在线气体分析质谱仪

Prima PRO质谱仪a）工作原理：Prima PRO质谱仪是非常强大的在线分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图：质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：? 石化、化工行业l 烯烃生产l 裂解炉优化l 环氧乙烷/ 乙烯乙二醇l 聚烯烃生产l 合成氨l 煤气化l 甲醇l 醋酸l 天然气处理l 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏? 钢铁行业：l 高炉尾气分析l 转炉尾气分析l RH和VOD精炼炉尾气分析l 直接脱碳（DRI）炼铁尾气分析l 煤气回收、燃料气和混气分析? 发酵、生物制药行业：l 生物能源l 工业酶l 生物材料l 生物量l 食品添加剂l 维生素l 药物l 预防药l 疫苗l 生长激素l 单克隆抗体l 激素l 融合蛋白l 细胞活素l 抗生素l 胰岛素l 溶栓 c)特点：●分析速快，可以实现实时、高速的在线分析●分析原理简单，方便使用者和维护人员快速掌握相关的信息●能够同时分析多个组分●能够实现多达32或更多流路同时分析●采用可靠地扫描磁扇技术●无需载气和助燃气，降低运行和维护成本 ●高精度、高重复性●非常可靠（超过99%正常工作时间） ●软件功能强大 d）技术指标：Prima Pro性能指标分析原理扫描磁扇，半径150px，80度偏转角。扫描磁扇质谱具有精度高，稳定性好，可靠性高，抗污染能力强，标定及其他日常维护间隔长，并且维护工作极其简单。质量范围可调整。离子加速电压为1000V时，质量范围1-150amu；离子加速电压为750V时，质量范围1-200amu。分辨率可通过两个收集解析狭缝进行切换，标准配置为60/40，1mm狭缝为60，4mm狭缝为20；也可以选择其他组合，如140/85，100/45，140/45。质量稳定性质量数为28时，0.013amu，24小时测量。峰形平顶峰，分辨率为60时，峰顶（99%峰高处的宽度）与峰底（5%峰高处的宽度）的比值为0.5。平顶峰使得质谱的分析精度和抗漂移能力都有极大提高。离子源封闭型，电子轰击式，氧化釷灯丝，温度控制（可在120-200 degrees C范围内设定，精度为± 0.1 degrees C）。检测器法拉第杯电荷计数器。进样阀32路快速旋转进样阀RMS，1/4”卡套接口。RMS切换迅速，死体积极小，可以加热至120摄氏度。内置进样流量测量元件，可对低流量报警。进样类型毛细管+分子渗漏，带旁路（标准配置）标定方式手动标定接口12个，1/4”卡套，可根据应用选择更多真空系统初级真空泵：旋转机械泵高级真空泵：涡轮分子泵样品流速对每个流路进行数字测量并记录精度0.1%，相对精度线性度1%相对精度动态范围10 ppb – 100%（理论值，根据实际应用）稳定性1%控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz数字输出1个，干接点，可根据应用选择更多。通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.机箱温度控制质谱分析仪机箱侧面配有一个空调，压缩制冷方式，温度控制精度为+/- 0.5 deg C。安装方式壁挂式。仪表风300Nl/min = 18Nm3/h，压力为4-10barG，接口为1/2”。 Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c)特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标 Prima BT性能指标离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific HELIX SFT质谱是为氦同位素同时分析及高精度跳峰分析而设计的高分辨、多接收系统，可以同时测定3He和4He，也可以用跳峰模式测量任何稀有气体同位素。 主要特点 该系统可同时测量氦同位素，无需跳峰扫描，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 丰度灵敏度：由于HELIX SFT独特的设计，质量4对质量3的贡献小于1ppb； 体积：HELIX SFT的内部体积约1400cc，这是当前技术的重要提升； 分辨率：低质量数接收器，通常用来测定3He，其分辨率大于700，这保证了3He 能够和两个干扰峰HD和H分开； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific Helix MC Plus质谱是专为微量样品稀有气体分析而设计的高分辨磁质谱，可实现氖、氩、氪、氙惰性气体中任何五个同位素的同时检测。主要特点： 该系统可测量氖、氩、氪和氙的同位素。同时多达5个同位素的多接收测量无需跳峰，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 可以进行跳峰测量，如氦同位素； 接收器动态范围：考虑到CFM接收器结合了法拉第和CCD，能够获得更大样品浓度范围的测量能力； 分辨率：标准分辨率接收器750(10%峰谷)能够解决标准碳水化合物干扰，而 1500（10%峰谷）分辨的高分辨接收器能够使得很多科学问题得到解决； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω 放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

Thermo Scientific Prima PRO和Sentinel PRO：开启质谱新时代依托超过 30年在线质谱仪的成功研发应用经验，新一代 Thermo Scientific Prima PRO和Sentinel PRO在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括： 天然气处理 烯烃生产 裂解炉优化 环氧乙烷 /乙二醇 聚烯烃生产 合成氨 有毒挥发性有机化合物（VOC）的泄漏 凭借着经实践证明的更快、更全面的在线气体成分分析能力，Prima PRO可以对多流路气体进行精确分析，进而提高产量。它维护量少、易于操作并且可提供可靠、实时的数据到 DCS系统，从而确保投资回报率。基于和Prima PRO相同的操作平台， Sentinel PRO环境质谱仪以其众多同样的优势，被设计用于满足微量泄漏环境监测的需要。半连续监测 60-120个取样点及高灵敏度的检测能力，确保可靠的泄漏检测，从而提高生产装置的安全性和生产制度的规范性。此外，单台 Sentinel PRO或 Prima PRO可以轻松取代多台气相色谱仪（GC），减少取样时间，简化维护程序，更重要的是降低整体投资成本。操作原理Prima PRO、Sentinel PRO进行稳定、快速气体分析首选技术的基础是扫描磁扇质谱技术。利用这种技术，气体可以通过一个多流路进样阀源源不断的从取样系统到达离子源，在这里，气体分子被离子化和碎片化。离子被高能电场加速后进入电磁质量分析器，目标离子进入检测器。分子碎片能够产生重复性极好的“指纹”谱图，这可以让具有相似分子量的气体被精确测量而不受干扰。内置控制器使用一系列的工业标准协议，将气体浓度数据和其他诸如热值和碳平衡的计算数据直接传送到过程控制系统。耐用性和容错性设计在显著降低维护要求的同时，可以保证 99.7%以上的投用率。新型号带来更高的投资回报率 快速在线气体分析（每个取样点 1至20秒），准确反映工艺 动态 全组分气体分析，提供更多的数据给先进过程控制系统（APC)高稳定性，90天的标定间隔(自动) 可靠，容错设计，确保投用率超过99.7% 占地面积小 最少的维护量需求，降低运营成本天然气加工原料气可能来源于附近的气田或其他加工过程（如炼油厂的尾气），以及油田收集的伴生气。因此，气体工厂来料的体积和成份会有很大的差别。通常天然气含有 85%的甲烷和数量不定的天然气凝液（ NGL），包括液化乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、戊烷和更重烃（C5+）、惰性气体（典型的是氮和氦），和硫化氢（H2S）、二氧化碳（CO2）等酸性气体。酸性气体通过采用膜分离技术或氨水溶液进行脱除。硫是通过硫装置（或 Claus装置），采用加热和催化两步法将硫化氢中的硫还原为单质硫。对于剩余气体（通常称之为尾气），要对其残留的硫化氢进行处理，随后焚烧。气体工厂在把原气分馏为残留气体、乙烷、丙烷、丁烷和天然汽油产品前要去除水蒸汽、微量的汞和氮气。分馏系统的各阶段依靠馏份的沸点差来分馏各个烷烃。Prima PRO：快速、精确的气体成分分析利用Prima PRO，可对加工气体的成分进行快速、高精度的在线分析。分析包括全面和精确的成分分析以及热值（粗热值和净热值）、密度、比重、华比指数、化学需气量和燃烧需气量指数（CARI）的计算。燃烧需气量用于加工厂燃烧气体时对燃烧的控制。Prima PRO还能为控制气体加工阶段的物料平衡方程提供精确的气体组成数据。Prima PRO还有下列优点： 减少能源消耗（燃气和电能） 提高液化产品的回收 精确测量产品的能值 减少向环境中的排放烯烃生产典型的烯烃厂有两个基本工段：裂解炉和分馏系统。烯烃裂解炉或热解炉将饱和烃裂解成较小的不饱和烃。生产较轻的烯烃，包括乙烯、丙烯和丁烯所用的主要工业方法是蒸汽裂解法。在这一过程中，用蒸汽稀释气态或液态的烃原料（即石脑油、液化石油气、氢裂粗柴油或简单乙烷和丙烷混合物），并在裂解炉内短时加热。典型的反应温度很高（约为 850℃），反应时间限制在一秒钟内。在现代的裂解炉中，驻留时间缩短到毫秒级，产生超音速气流，从而提高所需产品的产量。当达到裂解温度以后，气体在传输线热交换器中急速骤冷以停止反应。反应时的产量取决于进料的成份、烃与蒸汽的比例、裂解温度和炉内驻留时间。轻烃物料，包括乙烷、液化石油气或轻石脑油，产生的产品富含轻烯烃，包括乙烯、丙烯和丁二烯。石脑油和炼油厂液态原料不仅可生产出这些轻质烯烃的一部分，还能生产出富含芳香烃产品，适于高温热解汽油或燃油。较高的裂解度，有利于乙烯和苯的生成，而较低的裂解度则生产较多数量的丙烯、C4烃和液态产品。这一过程也会导致焦炭慢慢沉积在炉管或裂解盘管壁上。由于炭层会限制热传导和增加压降，因此反应器的效率会降低。设计反应条件时应使焦炭沉积的速率减小到最低。采用动力学模型预测焦炭层的厚度，以保证依赖炉温的裂解效果能被预测。蒸汽裂解炉通常只能运行几个月，就需从裂解线上分离出来除炭。蒸汽或蒸汽 /空气混合气通过裂解炉盘管，可以使硬质固体的炭层转化为一氧化碳和二氧化碳。当这一反应完成后，裂解炉就可重新使用。另一种方法是离线的低温机械式清除法，用低温碱性清洗剂去除盘管上的沉积炭是有效的。不管用何种方法，在除炭过程中每一台炉要至少停炉27小时。以下的内容介绍了如何利用Prima PRO使裂解炉的使用得以优化。裂解炉优化的基本原理在任何给定时刻，产量取决于许多因素，包括原料成份、稀释蒸汽流量、烃流量、盘管温度分布（即炉子燃烧率和燃料能量）、炉子抽力和盘管焦炭成份。模型预测控制（MPC）利用多种测量参数，如盘管出口温度和进料率等来预测上述因素。这样，温度和驻留时间可以优化，在使焦炭沉积率最小的同时，实现烯烃的最高产量。虽然众多过程变量的关系是复杂的，但如果裂解度太低，乙烯产量将会很低。如果裂解度太高，则积炭率也会高，产量的减少也将是不可接受的。裂解度技术比较当动力学模型没有成份反馈时，实际的裂解度如何随时间变化。在这种情况下，一台气体裂解装置通常有62%的乙烯产率。使用在线气相色谱仪（GC）测量实际裂解度指数的益处（如丙烯/乙烯比和丙烯/甲烷比）。采用这种六分钟间隔的定时测量，就能通过提高裂解度的设定值来强化对裂解度的控制。这种升级一般能使气体裂解装置的产量提高 5%。这就是为什么世界上多数乙烯装置将气相色谱仪用于过程控制的原因。图4c说明了在一个更现代化的装置上用 Prima PRO取代气相色谱仪所带来的更强的控制。由于Prima PRO快速分析，可以用一台在线质谱仪（MS）取代 5台气相色谱仪，并把取样间隔从6分钟缩减到2分钟，从而得到另外 2%的增产。应注意到，由于在这个动力特性很强的过程中速度是很重要的，气相色谱分析将限定在 C1到C3分析。它能满足对于实际裂解度指数的测量，但不能提供足够的数据使动力学模型能精确地预测由于重烃的凝结和聚合作用所产生的焦炭沉积率。因此，在一般的装置中，对于速度很低的 C1烃到C4烃的扩展分析要用附加的气相色谱仪，以提供动力学模型所需数据。对于液态物料裂解炉，这种分析还要进一步扩展到 C5烃，以计算动力裂解因子（KSF），这一因子用于根据市场条件优化特种烯烃的生产。通常会将附 加的扩展分析色谱仪多路配置，使每一台气相色谱仪能监测 4到5台炉。然而，使用一台Prima PRO就能监测炉内裂解产物而无需额外的装置。Prima PRO的扩展分析还能提供对重烃进行监测的附加功能，重烃通常被 Thermo Scientific PyGas自清洗取样器所去除。这一数据能预测当样品处理系统发生故障时的维护能力，从而保证更可靠的运行。裂解度控制成本/效益分析Prima PRO解决方案一台配置了60个取样口和24个标定口的Prima PRO 在线质谱仪。如图7所示，一对有类似配置的冗余质谱仪系统可以取代15个气相色谱仪，这能节省约33%的成本，并具有更先进的分析性能。另外，两台Prima PRO可安装在相对便宜的分析小屋中，大约是气相色谱仪的分析小屋成本的25%。维护成本也只有气相色谱仪方案成本的20%左右。虽然Prima PRO的标定气体消耗要高一些，但与气相色谱仪的购置成本和维护费用相比，其费用是极低的。另外，Prima PRO不需要助燃气或载气，这是一种更经济的解决方案。气相色谱仪解决方案气相色谱仪的典型配置，用10台气相色谱仪控制裂解度，5台气相色谱仪提供所需数据用于APC动力模型分析。此方案的成本约100万美元；另外，在所有季节中都要进行维护。有些气相色谱仪能够完全补偿气候的影响，装在室外无需庞大、昂贵的分析小屋，而大多数则不能。一个预制的分析小屋包括全套的样品预处理系统、通讯设施及其他必要的公用工程，分析小屋在为维护人员提供良好工作环境的同时，大的分析小屋也带来了更高的制造成本。如果有很多气相色谱仪需要维护，总拥有成本就会很高：每年每台气相色谱仪大约要7000美元的维护费，这还不包括载气、助燃气和标定气体的消耗等费用。环氧乙烷 /乙二醇环氧乙烷（EO）是通过氧化银催化剂直接氧化乙烯而成的。由于环氧乙烷分子活性极强，因此生产通常与容易运输的乙二醇生产结合在一起。先对乙烯、压缩氧气和循环气预热，然后将这些气体注入装有氧化银催化剂环管反应器中的一个。由于生产中的目标分子不是二氧化碳和水，所以可通过氯化合物添加剂来改进选择性。催化剂的活性随时间而降低，要求逐步提高反应温度。为了增强反应器的燃烧率，要加入甲烷。 Prima PRO：最佳气体分析解决方案 Prima PRO能利用精确测量选择性和测量碳氧分子平衡实现气体分析过程的最优化。采集的数据经常用于控制氯添加剂。Prima PRO也能用于催化剂的开发研究，其目的是在高活化率的条件下增加催化效率。聚烯烃生产聚乙烯（PE）主要按其密度和支链分为几种不同的类别。聚乙烯的物理性能主要取决于几个变量，包括支链的长度和类型，晶体结构和分子量。高密度聚乙烯（HDPE）的支链少，因此具有较强内部分子力和抗拉强度。选择适当的催化剂和反应条件可以减少支链。线性低密度聚乙烯（LLDPE）是一种有大量短支链的聚合物，通常由乙烯与短链α烯烃（如：1-丁烯、1-己烯和1-辛烯）发生共聚作用形成。可利用一个或两个流化床气相反应器的交换工艺来制造全范围聚合物。这些聚合反应器的进料为乙烯、氢气、共聚单体和循环气。聚合物的质量是通过气体组份来控制的，这就需要准确、快速在线分析Prima PRO：精确，快速和多流路监测实验期间生成的数据。其中将专为监测五个工艺流路而配置的Prima PRO与专为监测反应器进料气体组分而整理的GC数据进行比较。Prima PRO清楚追踪了氢气/乙烯比的变化，精度高于GC。此外，Prima PRO更新DCS的速度要比单流路GC快九倍，即便Prima PRO测量五个流路亦是如此。在前四十个PMS数据点中，DCS试图利用GC数据来控制这个比率。当控制切换至Prima PRO数据时，此比率变化的监测得到显著改进，包括： 产品质量更稳定 分子量分布更集中 不合格产品更少 稳态动力学有所改进合成氨从烃进料中除去硫，然后与蒸汽混合通过镍基催化剂，生成氢气和一氧化碳。通过将蒸汽 /碳比维持在 3:1以上，将单质碳的形成减至最低限度，从而保护催化剂。未反应的甲烷（称作“损耗”）亦需控制在较低水平，以便优化转化炉 /变换炉的性能。在次级重整 /裂化装置中，空气在流量控制条件下引入，使氢 /氮比为 3:1。空气中的氧气可将大部分 CO氧化成 CO2，同时加入蒸汽，以便将剩余的 CO转化为CO2和氢气。在吸收塔中除去大部分CO2，微量的碳在催化剂作用下转化成甲烷。转炉进料气与循环气混合，转炉入口处的氢 /氮比（H:N）再次受到严格控制，以实现NH3转化效率的最大化。进气中所包含的惰性气体（如：氩气和氦气）的聚集情况需要予以监测，因为这些气体如果不定期清除的话，会成为重要的稀释剂。Prima PRO：稳定，可靠的在线气体分析 进气组分和热值计算精度最高；因严格控制蒸气/碳比（±0.01%）而减少消耗掉的能量 精确控制氢 /氮比（±0.003%），使产量最大准确测量甲烷损耗，以降低生产成本与较慢的色谱或稳定性较差的质谱控制作用相比，高取样率（在不到两分钟内10至12流路）可使产量提高1%至2%总成本极低 快速收回成本 有毒挥发性有机物（VOC）的泄漏只要化学品生产装置存在，就存在有毒挥发性有机物泄漏的潜在危险，监管机构通常都会要求工厂监测环境气体成分，以避免工人受到长期接触的伤害。有各种形式的捕获装置包括真空罐（苏玛罐）、可挥发性有机物报警器或吹扫和捕获装置。收集到的样品需要送往环境实验室进行分析。另外，还可利用电化学传感器来即时显示是否存在浓度超过预定水平的目标分子。还有一种定量方法是使用开路式傅利叶变换红外光谱仪测定VOC是否在警戒线以内。利用这些不同技术获得的数据，通常都用来满足当地法规的要求。然而，这些技术都不能提供满足诉讼依据要求的时间和空间的分辩率。Sentinel PRO环境质谱仪：简单全面的数据采集Sentinel PRO环境质谱仪能够在15分钟以内监测100个以上的取样点，并在0.01至1ppm精度范围内检测特定物质。凭借其速度和精度，它可监测所有关键区域的短时泄漏，并提供准确的8小时、时间加权平均泄露数据。由于具有大量可用的取样点，许多取样点可位于靠近潜在泄漏点的地方，如：阀杆处等，以便在有毒危害发生之前进行泄漏检测和修复。尽管安装这种装置的主要目的是为了保护操作人员和符合环保法规，但其使用效果往往超越了对泄露防护的要求。

产品简介：NGX-600是一台全自动、高精度的质谱仪，具有全面的多接收能力，可以高分辨率地测量稀有气体同位素比率。它配备有高灵敏度的“Nier”型气源和小体积静态真空计。探测阵列由可以定制组合的法拉第杯和离子计数电子倍增器组成。NGX标配了ATONA放大器。设计特点：- 紧凑设计- 大半径的磁场确保其有更佳的离子传送、质量分辨率和稳定性 - 可旋转离子焦平面使接收器焦平面和离子轨迹垂直，不论接收器和离子焦平面的初始相对位置如何，均可确保更佳的峰平坦度- 专利（专利号GB2552233）的新一代电子校正ATONA放大器，用于全部法拉第杯- 小体积设计- 新一代高灵敏度离子源- 高质量分辨率，可以排除有机物基质干扰，从HD中分辨3He，从双电荷40Ar中分辨20Ne。- 全面的多接收能力，可选配置实现同时测定氙的9种同位素。一台仪器适用于多种稀有气体。 应用领域：地质年代学、天体化学和热年代学等研究领域中稀有气体 He、Ne、Ar、Kr 和 Xe 的同位素分析。

Thermo Scientific Delta V Advantage新一代同位素比质谱仪凝聚了我们在质谱仪领域里50年以上的经验。同位素比质谱仪的基础原理是把任何类型的无机或有机化合物转换成为单纯的气体。作为DELTA V Advantage 的进样系统，有广泛的样品预处理设备和接口可供选择。它可以与元素分析仪、GasBench、气相色谱或液相色谱等装置联用，用于测定C、N、S、H、O等多元素的稳定同位素比值，可用于食品安全、农业、环境、地质、海洋等领域，进行食品真实性鉴定、原产地判别以及环境污染物溯源等研究。赛默飞世尔为实践中在每个应用中可能遇到的各种各样的样品的 全自动分析提供应用气相色谱，液相色谱和元素分析仪的完整分析方案。该仪器具有以下特点： 极好的扩展性，可以与各种外围设备联用，确保高度自动化和高性能在保证卓越的线性和稳定性的同时，展示了最好的灵敏度结构紧凑，坚固耐用

Prima BT过程开发质谱仪a）工作原理：Prima BT是Prima PRO的小型化，其在基本原理和内部构造上基本与Prima PRO完全一致，是Prima PRO在小型试验装置或实验室开发过程应用的缩小版。它的分析性能指标几乎与Prima PRO完全一致，既可以作为实验室质谱仪使用，也可以作为小型在线分析仪使用。Prima BT过程开发质谱仪是非常强大的连续分析仪器，能够快速、准确灵活的分析多个流路、多个组分的气体。它采用磁扇扫描原理实现对多种气体浓度的检测，工作原理如下图： 质谱分析仪工作原理图 由RMS多流路快速进样系统导入气体分子样品；经过离子源将该样品转为离子态片段或气体离子，然后按照样品离子的质荷比不同，对经过磁扇区进行分离，分离过程遵循如下基本物理公式： ，其中：r为离子运动的轨道半径，M是粒子的质量，V是加速电压（1KV），β是磁场强度，e是离子的电子电荷。只有在一定的V及β的条件下，具有特定质荷比M/e的正离力才能通过运动半径为r的轨道进入检测器。当V，r固定，M/e与β2成正比，连续改变扫描磁场强度,就可使具有不同的M/e离子顺序到达离子检测器。 被选定的离子进入检测器后形成微弱的电流信号，检测器的输出信号经过板载微处理器转换，最终输出的信号表征样气中各个组分的浓度。在整个分析过程中，质谱仪工作在真空状态。该真空系统，由两部分组成：由选装机械泵提供的初级真空和由涡轮分子泵提供的高度真空。 b）产品用途：在线质谱仪可从容应对石油化工应用的众多挑战，其中包括：l 发酵研发 l 生物燃料研发 l 催化剂研发 l 热分析 l 人类热量研究 l 实验装置气体分析 l 析出气体分析 c) 特点：l 最好的在线测量精度 l 最号的测量稳定性 l 界面有好的软件能够灵活设定分析方法 l 容错设计能够确保达到99.9%的运行时间 l 延长的预防性维护时间间隔 l 高度简单化的维护步骤l 出色的“分析仪到分析仪”重复性d）技术指标：离子源 封闭式电子轰击源，双灯丝，带精密温度控制（120-200℃±0.1℃） 质量分析器 层叠式扫描电磁铁，150px半径，80°偏转 质量范围 1-150 amu 在1000 eV 离子能 (1-200 amu 在750 ev 离子能) 分辨率在两个分辨狭缝之间切换，分辨率60/20（标准）；可选140/85, 100/45 重量刻度稳定性 0.013 amu 在 28 amu 超过 24 hours 峰形 在分辨率60时，顶部宽度为底部宽度的一半 丰度灵敏度 250 ppm 以27/28为准检测器 法拉第检测器或法拉第和SEM双检测器（可选） 进样口16个，15个用于分析，另外1用于与标定口连接标定口6个，1/4”卡套进样类型 毛细管，带分子渗漏和旁路（标准） 真空系统 涡轮分子泵和旋转泵；可替换为涡轮分子泵和内部膜片泵 进样流量 数字测量和记录每一流路流量 精度 0.1% 相对 (典型, 依据应用) 线性 1%，样气浓度变化超过10倍 (典型, 依据应用) 动态范围 10 ppb – 100% (理论l, 依据应用，使用外部旋转泵）稳定性 1% 相对，超过1 周 (典型, 依据应用) 控制器内置工业CPU，独立的操作系统，不依赖外部电脑独立工作。与外部控制软件GasWork的通讯功能。电源230 VAC (± 10VAC)，50Hz通讯MODBUS RTU，以太网，OPC.安装方式桌面放置

谱育科技自主研发的TRACE 8000 化学电离飞行时间质谱仪，将高灵敏度化学电离源和高分辨飞行时间质量分析器进行结合，具有灵敏度高、分析速度快、分辨率高、测量组分种类多等突出优点；仪器具有创新的辉光放电源、高压离子漏斗和静电透镜传输技术，保证样品的电离效率和离子的传输效率，适用于走航监测、食品科学、材料分析、爆炸物和药物检测等方面的应用。产品概述性能优势分析速度快微秒级的扫描速度，可捕捉目标物质的瞬时变化，为科学研究、应急监测、生产过程的高通量监测提供有效手段。分辨率高可实现复杂混合物样品中分子量相近物质的分析识别，解决传统低分辨直接进样质谱分析定性难的问题，将“看不见”变成“看得见”，追溯物质本源。多试剂离子可选配合试剂离子快速切换系统，根据目标物质的化学特性，可选择H3O+、O2+、NO+等多种不同电离能的试剂离子进行靶向电离，适测物质涵盖醛、酮、有机硫、有机胺、卤代烃、苯系物、长短链烃类等，是优选的快速检测技术。 应用领域TRACE 8000 化学电离飞行时间质谱仪适用于走航监测和园区VOCs在线监测，可实现VOCs精准溯源及扩散预警。可对半导体生产过程中的AMC、食品生产的风味物质进行实时监控；石油化工生产过程中移动测量、定点在线监测；材料中有害成分的快速鉴定分析；人呼出气体的宽动态范围内的追踪分析。

在线质谱仪 参数如下：配置包括：1 减压装置：1米长不锈钢取样毛细管，外置加热套，最高加热温度200℃可调，双级降压；2 真空系统：涡轮分子泵作为主抽泵，前级泵为无油隔膜干泵，配全量程真空计检测真空度，真空系统由液晶显示屏显示和控制，真空度可以在液晶显示屏上显示；3 质谱室：不锈钢材质，外配加热套，最大可烘烤温度为200℃；4 质量分析器：开放式离子源，配双灯丝，可检测1-100/1-200/1-300质量数气体；5 软件：多通道检测气体，可实现定性和定量分析，适用于Windows 7/10系统；6 两个独立显示温控仪，控制取样管和质谱室的加热；技术参数：1 质量数范围： 1-100/1-200/1-300；2 离子源：开放式离子源，含2根灯丝；3 最大测量通道：128个；4 最小检测极限: 优于1ppm5 检测器最大烘烤温度：300℃6 质谱仪响应时间：小于200ms7 扫描时间：1ms-16s/amu8 通讯方式：TCP/IP Ethernet；9 腔体烘烤最大温度： 200℃10 高真空泵：涡轮分子泵，抽速67L/S11前级泵：无油隔膜干泵，抽速1m3/h12真空计：皮拉尼和冷阴极复合真空规，测量范围大气压到5x10-9hPa13 主机尺寸不大于400mmX 620mmX400mm

MS GAS-100气体分析质谱仪用于对气体和挥发物质，包括同位素、溶剂和可挥发有机物进行复杂的精确分析。 系统组成：质谱分析模块：由开放/封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝和一个四级质朴分析器组成。质量范围分为1-100、1-200和1-300 amu。系统中应用两种检测器：法拉第检测器：灵敏度低于10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度低于100ppb高效真空泵系统：真空室内置加热元件；专用汽水分离模块；双泵抽真空模块，包括前级隔膜泵和涡轮分子泵。恒温加热元件可以去除真空室中的杂质。汽水分离模块中的电子控制斯特林制冷器可以高效抑制水分子背景，从而显著提高离子源寿命。这一模块可以连续运行数周。温度可以由用户自定义，从而监测特定的挥发物质，如乙醇等。进样单元：模块化设计，可互换渗透膜探头或针阀进样器。渗透膜探头允许溶解物质通过，既可以测量液态样品，也可以测量环境气体。针阀进样器适用于直接测量气态样品中的挥发物质。真空压传感器：测量真空室中的总压力和进样单元中的压力，确保不会损坏质谱分析器。集成触屏监控器：可手动控制加热/制冷温度，开闭进样器、分流阀和安全阀。可通过预设程序进行自动测量。控制软件：操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质。应用领域： 气体和液体样品的气体交换，如藻类光合作用（CO2、O2）、生物燃料研究（H2、乙醇、烃类）一台仪器即可进行多种气体和挥发物质的长期监测两种进样单元，即可测量气体也可测量液体模块进样设计，多种接口可选，可以进行整株植物或细胞悬液的气体交换分析固氮生物研究（N2）18O2标记光呼吸研究同位素分布分析气体污染研究（CH4，H2S，NOx，SO2，CS2，CO等）水污染研究（可溶性有害气体、挥发性有机物等） 技术参数：分析气体种类：气体：CO2、O2、H2、N2、C2H4、CH4、H2S、NOx、SO2、CS2、CO等挥发性有机物：乙醇、烃类、苯、甲苯、丙酮等 质谱分析器：残余气体分析器（RGA）质量范围：1-100 amu、1-200 amu、1-300 amu离子源：开放或封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝（灯丝材料：yttriated iridium）检测器：法拉第检测器：灵敏度10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度100ppb响应时间：20秒真空系统：前级隔膜泵和涡轮分子泵进样器：渗透膜探头（PDMS）或针阀进样器加热系统：100W恒温加热元件，最高温度90℃制冷系统：电子控制内置斯特林制冷汽水分离模块，最低温度-80压力传感器：高真空压传感器用于测量真空室中总压力；进样器压力传感器用于保护质谱分析器触控屏：系统控制并显示实际读数BIOS：可升级固件通讯端口：千兆以太网，TCP/IP协议外部工作站：预装专用软件，操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质尺寸：54.5×72×45.5cm重量：65kg供电：110-230V交流电应用案例：配合FMT150藻类培养与在线监测系统测量蓝藻Synechocystis 6803光补偿点（测量O2）。配合专用测量室和FluorCam便携式叶绿素荧光成像系统，测量整株番茄的光合作用（测量CO2），同时与Li6400测量数据进行对比，可见MS GAS-100的稳定性和重复性要远远高于Li6400。 产地：欧洲 参考文献：1. Zav?el T. et al, 2016, A quantitative evaluation of ethylene production in the recombinant cyanobacterium Synechocystis sp. PCC 6803 harboring the ethylene-forming enzyme by membrane inlet mass spectrometry. Bioresource Technology, 202:142-1512. Zav?el T., ?erveny J., Knoop H., Steuer R., 2016, Optimizing cyanobacterial product synthesis: Meeting the challenges. Bioengineered, 7(6): 490-496.

仪器简介：英国Hiden公司的QIC 20 小型在线气体分析质谱仪是一台完备的台式气体分析系统，用于监测气体和过程分析，便于生产、研究使用。应用： 过程监测 在线分析 污染物研究 CVD / MOCVD 环境气体分析 热分析质谱 催化剂研究/ 反应动力学技术参数： QIC 直接进样，对气体、蒸气的响应时间 1～20 sccm / min连续进样 取样压力：100 mbar ～ 2 bar（可选配10mbar－2bar） 高压取样接口至30 Bar（选配） 灵敏度高 (0.1ppm标配，可选配至 5 ppb) 质量数：1-200amu标配。可选配50amu，100amu，300amu,510 amu。主要特点： 高效、柔韧、加热(直到200℃)惰性石英毛细管（QIC) 惰性毛细管避免了气体与毛细管发生物理或化学反应 自动流量控制，以恒定离子源压力 液氮低温板（选配），增强对可凝结的背景气体的抽吸 软离子化技术，有利于分析复杂有机物 稳定性(24h以上，峰高变化小于±0.5% ) 通过RS232、RS485或以太网连接计算机，由 MASsoft 软件控制 定量分析方法

HPR20 QIC TMS瞬变过程气体分析质谱仪是为在常压附近快速反应的气体分析而设计的系统。配置0.9m长度的石英毛细进样管，是理想的气体瞬变过程分析质谱仪。0.9m长的高效、柔韧、加热(直到200℃)石英惰性毛细管（QIC) APSI-MS 软离子化技术，选择性分析复杂气体和蒸汽 多离子源选择和快速响应的优化泵结构 脉冲离子记数器，可检测连续7个数量级的动态范围 ppm,%定量分析方法 提供两组外部参数显示信号；可选配16组 扩展余地宽 质量数范围： 1～50、100、200 、300、500、1000amu 响应速度： ＜150ms，200毫秒内对于5个数量级气体组成变化做出反映 扫描速度： 100amu/s 取样压力： 100mbar～2bar 标准配置 1mbar～30bar 选配 检测浓度： 5ppb～100% 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 测量速度： 500点/秒

英国Hiden公司的QGA定量气体分析质谱仪是为在常压附近连续定量分析气体/蒸气的而设计。QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。设置简单、操作方便 图形、数据实时显示 本底自动校正 16种气体的定量分析 数据以原始数据、%或ppm形式输出 智能谱库扫描功能 准确的碎片峰形记录 自动减去重叠谱 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

仪器简介 英国Hiden公司的HAL 201 RC超高真空残余气体分析四极质谱仪专为检测超高真空容器中的存在组分而设计，针对真空诊断进行精确的分析。 离子源为镀金离子源，适合应用在总压小于5 x 10-10mbar的领域，其系统与EPIC离子/分子分析质谱仪完全兼容。 主要特点：镀金离子源，以减少离子源脱气 氧化物涂层双铱丝的离子源 双法拉第/ Channeltron电子倍增器检测器 技术规格：质量数范围： 200，300 amu扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：5 x 10-14 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar

仪器简介：qRGA托卡马克装置残余气体分析质谱仪专为阈值电离质谱(TIMS)模式下操作，核聚变系统燃料输送进行分析而设计的质谱仪。 通过控制TIMS模式提供的电子发射能量，能对D2 和4He的同位素进行分析检测。 主要特点：实时定量分析 ppm级检测水平 在常规质量分析和TIMS模式下操作 电子能量分辨率为0.1 eV 辐射屏蔽和磁屏蔽，低耗费运行 技术规格：质量数范围：1～200 amu 软离子化： 0～150eV 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%

仪器简介：HALO 201 MBE 分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析。该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。 主要特点：钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命 抗污染离子源护罩 双法拉第/ channelplate电子倍增器 技术规格：质量数范围： 1～300 amu 扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：2 x 10-13 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

仪器简介：HPR20 QICPlus是在HPR20 QIC基础上发展的全自动定量分析在线质谱仪系统,包括HPR20 QIC的所有功能技术参数：质量数范围： 1-50，1-200，1-300，1-500，1-1000 amu四极杆种类： RGA，3次过滤四极杆气体取样管： 内置石英玻璃毛细管，外部为不锈钢套。 加热温度至200℃。2米长气体流量： 1-20sccm，可调节进样压力： 压力恒定状态：100mbar－2bar（标准配置） 压力不断变化：100mbar－2bar，需选配FCI自动流动控制阀 2-30bar，定做装配方式： 台式或车载（选配）检测极限： 0.1-1 ppm RGA HAL系列四极杆（标准配置） 5ppb 3F系列四极杆 （选配）最小扫描步阶： 0.01amu多路进样阀： 多至80路。加热与否均可（此项为选配）主要特点：四组份气体传送和预混合面板，用于调配校准气体双气路进样口，低死体积阀门，自动/手动切换： 校准气体－零气体－样品气体，确保样品气体正向流动进样过滤器 (5µ m)，高传输、低死体积，方便清洁定量气体分析软件，利用标气进行自动定量气体分析校准矩阵倒置算法用于组份浓度计算，数据可显示为：％，ppm

在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪烟气多组分动态分析飞行时间质谱仪是卷烟烟气在线动态分析质谱仪，具有无需烟气收集和前处理、无需色谱分离、无极性歧视、在线/动态进样分析、高灵敏度等优越的综合性能。适用于主流、侧流、环境烟气以及卷烟制品热解产物的在线、动态分析。主要应用范围：主流烟气在线动态分析，侧流烟气在线动态分析，环境烟气在线动态分析，卷烟制品热解/氧化产物在线动态分析。在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪产品特点可对卷烟燃烧、热解、氧化产物进行在线动态分析可对烟气产物进行逐口分析可获得醛、烯酮、硫化物、烯醇等卷烟燃烧不稳定中间产物的捕获(反应器选配)可与吸烟机、热重、红外光谱联用无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多通道反应进行同时监测(阀门选配)专业卷烟烟气产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪规格参数尺寸：500(w)x800(h)x400(d)质量范围：1-600amu质量分辨：不低于3500灵敏度：10ppb在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪主要附件(选配)：多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪应用领域 主流烟气在线分析侧流烟气在线分析环境烟气在线分析烟丝热解/氧化产物分析新型卷烟烟气分析烟丝烘烤释放物分析烟叶存放释放物监测在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪应用范例主流烟气产物监测无需色谱分离，可在数秒实时获得主流烟气主要成分信息(碳氢化合物、含氮/硫/氧化合物等)卷烟热解产物监测 可观察热解产物在不同热解温度的分布情况和浓度区别(m/z=162为尼古丁)卷烟烟丝中化学成分快速分析卷烟烟丝分析在线烟气质谱仪 ProC-1S 卷烟烟气多组分在线分析质谱仪常用附件1. 常压热解反应器1.1 反应温度：室温~1200 ℃1.2 真空度：常压1.3 材质：刚玉/石英2. 低/高压热解反应器2.1 工作温度：室温~1200 ℃2.2 真空度：0.01Pa-0.5MPa(基于真空泵的选择)2.3 材质：刚玉/石英非标订制及其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

针对生物发酵尾气分析需求，SHP8400PMS过程气体质谱分析仪配置多通道采样系统，高稳定性四级杆质量分析器，耐水、耐氧性双灯丝离子源等进口关键部件。整个仪器精度高、漂移小 、响应快、维护少并且可以实现多个生物反应器发酵尾气实时、连续、精确的全组分气体分析 ，是提供发酵尾气监测的理想工具。详细信息 SHP8400PMS 过程气体质谱分析仪依托多年研发应用经验，以实时、高精度、在线监测多路生物过程气体为目标，配置16通道采样系统，具有指纹谱图库的电子轰击离子源，经典、成熟的四极杆质量分析器，性能稳定，使用寿命长的法拉第检测器等。另有专业设计的发酵尾气预处理系统，保证分析结果准确的同时确保了仪器不受溢罐等特殊情况的伤害。更高的投资回报率◆一台过程质谱多可同时分析15台发酵罐尾气组分，台均投入费用少；◆快速在线气体分析（每个取样点快30秒），准确反映工艺动态，给工艺优化提供强有力支撑；◆高稳定性，3-6个月的标定间隔，可长时间稳定运行；◆全组分分析，自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线；◆自动化程度高，维护需求少，运营成本低；16通道采样系统◆每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰◆连续流动式取样，保证气体的实时更新◆可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝全组分气体分析◆SHP8400PMS可实现气体全组分分析，除了提供N 2 、O 2 、C O 2 、A r等无机气体的监测结果，也能实现甲醇、乙醇、甲烷等有机气体的实时分析。高精度流量控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流量控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1am u，是连续稳定监测的可靠保证。全中文在线质谱分析工作站◆采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。质谱仪在线监控示意图 在线气体前处理系统◆针对生物过程设计的多通道样气在线处理系统，具备除尘、除湿、除泡沫、控温及调压等功能，保证样气的真实快速传输和质谱仪的长期稳定运行。 完美兼容各种发酵控制系统和工艺分析软件◆软件的数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，与其他软件系统完美兼容。 SHP9000PA在线监控及工艺分析软件◆中文软件界面，适用于工业生产以及实验室多参数过程监控，可根据用户工艺流程定制工艺画面，通过实时数据的采集即时掌握整个工艺流程的概况。◆支持各类工业P LC ，数据采集装置以及本公司在线质谱仪等各类在线分析仪器。自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线，提供趋势图，柱状图等显示监测数据或历史数据，可更直观地对参数进行分析处理，用户可轻易发现参数之间的相关性，同时按要求格式保存输出。◆可输出控制信号，具有报警功能。

Protea公司是一家专注于傅里叶红外气体分析仪和四极杆质谱仪等高端分析仪器研发、生产、销售为一体的高科技公司，总部位于英国伦敦。ProMass系列质谱仪是结构紧凑、坚固的四极杆质谱（QMS）仪，融合了所有的质谱和真空泵技术。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。【产品描述】ProMass分析仪是一款结构紧凑、设计坚固的半便携式四极杆质谱（QMS）仪器，融合了所有的质谱仪和真空泵技术。ProMass可提供便携式手提箱或6U 19″ 机架模块，用于在线过程测量。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。质谱仪通过收集和分析测量样品中分子的质荷比，我们可以根据质谱信息识别和量化存在的分子。ProMass分析仪中的 QMS 包含一个由4个平行圆棒组成的质量过滤器，因此称为四极杆。它具有0-100amu、0-200amu或0-300amu的可变质量范围，适用于便携式或固定式安装。【典型应用】l 半导体生产过程；l 环境空气监测；l 泄漏测试；l 食品行业质量测试；l 氢(H2)燃料分析 l 制氢工艺；l 环境空气监测 l BTEX 量化 l 乙烯和环氧乙烷生产 l 呼吸分析；l 天然气混合及大量天然气生产。 【特 点】l 根据不同的具体应用预置质谱库，单台仪器可以测量几乎所有气体，应用领域十分广泛；l 毛细管直接进样，测量气体简便快捷，无需复杂的制样设备和繁琐的制样过程，即可实现单独测量；l 快速测量，毫秒级响应速度；l 法拉第杯和二次电子倍增器联用，既可快速扫描，又可以精确测量；l 强大的PC端专业质谱分析软件；l 简单易用，无需精通质谱专业知识，即可上手测量。

新一代的QGA 2.0质谱仪采用了全新的外观和内部设计，以更小的体积和重量，呈现出更加美观的外观。其更快的扫描速度和更高的灵敏度使其能够实现每秒1000次的测量速度，并覆盖了从100ppb到100%的扫描范围。 便捷简化 – 一键启动操作先进卓越 – 全新电子学部件设计多功能应用 – 兼容多种进样口精心优化 – 专为氢气分析而优化高效速度 – 每秒高达1000次测量直观易用 – QGA 2.0 定量分析软件紧凑轻巧 – 实验台占地面积减小了42%轻盈便携 – 重量减轻了26%可持续环保 – 制造过程中使用更少，更环保的材料

SHP8400PMS-I 防爆型过程气体质谱分析仪，将前沿的在线质谱分析技术与针对性的行业解决方案相结合，实现过程气体的实时、在线分析。通过多通道采样实现多点监测，提供多组分、多流路同时分析。该款质谱分析仪适用于易燃易爆环境和复杂工况环境下的过程气体多组分同时分析，满足长期不间断在线分析和多路不同样品监测的需求。设备简介： SHP8400PMS-I防爆型在线工业质谱仪可用于危险及复杂工况环境下的气体成分快速在线分析，具有防爆、防水、防尘等防护功能。仪器可实现高精度多组分同时检测，提供精准的定性定量测试，并可与生产反应调控过程关联。高精度流体控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流体控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1amu，是连续稳定监测的可靠保证。可靠的长期稳定性◆连续36天监测空气中Ar的含量，大标准偏差优于0.4，满足长期连续监测的实际需要。智能在线监控◆在线监控真空度、气路温度、分子泵状态等系统运行参数，如有异常情况出现，立即报警或停机，大程度保障运行安全。精益管理解决方案降低投资成本◆单台质谱仪轻松取代多台气相色谱仪，不仅降低设备投资费用，减少了占地面积，也节省了分析小屋的成本。◆多个工艺气流的各种气体分析数据由一台质谱仪提供，简化了与控制系统的连接，也更为高效。减少运行成本◆质谱仪运行无需载气、助燃气、色谱柱等，避免了气相色谱仪的高维护成本和气体消耗。 在线质谱分析控制原理示意图

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific HELIX SFT质谱是为氦同位素同时分析及高精度跳峰分析而设计的高分辨、多接收系统，可以同时测定3He和4He，也可以用跳峰模式测量任何稀有气体同位素。 主要特点 该系统可同时测量氦同位素，无需跳峰扫描，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 丰度灵敏度：由于HELIX SFT独特的设计，质量4对质量3的贡献小于1ppb； 体积：HELIX SFT的内部体积约1400cc，这是当前技术的重要提升； 分辨率：低质量数接收器，通常用来测定3He，其分辨率大于700，这保证了3He 能够和两个干扰峰HD和H分开； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪产品描述电离部分采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究随时间演化的动力学过程提供支持。在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪基本性能检测范围1-500 amu检测限0.1ppm质量分辨率 3000@(m/z=92)自动数据采集及分析程序温度调节范围25 ~ 1200 °C，压力调节范围1 Torr ~0.5 MPa在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪产品特点可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱接口及操作软件 红外接口及操作软件热重接口及操作软件在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室 气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测 卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁)聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成 质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪产品描述电离部分采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究随时间演化的动力学过程提供支持。在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪基本性能检测范围1-500 amu检测限0.1ppm质量分辨率 3000@(m/z=92)自动数据采集及分析程序温度调节范围25 ~ 1200 °C，压力调节范围1 Torr ~0.5 MPa在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪产品特点可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱接口及操作软件 红外接口及操作软件热重接口及操作软件在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附在线催化质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室 气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体在线质谱仪 ProC-1 在线光电离飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测 卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁)聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成 质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

主要参数 / Main Parameters: ◆ 四极质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（产地：美国，提供原产地证书及原厂校准测试证书）； ◆ 质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu； ◆ 灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换； ◆ 分辨率：优于0.5ppm（40amu）； ◆ 扫描速度：可达1.8毫秒/amu，扫描步阶0.1amu； ◆ 最小可检测分压：2E-15Torr （4s停留时间） ◆ 气体采样流量：默认可低达2SCCM的微流量采样，可至0.2SCCM的超微采样量；（相比其它国际品牌，完全避免了大流量采样吸入空气的弊端） ◆ 响应速度：可在低达＜2SCCM的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应时间＜1秒；（无需大流量采样来提高响应速度） ◆ 分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证。 ◆ 软离子化功能：离子源电子能量软件可调，提供更高分辨率。 ◆ 涡轮分子泵：爱德华，抽速85L/s，100KRPM，极限真空1*10E-12mbar； ◆ 干泵：涡旋干泵，抽速20L/S，极限真空1*10E-1mbar； ◆ 质谱腔体：一体式腔体，非焊接式，含加热烘烤，烘烤温度150℃； ◆ 进样接口：1.2米内洁净钝化不锈钢毛细管进样装置，防冷凝防堵塞保护结构；采样压力默认100±10kpa，负压或高压采样可定制； ◆ 软件分析系统：德国英福康（INFICON），英文；通讯接口TCP/IP。 ◆ 规格：H510mm*L520mm*W225mm，Weight30kg，高集成度。测试报告 / Test report其它功能 / Other functions ◆ 零焊缝超高真空质谱腔体技术（将传统的4焊缝降低到0焊缝）； ◆ 分子泵高真空大流导MAX接口技术（将流导面积增加3倍以上，流导长度缩短5倍以上），从而获得极限灵敏度； ◆ 分子泵电流电压监测，质谱腔体温度监测； ◆ 采样管线防蒸汽凝结技术；采样口防堵技术；高温变压高湿气体在线质谱分析系统BSD用户论文 / BSD User Paper

先进半导体应用的原位过程控制上海伯东日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超紧凑型质谱仪, 适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析.分子测量快速，灵敏度达到十亿分之一 检测残留气体 / 冷凝物污染.提高产量提供化学特定的可操作见解, 尽可能地提高产量提高安全性监测爆炸性气体. 检查排放和减排效果.Aston™ 质谱仪解决了关键的原位计量问题• 提高吞吐量: 端点检测而不是基于时间的流程• 提高产量: 以十亿分之一的灵敏度测量沉积和蚀刻工艺期间的工艺气体 / 副产物Aston™ 质谱仪先进工艺的优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁Atonarp Aston™ 技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm) Aston™ 质谱仪半导体制造应用先进的工艺原子层沉积 (ALD)化学气相沉积 (CVD)原子层蚀刻 (ALE)腔室管理干净的终点检测指纹识别和匹配 Sub-fab 安全性, 可持续性和节省优化过程安全监控干泵保护减排管理沉积化学气相沉积钨TEOS蚀刻介电,导电,金属高纵横比 1% 开放区域检测EUV/光刻SnH4 蚀刻光掩模蚀刻自主过程控制模型驱动的实时过程监控若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪产品描述离子源采用特殊的光电离源(PI)，可以将环境气体中所有成分(氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、臭氧、氮氧化物、含硫化合物、含氯化合物、碳氢化合物、多环芳烃等)电离，从而一次可以分析空气中的所有产物电离过程中几乎不产生碎片，从而可以不使用色谱分离直接对待测物进行实时分析采用高传输效率的离子透镜技术，可大大提高仪器的灵敏度，可对环境空气中ppb浓度范围的待测物进行定量检测，动态范围宽 采用离子垂直引入技术，双场反射式飞行时间质谱作为质量分析器，可获得较高的质量分辨率，可对空气中的同质体进行区分。使用的是MCP探测器，可实现106增益，能有效屏蔽脉冲干扰信号，获得高信噪比信号分析速度快(采样频率30,000Hz)，可在秒量级时间内获得所有待测物(包括不稳定自由基)的质谱图，也可获得待测物随时间变化的动态曲线，为研究实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪随时间演化的动力学过程提供支持。实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪基本性能指标的设置说明质量检测范围1-500 amu检测限1ppb质量分辨率 2500@(m/z=92)实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪产品特点 可对光、热、电诱导催化气相产物进行在线监测可探测自由基、甲醛、烯酮等不稳定中间产物(反应器选配)采样速度快(秒量级)无需色谱分离，无极性歧视可通过切换阀门，对多个反应通道进行同时监测(阀门选配)专业催化、热解产物数据库固定温度、程序升温产物在线监测可与热重、红外光谱仪联用实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪主要附件(选配)多通道切换阀门原位热催化反应器原位光催化反应器燃烧反应器流动管反应器JSR反应器气相色谱、红外、热重接口及操作软件实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用场景热解/燃烧反应光/热催化反应低温氧化反应烘烤/热脱附实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用领域石油化工：乙烷脱氢、丙烷脱氢、长链烷烃裂解煤化工：合成气制烯烃、合成气制油、合成气制烷烃、天然气制烯烃环境监测：甲烷氧化、甲醛/苯系物降解、二氧化碳还原、NOx脱除大学/科研机构/实验室气固相催化反应机理研究各种催化反应卷烟加工食品加工制药工业气体化学化工 化肥/合成氨发酵冶金/钢铁半导体实验室桌面质谱仪 ProC-2 在线桌面/台式飞行时间质谱仪应用范例甲烷氧化偶联(OCM)反应中间体探测可对甲基自由基、过氧甲基自由基、甲醛等活泼中间体进行原位捕获和探测卷烟热解产物监测可观察热解产物在不同热解温度的分布和强度区别(m/z=162为尼古丁) 聚乙烯催化热解产物监测聚乙烯加入HZSM-5催化剂后，可观察到部分催化热解产物选择性显著增加甲醇制烯烃(MTH)产物动态监测可获得甲醛(积碳中间体)和其他产物在不同催化剂上的生成和转化过程煤热解产物监测可在线观察到大量烃类热解产物生成质谱-红外联用研究MTH反应同时获得气相脱附产物和吸附产物谱图 公司承接非标订制等其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

Hiden公司的TGA-MS热重分析质谱仪是将热重分析耦合到Hiden质谱仪上的一整套接口系统。能够充分利用进样毛细管快速响应和低死体积的优点，配合上最受欢迎的TGA设备。 最小化的死体积 毛细管加热，无冷凝环节 接触界面皆为惰性材料 高性能气体处理方式 可使用混合气体系统（H2、He） 流速与TGA匹配

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific Helix MC Plus质谱是专为微量样品稀有气体分析而设计的高分辨磁质谱，可实现氖、氩、氪、氙惰性气体中任何五个同位素的同时检测。主要特点： 该系统可测量氖、氩、氪和氙的同位素。同时多达5个同位素的多接收测量无需跳峰，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 可以进行跳峰测量，如氦同位素； 接收器动态范围：考虑到CFM接收器结合了法拉第和CCD，能够获得更大样品浓度范围的测量能力； 分辨率：标准分辨率接收器750(10%峰谷)能够解决标准碳水化合物干扰，而 1500（10%峰谷）分辨的高分辨接收器能够使得很多科学问题得到解决； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω 放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。