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(1)在较长时间抽真空后,日立E-1010离子溅射仪的泵中的油大量进入样品室,然后漏进仪器里面,求原因?(2)仪器里面的油无法全部清理干净,继续进行喷镀,会有危险吗?
(1)在较长时间抽真空后,E-1010离子溅射仪的泵中的油大量进入样品室,然后漏进仪器里面,求原因?(2)仪器里面的油无法全部清理干净,继续进行喷镀,会有危险吗?
有谁用过北京意力博通的ETD800小型离子溅射仪?这个好像是最新型号的溅射仪。北京意力博通有好几个型号的溅射仪。