产品名称:多路浮子控制供气系统主要特点:本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用,而不会造成大气进入加热炉管。 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。 每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。 显示流量准确,可有效地控制气体消耗量。 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。工作原理:由气体钢瓶输入两种气体,形成A,B两种组份,经过减压阀减压,输出所需流量的气体,再通过调节每一组分的体积流量,输出预定比例关系的混合气体,达到加热炉所需求得气氛。三个连接头可连接二或三只气体钢瓶(只能同时启用二个钢瓶),如:H2/AR,H2/N2,O2/N2等。 严禁氢气和氧气同时供气,保证安全。 将配比器进口的三个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上,其中之一是氢气专用连接头,选择连接好两种气体,按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮,再旋转减压阀旋钮增大气体压力,调节两种气体流量,输出所需要的压力和流量。 本供气(混气)系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统,尤其方便多种气体的切换混合使用;气体压力和流量数据在同一平面直观可读,操作方便;每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全可靠!本系统广泛用于CVD供气系统,气体保护烧结,气体保护退火等。技术参数:气路通道:6(可根据客户需求设计1-8通道) 气路流量控制器: 采用质量流量计控制 标准量程(N2):200,500 SCCM 准确度:± 1.5% 线性:± 0.5~1.5% 重复精度:± 0.2% 响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec 工作压差范围:0.1~0.5 MPa 最大压力:3MPa 接口:&Phi 6,1/4'' 显示:4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 不锈钢管:&Phi 6(外)X &Phi 4内 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀:&Phi 6
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