真空磁控离子镀膜仪

WELCHLAB APPLICATION某客户致力于材料表面处理和真空薄膜仪器的研发，在竞争方面，直接对标国外知名产品。有别于其他同类产品的国产厂家，该客户产品定位高端，在国内市场有较好的口碑，其对配套的旋片真空泵（油泵）要求，无论是在真空度、噪音、外观、售后服务等，还是在品牌知名度方面，都有非常高的要求，为保证离子镀膜仪真空度的稳定性和工作效率，已标配选用了某原装进口品牌的旋片泵，且销售了数年时间，但此品牌的旋片泵价格高昂，货期不稳定，售后服务有着很大的提升空间。此时，我们针对性的向该客户介绍了Welch品牌CRVpro2旋片真空泵。CRVpro2外观设计美观，真空度高，泵体小巧，运行非常安静，泵体内部做PTFE防腐处理，能够明显提高其使用寿命，完全适合配套客户的离子镀膜仪设备。且因CRVpro2旋片真空泵性价比高，售后服务完善，能瞬间提升客户产品的受关注度和整体竞争力。当然，对于临阵换将，任何人都会有所犹豫，为打消客户疑虑，我们及时提供了一台全新的 CRVpro2旋片真空泵，进行现场测试。CRVpro2的安装非常简单，加注真空油、安装转接头、连接不锈钢波纹管，一气呵成。开机运行！在寂静的实验室里，CRVpro2安静的运行着。时间一秒一秒得飞逝，镀膜仪操作面板上的真空度数值飞速变化，结果仅仅用了不到3分钟，就达到了镀膜仪恒定工作压力以下，即1-2Pa。同时，由于Welch研发工程师对CRVpro2的排气端进行了优化设计，其排气口几乎无油雾排出，非常有利于实验室环境，该公司的测试人员对此结果非常满意。随即，设备配套顺理成章，双方打开双赢的合作局面̷̷CRVpro实验室旋片真空泵的优点：　　1、泵体运行温度低，能有效减低泵被化学腐蚀风险。　　2、油箱和泵体都有抗化学腐蚀涂层，能够保护泵不被化学物质侵蚀。　　3、油箱容量大，能够稀释吸入真空油里的化学物质，降低了化学腐蚀的风险和油被污染的程度。　　4、低噪音：运行特别安静，不干扰工作。　　5、自润滑功能：确保所有运动部件浸润在新鲜的油里，平衡温度，减少油染，延长机械寿命。　　6、防倒吸阀：防止在停机时油被倒吸进真空容器　　7、气压载阀：减少化学蒸汽被夹带进入泵油；保护泵不被可凝性流体如水，乙酰腈等的影响。　　8、cUL和CE认证：具有各国的安全认证，满足官方的3安全标准。　　9、满足各种应用的外形尺寸：现代和紧凑的外形设计，满足各种应用场合的要求。　　10、双电压电机：IP44 电机，可在115V 和240V之间切换，并可配置各种相应的电源插头，使CRVpro可使用。CRVpro实验室旋片真空泵的应用： 1、双排管 2、冷冻干燥 3、真空浓缩 4、采暖通风、空调 5、真空干燥箱 6、手套箱 7、质谱仪 8、工业应用关于威伊（Welch）威伊真空设备（上海）有限公司WELCH是提供优质耐用真空泵产品的专家。我们的丰富产品线涵盖了实验室和工业用真空泵，包括真空活塞泵，真空隔膜泵，真空旋片泵，螺旋泵，涡轮分子泵，液体输送泵等，还有各种真空测量仪，真空控制器，真空蒸馏装置，真空浓缩设备，真空抽吸设备等。关于英格索兰英格索兰（纽交所代码：IR），以企业家精神和主人翁意识为动力，致力于创造美好生活。我们通过旗下备受赞誉的40余个品牌，在工业、能源、医疗和特种多功能车领域提供关键和创新的产品与服务，涵盖空气压缩机、泵、鼓风机，以及流体管理、装载、动力工具和物料吊装系统以及知名的Club Car品牌多功能车。在极其复杂和严苛的工况下，亦能确保优越的性能。我们在世界各地的16,000多名员工将持之以恒地为客户提供可靠的专业知识，帮助客户提高生产力并提升效率，与客户建立终身连接。

光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）

氩离子抛光技术是对样品表面或者截面进行抛光，得到表面光滑无损伤的样品，能够观察到样品内部真实结构。Gatan公司生产的精密刻蚀镀膜系统——PECS II 685（图1），是集抛光和镀膜于一体的氩离子抛光设备，它采用两个宽束氩离子束对样品表面进行抛光。685可以做普通的抛光方法无法解决的问题：a.氩气的工作氛围，可以有效保护容易氧化或者对水蒸气特别敏感的材料；b.样品台采用液氮制冷方式，可以有效的保护热敏感的样品，避免离子束热损伤；c.685自带的精确到纳米级别的镀膜功能，可以有效解决容易氧化且导电性特别不好材料的SEM/EDS/EBSD等的分析。下面我们通过两个案例来说明为什么氩离子抛光技术在镀膜领域的应用是无可替代的。图1 精密刻蚀镀膜系统PECS II 685 例1：光伏作为我国战略性新型产业，其发展牵动着我国的方方面面。光伏玻璃为目前光伏产业链上电池组件封装环节使用的必须辅助材料之一，整个光伏玻璃的发展与光伏产业的发展密切相关。所谓光伏玻璃是指在超白压延玻璃上镀一层减少反射的材料即减反膜，作用是减少或者消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光，增加这些原件的透光量。因此对减反膜的研究显得尤为重要。图2是观察某公司生产的光伏玻璃上减反膜的厚度。图2（a）显示普通制样无法准确观察到减反膜厚度，而利用精密刻蚀镀膜系统PECS II 685制备的样品不仅可以准确测量膜的厚度还可以观察到其真实形貌：这是一种厚度约180 nm的具有多孔结构的膜，见图2(b)。 图2 普通制样及氩离子抛光制样观察减反膜（a普通制样；b PECS II 685制样）例2：以聚碳酸酯为基底，在上面包覆TiO2/SiO2交替膜共8层，每层膜厚度只有50 nm左右，普通制样根本无法观察到膜结构，更无法观察8层交替膜。我们同样使用PECS II 685进行制样，由于样品不导电且容易被氩离子束打伤，故同时利用PECS II 685的冷台、刻蚀、镀膜功能，在同一真空环境下对样品进行抛光和镀膜，利用蔡司的Sigma 300场发射扫描电镜清晰观察到8层TiO2/SiO2交替膜，见图3。 图3 PECS II 685制备TiO2/SiO2交替膜

一、项目基本情况项目编号：0664-2260SUMEC787D项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心磁控溅射镀膜仪采购预算金额：260.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：260.0000000 万元（人民币）采购需求：东南大学微纳系统国际创新中心采购磁控溅射镀膜仪 一套本项目接受进口产品。合同履行期限：合同签约后12个月到货安装调试合格。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。3.本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。三、获取招标文件时间：2023年01月05日 至 2023年01月11日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：线上方式：在线获取售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2023年01月29日 09点30分（北京时间）开标时间：2023年01月29日 09点30分（北京时间）地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室,五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜申请人的资格要求：1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）（格式见后附件）。（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取：（1）获取采购文件材料：1、营业执照【复印件加盖公章，扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章，扫描件，开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章，扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】（2）凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第（1）条规定证件登记并获取，不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务，操作流程如下：（1）、用微信关注我司公众号“苏美达达天下”。（2）、进入公众号-“在线服务”-“在线购标”。（3）、输入本项目的项目编号，举例：0664-2260SUMEC787D，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人：焦立阳，邮箱：jiaoly_work@163.com 即可，我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项：（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。（2）目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。（3）“苏美达达天下”付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。（4）非采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项（本项目采取在线流程）：在线流程：因疫情原因，本项目进行线上开标，请供应商尽量提前准备投标文件，以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知（附件1）的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：东南大学地址：南京市玄武区四牌楼2号联系方式：技术咨询：微纳系统国际创新中心：贺老师 电话：025-83792632 分机号8806； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。2.采购代理机构信息名称：苏美达国际技术贸易有限公司地址：南京市长江路198号苏美达大厦联系方式：项目联系人：杨 扬、焦立阳 电话：025-84532455、025-845324523.项目联系方式项目联系人：杨 扬、焦立阳电话：025-84532455、025-84532452

在庆祝中国共产党百年华诞之际，由国家发改委立项支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源（HEPS）首台科研设备于6月28日上午安装，为其提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台（PAPS）启动试运行。其中，中科科仪控股公司中科科美研制的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置也于同一天正式投入使用。直线式劳埃透镜镀制装置及纳米聚焦镜镀制装置可实现各类高能物理装置聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜等膜层制备。在两装置研制过程中，中科科美突破了多项先进制造技术：精密加工制造技术，实现大型真空腔室及复杂运动系统精密加工与装配、减震及超洁净等严苛设计指标；大型真空系统超高真空获得技术，实现结构复杂、内部零部件放气量大的大型真空腔室系统极限真空度达到10-6Pa；高精度直线运动控制技术，实现长距离导轨运行平行度达到微米量级、运动系统速率稳定性控制在千万之一以内；复杂镀膜工艺技术，实现高精度纳米量级万层镀膜工艺，膜厚精度控制在0.1纳米以内。经相关主管部门和院所专家委员会现场测试，高精密镀膜装置结构设计合理、制造工艺先进、主要性能指标达到国际同类产品水平，填补了该领域内多项国内技术空白。直线式劳埃透镜镀制装置HEPS是国家“十三五”重大科技基础设施项目之一，该项目于2019年6月29日开工建设，建设周期6.5年。建成时，HEPS将成为中国第一台高能量同步辐射光源之一，为基础科学和工程科学领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑平台。中科科仪控股公司中科科美凭借在真空系统集成领域深厚的专业技术积淀、强大的整体方案解决能力和一站式服务能力参与到该项目中，为国家重大科技基础设施项目实施和技术攻关贡献了力量。

详细信息 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 天津市-南开区 状态：公告 更新时间： 2022-12-05 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 2022年12月05日 16:24 公告信息： 采购项目名称 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 南开大学 行政区域 天津市 公告时间 2022年12月05日 16:24 获取招标文件时间 2022年12月06日至2022年12月12日每日上午:9:00 至 11:30 下午:13:30 至 16:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 天津市河北区狮子林大街200号6层 开标时间 2022年12月26日 10:00 开标地点 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 预算金额 ￥600.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 王先生 项目联系电话 022-59009035 采购单位 南开大学 采购单位地址 天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 采购单位联系方式 于老师 022-23501661 代理机构名称 天津津建工程造价咨询有限公司 代理机构地址 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 代理机构联系方式 王先生 022-59009035 项目概况 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在天津市河北区狮子林大街200号6层获取招标文件，并于2022年12月26日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：NK2022S024WD（1700-2243JJBH1249） 项目名称：南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 预算金额：600.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：600.0000000 万元（人民币） 采购需求： 多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统（1套）的供货、安装及售后服务。本项目允许进口产品投标。 合同履行期限：收到信用证后12个月内完成交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 促进中小企业发展 促进中小企业发展明细：投标人为小型或微型企业的，且所投产品的制造厂家为小、微企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 支持监狱企业发展 支持监狱企业发展明细：投标人为监狱企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 强制、优先采购节能产品 强制、优先采购节能产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。如属于政府采购强制节能产品范围，则使用当期 节能产品政府采购清单 中的产品。 优先采购环境标记产品 优先采购环境标记产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。 促进残疾人就业 促进残疾人就业明细：根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予10%的扣除。注：小微企业以投标人填写的《中小企业声明函》为判定标准，残疾人福利性单位以投标人填写的《残疾人福利性单位声明函》为判定标准，监狱企业须投标人提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件，否则不予认定。以上政策不重复享受。 3.本项目的特定资格要求：1）须为在中华人民共和国境内注册，具备独立法人资格的企业，且符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定，并提供其有效的“企业法人营业执照（副本）”复印件加盖公章，及满足资格要求的证明文件；2）供应商若为法人投标，须提供法定代表人身份证明书（需由法定代表人签字或盖章）和法定代表人身份证原件；供应商若为被授权人投标，须提供法人代表授权书（需由法定代表人签字或盖章）和被授权人身份证原件。3）供应商应具有履行合同提供本次采购仪器设备的供应能力、专业技术及服务能力，若为进口产品代理商参与本次投标，还应提供仪器设备制造商针对本项目出具的授权书。4）开标时由招标代理机构查询投标人在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）无不良记录信息。对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，拒绝参与本次招标活动。 三、获取招标文件 时间：2022年12月06日 至 2022年12月12日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：天津市河北区狮子林大街200号6层 方式：鉴于目前疫情防控形势，为了有效减少人员聚集和交叉感染，保证报名工作的顺利进行，提供以下两种方式： 1、现场领取：营业执照副本及“供应商资质要求”中要求的相关证件复印件加盖公章，以现金形式支付（选择采取此种方式，建议提前联系项目负责人）； 2、网上领取（建议采用此种方式），具体要求如下：（1）请将报名资料以扫描件形式发送至tjbh2016@126.com，邮件主题为：1700-2243JJBH1249报名信息，并电话联系项目负责人确认。（2）标书款以电汇或银行转账方式（为方便后期开具发票建议使用对公账户），汇至我公司的银行账号，并请在汇款备注中标明：“1700-2243JJBH1249标书款”（电汇信息及相关表格会以邮件方式发送）（3）标书款汇款后，请将汇款单截图、项目编号、投标人联系人、联系电话及投标人邮箱以邮件形式发送至上述邮箱。 （4）采用网上领取方式进行报名的，报名日期以标书款到账日期为准。注：已在南开大学招投标管理办公室新版网站登记注册的供应商，按以上要求报名。尚未登记注册的，须在南开大学招投标管理办公室新版网站右侧“供应商注册”入口进行注册。已在旧版网站注册的供应商须在新版网站重新注册，通过审核后方可购买招标文件，注册网址：http：//zbb.nankai.edu.cn，注册方法详见新版网站常用下载《供应商注册指南》。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 开标时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 地点：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南开大学 地址：天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 联系方式：于老师 022-23501661 2.采购代理机构信息 名 称：天津津建工程造价咨询有限公司 地 址：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 联系方式：王先生 022-59009035 3.项目联系方式 项目联系人：王先生 电 话： 022-59009035 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2022-12-26 10:00 预算金额：600.00万元 采购单位：南开大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：天津津建工程造价咨询有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 天津市-南开区 状态：公告 更新时间： 2022-12-05 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 2022年12月05日 16:24 公告信息： 采购项目名称 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 南开大学 行政区域 天津市 公告时间 2022年12月05日 16:24 获取招标文件时间 2022年12月06日至2022年12月12日每日上午:9:00 至 11:30 下午:13:30 至 16:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 天津市河北区狮子林大街200号6层 开标时间 2022年12月26日 10:00 开标地点 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 预算金额 ￥600.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 王先生 项目联系电话 022-59009035 采购单位 南开大学 采购单位地址 天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 采购单位联系方式 于老师 022-23501661 代理机构名称 天津津建工程造价咨询有限公司 代理机构地址 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 代理机构联系方式 王先生 022-59009035 项目概况 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在天津市河北区狮子林大街200号6层获取招标文件，并于2022年12月26日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：NK2022S024WD（1700-2243JJBH1249） 项目名称：南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 预算金额：600.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：600.0000000 万元（人民币） 采购需求： 多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统（1套）的供货、安装及售后服务。本项目允许进口产品投标。 合同履行期限：收到信用证后12个月内完成交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 促进中小企业发展 促进中小企业发展明细：投标人为小型或微型企业的，且所投产品的制造厂家为小、微企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 支持监狱企业发展 支持监狱企业发展明细：投标人为监狱企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 强制、优先采购节能产品 强制、优先采购节能产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。如属于政府采购强制节能产品范围，则使用当期 节能产品政府采购清单 中的产品。 优先采购环境标记产品 优先采购环境标记产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。 促进残疾人就业 促进残疾人就业明细：根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予10%的扣除。注：小微企业以投标人填写的《中小企业声明函》为判定标准，残疾人福利性单位以投标人填写的《残疾人福利性单位声明函》为判定标准，监狱企业须投标人提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件，否则不予认定。以上政策不重复享受。 3.本项目的特定资格要求：1）须为在中华人民共和国境内注册，具备独立法人资格的企业，且符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定，并提供其有效的“企业法人营业执照（副本）”复印件加盖公章，及满足资格要求的证明文件；2）供应商若为法人投标，须提供法定代表人身份证明书（需由法定代表人签字或盖章）和法定代表人身份证原件；供应商若为被授权人投标，须提供法人代表授权书（需由法定代表人签字或盖章）和被授权人身份证原件。3）供应商应具有履行合同提供本次采购仪器设备的供应能力、专业技术及服务能力，若为进口产品代理商参与本次投标，还应提供仪器设备制造商针对本项目出具的授权书。4）开标时由招标代理机构查询投标人在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）无不良记录信息。对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，拒绝参与本次招标活动。 三、获取招标文件 时间：2022年12月06日 至 2022年12月12日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：天津市河北区狮子林大街200号6层 方式：鉴于目前疫情防控形势，为了有效减少人员聚集和交叉感染，保证报名工作的顺利进行，提供以下两种方式： 1、现场领取：营业执照副本及“供应商资质要求”中要求的相关证件复印件加盖公章，以现金形式支付（选择采取此种方式，建议提前联系项目负责人）； 2、网上领取（建议采用此种方式），具体要求如下：（1）请将报名资料以扫描件形式发送至tjbh2016@126.com，邮件主题为：1700-2243JJBH1249报名信息，并电话联系项目负责人确认。（2）标书款以电汇或银行转账方式（为方便后期开具发票建议使用对公账户），汇至我公司的银行账号，并请在汇款备注中标明：“1700-2243JJBH1249标书款”（电汇信息及相关表格会以邮件方式发送）（3）标书款汇款后，请将汇款单截图、项目编号、投标人联系人、联系电话及投标人邮箱以邮件形式发送至上述邮箱。 （4）采用网上领取方式进行报名的，报名日期以标书款到账日期为准。注：已在南开大学招投标管理办公室新版网站登记注册的供应商，按以上要求报名。尚未登记注册的，须在南开大学招投标管理办公室新版网站右侧“供应商注册”入口进行注册。已在旧版网站注册的供应商须在新版网站重新注册，通过审核后方可购买招标文件，注册网址：http：//zbb.nankai.edu.cn，注册方法详见新版网站常用下载《供应商注册指南》。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 开标时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 地点：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南开大学 地址：天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 联系方式：于老师 022-23501661 2.采购代理机构信息 名 称：天津津建工程造价咨询有限公司 地 址：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 联系方式：王先生 022-59009035 3.项目联系方式 项目联系人：王先生 电 话： 022-59009035

薄膜沉积是半导体制造工艺中的一个非常重要的技术，其是一连串涉及原子的吸附、吸附原子在表面扩散及在适当的位置下聚结，以渐渐形成薄膜并成长的过程。在一个新晶圆投资建设中，晶圆厂80%的投资用于购买设备。其中，薄膜沉积设备是晶圆制造的核心步骤之一，占据着约25%的比重。薄膜沉积工艺主要分为物理气相沉积和化学气相沉积两类。物理气相沉积(Physical Vapour Deposition，PVD)技术指在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积原理可大致分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，具体又包含有MBE等各种镀膜技术。发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。随着技术的发展，PVD技术也不断推陈出新，出现了很多针对某几种用途的专门技术，在此特为大家盘点介绍各种PVD技术。真空蒸发镀膜技术真空蒸发(Vacuum Evaporation) 镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之升华，蒸发粒子流直接射向基片，并在基片上沉积形成固态薄膜，或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。其物理过程为：采用几种能源方式转换成热能，加热镀料使之蒸发或升华，成为具有一定能量(0.1~0.3eV) 的气态粒子(原子、分子或原子团)；离开镀料表面，具有相当运动速度的气态粒子以基本上无碰撞的直线飞行输运到基体表面；到达基体表面的气态粒子凝聚形核生长成固相薄膜；组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合。电子束蒸镀技术电子束蒸镀（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀最大的优势在于：可以为待蒸发的物质提供更高的热量，因此蒸镀的速率也更快；电子束定位准确，可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷，对能量的利用率不高；而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。此外，大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解，这影响了薄膜的成分和结构溅射镀膜技术溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射。溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜。通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。射频溅射技术射频溅射是溅射镀膜技术的一种。用交流电源代替直流电源就构成了交流溅射系统，由于常用的交流电源的频率在射频段，如13.56MHz，所以称为射频溅镀。在直流射频装置中，如果使用绝缘材料靶，轰击靶面的正离子会在靶面上累积，使其带正电，靶电位从而上升，使得电极间的电场逐渐变小，直至辉光放电熄灭和溅射停止。所以直流溅射装置不能用来溅射沉积绝缘介质薄膜。磁控溅射技术磁控溅射技术属于PVD（物理气相沉积）技术的一种，是制备薄膜材料的重要方法之一。它是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向被溅射的物质制成的靶电极（阴极），并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并在衬底上沉积成膜的方法。磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高。该技术已经成为制备各种功能薄膜的重要手段。离子镀膜技术离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行，其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀（空心阴极蒸镀法）、多弧离子镀（阴极电弧离子镀）等。离子镀大大提高了膜层粒子能量，可以获得更优异性能的膜层，扩大了“薄膜”的应用领域。是一项发展迅速、受人青睐的新技术。广义来讲，离子镀膜的特点是：镀膜时，工件（基片）带负偏压，工件始终受高能离子的轰击。形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕镀性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物膜层。多弧离子镀(MAIP)多弧离子镀是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子，从而在基材表面沉积成为薄膜的方法。多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的是弧光放电，而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说，多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源，通过靶与阳极壳体之间的弧光放电，使靶材蒸发，从而在空间中形成等离子体，对基体进行沉积。分子束外延（MBE）分子束外延（MBE）是新发展起来的外延制膜方法，是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下，由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气，经小孔准直后形成的分子束或原子束，直接喷射到适当温度的单晶基片上，同时控制分子束对衬底扫描，就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜。该技术的优点是：使用的衬底温度低，膜层生长速率慢，束流强度易于精确控制，膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜，以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料。分子束外延不仅可用来制备现有的大部分器件，而且也可以制备许多新器件，包括其它方法难以实现的，如借助原子尺度膜厚控制而制备的超晶格结构高电子迁移率晶体管和多量子阱型激光二极管等。我们在公车上看到的车站预告板，在体育场看到的超大显示屏，其发光元件就是由分子束外延制造的。脉冲激光沉积（PLD）脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition，PLD），也被称为脉冲激光烧蚀（pulsed laser ablation，PLA），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，得到沉淀或者薄膜的一种手段。由脉冲激光沉积技术的原理、特点可知，它是一种极具发展潜力的薄膜制备技术。随着辅助设备和工艺的进一步优化，将在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥重要的作用；并能加快薄膜生长机理的研究和提高薄膜的应用水平，加速材料科学和凝聚态物理学的研究进程。同时也为新型薄膜的制备提供了一种行之有效的方法。激光分子束外延（L-MBE）激光分子束外延技术（L-MBE）是近年来发展起来的一项新型薄膜制备技术，是将分子束外延技术与脉冲激光沉积技术的有机结合，在分子束外延条件下激光蒸发镀膜的技术。L- MBE结合了PLD的高瞬时沉积速率（不需要考虑成分挥发时的热平衡问题等等）及MBE的实时检测功能，是一种改良的MBE方法。近年来，薄膜技术和薄膜材料的发展突飞猛进，成果显著，在原有基础上，相继出现了离子束增强沉积技术、电火花沉积技术、电子束物理气相沉积技术和多层喷射沉积技术等。目前，芯片制造过程中关键的PVD设备主要包括硬掩膜（Hard Mask ）PVD设备、铜互联（CuBS）PVD 以及铝衬垫（Al PAD）PVD，主要使用溅射镀膜技术。目前，主流物理气相沉积厂商包括，北方华创、合肥科晶、中科科仪、SPTS、ULVAC、Applied Materials、Optorun、那诺-马斯特、IHI Corporation、Lam Research、Semicore Equipment、Veeco Instruments、Oerlikon Balzers、Mustang Vacuum Systems、Singulus Technologies、KurtJ.Lesker、博远微纳、汇成真空、佛欣真空、北京丹普、九鼎精密、意力博通、CHA Industries、Angstrom Engineering、Denton Vacuum、Mantis、沈阳科学仪器有限公司等。更多仪器请查看以下专场【物理气相沉积】、【激光脉冲沉积】、【分子束外延】。

项目编号：N5101012023000011项目名称：红外光谱仪、磁控溅射镀膜机、X-射线衍射仪采购项目采购方式：公开招标预算金额：2,400,000.00元采购需求：详见采购需求附件合同履行期限：采购包1：自合同签订生效后起10日内采购包2：自合同签订生效后起10日内采购包3：自合同签订生效后起10日内本项目是否接受联合体投标：采购包1：不接受联合体投标采购包2：不接受联合体投标采购包3：不接受联合体投标8a69c98f85909e000185957d38207018.docx

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源（固体或液体）表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术， 物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。物理气相沉积的主要方法有：真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜和分子束外延等。相应的真空镀膜设备包括真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。2021年是“十四五”开局之年，中国政府也推出了一系列激励政策来鼓励半导体产业发展，明确了半导体产业在产业升级中的重要地位，同时全球自2020年爆发的“芯片荒”在全球范围内愈演愈烈，却迟迟得不到缓解，各行各业都受到了一定的影响，受此影响包括仪器产业、新能源产业等在内的诸多产业都面临产品涨价、缺货的危机。危中有机，全球半导体行业的巨震却是中国半导体产业的发展契机。通过分析海关物理气相沉积设备的进口情况，可以从一个侧面反映出中国物理气相沉积设备市场的一些情况，进而了解到中国半导体产业的一些情况。海关统计中，根据物理气相沉积设备的应用领域将其分为制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置 (84862022)和制造平板显示器用的物理气相沉积设备（PVD）（84863022）。 为了解2021年物理气相沉积设备的进出口情况，仪器信息网特别对2021年1-11月，物理气相沉积设备（商品编码84862022、84863022）进口数据进行了分析汇总，为大家了解中国目前物理气相沉积设备市场做一个参考。2021年1-11月物理气相沉积设备进口额变化（人民币/万元）2021年1-11月物理气相沉积设备进口数据商品名称进口额（元）数量（台）均价（元/台）制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置6,273,882,9507098848918制造平板显示器用的物理气相沉积设备（PVD）4,290,243,27328015322297总计10,564,126,2239892021年1-11月，中国进口物理气相沉积设备总额约106亿元，总台数达989台，其中绝大部分用于制造半导体器件和集成电路，此类设备多达709台，总额约63亿元，占比高达59%。海关数据显示，去年全年的用于半导体器件和IC制造的PVD进口额约35.5亿元。可以看出今年用于集成电路和半导体器件的进口PVD设备总额明显增加。这表明，今年我国晶圆代工厂的建设热度不减，这也和如今的半导体投资热、芯片荒有关。2021年1-11月进口物理气相沉积设备贸易伙伴变化（人民币/万元）从进口PVD设备的贸易伙伴分布可以看出，主要进口的贸易伙伴为新加坡和美国，其中新加坡进口额最多且全部用于半导体器件和IC制造。新加坡处在马六甲海峡，扼太平洋及印度洋之间的航运要道，是全球海运的几大必经路线之一，战略地位十分重要——早在新加坡建国之前，“新加坡港”已发展成为国际著名的转口港。世界各国的将需要出口的货物运输到新加坡港，存放几天或几十天（其中20%的堆存时间仅为1天），然后再转运到进口国。由于新加坡的自由贸易港，通过新加坡的“转口贸易”可变成躲避贸易制裁的有效方式之一。从新加坡进口用于半导体器件和IC制造的PVD可能是为了规避以美国为首的西方集团对我国日益收紧的高端装备进口限制。进一步分析用于平板显示器制造的PVD数据发现，中国台湾、韩国和日本是此类PVD的主要贸易伙伴，且占比接近。而从用于半导体器件和集成电路制造的PVD主要贸易伙伴是新加坡、美国和瑞士。2021年1-11月物理气相沉积设备各注册地进口数据变化（单位/万元）那么这些物理气相沉积设备主要销往何处？通过对进口数据的注册地进行分析发现，上海市的PVD设备进口额最高约22亿元，占比约21%。其次福建和重庆市分列第二、第三。上海市的物理气相沉积主要用于集成电路或半导体器件生产中，这表明上海在新建或改造集成电路生产线上投入较大，对半导体设备的需求也在激增。而重庆市则正好相反，其进口PVD主要用于平板显示器生产中，在平板显示器用PVD注册地中排名首位，这可能和京东方在重庆的生产线有关，京东方是我国面板产业的龙头企业，其对进口额影响较大。近几年，重庆市也出台了一系列政策之前平板显示制造行业发展。而在平板显示器用PVD的注册地分布中可以看出，除了重庆市独占鳌头，福建省进口平板显示器用PVD仅次于重庆，这可能与位于厦门的天马微电子有关。重点商品物理气相沉积有哪些重点商品呢？对此，笔者查阅了海关总署，发现重点商品主要有2款。商品1：PVD磁控溅射镀膜线（商品编码：84862022）PVD磁控溅射镀膜线：形成导电膜,用于将产生的电流收集导出。商品1：镀膜机/制造平板显示器专用（商品编码：84863022）型号：Applied Materials牌/NAR 1400L(4Mo+5 Al)型。原理：本设备将工作腔抽成真空后灌入氩气,高温高压条件下氩气形成离子层,氩离子在电场作用下,高速冲击靶材(氧化铟锡),使靶材分离出的金属离子在电场作用下附在玻璃基板表面形成薄膜,玻璃基板即可导电。

薄膜沉积（Thin Film Deposition）是在基材上沉积一层纳米级的薄膜，再配合蚀刻和抛光等工艺的反复进行，就做出了很多堆叠起来的导电或绝缘层，而且每一层都具有设计好的线路图案。这样半导体元件和线路就被集成为具有复杂结构的芯片了。化学气相沉积(CVD)化学气相沉积(CVD)通过热分解和/或气体化合物的反应在衬底表面形成薄膜。CVD法可以制作的薄膜层材料包括碳化物、氮化物、硼化物、氧化物、硫化物、硒化物、碲化物，以及一些金属化合物、合金等。化学气相沉积是目前很重要的微观制造方法，因为它有如下的这些特点：1. 沉积物种类多: 可以沉积金属薄膜、非金属薄膜，也可以按要求制备多组分合金的薄膜，以及陶瓷或化合物层。2. CVD反应在常压或低真空进行，镀膜的绕射性好，对于形状复杂的表面或工件的深孔、细孔都能均匀镀覆。3. 能得到纯度高、致密性好、残余应力小、结晶良好的薄膜镀层。由于反应气体、反应产物和基材的相互扩散，可以得到附着力好的膜层，这对表面钝化、抗蚀及耐磨等表面增强膜是很重要的。4. 由于薄膜生长的温度比膜材料的熔点低得多，由此可以得到纯度高、结晶完全的膜层，这是有些半导体膜层所必须的。5. 利用调节沉积的参数，可以有效地控制覆层的化学成分、形貌、晶体结构和晶粒度等。6. 设备简单、操作维修方便。7. 反应温度太高，一般要850~ 1100℃下进行，许多基体材料都耐受不住CVD的高温。采用等离子或激光辅助技术可以降低沉积温度。化学气相沉积过程分为三个重要阶段：1、反应气体向基体表面扩散2、反应气体吸附于基体表面3、在基体表面发生化学反应形成固态沉积物及产生的气相副产物脱离基体表面CVD的主要有下面几种反应过程：i). 多晶硅 PolysiliconSiH4 — Si + 2h2 (600℃)沉积速度 100 - 200 nm /min可添加磷(磷化氢)、硼(二硼烷)或砷气体。多晶硅也可以在沉积后用扩散气体掺杂。ii). 二氧化硅 DioxideSiH4 + O2→SiO2 + 2h2 (300 - 500℃)SiO2用作绝缘体或钝化层。通常添加磷是为了获得更好的电子流动性能。当硅在氧气中存在时，SiO2会热生长。氧气来自氧气或水蒸气。环境温度要求为900 ~ 1200℃。氧气和水都会通过现有的SiO2扩散，并与Si结合形成额外的SiO2。水(蒸汽)比氧气更容易扩散，因此使用蒸汽的生长速度要快得多。氧化物用于提供绝缘和钝化层，形成晶体管栅极。干氧用于形成栅极和薄氧化层。蒸汽被用来形成厚厚的氧化层。绝缘氧化层通常在1500nm左右，栅极层通常在200nm到500nm间。iii). 氮化硅 Siicon Nitride3SiH4 + 4NH3 — Si3N4 + 12H2(硅烷) (氨) (氮化物)化学气相沉积CVD 设备CVD反应器有三种基本类型:◈ 大气化学气相沉积(APCVD: Atmospheric pressure CVD)◈ 低压CVD (LPCVD:Low pressure CVD，LPCVD)◈ 超高真空化学气相沉积(UHVCVD: Ultrahigh vacuum CVD)◈ 激光化学气相沉积(LCVD: Laser CVD，)◈ 金属有机物化学气相沉积(MOCVD:Metal-organic CVD)◈ 等离子增强CVD (PECVD)物理气相沉积(PVD)在真空条件下，采用物理方法，将材料源（固体或液体） 表面材料气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积不仅可沉积金属膜、合金膜， 还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。物理气相沉积技术基本原理可分三个工艺步骤：(1)镀料的气化：即使镀料蒸发，升华或被溅射，也就是通过镀料的气化源。(2)镀料原子、分子或离子的迁移：由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后，产生多种反应。(3)镀料原子、分子或离子在基体上沉积。物理气相沉积技术工艺过程无污染，耗材少。成膜均匀致密，与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域，可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层 。物理气相沉积也有多种工艺方法：◈ 真空蒸度 Thin Film Vacuum Coating◈ 溅射镀膜 PVD-Sputtering◈ 离子镀膜 Ion-Coating

超导技术被誉为21世纪最具有经济战略意义的新兴技术之一，超导体所具备的“零电阻”和“完全抗磁”这两大神奇特性，为人们带来了巨大想象空间。例如利用超导体电阻为零的特性来进行电力输送，可以大大减少线路损耗，实现超远距离的大容量电力输送；利用它完全的磁抗性可以制造磁悬浮列车、电磁弹射装置等。“超导最近在媒体出现的频率比较高。比如时下热门的量子计算，涉及到超导量子比特；被称为‘人造太阳’的全超导托卡马克核聚变实验装置，也应用了超导磁体。”中国高温超导研究奠基人之一、国家最高科学技术奖得主赵忠贤院士介绍道，超导距离实际生活最近的应用，则是医院常见的核磁共振成像中的超导磁体。超导薄膜技术是超导技术发展的重要方向之一。日前，由赵忠贤院士倡导建立并担任顾问的研究团队，面对国外禁运，通过技术集成创新，成功研制出基于国产部件的“三光束脉冲激光共沉积镀膜系统”，并制备出大尺寸双面钇钡铜氧（YBCO）超导单晶薄膜，为我国制备高品质、应用型超导薄膜产品技术带来新突破。关键设备买不来，怎么办？在东莞松山湖科学城松山湖材料实验室“实用超导薄膜研究团队”的一间实验室内，一组银白色装置占据了房间一角，三台激光器宛如手术台上的三支机械臂，将一个带有观测窗的球形操作台围在中间，绿色和紫色的光束不时闪烁。这个装置就是该团队近期研发成功的“三光束脉冲激光共沉积镀膜系统”。该设备基于国产部件实现技术集成创新，包括采用国产小型固态脉冲激光器实现多光束共沉积、激光器与光路系统模块化整体位移、自主研发控制软件实现操作智能化等。利用这台设备，该团队还成功制备出2英寸双面YBCO超导单晶薄膜，将脉冲激光沉积技术制备高品质应用型薄膜产品，推向了一个新的高度。该团队负责人金魁研究员表示，大尺寸双面钇钡铜氧（YBCO）单晶薄膜，是设计高温超导薄膜器件的良好载体，而高温超导薄膜器件则是开发未来通信技术和超高性能雷达探测器的重要部件，具有十分重要的应用前景。然而，能够制备该类薄膜的先进设备，此前被德日美等少数国家掌握，一直以来对我国封锁核心技术，并且大尺寸薄膜制备设备近期也已对我国禁运，导致我国高品质应用型“薄膜”和“镀膜设备”核心技术受制于人。金魁坦言，按照最初构想，是希望直接从国外购买一套先进的大尺寸镀膜设备，之后按团队的需求改造，然而却未能如愿。“买小尺寸薄膜制备设备回来，做出的样品主要是用于基础研究，找规律、写论文，国外公司同意卖给我们；但要买能投入实用的大尺寸薄膜制备设备，他们就拒绝了。”金魁表示，另一方面，国外的设备只能实现单面薄膜的制备，无法满足团队需求。关键设备买不来，怎么办？在赵忠贤院士的鼓励和指导下，团队最终下定决心走上了自研之路。令他们感到高兴的是，团队产出成果的进度超过了预期。在国外禁运的情况下，团队仅用一年多时间就取得了成功。“积小胜为大胜”“我们用激光去打真空腔里面的靶材，由于瞬时高温，靶材表面的成分会变成等离子体向外喷射，之后接触高温衬底，外延沉积完成镀膜，过程就像是烙饼一样。”该设备主要的设计和搭建者冯中沛博士是团队里的一名年轻人，设备成功运转，让他格外兴奋。过去一年多，冯中沛和同事们几乎每天都围着这台设备转。在工作室紧邻该装置的墙边有一面白板，上面写满了与装置搭建相关的事项。一年时间里，大到整个装置的设计装配，小到一根螺丝钉的定制，整个团队“挂图作战”，环环推进，最终才获得了成功。“这台设备的功能可以扩展，也可以为超导以外的材料进行镀膜。就像买了一口锅，一开始只用来炒菜，后面还可以用来蒸煮。”冯中沛介绍道。令整个团队感慨的是，直到他们研制出成本更低、性能更优的设备时，从日本采购的小尺寸镀膜设备甚至因为疫情，还没有厂家工程师前来拆箱。“这件事虽然谈不上伟大，但是它给了我们很大信心。遇到‘卡脖子’难题，逼着自己进行自主研制和创新，最终把一条新的技术路线走通了。”赵忠贤表示，假如全国几十万、上百万的科研团队，能有十分之一像这样专注去做一件事，我们跟国外的科技竞争就能握有更大的主动权。“积小胜为大胜，变成大胜就有了长板，有了竞争优势，国外还怎么卡我们脖子？”他说道。除了团队自身的努力和经验积累，赵忠贤还特别提到，松山湖科学城给予的宽松科研环境与合理的评价体系，为这一成果取得提供了重要土壤。在他看来，松山湖材料实验室一方面注重研究实效，不以论文论英雄，让科研人员集中精力搞攻关；另一方面，充分信任科学家，原本购置设备的钱可以灵活用于自主研发，“允许用打酱油的钱去买醋”，赋予科学家自主权。推动超导技术成果转化能否制备出大尺寸、高质量的超导薄膜，关系诸多关键产业的发展前景。以超导薄膜为基础的数字电路，相比半导体材料做的数字电路速度更快、损耗更小、容量更大；用超导薄膜制成的超导量子干涉器，可以探测比人脑磁场弱几千倍的磁场，用收集来的磁信号进行分析，能够确定矿源、预报地震等。而超导薄膜制成的天线、谐振器、滤波器等微波通讯器件，具有常规材料（如金、银等）无法比拟的高灵敏度。此外超导薄膜在大型粒子加速器中也有着广泛的应用。粗略估计，国内外计划建设的各类加速器项目，对超导薄膜谐振腔的需求量将超过10000个。面对这一趋势，与超导基础研究打了大半辈子交道的学界泰斗，开始将工作重心放在推动超导技术成果转化与实际应用上来。2017年底，广东启动首批四家省实验室建设，赵忠贤接受邀请，出任松山湖材料实验室学术委员会主任一职，从北京来到了东莞松山湖。在他倡议和亲自指导推动下，“实用超导薄膜研究团队”在松山湖材料实验室迅速建立起来。除赵忠贤院士作为团队顾问之外，担任团队负责人的金魁研究员，也是一位高水平超导研究专家，他在高温超导体机理研究、超导薄膜制备、新超导体探索等方面都有诸多重要成果，先后在《自然》杂志等主流刊物发表重要论文80余篇。此外，多位具备国家重点实验室工作背景的超导薄膜和低温技术专家也先后加入，组成了国内一流的班底阵容。“我们选定的题目是‘实用超导薄膜及相关技术研究’，这个不像‘量子’或者‘智能’之类的名字时髦，但并不意味着研究的内容不重要。”赵忠贤说，希望以应用为目标来做一个中长期项目，解决超导应用过程中一系列关键核心技术难题，推动实现跨越性的进步，带来应用上的质变。谈及今后的打算，年届八旬的赵忠贤心心念念的，仍然是超导。“一是找到超导应用存在的短板，想办法推动一些项目、组织一批队伍来把超导领域的这些问题全部扫光；二是在超导应用的某些方面，希望看到我们比别人强，有自己的‘绝活’。”

真空镀膜工艺，屏蔽油精准输送是关键镀膜工艺用于建筑玻璃进行隔热，镜头防止眩光或划伤，激光反射镜加强光线发射，也可用于提高工具或轴承耐磨性能。屏蔽油在金属镀膜生产过程中，保证在其基膜上蒸镀高精度铝锌层，屏蔽油因其表面张力低，真空条件下损失小，粘温性好，绝缘性好等性能特点，因此在金属镀膜工艺中，起到了聚丙烯薄膜与金属镀膜的绝缘作用，来控制金属膜的工艺规格及形状要求。在真空镀膜工艺中，往往容易出现屏蔽油过多或过少的情况，导致金属镀膜工艺出现一系列问题。因此对屏蔽油的精准输送非常关键。德国彗诺mzr-2521微量泵解决屏蔽油精准输送问题 德国彗诺mzr-2521微量齿轮泵是一款低压输送微量泵，具有高精度、低脉动和低剪切应力的特点，能够高精度进行低剂量输送，适用于低粘度液体的计量输送。优点：1.设计紧凑，直径13毫米，长度75毫米2.低剂量高速输送，最小体积0.25微升，流速高达9毫升/分钟3.高精度4.采用耐磨碳化钨或陶瓷材料，使用寿命长德国彗诺微量齿轮泵mzr-2521流程图技术参数流量：0.15-9（最小0.0015*）毫升/分钟最小排量体积：0.25微升排量体积：1.5微升粘度范围：0.3-100（最大1000*）mPas压差范围：0-1.5bar（22 psi）翁开尔是德国彗诺HNPM微量泵中国总代理，咨询了解更多关于mzr-2521微量泵产品信息和应用。

详细信息 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 北京市-朝阳区 状态：公告 更新时间： 2022-12-20 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 公告 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 (招标编号：TC220A0BF) 招标项目所在地区：北京市 一、招标条件 本北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目（招标项目编号：TC220A0BF），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为招标人自筹且已到位，招标人为北京航玻新材料技术有限公司。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。 二、项目概况和招标范围 项目规模：货物名称：全自动红外真空镀膜机；数量：1台；简要规格描述：具备红外滤光片、分色镜、减反射膜、高反射膜等高精度光学薄膜的研制能力，其余详见招标文件第五章“业务需求”；交货期：合同生效后60天内；交货地点：北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司（山东省枣庄市）；最高投标限价：380万元。 。 招标内容与范围：本招标项目划分为标段1 个标段，本次招标为其中的： 001 第1包 三、投标人资格要求 001 第1包： 投标人必须满足以下条件：3.1在中华人民共和国境内依法注册，具有独立法人资格或为其他组织、符合本招标文件的要求并有能力提供本次招标货物和服务的制造商（提供由行政部门颁发的加载统一社会信用代码的营业执照正本或副本，如是法人的分支机构投标的，须同时提供其隶属法人的营业执照正本或副本，并需由其隶属法人出具《授权书》，授权该分支机构参与本项目和签署合同，并承诺对分支机构的应答行为及中标后的履约行为承担责任）；3.2财务状况良好，可以提供满足招标人要求的正规有效的增值税专用发票；3.3单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一招标项目投标；3.4投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单（以投标截止日当天采购代理机构在“信用中国”网站及中国政府采购网查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）；3.5投标人提供近3年（2019年1月1日（含）至投标截止日）同类产品的销售业绩。业绩证明材料要求：（1）提供与投标人（作为被委托方/乙方）签署的合同关键页扫描件（包含合同封面、内容、金额、签字盖章等；或能体现前述内容的合同关键页），合同对应至少一张结算发票证明，以合同金额为准（未附结算发票的合同不计入）；（2）如签约方为国内非自然人，签字盖章页能体现签约方公章或合同章视为有效。如签约方为国内外自然人或国外非自然人须体现签字视为有效；（3）有效合同时间指合同签约日期或合同履约时间为2019年1月1日至投标截止日期间任意日期。 本项目不允许联合体投标。 四、招标文件的获取 获取时间：2022年12月20日17时00分00秒---2022年12月27日17时00分00秒 获取方法：有意参与本项目的潜在投标人请登录“中招联合招标采购平台（www.365trade.com.cn）购买招标文件，具体操作步骤详见本公告第七条其他公告内容（如有平台操作疑问，可拨打中招联合招标采购平台统一服务热线010-86397110进行咨询）。招标文件费用：招标文件售价200元人民币（本项目仅支持【网上支付】方式，除标书款外还需支付平台交易服务费，收费标准为200元。平台交易服务费由中招联合信息股份有限公司出具增值税电子普通发票。标书款、平台交易服务费一经收取不予退还）。 五、投标文件的递交 递交截止时间：2023年01月10日09时30分00秒 递交方法：投标文件必须在投标文件递交截止时间前送达中关村资本大厦6层会议室（北京市海淀区学院南路62号），招标代理机构将于投标文件递交截止时间在同一地点公开开标。 六、开标时间及地点 开标时间：2023年01月10日09时30分00秒 开标地点及方式：中关村资本大厦6层会议室（北京市海淀区学院南路62号），现场开标。 七、其他公告内容 投标人获取招标文件操作步骤如下：（1）登录www.365trade.com.cn网址进行供应商免费注册；（2）注册完成后，进入系统，点击“我的工作台”- “寻找招标项目”进行项目名称查询，找到项目点击“立即投标”。投标人选中需要参与的标包进行标书费用支付（网上支付）（3）支付完成后，投标人可以进行招标文件下载。 八、监督部门 本招标项目的监督部门为/。 九、联系方式 招标人：北京航玻新材料技术有限公司 地址：北京市朝阳区管庄东里1号 联系人：刘永华 电话：010-51167051 电子邮件：liuyhua_qiu@126.com 招标代理机构：中招国际招标有限公司 地址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系人：金月含 电话：010-62108016 电子邮件：jinyuehan@cntcitc.com.cn 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名） 招标人或其招标代理机构：_______________（盖章） 202212201520009385130018649 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2023-01-10 09:30 预算金额：380.00万元 采购单位：北京航玻新材料技术有限公司 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：中招国际招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 北京市-朝阳区 状态：公告 更新时间： 2022-12-20 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 公告 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 (招标编号：TC220A0BF) 招标项目所在地区：北京市 一、招标条件 本北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目（招标项目编号：TC220A0BF），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为招标人自筹且已到位，招标人为北京航玻新材料技术有限公司。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。 二、项目概况和招标范围 项目规模：货物名称：全自动红外真空镀膜机；数量：1台；简要规格描述：具备红外滤光片、分色镜、减反射膜、高反射膜等高精度光学薄膜的研制能力，其余详见招标文件第五章“业务需求”；交货期：合同生效后60天内；交货地点：北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司（山东省枣庄市）；最高投标限价：380万元。 。 招标内容与范围：本招标项目划分为标段1 个标段，本次招标为其中的： 001 第1包 三、投标人资格要求 001 第1包： 投标人必须满足以下条件：3.1在中华人民共和国境内依法注册，具有独立法人资格或为其他组织、符合本招标文件的要求并有能力提供本次招标货物和服务的制造商（提供由行政部门颁发的加载统一社会信用代码的营业执照正本或副本，如是法人的分支机构投标的，须同时提供其隶属法人的营业执照正本或副本，并需由其隶属法人出具《授权书》，授权该分支机构参与本项目和签署合同，并承诺对分支机构的应答行为及中标后的履约行为承担责任）；3.2财务状况良好，可以提供满足招标人要求的正规有效的增值税专用发票；3.3单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一招标项目投标；3.4投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单（以投标截止日当天采购代理机构在“信用中国”网站及中国政府采购网查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）；3.5投标人提供近3年（2019年1月1日（含）至投标截止日）同类产品的销售业绩。业绩证明材料要求：（1）提供与投标人（作为被委托方/乙方）签署的合同关键页扫描件（包含合同封面、内容、金额、签字盖章等；或能体现前述内容的合同关键页），合同对应至少一张结算发票证明，以合同金额为准（未附结算发票的合同不计入）；（2）如签约方为国内非自然人，签字盖章页能体现签约方公章或合同章视为有效。如签约方为国内外自然人或国外非自然人须体现签字视为有效；（3）有效合同时间指合同签约日期或合同履约时间为2019年1月1日至投标截止日期间任意日期。 本项目不允许联合体投标。 四、招标文件的获取 获取时间：2022年12月20日17时00分00秒---2022年12月27日17时00分00秒 获取方法：有意参与本项目的潜在投标人请登录“中招联合招标采购平台（www.365trade.com.cn）购买招标文件，具体操作步骤详见本公告第七条其他公告内容（如有平台操作疑问，可拨打中招联合招标采购平台统一服务热线010-86397110进行咨询）。招标文件费用：招标文件售价200元人民币（本项目仅支持【网上支付】方式，除标书款外还需支付平台交易服务费，收费标准为200元。平台交易服务费由中招联合信息股份有限公司出具增值税电子普通发票。标书款、平台交易服务费一经收取不予退还）。 五、投标文件的递交 递交截止时间：2023年01月10日09时30分00秒 递交方法：投标文件必须在投标文件递交截止时间前送达中关村资本大厦6层会议室（北京市海淀区学院南路62号），招标代理机构将于投标文件递交截止时间在同一地点公开开标。 六、开标时间及地点 开标时间：2023年01月10日09时30分00秒 开标地点及方式：中关村资本大厦6层会议室（北京市海淀区学院南路62号），现场开标。 七、其他公告内容 投标人获取招标文件操作步骤如下：（1）登录www.365trade.com.cn网址进行供应商免费注册；（2）注册完成后，进入系统，点击“我的工作台”- “寻找招标项目”进行项目名称查询，找到项目点击“立即投标”。投标人选中需要参与的标包进行标书费用支付（网上支付）（3）支付完成后，投标人可以进行招标文件下载。 八、监督部门 本招标项目的监督部门为/。 九、联系方式 招标人：北京航玻新材料技术有限公司 地址：北京市朝阳区管庄东里1号 联系人：刘永华 电话：010-51167051 电子邮件：liuyhua_qiu@126.com 招标代理机构：中招国际招标有限公司 地址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系人：金月含 电话：010-62108016 电子邮件：jinyuehan@cntcitc.com.cn 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名） 招标人或其招标代理机构：_______________（盖章） 202212201520009385130018649

东方德菲公司作为日本株式会社SDI的中国指定代理商，特为研究溶胶-凝胶法等液相法制备薄膜材料的各高校和研究院所实验室推荐我公司新代理的设备---日本SDI浸渍提拉镀膜仪MD-0408-S7，此款设备是日本原装、实验室专用、高端台式浸渍提拉镀膜仪，是日本最热销的超低速浸渍镀膜(浸涂)的浸渍提拉镀膜仪，速度可変范围1nm/sec到60mm/sec。浸渍提拉镀膜仪MD-0408-S7的主要特点：1. 可以对玻璃、有机玻璃、铜箔等基材以纳米级速度 (变速单位：1nm）进行浸渍镀膜。2. 1nm/s的超慢速浸渍镀膜有利于分离膜的生成、粒子阵列重排、纳米级膜厚的形成。3. 采用触控面板操作，可控16级变速程序、可控变速范围（变速单位：lnm/sec）、往复运转、存储8个运转模式。4. 日语、英语显示可以一键式切换。浸渍提拉镀膜仪MD-0408-S7主要用于溶胶-凝胶法等液相法制备薄膜材料。浸渍提拉镀膜仪MD-0408-S7的技术参数：行程：150mm(最大800mm) 最小速度(Min)：1nm/s 最大速度(Max)：60mm/s 操作方法：触控面板 画面文字：英语/日语 处理速度指定级数：16级 停止位置指定个数：16个 停止时间指定数量：16个 连续运行模式：有 手动运行模式：有 运转模式存储数量：8个运转模式电机功能(当前速度)：有电机功能(当前位置)：有电机功能(运行剩余时间)：有重复运行：有标准夹具：聚丙烯（PP）材质电源：AC100V、250VA最大搬运重量：1kg最大处理尺寸(mm): 150mm(H)直线运行模式:无备注：※连续运行模式是指：改变速度时，停止时间为“Osec”。※手动运行模式是指：以设定的一个速度上升/下降运行（上升速度和下降速度分开设定）

据徐州发布消息，6月16日，铜山区、徐州高新区2021年度精准招商重点项目签约活动举行。此次集中签约7个项目，总投资约60亿元，涵盖数字经济、集成电路与ICT、生物医药与大健康等战略性新兴产业领域。签约项目中包括广东先导稀材股份有限公司半导体沉积及镀膜设备生产基地项目。据介绍，2019年，先导集团以4500万欧元全资收购了德国FHR公司（全球领先的薄膜真空设备制造的供应商），拟建设半导体沉积及镀膜设备的国产化生产基地。项目产品包括：化合物半导体薄膜设备、MEMS薄膜设备、MDS薄膜生产线、精密光学薄膜设备、TCO镀膜设备、HIT玻璃镀膜设备、平板显示阵列镀膜设备等。项目全部达产后将形成年约600台（套）设备生产能力，年产值约72亿元。

基本信息 关键内容： 镀膜机 开标时间： 2021-10-29 14:30 采购金额： 1000.00万元 采购单位： 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 采购联系人： 刘老师 采购联系方式： 立即查看 招标代理机构： 东方国际招标有限责任公司 代理联系人： 迟兆洋 代理联系方式： 立即查看 详细信息 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目2021-10-08 广东省-广州市-越秀区 状态：公告 更新时间： 2021-10-08 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目国际招标 东方国际招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2021-10-08在中国国际招标网公告。 本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件 项目概况：第1包：高精度电子束真空蒸发镀膜机 1台 预算金额：1000万元人民币 资金到位或资金来源落实情况：已落实 项目已具备招标条件的说明：已具备 2、招标内容： 招标项目编号：0729-214OIT351325 招标项目名称：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目 项目实施地点：中国广东省 招标产品列表(主要设备)： 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 第1包 高精度电子束真空蒸发镀膜机 1台 详见招标文件 预算金额：1000万元人民币 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩：详见招标文件 是否接受联合体投标：不接受 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以 4、招标文件的获取 招标文件领购开始时间：2021-10-08 招标文件领购结束时间：2021-10-14 是否在线售卖标书：否 获取招标文件方式：现场领购 招标文件领购地点：www.o-science.com 招标文件售价：￥600/$100 5、投标文件的递交 投标截止时间（开标时间）：2021-10-29 14:30 投标文件送达地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 开标地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 6、投标人在投标前应在____（）或机 电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。 7、联系方式 招标人：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 地址：广州市黄埔区开源大道136号D栋 联系人：刘老师 联系方式 ：020-28399525 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层，邮编：100081 联系人：迟兆洋 张君仙 联系方式 ：020-87001523 8、汇款方式 招标代理机构开户银行(人民币): 招商银行北京西三环支行 招标代理机构开户银行(美元): 交通银行北京分行阜外支行 账号(人民币): 862081657710001 账号(美元): 110060239012015620014 9、其他补充说明 其他补充说明: 1、投标文件递交地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 人民币账号： 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账号：862081657710001 外币账号： 开户银行：交通银行北京分行阜外支行 帐号(可收外币)：110060239012015620014 开户名称：东方国际招标有限责任公司 Beneficiary： THE ORIENTAL INTERNATIONAL TENDERING CO., LTD Bank：BANK OF COMMUNICATIONS, BEIJING BRANCH Account No.：110060239012015620014 Swift code：COMMCNSHBJG 招标机构名称：东方国际招标有限责任公司 详细地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 邮编：100081 联系人：迟兆洋、张君仙 电话： 020-87001523 传真：010-68290525 电子信箱：ytlin@oitc.com.cn 3）投标人应在“东方在线”上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2021-10-29 14:30 预算金额：1000.00万元 采购单位：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目2021-10-08 广东省-广州市-越秀区 状态：公告 更新时间： 2021-10-08 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目国际招标 东方国际招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2021-10-08在中国国际招标网公告。 本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件 项目概况：第1包：高精度电子束真空蒸发镀膜机 1台 预算金额：1000万元人民币 资金到位或资金来源落实情况：已落实 项目已具备招标条件的说明：已具备 2、招标内容： 招标项目编号：0729-214OIT351325 招标项目名称：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目 项目实施地点：中国广东省 招标产品列表(主要设备)： 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 第1包 高精度电子束真空蒸发镀膜机 1台 详见招标文件 预算金额：1000万元人民币 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩：详见招标文件 是否接受联合体投标：不接受 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以 4、招标文件的获取 招标文件领购开始时间：2021-10-08 招标文件领购结束时间：2021-10-14 是否在线售卖标书：否 获取招标文件方式：现场领购 招标文件领购地点：www.o-science.com 招标文件售价：￥600/$100 5、投标文件的递交 投标截止时间（开标时间）：2021-10-29 14:30 投标文件送达地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 开标地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 6、投标人在投标前应在____（）或机 电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。 7、联系方式 招标人：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 地址：广州市黄埔区开源大道136号D栋 联系人：刘老师 联系方式 ：020-28399525 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层，邮编：100081 联系人：迟兆洋 张君仙 联系方式 ：020-87001523 8、汇款方式 招标代理机构开户银行(人民币): 招商银行北京西三环支行 招标代理机构开户银行(美元): 交通银行北京分行阜外支行 账号(人民币): 862081657710001 账号(美元): 110060239012015620014 9、其他补充说明 其他补充说明: 1、投标文件递交地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 人民币账号： 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账号：862081657710001 外币账号： 开户银行：交通银行北京分行阜外支行 帐号(可收外币)：110060239012015620014 开户名称：东方国际招标有限责任公司 Beneficiary： THE ORIENTAL INTERNATIONAL TENDERING CO., LTD Bank：BANK OF COMMUNICATIONS, BEIJING BRANCH Account No.：110060239012015620014 Swift code：COMMCNSHBJG 招标机构名称：东方国际招标有限责任公司 详细地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 邮编：100081 联系人：迟兆洋、张君仙 电话： 020-87001523 传真：010-68290525 电子信箱：ytlin@oitc.com.cn 3）投标人应在“东方在线”上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。

近日，光驰半导体技术（上海）有限公司投资建设的原子层镀膜与刻蚀设备项目顺利完成竣工验收。宝山高新区消息显示，原子层镀膜与刻蚀设备项目位于宝山高新区07-17地块，总投资5.48亿元，占地面积50亩，总建筑面积6.44万㎡，其中一期建筑面积约3.8万㎡，涵盖标准厂房、研发办公楼等。项目主要致力新型电子元器件及设备制造，利用全球泛半导体产业链的调整与相关前沿研发的投入与技术整合，实现电子专用设备制造产业化、规模化。光驰半导体技术（上海）有限公司，作为光驰科技（上海）有限公司全资子公司。光驰科技自2000年入驻宝山高新区南部园区。2022年，光驰科技将传统光学与半导体技术融合，于北部园区投资设立光驰半导体，进一步提升制造空间与产能，开辟光学元器件向半导体集成光学转变的新市场。项目预计达产后年产能将达到高精度原子层镀膜机120台和5台刻蚀机。2023年4月10日，光驰半导体技术（上海）有限公司半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目一期正式封顶。

热烈祝贺东方德菲代理的日本株式会社SDI浸渍提拉镀膜仪成功入驻北京航空航天大学国际交叉科学研究院。北京航空航天大学化学学院的刘欢教授是从事超润湿表面诱导纳米材料自组装研究方面的专家，刘教授的纳米材料自组装研究离不开高精度的镀膜仪，多年来，刘教授发现国产镀膜仪微米级的速度、精度和稳定性无法满足纳米材料自组装的需求。SDI株式会社是日本研发生产镀膜仪的专业厂家，他们与日本东京大学共同研发的纳米级高精度浸渍提拉镀膜仪NanoDip ,不仅速度精度可以达到1nm/秒，而且速度可控范围大，从1nm/秒到60mm/秒，且性价比高，运行稳定，操作简便，实验精度与实验效率极高，刘教授终于找到了心仪的高精度超低速镀膜仪，且一次性购买了两台。培训时，东方德菲的工程师为刘欢教授课题组成员热心细致地讲解了仪器的操作程序，指导每一位成员动手操作直至熟练。日本SDI浸渍提拉镀膜仪解决了刘教授课题组在仿生多尺度纤维材料的动态浸润行为及液体可控运输研究方面的诸多难题，课题组成员纷纷表示对仪器的满意和认可。 北京航空航天大学是东方德菲的老客户，在接触角测量仪器方面就有很深的渊源，这一次浸渍提拉镀膜仪的入驻更加给与了我们信心，奠定了新的里程碑，鞭策着我们为用户介绍更先进的实验技术，提供更专业更优质的技术服务。

详细信息 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 河南省-郑州市 状态：公告 更新时间： 2022-11-10 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 发布时间：2022-11-10 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 一、项目基本情况 1.采购项目编号：豫教招标采购-2022- 167 2.采购项目名称：哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目 3.采购方式：公开招标 4.预算金额：2415万元 最高限价：2415万元 序号 包名称 包预算 （万元） 包最高限价 （万元） 1 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目 2415 2415 5.采购需求 （1）项目概况：根据哈工大郑州研究院需要，需对液相外延炉等仪器设备进行采购，项目已具备采购条件，现对该批次仪器设备进行公开招标。 （2）采购内容包括：DLP金刚石金属复合材料增材制造设备1套、高功率光纤激光焊接系统1套、高功率激光柔性复合加工系统1套、超高精度纳米材料沉积系统1套、液相外延炉1套、化学气相沉积镀膜机1套、示波器及探头1套、PEM电解槽1套、总线运动控制系统1套、无人机1套、红外热成像仪1套、功率与阻抗分析仪1套、立式真空热压烧结炉1套、高速摄像机1套。 （3）资金情况：资金已落实。 （4）包段划分：不分包。 （5）交货期：合同签订后6个月内。 （6）交货地点：采购人指定地点。 （7）质量标准：符合国家或行业规定的合格标准，满足采购人提出的技术标准及要求。 （8）验收标准：满足采购人的验收标准及要求。 （9）质保服务要求：国产设备三年，进口设备一年(自验收合格之日起)。 6.合同履行期限：合同签订至质保期满。 7.本项目是否接受联合体投标：否 8.是否接受进口产品：是 二、申请人资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： （1）投标人须具有法人或者其他组织的营业执照等证明文件； （2）投标人须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，企业财务状况良好，没有财务被接管、破产或其他关、停、并、转情况的，须提供2021年度经审计的财务报告或其基本开户银行出具的资信证明； （3）投标人须具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供本年度任意一个月的企业完税凭证和企业社会保险缴纳证明材料； （4）投标人须具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(自拟格式，自行承诺)； （5）参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明(自拟格式，自行承诺)； （5）其他要求：对参与投标竞争的单位，需承诺近三年来投标人、法定代表人、项目负责人无行贿犯罪记录（由投标人出具承诺，格式自拟）； （7）根据财政部《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》（财库〔2016〕125号）和豫财购〔2016〕15号的规定，对列入“失信被执行人”、“重大税收违法失信主体”和“政府采购严重违法失信行为记录名单”的潜在供应商，将拒绝其参加本项目招标采购活动； （8）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参加本项目的投标【提供在“国家企业信用信息公示系统”中查询打印的相关材料并加盖公章（需包含公司基本信息、股东信息及股权变更信息）】 2.落实政府采购政策满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求： 若供应商所投设备为进口设备，须具备进出口经营资格并提供《对外贸易经营者备案登记证书》。 三、获取招标文件： 1.时间：2022年11月11日至2022年11月20日（北京时间）。每天上午00：00至 12：00，下午 12：00至 23：59（北京时间，法定节假日除外。） 2.方式：供应商报名时需要将法人授权委托书、授权人身份证、被授权人身份证、营业执照副本扫描并发送至项目负责人邮箱1830331803@qq.com，对报名合格的供应商在缴费完成后，通过邮箱发送招标文件电子版。 3.售价：300元人民币 开户名称：河南省教育招标服务有限公司 账 号：371903102310201 开户行：招商银行股份有限公司郑州分行农业路支行 联系电话：扶会计18736086547。 四、投标截止时间（投标文件递交截止时间）及地点 1.时间：2022年12月1日9:00（北京时间） 2.地点：河南省教育招标服务有限公司第一开标室 五、开标时间及地点 1.时间：2022年12月1日9:00（北京时间） 2.地点：河南省教育招标服务有限公司第一开标室 六、发布公告的媒介及公示期限 本公告在河南省教育厅网站、河南省教育招标网、哈工大郑州研究院官网、中国招标投标公共服务平台发布。 七、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策： （1）执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库﹝2021﹞46号）； （2）执行《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库﹝2014﹞68号）； （3）执行《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库﹝2017﹞141号）； （4）执行《财政部、国家发展改革委关于印发〈节能产品政府采购实施意见〉的通知》（财库﹝2004﹞185号）、《财政部环保总局关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库﹝2006﹞90号）；和《财政部、发展改革委、生态环境部、市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）。 （5）与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人、其他组织或个人，不得参加投标。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一标段投标或者未划分标段的同一招标项目投标。 八、凡对本次招标提出询问，请按照以下方式联系 1.采购人信息 名称：哈工大郑州研究院 地址：河南省郑州市郑东新区龙源东七街26号 联系人：薛老师 联系方式：18860369839 2.采购代理机构信息 名称：河南省教育招标服务有限公司 地址：郑州市花园路116号河南省农科院院内西南角原农信楼 联系人：金蕾 联系方式：0371-56058516 3.项目联系方式 联系人：金蕾 联系方式：0371-56058516 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：红外热成像仪,物理气相沉积,镀膜机,原子层沉积 开标时间：2022-12-01 09:00 预算金额：2415.00万元 采购单位：哈工大郑州研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：河南省教育招标服务有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 河南省-郑州市 状态：公告 更新时间： 2022-11-10 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 发布时间：2022-11-10 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目公开招标公告 一、项目基本情况 1.采购项目编号：豫教招标采购-2022- 167 2.采购项目名称：哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目 3.采购方式：公开招标 4.预算金额：2415万元 最高限价：2415万元 序号 包名称 包预算 （万元） 包最高限价 （万元） 1 哈工大郑州研究院液相外延炉等仪器设备采购项目 2415 2415 5.采购需求 （1）项目概况：根据哈工大郑州研究院需要，需对液相外延炉等仪器设备进行采购，项目已具备采购条件，现对该批次仪器设备进行公开招标。 （2）采购内容包括：DLP金刚石金属复合材料增材制造设备1套、高功率光纤激光焊接系统1套、高功率激光柔性复合加工系统1套、超高精度纳米材料沉积系统1套、液相外延炉1套、化学气相沉积镀膜机1套、示波器及探头1套、PEM电解槽1套、总线运动控制系统1套、无人机1套、红外热成像仪1套、功率与阻抗分析仪1套、立式真空热压烧结炉1套、高速摄像机1套。 （3）资金情况：资金已落实。 （4）包段划分：不分包。 （5）交货期：合同签订后6个月内。 （6）交货地点：采购人指定地点。 （7）质量标准：符合国家或行业规定的合格标准，满足采购人提出的技术标准及要求。 （8）验收标准：满足采购人的验收标准及要求。 （9）质保服务要求：国产设备三年，进口设备一年(自验收合格之日起)。 6.合同履行期限：合同签订至质保期满。 7.本项目是否接受联合体投标：否 8.是否接受进口产品：是 二、申请人资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： （1）投标人须具有法人或者其他组织的营业执照等证明文件； （2）投标人须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，企业财务状况良好，没有财务被接管、破产或其他关、停、并、转情况的，须提供2021年度经审计的财务报告或其基本开户银行出具的资信证明； （3）投标人须具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录，提供本年度任意一个月的企业完税凭证和企业社会保险缴纳证明材料； （4）投标人须具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(自拟格式，自行承诺)； （5）参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明(自拟格式，自行承诺)； （5）其他要求：对参与投标竞争的单位，需承诺近三年来投标人、法定代表人、项目负责人无行贿犯罪记录（由投标人出具承诺，格式自拟）； （7）根据财政部《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》（财库〔2016〕125号）和豫财购〔2016〕15号的规定，对列入“失信被执行人”、“重大税收违法失信主体”和“政府采购严重违法失信行为记录名单”的潜在供应商，将拒绝其参加本项目招标采购活动； （8）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参加本项目的投标【提供在“国家企业信用信息公示系统”中查询打印的相关材料并加盖公章（需包含公司基本信息、股东信息及股权变更信息）】 2.落实政府采购政策满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求： 若供应商所投设备为进口设备，须具备进出口经营资格并提供《对外贸易经营者备案登记证书》。 三、获取招标文件： 1.时间：2022年11月11日至2022年11月20日（北京时间）。每天上午00：00至 12：00，下午 12：00至 23：59（北京时间，法定节假日除外。） 2.方式：供应商报名时需要将法人授权委托书、授权人身份证、被授权人身份证、营业执照副本扫描并发送至项目负责人邮箱1830331803@qq.com，对报名合格的供应商在缴费完成后，通过邮箱发送招标文件电子版。 3.售价：300元人民币 开户名称：河南省教育招标服务有限公司 账 号：371903102310201 开户行：招商银行股份有限公司郑州分行农业路支行 联系电话：扶会计18736086547。 四、投标截止时间（投标文件递交截止时间）及地点 1.时间：2022年12月1日9:00（北京时间） 2.地点：河南省教育招标服务有限公司第一开标室 五、开标时间及地点 1.时间：2022年12月1日9:00（北京时间） 2.地点：河南省教育招标服务有限公司第一开标室 六、发布公告的媒介及公示期限 本公告在河南省教育厅网站、河南省教育招标网、哈工大郑州研究院官网、中国招标投标公共服务平台发布。 七、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策： （1）执行《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库﹝2021﹞46号）； （2）执行《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库﹝2014﹞68号）； （3）执行《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库﹝2017﹞141号）； （4）执行《财政部、国家发展改革委关于印发〈节能产品政府采购实施意见〉的通知》（财库﹝2004﹞185号）、《财政部环保总局关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库﹝2006﹞90号）；和《财政部、发展改革委、生态环境部、市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）。 （5）与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人、其他组织或个人，不得参加投标。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一标段投标或者未划分标段的同一招标项目投标。 八、凡对本次招标提出询问，请按照以下方式联系 1.采购人信息 名称：哈工大郑州研究院 地址：河南省郑州市郑东新区龙源东七街26号 联系人：薛老师 联系方式：18860369839 2.采购代理机构信息 名称：河南省教育招标服务有限公司 地址：郑州市花园路116号河南省农科院院内西南角原农信楼 联系人：金蕾 联系方式：0371-56058516 3.项目联系方式 联系人：金蕾 联系方式：0371-56058516

近日，光驰半导体技术（上海）有限公司（以下简称 “光驰半导体”）成功摘得宝山高新技术产业园区的BSPO-1801单元07-17标准地33357.6平方米（合计50亩）工业用地，并与上海市宝山区规划和自然资源局签订土地使用权出让合同，光驰半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目在园区实质落地。图片来源：上海宝山据上海宝山消息，光驰半导体项目未来将以半导体前沿ALD（原子层镀膜）技术与刻蚀技术为依据，以持续技术创新和市场开拓为导向，在半导体制造与器件领域实现技术的应用与扩大销售。项目计划2022年8月开工，预计2023年10月竣工。光驰半导体是光驰科技（上海）有限公司的全资子公司，据该公司官网信息，光驰科技（上海）有限公司是株式会社光驰（OPTORUN CO.,LTD）投资成立，以高精度镀膜机的设计与制造为基础的外资独资型企业，生产用于光通信设备、导光系统中制备各种光学部件的增透膜；各类型滤光片的高精度镀膜设备；工艺的研究和开发；相关设备的维修及售后服务。

详细信息 内蒙古自治区公安厅DNA自动化提取仪等刑事技术专用设备竞争性磋商公告 内蒙古自治区-呼和浩特市-新城区 状态：公告 更新时间： 2022-09-09 招标文件: 附件1 项目概况 DNA自动化提取仪等刑事技术专用设备采购项目的潜在供应商应在内蒙古自治区政府采购网获取采购文件，并于 2022年09月20日 09时00分（北京时间）前提交响应文件。 一、项目基本情况 项目编号：NMGZCS-C-H-220699 项目名称：DNA自动化提取仪等刑事技术专用设备 采购方式：竞争性磋商 预算金额：3,610,000.00元 采购需求： 合同包1(DNA自动化提取仪等): 合同包预算金额：3,610,000.00元 品目号 品目名称 采购标的 数量（单位） 技术规格、参数及要求 品目预算(元) 最高限价(元) 1-1 物证检验鉴定设备 DNA自动化提取仪 1(台) 详见采购文件 1,440,000.00 - 1-2 物证检验鉴定设备 便携式潜在生物物证发现设备 1(台) 详见采购文件 490,000.00 - 1-3 物证检验鉴定设备 痕迹检验真空镀膜仪 1(台) 详见采购文件 1,680,000.00 - 本合同包不接受联合体投标 合同履行期限：自合同签订之日起5年 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： （1）具有独立承担民事责任的能力； （2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； （3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； （5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录； （6）法律、行政法规规定的其他条件。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 合同包1(DNA自动化提取仪等)落实政府采购政策需满足的资格要求如下: 依据相关规定执行 三、获取采购文件 时间： 2022年09月09日至 2022年09月19日，每天上午 00:00:00至 12:00:00，下午 12:00:00至 23:59:59（北京时间,法定节假日除外） 地点：内蒙古自治区政府采购网 方式：在线获取。获取采购文件时，需登录“政府采购云平台”，按照“执行交易→应标→项目应标→未参与项目”步骤，填写联系人相关信息确认参与后，即为成功“在线获取”。 售价： 免费获取 四、响应文件提交 截止时间： 2022年09月20日 09时00分00秒（北京时间） 地点： 内蒙古自治区政府采购网（政府采购云平台）五、开启 时间： 2022年09月20日 09时00分00秒（北京时间） 地点：内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区乌兰察布东街中星国际7楼1号会议室六、公告期限 自本公告发布之日起3个工作日。七、其他补充事宜 无 八、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：内蒙古自治区公安厅 地 址：呼和浩特市新城区海拉尔大街15号 联系方式：0471-65016942.采购代理机构信息 名 称：内蒙古奥晨招标有限公司 地 址：内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区乌兰察布东街中星花园二期1号楼701室 联系方式：0471-53058463.项目联系方式 项目联系人：刘宁 电 话：0471-5305846 内蒙古奥晨招标有限公司 2022年09月09日 相关附件： DNA自动化提取仪等刑事技术专用设备磋商文件（2022090901）.pdf × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：null 预算金额：361.00万元 采购单位：内蒙古自治区公安厅 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：内蒙古奥晨招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 内蒙古自治区公安厅DNA自动化提取仪等刑事技术专用设备竞争性磋商公告 内蒙古自治区-呼和浩特市-新城区 状态：公告 更新时间： 2022-09-09 招标文件: 附件1 项目概况 DNA自动化提取仪等刑事技术专用设备采购项目的潜在供应商应在内蒙古自治区政府采购网获取采购文件，并于 2022年09月20日 09时00分（北京时间）前提交响应文件。 一、项目基本情况 项目编号：NMGZCS-C-H-220699 项目名称：DNA自动化提取仪等刑事技术专用设备 采购方式：竞争性磋商 预算金额：3,610,000.00元 采购需求： 合同包1(DNA自动化提取仪等): 合同包预算金额：3,610,000.00元 品目号 品目名称 采购标的 数量（单位） 技术规格、参数及要求 品目预算(元) 最高限价(元) 1-1 物证检验鉴定设备 DNA自动化提取仪 1(台) 详见采购文件 1,440,000.00 - 1-2 物证检验鉴定设备 便携式潜在生物物证发现设备 1(台) 详见采购文件 490,000.00 - 1-3 物证检验鉴定设备 痕迹检验真空镀膜仪 1(台) 详见采购文件 1,680,000.00 - 本合同包不接受联合体投标 合同履行期限：自合同签订之日起5年 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： （1）具有独立承担民事责任的能力； （2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； （3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； （5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录； （6）法律、行政法规规定的其他条件。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 合同包1(DNA自动化提取仪等)落实政府采购政策需满足的资格要求如下: 依据相关规定执行 三、获取采购文件 时间： 2022年09月09日至 2022年09月19日，每天上午 00:00:00至 12:00:00，下午 12:00:00至 23:59:59（北京时间,法定节假日除外） 地点：内蒙古自治区政府采购网 方式：在线获取。获取采购文件时，需登录“政府采购云平台”，按照“执行交易→应标→项目应标→未参与项目”步骤，填写联系人相关信息确认参与后，即为成功“在线获取”。 售价： 免费获取 四、响应文件提交 截止时间： 2022年09月20日 09时00分00秒（北京时间） 地点： 内蒙古自治区政府采购网（政府采购云平台）五、开启 时间： 2022年09月20日 09时00分00秒（北京时间） 地点：内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区乌兰察布东街中星国际7楼1号会议室六、公告期限 自本公告发布之日起3个工作日。七、其他补充事宜 无 八、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：内蒙古自治区公安厅 地 址：呼和浩特市新城区海拉尔大街15号 联系方式：0471-65016942.采购代理机构信息 名 称：内蒙古奥晨招标有限公司 地 址：内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区乌兰察布东街中星花园二期1号楼701室 联系方式：0471-53058463.项目联系方式 项目联系人：刘宁 电 话：0471-5305846 内蒙古奥晨招标有限公司 2022年09月09日 相关附件： DNA自动化提取仪等刑事技术专用设备磋商文件（2022090901）.pdf

详细信息 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2023-05-27 招标文件: 附件1 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目公开招标公告 2023年05月27日 14:09 公告信息： 采购项目名称 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 品目 货物/通用设备/仪器仪表/其他仪器仪表 采购单位 北京大学 行政区域 北京市 公告时间 2023年05月27日 14:09 获取招标文件时间 2023年05月27日至2023年06月02日每日上午:9:00 至 12:00 下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥600 获取招标文件的地点 登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。 开标时间 2023年06月19日 09:30 开标地点 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 预算金额 ￥380.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 吴老师 项目联系电话 010-62758587 采购单位 北京大学 采购单位地址 北京市海淀区颐和园路5号 采购单位联系方式 吴老师 010-62758587 代理机构名称 东方国际招标有限责任公司 代理机构地址 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 代理机构联系方式 王军、郭宇涵、李雯； 010-68290508；010- 68290530 附件： 附件1 采购需求789.docx 项目概况 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。获取招标文件，并于2023年06月19日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：OITC-G230310789 项目名称：北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 预算金额：380.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 简要技术规格 是否允许采购进口产品 最高 限价 1 电子束镀膜仪 2套 用于支撑校内多学科纳米器件制作方面的课题研究。为了避免交污染，采购两台具备基片低温生长环境的电子束蒸发设备，并配置LOADLOCK和送样机构，将使镀膜系统的功能更加全面、灵活和高效。 是 380 万元 注： 1)投标人须对整个包中全部内容进行投标，不得拆分。评标、授标以整个包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第六章）。 合同履行期限：合同签订后6个月内完成交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。 3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2） 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3） 代理商投标必须有授权（仅针对进口产品投标）；4） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5） 投标人不得为招标人或招标代理机构的附属或相关机构；6） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。7） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；8） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；9）本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2023年05月27日 至 2023年06月02日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。 方式：登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年06月19日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年06月19日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）登陆 东方招标 平台（http://www.oitccas.com/），点击 获取采购文件 链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 4）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 4、采购项目需要落实的政府采购政策： （1）政府采购促进中小企业发展 （2）政府采购支持监狱企业发展 （3）政府采购促进残疾人就业 （4）政府采购鼓励采购节能环保产品 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：北京大学 地址：北京市海淀区颐和园路5号 联系方式：吴老师 010-62758587 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 联系方式：王军、郭宇涵、李雯； 010-68290508；010- 68290530 3.项目联系方式 项目联系人：吴老师 电 话： 010-62758587 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2023-06-19 09:30 预算金额：380.00万元 采购单位：北京大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2023-05-27 招标文件: 附件1 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目公开招标公告 2023年05月27日 14:09 公告信息： 采购项目名称 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 品目 货物/通用设备/仪器仪表/其他仪器仪表 采购单位 北京大学 行政区域 北京市 公告时间 2023年05月27日 14:09 获取招标文件时间 2023年05月27日至2023年06月02日每日上午:9:00 至 12:00 下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥600 获取招标文件的地点 登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。 开标时间 2023年06月19日 09:30 开标地点 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 预算金额 ￥380.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 吴老师 项目联系电话 010-62758587 采购单位 北京大学 采购单位地址 北京市海淀区颐和园路5号 采购单位联系方式 吴老师 010-62758587 代理机构名称 东方国际招标有限责任公司 代理机构地址 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 代理机构联系方式 王军、郭宇涵、李雯； 010-68290508；010- 68290530 附件： 附件1 采购需求789.docx 项目概况 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。获取招标文件，并于2023年06月19日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：OITC-G230310789 项目名称：北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 预算金额：380.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 简要技术规格 是否允许采购进口产品 最高 限价 1 电子束镀膜仪 2套 用于支撑校内多学科纳米器件制作方面的课题研究。为了避免交污染，采购两台具备基片低温生长环境的电子束蒸发设备，并配置LOADLOCK和送样机构，将使镀膜系统的功能更加全面、灵活和高效。 是 380 万元 注： 1)投标人须对整个包中全部内容进行投标，不得拆分。评标、授标以整个包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第六章）。 合同履行期限：合同签订后6个月内完成交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。 3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2） 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3） 代理商投标必须有授权（仅针对进口产品投标）；4） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5） 投标人不得为招标人或招标代理机构的附属或相关机构；6） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。7） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；8） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；9）本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2023年05月27日 至 2023年06月02日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。 方式：登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年06月19日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年06月19日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）登陆 东方招标 平台（http://www.oitccas.com/），点击 获取采购文件 链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 4）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 4、采购项目需要落实的政府采购政策： （1）政府采购促进中小企业发展 （2）政府采购支持监狱企业发展 （3）政府采购促进残疾人就业 （4）政府采购鼓励采购节能环保产品 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：北京大学 地址：北京市海淀区颐和园路5号 联系方式：吴老师 010-62758587 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 联系方式：王军、郭宇涵、李雯； 010-68290508；010- 68290530 3.项目联系方式 项目联系人：吴老师 电 话： 010-62758587

详细信息 西安电子科技大学PECVD介质镀膜系统采购项目（二次）公开招标公告 陕西省-西安市-长安区 状态：公告 更新时间： 2022-09-03 西安电子科技大学PECVD介质镀膜系统采购项目（二次）公开招标公告 2022年09月02日 11:46 公告信息： 采购项目名称 PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 西安电子科技大学 行政区域 西安市 公告时间 2022年09月02日 11:46 获取招标文件时间 2022年09月02日至2022年09月09日每日上午:8:00 至 12:00 下午:14:00 至 18:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 开标时间 2022年09月27日 09:00 开标地点 西安市高新二路山西证券大厦8楼第2会议室 预算金额 ￥300.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 姜凯 项目联系电话 029-88497916 采购单位 西安电子科技大学 采购单位地址 西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区 采购单位联系方式 赵老师、029-81891893 代理机构名称 陕西省采购招标有限责任公司 代理机构地址 西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 代理机构联系方式 姜凯、程燕、029-88497916 项目概况 PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 招标项目的潜在投标人应在西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部获取招标文件，并于2022年09月27日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0807-2241CZGJ1162 项目名称：PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 预算金额：300.0000000 万元（人民币） 采购需求： PECVD介质镀膜系统采购 壹套 合同履行期限：交货期：接到甲方通知后90日历天内货到现场并安装调试完毕。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本次采购为国际招标，按照商务部令2014年第1号《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。本项目为非专门面向中小企业采购项目。 3.本项目的特定资格要求：3.1投标人须提供营业执照（境内投标人）或商业登记证(境外投标人)；3.2如为代理商投标，须持有制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书（原件）；3.3投标人须提供单位负责人授权书； 三、获取招标文件 时间：2022年09月02日 至 2022年09月09日，每天上午8:00至12:00，下午14:00至18:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 方式：（购买招标文件时将联系方式、单位介绍信及被授权人身份证加盖公章的扫描件发送至邮箱729886787@qq.com并致电确认）。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年09月27日 09点00分（北京时间） 开标时间：2022年09月27日 09点00分（北京时间） 地点：西安市高新二路山西证券大厦8楼第2会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 投标人在投标前应在____（https://____）或机 电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：西安电子科技大学 地址：西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区 联系方式：赵老师、029-81891893 2.采购代理机构信息 名 称：陕西省采购招标有限责任公司 地 址：西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 联系方式：姜凯、程燕、029-88497916 3.项目联系方式 项目联系人：姜凯 电 话： 029-88497916 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2022-09-27 09:00 预算金额：300.00万元 采购单位：西安电子科技大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：陕西省采购招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 西安电子科技大学PECVD介质镀膜系统采购项目（二次）公开招标公告 陕西省-西安市-长安区 状态：公告 更新时间： 2022-09-03 西安电子科技大学PECVD介质镀膜系统采购项目（二次）公开招标公告 2022年09月02日 11:46 公告信息： 采购项目名称 PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 西安电子科技大学 行政区域 西安市 公告时间 2022年09月02日 11:46 获取招标文件时间 2022年09月02日至2022年09月09日每日上午:8:00 至 12:00 下午:14:00 至 18:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 开标时间 2022年09月27日 09:00 开标地点 西安市高新二路山西证券大厦8楼第2会议室 预算金额 ￥300.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 姜凯 项目联系电话 029-88497916 采购单位 西安电子科技大学 采购单位地址 西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区 采购单位联系方式 赵老师、029-81891893 代理机构名称 陕西省采购招标有限责任公司 代理机构地址 西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 代理机构联系方式 姜凯、程燕、029-88497916 项目概况 PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 招标项目的潜在投标人应在西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部获取招标文件，并于2022年09月27日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0807-2241CZGJ1162 项目名称：PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 预算金额：300.0000000 万元（人民币） 采购需求： PECVD介质镀膜系统采购 壹套 合同履行期限：交货期：接到甲方通知后90日历天内货到现场并安装调试完毕。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本次采购为国际招标，按照商务部令2014年第1号《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。本项目为非专门面向中小企业采购项目。 3.本项目的特定资格要求：3.1投标人须提供营业执照（境内投标人）或商业登记证(境外投标人)；3.2如为代理商投标，须持有制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书（原件）；3.3投标人须提供单位负责人授权书； 三、获取招标文件 时间：2022年09月02日 至 2022年09月09日，每天上午8:00至12:00，下午14:00至18:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 方式：（购买招标文件时将联系方式、单位介绍信及被授权人身份证加盖公章的扫描件发送至邮箱729886787@qq.com并致电确认）。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年09月27日 09点00分（北京时间） 开标时间：2022年09月27日 09点00分（北京时间） 地点：西安市高新二路山西证券大厦8楼第2会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 投标人在投标前应在____（https://____）或机 电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：西安电子科技大学 地址：西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区 联系方式：赵老师、029-81891893 2.采购代理机构信息 名 称：陕西省采购招标有限责任公司 地 址：西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 联系方式：姜凯、程燕、029-88497916 3.项目联系方式 项目联系人：姜凯 电 话： 029-88497916

以往电镀液的更换或何时再添加接性剂（如促进剂），是以经验值或时间来决定，如此做法是无法量化数据化，不知所以然的做法。电镀液中除了含有欲镀上之金属离子,电解质,错合剂外尚有有机添加剂（光泽剂,结构改良剂,润湿剂），其中润湿剂是影响被镀物（导线架，铜箔基板，构装基板）与金属离子，光泽剂之类等物质之间附着力好坏。镀膜易剥离是因接口活性剂选用不对或是浓度不对所造成。表面张力仪在电镀行业中的应用介绍01如何选定附着力好的电镀液主要是电镀液供货商配方问题，使用者可依供货商所提供电镀液实际去镀看看结果如何而选定，选定后以这新电镀液去测量表面张力值，以这个值当进料检验标准值。电镀液效果好坏还有因选用电镀设备有关，如使用何种电源供应器，选用何种电源供应器技术原理，是整个电镀设备的技术关键点。02制程中电镀液表面张力监控理论上电镀液表面张力愈小，表示电镀液愈容易渗入小缝隙里面，愈容易在被镀物表面润湿，也就是愈容易使用金属离子镀上去。但在品质与经济效益需取得平衡点，故表面张力值需控制在哪一点，这必须有赖使用者去抓。因每一家所考虑的都不一样，故无一定标准。但有一CMC（CriticalMicelleConcentration）点需先抓出来，因为超过CMC点后，表面张力反而不会改变，不但没达到预期效果且浪费接口活性剂。在CMC点之前的任何表面张力值，选一点你们认为制程上的，作为监控的标准值。当CMC点与标准值定下来后，再定时作电镀液取样量测。03结论假设金属离子（欲镀物）浓度是在控制范围内，但因无法渗入较小缝隙内，会造成缝隙内厚度不均匀甚至没镀到，或因润湿性不好除了厚度不均匀外，更是造成易剥离主要原因。表面张力计与底材表面自由能分析仪界面科学领域中，有一物化性质很值得去了解与应用它，尤其在精密化学,半导体,光电等新兴科技产业，在研发,制程改善和品保方面常会碰到界面上瓶颈问题，但因人们没深入去了解此一物化现象，似懂非懂，没有很清晰建立起正确观念，这些观念就是液体表面张力，固体表面自由能与表面自由能分布，和润湿功在实务解释应用上所代表的意义如何，因而无法利用这些观念去发现问题之所在，以谋求解决之道。只要把这物化性质清晰了解后，配合表面张力计和底材表面自由能分析仪的数据，相信可以解决许多表面张力方面的问题。相关仪器A1200自动界面张力测定仪基于圆环法（白金环法），测量各种液体的表面张力(液-气相界面)及液体的界面张力(液-液相界面)。分子间的作用力形成液体的界面张力或表面张力，张力值的大小能够反映液体的物理化学性质及其物质构成，是相关行业考察产品质量的重要指标之一。广泛用于电力、石油、化工、制药、食品，教学等行业。执行标准适应标准：GB/T6541

近日，广东监管局披露了关于广东汇成真空科技股份有限公司（以下简称：汇成真空）辅导备案登记受理信息，其辅导机构为东莞证券，已于6月21日办理了辅导备案登记。资料显示，汇成真空是一家面向全球的真空应用解决方案提供商，研发、生产和销售各类真空设备、半导体设备、电子生产设备、光电设备、光伏设备、动力电池设备及产品相关配件的国家高新技术企业，专注设备与产品的相关制造工艺和应用技术、控制软件、工艺流程控制软件及相关生产自动化软件的研发、应用，并提供技术转让、技术咨询和技术服务。今年4月，汇成真空与中科院兰州化学物理研究所、中国科学宁波材料技术与工程研究所合作的“面向5G高频高速覆铜板用大面积柔性纳米薄膜镀膜设备研发及产业化”项目完成签约，此项目针对5G高频高速小型、轻量及薄型化柔性覆铜板工艺需求，开发出大面积柔性纳米薄膜等离子体磁控溅射镀膜设备与工艺，实现装备产业化。在5G技术带动下，电子资讯工业近几年来在中国的迅速发展，结合各种相关产业，已经成为中国最为蓬勃发展、举足轻重的新兴产业，汇成真空多年来坚持自主研发，在光学薄膜设备、功能涂层设备、柔性薄膜设备、大面积镀膜设备等领域拥有多项PVD专利技术，此次与中科院兰州化学物理研究所、中国科学宁波材料技术与工程研究所共同研发合作，建设“面向5G高频高速覆铜板用大面积柔性纳米薄膜镀膜设备研发及产业化”的项目，推动传统覆铜板产品结构面向5G时代需求的转型升级发展。

HS-TGA-101热重分析仪（TG、TGA）是在升温、恒温或降温过程中，观察样品的质量随温度或时间的变化，目的是研究材料的热稳定性和组份。广泛应用于塑料、橡胶、涂料、药品、催化剂、无机材料、金属材料与复合材料等各领域的研究开发、工艺优化与质量监控.碲系化合物半导体靶材制备及镀膜性能表征【北京有色金属研究总院 潘兴浩】碲系化合物半导体靶材制备及镀膜性能表征上海和晟 HS-TGA-101 热重分析仪

p style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 28px "薄膜沉积是集成电路制造过程中必不可少的环节，传统的薄膜沉积工艺主要有物理气相沉积（/spanspan style="text-indent: 28px "PVD/spanspan style="text-indent: 28px "）、化学气相沉积（/spanspan style="text-indent: 28px "CVD/spanspan style="text-indent: 28px "）等气相沉积工艺。物理气相沉积/spanspan style="text-indent: 28px "(Physical Vapour Deposition/spanspan style="text-indent: 28px "，/spanspan style="text-indent: 28px "PVD)/spanspan style="text-indent: 28px "技术是在真空条件下，采用物理方法，将材料源/spanspan style="text-indent: 28px "——/spanspan style="text-indent: 28px "固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域，可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "仪器信息网近期特对一年内的spanPVD/span设备的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。span style="color: rgb(127, 127, 127) font-size: 14px "（注：本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台，不完全统计分析仅供读者参考。）/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 240px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/a2ad4457-7ade-41a5-b0c8-6b0bfc0f3001.jpg" title="1.png" alt="1.png" width="400" height="240" border="0" vspace="0"/ /span/pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"各月中标量占比/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span2019/span年span10/span月至span2020/span年span9/span月，根据统计数据，spanPVD/span设备的总中标为span218/span台，涉及金额上亿元。span2019/span年span10/span月至span12/span月，平均中标量约span25/span台每月。span2020/span上半年，由于疫情影响，span1/span月至span4/span月中标市场持续低迷，平均中标量约span5/span台每月，其中二月份无成交量。随着国内疫情稳定以及企业复产复工和高校复学的逐步推进，spanPVD/span设备中标市场活力回升，从二月份到七月份中标量不断增长，其中span7/span月spanPVD/span中标量达span27/span台。第三季度的spanPVD/span设备采购基本恢复正常，平均中标量约span24/span台每月。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 252px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/98f0aae5-cd0b-4c37-a638-6e07e56be8b6.jpg" title="2.png" alt="2.png" width="400" height="252" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"采购单位性质分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "从spanPVD/span设备的招标采购单位来看，高校是采购的主力军，采购量占比高达span68%/span，而企业和科研院所的采购量分别占比span12%/span和span19%/span。值得注意的是，企业和科研院所采购设备的单价较高，集中于高端设备，高校采购低端设备比例略高。企业方面的采购单位主要为电子产业，高校方面的采购单位以大学为主。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 265px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/16cf7cf8-1078-4811-92cb-06cb57740068.jpg" title="3.png" alt="3.png" width="400" height="265" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"招标单位地区分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "本次盘点，招标单位地区分布共涉及span25/span个省份、自治区及直辖市。广东、北京、浙江、江苏和湖北为spanPVD/span设备采购排名前span5/span的地区，其中广东的采购量最大，达span32/span台。在这些地区中，上海、浙江和江苏的spanPVD/span设备采购以高校为主力，北京以科研院所和高校采购为主力，只有湖北以企业采购为主。这主要是因为湖北武汉聚集了国内一批半导体企业，如武汉天马微电子有限公司和湖北长江新型显示产业创新中心有限公司，致力于打造“中国光谷”。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 233px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/35dfbb36-d83c-4bcf-894d-3a587cdd8da8.jpg" title="4.png" alt="4.png" width="400" height="233" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"不同类型spanPVD/span设备占比/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "spanPVD/span设备种类繁多，包含了磁控溅射、蒸发镀膜、真空镀膜等类型。根据搜集到的中标数据可知，磁控溅射占据了中标spanPVD/span设备的主流、高达span72%/span的spanPVD/span设备采购为磁控溅射。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多种材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪span 70 /span年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "本次spanPVD/span设备中标盘点，涉及品牌有泰科诺、spanKurt J. Lesker/span、创世威纳、spanMoorfield/span、spanLeica/span、合肥科晶、spanVEECO Instruments Inc./span、spanTeer Coatings Ltd./span、spanQUORUM/span、span style="font-size:15px"Syskey/spanspan style="font-size:15px"、spanApplied Materials ,lnc./span、spanULVACInc/span、株式会社昭和真空/span等。/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有：/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/08db5967-4529-4f60-88a7-518f97a384c8.jpg" title="5.jpg" alt="5.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh102205/C242800.htm"span style="font-size:15px"span三靶射频磁控溅射镀膜仪/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"这是一款小型台式span3/span靶等离子溅射仪span(/span射频磁控型span)/span，配有三个span1/span英寸的磁控等离子溅射头和射频（spanRF/span）等离子电源，此款设备主要用于制作非导电薄膜，特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索，它是一款廉价并且高效的实验帮手。这款span1/span英寸的射频溅射镀膜仪主要是用于在单晶基片上制备氧化物膜，所以并不需要太高的真空度。/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/c7c1521d-c5b9-4668-b178-66ac2ce7cd98.jpg" title="6.jpg" alt="6.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh101374/C191053.htm"span style="font-size:15px"span双靶磁控溅射仪/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px" /spanspan style="font-size: 15px "双靶磁控溅射仪是沈阳科晶自主新研制开发的一款高真空镀膜设备，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。/spanspan style="font-size: 15px "VTC-600-2HD/spanspan style="font-size: 15px "双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪，一个弱磁靶用于非导电材料的溅射镀膜，一个强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比，且具有体积小便于操作的优点，且可使用的材料范围广，是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。/span/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2ed2b9b6-bb58-4779-ab5e-aa97cdaaaa2b.jpg" title="7.jpg" alt="7.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104149/C283599.htm"span style="font-size:15px"span科特莱思科热阻蒸发镀膜系统/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"这款仪器由预真空进样室（可选）前开门蒸发腔体、冷凝泵和干泵、多个热阻蒸发源或spanOLED/span低温蒸发源、span6”/span基片、基片旋转、基片偏压（可选）、离子源清洗基片（可选）、基片加热span1000/span度span(/span可选span)/span等部分构成。晶振沉积速率及膜厚控制可选择系统手动或自动控制等方式，能够沉积金属、半导体和绝缘材料，还可沉积多层膜及合金薄膜。/spanspan style="font-size: 15px " /span/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"点击此处进入/spanspana href="https://www.instrument.com.cn/list/sort/241.shtml"span style="font-size:15px"span【span半导体行业专用仪器span】/span/span/span/span/a/spanspan style="font-size:15px"专场，获取更多产品信息。/span/pp style="text-indent: 29px text-align: center "span style="font-size:15px"更多资讯请扫描下方二维码，关注【材料说】/span/pp style="text-indent: 28px text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2a630f7c-a2f9-4376-bd8c-911592840aa9.jpg" title="材料说.jpg" alt="材料说.jpg"//p

仪器信息网讯 2024年4月18日，“大型质谱仪真空系统全新组合，革新质谱仪的节能之道”普发真空SmartVane产品推介会成功举办。该活动线上线下同步举行，整场活动精彩纷呈，高潮迭起，吸引了众多行业内外人士的目光，反响热烈。普发真空作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一，从1958年发明涡轮分子泵至今，在全球分析仪器、科研探索、真空镀膜、半导体制造以及尖端工业等领域。真空系统是质谱仪的主要组成部分，在质谱测定过程中，凡是有样品分子和离子通过以及存在的地方都必须抽成高真空。在本次推介会上，普发真空中国技术支持马良详细介绍了实验室中理想的无漏油真空解决方案以及SplitFlow + SmartVane 真空系统组合产品在大型质谱领域的应用。SmartVane作为一款密封的旋片泵，摒弃了传统轴封设计，避免漏油问题，特别适用于质谱分析。其出色的低噪音特性，为实验室提供了一个更为安静的工作环境，特别是在低于10 hPA的压力环境下，其静音效果更为显著。紧凑而精巧的设计，不仅简化了安装流程，更使得与其他设备的连接变得轻而易举。更值得一提的是，SmartVane还搭载了集成的节能IPM电机，有效降低了运行成本，同时大幅减少了维护成本，延长维护周期，极大地提升了使用效率。此外，它还配备了智能通信选项，为用户提供了更加便捷、智能的操作体验。而与SmartVane搭配使用的SplitFlow 350，则是一款炮筒式多口分子泵，其多抽口设计使得在差分系统中，仅凭一台泵即可实现多台泵的效果。SplitFlow 350不仅功耗低（功耗降低10-30%）、抽气速度快、气体压缩比高，还配备了优化的操控系统、集成的分子泵控制器，防护等级高达IP 44/NEMA 12，并通过了UL/CSA认证。此外，采用集成的转子温度测量功能，确保了分子泵的稳定性和安全性，为用户提供了更加安心、高效的使用体验。在直播过程中，普发真空中国分析仪器行业经理黄杰以及普发真空德国分析仪器行业经理Eduard Weber均亲临现场，为观众答疑解惑，分享产品使用的经验与心得。同时，众多行业专家、以及新老客户也都积极参与。普发真空中国技术支持马良（左二）、普发真空德国分析仪器行业经理Eduard Weber（右二）和普发真空中国分析仪器行业经理黄杰（右一）现场答疑现场演示为了感谢广大网友的积极参与，直播活动还特别设置了现场抽奖环节。此次普发真空SmartVane产品推介会的成功举办，不仅为广大用户提供了优质的解决方案分享，还生动的展示了普发真空在分析技术领域的创新实力。关于普发真空普发真空- (Stock Exchange Symbol PFV, ISIN DE0006916604)-作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的复合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种前级真空泵，检漏仪，真空计， 质谱仪以及真空管件腔体和系统解决方案。 从普发真空发明涡轮分子泵至今, 我们在全球分析仪器、工业、科研、镀膜和半导体领域，始终代表着创新的解决方案和高品质的产品。公司自1890年创立至今百余年始终走在世界前沿， 在全球拥有 4,000 多名员工和20 多家分公司。普发真空是Busch Group的一员，Busch Group 是全球最大的真空泵、真空系统、鼓风机、压缩机和废气净化系统制造商之一。Busch Group 旗下拥有普旭真空解决方案(Busch Vacuum Solutions)、普发真空(Pfeiffer Vacuum)及商先创环保科技(centrotherm clean solutions)三大知名品牌。

近日，在海南中航特玻公司特玻生产基地，随着2号线15mm厚的在线低辐射镀膜(LOW-E)超白超厚玻璃在生产线下片装箱，全球首条在线LOW-E超白超厚玻璃线在我国诞生。　　海南中航特玻技术研发团队在国际先进技术基础上，通过自主创新，将在线LOW-E大板的厚度从3mm、4mm、5mm、6mm、8mm增加至10mm 12mm，现在又成功地生产出15 mm超厚玻璃。这是世界当前最厚的在线LOW-E玻璃产品，也是海南中航特玻继研制出在线Low-E超白产品后取得的又一创新成果。在线Low-E超白超厚玻璃的面世，标志着我国玻璃行业技术已经居于国际领先水平，对进一步拓展国际国内建筑节能玻璃市场有着重要意义，更是我国玻璃行业为世界玻璃工业技术进步作出的新贡献。　　据专家介绍，因为受到生产工艺技术的制约，在线Low-E镀膜玻璃厚片生产技术难度较高。在许多公共建筑和大部分高层楼房裙楼商业用房和大堂建筑装饰中需要大板面单片厚玻璃，因为离线Low-e玻璃存在脱膜的问题，所以，一直以来，国内外建筑师都只能在这些部位使用普通浮法玻璃厚片，以至于建筑效果和使用功能与建筑节能产生无解的矛盾。　　而在线Low-E是在浮法线上700C镀膜固溶在玻璃体上，单片使用永不会发生膜层脱膜，15mm超厚玻璃既可满足荷载和抗风强度要求，又美观坚固，钢化加工性较强，其节能膜低辐射性能与玻璃同寿命，单片使用达到冬暖夏凉，保温隔热功效十分显著，在北方冬天大幅降低室内热能的浪费，在南方能够很好的起到隔热节能效果。　　据统计，单片15mm在线LOW-E玻璃的传热系数比普通浮法玻璃传热系数低36%，比普通单片玻璃提高节能效率1/3，应用在建筑领域上，可节约大量的电力和煤炭资源消耗。不仅如此，这次海南中航特玻公司研发的新产品是在线超白厚板大尺寸Low-E玻璃，超白玻璃具有极高的透过率，可见光透过率可达92%，具有非常好的光学性能,可以更真实再现景观，是高端写字楼和豪华酒店建筑师和业主的梦想。　　通过与在线Low-E膜层的结合，既可以保证超白玻璃原有较高的可见光透过率，满足室内采光要求与舒适度，减少室内照明用电，又具有低辐射功能，达到综合节能的效果。是满足通透性建筑型要求较高的关键材料, 如北方和滨海区建筑. 同时，由于超白玻璃对原料的严格要求及自身低铁特性，超白Low-E玻璃不会产生自爆现象。　　用作大堂玻璃及幕墙玻璃时，由于抵抗风压和设计规范的要求必须采用钢化玻璃，而非超白钢化玻璃经常发生自爆，厚片普通钢化玻璃自爆的危险程度更高。因此，这一新技术还解决了困扰多年的建筑用钢化玻璃自爆的问题，这问题曾经是历年“两会“代表提案之一，一直受到社会各方面的高度关注.　　中航三鑫股份有限公司旗下海南中航特玻材料有限公司，是海南省和中航工业国防新材料重点企业，也是我国资本市场新材料板块引人瞩目的企业。位于海南省老城经济开发区，在海南文昌拥有两座世界顶级品质砂矿。企业引进欧美国多项高端浮法玻璃生产制造专有技术，拥有世界最先进CVD在线镀膜生产技术和装备。公司建有4条600吨级的浮法玻璃生产线，采用全氧燃烧生产工艺并配有余热发电，生产的汽车玻璃原片、超薄电子玻璃原片、超白浮法玻璃、超白航空材料、高速列车玻璃，以及在线低辐射系列节能玻璃等，是我国高端玻璃制造领域的领军企业。　　海南中航特玻公司2号线原是生产TCO太阳能基板玻璃。太阳能市场严重萎缩之后，企业通过技术创新，成功转型生产在线Low-E镀膜超白超厚玻璃。该产品为海南中航特玻进一步开辟国内国际市场提供了先机，也大大提高了企业的市场竞争力和经济效益。这条线完全可生产各种颜色和超白等各类在线低辐射系列3—15mm节能玻璃，也是全球第一条多品种高端节能玻璃制造生产线。目前，产品已通过国家玻璃质量监督检验中心的检验合格，性能指标完全满足国家标准《镀膜玻璃第二部分 低辐射镀膜玻璃》(GB18915.2-2002)的各项技术要求。这一优秀成果对于我国第二代浮法玻璃的研发创新，实现玻璃行业转型升级，发展资源节约型、环境友好型和优质高效型玻璃产业，使我国从玻璃大国向玻璃强国迈进，都有着十分重要的战略发展意义。

半导体晶圆表面的接触角测试是半导体制造中常见的一项表面质量评估方法，其重要性在以下几个方面：1、粗糙度评估：半导体晶圆表面的粗糙度会对接触角产生影响，接触角测试可以用来评估晶圆表面的粗糙度，从而评估其表面质量。表面清洁评估：半导体晶圆表面的杂质和污染物会影响接触角的测量结果，接触角测试可以用来评估晶圆表面的清洁程度。2、表面处理评估：半导体晶圆表面的各种表面处理，如刻蚀、沉积、退火等会影响接触角的测量结果，接触角测试可以用来评估这些表面处理对晶圆表面性质的影响。3、界面张力评估：在半导体制造中，各种材料的粘附和分离过程都涉及到界面张力的变化，接触角测试可以用来评估晶圆表面和各种材料之间的界面张力。综上所述，半导体晶圆表面的接触角测试可以用来评估晶圆表面的粗糙度、清洁程度、表面处理效果和界面张力等方面的性质，对半导体制造过程中的表面质量控制具有重要的意义。晶圆全自动接触角测量仪详细参数：技术参数KZS-50图片硬件外观接触角平台长12寸圆平台（6寸、8寸、12寸（通用）扩展升级整体扩展升级接触角设备尺寸670x690x730mm（长*宽*高）重量35KG样品台样品平台放置方式水平放置 样品平台工作方式三维移动样品平台样品承重0.1-10公斤仪器平台扩展可添加手动，自动倾斜平台，全自动旋转平台，温控平台，旋转平台，真空吸附平台调节范围Y轴手动行程400mm，精度0.1mmX轴手动，360°自动旋转，精度0.1mm测试范围0-180°测量精度高达0.01°测量面水平放置样品平台旋转全自动旋转平台仪器水平控制角位台可调，镜头可调，样品平台可调滴液滴液系统软件控制自动滴液，精度0.1微升，自动接液测试注射器高精密石英注射器，容量500ul针头直径0.51mm，1.6mm表面张力测试滴液移动范围X轴手动调节80mm，精度0.01mmZ轴自动调节100mm，精度0.01mm滴液系统软件控制自动滴液泵滴液模组金属丝杆滑台模组镜头/光源光源系统单波冷光源带聚光环保护罩，寿命60000小时以上光源调节软硬共控镜头可移动范围滑台可调100mm镜头远心变倍变焦定制镜头镜头倾斜度±10°，精度0.5°相机帧率/像素300fps（可选配更高帧率）/300万像索电源电源电压220V，功率60W，频率60HZ漏电装置带漏电装置保护软件部分软件算法分辨率拟合法、弧面法、θ/2、切线法、量角法、宽高法、L-Y法、圆法、椭圆法、斜椭圆法测量方式全自动、半自动、手动拟合方式 分辨率点位拟合，根据实际成像像素点完全贴合图像拍摄支持多种拍摄方式，可单张、可连续拍摄，支持视频拍摄，并一键测量。左右接触角区分支持分析方法座滴法、纤维法、动态润湿法、悬滴法、倒置悬滴法、附着滴法、插针法、3D形貌法、气泡捕获法分析方式 润湿性分析、静态分析、实时动态分析、拍照分析、视频分析、前进后退角分析保存模式Word、EXCEL、谱图、照片、视频总结1、晶圆接触角测量可以订制，适用于各种半导体制造中常用的6英寸、8英寸、12英寸等尺寸的晶圆。2、高精度测量：可以在非常小的范围内准确测量晶圆表面的接触角，具有高度的重复性和准确性。3、多功能性：晶圆接触角测量仪通常具有多种测试模式，可以测量不同类型的表面处理，如刻蚀、沉积、清洗等过程对接触角的影响，可以提供全面的表面质量评估。4、高效性：晶圆接触角测量仪可以在非常短的时间内完成多个晶圆的测量，提高了实验的效率。5、自动化程度高：晶圆接触角测量仪通常具有自动化控制和数据处理系统，可以自动完成晶圆的定位、测量和数据处理，减少了实验人员的工作量和误差。晶圆接触角测量仪是一种专门用于测量半导体晶圆表面接触角的仪器。相比传统的接触角测量仪，它具有以下优势：1、适用于大尺寸晶圆：晶圆接触角测量仪通常具有较大的测试平台，能够容纳大尺寸的晶圆，适用于半导体制造中常用的6英寸、8英寸、12英寸等尺寸的晶圆。2、高精度测量：晶圆接触角测量仪使用高精度的光学传感器和计算算法，可以在非常小的范围内准确测量晶圆表面的接触角，具有高度的重复性和准确性。多功能性：晶圆接触角测量仪通常具有多种测试模式，可以测量不同类型的表面处理，如刻蚀、沉积、清洗等过程对接触角的影响，可以提供更全面的表面质量评估。3、高效性：晶圆接触角测量仪可以在非常短的时间内完成多个晶圆的测量，提高了实验的效率。4、自动化程度高：晶圆接触角测量仪通常具有自动化控制和数据处理系统，可以自动完成晶圆的定位、测量和数据处理，减少了实验人员的工作量和误差。综上所述，晶圆接触角测量仪具有高效、高精度、多功能等优点，在半导体晶圆表面处理和质量控制中具有广泛的应用前景。