二维扫描镜

上海科哲生化科技有限公司作为中国薄层色谱仪器研发的中心，专业服务于中药行业，为中药行业提供从扫描仪、成像系统、点样仪、展开仪、铺板机等全套薄层色谱仪器。现如今大众对液相的接受度普遍较高，但液相亦有它的局限性，将薄层色谱和液相色谱相结合势在必行。为了解决这一问题，上海科哲生化科技有限公司推出了薄层-液相二维色谱。利用薄层的快速分离优势，将目标物提取传输至液相系统，是药物分析行业、有机合成实验室的理想选择。2DMax1500A2薄-液二维色谱系统仪器组成TK-10型电动展开仪；TM-300型薄层色谱质谱接口；高压二元梯度泵系统；四波长UV-VIS检测器；C18柱（C18,5μm,4.6 × 250 mm）；模块化液相工作站；工作原理： 将薄层板放置在提取平台上，用激光定位选择好需要提取的物质斑点，压下提取头，打开连接管路开关，则洗脱液会对薄层板上物质斑点进行提取，并可直接注入液相系统中。主要特点：1、薄层板经分离的样品可直接提取，不需要后续处理；2、洗脱提取快速、几分钟即可完成斑点洗脱；3、不需要手动刮板，操作快速、灵活、简单、方便；4、可在线HPLC系统联用，直接将提取物进行检测；5、效率高，使用洗脱溶剂少；6、适用于条带、原点样品的萃取；仪器指标：1、薄层板尺寸：最大可放置200×200mm的薄层板；2、气源：氮气或压缩空气；3、激光：5mW，寿命长；4、密封力：最大500N；5、溶剂流速：0.05-0.5ml/min；6、萃取头：直径4mm、5mm圆形萃取头，4×2mm椭圆形萃取头；7、流量范围：0-100ml/min（更大流量可定制）；8、压力范围：0-10000psi；9、波长范围：190nm-900nm（四波长同时检测）；10、波长准确度：0.2nm；11、单色仪：1200线光栅；12、光 源：氘灯-钨灯组合光源；13、定量环：20ul（可定制）；14、进样方式：自动进样；15、馏分收集数量：160位；16、梯度范围：0-100%线性A:B；17、软件环境：Win 7/ 8/10；18、通讯方式：网口通讯；19、电压功率：110-220V，500W；2DMax1500P2薄-液二维色谱系统仪器组成TK-10型电动展开仪；TM-300型薄层色谱质谱接口；高压二元梯度泵系统；四波长UV-VIS检测器；C18柱（C18,5μm,4.6 × 250 mm）；模块化液相工作站；工作原理： 将薄层板放置在提取平台上，用激光定位选择好需要提取的物质斑点，压下提取头，打开连接管路开关，则洗脱液会对薄层板上物质斑点进行提取，并可直接注入液相系统中。主要特点：1、薄层板经分离的样品可直接提取，不需要后续处理；2、洗脱提取快速、几分钟即可完成斑点洗脱；3、不需要手动刮板，操作快速、灵活、简单、方便；4、可在线HPLC系统联用，直接将提取物进行检测；5、效率高，使用洗脱溶剂少；6、适用于条带、原点样品的萃取；仪器指标：1、薄层板尺寸：最大可放置200×200mm的薄层板；2、气源：氮气或压缩空气；3、激光：5mW，寿命长；4、密封力：最大500N；5、溶剂流速：0.05-0.5ml/min；6、萃取头：直径4mm、5mm圆形萃取头，4×2mm椭圆形萃取头；7、流量范围：0-100ml/min（更大流量可定制）；8、压力范围：0-10000psi；9、波长范围：190nm-900nm（四波长同时检测）；10、波长准确度：0.2nm；11、单色仪：1200线光栅；12、光 源：氘灯-钨灯组合光源；13、定量环：20ul（可定制）；14、进样方式：自动进样；15、馏分收集数量：160位；16、馏分收集容器：标配孔径15mm试管架（20mm、30mm试管，120ml 、240ml 、480ml试剂瓶可订制）；17、梯度范围：0-100%线性A:B；18、软件环境：Win 7/ 8/10；19、通讯方式：网口通讯；20、电压功率：110-220V，500W；

上海科哲生化科技有限公司作为中国薄层色谱仪器研发的中心，专业服务于中药行业，为中药行业提供从扫描仪、成像系统、点样仪、展开仪、铺板机等全套薄层色谱仪器。现如今大众对液相的接受度普遍较高，但液相亦有它的局限性，将薄层色谱和液相色谱相结合势在必行。为了解决这一问题，上海科哲生化科技有限公司推出了薄层-液相二维色谱。利用薄层的快速分离优势，将目标物提取传输至液相系统，是药物分析行业、有机合成实验室的理想选择。2DMax1500A1薄-液二维色谱系统仪器组成TK-10型电动展开仪；TM-200型薄层色谱质谱接口；高压二元梯度泵系统；四波长UV-VIS检测器；C18柱（C18,5μm,4.6 × 250 mm）；模块化液相工作站；工作原理： 将薄层板放置在提取平台上，用激光定位选择好需要提取的物质斑点，压下提取头，打开连接管路开关，则洗脱液会对薄层板上物质斑点进行提取，并可直接注入液相系统中。主要特点：1、薄层板经分离的样品可直接提取，不需要后续处理；2、洗脱提取快速、几分钟即可完成斑点洗脱；3、不需要手动刮板，操作快速、灵活、简单、方便；4、可在线HPLC系统联用，直接将提取物进行检测；5、效率高，使用洗脱溶剂少；6、适用于条带、原点样品的萃取；仪器指标：1、薄层板尺寸：最大可放置200×200mm的薄层板；2、气源：氮气或压缩空气；3、激光：5mW，寿命长；4、密封力：最大500N；5、溶剂流速：0.05-0.3ml/min；6、萃取头：直径4mm、5mm圆形萃取头，4×2mm椭圆形萃取头；7、流量范围：0-100ml/min（更大流量可定制）；8、压力范围：0-10000psi；9、波长范围：190nm-900nm（四波长同时检测）；10、波长准确度：0.2nm；11、单色仪：1200线光栅；12、光 源：氘灯-钨灯组合光源；13、定量环：20ul（可定制）；14、进样方式：自动进样；15、馏分收集数量：160位；16、梯度范围：0-100%线性A:B；17、软件环境：Win 7/ 8/10；18、通讯方式：网口通讯；19、电压功率：110-220V，500W；2DMax1500P1薄-液二维色谱系统仪器组成：TK-10型电动展开仪；TM-200型薄层色谱质谱接口；高压二元梯度泵系统；四波长UV-VIS检测器；馏分收集器；收集试管架；制备柱（C18,10 μm,4.6 × 250 mm）；模块化液相工作站；工作原理： 将薄层板放置在提取平台上，用激光定位选择好需要提取的物质斑点，压下提取头，打开连接管路开关，则洗脱液会对薄层板上物质斑点进行提取，并可直接注入液相系统中。主要特点：1、薄层板经分离的样品可直接提取，不需要后续处理；2、洗脱提取快速、几分钟即可完成斑点洗脱；3、不需要手动刮板，操作快速、灵活、简单、方便；4、可在线HPLC系统联用，直接将提取物进行检测；5、可用于薄层板样品上的制备；7、效率高，使用洗脱溶剂少；8、适用于条带、原点样品的萃取；仪器指标：1、薄层板尺寸：最大可放置200×200mm的薄层板；2、气源：氮气或压缩空气；3、激光：5mW，寿命长；4、密封力：最大500N；5、溶剂流速：0.05-0.3ml/min；6、萃取头：直径4mm、5mm圆形萃取头，4×2mm椭圆形萃取头；7、流量范围：0-100ml/min（更大流量可定制）；8、压力范围：0-4000psi；9、波长范围：190nm-900nm（四波长同时检测）；10、波长准确度：0.2nm；11、单色仪：1200线光栅；12、光 源：氘灯-钨灯组合光源；13、定量环：2ml（可定制）；14、进样方式：自动进样；15、馏分收集数量：160位；16、馏分收集容器：标配孔径15mm试管架（20mm、30mm试管，120ml 、240ml 、480ml试剂瓶可订制）；17、梯度范围：0-100%线性A:B；18、软件环境：Win 7/ 8/10；19、通讯方式：网口通讯；20、电压功率：110-220V，500W；

上海科哲生化科技有限公司作为中国薄层色谱仪器研发的中心，专业服务于中药行业，为中药行业提供从扫描仪、成像系统、点样仪、展开仪、铺板机等全套薄层色谱仪器。现如今大众对液相的接受度普遍较高，但液相亦有它的局限性，将薄层色谱和液相色谱相结合势在必行。为了解决这一问题，上海科哲生化科技有限公司推出了薄层-液相二维色谱。利用薄层的快速分离优势，将目标物提取传输至液相系统，是药物分析行业、有机合成实验室的理想选择。2DMax1100A3正-反二维液相色谱系统仪器组成：1、高压四元梯度泵系统；2、四波长UV-VIS检测器；3、全自动进样器； 4、色谱柱；5、模块化液相工作站；6、二维色谱切换阀系统主要特点：1、 两支色谱柱有效提高峰容量，用于分离复杂样品；2、 可用于正相&反相二维，解决溶剂兼容问题；3、 简单易用且功能强大的操作软件；4、 灵活的一维、二维切换系统；5、 自动进样器采用全封闭样品瓶，具有洗针功能，可避免样品污染；技术指标：1、流量范围：0-200mL/min（更大流量可定制）；2、压力范围：0-4000Psi，过压保护；3、波长范围：190nm-850nm（四波长同时检测），准确度：0.2nm；4、光 源：氘灯-钨灯组合光源；5、自动进样器：144位；6、软件环境：Win7 / 10 (64位)；7、通讯方式：网口通讯；2DMax1100P3正-反二维液相色谱系统仪器组成：1、高压四元梯度泵系统；2、四波长UV-VIS检测器；3、全自动进样器； 4、智能馏分收集器；5、收集试管架；6、制备柱；7、模块化液相工作站；8、二维色谱切换阀系统主要特点：1、 两支色谱柱有效提高峰容量，用于分离复杂样品；2、 简单易用且功能强大的操作软件；3、 灵活的一维、二维切换系统；4、 自动进样器采用全封闭样品瓶，具有洗针功能，可避免样品污染；技术指标：1、流量范围：0-200mL/min（更大流量可定制）；2、压力范围：0-4000Psi，过压保护；3、波长范围：190nm-850nm（四波长同时检测），准确度：0.2nm；4、光 源：氘灯-钨灯组合光源；5、自动进样器：144位；6、馏分收集容器：试管孔径15mm，试管位数1607、软件环境：Win7 / 10 (64位)；8、通讯方式：网口通讯；

上海科哲生化科技有限公司作为中国薄层色谱仪器研发的中心，专业服务于中药行业，为中药行业提供从扫描仪、成像系统、点样仪、展开仪、铺板机等全套薄层色谱仪器。现如今大众对液相的接受度普遍较高，但液相亦有它的局限性，将薄层色谱和液相色谱相结合势在必行。为了解决这一问题，上海科哲生化科技有限公司推出了薄层-液相二维色谱。利用薄层的快速分离优势，将目标物提取传输至液相系统，是药物分析行业、有机合成实验室的理想选择。2DMax1100A1正-正二维液相色谱系统仪器组成：1、高压四元梯度泵系统；2、四波长UV-VIS检测器；3、全自动进样器； 4、色谱柱；5、模块化液相工作站；6、二维色谱切换阀系统主要特点：1、 两支色谱柱有效提高峰容量，用于分离复杂样品；2、 可用于正相&反相二维，解决溶剂兼容问题；3、 简单易用且功能强大的操作软件；4、 灵活的一维、二维切换系统；5、 自动进样器采用全封闭样品瓶，具有洗针功能，可避免样品污染；技术指标：1、流量范围：0-200mL/min（更大流量可定制）；2、压力范围：0-4000Psi，过压保护；3、波长范围：190nm-850nm（四波长同时检测），准确度：0.2nm；4、光 源：氘灯-钨灯组合光源；5、自动进样器：144位；6、软件环境：Win7 / 10 (64位)；7、通讯方式：网口通讯；2DMax1100P1正-正二维液相色谱系统仪器组成：1、高压四元梯度泵系统；2、四波长UV-VIS检测器；3、全自动进样器； 4、智能馏分收集器；5、收集试管架；6、制备柱；7、模块化液相工作站；8、二维色谱切换阀系统主要特点：1、 两支色谱柱有效提高峰容量，用于分离复杂样品；2、 简单易用且功能强大的操作软件；3、 灵活的一维、二维切换系统；4、 自动进样器采用全封闭样品瓶，具有洗针功能，可避免样品污染；技术指标：1、流量范围：0-200mL/min（更大流量可定制）；2、压力范围：0-4000Psi，过压保护；3、波长范围：190nm-850nm（四波长同时检测），准确度：0.2nm；4、光 源：氘灯-钨灯组合光源；5、自动进样器：144位；6、馏分收集容器：试管孔径15mm，试管位数1607、软件环境：Win7 / 10 (64位)；8、通讯方式：网口通讯；

产品说明TVS-GSS系列扫描振镜是用于光束扫描的器件，利用检流计原理实现，是一种小惯量扫描器。一般由反射镜、扫描电机和伺服系统组成，通电线圈在磁场中产生力矩，转子上通过机械扭簧或电子的方法增加复位力矩，其大小与转子偏离平衡位置的角度成正比，整个过程采用闭环反馈控制，由位置传感器、误差放大器、功率放大器、位置区分器、电流积分器等五大部分共同完成，从而完成反射镜的偏转控制。要实现二维扫描，则需要两个扫描振镜正交安装，实现入射光束在X轴和Y轴两个方向的位置控制，再搭配上超维景提供的TVS-MMC系列双光子成像控制器或其他信号源，即可形成面阵扫描，该扫描振镜在多光子显微镜和共聚焦显微镜等扫描成像系统中都有应用。对于高速扫描，可选共振扫描振镜，详情可联系本公司。产品应用多光子显微镜、共聚焦显微镜激光加工、激光打标产品优势大扫描范围：最大光学扫描角度可达±20°位置精准反馈：提供位置反馈信号，可用于用户闭环控制控制简便：用户可使用模拟电压，实现振镜的任意轨迹扫描参数优化：针对用户扫描波形进行参数优化，以提高可靠性和扫描一致性二维扫描振镜技术参数参数TSH8TVS-GSS系列型号TVS-GSS-203HTVS-GSS-310A/DTVS-GSS-618A/DTVS-GSS-720A/D输入光斑直径（mm）35791010121620最大扫描角度±20° ±12.5°±20°±20°±20°Nd:YAG@1064 nm--10080120120150200300CO2--50707070100150200阶跃响应时间（ms）0.250.30.40.7标刻速度（m/s）--4331.71.522定位速度（m/s）--1211117777好质量--700690650500400350300高质量--550500480340260220200点漂移（pRad./°C）比例漂移（ppm/°C）续工作漂移，8小时以上（mrad.）线性度≥99.70%≥99.90%≥99.90%≥99.90%重复精度（uRad.）最大平均工作电流（A/单轴）22.534峰值电流（A）10202025输入信号接口XY2-100或模拟电压士5 V，土10 V输入电源土24 VDC士10%，Max.RMS 3.5 A/轴工作环境温度25°C士10°C重量（不含透镜）（kg）-2.42.94.5主要应用领域激光标刻、飞行打标激光演示、激光医疗科研激光标刻、激光调阻内雕、科研激光标刻、激光调阻内雕、激光打码科研激光标刻、激光调阻切割、钻孔

产品说明TVS-SMM系列MEMS二维扫描振镜是一种基于静电力式的矢量扫描器件，具有四个静电双向旋转器，通过特殊的硅支架连接。当给定稳态模拟高压驱动信号MEMS镜像会产生的稳态模拟转角，并且高度可重复。同时，它也可以工作在谐振模式下，器件在较低的工作电压下即可得到更大的扫描角度。因此，通过改变驱动信号的形式，可以很容易的得到3种扫描模式，即点对点扫描模式（双轴准静态）、栅格扫描模式（快轴近谐振，慢轴准静态）和李萨如扫描模式（双轴近谐振）。该MEMS扫描镜具备体积小、扫描角较大、双轴可同时兼容准静态及谐振控制、功耗极低等特点，在生物成像、激光雷达、抬头显示等领域具有很大应用空间。产品应用激光雷达、激光测量、抬头显示、投影双光子成像、共聚焦成像、光学成像产品优势体积小、重量轻：集成款基于LCC20封装，集成度高控制形式丰富：双轴都可以转静态或谐振控制，支持3种扫描模式速度与扫描角的平衡：多款型号可选，可以同时满足扫描频率与扫描角的要求低功耗：基于静电力式驱动，功耗基本可忽略不计定制化：输出接口可定制化

DataPaq二维码扫描仪由英国Ziath公司生产，采用独特的冷冻防护系统，可以连续扫描样品管，快速获得扫描信息。DataPaq二维码扫描仪可兼容相关设备，根据需要选择不同型号的产品。产品特点： 安装简单，一键扫描。以深聚焦单管架扫描仪为例，连接上电源，并用usb接口连接电脑，点击扫描即可得到整个管架的数据，之后就可以在管理软件中进行编辑和管理。 有高智能样本管理软件，便于跟踪管理样本。 有防冻保护系统，可以直接扫描从冷冻设备中取出的冻存管，减少结霜及错误。 可以扫描各种品牌的二维码冻存管。 可以导出Excel、text、XML的数据，也可导出图像。产品介绍：提供4种扫描仪，分别为：深聚焦单管架扫描仪、快速单管架扫描仪、多管架扫描仪和单管扫描仪。另有高智能样本管理软件用于管理和跟踪样本，并提供2ml和5ml冻存管以及冻存盒。DataPaq深聚焦单管架扫描仪深聚焦：储存管略高于管架依然可以精确扫描方便：可连接条形码扫描仪,读取管架裙边条形码信息小巧：165×288×65mm（W×D×H）适应种类多：兼容384, 96, 48和24管管架DataPaq快速单管架扫描仪快速：取像时间只需一秒小巧：85.5×184×94mm（W×D×H）DataPaq多管架扫描仪高通量：最多可同时扫描四个管架多样：可根据用户的管架配置来更换模具快速：扫描每个管架仅需5秒小巧：271×475×73mm（W×D×H）DataPaq单管扫描仪快速：取像时间 ＜1s简便：与电脑的USB连接即可运行，不需单独提供电源优质：采用防刮无机玻璃小巧：60×90×60mm（W×D×H）Samples样本管理软件Samples是一种软件管理工具，和Ziath的DataPaqTM二维码扫描仪配合使用。可以直接控制扫描仪，得到扫描结果，并可以建立管理列表，保存、跟踪、编辑、搜索样本信息，使样本管理简便高效。耗材冻存管：2ml、5ml两种规格，内旋外旋两种类型。管底有二维码，管侧有条形码及可读代码。二维码：激光蚀刻并嵌入管底。耐低温耐化学腐蚀耐机械损伤。冻存盒：81孔和100孔两种规格。盒底有定位二维码，盒边有可扫描代码。

适应各种冻存管二维码扫描 基本参数外形尺寸：210mm*170mm*105mm（不含支架高度）工作电压：220V工作电流：1.25A工作环境：-20℃到40℃系统要求：Windows10\8\7\Vista USB2.0接口各一个整板拍照时间：≤1S整板解码时间：≤1S读码兼容范围：各大主流SBS冻存盒品牌适用板架：24，48，96，100通道。

适应各种冻存管二维码扫描 基本参数外形尺寸：210mm*170mm*105mm（不含支架高度）工作电压：220V工作电流：1.25A工作环境：-20℃到40℃系统要求：Windows10\8\7\Vista USB2.0接口各一个整板拍照时间：≤1S整板解码时间：≤1S读码兼容范围：各大主流SBS冻存盒品牌适用板架：24，48，96，100通道。

硬件解码，解码速度200次/秒。可识别PDF417/MICRO PDF417/DATAMXTRIX/QR/MAXICODE/AZTEC等二维码

硬件芯片解码，解码速度300/s。可识别PDF417/MICRO PDF417/DATAMXTRIX/QR/MAXICODE/AZTEC等二维码USB/TTL/RS232/RS485通讯及串口供电。

技术特点： 超高定位精度 高动态 轴间运动学解耦设计 多运动模式：定位/扫描 兼容超高真空 运动行程：50~200um应用领域： 光学对准 纳米压印 显微成像/操纵 表面检测 半导体加工规格参数：型号NP-ST-XY-100位移方向X，Y传感器类型光栅/激光干涉仪行程（um）100X100闭环分辨率（nm）0.35空载谐振频率（Hz）900最大负载（kg）1材料铝合金尺寸（mm）130X130X20

二维多点尺寸测量仪 一、测量原理将绿色LED 光转化为均一的平行光进行照射。检测出二维CMOS 上受光的明暗投影，然后测量其尺寸和角度等。二、二维多点尺寸测量仪特点1、实现由“点”到“面”，全范围测量传统的激光扫描方式：激光扫描方式只能测量光点照射的 1 个位置。无法实现多点同时测量或调整倾斜的测量。 二维多点尺寸测量仪通过二维测量，可一次捕获目标物的全部信息。只有在二维条件下才能进行的任意多点测量或边调整倾斜边进行测量。2、相机方式光轴无波动，可测量指定点的尺寸传统的激光扫描方式多面镜的镜面精度不同，每个取样点的激光扫描轨迹也会不同。在激光扫描方式中，马达匀速旋转的性能同马达的使用时间有关，随着使用时间变长，马达匀速旋转的性能将变差。传统产品使用时间越长，激光扫描轨迹的偏差就会越大。二维多点尺寸测量仪采用相机方式，闪动一次快门即可测量整个范围。 产品无驱动器，因此可测量指定点的尺寸。3、高耐久性传统的激光扫描方式因为有驱动器，所以产品的耐久性较差，需要对产品进行维护。此外，传统产品的光源存在被瞬间高电压损坏的隐患。二维多点尺寸测量仪[ 无驱动器 ] 因产品无任何驱动器，可实现高耐久性。这种设计克服了传统激光扫描方式的弱点－马达耐久性的问题。 三、应用范围技术解决方案：产品用途：

英国真尚有_高性价比线激光轮廓扫描仪|线激光传感器|激光二维传感器|ZLDS202（原ZLDS200升级款）高性价比线激光轮廓扫描仪ZLDS202专为高精度二维轮廓扫描而设计，同时具备速度、精度和卓越性能，Z轴具有0.05%的线性度，0.01%的分辨率 ，可稳定且高精度测量所有难以检测的物体。• 测量范围从10毫米到1165毫米 ，适用于大部分测量场合；• 非接触式测量 ，适应各种被测体表面；• 采样率高达6800剖面/秒 ，从而实现高图像质量；• 源于其紧凑的设计和高扫描分辨率 ，特别适合静态、动态和机器人应用；• 用于扫描仪参数化、图像和剖面可视化的web界面 ；• 具有恢复模式 ，恢复至硬件故障或用户操作错误前的基本模式，减小操作失误后的测量误差。应用领域：ZLDS202线激光传感器有着非常广泛的应用，外轮廓，厚度，高度，深度，边沿，凹槽，角度，圆度，平整度，变形等应用，适用于任何类型工业领域，如汽车、铁路、机械加工、自动化生产等领域。由于应用范围广泛，我们使用不同的激光器。 例如，使用蓝色激光代替红色激光是控制闪亮材料、高温物体和有机材料的最佳选择。 在一个测量系统中使用带有不同波长激光的扫描仪，可以避免扫描仪相互影响，大大简化了系统结构。 大功率 IR 激光的扫描仪适用于太阳辐射较大的条件。扫描仪可配备内置加热器，以便在低温条件下运行。 扫描仪可以配备空气（水）冷却系统和用于窗户的风刀系统。此外，您还可以使用 ROI 功能，它可以在高达 20000 Hz 的有限工作范围内提高扫描仪的工作频率。技术规格：

小光束直径振镜系统一维和二维扫描振镜系统可选镀银、镀金、镀宽带膜(E02)或镀高功率双带膜包括1或2块驱动卡，分别用于单轴或双轴反射镜系统包括驱动卡散热器不包括电源Thorlabs扫描振镜系统单轴和双轴配置，适用于小光束(小于5 mm)应用。反射镜镀膜选择如上所述。每个一维系统包含一个驱动卡、一个驱动卡散热器和一个单反射镜系统。二维系统包含两个驱动卡、两个驱动卡散热器和一个双反射镜系统。振镜系列中的产品不包括电源、驱动卡罩和振镜散热器。对于需要大力扫描和稳定性的苛刻应用，我们强烈推荐使用这些产品。这些配件也可以在下方单独购买。Thorlabs二维振镜系统 GVS002光学仪器

MEMS扫描镜姓名：许工(Gary)电话：（微信同号）邮箱：光学扫描镜是矢量扫描设备，能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射，从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高，且多为散装，大大限制了其应用。相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点，以被广泛的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。按照扫描维度不同，MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜，一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转，二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描，可以选用两个一维的扫描镜，也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大，但是结构也更复杂，控制的难度也就越大。按照驱动方式的不同，MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是，利用电能转换为热能，再转换为机械能驱动，其优点是驱动力和驱动位移较大，但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动，具有驱动力大、响应速度快等优点，但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动，具有较大的驱动力力和驱动位移，但是响应速度偏慢，且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动，具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。是目前使用广泛的驱动方式。下图给出了各种驱动方式的性能对比驱动方式速度力幅度电压压电驱动快大小高电磁驱动慢大大低热驱动慢大大较低静电驱动快小较小高上海昊量光电推出的MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件，例如，金属、聚合物、压电材料等。使其拥有卓越的重复性和可靠性。采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗仅为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。该款微振镜针对对点对点（受迫振动）光束扫描进行了特殊设计及优化。该MEMS扫描镜采用静电驱动且选用整个单晶硅制备而成，因此使得驱动电压和偏转角度之间存在良好的一一对应的关系，并且有着可重复性，而且随着使用时间的推移依然保持着极高的性能。对于开环的微振镜，致动器在每个轴上至少有14Bits（约16384个位置），因此当机械偏转角度为-5°到+5°是，角度的分辨率可达到10微弧度。在整片的单晶硅上采用无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm直径的微镜，当机械偏角为-6°到+6°时，非谐振偏转速度超过1000rad/s，谐振频率更是达到3.6KHz。与常规的MEMS扫描镜不同的是，该微型振镜可以在多个模式下工作，即点对点模式（受迫振动）、混合模式和谐振模式。如下图所示：a)这种模式可称为点对点模式，或者是静态模式。在这种情况下两个轴利用设备操作的宽带宽从直流到某个频率，并且不允许谐振。因此镜子可以保持在某一位置，或者以匀速运动或执行矢量图形等。b）第二种模式为混合模式，即其中一个轴处于准静态模式，另外一个轴处于谐振模式c）第三种模式为谐振模式，这时两个轴利用狭窄高增益共振来获得较大的偏角较低的电压以及较高的速度。设计用于点对点模式的设备，在接近共振或共振时倍驱动，很容易超过安全偏转角而损坏。因此需要使用非常小的正弦驱动电压驱动接近谐振工作模式，并且非常仔细的寻找所需要的工作点和角度，以便不超过给定的机械偏角限制。 可提供的产品如下：1）开发套件（Development Kits）开发套件是为了方便客户更快速而有效的了解设备的性能、用途及使用方法。它可以通过专门开发的软件及驱动器安全的使设备运转。产品图片产品描述标准开发套件：[可按需求删减其中配件]该套件包含以下部分1） 三个二维扫描镜；1.2mm 偏角±5°；2.0mm 偏角±5° 3.6mm偏角±5.52）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等半定制开发套件：该套件可自主选择套件中镜子的尺寸及偏角；其余配件与标准开发套件相同包含扫描模块的开发套件：1） 扫描模块：该套件扫描模块只包含一个1.2mm的镜子，该镜子与635nm激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2） USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK激光雷达开发套件I：1） 三个镀金膜二维扫描镜；2个4.6mm，偏角±5°；1个5mm，偏角±5°2）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等激光雷达开发套件II1） 四个二维扫描镜；2个2mm，偏角±4.8°；2个2.4mm±5°2）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等2）演示套件（Demonstrator Kits）产品图片产品描述激光跟踪及MEM微镜演示套件；套件包含以下产品1）扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW绿光激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2）光电传感器，包含滤光片、60°FOV和电缆3）USB控制器4）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK激光扫描和相机感知演示套件；套件包含以下产品1）扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW绿光激光器激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2）USB 3.0 相机包含 6mm镜头 (~45°x 34.5° FoV) 720x540 像素；500 fps3）相机及扫描模块机械装配件4）USB控制器5）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK+相机感知API6）专为该套件开发的软件示例3D扫描演示套件；该套件包含以下产品1） 扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW红色激光器激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2） USB3.0 相机包含8mm镜头（~34.5°x 26.2° FoV） 720x540 像素；500 fps3） 相机及扫描模块机械装配件4） USB控制器5） 软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK+相机感知API6） 专为该套件开发的软件示例MEMS扫描镜3D激光雷达演示套件；1）3D激光雷达2）专用软件3）附件包含1个USB数据线用于数据传输和供电视频投影和成像演示套件；该套件包含1） 两个MEMS模块；MEMS1 – 0.9mm；MEMS2 – 3.2mm x 1.3mm 长镜2） 激光及镜子线缆3） 激光模块（单波长激光）绿光 ~520nm, ~20-40mW；调制能力100MHz；光斑直径1mm4） 控制器-基于FPGA的控制器及USB接口5） 软件-基于MATLAB的GUI应用程序用于扫描参数探究-基于Windows的演示应用程序3）MEMS扫描镜Integrate mirror促动器名称机械偏角[°]镜面直径[mm]数据单A3I8.2±60.8数据单1A7M8.1±4.750.8数据单2A7M10.2±4.751.0数据单3A3I12.2±51.2数据单4F1M16.1±51.6数据单5A7M20.2±4.82.0数据单6A5M24.2±52.4数据单7Bonded Mirror促动器名称机械偏角镜面直径（mm）2.02.43.03.64.24.65.06.47.5A7B1.1±7数据单8数据单9数据单 10数据单11NRNRNRNRNRA7B2.1±5.5NR数据单12数据单 13数据单14NRNRNRNRNRA8L2.2±5NRNR数据单 15数据单16数据单17数据单18数据单19NRNRA5L3.3(C2)±4.25数据单20数据单21数据单22数据单23数据单24数据单25数据单26NRNRA5L3.3(C1)±2.5数据单27数据单28数据单29数据单30数据单31数据单32数据单33数据单34NRA5L2.2±1数据单35数据单36数据单 37数据单38数据单39数据单40数据单41数据单42数据单434）微镜控制器产品图片产品描述USB控制器，该控制器装配了一个高速的集成芯片PIC32MZ MCU；它可以直接与电脑连接，并使用我们的软件运行MEMS扫描镜，此外控制器可以作为一些固定波形的存储区域，并以开环方式运行/输出这些波形，以驱动MEMS反射镜和外围设备。该控制器由USB供电，功耗1000mW。OEM模拟驱动板；4个单极模拟输出~0V-xxx (“B160”, “T180” and “X200” 驱动方式)；10个输入引脚连接用于X和Y模拟输入，MEMS驱动器使能，低通滤波器控制（FCLK），VDD和GND用户通过2个用于X和Y轴的模拟输入信号（-10V至+ 10V输入范围）来控制4个通道（X +，X-，Y-，Y +） 用户提供用于设置硬件滤波器截止频率的时钟（必填）OEM数字驱动板； 4个单极模拟输出?0V-200V（“ X200”驱动模式）10引脚输入，用于：SPI，MEMS驱动器使能，FCLK_X，FCLK_Y，VDD和GND用户通过SPI命令控制16位DAC的4个通道（X +，X-，Y-，Y +）四个通道每秒采样频率为250k用户提供用于设置硬件滤波器截止频率的时钟（必填）NOTE：对于初次使用，不购买套件的用户，不提供该驱动板，只提供模拟OEM板 MEMS扫描镜主要特点：l 大的镜面尺寸l 大的光学偏角可达32°l 重复精度可达到0.001°l 可实现静态扫描模式（受迫振动）MEMS扫描镜主要应用：l 投影显示装置l 扫描成像及激光雷达成像l 3D跟踪和位置测量l 激光打标、雕刻l 光束偏转、扫描更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

扫描电容显微镜（SCM）是一种表征材料纳米电学性质的原子力显微镜（AFM）成像技术，它使用微波射频（RF）信号来探测半导体和其它种类样品中的电荷，载流子的位置，掺杂水平和掺杂类型（p型和n型）等。全新快速扫描电容显微镜 SCM可以在牛津仪器的 Asylum Research 的快速扫描 Cypher 和 Jupiter XR AFM 平台上使用。牛津仪器Asylum Research SCM模式的独特之处在于，它不仅可以测量微分电容（dC/dV），还可以测量分辨率低至1aF的电容，而且是可以直接测量电容。与传统的SCM相比，它具有更高的分辨率和更快的扫描速度。更高的灵敏度允许探测金属和绝缘体，以及传统半导体器件以外的非线性材料——包括那些不形成自然氧化物层的材料。图1 静态随机存储 （SRAM） 样品。所有通道同时获得了29μm扫描区域：a：形貌；b：dC/dV振幅（与掺杂浓度成反比）；c：dC/dV相位（蓝色表示p型掺杂，红色表示n型掺杂）；d：电容（与掺杂浓度有线性关系）；电容，而不仅仅是dC/dV传统的SCM模式只能提供微分电容（dC/dV）数据，这大大限制了用户从测量数据中得出的结论。牛津仪器Asylum Research全新设计的SCM模式具有独特的能力，可以提供dC/dV和电容数据，因此可以获得更完整的材料表征。电容通道对掺杂水平提供线性响应，并检测电容的变化，分辨率可达1 aF。全新的SCM模式是一个强大的工具，可以用于材料的纳米电子特性描述。更快的成像牛津仪器Asylum Research全新的高带宽SCM电路允许以高达26 Hz的扫描频率采集高质量的dC/dV和电容数据。传统的SCM模式的带宽要低得多，并且在扫描速率为1 Hz时数据质量明显退化。全新的SCM模式在高达26Hz的扫描频率下几乎没有信息丢失。这种更快的成像改进了用户体验并大大提高了工作效率。不同扫描速度比较的SRAM样品。微分电容（dC/dV）振幅图像给出了相同的5μm区域内扫描率从1 Hz到26 Hz的结果。以最快的速度数据质量几乎保持不变，但是图像只需要1秒就可以获得，而传统的SCM需要5-10分钟。图2 微分电容（dC/dV）振幅图像更高的分辨率牛津仪器Asylum Research全新设计的SCM模式显示出更高的灵敏度，因此可以获得更高的分辨率的图像。以前被认为使用SCM模式由于信号弱难以图像的样品，现在可以常规地获得图像。右侧图中，采用全新的SCM模式对单壁碳纳米管（CNT）进行成像，横向分辨率约为25 nm。图3 绝缘基板上碳纳米管的电容数据与3D形貌叠加图样品是绝缘基板上的碳纳米管。电容数据叠加在3D形貌图上。图像范围2 μm。样品由Harvard Center for Nanoscale Systems的 B.Wilson和J.Tresback提供。二维材料研究SCM在表征二维材料独特物理和电子特性有着广泛的应用前景。右边的图像是沉积在硅上的CulnS，电容信号与剥离材料厚度的具有很高的相关性，因此利用SCM模式分辨二维材料层厚度具有良好的潜力。图4 CulnS沉积在硅上的电容数据和3D形貌叠加图样品CulnS沉积在硅上，电容数据叠加在在3D形貌图上，扫描范围20μm，样品由Northwestern的University M. Cheng和V. Dravid教授提供。电池材料研究能量存储是SCM可以提供重要信息的另一个研究领域。右图中给出了一个电池的测试电极，在电容通道中可以观察到明显的对比。单个晶粒和晶界处的电容信号的变化为了解电子传导提供了依据。这些数据可以与导电AFM和电学应变显微镜相关联，以进一步了解结构和功能特性。图5 测试电池的电极，扫描范围30μm。a：形貌图；b：电容图；技术指标

二维压电纳米定位台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X，Y轴200μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。

美国SONIX 超声波扫描显微镜SONIXTM公司是全球超声波扫描检测仪和无损检测设备的领先制造商。自1986年成立以来，SONIXTM在无损检测领域中不断改革创新，是第一家基于微机平台，提供全数字化成像方案的公司。SONIXTM一直致力于技术革新，提供给客户最领先的声学检测技术。SONIXTM设备被广泛应用于各种材料的无损检测，包括半导体，汽车零件和其他先进元件。拥有独立开发的软件，硬件和专利技术，多年来我们通过和客户的不断合作，实现了SAM技术的持续改进。SONIXTM努力提供最准确的数据，完美的图像质量，非凡的操作性和设备的高可靠性，从而为客户提高效率，节约成本。SONIX软件优势● 可编程扫描，自动分，定制扫描程序，一键开始扫描，自动完成分析，生成数据● TAMI断层显微成象扫描: 无需精确选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，一次扫描可获得200张图片，最快速完成分析。● FSF表面跟踪线: 样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片● ICEBERG离线分析: 存储数据后，可在个人电脑上进行再次分析SONIX硬件优势● 紧凑、稳定的结构设计： 模块化设计使得结构简单、稳定、易于维护● 高速，稳定的马达设计： 扫描轴采用最先进的线性私服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描● 专利的超声波探头/透镜： 提供精确的缺陷检验，最小能探测到仅0.05微米厚度的分层。● PETT技术： 反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率封装检测设备应用：封模底部填胶（MUF）检测 堆叠式晶片成像（SDITM） 铜柱凸块（Cu Pillars） 覆晶封装检测晶片尺寸封装（CSP）检测 球闸陈列封装（BGA） 塑料封装IC检测 混合式多晶片模组（MCM）检测ECHO-VSTMSONIX ECHO-VS 是专为更高精度要求，更复杂元器设计的新一代设备。广泛应用在Flip chips, Stacked die,Bumped die,Boned Wafers等。&bull 高分辨率下，扫描速度是传统超声波扫描显微镜的2.5倍&bull 独有的波形模拟器（Waveform Simulator)及波束仿真（Beam Emulator）&bull 扫描分辨率小于1微米&bull 水温控制系统及紫外细菌系统超高频状态工作下，信号更稳定

希望&ldquo 高精度&rdquo 且能够&ldquo 在生产线内&rdquo 进行&ldquo 二维&rdquo 尺寸测量。一向对生产线内测量精益求精的KEYENCE，本次使二维尺寸测量仪的高速化到达一个新的境界。 &bull 从点到面的二维测量，可同时测量最多16 处的测量范围内设定的测量项目。测量时间大幅缩短。 &bull 新开发处高速生产线适用的二维专用处理器，使用2 个高速演算CPU 和图像处理专用DSP。 &bull 高亮度LED 和W 远心光学系统构成的高精度空间。 测量原理：将绿色LED 光转化为均一的平行光进行照射。检测出二维CMOS 上受光的明暗投影，然后测量其尺寸和角度等。采用只成像平行光的W 远心镜头。即使对象物与镜头之间的位置发生变化，CMOS 上的影像大小并不会改变，所以可以实现高精度测量。应用： 多点外径和高度差传统的激光扫描方式采用一维透射式扫描进行测量，必须考虑装置的位移精度，因而无法实现高精度测量。TM-3000 系列TM系列采用二维透射式进行测量，无需扫描。只需将工件置于测量范围内便可实现多点外径测量，既提高了精度，又缩短了工时。测量多点变形 传统的激光扫描方式需先将试样从试验机中取出后再用游标卡尺测量，因此测试需要花费大量时间。TM-3000 系列若使用TM系列测量，则可以在给试样施力的同时确认其变形程度，测试时无需将试样从试验机中取出。另外，可在测试进行期间不断追加其他条件，既准确又省时。定位传统的激光扫描方式若测量时所用摄像机及照明设备与测量机器相撞，则需要花费大量时间进行调节。TM-3000 系列TM系列运用了透射原理，且测量范围大，调节不费时间，缩短了装置操作工时。厚度传统的激光扫描方式测量时使用两个透射传感器分别感测辊轴和薄膜，因此需要花费时间去设置和调节设备。TM-3000 系列若使用TM系列测量，仅需一个传感头即可同时感测辊轴和薄膜，不产生设置误差，同时避免了因振动引起的震颤。在品质和保养上均有改善。测量多点偏移传统的激光扫描方式传统透射式进行多点测量时，除需考虑测量点数× 转动时间外，还要算入移至测量点的移动时间。TM-3000 系列若使用TM系列，仅需从二维数据中选定测量点，即可实现测量。多点偏移测量完全同步且一次完成，大大缩短作业时间。

倒置显微镜二维电动平移台EPSJ01产品介绍：倒置显微镜二维电动平移台EPSJ01是手动位移台的嵌入式替代产品，可以在XY方向电动定位显微镜观测样品。位移台固定在光学平台或面包板上，作为自搭建显微镜的一部分，或用于典型的光子学应用中。位移台具有高速扫描功能，且定位准确度高，非常适合在多种显微镜或成像技术应用中手动或自动定位标本和样品。结合稳定的控制系统和相关的操纵杆选项，可以轻松实现细胞级精确的手动定位和控制。此外，位移台还可以与我们的Z轴电压位移台组合，搭建适合激光扫描显微镜的XYZ位移台。 产品特点：可以集成倒置显微镜高质量、高精度的线性导轨高重复性(5μm)和高定位精度(5μm)负载能力较强，超薄结构 选型表：型号EPSJ01机械规格台面尺寸(mm)244x218行程(mm)80x60传动机构精密滚珠丝杠?6X1导轨交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）58.5自重（kg） 5精度规格整步分辨率（μm）5最大速度（mm/s）5单向定位精度（μm）≤30重复定位精度（μm）≤±5回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤50直线度（μm）≤30运动平行度（μm）≤30偏摆（“）≤50俯仰（“）≤50电气规格电机及步距角（゜）2相28步进电机，步距角1.8电机品牌及型号KGG工作电流（A）0.75电机扭矩（Nm）0.052驱动器品牌及型号KGG滑台接头DB25插口滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器（内置）NPN-PCB–1L–1406原点传感器（内置）NPN-PCB–1L–1406传感器电源电压DC5-24V ±10%消耗电流（mA）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出负载电源：DC5-24VOFF电源：0.5mA以下残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；负载水平负载（kg）2倒置负载（kg）1竖直负载（kg）1最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。

Molecular Vista 散射式扫描近场光学显微镜 ——10nm以下空间分辨可见-红外成像与光谱采集随着近些年对于纳米光子学、表面等离极化激元、二维材料以及范德华异质结构等领域的深入研究，扫描近场光学显微镜 (Scanning Near-field Optical Microscope, SNOM) 已成为研究这些领域的不可或缺的表征手段。虽然扫描近场光学显微镜在散射式模式(s-SNOM)下的空间分辨率有了很大的提升，但是在实际使用上仍然得十分繁杂。在这一背景下，美国Molecular Vista应运而生，推出了全新一代散射式扫描近场光学显微镜Vista-SNOM！有别于传统的扫描近场光学显微镜，Vista-SNOM基于专利的光诱导力显微镜（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技术，通过检测探针与样品之间的偶极交互直接获得样品表面的场强分布，无需远场光学探测器。这不仅杜绝了远场信号的干扰，也无需像SNOM那样配置多个不同波段光学探测器。光诱导力显微镜的检测端可无缝适应紫外～射频，用户仅需考虑如何将激发光激发至样品。Vista-SNOM在光诱导力显微镜模式下实测的场强结果与模拟结果高度吻合，同时也具备了s-SNOM模式。这使得科研人员可以将PiFM场强结果与s-SNOM场强结果进行对比分析。s-SNOM 散射式扫描近场光学显微镜案例下图为金铝二聚体分别在480nm和633nm不同偏振方向激发后的场强分布，图a,b的实测场强与图c,d的理论模拟是否吻合，金铝二聚体间隔仅为5nm!摘自“Wavelength-dependent Optical Force Imaging of Bimetallic Al-Au Heterodimers, Nano Lett. 2018”上面提到拉曼信号的增强主要源于局域表面等离子体共振(LSPR)的电磁场增强，下图为基于银颗粒阵列的表面增强拉曼衬底(SERS)的场强分布，图f的FWHM结果显示光诱导力显微镜实现了3.1nm的空间分辨。摘自“Fabrication and near-field visualization of a waferscale dense plasmonic nanostructured array, RSC Adv. 2018”

TESCAN AMBER X 是完美结合了分析型等离子 FIB 和超高分辨（UHR）扫描电镜的综合分析平台，能够很好的应对传统的 Ga 离子 FIB-SEM 难以完成的困难挑战。TESCAN AMBER X 配置了氙（Xe）等离子 FIB 镜筒和 BrightBeam™ 电子镜筒，能够同时提供高效率、大面积样品刻蚀，以及无漏磁超高分辨成像，适用于各类传统或新型材料的二维成像以及大尺度的 3D 结构表征。拥有 AMBER X 不仅能够满足您现阶段对材料探索的需求，也为您将来的研究工作做好充分的准备。AMBER X 等离子 FIB 不但能轻松应对常规的样品研磨和抛光工作，而且能快速制备出宽度可达1 毫米的截面。氙等离子束对样品的损伤最小，且不会导致注入引起的污染和非晶化。氙是一种惰性元素，所以可以实现对铝等材料进行无污染的样品制备和加工，不用担心传统镓离子 FIB 加工时由于镓离子污染或注入可能导致的微观结构和/或机械性能改变。镜筒内 SE 和 BSE 探测器经过优化，可以在 FIB-SEM 重合点位置获得高质量的图像。TESCAN AMBER X 更有利于安装各类附件的几何设计为样品的综合分析提供了前所未有的潜力，而且还能够进行多模态的 FIB-SEM 层析成像。TESCAN Essence™ 是一款支持用户可根据需求自定义界面的模块化软件。因此，TESCAN AMBER X 可以轻松的从一个多用户、多用途的工作平台转变为用于高效率、大面积 FIB 样品加工的专用工具。主要特点：● 高效率、大面积样品刻蚀，最大宽度可达1毫米的截面。 ● 无镓离子污染的样品加工。 ● 无漏磁的场发射扫描电镜，实现超高分辨成像和显微分析。● 镜筒内二次电子和镜筒内背散射电子探测器。 ● 束斑优化，可确保高效率、多模态 FIB-SEM 断层扫描的效果。● 超大的视野范围，便于样品导航。 ● 可轻松操作的模块化电镜控制软件 Essence™ 。

美国SONIX 超声波扫描显微镜SONIXTM公司是全球超声波扫描检测仪和无损检测设备的领先制造商。自1986年成立以来，SONIXTM在无损检测领域中不断改革创新，是第一家基于微机平台，提供全数字化成像方案的公司。SONIXTM一直致力于技术革新，提供给客户最领先的声学检测技术。SONIXTM设备被广泛应用于各种材料的无损检测，包括半导体，汽车零件和其他先进元件。拥有独立开发的软件，硬件和专利技术，多年来我们通过和客户的不断合作，实现了SAM技术的持续改进。SONIXTM努力提供最准确的数据，完美的图像质量，非凡的操作性和设备的高可靠性，从而为客户提高效率，节约成本。SONIX软件优势● 可编程扫描，自动分，定制扫描程序，一键开始扫描，自动完成分析，生成数据● TAMI断层显微成象扫描: 无需精确选择波形，可任意设定扫描深度及等分厚度，一次扫描可获得200张图片，最快速完成分析。● FSF表面跟踪线: 样品置于不平的情况下，自动跟踪平面，获取同一层面图片● ICEBERG离线分析: 存储数据后，可在个人电脑上进行再次分析SONIX硬件优势● 紧凑、稳定的结构设计： 模块化设计使得结构简单、稳定、易于维护● 高速，稳定的马达设计： 扫描轴采用最先进的线性私服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描● 专利的超声波探头/透镜： 提供精确的缺陷检验，最小能探测到仅0.05微米厚度的分层。● PETT技术： 反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率封装检测设备应用：封模底部填胶（MUF）检测 堆叠式晶片成像（SDITM） 铜柱凸块（Cu Pillars） 覆晶封装检测晶片尺寸封装（CSP）检测 球闸陈列封装（BGA） 塑料封装IC检测 混合式多晶片模组（MCM）检测ECHO-LSTM超声波扫描模式：A-Scan(点扫描)、B-Scan(截面扫描)、C-Scan(层扫描)、Multi-Scan(多层扫描)、T-Scan (穿透式扫描)、Tray-Scan(盘扫描)、Jump-Scan(跳跃扫描)、HTS(高速扫描),TAMI-Scan(断层显微成象扫描)最大分辨率：10000X10000像素最大扫描区域：350mmX350mm最高扫描速度、加速度：1000mm/s，10000mm/s2超声波探头频率 ：10-300MHz设备尺寸 ：W 31" x D 31" x H 48"

产品简介：纳尺度扫描电化学分析系统基于扫描电化学池显微镜(SECCM)、离子电导显微镜(SICM)和扫描电化学显微镜(SECM)基本原理，结合自主研发的高灵敏电流检测、高分辨压电陶瓷移动及高精准反馈模块一体化设计，可以对材料的电化学性能、光学性能及三维形貌等进行高空间分辨成像，从而为理解电化学过程机理，遴选电化学材料等提供研究工具；还可以对单个活细胞在生理过程下多种物理参数（形貌、体积、表面电荷分布、模量等）及电生理信息的变化进行高空间分辨成像。技术参数：

PhaseTech 二维红外光谱仪 2D Quick IR，超快二维红外光谱仪PhaseTech 二维红外光谱仪使用阵列探测器收集高质量的二维红外光谱。PhaseTech 二维红外光谱仪结合中红外脉冲整形技术和阵列探测，快速获取高信噪比数据。 PhaseTech 二维红外光谱仪现已配备新一代128×128像素阵列MCT探测器特点：&bull 测量中红外泵探头动力学&bull 脉冲序列可任意设定&bull 完整的控制和瞬态数据采集软件包&bull 使用参考光束用于收集背景信号，双通道探测提高信噪比&bull 可与我们的瞬态光化脉冲延迟模块配合使用快速、灵活，操作简单脉冲整形模块使得光谱仪适用性更强。根据需要可按时间或频率扫描获取二维谱图。通过快速扫描脉冲整形，2D Quick可以逐个扫描时间延迟。这意味着可以在不到一秒钟的时间内测量到完整的二维红外光谱。然后可以根据需要对多个频谱进行平均以获得所需的信噪比。使用时域采集来提高时间和频谱分辨率，使用频域采集来提高信噪比，可以简单地通过软件在不同的采集模式之间切换。结合2DArray，可通过软件在不同的采集模式下切换。 PhaseTech 二维红外光谱仪技术参数：重复频率：≤ 100kHz脉冲能量：≥8uJ @ 1 kHz， ≥ 1 μJ @ 100 kHz输入偏振：线性，水平输入光斑大小（1/e^2）：7mm，准直泵浦/探测延迟：150ps尺寸：主机尺寸：18.0×39.0×6.3 英寸 (45.7×99.1×16.1cm)含单色仪&探测器： 约 49.8×21.4×9.5 英寸 (约 127×54×24 cm)（其他单色仪和探测器可选配）整形器标准AR镀膜： 2.6 – 10um （1000-3850 1/cm）(其他波长范围可订制)光谱窗口1.5um@ 5.5um（指标是基于标准光栅，输入直径7mm。其他光栅要求可订制。）光谱分辨率5 1/cm @5.5um（指标是基于标准光栅，输入直径7mm。其他光栅要求可订制。）最大脉冲延迟5ps@5.5um （根据标准光栅的有效单元尺寸计算。）主要应用：分子结构与动力学蛋白质结构&动力学实时动力学材料科学分子相互作用相干控制PT_2DQ_IR_Datasheet.pdf

电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜是由德国PANCO公司与德国宇航中心联合研发的热电材料精细测量设备，该设备主要用来测量热电材料中电势和塞贝克系数的二维分布情况。集成化、自动化的设计方案使系统使用非常方便。的稳定性和可靠性彰显了传统德国制造业的优良品质。全新推出的二代电导率-塞贝克系数扫描探针显微镜（PSM II）在代的基础上具有更高的位置分辨率和更高的测量精度。产品特点：+ 可以测量Seebeck系数二维分布的商业化设备。+ 的力学传感器可以确保探针与样品良好的接触。+ 采用锁相技术，精度超过大型测试设备。+ 快速测量、方便使用，可测块体和薄膜。主要技术参数： + 位置定位精度：单向 0.05 μm；双向 1 μm+ 大扫描区域：100 mm × 100 mm 典型值+ 局部测量精度：5 μm（与该区域的热传导有关）+ 信号测量精度：100 nV（采用高精度数字电压表）+ 测量结果重复性：重复性误差优于3%+ 塞贝克系数测量误差： 3% (半导体)； 5% (金属)+ 电导率测量误差： 4%+ 测量速度：测量一个点的时间4-20秒应用领域：1、热电材料，超导材料，燃料电池，导电陶瓷以及半导体材料的均匀度测量2、测量功能梯度材料的梯度3、观察材料退化效应4、监测 NTC/PTC 材料的电阻漂移5、固体电介质材料中的传导损耗6、阴材料的电导率损耗7、GMR 材料峰值温度的降低，电阻率的变化8、样品的质量监控系统组成部分+ 三矢量轴定位平台及其控制器+ 定位操纵杆+ 加热、测温探针+ 力学接触探测系统+ 模拟多路器+ 数字电压表+ 锁相放大器+ 摄像探测系统+ 带有专用控制软件和数据接口的计算机+ 样品台与样品夹具样品夹具加热测温探针部分测试数据1、塞贝克系数测量Bi2Te2.85Se0.15梯度材料表面的塞贝克系数分布（数据来源，PANCO实验室）2、接触电阻测量存在界面的样品通过该设备还可以测量出界面处的接触电阻。通过测量电阻率随针位置的变化，可以得到样品界面处的接触电阻。接触电阻可以通过连续测量界面两侧的电势分布计算得到，图中ΔR正比于接触电阻。（数据来源，PANCO实验室）全球部分用户名单：Beijing University of TechnologyCorning CompanyKorea Research Institute of Standards and ScienceShanghai Institute of Ceramics, CASGermany Air Force Research LabSimens Company Gwangju Institute of Science and Technology Hamburg University Munich University

日本电子扫描电镜JSM-6510A/JSM-6510LA详细介绍日本电子扫描电镜JSM-6510A/JSM-6510LA型与日本电子公司的元素分析仪（EDS），统合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制，操作员只用一只鼠标，就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。扫描电镜最基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色，应用于生物学、植物学、地质学、冶金学等领域。观察可以是一个样品的表面，也可以是一个切开的面，或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶体的生长或腐蚀的缺 陷。它一方面可更直接地检查纸，纺织品，自然的或制备过的木头的细微结构，生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如：花粉颗粒，硅藻和昆虫。另一方面，它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。电子束与样品作用区内，还发射与样品物质其他性质有关信号。例如：与样品化学成分分布相关的，背散射电子，特征X射线，俄歇电子，阴极荧光，样品吸收电流等；与样品晶体结构相关的，背散射电子衍射现象的探测；与半导体材料电学性能相关的，二次电子信号、电子束感生电流信号；在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室，用于探测和定性定量分析样品物质的相关信。操作窗口：直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。支持多用户：单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造快捷的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。同时显示两幅图像：画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。微细结构测量：适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。标准的全对中样品台，能收录三维照片3D Sight（选配件），能够进行平面测量和高度测量，实现立体俯视图。从图像观察到元素分析，配合连贯一条龙分析型扫描电子显微镜配备两台监视 器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析（EDS）。一只通用鼠标即可同时控制两台监视 器。大尺寸画面使操作更加简便与舒 适。维护简便：工厂预置中 心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。可信赖的真空系统：真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。 日本电子扫描电镜JSM-6510A/ JSM-6510LA型的规格保证分辨率3.0nm（30kV）8.0nm（3kV）15nm（1kV）放大倍数5至300,000x加速电压0.5kV至30kV电子枪工厂预对中灯丝聚光镜变焦聚光镜物镜锥形物镜样品台全对中样品台X-Y80mm-40mmZ5mm至48mm旋转360°倾斜－10°至＋90°排气系统（高真空模式）DPx1，RPx1排气系统（低真空模式）DPx1，RPx2日本电子最 大的亮点——方便的导航系统

1产品简介Spider2000+便携式二维拉曼成像光谱仪采用如海光电自主研发的科研级微型共焦拉曼光谱仪RMS2000作为拉曼内芯，从而使得它拥有高灵敏度、高分辨率、强穿透能力以及较好的抑制荧光干扰能力。优化的光路设计可使得拉曼激光光束在通过长焦显微物镜后最小光斑可达到微米级别，可精确采集微米级样品的拉曼光谱。此外，仪器采用高精度二维自动化移动平台，可实现自动扫描mapping成像功能。Spider2000+便携式二维显微拉曼成像光谱仪配备专门为拉曼系统设计的长焦显微物镜，Spider2000+增加上光源反射式照明成像，可通过CCD相机获得样品清晰的显微明场成像，激光经过物镜后光斑接近衍射极限，克服了普通拉曼系统中收集拉曼信号的焦面稍高于或稍低于实际最佳焦面的问题，并且独特的共焦式设计使得样品荧光信号得到有效抑制，从而提高拉曼光谱质量。2产品特点高灵敏度：最低可检测到0.3%浓度无水乙醇特征峰。高分辨率：6cm-1@25μm狭缝。强大软件功能：支持mapping自动扫描、数据库识别等功能。高品质物镜，光斑可达微米级。高精度二维自动化平台。3应用领域4产品规格5应用场景试纸条扫描范围：1.5mm×30mm扫描点数：3×10采集条件：激光功率:50mW；积分时间500ms药品粉末扫描范围：11mm×11mm扫描点数：25×25采集条件：激光功率:500mW；积分时间500ms6典型图谱

NS系列中图微观二维形貌轮廓台阶测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度；能够测量样品的粗糙度和波纹度，获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。工作过程测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。NS系列中图微观二维形貌轮廓台阶测量仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品功能1.参数测量功能 1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。磁吸针实物外观图（330μm量程）应用行业NS系列中图微观二维形貌轮廓台阶测量仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。部分技术指标型号NS200样品观察500万像素彩色摄像机 正视视野：2.2×1.7mm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm630×610×500重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。