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手动角位移台

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手动角位移台相关的资讯

  • 极低温mK级纳米精度位移台助力量子通讯网络现实化
    光纤通信因其具有高带宽、低损耗、重量轻、体积小、成本低、抗电磁干扰等优点,已成为现代信息社会的支柱。同时,传统的微波无线技术也展现出了有效的泛在感知与接入能力。而将上述两种技术进行有机融合,则诞生了微波光子学。微波光子学为电子传感和通信系统提供了上述优势,但与非线性光学领域不同的是,到目前为止,电光器件需要经典调制场,其变化由电子或热噪声而不是量子涨落控制。从理论到实际的量子通讯不仅需要用于量子纠缠的组件,而且还需要一个低损耗和鲁棒性很好的网络来做进一步的数据分发和传输。超导处理器与光通信网络的接口问题是量子领域的一个开放性问题,也是目前面临的大挑战。近期,奥地利科学技术研究所(位于奥地利克洛斯特纽堡)的约翰内斯芬克小组提出了一个可能的解决办法。他们通过使用纳米机械传感器将双向和芯片可伸缩转换器的超导电路集成到大规模光纤网络中开辟了一条道路(如图一所示)。文章中介绍了一种可在毫开尔文环境下工作的腔电光收发器,其模式占用率低至0.025± 0.005噪声光子。其系统是基于铌酸锂回音壁模式谐振器,通过克尔效应与超导微波腔共振耦合。对于1.48 mw的大连续波泵浦功率,演示了X波段微波到C波段电信光的双向单边带转换,总(内部)效率为0.03%(0.7%),附加输出转换噪声为5.5光子(如图二所示)。10.7兆赫的高带宽与观测到的1.1兆赫噪声光子的非常慢的加热速率相结合使量子有限脉冲微波光学转换触手可及。该装置具有通用性和与超导量子比特兼容的特点,为实现微波场与光场之间的快速、确定的纠缠分布、超导量子比特的光介导远程纠缠以及新的多路低温电路控制和读出策略开辟了道路。图一:实验装置示意图图二:转换噪声与模式布居结果在10mK温度下,实现转换的关键是:光纤与微波芯片的对准和稳定连接需要一套用于x、y和z精密移动的位移台。实验中使用了attocube公司的 ANPx101/RES/LT-linear x-nanopositioner,ANPz101/RES/LT-linear z-nanopositioner,ANPx101/ULT/RES+/HV-Linear x-Nanopositioner和ANPz102/ULT/RES+/HV-linear z-nanopositioner系列mk环境兼容的位移台。attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商,已为全科学家生产了4000多套位移系统,用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑,体积小,种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图三 attocube低温强磁场位移器,扫描器,及3DR旋转台低温mK纳米精度位移台技术特点如下: 参考文献:[1] Nature Communications 11, 4460 (2020) [2] PRX Quantum 1, 020315 (2020)
  • 莫尔超晶格重大突破发文Nature!低温强磁场纳米位移台扮演关键角色
    背景介绍 载流子之间的相互作用是凝聚态物理学的热门研究和重点关注对象。调控这种相互作用的能力将有望调控复杂的电子相图。近年来,二维莫尔超晶格已经成为量子领域非常具体潜力的一个研发平台。莫尔系统通过调整层扭转角、电场、莫尔载流子浓度和层间耦合,可以实现其物理参数的高度可调。进展概述 近期,Xiaodong XU(美国华盛顿大学)的研究小组报道了光激发可以高度调整莫尔捕获载流子之间的自旋-自旋相互作用,从而产生WS2/WSe2莫尔超晶格中的铁磁有序。该研究中,作者使用了德国attocube公司提供的ANPxyz101系列兼容低温强磁场纳米精度位移台,以确保在低温强磁场环境中精确控制样品位置。文章以《Light-inducedferromagnetism in moirsuperlattices》为题,发表于Nature期刊。 图1显示了丰富的填充因子依赖的磁光响应,在填充因子为&minus 1时,RMCD显示出超顺磁样响应。当空穴掺杂明显减少(见图1e)时,一个磁滞回线开始出现, 这是铁磁性的标志。在&minus 1/3的填充因子(即每3个莫尔晶胞中有一个空穴)附近,随着激子共振激发功率的增加,在磁圆二色性信号中出现了一个明显的磁滞回线。图1. WS2/WSe2异质结中的磁圆二色性随填充因子变化。a) 器件示意图 b) PFM图像,标尺:20 nm c) 反射谱随偏置电压变化 d-e) 磁圆二色(RMCD)随填充因子变化 图2a显示了在1.6K温度与填充因子为-1/3时RMCD信号与激光功率的关系。当功率小于16 nW时,RMCD信号与磁场之间的关系消失,表现为一条无特征的直线。当功率增加到临界阈值以上时,出现一个滞回线。图2b中零磁场下RMCD信号的强度随激光功率的增加而增大,最终达到饱和。在低填充因子下,由于空穴距离更大固有磁相互作用明显较弱。因此,在分数填充因子为&minus 1/3处出现的功率依赖的RMCD响应表明,通过光学诱导的长程自旋-自旋相互作用,出现了铁磁序。磁滞回线宽度对光激发功率的依赖关系可以忽略不计,这意味着在温度远低于居里温度时,磁滞回线宽度主要由磁各向异性决定。如图2c-d所示,随着温度的升高磁滞回线宽度减小,有效的居里温度被确定为8K左右。图2. 在填充因子为-1/3的时候对光致铁磁性的观察。a-b)1.6K温度,不同激光功率下RMCD信号随磁场变化。c-d)磁滞回线宽度与温度的关系,激光功率103 nW 课题组进一步在填充因子为&minus 1/7下进行了温度与激光功率依赖性的RMCD测量(图3)。图3a显示了在不同的激光功率下的测量结果。作者定义了一个临界温度Tc,超过这个温度,RMCD的磁性响应(心跳线形状)就会消失。以253 nW光激发为例,心跳线形状保持强至约40K。为了进一步突出这一效应,图3b中绘制了提取的RMCD信号振幅与激发功率和温度的变化关系。这些数据表明,一旦光激发功率足够大,可以引入磁序,Tc可以从20K左右的调谐到45K。观察到的现象指出了一种机制,其中光激发激子促成了莫尔捕获空穴之间的交换耦合。这种激子促成的相互作用可能比莫尔捕获空穴之间的直接耦合范围更长程,因此即使在稀空穴体系中也会出现磁序。这一发现为莫尔量子物质的丰富的多体哈密顿量增加了一个动态调谐方案。图3. 利用光激发功率和填充因子调节磁态。a-d) RMCD信号强度与磁场、温度、填充因子的关系图 图a-b中填充因子为-1/7 值得指出的是,整个实验都是在低温及强磁场中进行的。这其中关键的设备就是德国attocube公司提供的ANPxyz101系列兼容低温强磁场纳米精度位移台,该位移台能够在极低温环境下提供纳米级的精确位移,成为整个变温及磁场调控过程中精确控制样品位置的关键设备。 attocube公司生产的位移器设计紧凑,体积小巧,种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器,并以稳定而优异的性能,原子级定位精度,纳米位移步长和厘米级位移范围受到科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和极端环境中,包括超高真空环境(5E-11mbar)、极低温环境(10 mK)和强磁场中(31 T)。图4 attocube低温强磁场位移器,扫描器attocube低温位移台技术特点如下:参考文献:[1]. Xiaodong XU, et al. Light-induced ferromagnetism in moiré superlattices. Nature 604, 468–473 (2022)
  • Nature、Science! mK极低温纳米精度位移台在二维材料、石墨烯等领域的前沿应用进展
    nature:二维磁性材料的磁结构与相关特性研究关键词:二维铁磁材料;低温纳米精度位移台;反铁磁态;二次谐波 近年来,二维磁性材料在国际上成为备受关注的研究热点。近日,中国与美国的研究团队合作,在二维磁性材料双层三碘化铬中观测到源于层间反铁磁结构的非互易二次谐波非线性光学响应,并揭示了三碘化铬中层间反铁磁耦合与范德瓦尔斯堆叠结构的关联。同时,研究团队发现双层反铁磁三碘化铬的二次谐波信号相比于过去已知的磁致二次谐波信号(例如氧化铬Cr2O3),在响应系数上有三个以上数量的提升,比常规铁磁界面产生的二次谐波更是高出十个数量。利用这一强烈的二次谐波信号,团队成功揭示双层三碘化铬的原胞层堆叠结构的对称性。图一 双层三碘化铬的二次谐波光学显微图 运用光学二次谐波这一方法来探测二维磁性材料的磁结构与相关特性是此实验的关键。团队利用自主研发搭建的无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统,完成了关键数据的探测。值得指出的是,该无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统采用德国attocube公司的低温强磁场纳米精度位移台和低温扫描台来实现样品的位移和扫描。德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已为全科学家生产了4000多套位移系统,用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑,体积小,种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图二 attocube低温强磁场位移器、扫描器attocube低温位移台技术特点如下:参考文献:Sun, Z., Yi, Y., Song, T. et al. Giant nonreciprocal second-harmonic generation from antiferromagnetic bilayer CrI3. Nature 572, 497–501 (2019). nature:石墨烯摩尔超晶格可调超导特性研究关键词:石墨烯 超晶格 高温超导高温超导性机制是凝聚态物理领域世纪性的课题。这种超导性被认为会在以Hubbard模型描述的掺杂莫特缘体中出现。近期,美国和中国的国际科研团队合作在nature上报道了在ABC-三层石墨烯(TLG)以及六方氮化硼(hBN)摩尔超晶格中发现可调超导性特征。研究人员通过施加垂直位移场,发现ABC-TLG/hBN超晶格在20K的温度下表现出莫特缘态。进一步通过冷却操作发现,在温度低于1K时,该异质结的超导特特性开始出现。通过进一步调控垂直位移场,研究人员还成功实现了超导体-莫特缘体-金属相的转变。 图1.德国attocube公司低温mK纳米旋转台电学输运工作的测量是在进行仔细的信号筛选后,本底温度为40mK的稀释制冷机内进行的。值得指出的是,样品的面内测量需要保证样品方向与磁场方向平行,这必须要求能够在低温(40mK)环境下实现良好且工作的旋转台来移动样品,确保样品与磁场方向平行。实验中使用了德国attocube公司的mK纳米精度旋转台(如图1所示)。Attocube公司可提供水平和竖直方向的旋转台,使样品与单轴线管的超导磁场方向的夹角调整为任意角度。通过电学输运结果,证实了样品中存在超导体-莫特缘体-金属相的转变(结果如图2所示),为三层石墨烯/氮化硼的超晶格超导理论模型(Habbard model)以及与之相关的反常超导性质和新奇电子态的研究提供了模型系统。 图2. ABC-TLG/hBN的超导性图左低温双轴旋转台;图右下:石墨烯/氮化硼异质节的超导性测量测试结果,样品通过attocube的mK适用旋转台旋转后方向与磁场方向平行参考文献:Guorui CHEN et al, Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice, Nature, 572, 215-219 (2019) nature:分数量子霍尔效应区的非线性光学研究关键词:量子霍尔效应 四波混频 化激元设计光学光子之间的强相互作用是量子科学的一项重要挑战。来自瑞士苏黎世联邦理工学院(Institute of Quantum Electronics, ETH Zürich, Zürich,)的研究团队在光学腔中嵌入一个二维电子系统的时间分辨四波混频实验,证明当电子初始处于分数量子霍尔态时,化激元间的相互作用会显著增强。此外,激子-电子相互作用导致化子-化激元的生成,还对增强系统非线性光学响应发挥重要作用。该研究有助于促进强相互作用光子系统的实现。值得指出的是,该实验在温度低于100mK的环境下进行,使用德国attocube公司的低温mK环境纳米精度位移台来实现物镜的移动和聚焦。参考文献:Knüppel, P., Ravets, S., Kroner, M. et al. Nonlinear optics in the fractional quantum Hall regime. Nature 572, 91–94 (2019). Science:NV center在加压凝聚态系统中的量子传感研究关键词:NV色心 量子传感器压力引起的影响包括平面内部性质变化与量子力学相转变。由于高压仪器内产生巨大的压力梯度,例如金刚石腔,常用的光谱测量技术受到限制。为了解决这一难题,巴黎十一大学,香港中文大学和加州伯克利大学的研究团队研发了一款新型纳米尺度传感器。研究者把量子自旋缺陷集成到金刚石压腔中来探测端压力和温度下的微小信号,这样空间分辨率不会受到衍射限限制。为此加州伯克利大学团队采用了德国attocube公司的与光学平台高度集成的闭循环低温恒温器- attoDRY800来进行试验,其中包含了attocube公司的低温纳米精度位移台,以此来实现快速并且控制金刚石压强的移动以及测量实验。参考文献:[1] S. Hsieh et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1349-1354 (2019) [2] M. Lesik, et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1359-1362 (2019)[3] K. Yau Yip et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1355-1359 (2019)
  • 30mK极低温近场扫描微波显微镜研发核心:attocube极低温纳米位移台
    关键词:低温位移台;近场扫描微波显微镜; 稀释制冷机 背景介绍扫描隧道显微镜(STM)[1]和原子力显微镜(AFM)[2]等基于扫描探针显微术(SPM)的出现使得科学家能够在纳米分辨率下去研究更多材料的物理特性及图形。以这些技术为基础的纳米技术、材料和表面科学的迅速发展,大地推动了通用和无损纳米尺度分析工具的需求。尤其对于快速增长的量子器件技术领域,需要开发与这些器件本身在同一区域(即量子相干区域)中能够兼容的SPM技术。然而,迄今为止,能够与样品进行量子相干相互作用的纳米尺度表征的工具仍非常有限。特别是在微波频率下,光子能量比光波长小几个数量,加之缺乏单光子探测器和对mK端温度的严格要求,更是一个巨大的挑战。近年来,固态量子技术飞速发展迫切需要能够在此端条件下运行的SPM探测技术。技术核心近场扫描微波显微技术(NSMM)[3]结合了微波表征和STM或AFM的优势,通过使用宽带或共振探头来实现探测。在近场模式下,空间分辨率主要取决于SPM针尺寸,可以突破衍射限的限制,获得纳米别的高分辨率图像。NSMM的各种实现方式已被广泛应用于非接触式的探测半导体器件[4],材料中的缺陷[5]、生物样品的表面[6]及亚表面分析,以及高温超导性[7]的研究。但是在低温量子信息领域中的应用还鲜有报道。英国物理实验室NPL的塞巴斯蒂安德格拉夫(Sebastian de Graaf)小组与英国伦敦大学谢尔盖库巴特金(Sergey Kubatkin)教授小组合作开发了一种在30 mK下工作的新型低温近场扫描微波显微镜,同时,该显微镜还结合了高达6 GHz的微波表征和AFM技术,旨在满足量子技术领域的新兴需求。整个系统置于一台稀释制冷机中(如图1(b)所示),NSMM显微镜的示意图如图1(a)所示:在石英音叉上附着了一个平均光子占有率为~1的超导分形谐振器。一个可移动的共面波导被用来感应耦合到谐振器上进行微波的发射和信号的读出。整个系统的核心是德国attocube公司提供的兼容低温的铍铜材质的纳米精度位移台,该小组使用一组ANPx100和ANPz100纳米位移器将样品与针在x,y和z方向上对齐,同时使用一个小的ANPz51纳米位移器进行RF波导的纳米定位和耦合。图1.(a)NSMM显微镜的示意图。(b) 稀释制冷机中弹簧和弹簧悬挂的NSMM示意图。测量结果如图2所示,Sebastian教授演示了在单光子区域中以纳米分辨率进行扫描的结果。扫描的区域与在硅衬底上形成铝图案的样品相同。扫描显示三个金属正方形(2×2μm2)与两个较大的结构相邻,形成一个叉指电容器。叉指电容器的每个金手指有1 μm的宽度和间距,尽管在图2中,由于的形状,这些距离看起来不同。图2. 在30 mK下扫描具有相邻金属垫的交叉指电容器.(a)得到的AFM形貌图。(b) 单光子微波扫描(~1)显示了微波谐振腔的频移,微波扫描速度为0.67 μm/s.(c)高功率微波扫描结果(~270)。(d) 在调谐叉频率(30 kHz)下解调的PDH误差信号,与dfr/dz(~270)成正比。(e) 扫描获得的信噪比(SNR)作为平均光子数的函数。attocube低温位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造公司。拥有20多年的高精度低温纳米位移台的研发和生产经验。公司已经为各地科学家提供了5000多套位移系统,用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑,体积小,种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能、原子的定位精度、纳米位移步长和厘米位移范围深受科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中,包括超高环境(5E-11 mbar)、低温环境(10mK)和强磁场中(31 Tesla)。图3. attocube低温强磁场纳米精度位移器,扫描器,3DR主要参数及技术特点参考文献:[1]. Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, C. & Weibel, E. Surface studies by scanning tunneling microscopy. Phys. Rev. Lett. 49, 57 (1982).[2]. Binnig, G., Quate, C. F. & Gerber, C. Atomic force microscope. Phys. Rev. Lett. 56, 930 (1986).[3]. Bonnell, D. A. et al. Imaging physical phenomena with local probes: From electrons to photons. Rev. Mod. Phys. 84, 1343 (2012).[4]. Kundhikanjana, W., Lai, K., Kelly, M. A. & Shen, Z. X. Cryogenic microwave imaging of metalinsulator transition in doped silicon. Rev. Sci. Instrum. 82, 033705 (2011).[5]. Gregory, A. et al. Spatially resolved electrical characterization of graphene layers by an evanescent field microwave microscope. Physica E 56, 431 (2014).[6]. Gregory, A. et al. Spatially resolved electrical characterization of graphene layers by an evanescent field microwave microscope. Physica E 56, 431 (2014).[7]. Lann, A. F. et al. Magnetic-field-modulated microwave reectivity of high-Tc superconductors studied by near-field mm-wave. microscopy. Appl. Phys. Lett. 75, 1766 (1999). 更多文章信息请点击:https://doi.org/10.1038/s41598-019-48780-3
  • 超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器
    超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1,2,付海金 1,2,胡鹏程 1,2*,杨睿韬 1,2,邢旭 1,2,于亮 1,2,常笛 1,2,谭久彬 1,2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080; 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉仪,激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10,位移分辨力为 0. 077 nm,光学非线性误差最低为 13 pm,最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域,为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造;激光干涉;超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量(DMLI)技术是一种以激光 波长为标尺,通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点,DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪,已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例,其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪,来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求,目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米,并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级;而位移测量速度需求,则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言,影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求,以美国 Keysight 公司(原 Agilent 公司)和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构,长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破, 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而, 一方面,上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单,不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求;另一方面,上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求, 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉 仪,可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量,已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段,而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性,本课题组围绕这 3 个核心指标(特别是光学非线性)设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入,具备抗环境干扰能力强的优点,是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径,并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于,通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性,并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统,保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性[19- 20]。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组(图 11) 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″,与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上, 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠,优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年,本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构[2,21],具体结构如图 12 所示,测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源,建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法,改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组[2-3],并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K[22- 25]。同时,本课题组也采用多光纤高精度平行分光,突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光,致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题,保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 (图 17),其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 (k=3),位移分辨力为 0. 077 nm,最低光学非线性误差为 13 pm,最大测量速度为 5. 37 m/s(表 2)。并成功应用于上海微电子装备(集团)股份有限公司 (SMEE)、中国计量科学研究院(NIM)、德国联邦物理技术研究院(PTB)等十余家单位 ,在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。(a)20轴以上超精密高速激光干涉仪;(b)单轴亚纳米级激光干涉仪;(c)三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量, 不仅考验仪器的研制水平,更考验仪器的应用水 平,如复杂系统中的多轴同步测量,亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理,高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制:多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面,多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是,一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运;另一方面该类仪器技术复杂、难度极大,我国一直未能完整掌握,这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统,已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域,典型应用如图 18 所示,其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求,打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁,在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中,干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上,最大测量速度可达 5. 37 m/s,激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10(k=3),位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm,光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴(3~5 mK@ 10 min)和隔振环境,可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦,以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求,进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制:亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面,如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义,被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中,关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量,其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此,本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪,并成功应用于我国首套量子化质量基准装置(图 19),在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用,并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一[30- 32]。为达到亚纳米级测量精度,除了精密的隔振与温控环境以外,该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响, 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外,为了实现对被测对象的姿态监测,该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来,随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展,光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此,本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展,下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面: 1)围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中,其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升,将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度,对激光干涉仪的研发提出严峻挑战;极紫外光刻机采用真空工作环境,可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差,同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2)皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年, 国家自然科学基金委员会(NSFC)联合德国科学基 金会(DFG)共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”(2021 至 2023 年)。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院(PTB)合作完成,预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪,并进行国际范围内的直接 比对。3)空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后,各国纷纷开展了空间引力波探测计划,这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中,中国的空间引力波探测计划,将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上,实现皮米精度的超精密测量,本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下,将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究,特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作,预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础,建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队,并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持,建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台,开发了系列超精密激光干涉测量仪,在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用,推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展,并将通过进一步研发,为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见:超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf
  • 英铂携手MPI助力苏州普源精电搭建8寸手动&半自动高低温晶圆级变频参数测试系统
    2024英铂携手MPI助力苏州普源精电搭建8寸手动&半自动高低温晶圆级变频参数测试系统 产品从出厂检验到装机验收,每一步都严格遵守工作流程。为客户提供更好的服务,是英铂一直以来追求的目标。 RIGOL成立于1998年,为全球80多个国家和地区的客户提供先进的测试解决方案,帮助客户降低测试和测量成本,加速完成设计和项目,并快速部署新产品和技术。我们的工程师,为世界各地的工程师们提供测量支持,为他们的探索创造更多可能性。 英铂科学仪器是一家上海市高新技术&专精特新企业,在全国拥有10多个销售&售后点,在上海拥有全套Open Lab公开实验室。致力于半导体和微纳米领域电学测试完整解决方案。领域涵盖DC直流、RF射频、HP功率电子、光电、极低温磁场、ESD/TLP、PCB测试等等。为客户的研发、失效分析、可靠性、WAT、CP、Burn in等提供完整且具性价比的方案。 MPI公司是台湾上市企业,拥有5大部门,分别是量产探针卡、热流仪、高性能探针卡、光电探针台、先进半导体探针台。核心团队均是从业近30年的业内专家,研发位于德国、美国、新加坡和台湾。专业提供先进的探针台、相关耗材及定制产品。 01装机现场 ——向右滑动查看更多TS200手动探针台TS2000-SE半自动探针台 02装机产品介绍 TS200手动探针台 产品介绍TS200探针台应用于半导体晶圆级、器件类电学特性,具备单手可快速拖动样品台,快速位移到所需位置,并且有着独特Platen平台设计,测试重复性显著提高95%。产品优势1、气浮式样品移动系统MPI独特的气垫载物台设计,单手控制,为操作人员提供了很强的便利性,可实现快速XY导航和快速晶圆装载,同时又不影响精确的定位功能。2、高度调整针座平台具备25毫米的精细高度调节,以支持各种应用。独特的1mm刻度可精确的显示当前位置。3、多种卡盘选项手动系统可提供多种卡盘选项,以满足不同的预算和应用需求。卡盘选件包括MPI的同轴、三轴、高功率chuck或各种ERS高低温chuck,以支持高达300°C的温度测量。4、紧凑坚固的 Platen 平台紧凑而坚固的压盘设计可容纳多达10个DC或四个RF MicroPositioner,满足各种应用需求。5、多种光学系统选择提供多种光学器件,如单筒金相显微镜SZ10或MZ12之间进行选择。6、振动隔离平台手动系统包括减震基座,以实现稳定可靠的探针与待测器件的长期接触,从而确保可靠稳定的测量结果。7、屏蔽系统暗箱为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境。产品应用适用于多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。TS2000-SE半自动探针台 产品介绍 MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统,其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。特色功能 MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台发布新功能,侧面带有VCE,可完美解放您的双手,实现精准定位,完成自动扎针,使测试过程更加方便快捷。产品优势 1、ShielDEnvironmentMPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境2、自动化晶圆装载系统该功能提供了非常方便的晶圆装载,并且易于针对自动程序进行预对准,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆,针对高低温环境下可提高测试效率3、ERS独特的 AC3冷却技术MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment,可大幅减少30%至50%的空气消耗4、侧视影像系统(VCE)借助MPI8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触,使用DC或RF等探针卡非常安全产品应用 1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV2、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上3、失效分析 - 探针卡 / 节间探测4、可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试5、高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境,专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境7、支持飞安级低漏电值量测8、支持温度范围 -60 °C 至 300 °C 不忘初心筑梦前行
  • 压电位移台常用术语中英文对照表
    压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度:实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm,但它仅移动 99.99µm(通过理想标尺测量),则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙:齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件(例如齿轮齿)啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽:载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移:位置随时间的变化,包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力:摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接,Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后:前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案,它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差:实际位置与一阶蕞佳拟合线(直线)之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准,非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差:两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声:在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比,我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围(行程):纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the widerworking bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率:压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说,系统的谐振频率越高,系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器:Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络,以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声,并且其响应不依赖于污染物的存在,应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间:阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性,并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商,代理品牌均处于相关领域的发展前沿;产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等优质服务。相关技术文
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Illustration of two representative modes of deformation: the simple shear for which the direction of velocity gradient is perpendicular to that of velocity, and the uniaxial elongation for which the direction of velocity gradient is parallel to that of velocity. (Reprinted with permission from Ref.[14] Copyright (2012) Elsevier)将式(1)进行积分可以得到L(t)=L0exp(ε˙t),表明样品的长度正比于时间的幂律函数. 为了实现稳定的拉伸流场,实验中右侧面速度随时间呈指数增长,因此拉伸流场相较剪切流场更难以实现,这就是造成拉伸流变仪器较为稀缺的主要原因.有人要问,为什么需要测试2种典型流场,我们能从剪切实验的结果来推导其拉伸的行为吗?对于线性流变的行为,答案是肯定的. 即当体系位于平衡态附近,施加微弱的扰动时,拉伸黏度ηE,0与剪切黏度η0存在着简单的正比关系ηE,0=3η0=3∫0tG(t′)dt′,其中G(t)为线性剪切模量相对于时间的函数[16,17]. 该正比关系由Trouton在牛顿流体中发现,被称作Trouton比[18]. 然而,对于流场较强的非线性的流变测试,无法从剪切流变行为直接推导拉伸流变行为,或反之,从拉伸流变行为推导剪切流变行为,主要原因是,剪切与拉伸测试不同流场下的应力张量的不同分量:如在图1中可见,剪切测试中主要测量上板作用力Fs,其除以上板面积可得到剪切条件下应力张量σ的xy分量,而拉伸测试中主要测量右侧力FE,其除以右侧面面积主要得到拉伸条件下应力张量的xx分量.2. 剪切旋转流变仪概述本文重点介绍剪切流变测试中的仪器原理和测试技巧(笔者计划在后续文章介绍拉伸测试的原理和技巧). 目前商业的用于剪切测试的流变仪为旋转流变仪和毛细管流变仪. 本小节主要围绕旋转流变仪展开介绍. 旋转流变仪主要分为应力控制型和应变控制型2种. 应力控制型旋转流变仪一般使用组合式马达传感器(combined motor transducer,CMT),即驱动马达和应力传感器集成在一端,也被简称为“单头”设计;应变控制型的流变仪一般使用分离的马达和传感器(separate motor transducer,SMT),即驱动马达和应力传感器分别集成在上下两端,简称为“双头”设计,这2种设计的主要区别在于:“单头”设计更为简单,仪器容易保养和维护,但是夹具和仪器的惯量、马达内部的摩擦力容易对应力的测试结果造成影响,需要对仪器定期进行校正;“双头”的设计更为复杂,仪器操作步骤较多,需要更专业的仪器培训和仪器维护来防止操作不当带来的仪器损害,但是由于其马达和应力传感器分离的优势,可以更准确地进行应变和应变速率控制模式的测量,“双头”的流变仪的测试范围更宽,可以在更高的频率和更低的扭矩下得到准确的测试结果.下面我们将从旋转流变仪的测试原理(2.1节)和测试模式(2.2节)两个方面分别对于剪切流变测试进行简单的概述,这部分内容对于“单头”或者“双头”流变仪同样适用. 之后,我们会结合具体例子详细地介绍流变仪测试中需要注意的问题,部分内容会涉及“单头”和“双头”流变仪的区别. 对于流变测试比较熟悉的读者可以跳过2.1和2.2小节,直接阅读第3节.2.1 测试原理对于旋转流变仪,无论是应力控制还是应变控制模式,应变γ和应变速率γ˙均分别通过电机马达旋转的角位移θθ和角速率Ω转换得到,而应力均通过扭矩T (T=R×F,其中F为力,R为力臂)转化得到,上式中Kγ和Kσ分别为应变因子和应力因子,由测试夹具的类型、大小、间距等夹具的几何因子决定,而流变学测得的所有流变学参量,如剪切模量,黏度等都是应力应变的函数. 因此, 可以从原始测量的角位移θθ、角速率ΩΩ、扭矩T和应变因子Kγ、应力因子Kσ计算得到:剪切流变测试中通常用到的夹具为平行板、锥板和同轴圆筒3种,其基本结构、流场特征,应变和应力因子(Kγ和Kσ)总结在图2中.图 2Figure 2. Geometry and parameters Kγ and Kσ of parallel-plate, cone-and-plate and Couette fixtures平行板、锥板和同轴圆筒三者基本结构的特点也决定了其使用场合不同,具体总结如下:(1)平行板夹具具有剪切流场分布不均一的特点,施加应变时,其圆心处剪切应变为0,最外侧剪切应变最大,应变沿半径方向线性增加;平行板夹具的优点是制样和上样都很方便,但由于其内部流场不均一的特点,平行板夹具一般只用于线性流变测试. 但是,对于一些特殊的实验需求,选择平板进行剪切实验具有一定的优越性. 例如,可以利用平板间剪切速率随半径线性增加的特性,研究不同剪切速率下的流动诱导结晶行为[19,20]. (2)锥板夹具相对于平行板夹具具有内部剪切流场均一的特性,但其制样和上样相对于平行板要复杂,特别是难以流动的样品上样比较困难,因此一般仅在非线性流变测试时选择. 此外,需要注意的是, 为了避免测试时锥板和其对面板直接接触,通常在锥面顶点处截去一小段锥尖,使用锥板测试时,设定的夹具间距即被截去的锥尖高度. (3)同轴圆筒夹具相对于平行板和锥板通常需要使用更多的样品,但是由于其具有较平行板和锥板更大的夹具/样品接触面积和测试力臂(介于样品内径R1和外径R2之间),使用其测试可得到更高的扭矩,因此,其可用于测试更低黏度的样品.2.2 测试模式仪器测试的基本原理通常是对样品施加一个扰动或者刺激并记录其响应. 在旋转流变仪的测试中,通常对样品施加应变并记录应力响应,或反之,施加应力并记录应变的响应. 根据施加应变或应力随着时间的变化情况,流变测试通常可以分为稳态、瞬态、动态3种测试模式(如图3),总结如下:图 3Figure 3. The different responses of Newtonian fluid, Hookean solid, and viscoelastic materials to the imposed steady flow (stress growth, transient or steady mode that depends on the focus), step strain (stress relaxation, transient mode), step stress (creep and recovery, transient mode) and small amplitude oscillatory shear (SAOS, dynamic mode).(1)稳态测试模式通常测试样品在外加流场达到稳定状态下的响应. 通常,达到稳定的状态需要一定的时间,如果测试关注的是体系达到稳态过程,其测试模式一般称作瞬态模式,而如果测试关注的是体系达到稳态之后的过程,则测试模式为稳态模式. 通常仪器的软件内置了一些检验样品是否达到稳态的标准,如剪切速率扫描测试的过程中,仪器会记录应力的变化,当其测试应力在一定的时间内稳定后,仪器才会记录此时的应力. 剪切条件下,牛顿流体通常可以瞬间达到稳态流动,黏弹体通常需要一定的时间达到稳态流动,而胡克固体通常应力随应变增加,在结构不破坏的前提下无法达到稳态流动. (2)瞬态测试模式通常指从一个状态瞬间变化到另一个状态的过程,如施加阶跃应变(应变控制模式)、阶跃应力(应力控制模式)或者阶跃剪切速率等. 其中最典型的测试就是,施加一个固定应变,记录应力随时间变化的应力松弛(stress relaxation)测试,施加或撤销一个固定的应力,记录应变随时间变化的蠕变和回复(creep and recovery)测试,或者施加一个阶跃剪切速率,记录瞬态黏度随时间变化的应力增长测试(stress growth). 这些测试的共性是关注样品在一个特定刺激下的转变过程. 以阶跃应变为例,迅速施加应变后,牛顿流体的应力可迅速松弛,胡克固体的应力达到一个恒定值无法松弛,而黏弹体的应力需要经过一定的时间松弛,这个时间通常反映黏弹体系在应变下结构重整的特征时间. (3)动态测试模式是施加一个交变的应变或者应力,如正弦变化的交变应变或者应力,并记录响应. 以施加正弦应变的测试为例,由于测试的频率和应变大小均可调整,因此,测试有很大的参数空间. 通常,小应变下,体系结构仅稍微偏离无扰状态,应力响应的信号也是正弦波,该测试通常被称作小振幅振荡剪切(small amplitude oscillatory shear,简称SAOS). 对于胡克固体,应力的相位与应变相位相同;而对于牛顿流体,则应力的相位与应变速率(应变对时间的导数)的相位相同,与应变相位差π/2;对于黏弹体,应力的相位与应变的相位在0~π/2之间. 当应变较大时,体系的结构严重偏离无扰状态且随时间改变,此时的应力响应通常不是正弦波,该测试通常被称作大振幅振荡剪切(large amplitude oscillatory shear,简称LAOS). 需要指出的是,一些仪器软件会用正弦波来拟合非正弦的应力结果得到包括模量在内的测量结果,此时对于结果的解读需要非常小心. 因此,一般的测试过程中建议打开仪器的应力记录来观察测量应力波的波形,并据此判定测试的线性/非线性.3. 旋转流变仪测试中的常见问题3.1 测试过程的基本假设和常见问题概述上文提到,旋转流变仪的原始测量的角位移θ和扭矩T可转化为应变和应力. 然而,测量的应变和应力是否就是施加在样品上的真实的应变和应力呢?这显然是流变测试中最关键的问题. 需要指出的是,旋转流变仪的测试结果是建立在3个基本假设上面的:(1) 应变作用在样品上;(2) 应力为样品自身的响应;(3) 流场为简单剪切流场. 这些假设都是会在一定的测试条件下失效,从而导致测试结果不可靠. 接下来我们将详细地介绍这些假设条件分别在什么测试情况下失效.,则样品上的实际角位移θeff小于施加的角位移θ(=θslip+θeff). 对于平行板样品,由于应变参数K
  • 手动压片机的日常使用保养注意事项
    手动压片机的日常使用保养注意事项 手动压片机是X荧光、红外光谱、钙铁、硅铝等分析仪的配套产品,主要用于压制粉末状的样品,使粉状物在样品模内受压后变成块状,以便于放进仪器分析。除此之外它也可用于仪器仪表五金等方面的零件弯曲、冲孔、铆接装配等各种经营工艺中。  吨位大、体积小适用于较大截面积的粉模压片,或需要较大压力的场合,配上不同形状的模具,可以压出不同形状不同尺寸的片子。如:圆形、方形、长形、环形、六角形、平板形,配上电加热模具温控器/推荐双通道加热,可以在加热过程中压片成型。 手动压片机及模具的使用保养: 1、新诺压片机全部为实验室压片机,与新诺模具配套使用,主要用户粉末成型,使用时将模具放置在压片机中心位置;顺时针拧紧压片机放油阀;旋紧丝杠将模具固定住;前后摇动手柄压杆达到所需压力。 2、使用中需要特别注意的是,模具使用不要超压,以免模具压崩,造成人员伤害;模具使用完要及时清理,长期不适用需涂防锈油干燥环境放置。压片机使用中行程不能打的太高,容易造成拉簧变形,油缸无法回程;压片机长期不用,好保压放置,可有效保证下次的正常使用。 3、压片机有漏油现象或有咔咔的声音,请暂停使用,检查原因,或联系新诺。油缸中油量不足会影响压片机的使用寿命。
  • ALIO六轴位移台Hybrid Hexapod® 重新定义纳米加工和精 准对位贴合技术!
    ALIO六轴位移台Hybrid Hexapod® 重新定义纳米加工和精 准对位贴合技术!自昊量光电推出以来全新的六轴位移台,ALIO Industries的Hybrid Hexapod® 彻底改变了6D运动的方法,并重新定义了运动控制在需要平整度和直线度加上刚度的应用中的作用,如纳米加工和精 准对位贴合技术中的应用。ALIO工业公司总裁Bill Hennessey表示:“在6自由度(6DOF)纳米技术应用领域,Hybrid Hexapod® 技术允许在纳米级精度的运动中提供身体所有6DOF性能的文件证明。因此,它是独 一 无 二的,这是第 一次成为可能。我们现在看到领 先技术研发人员在光学、半导体、制造、计量、激光加工和微加工领域致力于纳米应用,并取得了以前无法企及的成功。”所有的传统六足位移台运动系统都在三维空间内运行,并且在所有的六个自由度上都存在误差。然而,传统六足位移台的运动系统通常只能用单自由度的运动数据来表征。这种做法在几个自由度上留下了误差来源,特别是在平面和直线度方面,这是纳米级别的关键精度需求。所以说,一个传统的六足位移台在测量行程的平整度和直线度时,每轴会损失几十微米的精度。庆幸的是,Hybrid Hexapod® 完全克服了这些问题。Hennessey继续说道:“因为传统六足位移台有六个独立控制的连杆连接在一起,移动一个共同的平台,平台的运动误差将是所有连杆和关节误差的函数。众所周知,传统六足位移台在执行z轴运动时具有最 佳的精度和可重复性,因为所有连杆在相同的相对连杆角上执行相同的运动。然而,当任何其他X、Y、俯仰、偏航或摇摆运动被指令时,由于所有连杆执行不同的运动,传统六足位移台的精度和几何路径性能大幅下降。传统六足位移台的关节不精确,运动控制器无法实现正运动学和逆运动学方程,因此误差的来源更加明显。”Hybrid Hexapod® 由ALIO开发,旨在解决传统传统六足架设计的关键弱点,以及堆叠串行级的弱点,并在运动过程中实现纳米级的精度、可重复性和高完整性的平面和直线度。它采用了一个三脚架平行运动学结构来提供Z平面和尖 端/倾斜运动,集成了一个整体串行运动学结构来进行XY运动。一个旋转平台集成到三脚架的顶部(或下面,根据应用需要)提供360度的连续偏航旋转。在这种混合设计中,每个轴可以定制,提供从毫米到1米以上的行程范围,同时保持纳米级的精度。Hennessey总结道:“让我们看看4K镜头的制造商。典型的4K镜头需要极其高科技的材料技术,精密的组装实践,以及非常复杂的制造工艺和技术。所有方向的公差几乎为零用于制造透镜的制造过程经常会导致误差,这就是为什么它们需要不断的主动对准。 传感器和镜头对齐,多个目标沿着镜头投影到传感器,然后拍摄图像。调制传递函数(MTF)总是由主动对准装置不断监测,以保持每个MTF值在预先确定的范围内。当满足限度时,用紫外光对胶粘剂进行部分固化,然后再进行完全热固化。这确保了在对准镜头和传感器平面时的极端准确性。Hybrid Hexapod® 被证明是这种应用的完美选择,因为它的绝 对重复性和精度可以一次又一次地产生准确的结果。” “必须激励在可能的前沿工作的工程师提出更多要求,因为他们看到这项技术可以实现其他人无法实现的目标,具有促进创新的潜力,并且可以优化制造的效率和成本效益。Hybrid Hexapod® 比传统六足位移台精度高出几个数量级,刚性提高100倍,速度提高30倍,可用工作范围是传统六轴位移台的10倍。 和传统六足设备同类型型号主要参数对比优势关于生产商:ALIO Industries 成立于 2001 年,由一支由杰出工程师组成的无与伦比的团队推动,他们痴迷于纳米级运动控制、客户成功以及尽可能突破感知界限。今天,ALIO非常重视对客户的响应。作为一家公司,我们一直专注于纳米级精度,因此我们拥有声誉、知识库和稳定性,这在需要超精确和可靠的运动控制时是无法比拟的。与 ALIO 作为您的合作伙伴,您将与一个强大、完善、财务稳定、全球认可和受人尊敬的品牌合作,为各种行业领 先客户提供服务。我们培养伙伴关系的基本含义,相信当知识在整个团队中公开共享时,结果总是更好。这也使我们能够创造性地为任何应用找到实用的运动控制解决方案。ALIO 的团队以诚实、正直和热情为特征。我们专注于成功,而不是为了现金流而出售解决方案。这就是性格!这就是为什么我们在纳米级运动控制解决方案领域享有无与伦比的声誉。上海昊量光电作为ALIO在中国大陆地区最 大的代理商,为您提供专业的选型以及技术服务。对于ALIO有兴趣或者任何问题,都欢迎通过电话、电子邮件或者微信与我们联系。 如果您对六轴位移台有兴趣,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auniontech.com/details-1529.html欢迎继续关注上海昊量光电的各大媒体平台,我们将不定期推出各种产品介绍与技术新闻。关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是目前国内知 名光电产品专业代理商,也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外,还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等工作。秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观,昊量光电坚持以诚信为基石,凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值,实现各方共赢!您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。
  • 恭喜来亨科学仪器手动氮吹仪再次前往福建厦门
    近日,来亨科学仪器手动氮吹仪,将再次“乘坐快递的列车”驰往美丽的城市福建厦门! 厦门这个城市,来亨科学仪器并不陌生,喷雾干燥机、化学合成仪、氮吹仪已多次前往,厦门欢迎来亨科学仪器的进驻。 此次手动氮吹仪前往,是今年三月份用户首次使用,两个月的“蜜月期”后,体验效果不错,再次购买,而且增加了一套。用户的支持是对来亨仪器最大的鼓励!来亨科学仪器的工程师们不断的寻找仪器的“bug”,达到“吹毛求疵”的地步,从第一台到今天不断的在前进,紧跟科研的脚步,护其左右。
  • 瓶盖全自动扭矩仪较手动扭矩仪可以提高试验效率的检验精确度吗
    在现代工业生产和科研实验中,扭矩测试是不可或缺的一环。无论是瓶盖扭紧度的检测,还是其他机械部件的扭矩测试,精确的扭矩仪都是确保产品质量和性能稳定的关键。近年来,全自动扭矩仪以其高效、精确的特点逐渐取代传统的手动扭矩仪,成为行业的新宠。那么,全自动扭矩仪相比手动扭矩仪,在试验效率和检验精确度方面究竟有哪些提升呢?1. 试验效率的提升:全自动扭矩仪:通过自动化操作,可以连续、快速地进行大量瓶盖的扭矩测试,大大提高了测试效率。它适合于生产线上的在线检测,能够实时监控瓶盖扭矩,确保产品质量的一致性。手动扭矩仪:操作依赖于人工,每次测试都需要手动设置和调整,速度相对较慢,更适合小批量或实验室环境下的测试。2. 检验精确度的提高:全自动扭矩仪:由于其自动化程度高,减少了人为操作误差的可能性,因此通常能够提供更高的测试精确度。它能够精确控制扭矩的大小和测试速度,确保每次测试的一致性。手动扭矩仪:虽然也能提供准确的测试结果,但其精确度受到操作者技能和经验的影响。重复性测试可能会因操作者的不同而有所差异。3. 数据记录和分析:全自动扭矩仪:通常配备有数据记录系统,能够自动记录每次测试的扭矩值,并生成详细的报告。这有助于后续的数据分析和质量控制。手动扭矩仪:可能需要手动记录测试数据,这增加了数据记录的复杂性和出错的可能性。4. 应用场景的适应性:全自动扭矩仪:更适合大规模生产环境,能够与生产线无缝集成,实现连续生产。手动扭矩仪:更适合小规模生产或研发实验室,用于对特定样本进行精确测试。综上所述,瓶盖全自动扭矩仪较手动扭矩仪在试验效率和检验精确度方面有显著优势。它能够快速、连续地进行大量测试,并提供精确的测试结果。然而,选择哪种类型的扭矩仪取决于具体的应用场景和需求。对于需要高效率和精确度的生产环境,全自动扭矩仪是更合适的选择。而对于小规模生产或研发实验室,手动扭矩仪可能更为适用。
  • Pipet-One 手动单道可调移液器,火热大促销
    【活动时间】:即日起至2013年7月31日 【活动内容】: 1:以旧换新 无论任何品牌、型号的旧枪均折价150元,即换机价为:销售价-折旧价。 旧的不去,新的不来!还等什么?赶快来换份好心情吧! 2、你买我就送 活动期间,购买本系列任何一款移液器的客户,我们即赠送面值50元的电话卡。多买多得,赶快行动! 产品功能和特点 轻质吸液和排液弹簧 降低手部疲劳和损伤,比传统移液器节省25%活塞推进力。 带指钩的符合人体工程学原理的枪体设计 使用时无需时刻紧握,操作间隙手部可以得到放松,减少手部疲劳。 退吸头器内置硅树脂减震器 减缓退吸头时拇指所受的撞击力,为您拇指提供更多保护。 快速释放型吸头推出器 轻按退出器上的弹出钮即可轻松拆下退吸头器;止脱锁的设计确保退吸头器不会意外脱落。 经久耐用和RAININ® 其他系列产品一样,Pipet-One系列也是精心设计制造,保证产品经久耐用,表面防滑设计让您操作时手部更加舒适。 RAININ® Pipet-One系列表面防滑设计,比传统移液器减少25%活塞推进力 较少的吸液和排液弹簧压力,较小密封区域 带指钩并且符合人体工程学设计的枪体 降低手部重复性劳损(RSI)风险 类型体积范围 PO-2 手动 0.1 &mu l&ndash 2 &mu l PO-10 手动 0.5 &mu l&ndash 10 &mu l PO-20 手动 2 &mu l-20 &mu l PO-100 手动 10 &mu l&ndash 100 &mu l PO-200 手动 20 &mu l&ndash 200 &mu l PO-1000 手动 100 &mu l&ndash 1000 &mu l PO-5000 手动 1000 &mu l&ndash 5000 &mu l PO-10ML 手动 1000 &mu l&ndash 5000 &mu l PO-START 手动2&mu l&ndash 20&mu l, 20&mu l&ndash 200&mu l, 100&mu l&ndash 1000&mu l
  • 可乐瓶盖开启扭矩仪采用手动还是自动扭矩测试仪精度更高
    在选择可乐瓶盖开启扭矩仪时,用户可能会面临手动和自动扭矩测试仪之间的选择。每种类型的测试仪都有其特定的应用场景和优势,精度也因设备的设计和制造质量而异。手动扭矩测试仪优点:成本效益:通常价格较低,适合预算有限的用户。便携性:手持式设计,便于携带和现场测试。操作简单:易于使用,不需要复杂的设置或编程。缺点:一致性:依赖于操作者的技巧和力量控制,可能导致测试结果的一致性较低。疲劳因素:长时间操作可能导致操作者疲劳,影响测试精度。数据记录:需要手动记录数据,可能存在记录错误的风险。精度考量:手动扭矩测试仪的精度受限于操作者的稳定性和重复性,因此精度可能较低。自动扭矩测试仪优点:重复性:自动设备提供更高的测试一致性和重复性。精度:精密的机械设计和电子测量系统可提供更高的测试精度。自动化:自动完成测试过程,减少人为误差。数据管理:自动记录和分析数据,提高效率并减少错误。缺点:成本:价格通常高于手动测试仪。维护:可能需要专业的维护和校准。精度考量:自动扭矩测试仪通常具有更高的精度,因为它们通过精密的机械和电子系统来控制测试过程。精度比较在选择扭矩测试仪时,精度是关键考虑因素。虽然手动扭矩测试仪具有成本优势和便携性,但自动扭矩测试仪在精度、重复性和数据管理方面具有明显优势。自动设备通过减少人为干预,提供更一致的测试结果,这对于质量控制和产品一致性至关重要。结论如果预算允许,并且需要高精度和自动化程度高的测试结果,自动扭矩测试仪是更好的选择。对于需要频繁进行大量测试的生产环境,自动扭矩测试仪可以提供更高的效率和更可靠的数据。然而,如果测试需求较少,或者预算有限,手动扭矩测试仪也可以满足基本的测试需求。在选择时,应考虑具体的测试需求、预算限制和长期投资回报,以确定最适合的扭矩测试仪类型。
  • SOCOREX 437手动移液管控制器新款来袭~
    SOCOREX 手动移液管控制器升级款它来了!SOCOREX手动移液管控制器坚固且易于使用,它提供了符合人体工程学的形状和轻量级的体重。同时在吸气和分配的时候提供了平稳的控制。使用玻璃或者塑料的移液管可以进行100ml体积的分液。437手动移液管控制器的优势:* 大容量的吸气球* 柔软的手柄按钮* 吹出系统设计,可以实现结尾一滴的吹出* PTFE保护膜过滤器* 可替换的不同颜色的移液管接口,便于识别437手动移液管控制器的特点:1、可挤压的吸气球挤压大容量硅胶球即可吸气。如果在操作过程中需要再次挤压吸气球,可以直接挤压,不影响正在进行的移液操作。2、准确控制为了便于操作者左右手使用的不同的习惯,更简单的控制吸气和分配的速度,437手动移液管控制器采用了拇指控制按钮。3、液体吹出挤压吸气球即可实现残留液体的排出。4、保护滤器通用的疏水膜过滤器,保护了仪器和样品。5、可选颜色的移液管接口不同颜色的接头可以区别不同的样品,甚至不同实验室。有白色、绿色和蓝色可供选择新款437手动移液管控制器产品升级,价格不变,您心动了吗~,欢迎留言咨询!
  • 梅特勒托利多旗下子公司Rainin隆重推出Liquidator 96手动移液工
    梅特勒托利多旗下子公司Rainin的创新产品Liquidator 96手动移液工作站隆重上市!   Liquidator 96手动移液工作站是适合于所有实验室的一台功能强大的个人研究工具。帮助用户最大限度地提升并简化工作流程,可一次性完成96孔板或384孔板转移。不可思议的超快移液,数秒内完成高通量的移液操作,Liquidator96手动移液工作站为高通量移液增添了出色的高品质功能及应用于领域。      显著特点:   • 独特的手工移液系统实现了高通量移液   • 体积小巧,适合于任何一种实验室工作台或层流柜   • 应用于96孔板和384孔板   • 灵活、易于使用,与常规手动移液器相同的操作方式   • 快速获得即时操作结果   • 省时省力、节约成本   • 符合人体工学原理,消除手部疲劳   更多详情请登陆: www.mt.com   梅特勒托利多中国   2009年5月
  • 德祥首款Tegent系列半支消毒单道手动移液器全新问世
    一直以来我们德祥科技都是世界知名品牌移液器制造商芬兰百得的一个非常好的合作伙伴,一起携手为芬兰百得的手动及电动移液器市场做推广,给广大客户带来性价比非常高的移液器产品。 而2011年是我们德祥科技的突破年,与芬兰百得公司合作,隆重推出一款符合中国市场需求的Tegent系列半支消毒单刀手动移液器&mdash &mdash 一款所有移液器配件完全有芬兰白的公司按照国际标准制造,精确度都能做到最优的手动移液器。 Tegent系列半支消毒单道手动移液器*特点如下: · 其手柄设计有支撑手指挂钩,防止移液过程中移液器滑落; · 下半支可拆卸式高温、高压消毒(121º C, 20分钟); · 独立式吸头推除操作,与移液过程互不干扰,不会造成排液中意外吸头推除; · 容积调节有卡扣声,不会应手部触碰而使移液容积发生变化; · 还配有安全圆锥虑芯,防止液体渗漏; · 并提供一年的免费维修,清洗保养,校准服务! · 认证标准和证书:DIN 12650,TUV,FINAS,ISO 9001、ISO 13485、ISO 14001,ISO 17025,CE/IVD标记,独立的QC证书。 更多产品请登陆德祥官网:www.tegent.com.cn 德祥热线:4008 822 822 邮箱:info@tegent.com.cn
  • 赛多利斯荣誉推出新型高端手动移液器Tacta
    p   赛多利斯(Sartorius)作为一家国际领先的实验室仪器、 a style=" COLOR: #ff0000 TEXT-DECORATION: underline" title=" " href=" http://www.instrument.com.cn/application/SampleFilter-S01-T000-1-1-1.html" target=" _self" span style=" COLOR: #ff0000" strong 生物 /strong /span /a 工艺解决方案和设备的供应商,近期推出完美均衡的新型手动移液器Tacta, Tacta 使移液操作变得轻松安全,并始终提供精确可靠的结果。 /p p style=" TEXT-ALIGN: center" img title=" tacta-group_4daf734e86_副本.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201603/insimg/7c781dcb-1fd6-470f-805b-d461b970a509.jpg" / /p p style=" TEXT-ALIGN: center" span style=" COLOR: rgb(0,176,240) FONT-SIZE: 14px" strong 新型手动移液器Tacta /strong /span /p p   Tacta可以满足大多数的移液需求,持续不断的提供精确地移液结果。Tacta 使用的所有材料均经过精心挑选,并且每个组件都经过了特别设计以符合最高标准。单通道Tacta的量程范围覆盖0.1 至1000& amp #181l, 多通道Tacta的量程范围覆盖0.5 至300& amp #181l。 /p p   得益于Tacta超凡的人体工程学设计,移液、吸头安装和弹出所需力度很小,可保护您免患工作相关上肢损伤(WRULD)。独特的手柄和指钩设计让您轻松地将移液器握在手中,无需紧握手柄,持续不断的提供精确地移液结果。新移液器的杠杆式吸头弹出技术Optiject,能够以平稳可控的方式轻而易举地弹出吸头。单通道和多通道型号均配备弹簧式吸头圆锥,即 Optiload功能,它可以提供完美的密封性和最小的施力,为吸头安装提供安全保障。 /p p   此外,赛多利斯Optilock 功能可提供容量调节和锁定功能,防止容量在移液期间发生意外变化。Tacta拥有大尺寸四位数字显示屏,方便阅读,即使在移液器倾斜时也能轻松读取容量。而且,Tacta 非常容易调节,只需使用简单的调节键即可满足各种液体的需求。集成的调节功能会显示调节的程度,通过记录特定液体的刻度值,您可以随时恢复相应设置。 /p p   只需拆卸三个部件即可清洁,而且拆卸操作无需使用工具,Tacta 是市场上清洁起来最快、最方便的移液器。您还可以对Tacta进行整支蒸汽消毒或热压灭菌,无需拆卸,Tacta具有强大的紫外线耐受力和耐化学腐蚀性。安全圆锥过滤器可用于大于10& amp #956 l 的所有 Tacta 型号,通过经济实惠的方法来减少污染。独特的弹出器可轻松拆卸用过的安全圆锥滤芯,避免了人体接触受污染的滤芯。赛多利斯特有的Optifit 吸头和 SafetySpace 滤芯吸头能与所有的的 Tacta 移液器完美搭配,实现最高准确度和精确度。 /p p & nbsp /p
  • 恭喜来亨科学仪器手动氮吹仪即将落户北京首都医科大学
    近日,来亨科学仪器手动氮吹仪北京中标,即将落户于北京首都医科大学。 首都医科大学建校于1960年,是北京市重点高等院校,是北京市政府、国家卫生计生委、教育部共建院校。学校学科力量雄厚。现有8个国家重点学科,2个国家重点(培育)学科;60个国家临床重点专科(含中医);14个国家中医药管理局重点(培育)学科;4个北京市一级重点学科,6个北京市二级重点学科,1个北京市重点交叉学科,2个北京市一级重点建设学科,6个北京市二级重点建设学科,1个北京地区高等学校学科群。6个国家临床医学研究中心,1个国家儿童医学中心,1个省部共建国家重点实验室培育基地,4个教育部重点实验室,1个国家工程实验室,53个北京市重点实验室。有8个一级学科博士学位授权点和11个一级学科硕士学位授权点;按照三级学科统计,有59个博士学位授权点和78个硕士学位授权点 具有所有医学及医学相关学科的硕士、博士专业学位授予权。有9个博士后科研流动站。 学校有良好的教学科研辅助设施,建有图书馆、档案馆、校史馆、中心实验室、信息与通讯中心、现代教育技术中心、临床检测中心、实验动物部、学报编辑部、中医研修学院及首都国医名师馆、生命与健康博物馆(筹)、校医院等平台。 来亨科学仪器的工程师们不断的寻找仪器的“bug”,达到“吹毛求疵”的地步,从第一台到今天不断的在前进,紧跟科研的脚步,护其左右。
  • 清华大学李星辉团队合作在超精密光栅干涉测量领域取得新进展
    近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光系统,基于二维反射型光栅和采用创新的共光路设计,搭建三自由度位移测量系统,设计并优化外差信号相位检测算法,最终实现了亚纳米的测量分辨率和重复定位精度。这项工作将有效推动多自由度光栅精密定位技术的发展。多自由度精密定位技术在纳米计量、显微成像、精密机床、半导体制造等领域具有重要地位。以半导体制造为例,光刻机是半导体行业的“掌上明珠”,在先进制程的光刻机中,晶圆台需要亚纳米位移测量精度的六自由度超精密定位技术。当前光刻机常用激光干涉仪和光栅干涉仪对晶圆台进行多自由度超精密定位,然而激光干涉仪由于暴露在环境中的光路长、难以实现单测量点多自由度测量等限制,会引入环境噪声和阿贝误差,而以光栅栅距为测量基准的光栅干涉仪正成为光刻机晶圆台超精密定位的主流方法。(a)光刻机晶圆台中“四读数头—四光栅”的六自由度测量系统;(b)外差式三自由度光栅干涉仪基本原理针对光刻机等先进装备中的超精密定位需求,团队提出了一种新型的基于外差干涉原理的三自由度光栅干涉仪,可以实现亚纳米的测量分辨率和重复测量精度,并通过 “四读数头—四光栅”的晶圆台测量系统可以实现六自由度位移/角位移测量。该外差光栅干涉仪使用一束双频激光,通过二维反射型光栅的四束衍射光产生外差干涉,实现光栅在X/Y方向上的位移测量,通过光栅反射光与固定反射镜反射光产生外差干涉,实现光栅在Z方向上的位移测量,从而完成光栅ΔX、ΔY、ΔZ三自由位移测量。该方案创新地采用了二维反射型光栅,利于光路系统读数头的集成化和小型化,在未来应用中,可以将读数头和光栅分别安装于固定部件和运动部件上,来检测运动部件的位移,其相对于基于透射型光栅的测量方法具有更广的适用性。此外,研究团队提出并采用了自主设计的双频激光系统,相比于传统的基于塞曼效应的商用双频激光器,具备更大更稳定的频差,以及更强的激光功率,可以实现更高的光源稳定性和信噪比以及更大的外差频率,有利于提升系统的整体精度和测量速度。最终实验结果显示,该系统具备0.5 nm的分辨率,0.6 nm的重复定位精度和2.5×10-5的测量线性度。该研究提出的外差式三自由度光栅干涉测量方法有利于多自由度超精密定位技术的发展,同时对先进装备和精密仪器的发展具有指导意义,尤其是需要多轴超精密定位的纳米科学和技术。 (a)自主设计的双频激光系统;(b)外差式三自由度光栅干涉仪测量系统 (a)三轴分辨率测试结果;(b)三轴在10 nm和40 nm处的重复定位精度测试结果相关成果以“三自由度亚纳米测量反射型外差光栅干涉仪”(A Reflective-Type Heterodyne Grating Interferometer for Three-Degree-of-Freedom Subnanometer Measurement)为题,在线发表在仪器仪表领域期刊《IEEE仪器与测量汇刊》(IEEE Transactions on Instrumentation & Measurement)上。论文第一作者为清华大学深圳国际研究生院2020级硕士生朱俊豪,清华大学深圳国际研究生院李星辉副教授为通讯作者,国防科技大学为共同通讯作者单位。该研究工作得到了广东省基础与应用基础研究基金、国家自然科学基金、清华大学科研启动基金、湖南省自然科学基金、中国博士后科学基金等项目的支持。论文链接:https://ieeexplore.ieee.org/document/9913946/
  • Pipet-Lite磁辅手动移液器,活动大赠送
    【活动时间】:即日起至2013年7月31日 【活动内容】: 1、购买任意四支Pipet-Lite磁辅手动移液器,即赠送枪支架一个。 2、购买任意一支Pipet-Lite磁辅手动移液器,即赠送一袋LR吸头(500个/袋) 以上赠品数量有限,送完为止,欲购从速! 功能和特点 符合人体工程学设计: 重量轻,带指钩的符合人体工程学设计枪体外形. 更低活塞推进力: "磁辅装置"最高可减少70%的用力. 硅树脂减震器: 更佳保护拇指. 便捷的容积调节: 带有容积锁. 快速释放型吸头推出器: 装卸非常轻松. 更低退吸头力: LTS(轻触去吸头系统)可减少80%的退吸头用力。(传统吸头套柄移液器退吸头力也有减少)
  • 庆祝来亨科学仪器L-119A手动氮吹仪今日驰往重庆
    今日,来亨科学仪器L-119A手动氮吹仪,“乘坐天天快运的列车”驰往世界温泉之都重庆! 重庆,简称巴和渝,别称巴渝、山城、渝都、桥都,雾都,是中华人民共和国中央直辖市、国家中心城市、超大城市、世界温泉之都、长江上游地区经济中心、金融中心和创新中心,政治、文化、科技、教育、艺术等中心,国务院定位的国际大都市。中西部水、陆、空型综合交通枢纽。 这次“出嫁”的仪器是L-119A手动氮吹仪。来亨科学仪器氮吹仪一直以简单、方便、多功能著称,根据实验的需要可以随意配置,来满足不同实验需求。
  • 小满喜气满满---澳信喜获奖杯 ACCRECETH东精精密特约代理商成长奖银奖
    2020年05月20日庚子年农历四月二十八迎来二十四节气中的第八个节气——小满。 小满喜气满满---澳信喜获奖杯 ACCRECETH东精精密特约代理商成长奖银奖,感谢新老客户的支持与厚爱!愿你心满意得,赢得美好三平两满!小满不满,麦粒渐满;小满不满,干断田坎;小满小满,生活美满。《月令七十二候集解》有载:“四月中,小满者,物致于此小得盈满。”不满,则空留遗憾;过满,则招致损失。花未全开月未圆,人生最好是小满。澳信喜获奖杯 ACCRECETH东精精密特约代理商成长奖银奖今天让我们一起走入ACCRECETH东精精密圆度仪 科普小常识关于圆度仪的简单介绍  圆度仪是一种运用回转轴法测量工件圆度的工具。圆度仪分为传感器回转式和工作台回转式两种型式。测量时,被测件与精密轴系同心装置,精密轴系带着电感式长度传感器或工作台作精确的圆周运动。今天圆度仪生产厂家给大家说一说圆度仪的知识与原理。  圆度仪是一种测量零件回转表面(轴、孔或球面)不圆度的精密仪器。一般有两种类型:小型台式,把工件装在回转的作业台上,测量头装在固定的立柱上;大型落地式,把工件装在固定的作业台上,测量头安装在回转的主轴上。测量时,测量头与工件表面接触,仪器的回转部分(作业台或主轴)旋转一周。因回转部分的支承轴承精度极高,故回转时测量头对被测表面将发生一高精度的圆轨迹。被测表面的不圆度使测量头发生偏移,转变为电(或气)信号,再经扩大,可主动记载在圆形记载纸上,直接读出各部分的不圆度,供鉴定精度与工艺分析之用。广泛用于精密轴承、机床及仪器制造工业中。圆度仪由仪器的传感器、放大器、滤波器、输出设备组成。若仪器配有计算机,则计算机也包括在此系统内。  圆度仪选用半径测量法,作业旋转式。该圆度仪旋转轴系选用高精度气浮主轴作为测量基准;该圆度仪电器部分由高级计算机及精密圆光栅传感器、精密电感位移传感器组成,圆光栅传感器、精密电感位移传感器计量视点、径向位移量,保证测量工件的角位移、径向值的精确度;圆度仪测量软件选用依据中文版WinXP操作系统渠道的圆度测量软件,完成数据收集、处理及测量数据管理等作业。圆度仪的正确操作规程,你都用对了吗?  圆度仪的操作使用,该工具的作用相信大家都知道,正确的使用工具很重要,我们现在遇到许多仪器出现故障,主要的原因还是因为操作不当造成的,所以正确使用也是保障仪器性能的重要做法,我们常说到要保养某某机器,但其实只要正确使用,就不用过多的去保养。其他的产品也一样的道理,对于圆度仪来说,你知道如何正确使用吗?  (1)圆度仪采用AC220V 50HZ电源,检查电源正确,并保持主机良好接地;  (2)打开电源,启动计算机进入操作系统;打开圆度仪主机电源开关,启动工作台旋转,并预热15分钟;  (3)将被测件安放在工作台中心,调整立柱及横臂手轮,使传感器的测针接触工件;  (4)用手拨动工作台逆时针旋转,首先选择±100um档,用敲拨棒调整工件,使计算机上显示的模拟表头的指针摆幅最小;然后逐步提高放大倍率,反复此调整过程,提高对心精度。直到在±25um档时,表头的指针摆幅最小即可;  (5)打开主轴电机开关,主轴旋转,当主轴旋转3周后,单击[开始测量]按钮开始测量;测量完成后,计算机将自动对测量结果进行分析并显示测量结果;这时,即可以对测量结果进行存储及打印输出;  (6)仪器停止工作不用后,应关闭计算机及主机电源;取下工作台上的卡盘和被测件,同时,使传感器处于自由状态,不可使其承受外部力量;  (7)使用本仪器前请首先了解使用说明书;被测件应认真清洁和等温;主轴严禁顺时针旋转;禁止冲击传感器。  (8)定期给主轴加油,并保持仪器立柱、横臂、工作台等裸露部分清洁,并涂少许机油以防氧化生锈。
  • 标乐发布美国标乐 Buehler | AbrasiMet M 手动砂轮切割机新品
    AbrasiMet M 手动砂轮切割机在快速切割金属过程中展现出出色的耐用性 高效且强大的台式砂轮切割机Abrasimet M 适用于严苛的生产环境,切合需要对零件切割进行质量控制和检验的客户需求。紧凑型Abrasimet M是一台手动切割机,配备强大的5.5 hp(4KW)电机,可容纳10in [254mm] 至12in [305mm] 的切割片,其最 大化的切割室空间以及滑动罩的设计,可为客户提供快速、干净且简便的切割解决方案,适用于任何工作环境的样品制备。 节省时间,简化切割 实验室技术人员将能够减少切割时间,无需工具即可轻松更换切割片。此外,简化了清洁30gal大容量循环水箱的工作量,其配有固定式过滤筛的辅助过滤箱可收集切屑,无需持续处理大量冷却液,也无需使用消耗型过滤装置,并配备了坚固的金属框架和车轮。AbrasiMet M在繁忙的生产环境中节省了切割时间,帮助用户快速进入下一步制备流程。 标乐(Buehler)为AbrasiMet M切割机的使用和维护设计了以下功能:• 将电机置于切割室外部,因此大大增加了切割室空间;• 优化10in[254mm]和12in[305mm]切割片的转速设置,大大提高切割质量;• 明亮的LED灯带,提高样品的可见度;• 可通过调节切割臂的长度和角度获得舒适轻松的手动切割运动;• 双刀片切割,附带的配件包可实现同时在样品的两个位置进行切割,可减少一半的时间;• 利用外置开关可轻松选择直接冷却切割片或手持式直冲软管。 适用于严苛环境的耐用仪器 AbrasiMet M适用于各种严苛环境。标乐(Buehler)选用的铸件是耐用的耐腐蚀钢T形槽。此外,其滑动式安全罩设计经过强化,可重复打开/关闭,封闭式电机切割臂系统可防止切屑或冷却液进入其中,从而大大延长电机的使用寿命。标乐(Buehler)有一系列可选配的夹具、组件和垫块,可满足所有类型试样的夹持需求。AbrasiMet™ M 手动砂轮切割机产品规格操作方式手动电机功率5.5hp[4kW]总电源200-240VAC 或 380-460VAC,3 相,50/60Hz切割片移动方向Z 轴最 大试样长度25in[635mm]切割片尺寸10in[254mm] | 12in[304mm]切割片至台面距离6.8in[172mm] | 5.8in[147mm]切割能力4.3in[109mm]切割片转速3000rpm | 2600rpm照明2 根 LED 照明灯带双刀片切割宽度0.06in-1in [1.52mm-25.4mm]@ 0.06in 增量设备尺寸长度:31.1in [791mm]宽度:27.3in [694mm]高度:25.7in [653mm] (护罩闭合)高度:36.2in [919mm] (护罩开放)T 型槽工作台尺寸9.8in x 7.1in[250mm x 180mm](L)9.8in x 4.5in[250mm x 115mm](R)安全功能安全锁, 急停按钮遵循标准CE 指令创新点:(1)双刀片切割应用实现平行切割,显著降低切割时间,保证样品两面的平行 (2)使用快速锁紧螺母可无工具快速更换切割片 (3)双水箱设计使得清理更加简单,将内水箱拎出即可清理将切削残渣 (4)滑动门设计使得开关门比前代切割机的液压设计更加省力 美国标乐 Buehler | AbrasiMet M 手动砂轮切割机
  • 7725i手动进样阀优惠促销
    为感谢光大用户长期以来对本公司的厚爱,自2011-8-1至2011-12-31,我公司对7725i手动进样阀进行促销,促销价人民币5000.00元,欢迎来电询问。021-64537479, 7725系列液相色谱进样阀具有非常高的精密度和准确性,进样量的范围可以为1微升到5微升;正常工作压力设为34Mpa,调节在手柄后面的压力按钮,工作压力可调到48Mpa。 7725、7725i进样阀标准配置20微升定量管。 7725系列液相色谱柱进样阀除具有已广泛使用的7125型进样阀的各项功能外,还具有下列五个功能: (1)、取/进样转换时流动相保持连续(流路无断流,即Rheodyne公司的专利技术MBB); (2)、手柄后面压力选钮可以使得密封控制变的十分容易; (3)、管路连接角度范围增大,方便了进样阀的连接使用; (4)、带有内装式触发器(位置传感开关,仅限于后缀为I型进样阀; (5)、可以选配2微升内装式超微量定量管及附件。 最高耐受温度:80℃ 最高耐受压力:48Mpa 材质:316不锈钢、Vespel(转子) pH范围:0-10 (如果使用pH>10的样品或流动相,可选用PEEK材质的转子,可承受pH 0-14) 不锈钢或材质 工作压力35.0MPa(5000psi) 手动或摇控操作 电子控制 Rheodyne手动进样阀是目前市场上最先进和广泛使用的进样阀。其产品特性包括: ★Rheodyne的不断流(MBB)结构设计专利,可以在取样和进样切换时保持流动的连续性,极大的降低了瞬时压力冲击对系统的干扰。 ★较宽的30度端口,易于与接头连接。 ★单点压力调节,减少了转子密封垫和定子间的摩擦,延长使用寿命。 ★内置位置传感开关为色谱仪提供了可再现的开始信号。
  • 标乐(Buehler)推出AbrasiMet 中型手动砂轮切割机
    标乐(Buehler)推出AbrasiMet 中型手动砂轮切割机在快速切割金属过程中展现出出色的耐用性 位于Illinois的标乐(Buehler)总部隆重推出高效且强大的台式砂轮切割机Abrasimet M。该仪器适用于严苛的生产环境,切合需要对零件切割进行质量控制和检验的客户需求。紧凑型Abrasimet M是一台手动切割机,配备强大的5.5 hp(4KW)电机,可容纳10in [254mm] 至12in [305mm] 的切割片,其宽敞的切割室空间以及滑动罩的设计,可为客户提供快速、干净且简便的切割解决方案,适用于任何工作环境的样品制备。 节省时间,简化切割 实验室技术人员将能够减少切割时间,无需工具即可轻松更换切割片。此外,简化了清洁30gal大容量循环水箱的工作量,其配有固定式过滤筛的辅助过滤箱可收集切屑,无需持续处理大量冷却液,也无需使用消耗型过滤装置,并配备了坚固的金属框架和车轮。AbrasiMet M在繁忙的生产环境中节省了切割时间,帮助用户快速进入下一步制备流程。 标乐(Buehler)为AbrasiMet M切割机的使用和维护设计了以下功能:• 将电机置于切割室外部,因此大大增加了切割室空间;• 优化10in[254mm]和12in[305mm]切割片的转速设置,大大提高切割质量;• 明亮的LED灯带,提高样品的可见度;• 可通过调节切割臂的长度和角度获得舒适轻松的手动切割运动;• 双刀片切割,附带的配件包可实现同时在样品的两个位置进行切割,可减少一半的时间;• 利用外置开关可轻松选择直接冷却切割片或手持式直冲软管。 适用于严苛环境的耐用仪器 AbrasiMet M适用于各种严苛环境。标乐(Buehler)选用的铸件是耐用的耐腐蚀钢T形槽。此外,其滑动式安全罩设计经过强化,可重复打开/关闭,封闭式电机切割臂系统可防止切屑或冷却液进入其中,从而大大延长电机的使用寿命。标乐(Buehler)有一系列可选配的夹具、组件和垫块,可满足所有类型试样的夹持需求。 标乐(Buehler)是材料制备、图像分析和硬度测试所用仪器、附件、耗材和相关技术的出色供应商。标乐(Buehler)产品涵盖众多行业,包括金属、汽车、航空航天、电子、医疗、能源等。关于标乐(Buehler) 标乐(Buehler)隶属于美国ITW集团(伊利诺伊工具公司),总部坐落在美国伊利诺伊州莱克布拉夫市。ITW是一家美国财富200强企业,在全球从事增值耗材、特种设备的工业产品制造并提供相关服务。 标乐公司于1936年建立,是最早为材料分析行业制造科学设备和材料的厂商。2011年标乐和威尔逊硬度计合并,提供了更全的材料制备和分析检测设备。标乐现已在9个国家成立办事处、在100多个国家设立销售网点并拥有超过45个标乐解决方案中心。
  • 庆祝北京来亨科学仪器手动氮吹仪启程去往浙江杭州
    本周,北京来亨科学仪器生产的手动氮吹仪启程去往浙江杭州,近来该款仪器受到广大朋友的青睐,近日与杭州明凯科技有限公司终于达成意向,确认合作。 在此,感谢各大科学院所及各大企业对来亨科学仪器一如即往的支持和认可,我公司在产品细节及功能上不断精益求精,来回馈各位用户。
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