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真空电弧熔炼炉的分子泵转速上不去,一直在30000左右徘徊,达不到要求的36000,而且测真空的电离规也不亮了。求问大家有什么解决办法?[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/10/201910251915337408_8528_4027985_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/10/201910251915337178_6950_4027985_3.png[/img]
非自耗真空电弧熔炼炉的分子泵转速一直上不去,在30000左右徘徊,达不到要求的36000的转速,而且测真空的电离规也不亮了。[img=,336,448]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/10/201910251821164093_130_4024863_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,270,367]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/10/201910251825142806_6516_4024863_3.jpg!w690x920.jpg[/img]
工作学习当中,我们经常会用到一些国内外的各种仪器设备,但是厂家书写的仪器使用手册过于详细冗长,甚至不易于掌握。遇到不经常用的仪器,更是要连人和仪器一起借过来,才可以使用它,这样一来,往往就非常不方便。当我们“借”不到熟练的使用者时,贸然边学边操作仪器,存在极大地误操作风险,甚至损坏昂贵仪器,并且耗费大量时间和精力。 对于不经常使用的仪器,非核心的仪器设备,由于时间精力还有风险等多重因素,我们压根不想学会使用操作它的方法,也不需要。我们迫切希望,仪器制造商,能够提供“傻瓜式”的仪器操作说明,越简洁越明了,越好,最好等能够让任何能够识字识图的初学者,第一次,就能正确使用它,但是很难遇到这样的情况。 为此,我写了一份机械分子复合真空泵的操作步骤说明,风格就是越简洁越好,不需要阅读,和理解仪器的工作原理,以及为什么这样做的前因后果,后经过吴光恒老师的精心修改,此文方成,在此非常感谢吴老师。但此文修改结束后,发现文章还是太长了,后期我考虑根据吴老师的修改意见,再出一版更加简洁的仪器操作步骤。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][align=center][b][font=华文中宋][size=16.0pt]杜瓦夹层抽真空详细步骤[/size][/font][/b][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]杜瓦夹层不同于一般真空腔,其内部空间弯曲、出气口窄小,而内表面积较大。这导致了两个不利因素:[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]在有了一定真空度后,分子自由程增大,气体不再以流动方式被抽出,而是像乒乓球那样碰撞前行,难以穿过窄小空间;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]夹层内两个大面积表面吸附了很多气体。这导致了短时间内把真空抽上去的难度。有的杜瓦还把活性炭放进夹层吸附气体,更增加了获得高真空的难度。因此,杜瓦夹层与一般真空腔抽空有些不同的地方。但分子泵的使用是大致一样的。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]一.标识图部分:[/size][/font][/b][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,434,274]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240937407447_2275_3389662_3.jpg!w434x274.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]控制仪表面板[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] 1. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]空开控制这个面板的所有动力输入,紧急情况下可以一拉了之;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]高真空计要在具有一定真空度([/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下)的时候方可打开。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]本系统所有阀门的关闭均为顺时针旋转,开启均为逆时针开启,与生活中开关矿泉水瓶子盖一致。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,269]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240943148195_16_3389662_3.png!w690x269.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空泵阀门[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]左图是个典型的机械泵[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵两级真空系统。如果没有“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀”及其通道,则是“非典型”设计,一般厂家为了盈利,有时会故意省略这里,采购时注意。右图中的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1, 2,3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀称为“角阀”。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀称为闸板阀,是既能保持分子泵最大抽气口径,又能抵抗大气压密封分子泵的特殊阀门,不能在一侧为大气压时开动此阀门。注意右图中真空计的高低真空传感器安装在真空室上面,真空计示数指示的仅仅是这个位置的真空度。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵是靠叶片在油中高速运转获得高真空的。因此确定了第一条使用规则:一旦分子泵开动直到其内部完全静止(关断电源仍然转动约[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟),[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀必须始终开启,保证机械泵对分子泵底部的抽气。第二条使用规则是,开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀用分子泵抽真空室之前,必须先对真空室预抽,获得[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下的真空度。这可以通过打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀利用机械泵[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空室这一旁路进行预抽。在开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之前,必须先关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,顺序不能颠倒,否则真空室里的气体会通过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀倒灌进入分子泵底部,轻则憋停分子泵,重则打坏叶片。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]这两条规则的相互矛盾之处在于,只有一台机械泵,严格遵守第一条,就无法操作第二条;操作第二条,则第一条就无法保证。解决的方法是机械泵可以暂时不抽分子泵(就是前面说的“关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀”),一旦把真空室预抽完成后,立即关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀、打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,把机械泵切换到分子泵这边来。这个“暂时”以[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟为度,期间足以把真空腔抽好。但一般大型设备[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟就切换一次,保证分子泵不至于过热。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]尽管各种阀门管道手动电动,位置各异,奇形怪状,但分子泵的原理决定所有系统的拓扑结构是一样的,基本操作规则也是一样的。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,298]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240944266237_929_3389662_3.png!w690x298.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]开关控制机械泵,该开关可以常开[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,538]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240945483798_8974_3389662_3.png!w690x538.jpg[/img][/size][/font][/align][b][font=华文中宋][size=12.0pt]二.准备工作[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]连接管路:真空泵与杜瓦连接[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]来到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt](或[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]、核磁)旁边,按下图所示找到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt](或[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]、核磁)杜瓦的外真空抽口。用一个活动扳手保护住下面的灰黑色方块,另外一个活动扳手小心的拧下[color=#C00000]铜帽[/color]子。用一根足够长的波纹管从真空室的抽口连接到专用接头的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]KF25[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]接头上。可以用绳子、支架之类的物品辅助支撑和固定,避免接头过大受力(如上面图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]8[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]所示)。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,304,227]https://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif[/img][img=,629,301]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240946206595_1211_3389662_3.png!w629x301.jpg[/img][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将抽口螺纹上的残留生料带清理干净,并重新缠上几圈新的生料带。之后将抽杜瓦外真空的专用接头接到抽口上。拧紧时还是需要用一个扳手保护住下面的灰黑色方块,一个扳手稍稍用力拧紧即可。[/size][/font][align=center][b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,658,505]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240946479499_2442_3389662_3.png!w658x505.jpg[/img][/size][/font][/b][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]【以上各图待编号】[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将真空泵机组放置到杜瓦旁边的合适位置,检查电源线的接头处是否破皮,脱落,谨防漏电短路等危险;检查真空泵金属壳,是否另连接地线(实验室墙边接地铜排或接地箱),谨防触电;在需要时,插上泵总电源线插头。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]三.杜瓦夹层初抽[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]由于前面说的原因,夹层需要低真空下长时间的初抽,重要性甚至超过采用分子泵高真空的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]“[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]精抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]”[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]开动机械泵([/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]这个时候最好不要开真空表开关,真空表开关尽量在必要时且有一定真空度的时候开,以保护真空传感器[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]):[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查泵、波纹管路连接密闭性[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]检查真空泵所有管路的[color=red]卡箍[/color]是否卡紧,避免漏气;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]~[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]5[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]门和杜瓦针阀,确保全部处于关闭状态;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查机械泵电动机上的[color=red]开关(图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=red]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=red]),打开并在此后保持常开[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt];[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]给电。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]上推闭合[color=red]控制板上的空开[/color],接着按下[color=#C00000]机械泵绿钮[/color],启动机械泵。热机[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2-3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟,期间注意听机械泵声音(不同气体流量声音不同),确认没有问题后,进入下一步[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽真空室。逆时针[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]慢慢打[color=#C00000]开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀,注意听气流声(真空室从大气压抽到大约[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]100 Pa[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]有明显声音变化),避免气流过猛。最后[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]转到底后回半圈。使机械泵抽空真空腔。在没有异常声音的情况下,几分钟后即可进入下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]观察真空腔真空度。打开真空表电源(图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]右上角)开关,(真空表只有一个开关,高真空计有保护,真空达标才自动开启)。此时低真空计显示真空室真空度应该在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]50 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下。若在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内可以抽到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下,说明机械泵至[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之内的空间所有密封良好。可以进入下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]抽波纹管。[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]逆[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]时针[color=#C00000]慢开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt],不要让低真空示数超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。开到底后返回半圈。如果在几分钟内低真空计达到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下,说明管道密封良好,可进入下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]g.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]抽夹层。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启杜瓦[color=red]针阀旋钮[/color],慢拧,不要让示数超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt],观察真空气压仪表示数,判断杜瓦夹层密封状态;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]h.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]若在几分钟后低真空计可低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]50 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt],说明夹层密封良好,可进入持续抽空[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]进程。建议连续抽气[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]24[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时以上,争取抽到低真空计示数[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-1[/sup][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]附近。长时间抽气关掉真空计为好。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以上“杜瓦初抽”过程的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a~e[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]也是机械泵预抽任何真空腔的通用步骤。在分子泵不开动的情况下,这个过程可用于长时间抽空,但要保证低真空计示数在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下。如果示数高于此说明真空腔或管道有漏气点,强行抽气容易造成机械泵过热和损坏。此时应停止抽气,关闭机械泵和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,检查真空腔和各个阀门接头。排除漏气点后方可继续抽气。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]四[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开动分子泵[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]由于分子泵开动后,机械泵必须持续抽分子泵下部,不能长时间(超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟)用于对其他真空腔的预抽,因此,请在夹层长时间抽空,且达到预期真空度(比如上面说的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-1[/sup]Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt])之后,再开启分子泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]上面已经说过分子泵的两条使用规则:[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]一旦分子泵开动机械泵必须始终抽其下部(在本系统为[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀始终开启);[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]用分子泵去抽真空室之前,必须先对真空室预抽,获得[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下的真空度。[b]必须牢记的是,在预抽操作中开启[/b][/size][/font][b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之前,必须先关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,顺序不能颠倒[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]。否则真空室里的气体会通过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀倒灌进入分子泵底部,轻则憋停分子泵,重则打坏叶片。因此,在使用分子泵时,任何阀门的开启都应该尽量慢些,以便即使开错阀门,也只是憋停分子泵而不至于打坏涡轮叶片。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,213,172]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240948014562_305_3389662_3.png!w213x172.jpg[/img][/size][/font][/align][align=center][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]【图号顺编】[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵操作仪表盘(白色)[/size][/font][/align][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查。确认[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀关闭。如果是长时间不用,除关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀外,此时不要去旋动任何阀门,以免大气冲进分子泵(分子泵关闭后,可长时间保持负压)。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开动机械泵。倾听声音,确认没有“抽大气”(长时间连续高速气流)的声音。打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,先抽真空室。这一步操作可以确认真空室密封没问题,也可以减少[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀两侧的压差。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]打开真空计。观察低真空计,判断真空室密封良好。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]抽分子泵下部。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]关[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀,慢开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]到底,然后回半圈。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]保持[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2-3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟,若无异常声音,可认为分子泵一切良好。此时[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀两边应该压差较小,检查是否处于关闭状态(一般有指示)。无异常可进入下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]启动分子泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]按下[color=#C00000]分子泵绿钮(图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]x[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]中“[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀”两字下面那个)[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。有的还要按下分子泵白色操作仪表盘(图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]右[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt])的绿色“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]Run[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”按钮。此时仪表盘上行“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]RUN[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]”字符下的[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]红色[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]LED[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]灯开始[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]闪烁,数字显示为“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]Fxxx.x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”([/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]F[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]是[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]frequence[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt],数字表示转数);随分子泵转速上升。该系统分子泵转数为[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]400[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]转[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]/s[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。转速达到后没有噪音可判断分子泵转速已达稳定(期间可能有两次共振)。此时分子泵已经正常运转。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] f. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]再次预抽真空室(分子泵抽气之前,应即时进行一次预抽,以降低流过分子泵气流量)。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀。打开真空计,低真空若能在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内达到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下,即可进入下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]g. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽真空室。关紧[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,再慢慢打[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt](到底回半圈)。关注[color=red]高真空仪表[/color]示数,若能够在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内降至[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-2[/sup][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]级时,说明分子泵与真空室密封合格。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]注意:以上操作是抽真空腔。如果是抽杜瓦夹层,操作[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]时要把[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀打开,同时预抽夹层。[b]没有经过预抽的空间,不允许用分子泵抽气[/b](规则二)。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭分子泵[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]首先切断与真空腔的联通。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]关闭[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。确认[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀在开启状态。无异常可进入下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]切断分子泵电源。按下[color=red]分子泵红钮(图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=red]x[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=red])[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt],也可以先按下分子泵白色操作盘面上的“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]stop[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]键。观察转数示数的降低,应在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟左右停转;停转后再等待[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟,手摸分子泵感觉温度,若无异常可进入下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]停机械泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀。关闭机械泵(按下机械泵红色按钮(图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]))。[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]d. [/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]切断电源。拉下白色空开,拔下真空系统电源线插头。[/color][/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]五[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽夹层[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]此步操作应在夹层长时间预抽之后进行。夹层有大量吸附气体,不经长时间预抽而进行分子泵抽气,效率低且对分子泵不利。此步操作也要在分子泵已经启动之后进行。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]假定此时状态为:波纹管已连接杜瓦;杜瓦针阀是关闭的;系统[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1, 2, 4, 5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀均为关闭;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] 3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀打开,机械泵抽分子泵底部;分子泵运转正常。[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽真空室。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt],慢慢打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,让气流平稳。若无声音异常可进行下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]打开真空计电源,注意观察真空示数,如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内示数低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt],则说明真空室密封良好,可以进入下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽夹层。慢慢打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,观察示数,避免旋转太快使之高于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。到底退半圈。如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内低真空示数低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt],说明夹层密封良好,即可进入预抽,但关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀的时间不要连续超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内真空示数达不到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]之下(但可以低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]),则应将机械泵切换到分子泵抽气[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟,再切回预抽。操作顺序为:[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀将机械泵切换到分子泵;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀将机械泵切换到夹层预抽。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]夹层若在持续抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15-20[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟后低真空示数在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]之下,即可进行下一步;[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽夹层。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀(均为到底回半圈),打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,观察真空计,此时高真空应该有示数,在几分钟之内应该进入[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-2[/sup][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]即为正常。此时分子泵抽夹层,根据需要持续抽气,期间可将真空计关闭。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空夹层小,抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]24[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时上到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-5[/sup][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt];[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]建议抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]48[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时以上,到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.2*10[sup]-4[/sup]Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]收尾。抽气完毕后,首先关闭夹层阀门,封闭夹层。然后关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,断开真空室与波纹管连接。此时分子泵还在抽气真空室。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀,将分子泵与真空室断开。至此分子泵才是安全的,可进行其他操作。关闭真空计电源,保护真空传感器。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]注意:上面[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]条中关于“不超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟”的规定即为解决[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]“两条规则”冲突的变通方法。在这样短的时间里,分子泵可以暂时不被机械泵抽气,为机械泵提供一个执行预抽的时间窗口。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]六[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]拆下波纹管:[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]如果分子泵在运转,[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]确认分子泵处于安全状态([/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀关紧,[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀抽下部)。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]拧松钢波纹管[color=#C00000]卡箍[/color],慢慢拧动放气,再完全拿下卡箍,用一个活动扳手([color=#C00000]保持不动[/color])保护住下面的灰黑色方块,另外一个活动扳手小心的拧下[color=#C00000]转接头[/color];[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将[color=#C00000]抽口[/color]螺纹、和[color=#C00000]铜帽[/color]内螺纹上的残留生料带清理干净,并重新缠上几圈新的生料带,[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]用一个活动扳手([color=#C00000]保持不动[/color])保护住下面的灰黑色方块,另外一个活动扳手小心的将[color=#C00000]铜帽[/color]拧紧到抽口上。[/size][/font][align=right][font=华文中宋][size=12.0pt]蔡泽森,吴光恒修改[/size][/font][/align][align=right][font=&][size=12pt]2020.06.08[/size][/font][/align]