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（von Mises应力）和接触强度/刚度等。纳米划痕--- 在接触模式下，可根据用户定义不断增加载荷，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。动态压痕--- 通过探针动态测量方法，检测随深度变化的损失模量以及存储模量。NH特性l 电磁驱动传感器l 三板电容传感以超高精确度检测样品摩擦学性质变化l 针尖几何形状为Berkovich、球体、立方体角l 对多点压痕进行空间映射，压痕数目不受限制l 在线成像选件（推荐使用原子力显微镜）l 检测效率高，重复性好l 可选的先进的原位传感器l 配备隔热、隔音罩以及防震台l 符合ASTM、DIN和ISO的所有监测标准 三、微米模块MH微米机械性能测试已经被广泛应用于检测涂层和块体材料的各种机械性能。微米机械性能测试仪远胜于传统测试方法，可以提供原位载荷-位移数据、应用例如声学发射检测、ECR、摩擦检测等信号来获得综合机械性能信息。仪器化微米压痕检测--- 参照ISO14577标准，在毫米尺度（应用超过2N的载荷）以及微米尺度（低于2N的载荷）下检测涂层和体块材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（von Mises应力）和接触强度/刚度等。传统维氏硬度和努普硬度--- 参照ASTM E384.99 认证标准，测量测量的显微硬度。微米划痕---在接触模式下，可根据用户定义不断增加载荷，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。MH特性l 电磁驱动传感器l 三板电容传感以超高精确度检测位移l 针尖几何形状为Berkovich、球体、立方体角l 对微多点压痕进行空间映射，压痕数目不受限制l 在线成像选件（推荐3D轮廓仪）l 检测效率高，重复性好l 可选的先进的原位传感器l 用户自定义数据分析算法或分析模型，精确检测材料机械性能l 符合ASTM、DIN和ISO的所有监测标准设备咨询电话：

产品描述iNano采用InForce 50驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试。 InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。 InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。 iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体和封装行业聚合物和塑料MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆聚合物制造复合材料电池和储能应用硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iNano纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iNano的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iNano纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iNano纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。 该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料的精确和可重复测试。 模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。 iNano提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。

产品描述iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试，并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。主要功能InForce 1000驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头可选的InForce 50驱动器提供最 大50mN的法向力来测量软性材料，并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数XY移动系统以及易于安装的磁性样品架高刚度龙门架，集成隔振功能带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位ISO 14577和标准化测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序主要应用硬度和模量测量(Oliver Pharr)高速材料性质分布ISO 14577硬度测试聚合物tan delta，储存和损耗模量定量刮擦和磨损测试样品加热工业应用大学、研究实验室和研究所半导体行业PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试陶瓷和玻璃金属和合金制药涂料和油漆复合材料电池和储能汽车和航空航天应用硬度和模量测量（Oliver Pharr）机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。高速材料性质分布对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iMicro的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。ISO 14577硬度测试iMicro纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。聚合物Tan Delta、储存和损失模量iMicro纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。定量划痕和磨损测试iMicro可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。 涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。 重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。 理想地，介电材料应具有高硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造工艺下会如何反应。高温纳米压痕测试高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。产品优势iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。 可互换的驱动器能够提供大动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出精确及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。 iMicro拥有一整套测试扩展的选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D / 4D性质分布，以及Gemini 2D力荷载传感器，可以提供摩擦和其他双轴测量。

iMicro纳米压痕仪iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像、Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。 产品描述iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和万能纳米力学试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。 产品特色InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µ sXY运动系统以及易于安装的磁性样品台高刚度框架，且集成隔振功能集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位符合ISO 14577等标准的测试方法InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序 产品应用硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）快速材料力学性能成像ISO 14577 硬度测试聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量定量的划痕和磨损测试高温纳米压痕测试 适用行业大学、科研实验室和研究所半导体与封装产业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN）MEMS：微机电系统/万能纳米力学试验陶瓷与玻璃金属与合金制药涂层 涂料复合材料电池与储能汽车与航空航天主要应用硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。快速材料力学性能成像对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。定量的划痕和磨损测试iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。高温纳米压痕测试高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。