液体颗粒计数器对光刻胶的颗粒管控
SJ/T 11638 电子化学品中颗粒的测试方法ISO 21501.2-2007 DETERMINATION OF PARTICLE SIZE DISTRIBUTION SINGLE PARTICLE LIGHT INTERACTION METHODS PART 2 LIGHT SCATTERING LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTER本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数,测定的粒径有0.1μ m-1.0μ m可选。测定的电子化学品的颗粒浓度为(0-10000)每毫升/个,其他粒径的可参考执行。