轴压电平台

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

压电平台X60S / X120S沿X轴的行程可达110 μm，可以配备精度高达10nm的应变计。平台沿X和Y轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。

压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm，最高可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度，可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位，微扫描等应用。参数单位XY25XSXY200M型号V-XYXS25V-XYM200备注--传感器SGSG,ECS主动轴 TX,TYTX,TY最大空载位移[Tx,Ty]um25200Z方向最大面外位移um0.501.00Z方向的最大转动urad50240XY方向的最大转动urad1050电压范围V-20…150-20…150硬度N/um2.500.59高度(Z 轴) mm18.022.0尺寸(X&Y 轴)mm50*50100*100分辨率nm0.32.0质量g80180空载共振频率(在致动方向)Hz3000580响应时间ms0.170.86电容 (每个电气接口)uF0.506.30机械接口(有效负载)1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm3Ф2.7mm holes onⅡ38机械接口 (框架)4 Ф2.8mm holes on []454 Ф4.5mm holes on []84电气接口2 RG178B/U同轴电缆2 RG178B/U同轴电缆

压电平台XY200M沿X，Y和Z轴的行程为200 μm，最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜，掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。参数单位XYZ200M型号V-XYZM200备注-传感器SG,ECS主动轴TX,TY,TZ最大空载位移[Tx,Ty]um180Z方向最大面外位移um200Z方向的最大转动urad240XY方向的最大转动urad50电压范围V-20…150硬度N/um0.66高度(Z 轴)mm44.0尺寸(X&Y 轴)mm100*100分辨率nm1.8质量g540空载共振频率(在致动方向)Hz380响应时间ms1.32电容(每个电气接口)uF6.30机械接口(有效负载)物镜接口最大4/55 *1.36(指定)机械接口(框架)4 Ф4.5mm 孔 []84电气接口3 RG178B/U 同轴电缆

重载五自由度压电平台可实现高达35KG负载下保持纳米级运动精度，可广泛应用于大孔径干涉仪、物镜稳定器、光学对准、纳米压印、显微成像/操作、表面检测、半导体加工等。技术特点：超大负载压电陶瓷精密设计 应用领域：大口径干涉仪 物镜稳像器 光学对准纳米压印 显微成像/操纵 表面检测半导体加工规格参数：型号NP-FAPC-5011A 运动轴 X，Y，Z，θX，θY传感器类型电容式位移传感器X/Y闭环行程100umZ闭环行程35umθX，θY闭环行程±150uradX/Y分辨率＜2nmY分辨率＜1nmθX，θY分辨率＜20nradX/Y/Z线性度0.03%X/Y重复定位精度＜10nmZ重复定位精度＜10nmθX，θY重复定位精度0.1urad平台噪声＜2nm最大承载能力35kgZ谐振频率@35kg＞100HzθX/θY谐振频率@35kg＞100Hz带载最高工作频率10Hz材质铝合金质量12kg工作温度0~50℃尺寸Φ500X117mm 中空Φ360mm

MICRONIX精密压电平台PPS-50产品型号：PPS-50产品介绍：精密压电平台 PPS-50 允许高负载的纳米定位。交叉滚子轴承确保负载高达 30N 时的高刚度。它与我们获得专利的多相压电电机和可选的高分辨率编码器（分辨率高达 1 nm）完全集成。PPS-50 还可以与我们的旋转平台和角平台结合使用，以实现 运动灵活性。PPS-50 与我们的 MMC-100 和 MMC-110 控制器兼容。性能特点：●标准行程范围可达100毫米●闭环编码器分辨率达到1 nm●十字滚子轴承（防蠕变）●负载能力高达3kg●低像素，15mm高●提供真空和非磁性版本参数：●行程范围：26 毫米 - 100 毫米●编码器分辨率：1 纳米（闭环）●可重复性，双向：±20 纳米●可重复性，单向：20纳米●max速度：5 毫米/秒 (MMC-110)●max载荷：3 kg●编码器选项：模拟或数字●高度：15 毫米●轴承类型：交叉滚子轴承●产地：美国

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 10mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 10重量[g]26力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1720产品描述 LS-1720的尺寸为20 x 17 x 10mm，行程范围为12mm。概观运动行程[mm]12尺寸[mm]20 x 17 x 10重量[g]13力特性推力[N]≤2负载[N]≤10升力[N]≤1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1770产品描述 LS-1770的尺寸为70 x 17 x 10mm，行程范围为46mm。概观运动行程[mm]46尺寸[mm]70 x 17 x 10重量[g]46力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 10mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 10重量[g]41力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 10mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 10重量[g]51力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-2D产品描述 MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730，运动为21x21mm。概观轴数2所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21XY 负载[N]10靠板安装尺寸[mm]60x60x25 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30x30x20 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

MLS-1730系列 MLS-1730系列产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。Nators可提供预装配多轴纳米定位平台，每个产品系列支持多达4个自由度。所提供的多轴定位平台易于重新配置和安装，可用于在工作空间紧凑且要求高定位性能的应用场合。如需提供定制化解决方案，请随时与我们联系。MLS-1730-3D产品描述 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动为21x21x21mm。概观轴数3所用的定位台LS-1730运动行程[mm]21x21x21XY 负载[N]10Z 负载[N]1靠板安装尺寸[mm]60x60x59 (L x W x H)直接安装尺寸[mm]30.75x30x54 (L x W x H)选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

Thorlabs提供多种用于纳米定位的三轴、四轴、五轴和六轴平台。我们的平台采用非常可靠、可重复的柔性技术，与其他技术相比还具有其他多种优势。另外，Thorlabs还提供各种配件和固定座。三轴组合式平台 四轴组合式平台 五轴可调平台 Nanomax系列6轴灵活平台 光纤发射平台 平台配件 高速显微镜平台 XY和Z轴旋转安装座 三维挠性平台本页突出介绍了Thorlabs的三维挠性平台系列产品。Thorlabs提供不同的单元部件，包括步进电机驱动器、差动调节器、压电驱动器和用于闭环反馈操作的位置探测器。在这些平台的设计上，驱动器直接耦合到平台的底座上，从而消除逆向移动。带测微计的MicroBlock 带差分驱动器的NanoMax300 带步进电机的NanoMax300 带内交换驱动器的NanoMax300 开环控制器和3轴压电平台套装 带差分测微头驱动的RollerBlock三轴移动平台 带测微头驱动的RollerBlock三轴移动平台 基本的光纤发射解决方案 专业的光纤发射解决方案 灵活平台配件 四轴挠性平台Thorlabs提供四轴配置的NanoBlock和MicroBlock系列平台。NanoBlock四轴平台的载物台高度为112.5毫米，位移精度为50纳米，角分辨率为1弧度秒。MicroBlock四轴平台的载物台高度为62.5毫米，位移精度为50纳米，角分辨率为1弧度秒。四轴，载物台高度62.5mm 四轴，载物台高度112.5mm 灵活平台配件 5轴NanoBlock装置平台，载物台高度为112.5毫米 Related Products 概述规格Documents & Drawings Feedback Tag Cloud NanoBlock&trade 5轴装置平台，载物台高度为112.5毫米5轴装置平台设计用于和NanoMAX&trade 600系列6轴波导调节器配套使用。在要求将光学元件或装置固定在高性能多轴对准系统前面时，这款5轴平台非常适合。该装置的5个自由度可以将光学组件相对于另一个定位平台精确定位。通过5个差动调节器可以实现方位对准。粗调是通过0.5毫米节距的丝杆实现的。微调是通过我们专利技术（差动机制）实现的，每转移动量为50微米，行程300微米。NBM513五轴装置平台的所有转动自由度均通过挠性铰链实现，而x和y线性轴用的是传统的轴承平台，以获得更长的行程。NBM513的顶部载物台距离底部安装面112.5毫米，可与任意NanoBlock配件匹配。6轴NanoMax纳米定位器 Related Products 概述规格详细信息引脚示意图Documents & Drawings Feedback Tag Cloud 特性移动范围：X，Y， Z： 0.16英寸 （4 毫米）&theta x，&theta y， &theta z： 6° 可选择用于闭环操作的压电驱动器高硬度挠性设计：X和Z方向为1 N· m in，Y方向为0.5 N· m in高共振频率：大于130赫兹（± 10%）整体的，单一移动平台设计具有专利的的带固定驱动器的平行挠性机械装置所有的自由度具有公共的支点，简化了对准程序低维护机械装置，从而降低了总成本。NanoMax&trade 600系列是一种强大纳米定位工具，它具有两大创新点：第一点是所有旋转有一个公共的支点；第二点是专利设计允许所有驱动器连接到一个公共的支点。关于兼容的控制器，请参阅详细信息 标签。 Common SpecificationsResonant Frequency130 Hz (± 10%), No Load on the StageRMS Repeatability30 nm over 30 &mu m 0.1% Over Full Travel RangeStiffness&emsp &bull X and Z1 N/&mu m&emsp &bull Y0.5 N/&mu mCrosstalk, Max*Max 20 &mu m/mm of TravelMoving Top Plate Size2.75" x 2.36" (70.0 mm x 60.0 mm)Load Capacity2.2 lbs (1 kg)*Also Known as Arcuate Motion具有专利的平行挠性设计增加了装置的稳定性能 对于复杂的多轴定位，平行挠性平台把三个或者更多个自由度的部件合成单个的紧凑的部件中，与层叠式移动平台相比，该挠性平台极大地提高了系统的性能。平行挠性技术是Thorlabs 的专利产品，它是NanoMax&trade 家族的所有纳米定位平台的核心技术。九种型号可供选择我们提供预配置差动测微头或步进电机驱动的装置，带有或者不带压电驱动器，或者带有压电位置传感器的装置。我们同样也提供了不包括驱动器的基本配置，可以选择压电或者压电位置传感器。这样您可以选择添加步进电机、差动测微头、翼形螺钉驱动器。我们的基本配置包括左手系和右手系两种选择。如果你所选择不带压电控制器的型号，我们可提供外部压电扩展器，能够适用于任何我们公司的驱动装置。.Item #External Drive TypeInternal Precision DriveMax ResolutionMAX611Differential Micrometer Drive DRV3None50 nm/4 arcsecMAX612Piezoelectric Actuator30 nm/0.1 arcsecMAX613Piezoelectric Actuator and Displacement Sensor10 nm/0.03 arcsecMAX604Stepper Motor Drive DRV001None20 nm/0.1 arcsecMAX605Piezoelectric Actuator30 nm/0.1 arcsecMAX606Piezoelectric Actuator and Displacement Sensor10 nm/0.03 arcsecMAX607None CustomizableNoneDepends on Drive ChosenMAX608Piezoelectric Actuator30 nm/0.1 arcsecMAX609Piezoelectric Actuator and Displacement Sensor10 nm/0.03 arcsec 光纤输入系统这些三轴的基本型和专业型光纤输入系统，为将自由空间激光耦合入单模、多模或保偏光纤中提供了理想的解决方案。此外，Thorlabs还提供六轴工业平台，该平台为相关应用，如将光耦合进入波导中，提供全部维度的定位控制。小巧的光纤端口耦合器 笼式共轴系统套装 基本的光纤发射解决方案 专业的光纤发射解决方案 六轴工业光纤发射平台 光纤发射配件 挠性平台配件Thorlabs为纳米定位平移台提供挠性平台配件。我们的可调式平台与三维挠性平台的高度匹配，并提供俯仰，旋转和转动的结合调整。转接板和扩展平台提供了更加灵活的安装表面。我们的挠性平台通常用于光纤耦合应用，提供光纤旋转器和光纤支架等光纤组件。其他附件包括光学无调节安装座和可调安装座，以及激光二极管安装座。裸光纤和终端光纤固定器 光纤旋转器 波导安装座 带TEC的二极管安装座 无调节的安装座和配件 可调安装座和配件 扩展平台 光纤夹具和转接器 显微镜载玻片固定架 可调平台 转接板 显微镜平台这些平台经过专门设计，为显微镜样品提供电动操纵。通过转接板可以兼容正置和倒置的显微镜（查看每个产品的介绍以获得具体信息）。另外，为了用在用户自制的显微镜系统种，平台可以安装在工作表面上。高速显微镜平台 Z轴压电平台&控制器 生理学平台套件 生理学平台配件 用于尼康FN1显微镜的手动XY平移台 XY线性移动加Z轴旋转平台 Related Products 概述应用Documents & Drawings Feedback Tag Cloud XYR1是一个带有Z轴360度连续旋转的低剖面XY轴移动平台，中心SM1螺纹通孔可用于成像系统载物平台，可以从样品下面照明。平台包含1/4英寸－20（M6）和8－32（M4）的阵列螺纹孔，用于安装样品和组件。此外，平台的中心通孔周围还有8个4－40的螺纹孔，可以不需要转接件就能配合30毫米或者60毫米的Thorlabs笼式共轴系统使用。X、Y轴测微头的行程为1/2英寸（13毫米）。平台的安装表面的外边缘带有角度刻度，便于用户设置角度，并可以通过锁定螺丝进行固定。旋转轴的锁定不会妨碍X、Y轴的移动。旋转平台的上表面在XYR1框架的上方，可避免安装的元件受旋转或移动的影响。 SpecificationValueLinear Translation MechanismBearings in V-GrooveMax Horizontal Load10 lbs (4.5 kg)Max Vertical Load*2 lbs (0.9 kg)Mounting Platform DimensionØ 4.18" (Ø 106 mm)Stage Height1.08" (27.4 mm)Stage Footprint Including Actuators6.33" x 6.1" (160.8 mm x 154.9 mm)XY MicrometersTravel0.025" (0.5 mm) per RevolutionTranslation Range1/2" (13 mm)Graduation0.001" (10 µ m) per DivisionRotationContinuous Rotation Range360° Graduation1° * 为了达到最大的载重，必须将垂直方向的驱动器推至平台上。

产品描述PSVH30-005U为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。底部平台固定安装孔可选择M3螺纹孔，便于用户方便安装，订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径2.2通孔。本系列产品形行程范围为5μm（闭环）。产品特性—单轴运动—运动可达5μm（闭环）—承载0.8kg—Z轴紧凑型设计选配功能—可定制安装、负载固定孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可提供XZ、XY和XYZ版本 结构原理 位移特性 典型应用PSVH30-005U系列技术参数

产品描述PK2H70-012U为微扫描红外成像超分辨重建专用型产品。微扫描技术包括不同的模式，拍摄同一场景的多张图像，同时每次将图像在检测器平面上移位等于检测器间距的一小部分的距离，然后将场景的采样帧用于形成单个高分辨率帧。压电位移台PK2L70-012U-S使焦平面阵列中的聚焦透镜沿X轴和Y轴移动本系列产品具有超紧凑、超高动态、超高精度等特性，是超高分辨客户应用的理想选则。利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK1L130-050U/100U位移台可提供很好的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现高精度和快速的闭环响应。本产品具有亚纳米性能。PK2H70-012U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.02％的精度和重复性。PK2H70-012U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供钛金属材料，具有更高的温度稳定性和定制真空制备版本。产品特性—XY位移：12μm（闭环）—中孔尺寸：?28mm—承载能力：1Kg—紧凑型设计—直接驱动具有更高的动态特性选配功能—可定制转接装置及中心孔径大小—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可定制其他行程版本应用领域—红外微扫描成像—超分辨率显微镜—掩模、晶圆定位—干涉测量、测量技术—显微操纵 结构原理 叠堆形式 典型应用PK2H70-012U系列技术参数

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1750产品描述 LS-1750的尺寸为50 x 17 x 10mm，行程范围为31mm。概观运动行程[mm]31尺寸[mm]50 x 17 x 10重量[g]32力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

产品描述X轴纳米定位线性位移台是基于压电控制的线性位移台，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列产品包含X、XY可供用户选择。该压电纳米定位器是我们高速产品线的一部分（可提供大功率控制器，进行高速运动）。二维产品型号为PS2H45-xx。PS1H45系列压电纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的固态挠性导向系统可确保完美的平移运动。平台采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描等。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。产品特性—高速运动、直接驱动—设计小巧紧凑PS1H45系列技术参数—闭环控制—可堆叠进行XY运动选配功能—可定制转接工装—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可组维、可定制其他行程应用领域—扫描显微镜、光纤端面检测—干涉仪、测量技术、3D锡膏检测—光子、光纤定位、干涉—纳米光刻、纳米定位、电化学加工 结构原理 高速响应 典型应用PS1H45系列技术参数

显微镜载物台（电动/压电）姓名：李工(William)电话：（微信同号）邮箱：昊量光电设备有限公司推出的平台专业设计普遍适用于市面上大部分的正置/倒置显微镜。可以供手动平台、电动平台、压电与步进电机混合运动平台、手动与压电集成平台。平台每个轴都采用闭环反馈控制，可以提供更高的分辨率和可重复性。Z轴采用压电陶瓷平台，可提供纳米级的定位精度，行程从150μm-500μm可选。昊量光电设备有限公司可适用于显微镜的平台主要有以下几种产品。1）倒置显微镜平台以下列表中的平台适用于市面绝大部分的显微镜平台，可兼容的显微镜型号如下：Leica – DMI3000, DMI4000, DMI5000, DMI6000, DMIRB, DMIRBE, DMIRE, DMIRE2Nikon – Diaphot Eclipse TE2000, Eclipse TiOlympus – BX50WI, BX51WI, BX61WI, IX70, IX71, IX81Zeiss – Axiovert 200, Axio Observer产品图片描述行程AU-MS-2000FT是一款提供XY方向精确定位的载物台。该平台经过特殊设计，利用十字滚珠滑块，高精度丝杠和零间隙微型齿轮直流伺服电机驱动可提供高分辨率和重复精度的平稳运动。并且该平台可与ASI的任何Z轴平台匹配使用提供X,Y,Z的精确定位。X轴 120mm Y轴75mm详细参数见数据单1AU-MS-2000 XY平台是专用于显微镜平台的XY轴定位的平台，该平台采用闭环反馈直流伺服电机驱动，可提供高分辨率和和高重复精度的定位，并可以与任何ASI的Z轴平台组成三维定位系统X轴 120mm Y轴110mm详细参数见数据单2AU-MS-2500XY是一款大行程、超薄的 XY定位平台，X轴运动行程可达250mm，X轴和Y轴采用闭环直流伺服电机驱动，并带有手动操纵杆进行大范围移动，并可以ASI的Z轴产品配合使用。控制灵活可以通过USB和RS-232串口控制该平台，并提供软件包X-Y轴 250mmx75mm详细参数见数据单3 AU-PZM-2000 是一款在Z轴提供精确定位的平台。可以直接配合显微镜上原始的OEM手动平台使用，可提供100-500μm不同的行程。载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等。Z：150μm 300μm 500μm详细参数见数据单4AU-PZ-2000 XYZ是一款提供X,Y,Z三维定位的平台，其中X,Y方向采用闭环反馈的直流伺服电机驱动，Z轴采用压电平台提供纳米级别分辨率，行程150μm；300μm；500μm可选。X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单5AU-PZ-2000FT是一款平顶三维定位平移台，三个维度都采用闭环反馈，可实现高分辨率和和重复定位精度。Z轴采用压电平移台，可实现纳米分辨率定位，载物台的顶板可以接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片插件，即载玻片，皮氏培养皿，多孔板等X-Y轴120mmx110mmZ：150；300；500μm详细参数见数据单6AU-US-2000是一款经过特殊设计的可实现高稳定、高分辨率及可重复性，应用于超分辨显微镜。该平台可适配ASI任何Z轴定位的平台。如果对定位精度要求较高，平台和可匹配压电平台用于Z轴聚焦。X-Y轴 50x50mm 至120mmx75mmZ轴 150；300；500μm详细参数见数据单72）正置显微镜平台以下平台包含不同维度的平台，及压电与步进电机结合的平台，并匹配市面上的立式显微镜，主要型号如下：Leica – Aristoplan, DM4000, DM4500, DM5000, DM6000, DMLB, DMRB, DMRP, DMRXPNikon – Eclipse 80i, Eclipse 90i, Eclipse 800, Eclipse 1000Olympus – AX70, BX41, BX50, BX51, BX60, BX61Zeiss – AxioImager, Axiolab, Axioplan, Axioplan II, Axiophot I, Axiophot II, Axioskop, Axioskop II, Axioskop FS II产品图片描述行程AU-FPT-2000聚焦平台是一款经过特殊设计是用来提供高分辨率和重复精度的X,Y,Z三个维度的定位， 该平台采用闭环反馈避免由改变方向和多次步进造成的空回和丢步。X-Y轴120mmx75mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单8AU-MS-2000是一款质量较轻的平台。经过专项设计，在保证平台精度的前提下质量只有常规平台的3/4，可更快达到热平衡。通过高精度旋转编码器闭环反馈。 可通过操作杆或者通过USB或RS-232串口通过控制器控制平台移动。此外该平台可适配ASI任何Z轴平台，组成三维定位系统。X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单9MS-2000S小型位移平台可提供X和Y两个方向的精确定位，分别可提供100x100mm的行程，但平台尺寸仅为20x23x162.5px，采用闭环反馈设计，分辨率可达到亚微米。 X-Y轴100mm x 100mm详细参数见数据单10AU-MS-4400是专门为大型立式显微镜设计的一款三维精密定位位移平台。可适用于Leica DMR-series, the Nikon Eclipse 80i, the Olympus BX series, and the Zeiss Axioplan, Axioskop 2, and Axio Imager等显微镜。该平台采用闭环设计，配备手动操纵杆，可轻松操纵平台移动。并可匹配ASI推出的所有Z轴平台。X-Y轴100mm x 100mmZ轴12mm or 25mm详细参数见数据单11AU-MS-9500是一款225mmx125mm大行程的位移平台，可一次扫描八个25x75mm的载玻片，同时可提供较高的分辨率和可重复精度。X-Y轴225mm x 125mm详细参数见数据单12 AU-PZMU-2000是精确的Z轴压电定位平台，AU-PZMU-2000包括ASI经过验证的压电Z顶板，该顶板安装在独立的外壳中。 该系统可以安装在任何水平表面上，或直接安装在立式显微镜的手动XY平台上。AU-PZMU-2000接受适用于任何样品的标准K尺寸载玻片，例如载玻片，皮氏培养皿，多孔板等Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单13AU-PZU-2000是一款步进电机与压电平台结合的精密定位系统，其中XY轴采用闭环反馈伺服电机精确控制，Z轴为压电平台，可提供纳米级的分辨率，已经不同行程可选。X-Y轴120mm x 110mmZ轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单143）Z轴压电平移台产品图片描述行程IPZ-3000FT系列平台是压电定位平台，提供Z方向精确定位，适用于大多数具有标准的K-尺寸（110x160mm）开口的显微镜载物台。IPZ-3000FT可用于安装多种样品架，用于固定小碗、载玻片、小腔体等。Z轴150μm，300μm，500μm详细参数见数据单15Z-INSERT的优点在于可以适用于任何标准K型框架的大多数的电动载物台，该平台提供了一个127.5x85mm的通光孔，可以接受任何具有SBS标准尺寸的微孔板。该平台与以下类型平台兼容：ASI – MS-2000 Flat Top XY/XYZ motorized stage (a special version is needed for non-flat top stage)Marzhauzer – Scanning Stage SCAN IM 120×80Prior – K type FrameLudl – BioPrecison2Zeiss – K type FrameNikon – Ti XY motorized stage (requires the Nikon Adapter plate, in order to reduce the aperture)Olympus – IX3-SSU (requires the Olympus adapter plate, in order to reduce the aperture)Leica – Regular 3-plate stageZ轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单16Z-INSERT K-TYPE是Z-INSERT的精简版本，平台的长和宽与K型样品架（160x110mm）完全相同，平台拥有83.6x54mm的开口，可以与大多数拥有K型框架的倒置、正置显微镜兼容。Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单17Z-INSERT-INC是Z-INSERT的特殊版本，带有嵌入式的环境腔，为满足长时间的活细胞成像提供适宜的环境，CO2输入可以连接各种调节器（例如Okolab, Tokai Hit, Pecon），并可以灵活拆卸腔体盖。Z-INSERT-INC位移台具有Z-INSERT的所有优点，这意味着它可以直接安装在第三方制造商提供的大多数电动位移台上Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单18Z-INSERT NIKON 是Z-INSERT的特殊版本，它可以直接用在NIKON Ti XY电动平台上，它提供标准的K型开口（160x110mm），并与我们提供的K型样品架相匹配。Z轴100μm；200μm；300μm；500μm详细参数见数据单194）物镜扫描台产品图片描述行程F-POM是一款压电驱动的物镜扫描台，可提供500μm行程。Z轴150μm；300μm；500μm详细参数见数据单20FOCHS.100 是一款专用于显微镜物镜高速定位的压电平台，其采用管状设计，可提供100微米行程，被广泛用于Z轴聚焦、激光加工和自动聚焦等。平台安装环可以简单更换，可适配：RMS、M25, M26, M27 和 M32 的物镜Z轴100μm详细参数见数据单21FOC是专用于显微镜精密定位的平台，可提供100,200,300μm不同行程，采用硅闭环反馈，可提供皮米量级分辨率。其安装环易更换可匹配不同类型物镜，Z轴100μm；200μm；300μm详细参数见数据单225）大型位移平台除了标准的用于生物学的位移平台外，ASI公司也推出来一些特殊领域使用的大型位移平台，和龙门自动平台，例如：用于工业检测的大型显微镜Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列产品图片描述行程AU-M系列是大行程二维位移平台，满足半导体检测及其它需要大型程平台的应用。该平台可提供150mm；200mm；250mm；300mm不同的行程。X-Y轴150mmx150mm；200mmx200mm；250mmx250mm；300mmx300mm详细参数见数据单23GTS系列龙门位移平台提供三维闭环平台，可提供不同行程，标准品XY方向可提供380mm，Z轴可提供100mm，并可以根据应用选择不同行程的平台。X-Y轴380 mm x 380 mmZ轴100mm详细参数见数据单24MS-8000是与大型工业检查显微镜配合使用的。例如Nikon L200 / 300系列或Olympus MX51 / 61系列。平台中空设计允许底光照明，平台可提供玻璃盖板或者其它材质载物台，包含用于检测的镜片真空吸盘。详细参数见数据单256）精密旋转平台PRS-1000是一款可提供连续旋转的平台，超薄的设计可以使该平台集成到MS-2000系列XY平台上，组成多维运动平台。标准版本具有直径为95mm的通孔，可以使用任何ASI的C大小的插件。该平台也可用于真空应用。详细参数见数据单267）手动平台MIC-2500是一款为匹配压电扫描平台而设计的手动平台，该平台配置千分尺手动旋钮，可提供25mm的行程，并可安装XYZ三轴压电平移台。详细参数见数据单278）手动压电混合定位平台（压电平台型号选择与配置请联系工程师）压电平台可以与配套的手动位移平台使用，也可以提供完全的混合集成定位平台用于倒置光学显微镜（蔡司，奥林巴斯，尼康，徕卡），混合定位系统，由手动位移平台和压电平台组成，其中手动位移平台通常适配市面上大部分的光学显微镜，可提供X，Y两个维度的移动，行程可达到25mm，可进行位移粗调，压电平台进行亚纳米分辨率的精确定位与扫描。

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1730产品描述 LS-1730的尺寸为30 x 17 x 10mm，行程范围为21mm。概观运动行程[mm]21尺寸[mm]30 x 17 x 10重量[g]21力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

LS-1730产品描述 LS-1730的尺寸为30 x 17 x 8.5mm，行程范围为21mm。概观运动行程[mm]21尺寸[mm]30 x 17 x 8.5重量[g]21力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 8.5mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 8.5重量[g]26力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1720产品描述 LS-1720的尺寸为20 x 17 x 8.5mm，行程范围为12mm。概观运动行程[mm]12尺寸[mm]20 x 17 x 8.5重量[g]13力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

德国PI位移平台I的压电挠性位移台将亚纳米分辨率和导向精度与最小串扰相结合。这使其特别适合于计量学，超分辨率显微镜，干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的定位和动态扫描，在高达6个自由度的情况下可达几百赫兹。专有的传感器设计，无摩擦的挠性导轨和长寿命的PICMA压电执行器的独特结合，带来了出色而坚固的机械性能。压电运动控制器支持定位和扫描性能优化，并且可以轻松地通过数字或模拟接口进行集成，并进行舒适的编程。多轴压电挠性位移台PI的多轴压电挠性位移台可在多达6个轴上以亚纳米级的精度进行定位和扫描，包括尖端，倾斜和偏航运动。版本范围从紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。XYZ扫描仪是定位技术的方位工具。应用包括样品调整，技术，光学计量，光纤定位和光子学以及原子力显微镜。所有压电纳米定位系统均已出厂校准，并随测量记录一起提供。 XYZ紧凑型压电立方体P-616NanoCube纳米定位器紧凑的并联运动压电系统，用于纳米定位和光纤对准P-611.3NanoCubeXYZ压电系统紧凑的多轴压电系统，用于纳米定位和光纤对准P-363 PicoCube XY（Z）压电扫描仪高动态纳米定位系统，用于扫描探针显微镜P-313 PicoCube XY（Z）压电扫描仪皮克计精度高带宽，用于扫描探针显微镜带有孔的XYZ压电位移台P-733.3 XYZ压电纳米定位器高精度XYZ光圈扫描仪P-561• P-562• P-563 PIMars纳米定位台高精度纳米定位器，最多可容纳3个轴P-517• P-527多轴压电扫描仪高动态纳米定位仪/扫描仪，具有直接位置测量功能Z /尖端/倾斜压电挠性位移台P-541.2• P-542.2 XY压电平台大口径薄型XY纳米定位系统P-541.Z• P-541.T压电Z平台/ Z和倾斜/倾斜平台薄型，大光圈P-518• P-528• P-558压电Z / Tip / Tilt平台大光圈高动态6轴压电位移台P-587 6轴精密压电位移台长行程，直接位置测量P-562.6CD PIMars 6轴纳米定位平台具有6个自由度的高精度纳米定位器 用于显微镜的PIFOC物镜和PInano样品扫描仪PIFOC和PInano系列的压电挠性位移台和物镜扫描仪在定位和扫描任务方面具有很高的动态性。标准产品提供了适用于XY样品平行于和垂直于光轴定位以及物镜Z聚焦的解决方案。平台也可以在系统中方便地与控制器，所有必需的连接电缆和软件一起使用。像所有压电系统一样，显微镜载物台和扫描仪也已通过测量记录进行了预校准。 XY压电挠性位移台高精度的2轴纳米定位系统集成了PICMA压电执行器，以实现最大的可靠性。通过使用高质量的纳米计量传感器，可以实现具有佳稳定性的可重复，无漂移的定位。用于小负载的2轴压电扫描仪经常用于扫描和跟踪过程。它们的快速步进运动提高了光学系统的分辨率。这些包括相机技术中的成像过程和图像识别，例如用于生物识别或文档存档。 紧凑型XY压电位移台P-611.XZ• P-611.2 XZ和XYZ纳米定位器用于纳米定位的紧凑型两轴压电系统P-620.2 – P-629.2 PIHera XY压电平台行程范围可变的高精度XY纳米定位器XY压电挠性位移台P-612.2 XY压电纳米定位系统紧凑，带光圈P-541.2• P-542.2 XY压电平台大口径薄型XY纳米定位系统P-733.2 XY压电纳米定位器高精度XY光圈扫描仪PI P-734.2CLP-734 XY压电扫描仪具有最小跳动和清晰光圈的高动力系统PI P-763P-763紧凑型XY纳米定位系统光圈清晰低剖面，经济高效的压电扫描仪，用于生物识别：CCD芯片可在两个轴上动态移动，以提高像素分辨率P-713 XY压电扫描仪具有成本效益的低矮OEM系统P-545.xR8SPInanoXY（Z）压电系统用于高分辨率显微镜的廉价纳米定位系统P-545.xC8SPInanoCap XY（Z）压电系统电容位置测量，用于超高分辨率显微镜P-545.3D8SPInanoTrak压电跟踪系统快速XY（Z）平台用于高动态显微镜 德国PI位移平台

产品描述PFR150系列超薄型XY（Z）多轴纳米定位压电平台，可用于与倒置显微镜的标准大范围纳米定位压电平台集成在一起。载物台具有较大的孔径，可容纳行业标准的样品架/微孔板、便于进行进行活细胞研究。PFR150系列为研究人员提供了对Z轴的快速，高精度控制，是反卷积，3D重建和共聚焦显微镜的理想选择；尤其适用于需要活细胞的应用。与其他仅移动一个物镜的压电聚焦设备不同，PFR150可以在载物框架位置使用，从而确保不失去共焦性。PFR150系列的闭环行程为80~200 μm，可与蔡司、尼康、奥林巴斯、莱卡等显微镜配合使用。其中压电平台，压电控制器和专接板均单独出售。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。产品特性—位移：80μm/150μm（闭环）—中空尺寸：83×93 mm—适用于质量达1000g样品扫描—嵌入型设计—并联结构设计具有高谐振频率选配功能—可定制转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可选择定制其它固定方式及培养皿支架应用领域—超分辨率显微镜—表面扫描和分析、测量技术—筛选、生物技术—自动聚焦系统—共聚焦显微镜 结构原理 响应特性 典型应用PFR150-XYZ100U/200U系列技术参数

产品描述PS3100-300UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。XYZ轴设计为300微米大行程运动双向运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。由于FEA的优化这款平台提供动态性能和出色的引导精度。 即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。 本系列系列专为大承载动态应用领域设计。压电平台由集成在带有内部杠杆传动装置的壳体中的执行器组成。 压电平台通过四个对角孔固定在基板上。特别注意因平台为XY叠加结构，压电平台的固定孔为最下端的压电平台，切勿锁定上方的运动平台，否则导致柔性机构的损坏。产品特性—XYZ位移300μmx300μmx80μm（闭环）—多种负载安装孔位—大承载设计—XY双向驱动带来更高动态特性选配功能—可定制孔位及转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—4通道驱动控制应用领域—精密加工领域—测量、计量—光学镜片调整与对准—图像处理与扫描 结构原理 堆叠形式 典型应用PS3L100-300UA系列技术参数

LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 8.5mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 8.5重量[g]51力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 8.5mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 8.5重量[g]41力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

MacroBlock三轴挠性平台 Related Products 特性挠性设计确保了连续平稳的移动紧凑型设计：桌面到移动载物台的高度：62.5毫米桌面到配件光轴的距离：75毫米无滑动配件避免摩擦挠性设计避免了油脂的使用，并且增强了长期稳定性MicroBlock&trade 三轴移动平台提供的连续平稳移动使得该装置几乎适用于所有的微定位应用。新颖的挠性设计可以产生三个互相垂直的线性移动自由度，从而避免了传统轴承传递平台的静摩擦和摩擦造成的严重的限制。润滑剂是定位装置偏移的主要来源之一，套嵌式挠性平台允许该平台在不需要任何润滑剂的情况下无限制的使用。延伸到平台顶部安装面的中间的键槽允许系统在保证准直的前提下快速重装。Thorlabs还为该MicroBlock系统提供了很多配件。MBT616平台具有紧凑的差动调节器，在300微米的微调范围内提供了50纳米的精度（理论值）。 MBT602平台是经济型的三轴挠性平台，包括一个节距为0.5毫米的翼形螺钉调节器。带固定差分调节器的3轴NanoMax平台 Related Products 特性每轴的行程为4毫米挠性设计，确保无摩擦的平滑连续运动紧凑型设计：157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米（6.2英寸x6.31英寸x2.46英寸），包含驱动器在内增强的长期稳定性所有调节器都固定在底板上，消除串扰包含压电电缆和反馈电缆NanoMax平行挠性平台当MAX300系列平行挠性平台应用于亚微米精度的对准应用时，其优势是显而易见的。使用传统的多轴层叠式平台时，接触两个驱动器中任何一个不以底座为参考的驱动器都会在装置内产生不必要的运动。相反，把NanalMax系列平台的每个驱动器都直接耦合到平台底座上，将会消除这些不利影响。 Common SpecificationsTravel4.0 mmLoad Capacity (Max)2.2 lbs (1 kg)Coarse Adjustment Range0.5 mm/revFine Adjustment50 µ m/rev (300 µ m Range)Piezo Specifications (MAX314 and MAX315 Only)Piezo Voltage Range0 - 75 VPiezo Range20 µ mPiezo Resolution (Theoretical)20 nm (5 nm with Strain Gauge)Piezo Bidirectional Repeatability200 nm Open Loop,5 nm Closed LoopPiezo Absolute On-Axis Accuracy1.0 µ m精密差分驱动器差分驱动器提供4毫米的粗调行程和300微米的细调行程，其分辨率为每转50微米。在精密行程调整器上的刻度为要求绝对定位的应用提供了一个清晰的参考点。配件的简易对准顶部平台的中心键槽能在保持配件对准的前提下实现快速的系统重新配置。多种配件可供选择，用于安装显微物镜，准直镜，波导和光纤等。如果需要安装偏离中心的元件，可将带槽顶板替换为带有1/4英寸-20（M6）和#8-32（M4）阵列安装孔的RB13P1转接板（参见本页面上方的图）。另外，还提供多种转接板，可将NanoMax系列平台安装到一系列Thorlabs旋转平台和大行程线性平台上。总之，这些特性使得MAX300挠性平台成为需要高稳定性和高重复性的对准应用的坚实工作平台。3轴NanoMax平台，带差分驱动和闭环压电驱动器Zoom 闭环压电驱动器 20微米压电驱动行程 5纳米细调分辨率MAX341采用直接嵌入在平台主体内部的闭环压电驱动器，能提供20微米的行程和5纳米的定位分辨率（闭环控制）。它有三个应变计位置传感器，将提供与压电元件的位置成线性关系的反馈电压信号。该信号可以用来补偿迟滞、蠕变和压电元件本身存在的热漂移。如果用闭环控制器（比如BPC203，MPZ601，或者TPZ001和TSG001结合）驱动，压电驱动器就能以闭环模式控制，可以把定位精度从20纳米提高到5纳米。此外，迟滞、蠕变和压电器相关的漂移能通过闭环控制来监测和补偿。此外，当平台与NanoTrak控制器（BNT001 ，MNA601，或者TNA001）耦合使用时，系统变为一个功能强大的自动对准装置，它既能保正光通量，又能消除热漂移和其它外部压力引起的耦合效率的降低。3轴NanoMax平台，差分驱动，压电驱动器Zoom 开环压电驱动器 20微米压电驱动行程 20纳米细调分辨率MAX315采用开环压电驱动器（该驱动器直接集成在平台主体内），提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。兼容的控制器有MDT693A，BPC203，MPZ601，和TPZ001。此外，当平台与NanoTrack控制器（BNT001，MNA601，或TNA001）结合使用时，系统变为一个功能强大的自动对准装置，既能保正光通量，又能消除热漂移和其它外在压力引起的耦合效率的降低。带螺纹孔的顶板Zoom这种顶板可替代标准的带槽顶板。它有许多13个1/4英寸-20（M6）和12个8-32（M4）的安装孔阵列，能将通用的配件和组件转接到平台上。带步进电机的三轴NanoMax平台 Related Products 特性每轴的行程为4毫米挠性设计，确保无摩擦的平滑连续运动紧凑型设计增强的长期稳定性所有调节器都连接到一个共同的底面和侧面内附压电和反馈电缆NanoMax平行挠性平台拥有专利的MAX300系列平行挠性设计的优势是显而易见的，特别是在要求亚微米或更高分辨率的对准应用中。通常，在多轴层叠式平台中，接触两个驱动器中任何一个不以底座为参考的驱动器都会在装置内产生不必要的运动。把每个NanalMax系列平台驱动器直接耦合到平台底座上，将会消除这些不利影响。Item #MAX300 SeriesTravel4.0 mmStepper Motor TypeDRV001Backlash7 µ mMax Acceleration4 mm/sec2Max Velocity2.5 mm/secMin Achievable Incremental Movement60 nmBidirectional Repeatability500 nmAbsolute On-Axis Accuracy1.0 µ mHome Location Accuracy± 1.5 µ m步进电机驱动器与MAX341和343平台一起出售的DRV001控制器具有60纳米的步长和高达4毫米/秒的速度，同时还提供500纳米的双向重复性。带陶瓷头高精度限位开关为电机复位提供了高重复性。这对依赖于高重复的零点定位的自动对准应用非常重要。闭环内置压电驱动器MAX341和MAX342采用直接嵌入在平台主体内部的压电驱动器，提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。MAX341还有三个应变计位移传感器，提供与压电元件的位移成正比的电压信号。这个信号用于补偿迟滞，蠕变，和所有压电元件固有的热漂移。如果用闭环控制器（如BPC203，MPZ601，或TPZ001和TSG001 组合）驱动，压电驱动器能用反馈模式控制，将定位精度从20纳米提高到5纳米。此外，还能通过闭环控制监测和补偿迟滞，蠕变和压电陶瓷相关的热漂移。把附加的压电扩展器和DRV001步进电机驱动器组成一个系列的模块设计，能增加压电陶瓷的移动量。此外，当平台与BNT001，MNA601或者TNA001NanoTrak控制器结合使用时，这个系统将成为一个强大的自动准直器，既能保证光通量，又能消除温度漂移或其它外在压力引起的耦合效率降低。配件的简易对准顶部平台的中心键槽能在保持配件对准的前提下实现快速的系统重新配置。多种配件可供选择，用于安装显微物镜，准直包，波导和光纤等。如果需要安装偏离中心的元件，可将带槽顶板替换为带有1/4英寸-20（M6）和#8-32（M4）阵列安装孔的RB13P1转接板（参见本页面上方的图）。另外，还提供多种转接板，用于将NanoMax系列平台安装到一系列Thorlabs旋转平台和大行程线性平台上。总之，这些特性使得MAX300挠性平台成为需要高稳定性和高重复性的对准应用的坚实工作平台。带移动平台的压电控制器 Related Products 该MDT630A是一个预配置的、压电型运动控制系统，配有驱动电子设备，用户界面软件，3轴挠性平台，精密手动调节器和连接到系统需要的所有缆线。该压电控制器是我们的流行MDT693A三通道压电驱动器，它具有以下特性： 高输出电压（3至150伏）高电流驱动能力（60 毫安）高精度，低噪声输出单个通道控制或主扫描控制图形用户界面软件 请注意，MDT693A可通过开关选择输入电压为115或230 V，并附带一根美制电源线。带差分测微头驱动的三轴滚动支座底板 Related Products 特性高负载能力：9.7磅（4.4千克）所有磨损面都采用硬化钢构造带凹槽的顶板确保配件的对准提供多种配件左手系或右手系的版本可供选择可升级到压电辅助的测微头Item #RB13DTravel X-Y-Z1/23 (13 mm)BearingsCross RollerMax Load9.7 lbs (4.4 kgs)Coarse Adjustment Range13 mm TravelCoarse Adjustment Pitch0.5 mmFine Adjustment Range300 µ m TravelFine Adjustment Pitch0.05 µ mX-Y-Z整体设计相比与其它的模块化设计，该产品提供了更紧凑的平台，使得该三轴移动平台能在13毫米的行程范围内满足许多定位应用的要求。相比于层叠式单轴平台构造的移动平台，整体钢构造设计可提高产品的使用寿命和热稳定性。兼容全系列的NanoMax&trade 和 MicroBlock&trade 挠性平台配件可移动的载物台在三个正交方向的行程均为13毫米，沟槽状的顶板使其能够与全系列的光学配件相连。该紧凑型平台的载物台高度与Thorlabs的载物台高度为62.5毫米的挠性移动平台匹配。使用这个标准的载物台高度，可以将行程更长的平台集成到基于Thorlabs通用的挠性底座平台，如 MicroBlock 和NanoMax 系列，建立的光学系统中。差分测微头用于RB13D的TDRV304差分测微头利用独特的机制，将外部旋钮相对较大的位移转换成中心细调主轴相对较小的位移。这种设计另外的好处就是具有一致的平滑感，且不受负载的影响。提供有两个大的旋钮，一个用于粗调，另一个用于差分调节，因此增加该单元的整体灵敏度。粗调旋钮提供13毫米的总位移、1微米的分辨率，而微分旋钮提供300微米的总位移、50纳米的分辨率。可更换的顶板可用上面提到的RB13P1转接板替换RB13平台的顶板。这种可供选择的安装板有大量的1/4英寸－20（M6 x 1.0）和#8-32（M4 x 0.7）的安装孔，使得RollerBlock平台可用于通用的面包板类应用中。定制配置对于需要精确控制的应用，可用压电辅助差分测微头(DRV517)取代手动驱动器。除了上文所述的标准测微头调节器，这种驱动可提供30微米的行程，分辨率为10纳米。我们也提供左手系配置，或者不带驱动器的版本，用户可以自己安装第三方的驱动器。带差分测微头驱动的三轴滚动支座底板Zoom结合了钢质和铝质构造的RollerBlock&trade 移动平台是一系列光电子应用的理想选择。交叉滚珠轴承设计提供了9.7磅（4.4千克）的垂直负载，同时仍能保持由高精度驱动器提供的亚微米级的分辨率。带螺纹孔的顶板Zoom这种顶板可替代标准的带槽顶板。它有许多13个1/4英寸-20（M6）和12个8-32（M4）的安装孔阵列，能将通用的配件和组件转接到平台上。带测微头驱动的RollerBlock三轴移动平台 Related Products 特征高负载能力所有磨损面都采用硬化钢构造提供多种配件左手系或者右手系可供选择可升级成压电驱动的测微头Item #RB13MTravel1/2&Prime (13 mm)BearingsCross RollerMax. Load9.7 lbs (4.4 kgs)Standard Micrometer13 mm travel (10 µ m Graduations)带有手动测微头的RollerBlock&trade XYZ移动平台结合钢和铝构造的RollerBlock&trade 移动平台广泛适用于光电系统，交叉的滚动轴承设计使得其垂直负载能力达9.7磅（4.4千克），高精度的驱动器使精度达到亚微米级。小心地放置RollerBlock&trade 中的交叉滚动轴承，保证轴承表面不受污染。与使用表面外露轴承的底座相比，这大大提高了产品的使用寿命。 xyz整体设计相比与其它的模块化设计，该产品提供了更紧凑的平台，在整个13毫米的行程范围内，能够实现较好的定位特性。相比于层叠式单轴平台构造的移动平台，整体钢构造设计可提高产品的使用寿命和热稳定性。兼容全系列的NanoMax&trade 和 MicroBlock&trade 挠性平台配件可移动的载物台在三个正交方向的行程均为13毫米，沟槽状的顶板使其能够与全系列的光学配件相连。该紧凑型平台的载物台高度与Thorlabs的载物台高度为62.5毫米的挠性移动平台匹配。使用这个标准的载物台高度，可以将行程更长的平台集成到基于Thorlabs通用的挠性底座平台，如 MicroBlock 和NanoMax 系列，建立的光学系统中。可更换的顶板可用上面提到的RB13P1转接板替换RB13平台的顶板。这种可供选择的安装板有大量的1/4英寸－20（M6 x 1.0）和#8-32（M4 x 0.7）的安装孔，使得RollerBlock平台可用于通用的面包板类型的应用中。定制Thorlabs提供左手系构造的平台，或者不带驱动器的版本。光纤发射系统：基本解决方案 Related Products Zoom 特性125至400微米裸光纤的理想选择压力可变的压臂4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT612具有高分辨率的差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。它可最大程度地将自由空间激光的耦合优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径仅为3微米的可见光。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤发射系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。Zoom特性125至400微米裸光纤的理想选择压力可变的压臂4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT612发射系统具有高分辨率的差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。它可最大程度地将自由空间激光的耦合优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径仅为3微米的可见光。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤发射系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。Zoom 特性带有快速释放压块的顶部装载光纤旋转器360° 旋转，精度为2° 4毫米行程调节范围包括300微米的细调，分辨率为50纳米（理论值）适合任意RMS螺纹物镜不含物镜MBT621发射系统具有我们的高分辨率驱动器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。旋转式光纤架可提供平稳的转动，其摆动可以忽略。当使用保偏光纤时，该系统提供一种简单的方法优化通过PM光纤耦合的信号的消光比。提供的额外附件可大大增强该平台多用途的灵活性。光纤发射系统：专业解决方案 Related Products 特性挠性设计确保平滑，无摩擦地连续移动紧凑型设计：包括驱动器157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米（6.2英寸x 6.31英寸 x 2.46英寸）增强的长期稳定性调节器皆固定在底座，消除了串扰NanoMax平行挠性平台3轴NanoMax挠性平台是光纤耦合应用的理想选择。该完整的光纤输入系统可满足很多最普遍的实验室应用的需求。下文详细介绍了每种输入系统。有关这些套件所包含的平台的更多具体细节请查看NanoMax三轴挠性平台的介绍。 配件易对准 顶部平台的中心键槽可快速重新配置系统而保持配件对准。提供各种各样的附件，可安装显微镜物镜、准直设备、波导、光纤以及其他设备。此外，多重转接板可将NanoMax系列平台安装到各种其他的Thorlabs旋转和长行程线性平台上。MAX300挠性平台的这些特点使其成为要求高稳定性和重复性的对准应用的可靠平台。用于裸光纤的单模光纤发射系统Zoom特性适合裸光纤，透镜光纤，带涂覆层光纤独特的，可变的，六角形安装架，适合Ø 125微米至Ø 2毫米的光纤压力可变的夹钳臂平移调节范围是4毫米包括300 微米精调，分辨率为50纳米适合任意RMS螺纹物镜 Included with the MAX350DMAX313D3轴挠性平台，带固定差动驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFF001可变V形槽光纤夹具HFS001应力释放缆线裸单模光纤的MAX351光纤输入系统具有高分辨微分调节器，适合将自由空间激光优化为单模光纤，即使是光纤的模场直径只有3 µ m的可见光。可快速释放的光纤固定器有6个安装面，每个面可接合一个不同尺寸的光纤。增加光缆应变消除有助于防止系统意外损伤，该特点可节省大量时间。该预先安装好的系统是一个理想的输入装置，可快速适合许多应用。X，Y和Z轴之间耦合，使调节过程中的稳定性最大当对准应用要求亚微米的分辨率，或者更好分辨率时，我们具有专利的MAX300系列平行挠性移动设计的优点就非常明显。对于多轴堆叠式平台，触动2个驱动中不是参考&ldquo 地面&rdquo 的任一个都将导致装置的不必要的移动。NanoMax&trade 系列平台的任一个驱动直径参照平台底座，即可消除该负面影响。固定的微分驱动提供4毫米粗调和300微米的细调（每次转动的分辨率为50纳米）。粗移和精移轨道上刻有标度，是要求绝对位移应用的清晰的参考点。 FC连接跳线到Grin透镜的单模光纤发射系统Zoom特性用于FC连接的单模光纤跳线适合直径为1毫米至3毫米的Grin透镜3轴平移的调节范围为4毫米包括300微米细调，分辨率为50纳米 MAX355D附带组件MAX313D3轴挠性平台，带差分驱动AMA009固定角度支架HGI003GRIN透镜固定架HFB004FC连接光纤固定架HFS001应力释放缆线该系统由我们的MAX313D三轴挠性平台配合FC适配器和Grin透镜架组成。对于光纤输入系统，使用嵌套式挠性板替代传统的线性轴承具有很多优点。首先，挠性机制可得到近乎完美的平滑连续移动。其次，该平台结构不需要润滑油。传统轴承的较小瑕疵，或者润滑油里的污染物都能产生局部粗糙的斑点，导致斑点处的移动分辨率显著降低。无需润滑剂也可最大程度减小平台蠕动。带快速释放光纤旋转器的保偏光纤发射系统Zoom特性4毫米行程高分辨率差分调节器高精密光纤旋转器，360° 的离心率为10微米（中心偏移量）适合任意带RMS螺纹的物镜 MAX361D附带组件MAX3133轴挠性平台，带有差分驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFR007快速释放光纤旋转器MAX361D光纤发射系统是为保偏裸光纤设计的，由最高性能的挠性平台和3个高分辨率双平台测微头构成。这样的组合能真正达到亚微米定位控制所要求的高分辨率和高稳定性。该系统的HFR007光纤旋转器刻有分度为5° 的刻度。此外，快速释放光纤压块可快速便捷地顶部装载光纤。HFR007增加了优化PM光纤消光比所需的旋转自由度。使用我们最新一代的3轴移动平台，新的MAX361保偏光纤输入系统相对线性轴承的设计，以及其他不太先进的3轴挠性平台具有大量改进。该底座式移动台使用我们具有专利的高稳定挠性设计，具有独特的特点，即3个调节器都坚固地连接到平台主结构的固定部件上。同类产品或者由3个层叠式的独立平台构成，或至少设计成三个驱动器中的两个随平台的可移动部件平移的单个集成系统。当驱动器被操作者的手接触时，这种3个驱动器中有2个&ldquo 浮动&rdquo 的设计会引起有害的移动（以串扰的形式）。这种机械系统噪声使其不能达到真正的纳米定位。自动对准单模裸纤发射系统Zoom特性裸纤，带透镜光纤或套管光纤的理想选择独特可变六角形安装架适合Ø 125微米至Ø 2毫米的光纤压力可变的压臂4毫米平移调节范围包括300 微米细调，分辨率为50纳米适合任意RMS螺纹物镜 MAX373D包含的组件MAX311D带差动驱动的3轴挠性平台，和带反馈的内部压电驱动AMA009固定角度支架HCS010RMS显微物镜安装座HFF001可变V形槽光纤夹具HFS001应力释放缆线MAX373D光纤发射系统具有高分辨率差分调节器，是将自由空间激光优化耦合入单模光纤的理想选择，即使是在可见波长光纤模场直径仅为3微米时。可快速释放的光纤安装架有六个安装面，每个面可安放一根不同尺寸的光纤。光缆应力消除的加入可防止系统的意外损坏，该特性可节省大量时间。该预设置好的光纤输入系统是理想的入门套件，可快速适应许多应用。采用内部闭环压电驱动器进行自动对准MAX373D利用3个应变位移传感器产生电压信号，该电压与压电元件的位移成线性关系。利用该电压信号，可弥补压电元件固有的磁滞，蠕变或热漂移效应。此外，位移传感器与我们的NanoTrak&trade 自动对准系统一起使用，可精确地优化光学系统的耦合效率。一旦对准，在随后的操作过程中，位移传感器可用来稳定系统的位置。参考上面的NanoTrak标签可知NanoTrak应用背后的理论。光纤对准套件我们供应平台和NanoTrak控制器，及其所有缆线。MAX373DK1和MAX373D1/M都是完全自动对准套件，并带有用于红外波长的铟镓砷（InGaAs）探测器。 硅探测器是单独用于可见光波长。对于不需要自动对准的应用，平台的压电驱动器可由我们的BPC20X系列台式压电控制器控制。

基于压电粘滑驱动的长行程滑动平台，搭配阿米精控自研的摩擦表面改性技术、独特的超高频多冲程驱动技术和整-亚步协同伺服技术，可实现百毫米运动范围的纳米级定位，承载能力强，无驱动噪声，适用于超分辨光学成像、大幅面微纳加工、半导体制造等领域。支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。 技术特点：超长运动行程：百mm大行程范围高分辨率：传感器分辨率为1.22nm超高精度：闭环重复定位精度小于5nm运动速度：可达10mm/s高稳定性：保持力可达25N高可靠性及模块化设计，摩擦单元可替换超高真空兼容性（低至1x10 -8 Pa）支持开环和闭环运动模式应用领域：超分辨光学成像微纳加工高精度架调节微纳装备及制造集成电路制造与检测高真空样品精度对准及调姿纳米聚焦与扫描显微及纳米CT规格参数： 型号 NH-X-100A NH-X-100B NH-X-200A NH-X-200B NH-XY（定制） 运动轴 X轴 X轴 X轴 X轴 X轴、Y轴 传感器类型 光栅编码器 光栅编码器 光栅编码器 光栅编码器 光栅编码器 行程(mm) 100 100 200 200 200 保持力（N） 88888 最大承载力（N） 20 20 20 20 20 尺寸（mm）180x90x40 180x90x40310x90x40310x90x40310x310x40 重量 ( g) 1600 1600 2289 2289 速度（mm/s） 10 10 10 10 10 分辨率（nm） 1.22 12.51.2212.512 闭环重复定位精度（nm） 55055050 材料 铝合金/钛合金 真空度 (Pa) 超真空兼容（5X10-9 ）纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台