电动隔膜泵的主要用途 1、各种剧毒、易燃、易挥发液体。 2、各种强酸、强碱、强腐蚀液体。 3、可输送较高温度的介质150℃。 4、作为各种压滤机前级送压装置。. 5、热水回收及循环。 6、油罐车、油库、油品装卸。 7、泵吸泡菜果酱、土豆泥、巧克力等。 8、泵吸油漆、树胶、颜料粘合剂。 9、各种瓷器釉浆水泥灌浆灰浆泥浆。 10、各种橡胶浆乳胶、有机溶剂、填料。 11、用泵为油轮驳船清仓吸取仓内污水及剩油。 12、啤酒花及发酵粉稀浆、糖浆、糖蜜。 13、泵吸矿井、坑道、隧道、下水道中污水、沉淀物。 14、各种特殊介质的吸送。
泵头清洗液抽干了,清洗管路里进了一段空气,这个对泵有啥影响没?
溶剂过滤头没事A泵抽不上流动相,开排气,大流速,用针头在排废液的地方抽,也抽不出来.......其余三个泵都挺正常的,请问大概哪里坏了啊?在线等,有点急T.T
哪位也在做芯片毛细管电泳的?下底宽60um,深20um,底部宽20um,长约50mm的毛细管,在进样口滴入缓冲液后,要用多大压力才能使缓冲液充满毛细管道啊?想买一个微型泵来抽吸,但不知道买多少压力的才行。请大侠指点迷津!
做液相色谱用的过滤装置,真空泵的抽速是多少?
[align=center][b]高效液相色谱仪故障分析-泵无法正常抽吸流动相[/b][/align]高效液相色谱系统硬件一般很稳定,一套安捷伦系统甚至在合理使用的情况下,使用10年依旧可以保证保留时间的稳定。而新手在使用高效液相色谱系统时,对部件不了解导致各个部件容易出现故障。其中液相色谱系统中,色谱泵无法正常抽吸流动相是困扰各位老师的常见故障之一。本文为大家介绍解决办法及措施,遇到类似问题再也不用麻烦工程师啦![img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907241648112426_1300_3922638_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907241648319487_9751_3922638_3.jpg!w690x517.jpg[/img]泵无法正常抽吸流动相,典型的表现为流动相试剂瓶中有小段空气,设置泵流速后,空气在管路中徘徊,无法抽吸流动相,这时大家应卸下管路与泵头连接的旋钮,将流动相管路中气泡排出。检查试剂瓶中没有出现负压现象的前提下,观察试剂瓶中的流动相是不是乙腈。[img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907241648485262_7281_3922638_3.jpg!w690x517.jpg[/img] 乙腈经常放置于棕色试剂瓶,其原因是在光照下乙腈分子直接容易产生黏连,而泵无法正常抽吸流动相,正是乙腈黏连将色谱泵堵塞,导致色谱泵无法正常抽吸流动相。此时不需要将泵头拆除,只需要将泵头前的单向阀拆下,超声10分钟即可。下图是色谱泵各部件的示意图。[img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907241649140208_3906_3922638_3.jpg!w690x517.jpg[/img][img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907241649223426_5553_3922638_3.jpg!w690x517.jpg[/img]
[align=center][b]高效液相色谱仪故障分析-泵无法正常抽吸流动相[/b][/align]高效液相色谱系统硬件一般很稳定,一套安捷伦系统甚至在合理使用的情况下,使用10年依旧可以保证保留时间的稳定。而新手在使用高效液相色谱系统时,对部件不了解导致各个部件容易出现故障。其中液相色谱系统中,色谱泵无法正常抽吸流动相是困扰各位老师的常见故障之一。本文为大家介绍解决办法及措施,遇到类似问题再也不用麻烦工程师啦![img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907251938215540_9623_3922638_3.jpg!w690x920.jpg[/img]泵无法正常抽吸流动相,典型的表现为流动相试剂瓶中有小段空气,设置泵流速后,空气在管路中徘徊,无法抽吸流动相,这时大家应卸下管路与泵头连接的旋钮,将流动相管路中气泡排出。检查试剂瓶中没有出现负压现象的前提下,观察试剂瓶中的流动相是不是乙腈。[img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907251938435710_7747_3922638_3.jpg!w690x517.jpg[/img] 乙腈经常放置于棕色试剂瓶,其原因是在光照下乙腈分子直接容易产生黏连,而泵无法正常抽吸流动相,正是乙腈黏连将色谱泵堵塞,导致色谱泵无法正常抽吸流动相。此时不需要将泵头拆除,只需要将泵头前的单向阀拆下,超声10分钟即可。[img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907251938547040_6003_3922638_3.jpg!w690x517.jpg[/img]下图是色谱泵各部件的示意图。Agilent1260色谱系统的色谱泵主要由密封金垫、冲洗阀、出口单向阀、入口单向阀等组成,还包含了混合器、阻尼器、压力传感器和缓冲毛细管等。系统耐压高达600 bar,使用不锈钢加固的单向阀、冲洗阀和主动阀,标准配置延迟体积为600-800微升。[img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907251939086455_9815_3922638_3.jpg!w690x517.jpg[/img][img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/07/201907251939132295_6922_3922638_3.jpg!w690x517.jpg[/img]
一、泵整体结构型式真空泵的泵体的安置结构决定了泵的整体结构。立式结构的进、排气口水平设置,安装和衔接管路都比较便利。但泵的重心较高,在高速工作时稳定性差,故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上,排气口鄙人。有时为了真空体系管道装置衔接便利,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是彼此笔直的。此刻,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低,高速工作时稳定性好。一般大、中型泵多选用此种结构。泵的两个转子轴与水平面笔直装置。这种结构安装空隙简略操控,转子安装便利,泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不方便,光滑组织也相对杂乱。二、泵的传动方法真空泵的两个转子是经过一对高精度齿轮来完成其相对同步工作的。自动轴经过联轴器与电机联接。在传动结构安置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样自动转子轴的改变变形小,则两个转子之间的空隙不会因自动轴的改变变形大而改变,故使转子之间的空隙在工作过程中均匀。这种传动方法的最大缺陷是:a.自动轴上有三个轴承,增加了泵的加工和安装难度,齿轮的拆装及调整也不方便;b.整体结构不匀称,泵的重心倾向电动机和齿轮箱一侧。三、特点1、在较宽的压力范围内有较大的抽速;2、转子具有杰出的几何对称性,故振荡小,工作平稳。转子间及转子和壳体间均有空隙,不必光滑,冲突丢失小,可大大下降驱动功率,然后可完成较高转速;3、泵腔内无需用油密封和光滑,可削减油蒸气对真空体系的污染;4、泵腔内无紧缩,无排气阀。结构简略、紧凑,对被抽气体中的尘埃和水蒸汽不灵敏;5、转子外表为形状较为杂乱的曲线柱面,加工和查看比较困难。
泵压力不稳定,而且经常抽不上流动相。会是什么原因呢?没有地方漏液
新手上路,一台比较老的液相色谱仪,型号LC-100,手动进样,流动相水:甲醇=90:10,水的A泵正常,甲醇的B泵,工作显示正常,就是抽不上,空了一段。是不是滤头堵塞了,怎么处理?1、空的管子怎么填满流动相?2. 基线锯齿状怎么回事?请各位高手不吝赐教。
看贴子上说液质更换分子涡轮泵特别贵,是因为它的抽真空能力大?
前处理的时候,需要把样液放在真空干燥器中真空干燥。主要是水份。如果用机械真空泵来抽的话,岂不是把水分收到泵内?有没什么方法可实现呢?谢谢~
用微型真空水泵直接抽水和用微型真空泵间接抽水的对比试验我们是生产医疗设备的,现在要作一个尿液收集仪器,解决卧床病人排尿后的尿液转移收集问题。在研发中,我们面临两种方案选择:一种是选用微型真空水泵直接把尿液转移到收集瓶中,第二种方案是选用微型真空泵,让真空泵对密闭的尿液收集瓶抽真空,从收集瓶上引管子连接到病人的尿液袋上间接抽液。试验中,我们发现间接抽水的效率特别高,耗电特省。具体情况如下:我们选用成都气海公司的微型泵作了对比试验。型号PM7002,把该泵按下图连接,作间接抽水试验。泵通电后,软管A内即开始有水流入密封容器,当达到550ml时,所需时间为23秒,换算成抽水速度约为1.4L/min,而这款泵的功耗约1w(12V DC,负载电流<80mA)。如果直接抽水,我们选用WKA1300-24V微型水泵,功耗约3.4w(24V DC,负载电流<140mA),而抽水速度为1.3L/min。这并非WKA1300微型水泵耗电,而是方案使然。如果是直接抽水,要功耗1w、抽水速度为1.4L/min的泵可能找不到。(上述两款泵的详细技术参数可见www.ruiyi.net,不再此复述。) 两种方案比较,考虑到电池续航时间问题、卫生问题等,我们最终采用了间接抽水的方案。该仪器至今已量产,未见此方案的明显弊端。(BH)
凯氏定氮仪碱泵系统的改装凯氏定氮仪不但是饲料行业质检部门必备的用于测定样品粗蛋白质含量的蒸馏装置,还广泛应用于农业、食品、化工等各行业。凯氏定氮仪的种类和型号繁多,但均利用凯氏定氮的原理,将经浓硫酸消煮后的样品分解液在强碱性状态下进行蒸馏,收集逸出的氨,最后用酸碱滴定法定量,即可测出样品的含氮量,进而推算出样品的粗蛋白质含量。作者以自制的手动气压式泵液装置,替代了原有的电动抽吸式碱泵系统,取得了良好的效果。一 改装背景 凯氏定氮的蒸馏过程需要加入高浓度的强碱溶液。浓碱溶液的加入方式依定氮仪的种类和型号不同而有所差异。使用全玻璃制的传统的常量或半微量凯氏定氮蒸馏装置时,需操作者手工用量杯、量筒等量取碱液,从凯氏定氮蒸馏装置的进样口处倒入,稍有不慎即极易被强腐蚀性的浓碱溶液灼伤;现今广泛使用的各种半自动凯氏定氮仪虽配备了形式各异的电动碱泵系统,已无需手工量取碱液,但因浓碱溶液的强腐蚀性,往往令价格不菲的电动碱泵系统寿命不长,时常发生故障,需频繁更换。因碱泵系统腐蚀损坏漏碱,或在进行这些维修操作时又难免漏出碱液,对仪器电路和其他部件极易造成腐蚀,对维修工作人员也极易造成灼伤事故。 者所在的实验室每年担负繁重的实验、实习教学任务。实验室现有的半自动凯氏定氮仪有六台,原本均使用电动抽吸式碱泵系统。因定氮仪的碱泵系统频繁发生故障,不但影响教学实验的顺利进行,而且对进行实验操作的学生和进行维护的人员的人身安全造成潜在威胁。二 改装及使用方法 氮仪的碱泵系统进行改造,既要控制改造费用,又要达到安全、可靠的性能要求,我们经反复试验,最后选定以普通浇花用的全塑料手动气压式喷壶替代定氮仪上原有的电动抽吸式碱泵,将定氮仪的电动碱泵系统改造成手动气压式。作者将这六台定氮仪的碱泵系统进行了全面改造,经过一个学年近200名学生的使用,表明改装后的手动气压式加碱系统性能可靠,使用效果良好。改装方法是:购买普通浇花用的全塑料手动气压喷壶(因为要耐受浓碱溶液的强腐蚀性,应选全塑料的制品,不含任何金属构件),将壶嘴的雾化喷头卸去不用,将喷壶壶嘴以耐强碱腐蚀的硅胶管或聚氟乙烯管与定氮仪反应室的加碱入口连接,若管子材料太软易折,则可在管子外加套一层普通胶管作支撑。建议选用耐强碱腐蚀的硅胶管或聚氟乙烯管与定氮仪反应室的加碱入口连接,建议使用电工常用的尼龙扎带扣紧所有管道接口,以防松脱漏液。定氮仪原有的电动抽吸式碱泵和所属的电路控制系统均被替换不用。 手动气压式加碱系统使用方法简单方便:管道连接好后,将配制好的碱液装入喷壶内,旋好壶盖,用喷壶上端的打气手柄压几下,使喷壶内的空气形成一定压力,只要按下喷壶的喷液开关,壶内的碱液即可经管道进入定氮仪的反应室,直至加碱量足够,放开开关即可。连续蒸馏样品时,若遇加碱的压力不足,随时按压几下打气手柄即可。三、装置的特点 经二百余名学生一年的实际使用检验证明,在半自动定氮仪上采用手动气压式泵液装置替代原有的电动抽吸式碱泵系统,有如下优点:1.价廉易得 改装容易 一个全塑料浇花用的气压喷壶市场零售价约十几元,与仪器厂家报价为数百元的电动抽吸式碱泵相比,可大大节约经费。买来喷壶,卸去喷嘴即可连接使用,安装方法简单,无需复杂的电路控制装置。2.性能可靠 使用安全 只要所连接的管道不漏液,即可安全使用。因改装后的加碱系统改为便捷的手工操控,不会令操作人员增加多少操作动作,但却可令整台仪器的结构和控制电路更加简单,不但直接降低仪器整体制作成本,降低由于电动碱泵故障所导致的整机检修率。由于选用的手动气压式喷壶是全塑料制成的,相对于电动抽吸式碱泵,可大大降低更换频率,进而大大降低由此连带造成的仪器电路或其他部件被漏出碱液腐蚀等的故障发生率,也大大降低由此连带发生的人身安全事故的危险性。从过去的一个学年二百余名学生使用的情况看,六台定氮仪的手动气压式加碱系统使用完全正常,尚未出现过任何异常和故障,目前还在继续使用中,尚未有需要更换的迹象。3. 有利于学生掌握实验原理和反应条件要点 教学实验用定氮仪采用手动操控加碱,加碱过程和加碱量的控制更加直观,有利于学生更好地理解和掌握凯氏定氮的基本原理,更深刻地体会如何控制反应条件。凯氏定氮蒸馏过程的反应条件控制要点是必须达到强碱性,而碱的加入量并不需要十分精确。常用的样品前处理方法是采用硫酸铜作催化剂,蒸馏时加碱量若足够,达到了强碱性状态,则样品中大量存在的铜离子就会使溶液变为棕黑色。学生在手动操控加碱的过程中,可通过观察定氮仪反应室内溶液的颜色变化自主掌握加碱的量,学生对凯氏定氮蒸馏过程需要控制的反应条件会有更深的印象。至于加碱稍过量对测定结果的影响基本可忽略不计,反而对于样品消煮的温度、时间、催化剂等以及蒸馏的馏出液量等因素却应控制好。 若样品溶液内含浓硫酸多,密度大,样品溶液积聚在反应室底部,而加入的碱液在上层,不容易判断所加入的碱液是否已经足够。但只要开始通入蒸汽蒸馏,酸、碱溶液即被混匀,就能很直观地观察到反应室内的溶液是否已达到强碱性。若发现加入的碱液不足,也无需停止蒸馏,只要轻轻按下喷壶按钮,补充碱液直至反应室内的溶液呈棕黑色即可。而中途停止蒸馏却会因蒸汽压力骤然下降,致使样品溶液倒吸,导致实验失败。4.其他用途 它既可应用于其他类型的定氮仪,也可广泛应用于其他须移取液体的实验过程。即使是使用传统的玻璃制的常量或半微量凯氏定氮蒸馏装置,也可利用这种用气压喷壶改制的碱泵系统加碱,既避免手工取用碱液的麻烦,更可避免实验人员受强碱腐蚀伤害的潜在危险,使实验操作更加方便和安全。此外,这种手动气压式泵液装置也可广泛应用于其他须移取液体的实验过程,只要考虑到该装置的材料不会引入影响实验的因素即可。
下午四点左右放空,之后清洗离子源,抽空时显示仪器状态有问题,抽真空也没用,泵速不上升,但是温度会上升
新买了个真空抽滤泵,需要滤膜过滤,这个新买的滤膜级难闻,是不是要处理下?第一次用没注意,直接放在装置中间抽滤,然后电导率爆表……是不是这个滤膜的处理方法和微生物滤魔法的滤膜一样么?求高手指点
实验室抽滤泵抽进水了会损坏泵吗
微型真空泵对密闭容器抽真空的时间问题 对于微型真空泵对密闭容器抽真空的时间不是一个简单的算数问题,不少同事对此问题都有误解。比如,用一台5L/min的微型真空泵对一个10升的容器抽真空,并不是2分钟就可以使容器内的真空度达到泵的极限真空。当泵在抽气时,开始的一瞬间抽速确实是5L/min,但一旦容器内有了真空,抽气速率就下降了,随着容器内的真空度不断升高,抽气速率也不断下降,这不是一个简单的线性变化过程,而是一个呈指数函数变化的过程。在成都气海机电制造公司(是国内最早开始生产微型真空泵、微型气泵的一家企业)的网站上有这个函数关系式和计算程序。但各位同事在计算时要注意,其中的“抽气速率”应该用泵的有效值代入运算,而非峰值流量。还有,计算结果是理论值,没有考虑实际情况(比如气体泄露),因此实际时间比计算值要长些。参考资料:www.ruiyi,net (BH)
[b][font=宋体]用微型真空水泵直接抽水和用微型真空泵间接抽水的对比试验[/font][/b][font=宋体]现在要作一个尿液收集仪器,解决卧床病人排尿后的尿液转移收集问题。在研发中,我们面临两种方案选择:一种是选用微型真空水泵直接把尿液转移到收集瓶中,第二种方案是选用微型真空泵,让真空泵对密闭的尿液收集瓶抽真空,从收集瓶上引管子连接到病人的尿液袋上间接抽液。[/font][font=宋体]试验中,我们发现间接抽水的效率特别高,耗电特省。具体情况如下:[/font][font=宋体]我们选用成都气海公司的微型泵作了对比试验。型号[/font][font=Times New Roman]PM7002[/font][font=宋体],把该泵按下图连接,作间接抽水试验。泵通电后,软管[/font][font=Times New Roman]A[/font][font=宋体]内即开始有水流入密封容器,当达到[/font][font=Times New Roman]550ml[/font][font=宋体]时,所需时间为[/font][font=Times New Roman]23[/font][font=宋体]秒,换算成抽水速度约为[/font][font=Times New Roman]1.4L/min[/font][font=宋体],而这款泵的功耗约[/font][font=Times New Roman]1w[/font][font=宋体]([/font][font=Times New Roman]12V DC[/font][font=宋体],负载电流<[/font][font=Times New Roman]80mA[/font][font=宋体])。如果直接抽水,我们选用[/font][font=Times New Roman]WKA1300-24V[/font][font=宋体]微型水泵,功耗约[/font][font=Times New Roman]3.4w[/font][font=宋体]([/font][font=Times New Roman]24V DC[/font][font=宋体],负载电流<[/font][font=Times New Roman]140mA[/font][font=宋体]),而抽水速度为[/font][font=Times New Roman]1.3L/min[/font][font=宋体]。[/font][font=宋体]这并非[/font][font=Times New Roman]WKA1300[/font][font=宋体]微型水泵耗电,而是方案使然。如果是直接抽水,要功耗[/font][font=Times New Roman]1w[/font][font=宋体]、抽水速度为[/font][font=Times New Roman]1.4L/min[/font][font=宋体]的泵可能找不到。(上述两款泵的详细技术参数可见[/font][font=Times New Roman]www.ruiyi.net[/font][font=宋体],不再此复述。)[/font][font=Times New Roman] [/font][font=宋体]两种方案比较,考虑到电池续航时间问题、卫生问题等,我们最终采用了间接抽水的方案。该仪器至今已量产,未见此方案的明显弊端。[/font][font=Times New Roman](BH)[/font]
有什么泵可以抽粉体材料,比如钛白粉
注射器清洗完怎么用真空泵抽干我听别人讲,可以用下述溶液依次清洗:5%氢氧化钠水溶液、蒸馏水、丙酮、氯仿,最后用真空泵抽干。我就不知道怎么用真空泵抽干.高手指点迷津
我们是agilent 1100,这个泵用了快两年了寒假后今天首次开机,发现四元泵抽不动溶剂了,purge的时候流速开到5也一样。准确地说,不是完全不动,但抽的极慢,几乎就和不动一样。请问这是什么原因造成的呢?该怎么解决呢?后记:问题解决了。本来打算拆开主动阀,发现工程师上得太紧,就没高兴动了(我们这里负责“领导”的各色人等太多,太积极反倒容易给自己找麻烦,最保险的是先等待领导指示,无奈[em0807])。顺手下了purge,发现里面的四氟frit已经很脏了,就把frit给换了,[B]结果居然好了[/B]。真是frit的原因么?[em0810]因为要发赏分,本帖只好锁了。29日答复的朋友一律小赠5分,其后答复的朋友一律2分。呵呵
这要看是那个厂家的产品。有些牌子的微型泵在运转时两个口都不能堵塞,否则就把微型气泵搞坏了。先说抽气口堵塞的情况。像KNF的NMP830抽气口就完全可以堵塞,连续运行泵也不会坏;VM、VAA、PK、PC、VCH等系列产品也同样,在抽气口堵塞的情况下连续运行微型泵也不会有损伤。再说排气口堵塞的情况。FM、FAA、PCF系列产品在运行时可以堵塞排气口,抽气口也可以堵塞,甚至两个口全部堵塞,微型泵都不会坏。在某些意外或极端情况下,抽排气口可能会堵塞,很多牌子的微型泵就会损坏,选购产品时要考虑到。(S200106)
分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
我们的真空抽滤泵有好几台泵内进入了液体,腐蚀很严重,请问一般是什么原因造成的呢?大家都是怎么避免的?急!
请问您认为抽气量大的分子涡轮泵(例如255L/s)和抽气量小的泵(例如70L/s),那种泵的转速高?
大家好,我实验室的镀膜仪(型号:CS-400多靶直流、射频磁控溅射仪)出了些问题,想请教大家一下,谢谢。 刚开始机械泵(型号:2ZX-4)的三相电压反向了,结果导致喷油,然后把电压接好,清理好喷出的油后,机械泵就不能像以前一样快速抽到10pa以下了,大概抽到40pa左右,再往下抽就很慢了,感觉有地方漏气,希望大家能提出一些意见,谢谢。
仪器关了两天,开机机械泵抽真空大概4小时,扩散室真空压力无变化,检查机械泵与仪器连接无问题后联系工程师,工程师建议打开氩气,氩气打开后真空压力值开始降低。氩气和机械泵抽扩散室压力有什么关系呢,求助各位老师
请问一下岛津的高效液相色谱它的泵在抽乙腈时压力上不去,但在乙腈里加点水就有压力,是什么原因?
[align=center][img=,690,371]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311949282951_4033_3384_3.png!w690x371.jpg[/img][/align][color=#ff0000]摘要:针对密封腔体内真空度(压强)的准确控制,本文基于薄膜电容真空计、电动针阀、电动球阀、真空泵和高精度PID控制器组成的真空控制系统,设计了上下游两种模式的控制试验方案。依据对两种试验方案分别进行了试验,考核了10Pa~600Torr真空度范围内十几个设定点的恒定控制精度,并用波动率描述了考核试验结果。试验结果显示在整个真空度量程范围内,恒定控制的波动率小于±1%。[/color][color=#ff0000][/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=18px][color=#ff0000]1. 考核试验方案[/color][/size] 在真空腔体的真空度(压强)控制过程中,会针对具体要求对真空度进行准确的定点控制或程序曲线控制,并配套使用真空计、电动针阀、电动球阀(电动蝶阀)、真空泵和高精度PID控制器。 在真空度具体控制过程中,一般会根据具体工艺要求在上游控制和下游控制这两种模式中选择一种。一般而言,在低真空(高压)下会选择下游控制模式,在高真空(低压)下会选择上游控制模式。 为了考察真空度(压强)控制模式和控制系统的控制精度,分别设计了两个考核试验方案。[color=#ff0000]1.1. 配备电动针阀的上游控制模式[/color] 上游控制模式考核试验方案如图1-1所示。 在上游模式中主要考核1Torr以下的高真空度恒定控制,所以采用了1Torr量程的薄膜电容真空计。真空腔体的进气由24位高精度的PID控制器控制电动针阀来进行调节,真空腔体的出气则由真空泵进行抽取。在真空泵抽气速率恒定的情况下,通过自动调节电动针阀的开度来实现腔体内真空度的控制。[align=center][img=1-01.上游控制模式试验方案示意图,400,411]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311953076843_6825_3384_3.png!w690x710.jpg[/img][/align][align=center][color=#ff0000]图1-1 上游控制模式试验方案示意图[/color][/align] 实施上述设计方案的考核试验装置如图1-2所示。[align=center][color=#ff0000][img=1-02.上游控制模式考核试验装置,690,466]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311953439851_1379_3384_3.png!w690x466.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图1-2 上游控制模式考核试验装置[/color][/align][color=#ff0000]1.2. 配备电动球阀的下游控制模式[/color] 下游控制模式考核试验方案如图1-3所示。 在下游模式中主要考核小于一个大气压(760Torr以下)的低真空度恒定控制,所以采用了1000Torr量程的薄膜电容真空计。真空腔体的进气由手动阀门保持一恒定开度,真空腔体的出气则由真空泵进行抽取,但通过24位高精度的PID控制器控制电动球阀来调节出气速度。在进气和真空泵抽气速率都恒定的情况下,通过自动调节电动球阀的开度来实现腔体内真空度的控制。[align=center][color=#ff0000][img=1-03.下游控制模式试验方案示意图,400,428]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311954050798_6215_3384_3.png!w666x713.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图1-3 下游控制模式试验方案示意图[/color][/align] 实施上述设计方案的考核试验装置如图1-4所示。[align=center][color=#ff0000][img=1-04.下游控制模式考核试验装置,690,425]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311954267687_6095_3384_3.png!w690x425.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图1-4 下游控制模式考核试验装置[/color][/align][size=18px][color=#ff0000]2. 试验和结果[/color][/size][color=#ff0000]2.1. 上游控制模式试验和结果[/color] 在上游模式试验过程中,首先开启真空泵后使其全速抽气,然后在68Pa左右对PID控制器进行PID参数自整定。自整定完成后,分别对12、27、40、53、67、80、93和107Pa共8个设定点进行了控制,整个控制过程中真空度的变化如图2-1所示。[align=center][color=#ff0000][img=2-1. 上游考核试验曲线,690,418]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311955268759_6495_3384_3.png!w690x418.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图2-1 上游控制模式真空度定点控制考核试验曲线[/color][/align] 将上述不同真空度恒定控制点处的控制效果以波动率来表达,则得到如图2-2所示的不同真空度下的控制波动率。从波动率图可以看出,采用1Torr真空计控制1Torr以下真空度时,波动率会随着真空度的升高(压强降低)而增大,主要因为以下几方面的原因:[align=center][color=#ff0000][img=2-2. 上游模式真空度恒定控制波动度,690,388]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311955531485_5277_3384_3.png!w690x388.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图2-2 上游模式真空度恒定控制波动率[/color][/align] (1)在整个控制过程中,始终采 用的是在68Pa真空度恒定点处自整定后的PID参数,显然将此PID参数应用于12Pa恒定点控制并不太合适,还需进行单独的PID参数。 (2)在PID参数自整定后,并未对PID进行更进一步的精细调节,直接采用了自整定获得的PID参数,这也是影响波动率的一个原因。 (3)1Torr真空计的量程为0.0001~1Torr,即0.013~133.32Pa,对应的模拟信号输出为0~10V。在上述实际测量中,最低真空度恒定点107Pa时的模拟信号为8.026V,最高真空度恒定点12Pa时的模拟信号为0.900V,那么对于一定采集精度的控制器而言,测量和控制0.900V时的测控误差显然会较大。[color=#ff0000]2.2. 下游控制模式试验和结果[/color] 在下游模式试验过程中,首先开启真空泵后使其全速抽气,并将进气阀调节到微量进气的位置,然后在300Torr左右对PID控制器进行PID参数自整定。自整定完成后,分别对70、200、300、450和600Torr共5个设定点进行了控制,整个控制过程中真空度的变化如图2-3所示。[align=center][color=#ff0000][img=2-3. 下游考核试验曲线,690,411]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311956082491_876_3384_3.png!w690x411.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图2-3 下游控制模式真空度定点控制考核试验曲线[/color][/align] 将上述不同真空度恒定控制点处的控制效果以波动率来表达,则得到如图2-4所示的不同真空度下的控制波动率。从波动率图可以看出,采用1000Torr真空计控制1000Torr以下真空度时,波动率会随着真空度的升高(压强降低)而略有增大,与上游控制模式中的现象一致。[align=center][color=#ff0000][img=2-4. 下游模式真空度恒定控制波动度,690,427]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311956206407_9051_3384_3.png!w690x427.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图2-4 下游模式真空度恒定控制波动率[/color][/align][size=18px][color=#ff0000]3. 结论[/color][/size] 通过上下游两种控制模式的考核试验,可得出以下结论: (1) 配备有目前型号电动针阀、电动球阀和PID控制器的真空度(压强)控制系统,在采用了薄膜电容真空计条件下,恒定真空度(压强)控制的波动率可轻松的保持在±1%以内; (2) 由于真空控制系统中进气或出气流量与真空度并不是一个线性关系,因此在整个测控范围内采用一组PID参数并不一定合适,为了使整个测控范围内的波动率稳定,还需采用2组以上PID参数。 (3) 今后还需开展进一步的研究和试验工作,希望控制波动度能降低到±0.5%以下,而且提高控制响应速度,以满足更苛刻的真空工艺要求。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [align=center][img=,690,305]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/07/202107311952439870_640_3384_3.jpg!w690x305.jpg[/img][/align]