仪器简介:随着纳米技术、MEMS技术、半导体工业的飞速发展,对纳米级精度的移动定位装置、操纵装置、加工装置等的需求也在快速增长。为了满足这一市场需要,我们推出了一系列纳米定位、微操纵装置。纳米精度定位装置该系列产品设计极为紧凑,可以使样品或探针作直线或旋转移动。而且很多型号可以工作在极端环境条件下,例如极低温、超高真空、强磁场等。这些设备可以提供多种不同尺寸和材料,开辟了一个全新的定位设备的市场,在很多领域开拓了全新的研究方向。●适应各种极端工作环境:低温、超高真空、强磁场●提供多种运动自由度:XYZ直线、旋转、XY扫描、Z扫描、Θ、Φ等等,并且可以任意组合●定位精度高达纳米级● 很高的稳定性,无机械漂移、无回差、无需高压●负载大,可达自重的数倍●部分型号具有两种工作模式,单独一个设备既可以实现粗定位,也可以用于扫描●部分型号可选配多种位置读出设备,实现闭环控制●可根据客户要求定制各种特殊定位装置纳米级操纵装置,适用于SEM, TEM, FIB系统纳米马达拥有原子量级分辨率,运动行程达厘米级,横跨8个数量级,可提升6倍于自身重量的物体,并适应多种工作环境,包括超高真空、磁场、甚至液氮。纳米定位平台●最大承重量为2kg●行程:5~70mm●运动速度: 2 mm/s●运动分辨率:2nm ●定位传感器分辨率:10nm机械手包括微操作机械手、力反馈机械手、XYZ机械手等,可对夹持力进行精确控制,具有分辨率高,行程大,设计灵活等特点。
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