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常规管式炉

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常规管式炉相关的论坛

  • 大型气相液氮罐与常规储罐的比较:哪种更适合工业应用?

    大型气相液氮罐与常规储罐的比较:哪种更适合工业应用?

    在工业领域中,有效的储存和运输液体氮气是非常重要的。而在选择合适的储罐方面,大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐和常规储罐是两种常见的选择。但是,哪种储罐更适合工业应用呢?本文将比较这两种储罐的特点和优势,旨在为读者提供明智的选择方向。  1. 大型[url=http://www.yedanguan365.com/][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐[/url]的特点和优势  大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐是一种专门设计用于储存和运输液态氮气的设备。它具有以下几个特点和优势:  (1) 容量大:大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐的容量通常远大于常规储罐。它们可以容纳数百到数千升的液态氮气,满足工业生产中大量液态氮气的需求。[img=http://www.mvecryo.com/,487,318]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/12/202312251057449944_7234_3312634_3.png!w487x318.jpg[/img]  (2) 高效保温:大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐采用先进的保温技术,可以有效减少液态氮气的蒸发率。这意味着储存的氮气可以更长时间地保持在液态状态,减少了频繁补充氮气的需求,提高了工作效率。  (3) 安全可靠:大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐配备了多重安全设备,如压力阀、温度控制系统和报警装置。这些措施可以确保氮气的储存和运输过程中的安全性,降低事故风险。  以一家名为“工业科技公司”的企业为例。该公司专注于生产高质量的电子元件,需要大量的液态氮气来冷却电子组件。由于工艺的特殊性,他们选择了投资一台大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐,以满足他们庞大的液态氮气需求。这种储罐的大容量和高效保温特性确保了工业科技公司能够持续、稳定地供应液态氮气,并提高了他们生产线的效率。  2. 常规储罐的特点和优势  常规储罐是指那些用于储存常规液体材料(如水、油等)的传统储罐。尽管它们不是专门为氮气设计的,但在某些工业应用中仍然可以发挥重要作用。下面是常规储罐的特点和优势:  (1) 多功能性:常规储罐具有多种容量和形状可供选择,适用于不同类型的液体物质储存。这使得它们在一些工业场景中可以用来存储氮气,以满足中小规模生产的需求。  (2) 低成本:相对于大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐,常规储罐通常价格更低,更适合预算有限的企业。这使得它们成为一些小型工业设施的理想选择。  举例来说,某家名为“创新科技公司”的小型制造厂需要储存少量液态氮气来支持他们的生产过程。考虑到预算限制,他们选择了购买一个常规储罐,并根据自身需求调整了储罐的大小。这个决策帮助创新科技公司在满足生产需求的同时,节省了成本。  鉴于大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url][url=http://www.yedanguan365.com/]液氮罐[/url]和常规储罐各自的特点和优势,选择最合适的储罐取决于具体的工业应用需求。对于需要大量液态氮气、有较高安全要求和更长保温时间的工业场景,大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐是首选。而对于中小规模生产、预算有限的企业,则常规储罐是一个经济实惠的选择。  在做出选择之前,企业应仔细评估自身的需求,并与专业储罐供应商进行咨询。他们将根据企业的具体情况提供最佳的解决方案,确保选择的储罐能够满足工业应用的要求,提高生产效率和安全性。 [url=http://www.mvecryoge.com/]金凤液氮罐[/url] [url=http://www.mvecryo.com/chartmveduwaping/]杜瓦瓶[/url] [url=http://www.mvecryo.com/]mve液氮罐[/url]   通过本文的比较分析,读者可以更全面地了解大型[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]液氮罐和常规储罐的特点和优势,以便在工业应用中做出明智的选择。[b][url=http://www.mvecryo.com/1482.html]杜瓦瓶检验主要包含哪些项目[b]什么是液氮罐的公称容积?[/b][/url][/b]

  • 实验室常规仪器价值观竞猜

    2012年实验室常规仪器设备清单序号物资名称型 号 厂家单位单价1温湿度计JWS-A1北京宝力马台 2空气采样器TMP-1500建湖仪器台 3数显水浴锅HH.S-II-2S上海跃进台 4密封锤式破碎机FTB-180*150镇江丰泰台 5酸度计PHS-3C上海雷磁台 6马弗炉SX2-4-10上海意丰台 7离子交换纯水器70型无锡科达台 8恒温振荡器SHA-B常州国华台 9控氧仪(数显)KY-2B浙江新安江台 10测氧仪CY-7B浙江新安江台 11奥氏仪1904上海隆拓台 12高速万能粉碎机[

  • 分析实验室常规注意事项!

    ●实验用品领用:常规实验用品由管理实验室提供.有些是领取,但需要专人签字.有些是借用,用毕后,清洗干净如数归还.●常规分析实验室的仪器,设备,都需要在实验室仪器管理人员的指导下或同意后才可使用.常规分析实验室的仪器,设备都有简单的操作使用说明,请详细按照操作规程操作.●每台仪器旁都备有登记本,使用完毕后应认真,准确,及时按要求填写.如遇仪器出现故障或损坏请及时向管理人员汇报,不能弃之不管,一旦发现将酌情处理.●天平,特别是万分之一的天平不得任意搬动.使用完毕后应立即清扫天平,以免化学试剂腐蚀天平.●实验室的烘箱是不锈钢体的,不能将未洗干净的物品放进烘箱.在烘汁液丰富的植物鲜样时应垫上牛皮纸,以免汁液流到烘箱上.不能用不干净的抹布擦烘箱.如果因人为的因素造成对烘箱的损坏,将酌情处理.●实验室的分样器,加样枪为公用物品,使用实行借用登记制.不能用加样枪加强酸或强碱,以免腐蚀.为方便大家使用和提高使用率,用完后请及时归还.任何人不得自行转借,违者,将根据情节取消其使用资格,重者交实验室主任处理(如遇损坏须赔偿).●严禁在实验台的插孔上使用功率大的电器.严禁随便搬动电炉.●对于功率大的电器,如烘箱,马拂炉等,请严格按照要求操作。每天应在下班前关闭.●常规分析实验室允许实验完毕后的样品保留7天,特殊情况可提出申请,延长保留时间.一旦过期实验室将会处理.●第一次使用比色计,火焰光度计,pH计,消煮炉,定氮仪等仪器都必须在管理人员的指导下使用.●使用震荡机,震荡瓶一定要平衡放置.使用离心机,离心管一定要称重平衡后,对称放置.

  • 管式炉刚玉管

    管式炉烧结时,如果升温速率为10℃/mim,并且希望在高温处直接停止程序,刚玉管是否承受的住会不会断裂?或者有没有比刚玉管更好的选择?

  • 管式炉刚玉管

    在管式炉烧结时,如果升温速率为10℃/min,并且烧结结束后要在高温处直接停止程序,刚玉管是否承受的住?或者有没有别的可替代刚玉管的?

  • 管式炉问题

    麻烦问一下大家,我在使用管式炉(N2气氛)烧制氮化硼(通过尿素和硼酸在1000℃下)总会出现管子堵塞的情况,大家有没有啥好的解决办法(N2流速小点可以吗

  • 管式炉的炉塞该放在什么位置?

    管式炉的炉塞该放在什么位置?

    实验室有几台天津中环的管式炉,有几个问题想问一下(PS:中环的客服真TMD差!)1.管式炉的炉塞是必须的么?2.我记得炉子自带的是弧底的磁舟,能跟石英管直接接触,我用的是平底磁舟,相当于架起来了,跟石英管底部不接触,有影响么?3.我们有一个管式炉是三段控温,每两段炉丝之间是隔开的,我设置三段温度都是相同,如下图,磁舟是分别放在每段的中间和放在整根管的中间,哪种比较好?[img=,690,517]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/12/201712221936_3820_2991446_3.png!w690x517.jpg[/img][img=,690,517]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/12/201712221937_7401_2991446_3.png!w690x517.jpg[/img]4.管式炉的炉塞该放在什么位置?下面两张图哪个比较合理?[img=,690,920]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/12/201712221921_8680_2991446_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/12/201712221921_3786_2991446_3.jpg!w690x920.jpg[/img]

  • 管式炉红外仪

    管式炉红外仪现在用的多吗?主要用在哪些行业啊?我了解的多用在游离碳等的测定

  • 热学常规计量校准服务

    常规计量校准服务[b][color=#fc466f]接触测温[/color][/b]热电偶、热(敏)电阻、膨胀式温度计、温度变送器、表面温度计、温度二次仪表检定/校准;[b][color=#fc466f]非接触测温[/color][/b]辐射温度计、红外温度计、红外热象仪、辐射热流计等检定/校准;[color=#fc466f][b]湿度[/b][/color]温湿度表、湿度传感器、露点仪、通风干湿表、水分仪等湿度计量器具检定/校准;[color=#fc466f][b]标准装置现场计量[/b][/color]各类黑体辐射源、热电偶检定炉、恒温槽、热工自动检定系统、湿度发生器等温度或湿度标准装置现场校准;[b][color=#fc466f]环境试验及热处理设备[/color][/b]温湿箱、盐雾试验箱、淋雨试验箱、高低温低气压试验箱、太阳辐射试验箱、温度湿度振动三综合试验箱、热处理炉、真空试验罐、真空炉等环境试验设备和热加工设备校准;[b][color=#fc466f]流量[/color][/b]涡轮流量计、涡街流量计、容积式流量计、质量流量计、科里奥利质量流量计、超声波流量计、浮子流量计、车用油耗仪、检漏仪等各种液体或气体流量计及相关设备检定、校准;[b][color=#fc466f]油液物化参数[/color][/b]颗粒计数器校准、油液中颗粒数量、污染度等级检测、洁净室检测;[b][color=#fc466f]流速[/color][/b]皮托管、总静压管、多孔方向探针、热线(热膜)风速仪、叶轮式风速计、超声波风速计、风杯(风标)式风速风向仪等检定/校准;[b][color=#fc466f]其他非标承接[/color][/b]可根据用户的需要,开展温湿度传感器、仪表的现场校准工作和一些非标参数的测试工作。

  • 可吸附卤素所用的管式炉

    请问各位:大家做水质 可吸附卤素所用的管式炉都是什么牌子的呀?现在打算做这个项目,管式炉不知道买哪家的,有没有现在有的还不错的推荐,谢谢

  • 【讨论】电弧炉、管式炉、高频炉的比较

    管式炉,准确名称为电阻加热燃烧炉,使用硅碳棒连续加热,最高炉温达到1350°,试样放于燃烧舟中,推入电阻加热炉中央的燃烧瓷管中进行加热燃烧。使用这种加热炉,式样的燃烧一般比较完全,碳的测定结果有较高的准确度和较好的重现性,缺点是耗电大,升温速度慢和原材料消耗大。高频炉,准确的叫高频感应加热炉,利用高频感应电流为外部热源,使式样完全融化和燃烧。它采用间隙加热方式,燃烧时,电流直接加于式样之上,所以热损耗大大减少,而且不燃烧时,没有感应电流输出,可以随时切断电源,路子耗电很少,此外,高频炉升温速度快,燃烧温度高,可以达到1700度,对难溶式样较为有利,高频炉中式样的燃烧过程是先熔化后燃烧,试样燃烧非常完全,但是燃烧时飞溅较电阻路严重。电弧燃烧炉结构简单,电能消耗少,操作方便,消耗材料少。以电弧点火为条件,试样的氧化放热为主要热源,在几秒钟内,产生1600度高温,将试样迅速融化燃烧。但是随着时间的延长,温度又迅速下降,对一些难溶式样的燃烧会产生一定影响。

  • 请问管式炉碳硫仪

    我单位想采购一台管式炉碳硫仪测定钢铁中的C\S含量,请问各位有什么可推荐的?预算1w左右。

  • 入世后俄罗斯2012实验室常规设备的需求概况

    入世后俄罗斯2012实验室常规设备的需求概况俄罗斯在2011年12月15日-17日举行的WTO部长级会议上,将正式批准俄罗斯的成员国身份,届时俄罗斯的市场准入和投资环境等都将发生明显的变化,同时俄罗斯入世给扩大和深化中俄经贸合作将带来新的机遇。下文就俄罗斯入世对我国实验室常规设备对俄出口情况做简要分析。一、俄罗斯实验室常规设备制造业的转轨1991年年底,苏联宣告解体。苏联解体后,许多科学仪器工厂都倒闭了,众多加盟共和国中只有很少的国家保留了实验室常规设备制造业。目前独联体国家中只有俄罗斯、白俄罗斯、乌克兰这三个国家的实验室常规设备制造能力尚可,但是其制造规模远远达不到苏联时期的水平。现阶段,俄罗斯克服了苏联解体给实验室制造业带来的危机,使本国的实验室制造业呈现良好的发展态势。同时俄罗斯对实验室常规设备的需求量也在增加。近几年俄罗斯的市场容量从19亿美元增加到近30亿美元,今后几年每年还将以30%的速度增长。当前的俄罗斯整体产业结构不均衡,像民用的实验室常规设备制造、轻纺、计算机等领域的生产能力及规模与航空航天、原子能利用的能力与规模相差巨大。目前,俄罗斯实验室常规设备市场突出的特点是依赖于进口,国内的产量及生产技术满足不了俄罗斯国内对实验室常规设备需求的增长。实验室常规设备不足是俄罗斯面临的主要问题,所以旨在实施增加本国实验室常规设备产量的国家规划。但依照俄罗斯目前的现状,仍需大量进口实验室常规设备以满足国内市场的需求。专家预测,俄罗斯实验室常规设备市场到2012年末,流转资金将会增长两倍。进口科学仪器的开支将会增长到3000亿卢布。二、俄罗斯入世对我国实验室常规设备出口的影响俄罗斯已与大部分世界贸易组织成员达到了双边准入协议,一些尚未商妥的必要法律文件正按世界贸易组织的要求进行修改并将于2011年底进行新的磋商。世界贸易组织总干事穆尔最近指出,俄罗斯加入世界贸易组织必定会对俄罗斯社会经济生活各方面及国际贸易格局产生巨大而深远的影响,也为中国企业发展与俄罗斯经贸合作提供新的机遇。俄罗斯加入世贸组织将使俄罗斯降低市场准入门槛,有利于中国企业扩大商品出口潜力。同时俄罗斯加入世贸组织之后市场环境的改善也有利于中国企业按国际惯例开展各项经贸活动。目前,俄罗斯政府对本国的食品、农业、教育、纺织等领域的仪器设备给予积极支持的态度,同时俄罗斯入世也对实验室常规设备制发展具有积极的推动作用。现阶段俄罗斯潜在的实验室常规设备购买力很强,2012年,俄罗斯将成为实验室常规设备进口需求量激增的国家之一。三、面对俄入世我国实验室常规设备制造企业应采取的贸易战略面对俄罗斯国内的目前情况,我国实验室常规设备制造企业应该从以下三点入手。(一)、既不可观望等待,也不能急功近利。俄罗斯经济从1999年开始复苏,市场购买力显著增强。我国的一些企业一直没有重视俄罗斯市场,对俄贸易的主力军一直是边境城市的贸易队伍。2012年,我国实验室常规设备制造企业应当开始对俄进行一些实际考察,从满洲里等边境城市着手,脚踏实地,放眼长远,为未来打下坚实的基础。(二)、努力发挥优势,扬长避短,争取捷足先登。俄罗斯的教育、农业、食品、纺织等领域的实验室常规设备不够发达,有很多机会可以利用,我国的实验室常规设备制造企业不仅可以直接出口,还可以合资生产经营,就地销售或出口第三国,还可以带动相关技术设备、商品和劳务的出口。(三)、提高产品质量是根本,树立品牌意识。我国的实验室常规设备制造企业不仅要在提高质量,扩展经营领域,树立品牌形象等方面下功夫,还要遵纪守法,规范经营,不断适应市场和环境的变化,增强竞争能力,充分发挥中国实验室常规设备制造企业开拓俄罗斯市场的潜力。(四)、扩大营销渠道,强化对俄贸易对接。营销渠道是企业发展的基石,因此2012年我国企业更要抓住俄入世后的实验室常规设备市场,目前俄罗斯的采购主要是以沈阳为轴心的东北市场,同时也依赖一些以边贸为主的贸易公司与俄罗斯“灰色清关”达成交易,近几年企业的营销渠道始终拘泥于边境贸易。随着俄罗斯的入世,部分企业瞄准了俄罗斯实验室常规设备市场,国内一些零散的企业选择参加在俄罗斯举办的展会,进行贸易促进和市场研究,不断拓展自己的营销渠道,并且获得了不错的效果,给自身带来更广阔的市场。目前一些展览公司也将目光聚集到俄罗斯,抓住俄罗斯入世的时机在俄办展,如即将举办的2012中国科学仪器博览会,抓住了俄罗斯入世的契机,把国内企业带到俄罗斯,以促进中俄双方的科学仪器市场和两国的科学技术交流,同时也给国内企业考察俄罗斯科学仪器市场提供了便捷。总体来说,俄罗斯入世有利于中俄两国的双边贸易,目前俄政府正在整顿市场秩序,逐步取消不规范的商业经营模式。普京总统也强调俄方将采取积极措施,使更多的中国产品进入俄罗斯。这对改变在中俄两国贸易中多年来中方一直存在的巨额逆差、改善出口国别方向、拓展机遇、增强经济安全、提高效益具有重要意义。

  • 快速升降温的高温管式炉

    读博士时用过实验室的一个管式炉,可以在40~60min左右升温到1400度,最高可反应到1600度。降温可在30~50min完成。那时做氧化物氮化反应,一天可以做3~5批样品。那时不觉得怎样,等毕业了想要自己买仪器是才意识到那个炉子很特别。目前市场上常见的高温炉子(可到1400度以上)都体积很大,要占很大一个桌面,管长好几米,升降温很慢,一天只能做一批样品。而我博士实验室的炉长20cm以内,管子直径在3~5 cm范围内,加热是用钼管。看起来好像是自制的,但是炉子上标了个德国的专利号。刚开始不知如何用,老板叫了个已经毕业的师兄来修,基本上将炉体拆了重装,结构非常简单,连我看一遍都会了,钼加热管用过一段时间可以自己更换,非常快就可以搞定。要是有人感兴趣,我还可以以后贴些图片给大家看看。可是这样的炉子以后在其它地方再也没有见到,大家有没见过这种炉子呢?

  • 管式炉高温灰化煤

    最近想用高温灰化原煤品,请问管式炉可以用来灰化吗?如果可以,那些烟该怎么处理,不会熏黑吗

  • 【求助】求德国利恒管式炉用刚玉管

    【求助】求德国利恒管式炉用刚玉管

    有没有谁用过德国利恒(Linn)的管式炉啊,我的炉子原配的刚玉管烧断了,再买原配要两万人民币,太贵,有没有谁知道国内哪个地方有做刚玉管的啊,最好是北京的,其他地方的也行,谢谢各位高手提供信息![em61] [img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2006/10/200610180942_29366_1804573_3.jpg[/img]

  • 【求助】水质可吸附卤素用的管式炉

    请问各位:大家做水质 可吸附卤素所用的管式炉都是什么牌子的呀?现在打算做这个项目,管式炉不知道买哪家的,有没有现在有的还不错的推荐,谢谢

  • 食药监总局规范食品快检方法使用 快检不能替代常规食品检验

    [align=center] [b]食药监总局规范食品快检方法使用 快检不能替代常规食品检验[/b][/align][align=left][color=#333333] 为规范食品快速检测(以下简称“食品快检”)方法使用管理,合理发挥食品快检在食品安全监管中的作用,日前食品药品监管总局发布《总局关于规范食品快速检测方法使用管理的意见(食药监科〔2017〕49号) 》 ,其中对食品快检的含义、检测对象、适用范围等给出了相关意见。[/color][/align][align=left][color=#333333]  意见中提到:食品快检主要适用于需要短时间内显示结果的禁限用农兽药、在饲料及动物饮用水中的禁用药物、非法添加物质、生物毒素等的定性检测,检测主要针对食用农产品、散装食品、餐饮食品、现场制售食品,对于预包装食品原则上以常规实验室检验为主。[/color][/align][align=left][color=#333333]  此外,意见中还明确指出,食品快检不能替代食品检验机构利用常规实验室仪器设备开展的食品检验活动,不能用于食品安全监管工作中部署的食品抽样检验。复检不得采用快检方法。[/color][/align][align=left][color=#333333]  具体如下:[/color][/align][align=left][color=#333333]  一、食品快检是指利用快速检测设施设备(包括快检车、室、仪、箱等),按照食品药品监管总局或国务院其他有关部门规定的快检方法,对食品(含食用农产品)进行某种特定物质或指标的快速定性检测的行为。[/color][/align][align=left][color=#333333]  二、食品快检主要适用于需要短时间内显示结果的禁限用农兽药、在饲料及动物饮用水中的禁用药物、非法添加物质、生物毒素等的定性检测,检测主要针对食用农产品、散装食品、餐饮食品、现场制售食品,对于预包装食品原则上以常规实验室检验为主。[/color][/align][align=left][color=#333333]  三、食品药品监管部门在日常监管、专项整治、活动保障等的现场检查工作中,可以根据实际情况使用快检方法进行抽查检测。监管人员应当严格按照快检方法使用要求规范操作,详细记录检测食品品种和名称、数量、检测项目、检测日期、检测方法、检测人员姓名、检测结果以及所使用的快检产品生产企业、产品型号批号等信息。食品药品监管部门和监管人员对所检食品的快检项目结果负责。[/color][/align][align=left][color=#333333]  四、现场快检结果呈阳性的,被抽查食用农产品经营者应暂停销售相关产品,食品药品监管部门应当及时跟进监督检查和抽样检验,防控风险。被抽查食用农产品经营者对快检结果无异议的,食品药品监管部门应当依法处置 对快检结果有异议的,可以自收到或应当收到检测结果时起四小时内申请复检。复检不得采用快检方法。[/color][/align][align=left][color=#333333]  五、各省(区、市)、计划单列市、副省级省会城市食品药品监管部门要按照食品药品监管总局制定发布的《食品快速检测方法评价技术规范》和相应快检方法等要求,通过盲样测试、平行送实验室检验等方式对正在使用和拟采购的快检产品进行评价。评价结果显示不符合国家相应要求的,要立即停止使用或者不得采购。[/color][/align][align=left][color=#333333]  六、食品快检不能替代食品检验机构利用常规实验室仪器设备开展的食品检验活动,不能用于食品安全监管工作中部署的食品抽样检验。[/color][/align][align=left][color=#333333]  七、省(区、市)食品药品监管部门可以根据食品安全监管需要,组织专业技术机构对不属于国家规定的食品快检方法开展评价,评价结果符合有关要求的,可用于所在省(区、市)各级食品药品监管部门在食品安全监管中的初步筛查。[/color][/align][align=left][color=#333333] [color=#454545][url=http://www.sda.gov.cn/directory/web/WS01/images/uL28qO6yrPGt7sy9m87LLit723qMbAvNu8vMr1uea3ti5kb2M=.doc][b]附件:食品快速检测方法评价技术规范.doc[/b][/url][/color][/color][/align]

  • 【分享资料】管式炉助熔剂的应用

    【分享资料】管式炉助熔剂的应用

    现在一些中小型的化验室在金属碳硫分析的试验中,依然采用管式炉来进行样品的加热,熔解.在样品的熔解过程中,必须要加入一定量的助熔剂,燃烧反应才会更好,更完全.为此在某书中看到关于管式炉各金属材料助熔剂的应用,现在编制成表,仅供分析者参考. [img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/03/200903101129_137679_1622447_3.jpg[/img]

  • CVD和PECVD管式炉真空控制系统的升级改造

    CVD和PECVD管式炉真空控制系统的升级改造

    [color=#ff0000]摘要:本文介绍了根据客户要求对CVD管式炉真空控制系统进行升级改造的过程,分析了客户用CVD管式炉真空控制系统中存在的问题,这些问题在目前国产CVD和PECVD管式炉中普遍存在。本文还详细介绍了改造后的真空压力控制系统的工作原理、结构和相关部件参数等详细内容,改造后的真空压力控制精度得到大幅度提高。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#ff0000]一、背景介绍[/color][/size]客户订购了一台CVD管式炉以进行小尺寸材料的制作,CVD管式炉及其结构如图1所示。在使用中客户发现这台管式炉在CVD工艺过程中无法保证材料的质量和重复性,材料性能波动性较大,分析原因是真空压力控制不准确且不稳定。为解决此问题,客户提出对此CVD管式炉的真空控制系统进行升级改造。[align=center][img=CVD和PECVD管式炉真空控制系统,690,370]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206281659560038_5783_3384_3.png!w690x370.jpg[/img][/align][align=center]图1 用户购置的CVD管式炉及其结构内容[/align]我们通过分析图1所示CVD管式炉的整体结构,发现造成真空压力控制效果较差的原因,主要是此管式炉的真空控制系统存在以下几方面的严重问题,而这些问题在目前国产CVD和PECVD管式炉中普遍存在。(1)真空计选择不合理:对于绝大多数的CVD和PECVD管式炉,其真空度的控制范围一般都为1Pa~0.1MPa(绝对压力),并要求实现真空度精确控制。而在客户所购置的CVD管式炉(包括其他品牌产品)中,为了节省造价,管式炉厂家配备了皮拉尼计和皮拉尼+电容真空计,但这种组合式电容真空计在10kPa~95kPa范围内的精度只有±5%,0.1Pa~10kPa范围内的精度则变为±15%,比单纯的薄膜电容真空计的全量程±0.25%精度相差太大。合理的选择是使用单纯的薄膜电容真空计,而且须配置2只真空计才能覆盖整个真空度范围的测量和控制。(2)控制方法错误:对于1Pa~0.1MPa(绝对压力)范围内的真空度控制,需要分别采用上游和下游控制模式进行控制才能达到很好的控制精度。例如,在1Pa~1kPa范围内采用上游控制模式,即固定真空泵抽速而只调节上游进气流量;在1kPa~0.1MPa范围内采用下游控制模式,即固定上游进气流量而只调节下游的排气流量。客户所采用的CVD管式炉则仅采用了调节进气流量的上游控制模式,势必会造成1kPa~0.1MPa范围内的真空度控制波动性很大,同时造成工作气体的极大浪费。(3)多种比例混合气体控制结构错误:在CVD工艺中,反应气体为按比例配置的多种工作气体混合物。尽管CVD管式炉中采用了4只气体质量流量计来配置工作气体,但质量流量计只能保证气体混合比的准确性而无法对真空度进行准确控制,除非是单一气体则可以通过一个质量流量计来调节进气流量来实现真空度控制。综上所述,客户所购置的CVD管式炉存在一些严重影响真空度控制精度的问题,文本将详细介绍解决这些问题的具体方法和升级改造详细内容。改造后的真空度控制系统可在全量程范围内控制精度优于±1%。[size=18px][color=#ff0000]二、升级改造技术指标[/color][/size]对客户的CVD管式炉的真空控制系统进行升级改造,需要达到的技术指标如下:(1)真空度控制范围:1Pa~0.1MPa(绝对压力)。(2)真空度控制精度:±1%(全量程范围)。(3)控制形式:定点控制和曲线控制。(4)输入形式:编程或手动。(5)PID参数:自整定。[size=18px][color=#ff0000]三、升级改造技术方案[/color][/size]针对客户的4通道进气CVD管式炉,为实现真空控制系统的上述技术指标,所采用的技术方案如图2所示。[align=center][img=CVD和PECVD管式炉真空控制系统,690,360]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206281700285160_4408_3384_3.png!w690x360.jpg[/img][/align][align=center]图2 CVD管式炉真空度控制系统结构示意图[/align]如图2所示,升级改造的技术方案主要在以下几方面进行了改动:(1)还保留了皮拉尼真空计以对真空度进行粗略的测量,更主要的是采用皮拉尼计可以覆盖0.001Pa~1Pa的超高真空监控。但在1Pa~0.1MPa真空度范围内,增加了两只薄膜电容真空计分别覆盖1Pa~1kPa和10kPa~0.1MPa,以提高CVD工艺过程中的真空度测量精度。(2)对于1Pa~0.1MPa(绝对压力)范围内的真空度控制,分别采用上游和下游控制模式进行控制以实现更高的控制精度。例如,在1Pa~1kPa范围内采用上游控制模式,即固定真空泵抽速而只调节上游进气流量;在1kPa~0.1MPa范围内采用下游控制模式,即固定上游进气流量而只调节下游的排气流量。(3)对于多种比例混合工作气体的CVD工艺,继续保留4路气体质量流量控制器以实现比例准确的工作气体混合,但精密混合后的气体进入一个缓冲罐。缓冲罐内气体进入CVD管式炉的流量通过一个电动针阀进行调节,由此既能保证工作气体的准确混合比,又能实现上游进气流量的精密调节。(4)为实现下游控制模式,在CVD管式炉的排气口处增加一个电动针阀,此电动针阀的作用是调节排气流量。下游控制模式在CVD工艺中非常重要,这种模式可以保证1kPa~0.1MPa范围内真空度的精确控制。如果在1kPa~0.1MPa范围内采用上游控制模式,一方面是真空度控制波动太大,另一方面是会无效损耗大量工作气体。(5)真空度的控制精度,除了受到真空计测量精度和电动针阀调节精度的影响之外,还会受到PID控制精度的严重制约。为此,技术方案中选用了24位AD和16位DA的高精度PID控制器,且具有定点和可编程控制功能,同时PID参数可进行自整定以便于准确确定控制参数。(6)由于采用了两只高精度的电容真空计测量整个量程范围的真空度,在实际真空度控制过程中,就需要根据不同量程选择对应的电容真空计并进行真空度控制。由此,这就要求PID控制器需要具备两只真空计之间的自动切换功能。(7)在CVD和PECVD管式炉真空度控制系统升级改造方案中,使用了上下游两种控制模式,这就要求PID控制器同时具备正向和反向操作功能,也可以采用2通道可同时工作的PID控制器,一个通道对应一个电动针阀。[size=18px][color=#ff0000]四、总结[/color][/size]针对客户的4通道进气CVD管式炉存在的CVD工艺中真空度控制严重不稳定的问题,分析了造成真空度控制不稳定的主要原因是真空计测量精度不够、控制方法不正确、多种工作气体混合结构不正确。为解决上述问题,本文提出了相应的升级改造技术方案,更换了精度更高的薄膜电容真空计,采用了控制精度更高的上下游控制方法,在多种气体混合管路上增加了缓存罐,并使用了调节和控制精度较高的电动针阀和2通道PID控制器。升级改造后的真空控制系统,可在全量程的真空度范围(1Pa~0.1MPa)内实现±1%的控制精度和稳定性。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 【有奖活动】常规仪器——我猜、猜、猜(13)

    【有奖活动】常规仪器——我猜、猜、猜(13)

    [B][size=4][color=#DC143C]大家好,【有奖活动】常规仪器——我猜、猜、猜(12)的图片中拍摄的是一套十联装COD检测用加热回流装置,上面夹子上的是球形冷凝管,下面是电子控温电热器!猜对前3名的是jingsheng、syhblujie和msds,请广大版友继续参与![/color]朋友们,下面的仪器你能猜出具体名称么?[/size][/B][img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2009/04/200904272200_146877_1608408_3.jpg[/img]

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