托盘天平

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“盖板托盘组件及半导体设备的工艺腔室”的专利，授权公告号为CN111863702B，授权公告日为2024年7月23日，申请日为2020年7月30日。背景技术图形化衬底技术(Patterned Sapphire Substrates，PSS)是目前普遍采用的一种提高氮化镓(GaN)基LED器件出光效率的方法，也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用电感耦合等离子体Inductively CoupledPlasma，ICP)刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，再在其上生长GaN材料，使GaN材料的纵向外延变为横向外延。该方法可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小了有源区的非辐射复合，减小了反向漏电流，提高了LED的寿命。有源区发出的光，经由GaN和蓝宝石衬底界面多次散射，改变了全反射光的出射角，从而提高了光的提取效率。现有技术中，通常采用包括托盘主体和盖板的盖板托盘组件进行PSS工艺，其中，托盘主体具有放置晶片的晶片槽，盖板底部具有压爪，压爪用于固定晶片，防止晶片由于背氦的吹里作用而发生移动。而对于圆锥形的PSS工艺，其参数指标通常要求高度为1.75～1.85um(微米)，底宽为2.7～2.85um，边缘0.5以内不黏连。但是，采用现有的托盘及PPS工艺，得到的图形在晶片压爪区域经常发生底部黏连的现象，导致底宽(底宽＝3.0um)过大，靠近压爪边缘图形对称性很差(两边分别距中线的距离相差约800nm，两段距离差越大对称性越差)，出现外延雾化现象等，从而造成了较大的边缘形貌问题。鉴于此，亟需一种新的盖板托盘组件以改善上述PSS工艺后出现的晶片边缘形貌问题。发明内容本发明提供一种盖板托盘组件及半导体设备的工艺腔室，包括：托盘主体、盖板及中间介质，其中：托盘主体用于承载晶片；盖板设置于托盘主体上，在盖板上设置有压合部，压合部与晶片的边缘接触；中间介质设置于托盘主体与盖板之间，且中间介质的上表面和下表面分别与盖板和托盘主体接触，用于使托盘主体与盖板之间形成一空间，以能够降低压合部与晶片之间的电势差。应用本申请，可以降低压合部上表面与晶片上表面的鞘层电势差，从而降低压合部和晶片的连接处形成的电场偏转程度，避免造成现有技术中晶片压爪区域发生底部黏连，导致底宽过大、靠近压爪边缘图形对称性差等，继而有效改善了PPS工艺过程中的边缘形貌问题。

大家好，元气满满的小梅带着满满干货来啦，期待在这个夏天，我们能一起学习一起进步！在过往的五期实验室天平专栏中，我们介绍了美国药典（USP）的相关内容，分别是“最小称量值”、“重复性要求”、“准确性要求”、“安全因子”、“性能验证”，如果您有兴趣，可以从文末链接直接传送至往期内容。至此，对于美国药典（USP）的学习也将告一段落。接下来，我们会为大家带来有关于称量的干扰因素以及相关解决方案的专题内容，帮助大家以正确的方式使用天平，确保称量的准确性。本期专栏，小梅将先向为您介绍称量影响因素 – 气流干扰，以及如何有效避免称量过程中受到气流干扰。SmartPan™ 系列天平气流对于称量的影响称量是实验室内最常进行的操作之一，称量结果的不确定性不仅取决于测量仪器的技术规格，而且取决于诸多环境影响，例如温度变化和气流扰动等。环境条件对精确称量有重要的影响，其中气流干扰是环境影响因素中十分重要的一部分。那么究竟哪些因素可能会产生气流，给称量带来干扰呢？生物安全柜/通风橱/负压称量台打开的窗户空调或风扇所导致的气流扰动开关门时所造成的气流人的走动… … 上述列举了气流可能产生的常见因素，当然还有其他许多因素也可能造成气流从而影响称量，在此就不一一展开了。气流不仅会影响天平稳定时间，还会影响天平的可重复性，降低工作效率，尤其对于无防风罩的精密天平的干扰十分严重。解决方案注意天平摆放位置，远离窗边空调/风扇的出风口不能对着天平有条件的可以使用移门，可以减少开关门时产生的气流使用带有Smart Pan™ 的天平SmartPan™ 网格秤盘SmartPan™ 作为专门设计的秤盘可最大限度地减少气流。气流作为对秤盘施加的力，会影响称量结果。利用秤盘的智能化几何设计，最大限度地减小该扰动产生的影响，从而提高性能。而下部的承水盘带有防风圈，提供额外机械保护，以免气流影响秤盘。在不同的环境条件下进行实验，表明对称量性能有积极影响。实验流程实验对 (a) 配有标准秤盘的天平和 (b) 配有 SmartPan™ 易巧秤盘的相同天平进行重复称量。对于每一次实验，三个重复值均经过 20 次称量所得，根据记录的结果取其平均值。测试会在不同的环境条件下进行：标准条件 — 在开放的实验室工作台上；恶劣条件 — 在空调装置下或安全柜内；天平选用了 1mg的精密天平 。在这些实验中使用的天平设置包括：• 称量模式：通用• 环境：标准• 称量值发布：快速可靠实验表明，在恶劣的称量条件下（如在安全柜内），采用配有 SmartPan™ 易巧秤盘的精度为 1mg（3位）的天平时，称量结果的速度和精度得到了更大的改进：• 采用 SmartPan™ 易巧秤盘时称量速度加快了 2 倍以上。• 采用 SmartPan™ 易巧秤盘时称量结果的精度提高了 7 倍以上。在开放的实验室工作台上（标准条件）进行称量比较时，配有 SmartPan™ 易巧秤盘的 3 位天平在没有防风罩的情况下仍然比配有防风罩的标准秤盘的相同天平更加快速和准确：• 即使没有防风罩，采用 SmartPan™ 称量时速度仍加快将近 1.5 倍。• 即使没有防风罩，采用 SmartPan™ 易巧秤盘称量的精度提高了 2 倍以上。通过上述实验，我们可以发现使用新型秤盘SmartPan™ 后对平均稳定时间和可重复性的影响十分显著，在恶劣条件下对于称量效率及可重复性的提高尤为明显。这证明，在恶劣的实验条件下，在可读精度为 1mg 的天平上称量时，SmartPan™ 提供比标准秤盘更加快速、精确的称量性能。在开放的实验室工作台上称量时无需防风罩甚至可以在开放的实验室工作台上成功使用 3 位天平，而无需使用防风罩！好了，本期对于在称量中如何有效避免气流扰动的分享就到这里结束了。希望我们的专栏能帮助您了解更多的天平及称量相关的知识与法规。在下期的内容中，小梅会继续为大家带来干货分享，我们不见不散！如果您对于天平的使用有任何疑问，请点击“阅读原文”，留下您的联系方式，我们会邀请梅特勒托利多称量领域的专家为您一一解答，更有机会获得神秘礼品，期待您的反馈哦！更多专题1实验室天平专栏 | 美国药典通则41和1251 – 性能验证　2实验室天平专栏 | 美国药典通则41和1251 – 安全因子3实验室天平专栏 | 美国药典通则41和1251 – 最小称量值4实验室天平专栏 | 美国药典通则41和1251 – 重复性

手工记录，不仅麻烦且容易出错。随着智能与自动化发展，越来越多的用户对天平有数据传输的需求。梅特勒托利多新一代全新和标准天平注重数据传输方案的解决，可帮助用户应对多样的数据传输需求。需求1：将天平的称量数据传输到电脑上的EXCEL里解决方案：Drop to cursor方案优势：无需任何软件，只需要一根数据线即可实现天平到电脑EXCEL数据的传输，并且支持传输时间、日期、样品ID号、单位等信息。需求2：将天平的称量数据导出到U盘里解决方案：U盘导出方案优势：可一键将称量数据导出到U盘，支持时间、日期、ID、结果状态等一系列信息，并且配有导出成功提醒，方便得知导出状态。需求3：同时传输几台天平的数据到系统里，最好还能对每台天平的称量数据进行图表分析解决方案：EasyDirect Balances方案优势：可同时管理几台天平的称量数据；可轻松查看结果并按日期、仪器、用户或样品进行筛选。将结果可视化为图表，以评估目标和允差范围，并进行统计以进行有效分析；支持XML、CSV、XLSX或PDF等格式每天、每小时甚至立即可以自动导出需要的数据；可提供调平、测试、校正和维修状态信息，为用户提供所有连接仪表的简单操作概览。需求4：将天平的称量数据传输到内部数据管理系统解决方案：MT-SICS方案优势：天平可以直接将称量数据传输到客户的数据管理系统，方便称量数据的采集和分析。下图为：某光伏客户太阳能电池偏在进行丝网印刷时，需要将电池片的银浆印刷量传输到客户的数据管理中。天平客户的系统操作界面客户的数据管理系统需求5：在一台天平上，配套外界设备（如：打印机等）并同时实现上述多种传输方式解决方案：多通道传输方案优势：可实现同时传输数据至不同设备，为数据管理和天平使用提供了更多的灵活性，基于此方案的典型应用，如：打印数据的同时，保存打印格式数据至U盘（软/硬备份一键完成）；将数据同时传至企业内部管理系统和MT其他分析仪器等。梅特勒托利多新一代高级和标准天平提供丰富的接口，比如RS232，USB-A，USB-C以及LAN接口，满足客户多样性的有线和无线数据传输需求。