小流量气体质量流量传感器

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小流量气体质量流量传感器相关的厂商

  • 山西科致成科技有限公司（气体传感器报警仪综合校验台）
    山西科致成科技有限公司是专业从事气体传感器、报警仪校验检定装置研制开发、设计制造、技术服务和销售为一体的大型科技生产型企业，公司自创业以来，历经多年的市场风雨的洗礼，通过实施严格的区域代理制度及销售服务体制，以客户利益为最优先考虑来开展业务运营。在各级煤矿检测中心、经销商、用户和厂家的共同努力下，科致成校验装置得到了用户的广泛认可与信赖。科致成已成为国内同行业的领导品牌，成为了山西省煤矿行业的知名企业。 公司位于太原高新技术开发区，其前身太原科导电子有限公司始建于2002年，具有近十多年的光辉历程和先进的生产制造经验，是国内第一家生产KA型调校检测仪的厂家，产品畅销全国，山西科致成科技有限公司承继太原科导电子有限公司的产品品牌和生产优势。 公司技术力量雄厚，工艺设计先进，质量保证体系完善，检测手段先进、化验设备齐全，已通过GB/T19001-2008 idt ISO9001:2008质量管理体系认证。 企业主导产品为KA83J车载甲烷传感器检定装置、KA83型智能多路多功能校验台、KAJC-1型分站检测仪等KA系列产品，是国内品种最多、功能覆盖面最宽的气体传感器报警仪校验检定设备生产企业。KA83型、KA8316型品牌产品具有较高的声誉和市场知名度，不仅畅销省内，而且远销山东、河北、河南等省份和地区。 公司拥有通工艺、技术精的科研队伍，凭借着丰富的工作经验及专业知识，所生产的气体传感器校验台、气体报警仪检定装置始终保持着国内一流的技术水平，特别是KA83型智能多路多功能校验台在国内同行业中遥遥领先。 公司具有独特优势： 1、山西省内煤矿行业知名品牌； 2、具有东山煤矿、西山煤矿、华润联盛煤矿企业公司新品试验基地； 3、具有霍州煤电技术检测中心成熟产品培训基地； 4、和山西理工大学精诚合作，研发KA系列产品软件，拥有自主知识产权。 4、研发校验检定设备，属国内首创。 5、产品已通过山西省科技厅成果鉴定，具有国内领先地位； 6、产品已通过山西省经信委、煤炭厅新产品鉴定，可批量生产。 7、产品已在山西省质量技术监督局备案，并已申报多项国家专利。 公司可以根据用户要求，按照国家标准为您定做8路、16路、32路等多路甲烷、氧气、一氧化碳、二氧化碳等气体传感器报警仪校验台/检定装置，集设计,制造,安装,售后一体化,为您提供优质各种矿用气体检定装置/校验台；　　　未来，山西科致成科技有限公司将继续以高质量、低成本、全球化为战略目标，以高标准、精细化、零缺陷为作业路线，集成知识，整合创新，打造世界级品牌和全球最具竞争力的气体传感器报警仪校验检定设备制造基地。
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  • 厦门精川自动化科技有限公司流量计
    厦门精川自动化科技有限公司坐落于厦门经济特区的核心地区，是一家由专业从事“流量计量和控制系统设计”领域多年的优秀团队组建成立的，专业生产电磁流量计，涡轮流量计，涡街流量计，蒸汽流量计，靶式流量计，质量流量计,明渠流量计，超声波流量计等流量仪表的专业生产厂家并专门为客户提供流量计量和控制解决方案的设计，配套产品的生产、销售、安装和调试一体化服务的高新技术企业。 　　公司秉承着“创新铸就品质，服务赢得信赖”的经营理念，依托成熟的技术和周到的服务，精川的流量计和设计方案广泛应用于化工、能源、电力、军工、石化、制药、冶金、机械、电炉、热处理、食品、造纸、航空、电子、新能源、环保及科研实验等众多领域，深受客户的信任和好评。 　　厦门精川始终坚持以顾客和市场为导向，专注于科技创新，做能够为客户增值的产品，力求双赢、与客户共同成长，立志打造成“中国性价比最高的品牌流量计生产厂家”。
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  • 开封东科流量仪表有限公司
    ?? ? ? 开封东科流量仪表有限公司坐落于流量仪表基地“八朝古都”开封，是专业从事流量仪表研制、开发、设计、生产的技术企业。公司自成立以来，在广大员工不断创新、团结协作之下逐步发展成为一家技术力量雄厚、生产设备先进、检测仪器及配套设施完善的现代化计量产品的生产企业。? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ??? ? ? ? 公司主要生产电磁流量计、涡街流量计、金属转子流量计、涡轮流量计、V锥节流装置等产品的开发、生产及销售、科研、开发、设计生产均严格按照国际标准执行，每一个细节都有严格的操作规程。? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? 公司凭借优良的设备，雄厚的实力，科学的管理，完善的服务赢得了广泛的市场支持。公司产品更是凭借过硬的质量广泛服务与石油、化工、冶金、纺织、机械、供热、供电、供水、科研计环境工程等众多产业。东科人本着以人才和技术为基础，以创造好的产品和服务为宗旨
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  • 微流量气体质量传感器CAFS3000
    CAFS3000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。CAFS3000是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路（MCU）组成.集成的Δ-ΣA/D转换器和具有内部校准功能的逻辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯方式，用户可以很方便的得到进行通信得到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。产品特点○ 精度高(1.5％F.S精度)○ 线性输出和温度补偿○ 以最小的零漂保持长期稳定性○ 固态传感核心(无表面空洞或易碎膜)，抗堵塞和压力冲击○ 模拟输出(1至5 V)○ 快速响应时间(20 ms响应时间)○ 细微流量范围测试 0-1000sccm○ 数字输出 可提供I2C数字输出，输出内容可定制○ 抗污染能力强，可耐冷凝水 使用场合○ 制氧机○ 防毒面罩和呼吸器○ 喷雾器○ 持续气道正压通气(CPAP)设备○ 麻醉分娩○ 检漏○ 光谱仪○ 质量流量控制器○ 通讯系统○ 环境气候控制○ 色谱仪电器特性测试条件：VIN=12±0.01VDC，Ta=25°C。相对湿度：40％相对湿度60％最大工作温度范围-25°C至+85°C规格CAFS3000最小值正常值最大值单位备注流量范围0—2000sccm可定制供电电压81224V电流2015mA最大电压输出4.9455.02V零点电压输出0.9811.02精度1.52%FS耐压0.3MPa可定制分辨率0.1%全量程响应时间2030ms零点漂移0.2%Year全量程温度漂移4%0℃-50℃整体材质碳化硅，环氧树脂，聚苯硫醚，FR4，硅作为密封材料
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    厂商： 无锡康森斯克电子科技有限公司
    品牌： 未知
    型号： CAFS3000
    价格： 399元
  • MF3000M气体质量流量计MF3000S微型流量传感器铭鸿仪表
    MF3000M气体质量流量计MF3000S微型流量传感器产品简介：MF3000系列气体质量流量计采用旁路设计并使用本公司的MEMS流量传感器芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和得以大幅度提升。时域流量传感技术还提供了线性度，并使用度效应大幅降低。MF3000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF3000系列气体质量流量计测量范围覆盖（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM,该流量计工作压力提高到0.8MPa，MF3000系列气体质量流量计提供多种信号输出，通过RS485或I2C数字通讯接口可实现远程数据采集与设置，并可选择NPN或PNP开关信号输出。MF3000系列气体质量流量计同时具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或者查询流量计的参数。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。产品特点：质量流量，时域传感技术全量程（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM全量程优良的重复性可测量多种气体不需要修正多种输出信号可选支持多种连接方式，易于安装与使用工作原理MF3000系列气体质量流量计是基于铭鸿仪表公司自主研制MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。该流量的MEMS芯片上集成了微热源与温度传感器。当没有气体流过时，MEMS芯片上的微热源周边形成稳定的温度场分布。MEMS芯片上温度传感器将测量到具体的温度变化并转换为电信号，经放大、调理和线性化处理后，通过LED显示或模拟、数字信号输出。由于不同种类的气体对微热源周边形成稳定的温度场分布所产生的温度变化不同，所以能测量气体的质量流量。技术参数：流量范围：2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM量程比：50：1精度：±（2.5+0.5FS）%重复性：1.0%零点稳定度：±30MV输出漂移：±0.12%/℃响应时间10MS工作电源：8-24VDC,50MA信号输出1：RS485或I² C信号输出2/3：模拟电流4-20mA/模拟电压：1-5VDC/NPN/PNP显示方式：4位4段LED数码管，2个指示灯显示单位：瞬时流量：SLPM 累积流量：SL或Nm³ 显示分辨率：瞬时流量：0.01SLPM,累积流量：0.1SL或0.01Nm³ 工作压力：0.8MPa工作温度：-10～+55℃储存温度：-20～+65℃工作湿度：95%RH（无结冰、无凝露）机械接口：BSRT1/4外螺纹 4、6、8MM快速接头 或8mmL型接头 BSPT1/2内螺纹按键：三个按键校准方式：空气（20℃，101.32kPa）电气接品：6针插座，广濑：DF51K-6P-2DS符合性：RoHS,REACH备注：1.为了流量计的测量精度，使用前需要预热一分钟2. 传感器默认为空气校准，测量 其它气体时，精度会有所下隆3. 默认响应时间这10MS可通过修改滤波调慢响应时间。4. 以上参数在为20℃101.325kPa下测得。输出引线定义：1、红色：信号输出3：NPN/PNP2、灰色：信号输出2：模拟电流4-20mA/模拟电压1-5VDC/PNP/NPN3、蓝色:GND 电源/信号地（-）4、棕色：VCC电源正8-24VDC（+）5、黑色：RS485A(+)I² C时钟线（SCL）6、白色：RS485B(-）I² C数据线(SDA）流量计的电气接口为DF51K-6P-2DS（广濑），出厂时带一型号为DF51K6-100的配线，长度 为100CM，一端为插头DF51K-6S-2C(与DF51K-6P-2DS配套连接)另一端散口。
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    厂商： 广州铭鸿自动化仪表有限公司
    品牌： 3M
    型号： MF3000M
    价格： 1000元
  • 气体质量流量控制器
    苏州爱拓利电子设备有限公司（爱拓利AITOLY）是一家质量流量计和控制器的专业研发制造商。爱拓利专注于微小流量测量与控制，拥有完全自主知识产权的传感器、高精度比例阀等，研发生产的质量流量计及流量控制器，在工业和科学领域已稳定运行十数年。爱拓利公司现主推MFC330和MFC300两个系列热式气体质量流量计MFM，流量控制器MFC。MFC330系列使用毛细管柱传感器，其传感器、比例阀等核心器件均为自主研发，具有稳定性高、抗腐蚀、高精度、高重复性等特点。MFC300系列使用MEMS传感器原理，该系列产品具有响应速度快、无需预热、精确度高等特点 另有皂膜气体流量标准装置，应用于计量院及第三方检定单位。Aitoly 气体质量流量计广泛应用于科研院所、半导体、光伏、真空镀膜、分析仪器、生物工艺和生物反应、环境保护、石化、食品、工业自动化及军工等行业。
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    厂商： 苏州爱拓利电子设备有限公司
    品牌： 爱拓利/aitoly
    型号： MFC300
    价格： 2000 - 5000元
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  • 超声波气体流量传感器国产化助力燃气计量行业转型升级
    一、燃气表行业背景分析近年来，我国加快推进“煤改气”工程建设，天然气已经成为我国现代清洁能源体系的主体能源之一。到2020年，天然气在一次能源消费结构中的占比力争达到10%左右，到 2030 年，占比提高到15%左右。在这些燃气迅速发展的利好消息促进下，燃气计量行业将迎来巨大的发展契机。膜式燃气表因其技术成熟、质量稳定和价格低廉等优点，在我国城市燃气发展中得到广泛应用，随着计算机和微电子技术的发展，膜式表也逐步实现了智能化，目前在燃气计量行业仍然占据着主导地位。但膜式燃气表结构复杂、易磨损、易受管道介质温度压力等客观因素的影响，导致测量精度降低。热式（MEMS）燃气表是利用热传递原理测量燃气标准状况下流量的一种新型燃气计量器具，采用全电子结构，无机械运转部件，体积小、精度高。虽然可以针对特定天然气组分进行修正，但是从原理上还是易受多种不同气体组分影响，温度的影响修正也相对复杂，同时长期的污染物沉积使得MEMS芯片响应变慢影响精度，使得其应用受到限制。超声波燃气表以其非接触测量、无可动部件、无压力损失、极高的计量精度和可结合更多的智能化应用等优势，引起国内外的高度重视，是近年来燃气计量领域的开发热点。 二、超声波燃气表的研究与应用现状其实早在上世纪九十年代，英国、德国等国的多家燃气公司已陆续开发了超声波燃气表。受当时超声波探头、计时芯片、电子技术等的因素限制，价格还是非常高昂，无法与传统膜式燃气表竞争。进入二十世纪后，超声波燃气表的关键部件价格大大降低，迎来了超声波燃气表的快速发展。日本东京燃气公司于2003年7月开展了超声波燃气表的各种现场测试，于2005年率先安装了5000台超声波燃气表至用户家中，在2008年全面使用超声波燃气表。目前国际上的超声波燃气表技术主要来源于松下、西门子等公司，他们在超声波领域深耕多年，从流道结构、软件算法、超声波换能器及模块到整机，都有着诸多专利。虽然国内现有多家燃气表公司已开始研发超声波燃气表，但是大多数厂家还是使用松下的超声波燃气表传感器方案，也就是购买松下的电路板和超声波探测器，自己配套外壳组装成超声波燃气表。这样的模式使得国内厂家生产的超声波燃气表价格偏高，市场推广受到限制。我国燃气表产业生态已经基本建立，因此积极开展自主知识产权、可以满足燃气表规范要求的超声波气体流量传感器的技术研究，对于打破国外技术垄断、促进我国燃气表转型升级发展具有重要意义。 三、超声波燃气表用气体流量传感器核心关键（1）超声波换能器的自主研制。目前满足超声波燃气表计量要求的核心部件的超声波换能器基本都是进口，价格占总成本的40%。国产化的难点是其带宽以及高低温特性，既要保证较长的测试距离提高测试分辨率、较高灵敏度提高信噪比，还需要考虑不同温度下的测试漂移。 （2）燃气表的性能和稳定性问题。超声波燃气表由于无机械部件，理论上稳定性较传统膜式表要高很多，但膜式表在国内多年的使用中，已广泛被燃气表公司和客户接受。超声波燃气表如何在稳定性上达到燃气表公司的需求，打消燃气表公司的顾虑，是超声波燃气表迈向市场化的非常重要的一关。（3）气体污染问题。与膜式燃气表一样，由于超声波燃气表的常年运行，燃气中的粉尘或杂质会附着在超声波换能器上，影响换能器对信号的接收敏感度，从而影响燃气表测量准确度。（4）气源适应性问题。天然气密度比空气小，信号也较空气小；不同密度的气体通过超声波换能器后，其信号的波形会很不稳定。超声波信号传输会受传播介质、环境（温度、湿度、压力）以及管道内反射等各种因素影响，接收到的超声波信号通常存在着波形变化、幅值变化。因此，家用波燃气表要想进入家庭，并广泛使用，对气源的适应性是需要克服的最重要一关。 四、超声波燃气表用气体流量传感器技术特点四方光电公司自2008年开展对超声波气体传感器的研究以来，通过在超声波换能器、时间计量芯片以及时差自动计算方法、流程成分同时感知等领域取得突破，特别是在超声波氧气流量传感器、超声波沼气流量计等领域实现了规模化生产应用，具有较好的技术和产业基础。针对家用燃气表需要的超宽量程比、宽温度范围、抗污能力、脉动气流测量等特殊要求，开发成功满足超声波燃气表用的超声波气体流量传感器。（1）“L”型流道结构设计。超声波燃气表用超声波气体流量传感器采用“L”型流道设计，包括腔体、进气口、出气口及两个超声波换能器，通过将气室腔体的横截面设置为圆形，将超声波信号在第一个换能器安装孔和第二换能器安装孔之间的传播路径设置为“L”型流道，如图1所示。 图1. 燃气表用超声波气体流量传感器结构原理图传统超声波燃气表气体流量计量气室的“W”型发射流道，“V”型对射单通单流道以及“N”型对射单通单流道，都是通过超声波在流道内产生一次或多次反射而形成的路径以增加超声波声程，间接增大了换能器的有效距离，从而获得更高测量精度。但其缺点是通过反射后探测器信号较弱，信噪比降低，对换能器的要求很高。因此造成成本也较高。采用“L”型流道、圆形横截面的超声波燃气模块，克服了现有超声波燃气表气体流量计量气室管道的横截面积较大，气室体积较大，成本较高的问题，以及两个超声波换能器之间传播距离较短，降低测量结果准确性的问题。同时，还避免了被测气体中的污染物污染超声波换能器，从而影响检测结果准确性的问题。（2）用双阈值过零检测与数据选择技术。以时差法超声波气体流量计为基础，采用双阈值过零检测与数据选择算法技术，区别于超声波自动增益控制法，不对信号进行处理，通过关联幅值与飞行时间周期变化的关系，根据幅值判断飞行时间是否发生周期性变化，从实际测量得到多个结束方波脉冲对应的时间值中选择合适的结果，作为最终的飞行时间，从而精确计算气体流量。（3）自动调零算法。燃气表在温度、压力等外部因素变化条件下，对超声信号产生一定的影响，从而影响计量的时间差；此产生的时间差变化，可能只有ns级别，对高端流量几乎没影响；但对于低端流量，特别是Qmin，影响非常大，造成测量精度超过标准要求。另外，燃气表在无流量情况下的零点，可能受到超声波换能器零点的漂移影响，产生整体计量的漂移，对低端流量造成较大的影响，这是低端流量精度和稳定性超标最重要的原因。针对超声波换能器的零点漂移问题，在软件算法上，采用自动调零的处理算法，超声波燃气表采用可调整的零点，并根据超声波换能器的信号波动特点，软件上自动调整超声波燃气表的零点，保证在外部因素或内部因素作用下，超声波燃气表的零点随环境变化而适当做出调整，抵消由于零点漂移对低端流量产生的影响；同时，考虑电路整体对时间差值的影响，在软件算法上，补偿此部分对测量的影响。 五、超声波燃气表用气体流量传感器的应用基于专利的气体流量传感器硬件和软件核心技术，四方光电公司针对我国家用表以及五小工商户客户的需求，成功开发出超声波家用和商用燃气表。其核心传感器部件见图2：图2. 家用和商用超声波燃气表核心传感器部件解决核心燃气表气体流量传感器后，就可以利用以往具有的外壳、皮膜阀、电源管理等组装燃气表。图3是采用超声波核心流量传感器的G4燃气表。 图3. G4超声波燃气表(内置国产化核心流量传感器)根据燃气表的计量要求，进行了宽量程的燃气表误差特性以及耐久性实验。 图4. G4超声波燃气表典型误差曲线 图5. G4超声波燃气表耐久性误差曲线由于我国超声波燃气表的国家标准还处于征求意见稿阶段，因此借鉴了EN-14236欧洲有关“ultrasonic-domestic-gas-meters”标准进行完整的测试。除以上图示的基本试验，还进行了线性度、压损、高低温、交变湿热、耐粉尘、脉动流量等试验。试验表明基于超声波气体流量传感器核心模块的燃气表均满足燃气表的各项指标要求。作者简介熊友辉博士，教授级高工。中国科协九大代表、中国仪器仪表学会理事、分析仪器分会副理事长。主持过科技部重大科学仪器设备开发专项、工信部物联网专项、湖北省重大科技专项等多项国家和省市科技项目。现任武汉四方光电科技有限公司总经理。 公司简介武汉四方光电科技有限公司是一家专业从事气体传感器、气体分析仪器及物联网解决方案的国家高新技术企业，其全资子公司——四方仪器自控系统有限公司，以自主知识产权的核心传感器技术为依托，陆续推出了红外/紫外烟气分析仪、红外煤气分析仪、红外天然气热值仪、激光拉曼气体分析仪等气体成分分析仪器，并先后研制了超声波气体流量计、超声波燃气表核心传感器部件、智能超声波燃气表等燃气流量测量产品。四方光电通过了ISO9001、ISO14000、ISO18000、IATF16949等有关质量、环境、健康安全、汽车电子等体系认证，目前已与多家世界五百强企业建立长期配套合作关系。
    时间： 2018-12-20
    作者： 四方仪器
  • 七星华创CS300系列气体质量流量控制器亮相“十一五”成就展
    仪器信息网讯 2011年3月7日至14日，北京七星华创电子股份有限公司的CS300系列气体质量流量控制器亮相国家“十一五”重大科技成就展。 CS300系列气体质量流量控制器 　　CS300系列产品是北京七星华创电子股份有限公司为大规模集成电路设备专门设计的新一代产品。 　　该产品采用先进的金属表面处理技术，与气体接触的金属表面符合大规模集成电路设备的严格要求。产品采用了基于DF的压力不敏感信号处理算法、恒功率传感器技术、数字温度补偿系统、VCP的阀控制技术等先进的技术，可以有效地抵抗前端气体压力扰动，环境温度扰动，产品精度高，响应时间快，控制稳定。 　　关于北京七星华创电子股份有限公司： 　　北京七星华创电子股份有限公司传承四十多年电子专用设备及电子元器件的生产制造经验，于2001年9月成立，是一家以微电子技术为核心，以电子专用设备与新型电子元器件为主营业务，集研发、生产、销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。2006年，公司开始与美国顶尖流量计技术团队合作开发新品，获得成功，CS200数字式产品已经应用于真空、半导体领域。2010年推出了代表国际先进水平的CS300压力不敏感质量流量控制器，该产品仅国外高端的质量流量计生产厂家才能生产。
    时间： 2011-03-13
    作者： 刘玉兰
  • 国内学者成功研发石墨烯温度流量一体化传感器
    p style=" line-height: 1.75em " 　 & nbsp 国内科研人员成功研发基于石墨稀材料的大量程、高精度的流量、温度传感器，有望在热力系统进行规模应用。 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/3e7bf569-3c52-4b91-b4b2-dd53a82c552f.jpg" title=" 20160407151516449.jpg" / 　　 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " 清华大学 朱宏伟 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　近日，清华大学朱宏伟教授团队和北京华大智宝电子系统有限公司合作开发出石墨烯温度流量一体化传感器件。他们针对热力系统检测用流量、温度传感器的应用需求，通过对石墨烯传感的作用与规律研究，突破石墨烯材料在热量表流量计应用的关键技术，开发热力系统检测用石墨烯流量、温度传感器件，解决了现有传感器表面结垢、功耗高等问题，形成了批量制备能力，有望在热力系统进行规模应用。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　该团队完成了石墨烯晶片形状、尺寸、表/界面状态对传感性能调制研究，通过基于石墨稀材料的传感工艺结构设计，开发了大量程、高精度的流量、温度传感器。流量传感器元件测量范围达到0.01~6m3/h，测量精度达到0.005m3/h 温度传感器元件测量范围达到0~100℃，测量精度达到0.02℃。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　在石墨烯流量、温度传感材料基础上，同时开展了两项拓展研究：1)提出了一种实现高灵敏柔性应变传感的新思路，通过石墨烯与超弹超薄高分子材料复合构建了一类基于柔性传感器原型器件，开发了面向可穿戴装备的传感器的制造方法和工艺，在应变、压阻、扭转、挥发性有机物、声波等几个典型传感应用上进行了探索，并可探测脉搏、语音等微弱生理信号，有望应用于移动医疗、可穿戴式设备等领域 2)研究了水在石墨烯层片孔中的扩散特性，开发了一种同位素标记法，揭示了水分子在石墨烯中的扩散系数比微孔滤膜中微米尺寸通道的扩散系数高4~5个数量级，证明了水分子可超快速传输，为基于石墨烯的传质特性研究奠定了基础，并在快速过滤与分离领域展现出广阔的应用前景。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　相关研发成果已发表SCI收录论文15篇，申请国家发明专利5项，获授权实用新型专利1项。所制备的六种传感器发表在ACSNano、Adv.Funct.Mater.、Small、NanoRes.、Appl.Phys.Lett.、Chem.Commun.等期刊上，并被学术媒体Nanowerk、Graphene-Info和MaterialsViewsWiley做为研究亮点报道，被评价为“…全新的传感机制、石墨烯的高性能应用…”，“石墨烯的机电效应结合其它特性…促进了在高灵敏传感中的应用，…这些传感器的潜在用途包括柔性显示、智能服装、电子皮肤、体外诊断等，在可穿戴健康检测类设备上有较大的应用空间”。 /p p br/ /p
    时间： 2016-04-08
    作者： 产研-星羽
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小流量气体质量流量传感器相关的方案

  • 半导体生产中的气体流量测量
    电子元件的生产过程需要各种不同的气体，如氮气、氩气、氦气甚至是压缩空气。这些工业气体大多不是在现场生产的，而是从外部采购的，这意味着它们涉及相当大的成本。除此之外，生产压缩空气还需要消耗大量的能源，这也意味着巨大的成本。为了确定主要消费者并尝试优化生产过程的操作，首先必须测量各种体积流量。便携式 FLUXUS G601 超声波流量计成为一家半导体生产商的理想测量系统：由于采用了非侵入式的测量技术，不需要打开现有的管道来设置临时的流量测量点，因此不会中断生产。由于外夹式超声波传感器只需安装在管道外部，不与内部流动的气体接触，所以绝对没有污染高纯度介质的风险。因此，外夹式超声波系统也可以毫无顾虑地在洁净室环境中使用。此外，FLEXIM 的非侵入式测量技术也不存在泄漏的风险。FLUXUS G601 的用户特别欣赏其简单实用的可管理性、可靠性以及卓越的灵活性和多功能性。连接传感器后，测量主机会自动检测并读取存储的数据（传感器类型、序列号、校准数据）。这使得测量点的设置更加容易，并确保测量值的准确性和可追溯性。便携式 FLUXUS G601 以及永久性 FLUXUS G721 或 G704CA 超声波系统适用于各种气体以及压缩空气的非侵入式流量测量，几乎可用于所有管道材料。
  • 众瑞ZR-5001型干式气体流量计测量解决方案
    ZR-5001型干式气体流量计具有测量准确度高、稳定可靠和使用方便等优点，可应用于工业、卫生、环保和实验室等精度要求高的领域。该流量计弥补了传统流量计和皂膜流量计的不足，在微小流量的检测上领先国内其他厂家，具备一级流量精度。
  • 透射电子显微镜样品杆输运气体真空压力和流量精密控制解决方案
    针对环境扫描/透射电子显微镜对样品杆中的真空压力气氛环境和流体流量精密控制控制要求，本文提出了更简单高效和准确的国产化解决方案。解决方案的关键是采用动态平衡法控制真空压力，真空压力控制范围为1E-03Pa~0.7MPa；采用压差法控制微小流量，解决了以往采用质量流量控制器较难对混合气体和微小流量准确控制的难题，可实现气体和液体在0.005sccm~10slm范围内的流量的高精度控制。
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  • 气体质量流量传感器实现空气净化高精度测量

    [color=#333333]近年来，环境污染一直都是大家关注的话题，环境污染的严重化导致了空气净化等相关市场的快速发展，而且到目前为止净化产品市场已逐渐趋于饱和状态，但是对于产品性能依然是用户最主要的选择，而在性能方面，[/color][url=http://www.isweek.cn/category_5.html]传感器[/url][color=#333333]则占据了核心地位。环保需求日益迫切，气体传感器的环境监测成为环保的迫切需求，加之传感器技术本身的不断发展，正推动环境监测有望成为物联网垂直领域中率先落地的亮点应用之一。气体传感器除了监测环境以外还广泛应用于工业、生活的各个领域，如石油、化工、钢铁、冶金、矿山、市政、医疗、食品等诸多领域。近年来，随着互联网与物联网的高速发展，气体质量流量传感器在新兴的智能家居、可穿戴设备、智能移动终端等领域的应用突飞猛进，大幅扩展了应用空间，需求量也发生数量级的改变。[/color][color=#333333][url=http://www.isweek.cn/category_12.html]气体质量流量传感器[/url]是一种常用的流量测量仪器，主要针对于空气、氮气、氢气、天然气、过氧化氢、甲烷、丁烷、氯气等进行测量。对蒸汽、氮气、二氧化碳、氢气等测量的 气体流量计的校准要求在不断增加。由于采用这些气体进行大规模校准的设施并不多，因此采用另一种流体进行校准几乎是唯一的选择，且在许多情况下是一种合理的、可替代的选择。如果流动条件可以估算出来，那么就可以在与操作条件不同的条件下对气体流量计进行校准，估算流动条件所采用的参数通常为关于该气体流量计入口直径的雷诺数。针对空气净化监测问题工釆网推出来了专为普通气体流量监测开发的产品：[url=http://www.isweek.cn/82.html]气体质量流量传感器 - FS4000[/url]。气体质量流量传感器FS4000系列是采用世界领先的微机电系统流量传感器技术和智能电子控制MEMS技术，具有灵敏度高、零点稳定度高、全量程高稳定性、高精度、优良重复性、低功耗、低压损、响应时间快等特点，不仅适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等），其中FS4003气体质量流量传感器管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM适用于粒子计数器和各类分析仪器。而管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等。另一方面采用多种模式输出RS232/RS485/模拟电压0.5V~4.5V，用户可以随意对输出信号进行获取开发，快速的响应时间10ms同时可以实时监测瞬时流量，其中最大工作压力可达5bar，能应用到许多场合，机身质量也只有70g，方便用户做进一步开发利用。关于气体传感器的发展也将和其它传感器一样，[url=http://www.isweek.cn/category_11.html]气体传感器[/url]的发展的趋势也将是微型化、智能化和多功能化。其中纳米、薄膜技术等新材料制备技术的成功应用为气体传感器实现新功能提供了条件。利用MEMS技术帮助实现传感器尺寸小型化，进而研究多气体传感器的集成以实现多功能化。而气体传感器与数字电路的集成则将成为实现智能化的必然途径。小型化智能化的气体传感器将成为激活市场的新亮点。转载本站文章请注明出处：仪器仪表应用_传感器应用_智能硬件产品 - 工采资讯 http://news.isweek.cn/?p=4605[/color]

  • 气体流量传感器在大气环境监测中的应用

    气体流量传感器在大气环境监测中的应用

    [align=left]跟随经济社会的快速发展，我们对公共气象服务需求越来越大，对即时气象信息获知的要求接连不断提高，但是，气象服务在覆盖面存在许多不足之处，气象预报服务局部地区的监测站密度不够，对局部的自然灾害的预警能力不够，导致灾害来暂时，经济损失较大。[/align][align=left]大气污染的日益加剧和雾霾现象的频繁发生，带来的影响也越来越大所以说大气环境监测还是很有必要的，有关气象部门给出的结果一定要具有真实性、准确性，增加气象信息的传输途径，提高城市气象监测系统，能够实现对实时交通、能源、建设空气污染等可能引发自然灾害的研究和动态监测，构建集气象服务与生态环境预测系统，提高城市工程气象的服务，进而采取有效的预警措施，减少损失。[/align][img=,497,323]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/11/201811201152135935_3204_3422752_3.jpg!w497x323.jpg[/img]要想对大气环境进行准确监测还需要用到气体流量传感器，可以安装到空气采样报警系统中，这种安装有气体流量传感器的空气采样报警系统与传统被动式烟雾探测系统相比，安装气体流量传感器的空气采样报警系统的灵敏度更高，可靠性和稳定性更好，不会因安装高度因素而漏报，同时也可以更好的对抗环境气流等原因的影响。（气体流量传感器平常被用于当中检测气流大小和有无）气体流量传感器空气采样报警系统通常用于数据或通信机房、大型展会中心、无人值守会议室等大面积、高气流的地方以及银行、档案馆和轨道交通等重要地方。气体流量传感器空气采样报警系统是主动抽取样品气体进行检测，从而能够在空气颗粒物浓度极低的情况下进行判别，属于极早期火灾探测系统。为了确保报警器的激光检测腔内有气流进入，平常可预先加装入气体流量传感器进行监测，幸免因无检测气流送入而贻误险情。OFweek Mall推荐使用FS4000系列的气体流量传感器进行大气环境监测：[b]气体质量流量传感器-FS4000系列[/b]1）专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计2）支持多种连接方式，易于安装与使用3）传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量4）在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高5）输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压6）零点稳定度高7）全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性8）低功耗、低压损9）响应速度快相关传感器分类：气体传感器丨氨气传感器丨二氧化硫传感器丨一氧化碳传感器丨臭氧传感器丨氧化锆氧气传感器丨气体流量传感器https://mall.ofweek.com/category_12.html丨空[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]量传感器丨二氧化碳传感器丨氧气传感器丨可燃气体传感器丨酒精传感器丨微量氧传感器丨PID传感器丨温湿度传感器丨湿度传感器丨光纤应变传感器丨voc传感器丨氧化锆传感器丨光电液位传感器丨超声波液位传感器丨紫外线传感器丨CO2传感器丨CO传感器丨超声波传感器丨UV传感器丨光离子传感器丨PH传感器丨荧光氧气传感器丨流量传感器丨光纤传感器丨光纤压力传感器丨双气传感器丨PM2.5传感器

  • 气相色谱仪流量控制原理与维护 —— 电子流量控制器中的流量传感器 —— 质量流量计

    气相色谱仪流量控制原理与维护 —— 电子流量控制器中的流量传感器 —— 质量流量计

    [align=center][font='Times New Roman'][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]流量控制原理与维护[/font] [font=Times New Roman]—— [/font][font=宋体]电子流量控制器中的流量传感器 [/font][font=Times New Roman]—— [/font][font=宋体]质量流量计[/font][/font][/align][align=center][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]概述[/font][/font][/align][font='Times New Roman'][font=宋体][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]的电子流量控制单元的流量测量原理和常见流量传感器（质量流量计）的原理[/font][/font][font='Times New Roman'] [/font][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]质量流量计[/font][/font][/align][font='Times New Roman'][font=宋体]工业监控中常见的容积式、叶轮式、涡街式流量计都被用来直接测定流体的体积流量（压差式流量计可以通过流体参数的转化计算获得质量流量），质量流量计与其不同，可以用来直接测定流体的质量流量，而不受流体密度、温度或者压力的影响。[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]质量流量计的压力损失较低、流量测量范围较大。内部无可动部件，可靠性和精度较好，可以用于较低气体流量的测量和控制。[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]质量流量计可以分成科里奥利质量流量计和热式质量流量计两类，可以用于[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url][/font][/font][font=宋体]的电子流量控制器[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]中气体流量测定的是热式流量计（[/font]Thermal Mass Flowmeters[font=宋体]，[/font][font=Times New Roman]TMF[/font][font=宋体]）。[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]热式质量流量计利用流体流过外热源加热的管路时产生的温度场变化来测量流体的质量流量；或者利用加热流体时流体温度上升某一数值所需能量与流体质量之间的关系来测定流体质量流量。[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]热式[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]质量流量[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]计利用[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]热[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]传导原理测定气体的质量流量，即气体的放热量或者吸热量与该气体的质量成正比[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]。[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]被测定[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]气体流过[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]对称排布的两个或者多个温度传感器[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]表面[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]，[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]在不同的质量流速下，温度传感器表面温度会发生不同变化。在一定的流量范围之内，温度变化与气体质量流量存在确定的对应关系，可以利用此原理来进行流量测定，其基本结构如图[/font]1[font=宋体]所示。[/font][/font][align=center][img=,352,249]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209011513235212_6069_1604036_3.jpg!w624x442.jpg[/img][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]图[/font]1 [font=宋体]质量流量计结构示意图[/font][/font][/align][font='Times New Roman'][font=宋体]如图[/font]1-a[font=宋体]所示，在气体流经的管路中安装有加热器[/font][font=Times New Roman]Heater[/font][font=宋体]，在其前后对称的位置，各安装一个温度传感器[/font][font=Times New Roman]TS[/font][/font][sub][font='Times New Roman']1[/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]和[/font]TS[/font][sub][font='Times New Roman']2[/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]。[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]当气体流速为[/font]0[font=宋体]时，由于温度场分布是对称于加热器[/font][font=Times New Roman]Heater[/font][font=宋体]，那么两个传感器的[/font][/font][font=宋体]测定[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]温度相同，均为[/font]T[/font][sub][font='Times New Roman']0[/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]。[/font][/font][font=宋体]当[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]气体质量流量[/font][/font][font=宋体]逐渐增加时[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]，[/font][/font][font=宋体]气体将逐渐[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]携带[/font][/font][font=宋体][font=宋体]加热器[/font][font=Times New Roman]Heater[/font][font=宋体]表面的[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]部分热量，[/font][/font][font=宋体]流量计内部[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]温度场[/font][/font][font=宋体]的[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]对称性被破坏，温度传感器[/font]TS[/font][sub][font='Times New Roman']1[/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]表面温度下降[/font][/font][font=宋体][font=宋体]，由[/font][font=Times New Roman]T[/font][/font][sub][font=宋体][font=Times New Roman]0[/font][/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]变成[/font]T[/font][sub][font='Times New Roman']1[/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]，[/font][/font][font=宋体]温度传感器[/font][font='Times New Roman']TS[/font][sub][font='Times New Roman']2[/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]表面温度上升[/font][/font][font=宋体][font=宋体]，由[/font][font=Times New Roman]T[/font][/font][sub][font=宋体][font=Times New Roman]0[/font][/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]变为[/font]T[/font][sub][font='Times New Roman']2[/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]。[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]在一定的[/font][/font][font=宋体]气体[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]流量范围内，两个温度传感器的温度差[/font][/font][font='Times New Roman']Δ[/font][font='Times New Roman']T[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]（[/font][/font][font='Times New Roman']Δ[/font][font='Times New Roman']T[/font][font=宋体] [font=Times New Roman]= [/font][/font][font='Times New Roman']T2[/font][font=宋体] [/font][font='Times New Roman']-[/font][font=宋体] [/font][font='Times New Roman']T1[/font][font=宋体] [/font][font='Times New Roman'][font=宋体]）[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]与流体的质量流量有确定定量关系[/font][/font][font=宋体]。[/font][font=宋体]两个温度传感器温度差[/font][font='Times New Roman']Δ[/font][font='Times New Roman']T[/font][font=宋体]会随着质量流量的增加而增加，[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]当气体的质量流量趋向于无穷大时，两个温度传感器接触到的几乎都是未被加热的气体，温差[/font][/font][font='Times New Roman']Δ[/font][font='Times New Roman']T[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]也趋向于[/font]0[font=宋体]，如图[/font][font=Times New Roman]2[/font][font=宋体]所示。[/font][/font][align=center][img=,372,166]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209011513338640_4809_1604036_3.jpg!w690x307.jpg[/img][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font][font=Times New Roman]2 [/font][font=宋体]温差与质量流量的关系特性[/font][/font][/align][font=宋体][font=宋体]由温差[/font][font=宋体]——质量流量关系特性曲线可知，[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]热式[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]质量流量[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]计[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]不适合分析[/font][/font][font=宋体]过高[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]的气体流速。[/font][/font][font=宋体]测量微小气体流量由于信号微弱，也存在测量精度较低的问题。[/font][font=宋体]质量流量计测定的[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]气体的质量流量[/font]F[/font][sub][font='Times New Roman']m[/font][/sub][font='Times New Roman'][font=宋体]与两个温度传感器的温度差[/font][/font][font='Times New Roman']Δ[/font][font='Times New Roman']T[/font][font=宋体]的[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]关系式为：[/font][/font][align=center][img=,143,52]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209011513409949_3356_1604036_3.jpg!w690x138.jpg[/img][font='Times New Roman'] [font=宋体]（[/font]1-1[font=宋体]）[/font][/font][/align][font='Times New Roman'] [font=宋体]公式[/font]1-1[font=宋体]中：[/font][/font][font='Times New Roman'] F[/font][sub][font='Times New Roman']m[/font][/sub][font='Times New Roman'] [font=Times New Roman]—— [/font][font=宋体]气体的质量流量[/font][/font][font='Times New Roman'] E —— [font=宋体]加热器的功率值[/font][/font][font='Times New Roman'] Cp —— [font=宋体]气体的比热容[/font][/font][font='Times New Roman']Δ[/font][font='Times New Roman']T[/font][font=宋体] [/font][font='Times New Roman'] [font=Times New Roman]—— [/font][font=宋体]温度差[/font][/font][font=宋体][font=宋体]随着现代微电子[/font][font=Times New Roman]-[/font][font=宋体]微机械技术的发展，出现了微型热分布式质量流量计，外观尺寸可以缩小到[/font][font=Times New Roman]cm[/font][font=宋体]级别，可以作为一个单独的电子元件，方便的安装在色谱仪电子流量控制器的线路板上，并且可以成功解决测定微小气体流量的问题。[/font][/font][font=宋体][font=宋体]其基本原理与热式质量流量计相同，但是加热部件和温度传感器部件的排布方式有所不同，其结构原理如图[/font][font=Times New Roman]3[/font][font=宋体]所示[/font][/font][align=center][img=,338,104]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209011513483717_5810_1604036_3.jpg!w690x213.jpg[/img][font='Times New Roman'] [/font][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font][font=Times New Roman]3 [/font][font=宋体]热分布式质量流量计结构图[/font][/font][/align][font=宋体]流量计的温度传感器在内部电气线路设计方面被连接成电桥方式，可以感知极微弱的温度差异，并且由于总体部件尺寸的缩小，微型热分布式质量流量计可以测定微小的气体流量。与热式流量计相似，热分布式质量流量计不太适合直接测定过高的气体流量。当需要测定较大流量时，需要配备有分流部件，可以较大范围扩展其测量范围。[/font][font='Times New Roman'] [/font][font='Times New Roman'] [/font][align=center][font=宋体]质量流量计的特点和[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]使用注意事项[/font][/font][/align][font=宋体]质量流量计具有较高的流量测定精度，比较适合测定微小的气体流量，测量灵敏度较高，使用性能稳定可靠。可以安装在[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]的进样口载气电子流量控制器中。[/font][font=宋体][font=宋体]比较差压式流量计，质量流量计的惯性较大，不容易实现迅速的流量控制；[/font][font=宋体]’气体的温度和压力变化对流量计的测量准确性影响较小。[/font][/font][font=宋体]质量流量计的使用注意事项：[/font][font='Times New Roman']1 [font=宋体]气体[/font][/font][font=宋体]的类型设置[/font][font=宋体][font=宋体]对于[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]，不同的载气具有不同的比热容，会对流量计的温度[/font][font=宋体]——流量响应关系带来一定的影响[/font][/font][font='Times New Roman'][font=宋体]。[/font][/font][font=宋体]在设定[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱[/color][/url]分析方法时，需要在色谱仪硬件和色谱数据工作站软件中设置正确的载气类型。[/font][font='Times New Roman'] [/font][font='Times New Roman']2 [/font][font=宋体]质量[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]流量[/font][/font][font=宋体]——压力[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]校准[/font][/font][font=宋体][font=宋体]与差压式流量计相同，配置有质量流量计的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]随着运行时间的增长，电气部件性能会发生逐渐变化，流量计内的管路散热情况也会因为堵塞、污染等问题产生差异，都会影响流量计的温度[/font][font=宋体]——质量流量关系，从而影响流量测定的准确性。[/font][/font][font='Times New Roman']3 [font=宋体]气源的要求[/font][/font][font=宋体]气源要求洁净、不含有油污、水分或者固体颗粒物，尽量避免气源压力和流量的瞬间剧烈变化造成流量计的损坏。[/font][font='Times New Roman'] [/font][font='Times New Roman'] [/font][align=center][font='Times New Roman'][font=宋体]小结[/font][/font][/align][font='Times New Roman'][font=宋体]本文简单[/font][/font][font=宋体]介绍[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相色谱仪[/color][/url]电子流量控制器内置质量流量计的基本原理和使用[/font][font='Times New Roman'][font=宋体]注意事项。[/font][/font]

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