扫描干涉仪

THz太赫兹扫描干涉仪产品负责人：姓名：王工(Karl）电话：（微信同号）邮箱：THz太赫兹扫描干涉仪，精度高，成本低，适合初步搭建实验系统。THz太赫兹扫描法布里-珀罗干涉仪（TSFPI）主要用于测量窄带太赫兹辐射的波长和强度分布，同时也可用于脉冲和连续窄带太赫兹辐射源。TSFPI由两个半透明平行硅镜组成，其中一个安装在电机驱动的线性致动器上。通过反射镜的平移（扫描）来测量太赫兹辐射参数，如图1所示。THz太赫兹扫描干涉仪TSFPI可与如下太赫兹源结合使用：■ 回旋管；■ 光泵亚毫米波激光器；■ 回波振荡器；■ 自由电子激光器；■ 差频太赫兹发生器；■ 混频太赫兹发生器；■ 量子级联激光器；■ p-Ge激光器；■ 其他新颖的太赫兹源。THz太赫兹扫描法布里-珀罗干涉仪还能够测量宽带太赫兹源的波长和强度分布，以及根据法布里-珀罗干涉仪的透射光谱对太赫兹辐射进行滤波（图2）。THz太赫兹扫描干涉仪支持多种镜像平移模式，例如将镜像移动到给定位置、将镜像移动给定距离、连续平移和循环平移。反射镜平移速度、换档间隔、起始和结束位置也可以调整。图3 显示了由THz太赫兹扫描干涉仪TSFPI进行光泵亚毫米波激光器的激光波长测量结果。从图中可以看出，相邻TSFPI传输Tmax之间的距离约为216μm（433μm–216μm=217μm；647μm–433μm=214μm；865μm–647μm=218μm），相当于激光波长的一半。该结果与理论THz太赫兹扫描干涉仪TSFPI透射率Tmax一致：λ=2*d/m，其中d是TSFPI反射镜之间的间距，单位为μm，m是干涉阶数，λ是测量波长，单位为μm。THz太赫兹扫描干涉仪指标参数：THz太赫兹扫描干涉仪TSFPI包括如下组件： TSFPI interferometer unit Power supply and control unit Mirror translation control software Cables User guide.其他详细情况可咨询上海昊量光电设备有限公司。

THz扫描法布里-珀罗干涉仪品牌：Tydex型号：TSFPITHz扫描法布里-珀罗干涉仪(Terahertz scanning Farby-Perot interferometer (TSFPI) )是专门设计用来测试THz波长以及窄带THz辐射强度的仪器。TSFPI有两块半透明平行的Si反射镜组成，其中一个Si镜装在线性电机上，可以通过控制Si镜之间的距离测量相应的THz数据。TSFPI 可以用于以下光源:回旋振荡管 光泵浦亚毫米波激光器 返波管 BWO 自由电子激光器 差频THz产生器 光混频THz产生器 量子级联激光器 p-Ge 激光器 规格参数：SpecificationValueOperational frequency range, THz0,1-15Free spectral range, THz 0,01-1,8Spacing between mirrors, mm0-9,5 Spacing setting accuracy, μm± 1.25 Optical axis height, mm110Free aperture, mm52Dimensions (LxHxW), mm232х151х120Mass, kg5,0

Thorlabs 扫描式法布里-珀罗干涉仪 SA30-57光学仪器特性分析连续激光器的细微光谱特征光学镀膜适用于290 nm - 4400 nm自由光谱范围：1.5或10 GHzzui低精细度：150、200或1500在厂校准精细度超稳定无热Invar® 腔SMA或BNC耦合，用于连接示波器SA201控制器(单独出售)提供三角形或锯齿形扫描电压，用于压电传感器可以定制适用于紫外到中红外的反射镜镀膜(详情请联系我们)Thorlabs的扫描式法布里-珀罗(FP)干涉仪是一种光谱分析仪，非常适用于检查连续激光器的细微光谱特性。我们提供自由光谱范围(FSR)为1.5 GHz或10 GHz的干涉仪。干涉仪的分辨率会随着FSR和精细度的变化而变化，范围从小于1 MHz到67 MHz。FP腔只能透过特定频率的光。利用压电传感器调节腔的长度，可以调谐透过频率，如右图所示。透射光强度通过光电二极管测量，经SA201控制器中的跨阻放大器(或等效放大器)放大，然后由示波器显示或数据采集卡记录。每个法布里-珀罗gan涉仪都有一根带BNC接头的电缆，用于控制压电部件。SA30-144、SA200-18C和SA210-18C中的反射镜由红外级熔融石英(Infrasil® )制成，SA200-30C中的反射镜由钇铝石榴石(YAG)制成，其他型号的反射镜由紫外熔融石英制成。内部壳体由热稳定的殷刚制成，以消除由温度变化产生的偏移。SA200和SA30型号的背面有SM1(1.035"-40)螺纹，用于安装探测器，而SA201型号有SM05(0.535"-40)螺纹。除SA200-30C之外，每个扫描式法布里-珀罗gan涉仪附带一个光电二极管探测器和一根SMA-BNC电线，用于连接探测器和放大器。光电二极管可以拆下，以便对准或换成其他探测器。Thorlabs 扫描式法布里-珀罗gan涉仪近似共聚焦FP设计，亚MHz分辨率高精细度: ≥150010%到20%共振透过率(典型值)超稳定无热化殷钢腔体低扫描电压(每FSR为2.5 V，对于633 nm)Ø 2英寸法兰，用于安装在Thorlabs的KS2或KC2(KC2/M)安装座中附带SMA转BNC电缆SA30系列FP干涉仪具有1.5 GHz自由频谱区。这些干涉仪的最小精细度是1500，分辨率小于1 MHz。提供6种波长范围，详见下表和右侧曲线所示。更多信息请看曲线标签。

系统参数：◆原理非接触、三维白光扫描干涉仪。◆扫描装置:闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器。◆物镜:1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X, 工作距离分别有标准/长焦/超长焦详见物镜参数表。◆物镜座选件: 电动4位塔台可选。◆视场放大倍数:高质量分立放大倍率镜头：0.5X,1.0X,2.0X。◆成像放大视场：电动3位系统成像放大0.04-16mm,跟物镜和放大倍率有关，运用图像拼接技术可以得到更大范 围。◆光源:特殊设计长寿命白光LED。◆控制：滤光板托架，视场光阑（辅助聚焦）。◆测量阵列:1600×1600。◆样件观察:专用液晶显示屏实时观察。◆精密聚焦：电控手动和自动聚焦◆Z 轴驱动（聚焦）:直流无刷微步进电机驱动，100mm行程，0.1um的精度◆样品台: 电动,俯仰±3°和XY平移（±76mm）◆计算机:带液晶显示器的高性能DELL计算机◆软件:在Microsoft Windows7下运行的ZYGO Mx软件◆尺寸（HWD）:总尺寸：151×73×61cm newview：75x64x56cm 防震台：76x61x61cm◆总重量: 约229Kg newview：约91Kg性能：◆纵向扫描范围：150 um，可扩展到20mm◆纵向分辨率：＜0.08nm◆横向分辨率：0.34-16.42um 与所选物镜有关◆扫描速度：≥150um/sec,与所选的CCD和扫描模式有关◆RMS重复性：＜0.008nm, RMSσ◆台阶测量：准确度 ≤ 0.8%；重复性≤0.1%@1σ被测样品特性：◆材料： 各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射◆最大尺寸（HWD）：89 x 203 x 203mm 或更大◆反射率：0.05%-100%环境要求：◆温度： 15-30℃ ＜1.0°C/15 分钟◆湿度： 相对湿度 5%-95%，无凝结◆隔振：需要隔离 1-120Hz 的振动（VC-C）

法布里珀罗干涉仪 FPI 法布里珀罗干涉仪（Fabry-Perot Interferometer，FPI 100）是一款共聚焦扫描 FPI，它自带光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波激光器的模场分布。其主要特点有： 激光模式分析简单方便可选八种反射镜用于波长范围 300 到 3000 纳米自由光谱范围 1GHz 或 4GHz标准反射镜反射率 99.8%，对应 finesse 大于 400可选配光纤耦合器套件 – 方便使用 FC/APC 光纤接头进行耦合光电二极管更换套件 – 可见光/近红外/红外，通过内置聚焦透镜自动对准用户规定 finesse 值扫描选项 – 集成光电二极管放大器的独立扫描发生器 miniScan 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！GEMINI是一款新颖的紧凑型干涉仪，入射光所产生的两束复制光之间具有极高的稳定性。其卓越的性能可以被应用于许多科研领域，比如时间/频率分辨荧光探测，相干拉曼光谱，泵浦探针，二维光谱以及单分子的研究。主要特点高光通量，高灵敏度(1cm通光孔径，没有任何光栅或输入/输出孔径狭缝)宽光谱范围：标准版400-2300nm、超宽带版250-3500nm≈1阿秒稳定性（对两束复制光）自定义扫描范围对振动不敏感尺寸紧凑（176 x 44 x 54.5mm）轻便（≈400g）应用领域：干涉测量 激光对产生GEMINI在探测端时间/频率分辨荧光泵浦探针光谱相干拉曼光谱GEMINI在激发端单分子表现特征 和TCSPC探测器组成的时间/频率分辨荧光系统实验配置：GEMINI干涉仪放置于和TCSPC连接的单光子探测器之前，可以在保证时间分辨的同时获得荧光的波长信息。 相干拉曼（受激拉曼散射）和泵浦探针光谱实验配置：GEMINI干涉仪置于探针/斯托克斯光束入射样品后方，可以测量受激拉曼散射和MHz调制频率的泵浦探针光谱。单分子激发-发射图GEMINI干涉仪可以在短时间内以异常高的精确度和灵敏度获得单分子的特征描述 技术规格UV-SWIRVIS-MIDIR光谱范围200-3500nm500-5000nm延时稳定性小于1阿秒运行模式阶跃扫描或连续扫描尺寸10×8×8cm重量750g 武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！

扫描法布里－珀罗干涉仪 特性分析连续光激光器光谱自由光谱范围1.5和10GHz精细常数高于150控制器可选Thorlabs的扫描法布里-珀罗(FP)干涉仪 经常用于检查连续激光器的光谱特性的精细结构。这些干涉仪的精细常数高于150，自由光谱范围(FSRs) 为1.5或10 GHz。共焦FP腔起到非常窄的带通滤光片的作用。通过用压电换能器调节FP腔的长度，可以调谐腔的透射波长，其中压电换能器由SA201控制器或具有相同功能的发生器驱动。透射光的强度用光电二极管测量，信号由SA201中的跨阻抗放大器（或等价的放大器）进行放大，然后通过示波器或数据采集卡进行显示或记录。准直FP干涉仪腔体的共焦设计使其对入射光的对准相对不太敏感。因此，通过将干涉仪安装在标准的可调镜座上（详细信息请参阅对准指南标签），FP干涉仪的光轴与入射光束的对准具有足够的精度。1) 控制器（BNC）至压电元件（粘贴上）电缆，FP干涉仪的不可移部分2) 光电二极管（SMA）至控制器（BNC）电缆，包含于FP干涉仪中3) 放大光电二极管输出（BNC）至示波器电缆，不包含4) 控制器触发输出（BNC）至示波器电缆，不包含5) 可选连接线，允许用户监测用于驱动压电换能器的信号SA201控制器产生重复扫描腔长所需的锯齿波或三角波电压，扫描长度为&lambda /4（或更多）以扫过干涉仪的一个自由频谱区（FSR）。SA201控制器也具有跨阻抗放大器，可用来放大FP干涉仪中光电二极管探测器的输出。强度信息用来测量共焦FP腔的透射光的强度。控制器也为示波器提供了触发信号，触发信号可以方便地在扫描开始或中途简便触发示波器。通过分开一个FSR来测量两个相同光谱特征的间隔时间，可以对示波器的时间轴进行精确校准（详细信息见法布里&mdash 珀罗教程标签中的图4及图5）。理论反射镜反射率及反射镜精细度表格文件包含了绘制上图所用的数据。扫描法布里－珀罗干涉仪：1.5GHz自由频谱区Zoom Item #SA200Free-Spectral Range (FSR)1.5 GHzFinesse200 (250 typ)Resolution7.5 MHzMax. Beam Diameter*600 µ mCavity Length50 mmMirror SubstrateUV Fused Silica***FP腔体的入射孔径比最大光束直径大。但如果光束直径超过此规格，仪器的分辨率将会降低。**SA200-18B的反射镜基底为红外级熔融石英（Infrasil)新型Ｂ系列具有扩展的工作波长范围共焦法布里－珀罗设计超稳定无热化因钢腔体扫描电压（5伏/FSR＠633纳米）Ø 2英寸安装法兰推荐安装座： KS2 或KC2扫描法布里－珀罗干涉仪：10GHz自由频谱区Zoom Item #SA210Free-Spectral Range (FSR)10 GHzFinesse150 (180 typ)Resolution67 MHzMax. Beam Diameter150 µ mCavity Length7.5 mmMirror SubstrateUV Fused Silica***FP腔体的入射孔径比最大光束直径大。但如果光束直径超过此规格，仪器的分辨率将会降低。**SA210-18B的反射镜基底为红外级熔融石英（Infrasil）。扫描法布里－珀罗干涉仪控制箱Zoom Photo Amplifier SpecificationsGain Steps0, 10, 20 dBTransimpedance Gain (Hi-Z)10, 100, or 1000 kV/ATransimpedance Gain (50 O)5, 50, or 500 kV/AOutput Voltage (Hi-Z)0 - 10 V (Min Range)Output Voltage (50 O)0 - 5 V (Min Range)Bandwidth250 kHzNoise (RMS)0.1 mV @ 10 kV/A0.2 mV @ 100 KV/A1.5 mV @ 1 MV/ATTL触发输出上升沿触发开始扫描下降沿触发中间点扫描扫描电压可调节直流偏置（扫描中点处的中央信号）扫描时间可调节（0.01－10秒）三角或锯齿形扫描电压互阻式增益放大器光电二极管输出可选择输入：交流100,115或230伏SA201专门设计通过产生高稳定性，低噪声的电压斜坡信号来控制Thorlabs公司的法布里－珀罗干涉仪。该斜坡信号用来扫描干涉仪腔体的两块反射镜的空间间隔。控制器有100,115或230V可选择的交流输入，提供了斜坡电压及扫描时间的调整，使用户可以选择扫描范围及速度，并提供偏压控制使示波器上的光谱向右或向左移动。Ramp SpecificationsWaveformSawtooth or TriangleOutput Voltage Range1 - 45 V (offset + amplitude)Offset Adj. Range0 - 15 VDCAmplitude Adj. Range1 - 30 VRisetime Adj. Range1X Sweep Exp. 0.01 - 0.1 s100X Sweep Exp. 1 - 10 sSweep Expansion1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100XSweep Scale Error± 0.5%Output Noise1 mVRMS (~6.6 mVPP)TriggerRamp Start or Midpoint输出触发器允许用户在斜坡波形的起始阶段或中间对示波器进行外触发。从中间点触发示波器的功能使得对线型进行放大更加方便；只需将感兴趣的光谱成分移至显示屏的中央并且增加范围的时基。不需要应用偏置将信号重新移至中间；增加的范围对感兴趣的点进行了扩充。控制器的另一个方便的特性是增加斜坡信号长度的校准过的放大能力，可放大1倍，2倍，5倍，10倍，20倍，50倍与100倍，这样就可以实现极宽范围的扫描时间。输出的TTL电平触发允许用户在斜坡信号的起始点或中间点对示波器进行外触发。SA201也含有用来监测腔体透射率的高精度光电探测器放大电路。放大器提供了可调节的互阻抗增益：10千，100千与1兆伏／安，用来驱动高阻抗负载，例如示波器。应用控制器的输出同步信号，可以用示波器来显示输入激光的光谱。探测器电路包括了消隐电路，用来消除光电二极管对锯齿波下降沿的响应。

产品概述MT Pro 是一款集单多芯一体的双光源干涉仪。结合Dimension高科技自主研发且拥有专利技术的光学系统，提升检测视场大小，多芯采用非接触式白光扫描测量，单芯采用红光相干原理而研制。能够快速一键全自动准确检测连接器表面3D形貌的各项指标参数，并显示保存测量结果。配备多款高性能检测夹具，广泛应用于实验室及生产制造。主要特性图像分辨率高达 1.5μm测量速度快，单芯 0.5s，12 芯 5s重复性高采用 0.1nm 精度激光干涉仪标定，测量结果准确Ferrule 夹具外框定位支持检测单芯，多芯（2~72 芯）测量视场 4.3*3.3mm 可测量单排 16 芯连接器自动对焦、自动测量功能自动调整校准参考镜0~8°夹具角度快速调节，无需更换夹具软件操作界面更直观图像分辨率高达1.5umMT Pro 针对多芯连接器测量设计了新的光学系统能够准确还原光纤连接器端面细节及形貌。保证后续计算得到准确结果。 多芯多模光纤表面 多芯单模光纤表面单芯光纤检测新高度MT Pro干涉仪采用全新光路设计，光纤高度测量范围单芯高达 -1000~1000nm，适合各种复杂工况的使用。 数据重复性好以下是同一个连接器连续测量 10 次的结果。光纤高度测量重复性纤芯凹陷测量重复性测量结果准确MT Pro使用了精度高达0.1nm的激光干涉仪对系统进行了准确的标定。确保 MTP/MPO 测量的ROC、Fiberheigh和 Coredip等参数准确性和一致性。自动对焦功能MT Pro 在每次测量时都启动了自动对焦保证从最佳位置开始面型扫描，从而能够最大范围还原出各种连接器的表面形貌，即使端面形状不是很理想的连接器也能够被准确测量。自动对焦功能大大简化了测量操作，特别是 APC 连接器。自动校准参考境维度科技的干涉仪校准方案是采用自动调整参考镜，而非手动调整夹具平台或用数据补偿的方案。这样做的优点是：独特MT Ferrule 外框定位测量夹具维度科技外框定位测量技术拥有技术专利，优点显著。1. 外框定位 MT Ferrule 可用于 MT4，MT8， MT12 ,MT16 ，MT24，MT32 ，MT48 ，MT72全系列 ferrule 测量无需更换夹具。2. 保证了 Ferrule 角度测量的准确性和重复性3. 长寿命不易损伤4. 避免了对被测件 PIN 孔的损坏5. 有助于分析研磨夹具角度的准确性 足够大的视场能够测量 MT160~8°夹具角度快速切换MT Pro 的独特夹具平台设计 , 能够快速实现 0~8°的宽广角度调节，无需更换夹具再次校准，能够保证更高的重复性和再现性，可检测全类型的多芯 PC 和 APC 产品。 PC ,APC测量模式切换快速简便一键式操作一键式全自动的测试流程，只需一次点击鼠标即可自动对焦、自动扫描、自动分析、自动计算，数秒内完成测量及报告存储。简洁的软件界面和卓越的3D还原能力MT Pro 干涉仪测量 软件界面采用简洁的模块化显示，直观便于操作。实时图像清晰，3D 还原图，表面粗糙度图、剖线图，及各个参数测量结果同相关信息一目了然。测量操作和设置简单易行，单多芯测量一键切换。主要规格参数注：1） X,Y 端面角度 *（°）参数针对外框夹具；2） * 重复性和再现性数值为 sigma 统计值；3） 重复性是 50 次不动连接器进行测量得到的统计值；4） 再现性是 50 次重复插拔连接器得到的统计值。主要应用用于抛光和组装过程中检查光纤插芯，跳线，尾纤和裸光纤。

GEMINI-2D 干涉仪NIREOS的GEMINI-2D将您的瞬态吸收光谱仪转变为最先进的二维电子光谱仪。GEMINI-2D是一款结构紧凑、超稳定的干涉仪，可产生两束极其稳定、相位锁定、平行的飞秒激光脉冲。特点：吸收线形状的泵浦-探针（准直）几何构型。高光通量：1厘米透明孔径，不用任何光栅或输入/输出狭缝。支持各种超快放大器和光参量放大器（OPA 或 NOPA)作为输入，波长范围覆盖紫外到近红外。扫描范围和光谱分辨率自由选择，用户可以先进行快速测量，初步了解光谱特点，然后延长数据采集时间，提高信噪比和光谱分辨率。坚固耐用，工厂装配和校准后可轻松集成到任何现有的泵浦探测设备中。得益于独特的common-path几何结构设计专利，它对振动不敏感，工作非常稳定。它能够保证脉冲延迟的可控性和重复性，精度优于1阿秒。结构紧凑：尺寸仅为18 cm x 18 cm。应用：二维电子光谱（2DES）参数：版本SL光谱范围400 nm – 2300 nm (标准版)400 nm – 2300 nm (标准版)250nm – 3500nm (极宽版)250nm – 3500nm (极宽版)对称版最长时延@λ=600nm-400 fs - +400 fs-1050 fs - +1050 fs非对称版最长时延@λ=600nm-100 fs - +700 fs-100 fs - +2 ps延时稳定性≤1阿秒≤1阿秒工作模式步进扫描（用户可通过软件选择每次延迟的停留时间）步进扫描（用户可通过软件选择每次延迟的停留时间）尺寸长宽高：180mm x 180mm x 90mm长宽高：180mm x 180mm x 90mm重量2 kg2 kg二维电子光谱（2DES）是一种超快激光光谱技术，可以探测样品的电子、能量和空间分布 在选定的探测波长和固定的时间T2下，振荡瞬态信号是两个泵浦脉冲之间相对延迟T1的函数。Oscillating transient signal as a function of the relative delay T1 between the two pump pulses at a selected probe wavelengh and at a fixed population time T2.根据每个探针波长的T1函数进行傅里叶变换，就可以获得与探测波长和激发波长函数相关的二维谱图。A Forurier Transform ad a funcion of T1 for each probe wavelength allows one to retrieve the 2D maps ad a function of detection and exitation wavelengths.在三个不同布居时间T2(15 fs、45 fs和4000 fs)下，对Rhodospirillum Rubrum 样品的光收集（LH1）复合体测量得到的二维电子能谱测量的二维图。Bidimensional maps of 2D Electronic Spectroscopy measurements obtained on a Light Harvesting (LH1) complexo f a sample of Rhodospirillum Rubrum for three diferente populations time T2 (15 fs, 45 fs, 4000 fs).

皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于端环境如高真空与高辐射环境并且具有高精度与高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 德国计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口IDS3010激光干涉仪应用领域IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。IDS3010激光干涉仪产品特点 + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm设备选件光纤式激光探头 IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。激光探头技术参数表激光探头型号尺寸mm (直径与长)工作距离(低反射，高反射材料）激光类型（聚焦、准直） 光斑大小D1.2/F7Ф 1.2 7.55-9 mm30-45 mm聚焦，焦距7mm70μm@7mmD4/F8Ф 4 11.56-10 mm15-30 mm聚焦，焦距8mm70μm@8mmD4/F13Ф 4 11.511-15 mm30-45 mm聚焦，焦距13mm70μm@13mmD12/F2.8Ф 12 32.32.8 mm聚焦，焦距2.8mm2μm@2.8mmM12/C1.6Ф 14 17.40-1000 mm准直1.6mmM15.5/C1.6Ф 22 20.60-1000 mm准直1.6mmM12/C7.6Ф 14 49.30-5000 mm准直7.6mm应用案例■ IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用德国卫星制造商OHB公司（德国OHB-System 是一家专门从事小卫星系统、分系统研制工作的企业,在小型商业卫星、小型研究卫星及相关分系统的研制、制造和操作方面具有丰富的经验）采用attocube的激光位移传感器IDS3010，对三代气象卫星（MTG）柔性组合成像仪进行了高真空光-热-力学模型试验。该试验包括在仪器的不同区域，并监控其后续光学元件相对位移测量哈特曼传感器。在真空环境中通过IDS3010激光干涉仪以小于1角秒的精度对平面基准相对位置的稳定性进行了一个多星期的持续测试。为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由IDS3010激光干涉仪和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（0.1%），并且非常容易校准。再与MTG柔性组合成像仪对齐之后，即在Shack-Hartmann传感器和IDS3010传感器之间执行另一个交叉校准，以补偿IDS3010传感器相对于Shack-Hartmann传感器的时钟。三代气象卫星的柔性组合成像仪（MTG-FCI）的实验装置。紫色表示激光干涉仪组件：传感器探头支架和角角锥棱镜支架。以上信息由OHB System AG提供结果此次测量的目的是在一周多的时间内连续监测参考镜相对于卫星的稳定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉仪得到的测试得到角度精度甚至比一个角秒还要好。理论计算表明，其测试分辨率可以到达0.021角秒（等于5.8u°），但实际读数受试验装置振动的限制。■ IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μm至+2.8μm之间达到了-0.5-0.4μm的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。图一 紧凑型FMCW传感器的照片图二 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果参考文献S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).■ IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图，测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，以此来实现监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544nm，小形变量为110nm（如图二所示）。图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544nm参考文献Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.■ IDS3010在X射线成像中提高分辨率的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升之后的型号为IDS3010），被用于优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10nm。 图一 实验得到的系统分辨率结果参考文献Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)■ IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙的利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试了一种机械超材料的体，边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。图一 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析参考文献Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。参考文献Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU■ IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印方面的应用微尺度选择性激光烧结（μ-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。由于该导轨对定位精度要求很高，所以采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。参考文献Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA ■ IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor■ 皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量，而3个不共线的点可确定平面的法线，基于平面法线的性可解，从而可以获得目标的3个自由度运动信息，包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。图示： 三自由度测量原理示意图■ 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。图示：实验装置示意图参考文献Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)■ 激光干涉仪检测纳米精度位移台误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司，对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如，下图左，ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量，位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析，左图中的数据提取的偏差值是13.2nm，下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此，位移台的可重复性技术指标是合格的。通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且，这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。■ 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。综上所述，高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像，是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。参考文献E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341 ■ 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？为了减小误差，先需要测量误差。德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。参考文献 Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013) ■ 激光干涉仪校正低温非线性扫描通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境（4K或更低）中，压电陶瓷本身的性能发生变化，会产生下图右中的非线性扫描现象。通过德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。测试数据■ 实验数据，皮米精度的稳定性图1 77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm■ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz图2 样品移动速度2米/秒，移动范围1m发表文章1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020) 2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 0120153. S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6. Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface T. Trottenberg and H. Kersten Plasma Sources Sci. Technol. 26 055011 (2017)10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)11. Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……国外部分用户

OCT共路干涉仪特性低插入损耗平坦的波长响应带有源抗混叠滤波器的集成平衡信号探测用于660纳米对准光束输入紧凑型设计；带电源INT-COM-1300干涉仪可用于扫频源系统内部，用于共路OCT应用。它集成了光纤耦合网络，与外部共路干涉仪探头一起使用。这种耦合器为实现平坦波长响应，以及非常低的偏振相关耦合损耗进行了优化。集成的高增益平衡探测器包括了有源抗混叠滤波器，将数字条纹信号中的混频产生降至最小，从而提高成像质量。Item #INT-COM-1300Optical Wavelength Range1250 - 1350 nmFiber TypeCorning SMF28eFiber PortFC/APCInsertion Loss: 1300 nm IN to Probe* Insertion Loss: 1300n m IN to VOA IN* Insertion Loss: 660 nm IN to Probe Port* ElectricalDetector Material/TypeInGaAsDetector Wavelength Range800 - 1700 nmMaximum Responsivity (Typical)1.0 A/WOutput Bandwidth (3 dB)DC - 15 MHzTransimpedance Gain51 kV/ADC-Offset ± 5 mVSaturation Power**70 uW @ 1300 nmMaximum Input Power (Damage Threshold)**20 mWOutput Impedance50 Ω Optical ConnectorsFC/APCElectric Outport PortSMAPower Supply± 12 V, 200 mAGeneralSize 120 mm x 80 mm x 21 mm(4.42" x 3.15" x 0.827")*) 在中心波长测量，包含接头损耗**) 耦合进探头或者VOA输出端口 下面的图1给出了INT-COM-1300内部光学网络和一个基本的OCT应用装置的原理图。图1：INT-COM-1300原理图 INT-COM-1300的内部光纤网络是为扫频傅里叶域OCT系统设计的，该系统中干涉仪的参考臂和样品臂信号都沿着共路配置传播。这两个臂的反射光合束产生干涉条纹，被集成的平衡探测器中的一个通道探测到。探测器的第二个通道可能被用来补偿干涉信号中的直流成分，并用一个外部可变光学衰减器（VOA）来控制到达探测器第二个通道的光通量。95/5光纤耦合器用于把输入光分为两部分，其中95%的光束被传输到一个环行器内，然后通过WDM耦合器。WDM耦合器把入射的1300纳米光和瞄准激光合在一起，方便对准。光从WDM耦合器的探测端口出射，用于样品观察。从样品反射回来的光再次经过WDM耦合器，然后通过环行器，被平衡探测器的一个通道探测到。来自入射光分光的5%光通过一个斜率补偿耦合器传输到VOA IN端口。这个额外的耦合器用于补偿波长相关耦合比。这两个耦合器的设计使VOA IN信号几乎不依赖OCT激光器的波长，能实现宽带直流偏置补偿。这在下面的波长响应曲线中给出。图2是从1300纳米输入到探测端口测量的INT-COM-1300耦合率，而图3是从输入端口到VAO端口输入端测量的耦合率。图2：从输入耦合到探测端口的波长响应图3：从输入耦合进VAO输入端口的波长响应

迈克尔逊型干涉仪 特性偏振相关耦合比（PDCR）的波动最小带有源混叠的集成平衡型信号探测指示光束输入（660纳米）以辅助对准包含干涉仪电源 迈克尔逊型INT-MST-1300B干涉仪组件设计用于波长范围在1250到1350纳米内，带有平衡探测装置的光学相干层析成像系统中。为了使用更快的扫描激光器，集成探测器的带宽已经增大到高达100MHz。该模块包括用于迈克尔逊干涉仪的光纤耦合网络，输出为参考臂和样品臂。内部所用的耦合器已经进行优化，具有平坦的波长响应和非常低的偏振相关耦合损耗。光纤的长度是与干涉仪的两臂均匹配，误差在0.2毫米以内，同时为了提高系统的坚固性和易用性，还配有FC/APC带角度的光纤适配器。为了抑制数字条纹信号中降低成像质量的混频的产生，集成的高增益的平衡型探测器（带宽100MHz）包含了一个有源的混叠滤波器。 为了支持将INT-MST-1300B对准到光学系统中，在组件中包含了一个660纳米指示激光器的附加输入，和一个专门设计的组合了扫描激光光源（1300纳米）和准直激光器（660纳米）的WDM耦合器。Item #INT-MSI-1300BOpticalInterferometer Wavelength Range1250 - 1350 nmFiber TypeSMF-28e+Input/Output PortFC/APCInsertion Loss*from 1300 nm IN to Sample Armand to Reference Arm Insertion Loss*from 660 nm IN to Probe4.5 dB MaxPath Length Difference0.2 mm MaxElectricalDetector Material/TypeInGaAs/PINTypical Responsivity Max1.0 A/WOutput Bandwidth (3 dB)DC - 100 MHzTransimpedance Gain100 kV/ASaturation Power**35 µ WMaximum Input Power**250 mWElectrical OutputSMADC Offset Power Supply± 12 V, 200 mA(PICO M8 con.)General Size4.72" x 3.15" x 0.827"(120 mm x 80 mm x 21 mm)* 包括输入和输出尾纤的接头损耗，在中心波长处测量。** 使用高阻抗负载，半值为50欧的阻抗，来测量相对输出功率的跨阻抗增益。图1显示了在时域OCT系统中的INT-MSI-1300B的示例装置。中心波长为1300纳米的输入宽带光源，通过一个环形器和宽带50/50熔融耦合器。来自干涉仪样品臂和参考臂的背反射光在50/50熔融耦合器中合束，产生干涉条纹，经过环形器和WDM耦合器后输入到平衡探测器。平衡探测器的输出信号被数据采集装置获取，经过处理后得到重建的OCT图像。图2描述了通过将参考臂的移动反射镜替换为固定式反射镜，IN-MSI-1300B如何集成到频域OCT系统中。图1: 在时域OCT设计中的INT-MSI-1300B的示意图图2: 在示例傅里叶域OCT设计中的INT-MSI-1300B的示意图干涉仪两臂的内部光纤长度匹配在0.2毫米以内，同时50/50熔融耦合器和平衡探测器的输入之间的光程也经过匹配，以获得最佳的噪声抑制（即最大的共模抑制比CMRR）。内部耦合器已经进行了优化，具有平坦的波长响应和非常低的PDCR（偏振相关耦合比），这使得探测信号几乎与输入的偏振变化无关。图3显示了在参考臂端和样品臂端输入功率的百分比。在1300纳米（中心波长）测量的两个端口的功率相等。图 3： INT-MSI-1300B在1300纳米测量的IN端口到样品臂和参考臂端口的耦合效率

Zygo激光干涉仪红外干涉仪适用于高精度红外成像应用的测量方法光学成像的应用广泛，种类繁多。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求，而它们都受益于在红外干涉仪系统在设计波长下的测试。ZYGO长期以来被公认为是世界上干涉测试仪器的先行者，已经设计和制造了许多特殊装备的干涉仪系统，包括NIR、SWIR、MWIR和LWIR波长的系统。ZYGO还设计和制造了一系列用于这些波长的参考光学器件（透射球面镜和透射平面镜）。主要特点工作波长范围广：NIR：1.053μm&1.064μmSWIR：1.55μmMWIR：3.39μmLWIR10.6μm基于工作波长的QFAS十字快速对准视图简化了红外测试系统和组件的设置。ZYGO独有的QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，NIR、SWIR和MWIR型号均配有这种技术。可选的DynaPhase™ 瞬时数据采集技术，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量。

中图仪器SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统让轮廓测量价格更为实惠。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

皮米精度位移激光干涉仪（可试用）姓名：谷工(Givin)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其独特的测量原理，相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差。此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。独特的法珀腔+饱和吸收气室构造 波长的线性变化的引入在此构造下使得绝对距离的测量成为可能！干涉传感头 激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的，根据反射目标的不同，不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。quDIS的传感器头均基于光纤设计。quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头，同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用，也设计了响应的特殊传感头。 用于测量高温漂移物体的传感器头的设计 镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头产品特点： 多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用 相对距离和绝对距离测量 完善的全套系统配置 实时输出数字化图像 针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案 长期使用保证稳定性 兼容真空与各种恶劣环境独特优势： 绝对距离高精度测量！ 不存在非线性及周期性误差！ 相对距离信号稳定性0.05nm！ 工作距离最大20m（与传感头相关） 目标最大速度1m/s 三个传感接口，可实现多设备同步 探测器分辨率达到1pm应用领域： 极限环境下振动分析 缓慢漂移及热膨胀检测 精密设备位置控制 纳米级位移测量 层状结构中间隙和边缘的测量 位移和振动精度评估皮米精度位置测量仪参数列表：干涉仪传感头光源DFB激光器分辨率1pm功率400uW相对距离稳定性 0.05nm波长1535nm绝对距离精度0.2nm/mm线宽5MHz带宽25kHz传感器通道3工作距离0.1—20m光纤输入端口FC Narrow-Key-Slot目标速度1m/sMating Sleeves传感头真空同步多台设备同步低温

中图仪器SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪是以白光干涉技术为原理的一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。产品功能(1)SuperViewW系列白光干涉仪三维形貌仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能； (6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。SuperViewW轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：产品特点1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。 3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

仪器简介： ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准 用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。 ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测 量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测 量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡 PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内， 一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携 性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接， 在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误 差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、 VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按 不同标准进行机床精度的评定和比较。 技术参数： 1.线性测量分辨率: 0.001&mu m 2.线性测量范围： 40m（或任选80m） 3.线性测量精度: ± 0.7ppm 4.最高测量速度： 60m/min 5.长期稳频精度： ± 0.05ppm 主要特点： ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

白光干涉仪概述Rtec 白光干涉仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。 3D光学轮廓仪组合l白光干涉仪l旋转盘共聚焦显微镜 l暗视野显微镜l明视野显微镜 主要平台规格 产品规格l标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）l标准转塔，电动转塔可选l垂直范围可达100mml倾斜阶段6度lXY平台分辨率0.1uml自动拼接楷模lSigma头 - 仅限白光干涉仪lLambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场 应用 ●粗糙度 ●体积磨损 ●台阶高度 ●薄膜厚度 ●形貌 测试图像示例 DLC涂层球 粗糙涂层表面 圆球磨斑 金刚石 生物膜 微流体通道 聚合物涂层 墨痕 硬币 研磨垫 铝的失效痕迹 划痕 涂层失效痕迹 芯片通道 晶圆以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

中图仪器白光干涉仪国产三维形貌仪SuperViewW是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。应用案例产品功能(1)中图仪器白光干涉仪国产三维形貌仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能； (4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器白光干涉仪国产三维形貌仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。 SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。 5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

特性两种型号可供选择：中心波长为850纳米或者1300纳米适合扫频源输出频率监测，带平衡探测输出低插入损耗平坦的波长响应集成的信号探测，用于功率监测和k-时钟信号紧凑型设计MZI干涉仪时钟箱规格SpecificationsINT-MZI-850INT-MZI-1300OpticalInterferometer Wavelength Range780-925 nm1225-1375 nmFree Spectral Range103.3 GHz ± 5%Fiber TypeNufern 780HP&trade Corning SMF-28&trade Input/Output ConnectionFC/APC Pigtail, 50 cm LongInsertion Loss* ElectricalDetector Material/TypeSi/PINInGaAs/PINDetector Wavelength Range320-1000 nm800-1700 nmTypical Responsivity (max.)0.53A/W1.0A/WMZI Output Bandwidth (3dB)DC-200 MHzConversion Gain Power Monitor**30 V/W (± 25%)60V/W (± 25%)Conversion Gain MZI Output**30 V/W (± 25%)60V/W (± 25%)Saturation Power100 mW @ 850 nm50 mW @ 1300 nmMaximum Input Power250 mW (Photodiode Damage Threshold)Electrical OutputSMAImpedance50 Ω DC-Offset ± 5 mVPower Supply± 12V, 200 mAGeneral Size120 x 80 x16 mm*包括输入和输出尾纤的接头损耗，在中心波长处测量。**使用高阻抗负载，相对于输出功率的转换增益测量结果。当阻抗为50欧姆时，该值减半。工作原理：迅速扫频激光光源通常用正弦调谐元件来实现OCT成像应用所需的光学频率扫描速度。需要准确和可靠的OCT信号重新校准，这样最终数据点在频率上才是等间距的。当使用可调谐激光器作为输入时，Thorlabs的MZI系列干涉仪时钟箱组件设计用来产生周期性（正弦）的K时钟信号。为了得到K时钟信号，正弦信号的最大值和最小值在频域必须等间隔（见下面的图1）。两个最值之间的差值是由自由光谱响应决定的，对于MZI系列该差值是103.3GHz。图1：MZI时钟信号下面的图2是该系统的原理图。内部光纤网络利用5%的输入光产生功率监测和K时钟信号。剩余的光传输到输出尾纤。特殊设计的耦合器用于为传输信号和功率监测信号实现平坦的波长相应（如下面的图3和图4）。MZI的两个信号都是用超低噪声的放大平衡光电探测器探测的。图2：MZI系列时钟箱原理图 图3：INT-MZI-1300从输入到输出的耦合比 图4：INT-MZI-1300从输入到功率监测的耦合比

干涉仪ZMI™ 系列–位移测量干涉仪ZYGO的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向，并且可以在真空中工作。线性干涉仪该装置会测量回射器目标，用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪，以满足不同的空间限制要求。例如：十字刻线台、龙门系统、转向镜平面镜干涉仪该装置会测量平面镜目标，用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO的平面镜干涉仪具有高稳定性，可减少热误差。例如：晶圆台、堆叠工作台系统波长补偿器该装置会测量折射率的变化，用于补偿其他测量轴。ZYGO的紧凑型波长补偿器提供了高精度的折射率变化反馈，可在环境条件下实现最佳的位移测量性能。配件通过将光束从激光器传输到干涉仪，并最终传输到测量电子装置，完善测量系统。ZYGO提供各种标准的转折镜、分光镜、光纤耦合器和光纤电缆，方便您灵活配置测量系统。定制干涉仪设计ZYGO专业生产用于OEM应用的定制多轴干涉仪。定制设计允许在空间有限的应用中进行合并光束传输。它还减少了对准系统所需的时间，可在生产过程中实现更快的集成。

中图仪器SuperViewW高分辨率3d白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。SuperViewW高分辨率3d白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。 中图高分辨率3d白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：在3C领域，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；在LED行业，可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；在光纤通信行业，可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；在集成电路行业，可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度； 在EMES行业，可以测量台阶高度和表面粗糙度；在军事领域，可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜ 恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术，容易受到外界环境干扰，微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果，这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时，这一缺点十分突出，而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪使用双频激光，其干涉信号是一个频率约为1.5-8 M H z的交流信号，当可动棱镜移动时，双频干涉仪的干涉信号只是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。这个交流信号频率的改变取决于可动棱镜位置的变化，不受直流光平和电平变化的影响，因此抗干扰能力强，适合在各种环境条件下开展检测作业。 双频激光干涉测量仪采用外差技术，对环境干扰不敏感，先天具有抗干扰性好，工作稳定的特点，适合在车间生产环境中使用。镭测科技推出的LH3000双频激光干涉仪，基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3000双频激光干涉仪通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成： LH3000双频激光头及附件 LC-2000环境补偿单元 Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件产品优势： 采用双频激光，测量精度高 紧凑设计，适合外出服务携带 抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 符合测校国家标准的测量分析软件 自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。 典型频差7±0.5MHz，测速高达2m/s。（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）

干涉仪通常，我们不容易直接观测到1微米量级的动态现象的，此时，我们会选择光学干涉仪进行观测。例如，测量光学镜头的面精度的干涉仪，精密测量距离或位移的测长仪，需要精密测量位移变化的速度计或振动仪等，都是利用了光学干涉原理的典型仪器。市场上销售的大部分干涉测量装置是由光学干涉部分和信号解析部分组成的。 采用先进的电信号处理技术，可以同时实现高分辨率和很宽的测量范围。 但是，我们这里介绍的光学干涉装置，并不包含干涉条纹的电信号处理内容，我们重点介绍了其光学部分。因此，虽然其可观测的范围有限，但足以进行干涉计测的基础实验和理论验证。 业务范围l 通用干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫曾德干涉仪、斐索干涉仪等；l 集成光学干涉系统；l 流体可视化光学系统；l 干涉仪组件l 干涉仪相关组件接受订制特点分辨率小于1微米非接触（非破坏）测量面（2维）测量应用实例面精度测量测长仪速度计／振动仪

红外干涉仪 完美融合创新设计及尖端技术，M-Wave 339干涉仪是艺术级LUPI(不等光程激光干涉仪)，操作于3.39um/10.6um波长(或其他指定波长)，是用于测试中波红外成像组件/系统和光材料均匀性的理想仪器。 规格参数精确度 (未标定) 精确度 (已标定) 重复性基础设备孔径 扩束器孔径相机分辨率变焦镜头 采集模式 激光类型 波长*输出功率≥束偏振 0.01 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.004 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.001λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 25.4mm 直径101.6mm 直径640 x 512 像素1X to 6X相移HeNe3.39 μm、10.6um2 mW线性 包装尺寸系统光轴高度激光安全等级 重量 分析软件 744mm x 407mm x 275mm115mmCDRH IIIb激光产品3B类60 lbs (主机) ESDI Intelliwave LE-2 or Apre Reveal控制装置手动参考光倾斜电动激光功率衰减器电动6x连续变焦电动聚焦WFOV调整模式 / NFOV测量模式单一出厂设置参考臂反射器 (98%)配件/可选扩束镜 (75mm, 100mm, 150mm, 200mm)90度伸缩肘管电动控制项目的遥控器5轴镜片/窗口夹具高度调节器自动聚焦测量设备

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪 满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻机用激光干涉测量系统为基础， 在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时， 将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里， 一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验； 典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。 系统组成： LH2000激光测头及附件 环境补偿单元 LaserLC测量软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数激光头尺寸330mm×110mm×95mm激光头重量3.3kg激光光束直径6mm激光功率 0.5mw真空波长632.99nm频差可定制 典型值7±0.5 MHz工作温度范围+10℃~+30℃储存温度范围+15℃~+45℃激光稳频精度±0.02ppm线性测量范围40m线性测量精度±0.1ppm(真空中)±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)分辨率1nm测量速度2m/s工作电源220V/50Hz北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪，镭测科技LH2000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪，更多激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息欢迎您访问北京镭测科技有限公司官方网站。

1. 产品概述用于SENTECH Instruments等离子系统的SENTECH SLI激光干涉仪端点监测器与聚焦的相干激光束一起工作。激光束穿过等离子系统的顶部视口，并被样品反射。反射光照射到检测器上并测量强度。2. 主要功能与优势用于蚀刻和沉积工艺的自动激光终点检测使用SENTECH SLI激光干涉仪进行原位测量特别适用于监测透明层的终点检测、透明层界面的终点检测以及蚀刻不透明薄膜和在界面上停留的终点检测。多层模式顺序端点配方多终点配方包括 EPD 的多个条件，这些条件按顺序执行，从而可以在多层蚀刻过程中根据单个薄膜特性更改等离子体工艺参数。与SENTECH操作软件SIA集成的终点检测SENTECH SLI激光干涉仪可以与SENTECH操作软件SIA集成，用于特定的终点检测配方，通过使用简单的行业标准命令行直接参数化终点监测。3. 灵活性和模块化SENTECH SLI 激光干涉仪原位光学计量终点监测仪可与整个系列的 SENTECH 等离子蚀刻和沉积处理系统一起使用，它与穿过等离子系统顶部视口的聚焦相干激光束一起工作，然后被样品反射以准确测量强度。单独的照明 （LED） 和 CCD 摄像头用于观察样品和调整激光光斑。整个终点监视器由自动 x y 载物台移动，允许使用 SENTECH SIA 操作软件系统轻松进行点调整。使用 SENTECH SLI 激光干涉仪进行自动原位测量非常适合在蚀刻或生长透明层或层状结构时监测层厚度。

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪国产品牌基于白光干涉原理，以3D非接触方式，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸的典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)SuperViewW1白光干涉仪国产品牌设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域SuperViewW1白光干涉仪国产品牌对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

剪切干涉仪 特性定性的光束准直测试，适用于直径为Ø 1-Ø 50毫米的光束磁性耦合可调设计，允许快速更换剪切板英制和公制螺纹安装孔SI系列剪切干涉仪可用于确定相干光束是否准直。该设计包括一个45度安装的楔形光学平板，和一块位于中间的带刻度参考线的散射屏。散射屏用于观察由光学平板的前后表面的菲涅尔反射产生的干涉条纹。如果光束已经准直，干涉条纹会平行于带刻度的参考线。除了准直度以外，干涉条纹还对球差、慧差和像散敏感。楔形光学平板是由未镀膜的紫外熔融硅。每个板尺寸的楔角优化到可接受光束尺寸的范围；详情请看规格标签。由于光在板上的入射角为45度，条纹图案的强度取决于极化光。当偏振垂直于入射面时会产生最大强度。为了观察到的干涉条纹，入射的光的相干长度必须长于由剪切板引起的光程长度的变化。规格标签的更多信息，请参阅下表脚注。构造剪切干涉仪由三部分组成一套：一个底座，一个带有楔形光学平板的板，和一个带有扩散屏幕的板。建立该干涉仪用4-40螺丝和六角键连接观察屏幕板与底座。楔形光学平板通过磁力夹持就位，使它能够很容易地换成带有不同楔形光学平板的板。该底座是由经阳极氧化处理的铝和带有安装Ø 1/2英寸接杆的螺纹孔组成。在楔形光学平板后面的底座上有一个孔，这样光可以毫无阻碍地穿过光学平板。右边的横截面图的说明剪切干涉仪的构造和光束传播。附件对与小直径光束，相应的干涉条纹图样也小，这样就不利于观测。对于这种情形，可以购买SIVS放大观察屏配件，它可以代替标准的散射观察屏，从而增大散射屏上条纹的尺寸。SIVS包括一个已安装的发散透镜和散射屏，这种屏适合观察直径为1至10毫米的光束。该板含有可以单独提供的楔形光学平板，使各种光束的尺寸可以用一个单一的底座单元测试。点击放大上图是UVFS在光正入射时的透过率曲线。其中UVFS样品未镀膜，厚度为1毫米，数据也包含表面反射。剪切干涉仪Zoom Click to Enlarge楔形光学平板通过三个磁块夹持就位。提供5种型号，用于光束直径从1到50毫米范围定性的确定光的准直性磁铁球将平板固定在底座上可用的光束直径刻在板上根据剪切板的不同，剪切干涉仪可用于直径小到1毫米，大到50毫米的入射光。剪切干涉仪产生的干涉图样对光束发散很敏感，因此可以用来定性的确定光是否准直。如右图所示，剪切板有三个钢球，以磁性吸附的方式固定在板的底面上。当采用不同直径的光束时，这种磁性保留机制易于更换不同的平板。兼容的平板和底座型号请查看规格标签。此外，底板的背面钻有通孔，因此可以使得透射光通过楔形光学平板继续毫无阻碍地传播。底板，散射屏和剪切板包装在一个铝制手提箱内。替换剪切板Zoom 提供5种型号，光束直径从1毫米到50毫米 剪切板兼容多种剪切干涉仪主体 磁性钢球将板固定在底座上 可用的光束直径刻在板上Thorlabs提供五种可交换的剪切板，这些剪切板设计用于1毫米到50毫米的入射光束直径。这些板的磁性耦合可调设计，使得剪切板能够准确的固定在剪切干涉仪上。同一底座兼容多种剪切板（关于兼容性的详情请看规格标签），因此如果用于特殊实验的光束直径变化时，剪切板很容易进行替换。带有不同楔形角的不同板可以提供不同大小的光束。配件Zoom 用于光束直径从1毫米到10毫米 增大散射板上的条纹尺寸用于光束直径从1毫米到10毫米增大散射板上的条纹尺寸SIVS配件有助于观察由小光束直径产生的条纹图样。通过用该配件替换SI035，SI050，SI100或SI254*上的标准散射板观察屏，干涉条纹的尺寸会增大，从而使得确定光是否准直变得更容易。SIVS带有两个1/16英寸的螺丝，因此可以固定在剪切干涉仪上。如果需要，SIVS的安装板可以单独购买（SITST）。SITST具有标准的Thorlabs的SM1 (1.035英寸-40)螺纹，与任意SM1螺纹组件兼容。

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。 此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL™ 及QuickViewXL™ ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL™ 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL™ 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。 您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。 为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。 激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。 Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。 现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。 XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。 技术参数：系统精度: ±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm 分辨率:0.001 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:50KHz 测量范围: 0 - 80 metres 预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量