探针

MPI TS2000-IFE 是一个自动化探针台，可以从使用一开始或在测试领域内任何需要时转换为带有 Waferwallet MAX 的全自动探针台。主要应用在负载拉动、RF、mmW、硅光子学、设计验证（产品工程）或在定义的测试环境中测试 MEMS 和其他传感器。MPI 同时推出用于太赫兹应用的 200 毫米自动探针台系统MPI 提供其200 mm TS2000-IFE THZ-Selection 自动探针台系统。THZ-Selection 是一种专用的射频、毫米波、太赫兹和负载牵引探针台，在 -60 至 300 oC 的宽工作温度范围内不会影响测量方向性。它基于 MPI 最通用的 200 毫米平台 - TS2000-IFE 系列。200 毫米晶圆的自动化在片测试探针台系统常用来执行以下操作：无需额外的 S 波段波导，尤其是在亚太赫兹或太赫兹范围内。最小化负载牵引应用的信号路径并提供最宽的调谐范围和最高GAMMA。切换频段时操作简单方便。MPI 专有的 IceFreeEnvironment 技术允许 THZ-Selection 在微定位器和探针卡的帮助下在负温度下运行。该测试系统能够通过具有可编程微观运动的集成探针控制提供晶圆级可靠性。主动隔振缓冲了测试过程中振动误差的发生。这些功能支持自动化测试，没有任何错误余地，并且具有可验证的准确性。

布鲁克（BRUKER）探针不为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针

±1μm精度探针座 适用于I-V/C-V测试的微型定位器 CINDBEST CB-40 -T| 适用于I-V/C-V测试的微型定位器 特点/应用 ◆ 适用于I-V/C-V测试的微型定位器◆ 单线操作结构，占用更小面积，可将定位器靠近放置◆ 高刚性结构，弹簧消隙X-Y-Z，稳定无间隙◆ 线性移动，磁性吸附◆ 30度倾仰调节机构◆ 可搭配同轴/三轴探针夹具使用◆ 80牙/英寸 探针座 规格参数 型号：CB-40-T 尺寸：96（L）*52（W）*76mm（H） X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm 调节精度：2um 固定方式：磁性吸附 重量：350g

RF探针座 RF探针座适宜配合高频探针使用， 森东宝科技CB-100以及CB-200均可做射频探针座. RF探针座参数 型号：CB-100-RF ◆ 台湾原装进口◆ 磁力开关底座◆ X-Y-Z 方向的移动行程为12mm◆ 100牙/英寸◆ 移动精度：0.7微米◆ 射频探针调节机构◆ 多点探头调水平旋钮,可以+-10°调节，精度0.1度◆ 建议搭配高频探针使用（40GHZ-110GHZ)◆ 尺寸：94x75x95 mm (W x D x H)◆ 重量 : 750 grams 型号：CB-200-RF ◆ 台湾原装进口◆ 磁力开关底座◆ X-Y-Z 方向的移动行程为20mm◆ 100牙/英寸◆ 移动精度：0.5微米◆ 射频探针调节机构◆ 多点探头调水平旋钮,可以+-10°调节，精度0.1度◆ 建议搭配高频探针使用（40GHZ-110GHZ)◆ 尺寸：112mm(W)x86mm(D)x108mm(H)◆ 重量 : 720 grams

MPI TS200- 半自动探针台产品描述：1. 单机多应用设计适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP) 2. 工效学设计 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计坚固可承载多达10根DC 或4根RF微定们器在工作台三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading)，实现高重现性3. 弹性选配与升级性 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、影像镜头、电磁屏蔽箱等可搭载，以完全支援您的应用需求MPI探针台系统是由来自于Cascade和安捷伦等公司的专家们研发和设计，专业提供探针台及所有相关直流/射频附件以及相关半导体测试整体解决方案。得益于其极高的性价比，广受国内外用户的好评。TS150,TS200,TS300是常用的手动式探针台，简单，直观，方便， 并确保 高度准确的测量。以下是MPI探针台的特点： Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。b. Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。c.温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。d. Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 e. 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

MPI TS3000自动探针系统MPI的TS3000是一个300毫米自动测头系统，专门用于产品工程， 故障分析， 设计验证， 晶圆级可靠性 以及 RF和mmW?应用。TS3000功能集提供：高温度范围-60… 300°C佳的灵活性具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的小电缆距离，可实现更好的测量方向性非常小的压板到卡盘高度可实现佳mmW和内部节点探测非常小的系统占地面积，在内部集成了热力系统的冷却器两者的结合使TS3000探针台成为MPI公司和产品工程市场所独有的。IceFreeEnvironment™ 结合了MPI的IceFreeEnvironment™ ，TS3000可以在-60… 300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行MicroPositioners和/或探针卡的测试，并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。探针悬停控制™ MPI探针悬停控制PHC™ 允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制，以实现探针到晶圆/焊盘的定位。易用性通过大程度减少关键设置和测头更换操作中的错误，确保了安全的操作。大探针台板TS3000提供了易于使用的大型探头压板，以便以小的压板到卡盘高度容纳多达12倍的DC或4倍的RF微定位器。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners，使得TS3000系统成为RF和mmW测量的理想选择。探针压板被主动冷却以避免热漂移，尤其是在300°C时。简易晶圆装载双前门通道和独特的卡盘设计使150、200、300毫米晶片，晶片碎片甚至小至5×5毫米IC的装卸程序变得轻松。AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。关键位置处的键盘和鼠标可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows 基于仪器。 热卡盘集成由于集成了智能冷却器，TS3000系列提供了优化的占地面积，可节省实验室中的宝贵空间。MPI和ERS共同设计了 新型300 mm Thermal?ChuckAirCoolPRIME??技术 系列，提供了无与伦比的热灵活性，将浸泡时间减少了60％，并且提供了市场上种类多的热学产品。减少转换时间，改善电气性能，在惰性气体气氛下更轻松地进行测试以及现场可升级性是AirCool的附加价值PRIME热卡盘系统。可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热力系统，该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。ERS获得专利的AC3冷却技术公司这些卡盘结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™ ，与市场上的其他系统相比，可大幅减少30％至50％的空气消耗。探针卡和微型定位器–同时单探头，用于4.5“ x 11”探头卡的薄型探头卡座以及较低的板到卡盘距离是同时使用被动/有源高阻抗探头进行探测的理想选择，尤其是在负温度下；使系统成为 设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择。安全测试管理（STM）系统独特的STM系统可防止在测试过程中打开门–测量结果很安全。在负吸盘温度期间，任何情况下都无法意外打开任何系统门。此外，智能的露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足，则STM™ 会自动将卡盘转换为安全模式-尽快将卡盘加热至露点以上。MPI STM™ 的功能是通过自动保持安全的测试环境，使TS3000的测量更加安全，可靠和方便。仪器集成可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。软件套件SENTIOMPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作 SENTIO控制?软件套件 –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO完全集成–为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

MPI TS2000是全球范围内公认的 探针系统的自然演变，其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容，主要设计用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及对M MEMS，高功率，RF和mmW 器件测试的特殊要求。TS2000可用于环境和/或仅高温操作模式，速度极快,高可达10 Dies / second（取决于终配置），这使其成为分立RF器件进行生产前电气测试的理想选择。 特点:大探针台TS2000系列提供了易于使用的大型探针台板，以容纳多达12个DC或4个RF MicroPositioner。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners,使得TS2000系统成为RF和mmW测量的理想选择。简易晶圆装载 宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200毫米的晶片，晶片碎片，甚至小至5×5毫米的IC。AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置非常重要，可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows基于仪器。晶圆和辅助夹具的真空控制面板位于右前侧，以便在装卸过程中轻松检修。热卡盘集成可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热吸盘（从20°C或从环境温度到高300°C），该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。探针卡和微型定位器–同时许多单探针，用于4.5英寸x 11英寸探针卡的薄型探针卡座以及较低的板到卡盘距离非常适合与主动探针同时进行探测，使该系统成为设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择 。整合式DarkBoxTS2000-D就是已经集成了DarkBox的TS2000！该系统专为各种测量仪器的佳占位面积，嵌入式互锁，LED照明和标准化接口面板而设计，是受光和激光安全保护的测试环境的。易于从背面板上进行访问，从而使重新配置或初始设置变得非常快捷和方便。仪器集成可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。隔振TS2000结合了两种类型的隔振解决方案，可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。软件套件SENTIOMPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作SENTIO控制软件套件 –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria 与SENTIO完全集成 –为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

1：四探针测试仪 四探针检测仪 四探针测定仪/四探针电阻率测定仪 型号：HARTS-8HARTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。仪器采用了电子行、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。　术　　标 ： 测量范围 电阻率：10-5～105 &Omega .cm(可扩展)； 方块电阻：10-4～106 &Omega /□(可扩展)； 电导率：10-5～105 s/cm； 电阻：10-5～105 &Omega ； 可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)； 200mmX200mm(配S-2B型测试台)； 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；恒流源 电流量程分为1&mu A、10&mu A、100&mu A、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　 分辨力：10&mu V； 输入阻抗：1000M&Omega ； 度：± 0.1% ； 显示：四位半红色发光管数字显示；性、量程自动显示；四探针探头基本标 间距：1± 0.01mm； 针间缘电阻：&ge 1000M&Omega ； 机械游移率：&le 0.3%； 探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)；四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)模拟电阻测量相对误差( 按JJG508-87行) 0.01&Omega 、0.1&Omega 、1&Omega 、10&Omega 、100&Omega 、1000&Omega 、10000&Omega &le 0.3%± 1字整机测量相对误差(用硅标样片：0.01-180&Omega .cm测试)&le ± 5%整机测量标准不确定度 &le 5%计算机通讯接口 并口，速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量 能，自动选择适合样品测试电流量程；标准使用环境 温度：23± 2℃； 相对湿度：&le 65%； 无频干扰； 无强光直射；配置 四探针测试仪主机、探针台、四探针探头、 2：多种气体采样器/多种气体取样器/多种气体出样器（100ml） 型号：HAD/CZY-100产品介绍：主要用于检查空气中各种气体的含量。配合气体检测管使用。配套使用检测管的方法及优势：1、用砂片稍用力将检测管两端各划圈割印。2、用硅胶管套套住检测管上的箭头所端，沿切割印掰断，用同样方法掰断另端。3、用硅胶管套套住检测管上的箭头所端（防止漏气），插入所要检测标注的气体通道口上（稍用力插紧）。注意方向性，箭头方向代表气体流过方向。4、将所需检测的若干项的检测管，按以上方法均插好之后，接通电源，即可正常使用。5、调节所需检测气体对应的时间控制器，使其符合标（见附表）。6、检测结束，拔出检测管。7、手持检测管箭头朝下，并垂直于地面放在与目光基本不平的位置，观察管上颜色变化所刻度，既为被检测气体的浓度。 （1）双重优点：测量气体的检测管实际是将化学分析方法仪器化，是种定量、定性、定值的检测方式,具有化学分析和仪器分析的双重优点。（2）适应性好：检测管现有Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ三种，从零点到几个PPM（10-6）到百分之几十，适用范围很大，为分析作提供了很大方便。（3）操作简便：为专业检验人员提供了很大的方便，操作人员按照使用说明书操作方法行测试即可。（4）使用安：使用时手动操作，无需要电源、热源，在有易燃易气体存在的场所能安使用。（5）分析速度快：由于操作方便，使得每次分析所需时间大为缩短，般仅需十几分钟即可得知结果，其分析速度是何化学分析和仪器方法不能比拟的。（6）测量度：在检测管含量标度的确定上模拟了现场分析条件，采用不同标准气标定，克服了化学分析中易带入的方法误差。同时减少了人为误差。 温馨提示：以上产品资料与图片顺序相对应。

四探针 四点探针 四探针测试仪 四探针太阳能硅片电阻率测试仪光伏测试专用美国ResMap四点探针CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及专利自动决定范围量测与传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳(铜制程低电阻率1.67m&Omega -cm及Implant高电阻2K&Omega /□以上,皆可达成高精确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且可以Recipe设定更换CDE　ResMap&ndash CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。 主要特点： 测量范围广,精度高,稳定性好,功能齐全强大,软件好用,维修成本低,服务好,配件齐全...美国进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪/太阳能光伏扩散薄层电阻测试仪（Four point probe(4PP)）设备名称: 四点探针电阻仪 (CDE ResMap)主机厂牌、型号与附件: CDE ResMap规格:1. Pin material: Tungsten Carbide.2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.3. 样品尺寸: 2吋至6吋晶圆 (表面须为平整的导电薄膜，半导体材料)设备用途: 导电薄膜的电阻值分布测量，半导体，光伏特点：1）针尖压力一致2）适用于各种基底材料3）友好的用户界面4）快速测量5）数据可存储 应用：1）方块电阻2）薄片电阻3）掺杂浓度4）金属层厚度5）P/N类型6）I/V测试

TeraSpike THz近场探针 微区探针(TeraSpike microprobe series)品牌：Protemics型号：TeraSpike TD-800-XTeraSpike是新一代的微探针，用于太赫兹频率范围内电场的光电导检测。基于客户的反馈和不断增长的应用驱动的需求，我们对近场探针进行了彻底的重新设计并且开发成功。新的探针是一款多用途表面近场电场探测器，适用于太赫兹波长范围内，具有前所未有的性能，可靠并且可适应。它可以完美地集成到太赫兹时域系统，在860 nm以下光激发，这是最高性价比的解决方案，将您的系统变成功能强大的高分辨率近场太赫兹系统。 。产品特点：市场上最小的THz探针专利设计空间分辨率可达3um探测频率范围：0-4THz适用于所有基于激光的THz系统安装可兼容标准的光机械组建典型激发光强度1-15mW（1-5uJ/cm2）集成过载保护电路应用：太赫兹研究：超材料，等离子体，石墨烯，波导高分辨率太赫兹近场成像 非接触式薄膜电阻半导体成像MMIC器件特性分析 无损检测芯片时域反射计（TDR）测量脉冲激发的THz超物质表面的近场图像测量激光刻蚀多晶硅晶圆的薄层导电率图像 基于飞秒激光的THz系统 THz探针典型参数TeraSpike TD-800-X-HR HRS Max. spatial resolution3 μm20 μmPC gap size1.5 μm2 μmDark current @ 1 V Bias 0.5 nA 0.5 nAPhotocurrent (*) 1 μA 0.6 μAExcitation wavelength700 .. 860 nmAvg. excitation power0.1 .. 4 mWConnection typeSMP元素路径: body p img当前已输入818个字符, 您还可以输入9182个字符。

一、产品概述：探针台是一种用于微小电子元件和材料的测试设备，广泛应用于半导体、材料科学和微电子领域。它提供一个稳定的平台，用于精确定位和连接探针，以实现对样品的电气测试和分析。二、设备用途/原理：设备用途探针台主要用于测试集成电路、薄膜材料和微结构等的电气性能。常见应用包括半导体器件的参数测试、材料的电阻率测量和故障分析等。通过高精度的定位和可调节的探针，研究人员能够获取样品的详细电气特性。工作原理探针台的工作原理是通过机械系统将探针精确地定位到样品的特定接触点。设备通常配备高分辨率的光学系统，用于观察样品并调整探针的位置。当探针接触样品时，可以通过外部测试设备（如源测量单元）施加电流或电压，并测量相应的电压或电流反应。通过这种方式，研究人员可以获取样品的电气参数，分析其性能和特性。三、主要技术指标：1. 探针台主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节2. 样品尺寸：碎片~12英寸3. 自动化：手动、半自动、全自动4. 测试环境：高低温、磁场、真空5. 探针台类型：分析探针台、直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片测量、定制化等。

1. 产品概述：探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保产品质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台通常由载物台（样品台）、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等部分组成，其核心部件包括x-y工作台，该工作台的结构对探针台的性能和使用体验有重要影响。2.设备用途/原理：晶圆检测：在半导体制造过程中，探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测，确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。芯片研发和故障分析：探针台可用于芯片研发过程中的原型验证和性能评估，帮助工程师及时发现和解决潜在问题，优化芯片设计。同时，它也可用于芯片的故障分析，定位问题区域。封装检测：在封装工艺之前，探针台用于对芯片进行CP测试（Chip Probing Test），确保封装前的芯片性能符合标准。其他应用：探针台还广泛应用于光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等领域。3.设备特点 1 高精度定位：探针台配备高精度的定位系统和微调机构，能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点，并实现稳定的接触，确保测试的准确性和可靠性。 2 多功能性：探针台支持多种测试需求，包括电压、电流、电阻、频率、温度等参数的测量，以及小电流量测、电容量测、高压量测、R/F量测、I/O点量测等。 3 高效测试：探针台支持多点测试，能够同时测试芯片上的多个测试点，提高测试效率。此外，一些先进的探针台还具备自动化功能，能够自动完成测试序列，进一步减少人工干预。4.设备参数可移动压板，高度调节 40 mm，接触/分离行程 200 μm，重复精度± 1 μm具有可调摩擦力和阶段锁定的卡盘阶段，独特的Z轴卡盘调整和90毫米的拉出磁性定位器具有 1 μm 特征分辨率和 3 个带精密滚珠轴承的线性轴包括匹配的电缆和基材射频卡盘 ±3 μm 表面平面度独特的 200 μm 压板接触/分离行程，精度≤± 1 μm，可实现可重复接触

CM300xi 探针台可应对极其复杂的环境带来的测量挑战，例如在长时间和多种温度下在小焊盘上进行无人值守的测试。在 EMI 屏蔽、光密和无湿气的测试环境中，为各种应用实现了一流的测量性能。热管理增强功能和实验室自动化功能可提高产量并缩短数据获取时间。对于低温测试，FormFactor的开放式IceShield&trade 环境也可用于CM300xi。CM300xi 支持接触式智能&trade - 一种可实现自主半导体测试的独特技术。创新的系统设计与最先进的图像处理技术强强结合，提供了一个独立于操作员的解决方案，可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。CM300xi探针台与物料处理单元相结合，将全自动晶圆测试与最高的精度和灵活性相结合。该系统可以处理多达 50 个 200 或 300 毫米的晶圆，这些晶圆以 SEMI 标准晶圆盒的形式提供。可选的 ReAlign&trade 功能提供了独立于主 eVue 显微镜执行“离轴”探头到焊盘对准的功能。ReAlign 是不允许从上方观察焊盘和探针尖端的探针卡的理想工具。例如，垂直和金字塔探针卡就是这种情况。ReAlign 硬件包括 2 个额外的摄像头：向下的“压板摄像头”直接集成到 CM300xi 的压板中，用于观察垫 向上看的“ChuckView Camera”用于表征探针尖端。重新对齐向导允许使用预定义的算法轻松快速地设置不同的探针卡，如金字塔、阿波罗、悬臂等。ReAlign 可以自动管理温度变化，无需操作员干预。

PXB-S系列探针台 PXB-S系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜和体式显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um。●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●显微镜支架万向杆PXB-S系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-M系列探针台 PXB-M系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台可Z轴升降●载物台Theta可粗调360°, 微调±7 °●载物台XY移动分辨率为1um●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降PXB-M系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD& TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-E系列探针台 PXB-E系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 三阶抬杆， 微调移动行程为40mm，抬杆重复性精度为2umPXB-E系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析 ●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BE系列探针台PXB-BE系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●快速装片并可任意位置锁定功能●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 微调移动行程为60mm，抬杆重复性精度为1um●配置独立控制压力阀PXB-BE系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试PXB-BET系列探针台 PXB-BET系列高低温探针台主要特点●搭配高低温系统， 最大范围-65℃到300℃●可选直筒显微镜， 体式显微镜或金相显微镜●载物台气浮快速移动， 三档控制，X轴独立控制，Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制●可选配高压高流测试环境●装片拉出装置， 定位锁住●稳定型显微镜桥架， 移动分辨率为2um， 显微镜气动升降●Platen 二阶抬杆， 一次性行程为6mm， 抬杆重复性精度为1um， 四点同步●配置独立控制气流阀PXB-BET系列高低温探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●Solar太阳能领域检测分析●LED 、OLED 、LCD领域检测分析●PCB领域检测分析●VESEL DFB,COC,硅光等光电器件测试 PXB-D系列探针台PXB-D系列探针台主要特点●可选配高温测试环境●可选直筒显微镜，体式显微镜 ●载物台气浮快速移动 ●可选配高压高流测试环境●platen上下结构，可正反面同时扎针 ●载物台双面镂空，可替换，一个镂空夹具，一个 载物台（两个吸附孔）●背置式直筒显微镜，zoom为0.58-7.5x ●Platen 微调行程为40mm，移动分辨率为1um， 四点同步PXB-D系列探针台应用领域●Failure analysis 集成电路失效分析●Wafer level reliability 晶元可靠性认证●Device characterization 元器件特性量测●Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析) ●IC Process monitoring 制成监控●Package part probing IC封装阶段打线品质测试●ESD&TDR testing ESD和TDR测试●Microwave probing 微波量测(高频测试)●PCB领域检测分析 PXB-W系列探针台PXB-W系列探针台主要特点●可选配110Ghz，220Ghz等测试环境 ●搭配高低温系统，最大范围-65℃到300℃ ●可选直筒显微镜，体式显微镜或金相显微镜 ●载物台气浮快速移动，三档控制，X轴独立控制， Y轴独立控制，XY同步控制，XY同步控制 ●装片拉出装置，定位锁住 ●稳定型显微镜桥架，移动分辨率为2um，显微镜 气动升降 ●Platen 二阶抬杆，一次性行程为6mm，抬杆重复 性精度为1um，四点同步 ●配置独立控制气流阀PXB-W系列探针台应用领域●Microwave probing 微波量测(高频测试)PXB-PL系列探针台 PXB-PL系列探针台(定制型)针对PCB&LCD&OLED&MINI-LED研发的测试探针台主要客户：英业达，沪利，深南电路，美维，奥克斯，大金，龙腾光电，群策等PXB-VL系列探针台 PXB-VL系列探针台产品简介PXB- VL高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试 ，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷 ，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料 ，半导体器件等研究方向具有广泛运用。一般用于相关单位实验室。 PXB-SA系列探针台PXB-SA系列探针台产品简介PXB-SA 系列探针台是一款在非真空条件下实现高低温环境的测试探针台。该产品采用气冷制冷 ，自动控温 ，设备配置非常丰富。自带屏蔽暗室 ，一方面可以屏蔽无线电磁干扰 ，另外一方面也可以保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜。该产品多数用于相关单位实验室。PXB-SA系列探针台产品优势可搭配高低温温控系统,温度范围为-60-300℃可实现半自动测试微腔屏蔽

手动探针台 测试探针台半导体领域探针台 在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制成的越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。Advanced在中国推出手动分析探针台近10年历史，销售实绩800多台，并且以每年的销量稳居行业销量榜首。行业知名客户有：友达光电、华映光电、奇美光电、群创光电、飞兆半导体、德州仪器、华虹集成、华为、电子五所、航天808所、航天201所、中科院微电子所、苏州中科院纳米研究所、复旦大学、上海交通大学、西安电子科技大学、温州大学、福州大学、厦门大学等等……手动探针台 测试探针台手动探针台 测试探针台型号： PW-600/PW-800规格：chuck尺寸150mm（200mm）X,Y电动移动行程150mm（200mm）chuck粗调升降8mm，微调升降30mm可搭配MOTIC金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“可搭配Probe card测试适用领域：6寸/8寸Wafer、IC测试之产品手动探针台 测试探针台型号： PW-400 规格：chuck尺寸100mmX,Y移动行程100mmchuck Z轴方向升降10mm（选项）搭配AEC实体显微镜针座摆放个数2～4颗适用领域：4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等 RF高频探针台 手动探针台 测试探针台东、南、西、北测试臂搭配美国GGB高频测试头DC~10/40/50/67GHZ （GSG,GS,SG）Pitch 100～1500um探针材料：BeCu/Tungsten

多功能四探针测试仪,数字式四探针测试仪FT-341双电测电四探针方阻电阻率测试仪本仪器本仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。参数资料1.方块电阻范围：10-5～2×105Ω/□2.电阻率范围：10-5～2×106Ω-cm3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.电流精度：±0.1%读数5.电阻精度：≤0.3%6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式: 双电测量8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：30W9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）10.选购功能: 选购1.pc软件；选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台11.测试探头： 探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格 探针材质选购：碳化钨针 白钢针；镀金磷铜半球形针ROOKO/瑞柯品牌，来自瑞柯仪器公司，一个专注于改变人们生活方式和品质的企业. 专业与精致并重；优秀与智慧之原 FT-342双电测电四探针方阻电阻率测试仪本仪器本仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。参数资料1.方块电阻范围：10-4～2×103Ω/□2.电阻率范围：10-5～2×104Ω-cm3.测试电流范围：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.电流精度：±0.2%读数5.电阻精度：≤0.3%6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式: 双电测量8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：30W9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）10.选购功能: 选购1.pc软件；选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台11.测试探头： 探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格 探针材质选购：碳化钨针 白钢针；镀金磷铜半球形针ROOKO/瑞柯品牌，来自瑞柯仪器公司，一个专注于改变人们生活方式和品质的企业. 专业与精致并重；优秀与智慧之原

产品简介：该款探针台可精确控制探针臂和探针的移动，通过搭配探针座、显微镜和源表等，来完成探针台的测试，精确下针，输入、输出测试电信号，漏电流50fA；精确度高，稳定性好，皮实耐用；适合高校/研究所研发用。主要配置：- 6"真空吸盘- 漏电流：50fA- X/Y平台行程：100X100mm- Z轴分辨率：1um- 显微镜&CCD: 放大倍数300x，更大倍数可订制- CCD相机：2.1M像素+液晶显示屏- LED环形照明（带亮度调节）- 探针座：磁性底座- 探针臂：三轴或同轴线缆- 探针：金钨合金- 真空泵：低噪音真空泵其他选项：- 防震桌- 暗箱（屏蔽箱）- 加热台- 转接头插线板- ......

1． 系统介绍MMLAB-prob-2型探针系统是MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的双探针型号。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计，具有硬件结构简单、可靠性强、抗扰动能力强等优点。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的软件界面友好，操作简便，实现诊断与数据处理全过程自动化。2． 系统硬件构成MMLAB-prob-2型探针系统硬件由探针、驱动采集单元和计算机构成（图1）。其中，驱动采集单元一端通过USB接口与计算机连接，另一端有电缆与探针连接，其作用一是按照计算机的指令生成扫描信号，放大后为探针提供偏置，二是采集探针的电压电流值并输入计算机。

产品简介 Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 桌上型温控探针台，占地面积小可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定）加热块材质铝合金 或 银 或 陶瓷传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）最小加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃ RTD传感器0.1℃ 热电偶传感器温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离25 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 适用样品10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）*可定至300mm的样品台面样品腔高6 mm探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近台体尺寸/重量1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg选型表 TP102SV-PS温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔HCP422V-PS温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔HP1000V-PS温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔定制型号按客户需求定制，适用300mm晶圆样品

随着新兴太赫兹应用的大量扩展，如高速5G通信，卫星，非侵入性光谱，安全和监视，医疗和保健设备以及短程汽车雷达，对精确，可靠和可重复测量数据的需求比以往变得更加重这些THzMPI TS150-THZ 工程探针台系统是一种专用的，经济高效的手动探头系统，专为基板和亚太赫兹150 mm晶圆的精密分析而设计。该系统非常稳定，具有大型探头压板和低调设计。这些基本元件中的每一个都需要支持各种RF和mmW应用，例如高达110 GHz的宽带，高达1.1THz的带状解决方案，负载牵引和RF噪声。单机多应用设计无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器全新设计的扩展器、调谐器集成，可实现非常大的动态测量极大的机械稳定性和重复性，实现方便和安全的操作人体工程学设计方便单手操作的，快速移动气浮式样品台设计坚固且空间充足的工作台，可乘载大型微定位器和毫米波模块扩展器三段式工作台快升把手设计 (contact - separation - loading)，实现接触、分离和加载的高性能弹性选配与升级可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器专用光学元件，用于缩短电缆和波导的长度，实现非常大的测量方向性各种夹头选件，印刷电路板和各种附件，如DC / RF /毫米波定位器 直流、射频和THZ微定位器的探针板设计 MPI探针悬停控制TM配有悬停高度（50、100或150μm）， 便于探针与Pad的对准。 世界上数一数二极精确的接触/超大行程控制， 精度为1um,便于测量的重复性和精确性无缝集成任何扩频器，以在200毫米晶片上获得 非常佳测量方向性陶瓷辅助夹头 用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头

Air-bearing stage-气浮式样品台技术：很多探针台的厂家通常配备的是传统的滚珠式/轴承式样品台，内部移动是都会产生摩擦，因此存在了响应慢，易损耗，需定期维护（添加润滑油）等固有缺点。MPI探针台的载物台采用非常新的气浮支撑技术，我们成为Air-bearing stage技术。很好解决了传统的滚珠式/轴承式样品台固有缺点，即消除内部摩擦，避免日常使用损耗，免去定期维护等麻烦。并且该设计可以使得样品台在移动范围内360°移动，而不受X/Y导轨限制移动（其他品牌无法同时X/Y移动，只能选一个方向移动）。Platen Lift技术-三段平面式升降及下针：影响探针台测试结果很大程度上取决于探针与样品的接触。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁（其他厂家是两段），不仅实现了1um重复性，同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验，方便了用户的操作。温控触屏设计：MPI手动探针台可以选配各类样品台，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸样品台，及加热样品台（200℃/300℃）。并且配备智能化触摸屏，可以随时快速调节样品台加热问题，实时显示温度变化。高精度、便捷的温度控制功能，便于客户进行实验设计和测试。Microscope bridge mount：MPI探针台具备了Microscope bridge mount，方便用户自行购置并升级显微镜。这点也是其他探针台所不具备的。对于这类的用户而言，如果今后要升级显微镜，只能从探针台原厂购买。但是其实探针台厂家往往并不制造光学显微镜。而MPI则更多的为客户考虑，把显微镜的选择权交在客户手里。这也是MPI设计了Microscope bridge mount的初衷。 所有核心部件均自行生产：诸如主机台，直流/射频探针座，直流/射频线缆及探针等核心部件均为MPI公司自行生产。很多探针台厂商的射频探针也都是从MPI购买的。此外，MPI探针台的产品线也非常丰富，拥有手动、半自动、全自动、射频/微波、高功能等所有探针台系列。

手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片（晶圆及碎片），并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。还可以设计验证/IC工程，晶圆级可靠性，MEMS，高功率和器件表征和建模。

设备基本主要功能：n 工业控制计算机，配置Win7 操作系统n 图像自动对准，自动完成晶圆扫描和芯片对准功能n 支持探针：直流钨探针、RF探针、高压探针，大电流探针n 圆形、阵列、编辑等多种测试方式n 同步、延时、离线打点方式n MAP图动态显示测试全过程n 测试仪接口：GPIB、RS232、光隔离TTL专用接口n 自动测试软件ATS1.0：可配接各种测试仪n 测试结果数据Excel格式存储、查询n 可根据需求完成专用的软件需求

超高真空低温四探针扫描探针显微镜美国RHK Technology 成立于1981 年。作为SPM 工业中的领军仪器制造商，RHK-Technology 始终保持着鲜明的特色：创新性、可靠性、产品设计的开放性与的客户支持。凭借着其优异的系统设计、精良的制造工艺、再加上与著名科学家的紧密合作，二十多年来RHK Technology 源源不断地向全科学家们输送着先进的、高精度的科学分析仪器。变温QuadraProbe UHV 4-探针SPM系统是RHK公司生产的多探针UHV SPM系统中的一种，该系统提供了多种分析功能、配备了多个超高真空室和相应的电子控制单元与软件，可以大地满足客户全面的研究应用需要。基本系统中提供了低温4探针扫描隧道显微镜（SPM），扫描电子显微镜（SEM），样品准备室和用于传输样品和针的快速进样室。其他的设备如扫描俄歇显微镜（SAM）也可选配以满足客户特别的研究需要。技术参数：- 样品温度：10K（LHe）； 80K（LN2）- 扫描范围：1.5μm（300K）；500nm （10K）- X，Y，Z粗进针：±1.5mm/step motion- 样品定位精度：±1.5mm- STM分辨率：四个探针均可实现HOPG的原子分辨- SEM分辨率：小于20nm- 针材料：钨或者铂、金等金属修饰的钨针。 主要特点：- 四个探针都能实现原子分辨；- 真正的样品和针低温操作（10K），得到佳的高分辨谱图；- 探针与样品立地传输与准备；- 所有探针具有先进的控制操作；- 用户可编程控制的开放性控制环境；- 制冷采用Bath Cryostat构造，大地减少了液氦的消耗；- 可升到非接触式AFM；- 样品台处配有可选择的超导磁体；- 通过光纤实现样品的光学激发。

200 mm 探针台，用于收集高精度测量数据，速度提高 5 倍新型 Cascade SUMMIT200先进的 200mm 探针系统，对于在单个或体积晶圆上收集高精度测量数据至关重要 越快越好。SUMMIT200探针台专为研发、设备表征/建模或利基生产应用而设计，可在超低噪声、直流、射频、毫米波和太赫兹应用中进行温度范围内的精确电气测量，具有半自动和现在的全自动操作，可尽快获得准确数据。下一代探头系统支持 PureLine&trade 技术，可实现市场上最低的噪声水平之一。获得专利的 AttoGuard® 和 MicroChamber® 技术可显著改善低泄漏和低电容测量。新的先进200毫米快速平台，盒式处理多达50片晶圆，高吞吐量测试功能，以及-60°C至300°C的宽温度范围，为科学家，研发和测试工程师或生产操作员提供了快速完成工作所需的一切。SUMMIT200探针台支持Contact Intelligence&trade ，这是一种独特的技术，可实现自主半导体测试。创新的系统设计和最先进的图像处理技术强强结合，提供了一个独立于操作员的解决方案，可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。该SUMMIT200具有广泛的应用范围和满足任何未来需求的升级路径，提供最先进的 200 mm 探针台平台，可对现有和未来的设备和 IC 进行快速、高精度和大批量测量。*SUMMIT200 平台还提供不同版本，用于不需要上述增强功能集的测量任务。

光纤探针是本公司采用有热熔拉伸技术研制的气泡参数测量仪。基于光纤顶端接触的介须不同折射率也不相同的原理进行测量。探针处于气相时，光在探针顶端形成全反射，反射光强度高:探针处于液相时，反射光强度低，基于光强的差异判断探针顶部所处相态。光纤直径65um，探针外包金属毛细管，光纤与毛细管间的缝隙用高强度无机胶密封 毛细管尾部与不锈钢管相连，采用联式加固结构，逐渐增加直径，既可以保证探针的强度，又减少对流场的影响。光纤直径小，联式结构，对流场影响小，数据准确无机胶密封，适用于高温体系毛细管、不锈钢管钎焊连接，适用于高压体系无机胶密封，不溶不挥发，适用有机溶剂体系基于反射光强度的不同进行测量，适用于非导电介质气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针，气泡检测仪，气泡探测仪，掺气率测量仪，含气率测量仪，气泡探针，电导探针，流体探针，光纤探针，气泡大小测量，气泡速度测量，气泡速率测量，气泡粒径测量，液滴检测仪，液滴探测仪，带液率测量仪，气泡测试仪，液滴粒径测量仪，液滴大小测量仪，液滴速度测量仪，液滴速率测量仪，液滴测量仪，蓝宝石探针，双光纤探针

TeraSpike THz近场探针 微区探针(TeraSpike microprobe series)品牌：Protemics型号：TeraSpike TD-800-Z (纵向场微探针)TeraSpike是新一代的微探针，用于太赫兹频率范围内电场的光电导检测。基于客户的反馈和不断增长的应用驱动的需求，我们对近场探针进行了彻底的重新设计并且开发成功。新的探针是一款多用途表面近场电场探测器，适用于太赫兹波长范围内，具有前所未有的性能，可靠并且可适应。它可以完美地集成到太赫兹时域系统，在860 nm以下光激发，这是最高性价比的解决方案，将您的系统变成功能强大的高分辨率近场太赫兹系统。 。产品特点：市场上最小的THz探针专利设计空间分辨率可达3um探测频率范围：0-4THz适用于所有基于激光的THz系统安装可兼容标准的光机械组建典型激发光强度1-15mW（1-5uJ/cm2）集成过载保护电路应用：l 太赫兹研究：超材料，等离子体，石墨烯，波导l 高分辨率太赫兹近场成像 l 非接触式薄膜电阻半导体成像l MMIC器件特性分析 l 无损检测芯片l 时域反射计（TDR）测量脉冲激发的THz超物质表面的近场图像测量激光刻蚀多晶硅晶圆的薄层导电率图像 基于飞秒激光的THz系统 THz探针典型参数?TeraSpike TD-800-Z- A-500G Max. spatial resolution 8 μm PC gap size 5 μm Dark current @ 1 V Bias 0.4 nA Photocurrent (*) 0.5 μA Excitation wavelength 700 .. 860 nm Avg. excitation power 0.1 .. 4 mW Connection type SMP

低温探针台CPS-xxx-CF系列是一款成本低、稳定、可靠和方便的低温半导体测试甚至低温晶圆级别测试器件的低温探针台系统。内置振动隔离，智能热管理和工程热膨胀补偿使低温探针台系统非常适合于宽范围从纳米电子学应用（石墨烯的研究，分子电子学，量子计算等）以空间为基础的电子测试。规格：试样尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可选无冷闭式循环制冷机（S）：包括冷头、压缩机、制冷机和所需的氦气软管。 温度范围：标准10K～400K，4.2K到480k可供选择 温度精度：0.1k或更好 热探针臂和辐射屏蔽 卡盘和探针臂的温度监测辐射屏蔽和cryohead温度监测是可选的。 真空压力 窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。 相机：数码相机从1像素到10像素。图像和视频采集软件以及尺寸测量能力

MPI TS3000-SE with ShieIDEnironmenTS3000-SE是 TS3000 探针系统的进一步发展, 以 MPI 系统为超低噪声. 非常准确和高度可靠的 DC/CV,1/f RTS 和 射频测量, 主要解决设备特性的需要,晶片级可靠性和射频和毫米波应用。独特主动冷却探头板设计提供了非常大的稳定性, 在宽温度范围从-60度到 300度, 使 TS3000-SE 探头系统.Probe hover control 探头悬停控制：Probe hover control 探头悬停控制 MPI 探针悬停控制 PHC 允许手动控制接触和分离距离, 可以精确地控制与微米反馈探针探针的晶片/垫定位. 易于使用通过在关键设置和探头更换操作期间小化错误来保证安全的操作。Easy wafer loading 易晶片装载双前门通道和独特的卡盘设计, 使150、200、300毫米硅片碎片或小到 4 * 4 毫米 IC容易装卸程序。辅助卡盘都位于前面, 可以很方便地装载/卸载。没有推出阶段允许用于校准和探针卡清洁的简单自动化方法。Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探头系统中, 根据数十年的经验和客户交互设计, 提供更快、更安全、更方便的系统控制和测试操作. 键盘和鼠标是战略定位控制软件, 也将控制基于 windows 的仪器。Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板Thermal chuck integration 热卡盘集成由于智能冷水机组集成, TS3000 系列为节省实验室宝贵空间提供了非常好的足迹。MPI和ERS设计了新的300毫米热夹头技术家庭，提供了无与伦比的热弹性，减少了60%的浸泡时间，以及市场上很大的各种热范围。减少过渡时间，改善电气性能，在惰性气体环境下更容易测试，以及现场可升级性是主要热卡盘系统的附加值。热系统可以通过使用全集成触摸屏显示，置于方便的位置，在操作前快速操作和即时反馈。ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS专利AC3冷却这些卡盘包含了专利的AC3冷却技术和自人类管理系统，使用循环冷却空气净化MPI保护环境，从而大大减少了市场上其他系统的30% - 50%的空气消耗。Safety test management (STM) system 安全测试管理系统独特的STM系统在测试测量结果时防止门打开是安全的，在任何情况下都不可能在负的卡盘温度中意外开启任何系统。此外，智能露点控制程序避免了冷测时的灵敏度。系统自动监测CDA或氮的流动。如果流量中断或不足，STM自动将卡盘转换为安全模式，在露点以上尽快加热卡盘。MPI STM是通过自动维护安全的测试环境，使TS 3000 -SE测量更安全、更可靠、更方便的特性。Instruments integration 设备集控可选的仪表架可减少电缆长度，增加测量的动态性和方向性oftware suite SENUIO 软件套件SENUIOMPI自动化工程探测系统由一个独特的和改革性的,多点触摸操作SENTIO软件套件简单直观的操作将节省大量的训练时间,滚动变焦,模仿现代智能移动设备和移动命令可以让每个人都成为一个专家在几分钟.Switching活动应用程序与应用程序的其余部分是一个简单的手指扫描的问题。对于射频应用，不需要切换到另一个软件平台——MPI射频校准软件程序QAlibria完全集成到感知器中，通过遵循单一的操作概念方法，便于使用。oftware suite SENUIO 软件套件SENUIOoftware suite SENUIO 软件套件SENUIO

MPI High power manual probe systems MPI高功率手动探测系统。 MPI 大功率器件表征系统是专为晶片高功率器件测试而设计的。MPI TS150-HP 和 TS200-HP 探头系统提供了一个完整的150毫米和200毫米的晶片解决方案。它们被设计成在广泛的温度范围内实现对功率半导体的低接触电阻测量。 AIR bearing stage 空气轴承阶段 MPI空气轴承平台设计采用简单的单手圆盘控制，提供无与伦比的操作便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时不会影响精确的定位能力，并具有额外精细的25x25mm XY-Theta千分尺机芯。 10 KV coaxial or 3KV triaxial ambient chucks 10kv同轴或3KV三轴环卡盘 卡盘选项包括 MPI 的10kV 同轴或3kV 三轴环境吸盘或各种热卡盘, 以支持温度测量高达300摄氏度。 该热触控控制器的设计是安装在探针本身, 以方便快捷的操作。 HV/HC PROES 高压/ HC探针 MPI高功率探测解决方案包括专用的高电压和高电流探头, 使用 MPI 适当的多接触小贴士, 以减少接触电阻。MPI 的高压探头能够在同轴安装的3kv 三轴或5kv和10 kv的高压试验中进行低泄漏电流测量。 Safe AND Accurate 安全、准确 标准手动高功率探头系统配置与 屏蔽箱 提供安全和 EMI 屏蔽能力的联锁, 以确保低噪音, 准确和安全的测量。周边附件：CCD、防震平台、屏蔽罩、Laser mark、探针卡、BNC转接头、RF探针、有源探针、高压探针、真空泵。