压电旋转平台

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

“16mm 系列”— Rotator16 (闭环控制)低温 压电运动- 旋转系列最⼩ 的旋转压电台，可闭环控制Rotator16旋转压电台主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : Dia 16*15.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 100 g & 0.4 Ncm&bull ⼤ ⾏ 程 : 360 ° endless&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 10 m° ⼆ 维尺⼨ Rotator16, Speciication*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 16.× 15.6 mm2 质量10 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 / 7 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程360 ° endless11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 10 °/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载100 g14 最⼤ 扭矩0.4 Ncm传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程270 °17 传感器分辨率10 m°18 重复定位精度~ 50 m°

RSM50-1K旋转平台RSM50-1K和RSM50-2K旋转平台可快速调整角度，亦可用柔性手轮精调。中心M52x1螺纹孔可用螺纹压圈直接固定2英寸或50mm直径的光学件或与其它调整架配合使用。转台端面360° 刻划，转角定量直观。精密轴系设计，稳定舒适。可水平或垂直使用。锁紧手轮安全可靠。RSM50-2K配有游标块，使旋转角度可精确到0.033° 。■技术指标 RSM50-1K台面直径(mm)50粗调范围360° 最小刻划2° 自重(kg)0.35

纳米级压电位移台、支持开闭环控制、多种极端环境适用Rotator35旋转压电台主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 35*35*16.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 500 g & 2.5 Ncm&bull ⼤ ⾏ 程 : 360 ° endless&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 10 m°⼆ 维尺⼨ Rotator35, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 16.5 mm2 质量45 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程360 ° endless11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 10 °/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载500 g14 最⼤ ⼒ 矩2.5 Ncm传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程320 °17 传感器分辨率10 m°18 重复定位精度~ 50 m°

旋转压电线性位移台Rotator25主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*16.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 250 g & 1.5 Ncm&bull ⼤ ⾏ 程 : 360 ° endless&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 10 m°⼆ 维尺⼨ Rotator25, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 16.5 mm2 质量24 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程360 ° endless11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 3 °/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载250 g14 最⼤ 扭矩01.5 Ncm传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程320 °17 传感器分辨率10 m°18 重复定位精度~ 50 m°

LS-1730产品描述 LS-1730的尺寸为30 x 17 x 8.5mm，行程范围为21mm。概观运动行程[mm]21尺寸[mm]30 x 17 x 8.5重量[g]21力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1740产品描述 LS-1740的尺寸为40 x 17 x 8.5mm，行程范围为26mm。概观运动行程[mm]26尺寸[mm]40 x 17 x 8.5重量[g]26力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1720产品描述 LS-1720的尺寸为20 x 17 x 8.5mm，行程范围为12mm。概观运动行程[mm]12尺寸[mm]20 x 17 x 8.5重量[g]13力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

压电平台X60S / X120S沿X轴的行程可达110 μm，可以配备精度高达10nm的应变计。平台沿X和Y轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。

MICRONIX精密压电平台PPS-50产品型号：PPS-50产品介绍：精密压电平台 PPS-50 允许高负载的纳米定位。交叉滚子轴承确保负载高达 30N 时的高刚度。它与我们获得专利的多相压电电机和可选的高分辨率编码器（分辨率高达 1 nm）完全集成。PPS-50 还可以与我们的旋转平台和角平台结合使用，以实现 运动灵活性。PPS-50 与我们的 MMC-100 和 MMC-110 控制器兼容。性能特点：●标准行程范围可达100毫米●闭环编码器分辨率达到1 nm●十字滚子轴承（防蠕变）●负载能力高达3kg●低像素，15mm高●提供真空和非磁性版本参数：●行程范围：26 毫米 - 100 毫米●编码器分辨率：1 纳米（闭环）●可重复性，双向：±20 纳米●可重复性，单向：20纳米●max速度：5 毫米/秒 (MMC-110)●max载荷：3 kg●编码器选项：模拟或数字●高度：15 毫米●轴承类型：交叉滚子轴承●产地：美国

该款混合器可在不同速率下，通过在固定倾斜角度下提供一种温和的三维圆周旋转混合方式，适用培养瓶，培养皿，离心管，培养槽等容器。速率范围: 15 to 30 rpm倾斜角度： 7° 最大承载：0.5 kg运作温和，解决了凝胶染色过程中胶体边缘易破损及其培养实验中细胞组织易被破坏的问题优良的电机，低噪音，低能耗可调速率：15 to 30 rpm平台尺寸：200×200mm,适合大部分常用容器。标配含有防滑垫外形精巧，结构坚固，节约空间低压电源，符合冷藏室安全操作的要求低压线更易通过培养箱门。适用于多应用领域的混合操作，包括：凝胶染色/脱色，样品洗涤，抗体染色，杂交，免疫沉淀，印迹，蛋白质印记。通过高效的三维圆周旋转混合，即可利用少量溶剂达到样品充分混合的要求。

小型ORIC旋转位移台，PDR1C/M压电惯性驱动器特性不锈钢位移台，带压电惯性驱动器开环设计非常适合要求高分辨率相对定位的应用中心孔可通过光束或安装光机械件兼容笼式系统两侧有8-32(M4 x 0.7)螺孔，用于安装接杆堆叠20 mm或50 mm位移台，构建XY + 旋转配置需要压电惯性控制器(单独出售)真空兼容的版本适合低至10-6 Torr的压力环境Thorlabs的PDR1C(/M)、PDR1(/M)和PDR1V(/M) ORIC® 压电惯性驱动的旋转位移台(美国zhuan利11,218,090)结构紧凑，能够提供稳定的360°开环压电控制旋转功能。提供两种尺寸，每种尺寸有不同的安装特性和性能规格，详见右表或规格标签。由于步进尺寸与负载和驱动电压有关，因此可以通过控制位移台的上升电压和下降电压进一步调节。除了长期连续步进功能之外，位移台还可以以旋转-锁定的模式运行。PDR1V(/M)是PDR1(/M)位移台带飞线的真空兼容版本。ORIC® 旋转位移台，压电惯性驱动器连续360°旋转，100°/s最大速度(使用PDXC控制器驱动)典型步进尺寸：30 µ rad (使用PDXC控制器驱动)平台尺寸：Ø 1.10英寸(Ø 28.0 mm)1/4"-20 (M6 x 1.0)内螺纹Ø 0.19英寸(Ø 4.9 mm)通光孔径四个8-32 (M4 x 0.7)螺孔四个4-40螺孔，用于16 mm笼式系统平台高度：18.0 mm占地面积小：30.0 mm x 30.0 mm集成1 m(3.3 ft)电缆，带SMC母接头需要PDXC、KIM001或KIM101压电控制器(单独出售)PDR1C(/M) ORIC® 开环压电惯性小型旋转位移台在用PDXC控制器驱动时，能够以最快100°/s的速度运行，且无反冲，典型步进尺寸为30 µ rad；在用KIM001或KIM101控制器驱动时，位移台能够以最快30°/s的速度运行，典型步进尺寸为150 µ rad。位移台处于静止且未给压电器件通电时，压电惯性驱动器会自动锁定。集成这些功能的PDR1(/M)位移台非常适合要求分辨率低于毫弧度且具有长期对准稳定性的“运行-锁定”应用。安装特性PDR1C(/M)位移台能垂直或水平安装。位移台三侧各有一个8-32 (M4 x 0.7)螺孔，用于安装Ø 1/2英寸接杆。为了不超过螺孔深度(3.5 mm [0.14英寸])，我们推荐使用SS8S038 (SS4MS10)固定螺丝将位移台安装在Ø 1/2英寸接杆上。位移台相对的两个角上有两个#2 (M2)安装槽，可用于将位移台安装在平坦、均匀的表面(建议平整度≤5 μm)，或者将其安装在我们的ORIC 20 mm线性位移台上，用于构造XY加旋转配置。旋转顶板有四个8-32(M4 x 0.7)螺孔和四个兼容16 mm笼式系统的4-40螺纹孔，而中心还有一个可用于安装光机械的1/4"-20 (M6 x 1.0)通孔，或者在使用中让光路通过位移台；中心孔的通光孔径为Ø 0.19英寸(Ø 4.9 mm)。兼容的配件PD1B(/M)、PD1B2(/M)和PD1U(/M)转接板都提供用于安装PDR1C(/M)位移台的平坦表面；每个转接板额外提供不同的安装特性。PD1T(/M)转接板可安装在PDR1C(/M)位移台下面，并且中心有一个可安装接杆的8-32 (M4 x 0.7)螺纹孔。PD1Z(/M)直角支架可将PDR1C(/M)位移台以XY+θY旋转配置进行安装。每个位移台有一根集成的1.0长电缆；使用T5026 SMC公头-公头转接件和PAA101 1.5 m SMC电缆可以延长电缆。请注意，由于电缆存在电容，控制电缆的总长度不应超过2.5 m。需要的控制器操作这个位移台需要使用PDXC压电惯性位移台控制器、KIM001单通道K-Cube&trade 压电惯性电机控制器或KIM101四通道K-Cube压电惯性电机控制器(下方有售)；压电惯性驱动器无法通过标准的压电控制器驱动。KIM101控制器必须是2019及以上的版本，且装有010004及以上的固件修改版本。更早版本的此控制器，或装有较旧固件的版本都无法良好工作，甚至可能造成位移台和/或控制器故障。上一代的TIM101控制器不兼容。此位移台的规格是使用PDXC台式控制器和KIM101 K-Cube控制器测得的；KIM001提供类似于KIM101的性能。与K-Cube控制器相比，PDXC的工作频率更高，但输出的最大电压更低，所以能够以更高速度、更小步长和更小驱动力驱动PDR1C(/M)位移台。注意：工作过程中，位移台会产生高音调噪声，并可能产生一些热量。这是设备性能的正常表现，并非故障情况。ORIC® 旋转位移台，压电惯性驱动器Key SpecificationsItem #PDR1C(/M)aPDR1(/M)PDR1V(/M)bRotation Range360° ContinuousTypical Step Sizec30 μrad250 µ radStep Size AdjustabilitydUp to 100%Up to 30%Max Step Frequency20 kHz2 kHzTypical Max Speed(Continuous Stepping)100°/se,f20°/sgHorizontal Load Capacity1 kg (2.2 lbs)Vertical Load Capacity10 mN&bull mh15 mN&bull miHolding Torque20 mN&bull m25 mN&bull mWobble≤200 μradRequired ControllerPDXC, KIM001, or KIM101KIM001 or KIM101Dimensions (W x D x H)30.0 mm x 30.0 mmx 18.0 mm40.0 mm x 40.0 mmx 18.0 mmCenterHoleThread1/4"-20 (M6 x 1.0)SM05 (0.535"-40)Clear ApertureØ 4.9 mmØ 9.0 mmCage System CompatibilityRotary Platform: 16 mmFixed Base: 30 mmVacuum CompatibilityN/APDR1(/M): N/APDR1V(/M): 10-6 Torr

XY压电位移平台系统是一套纳米级高精度电动载物台系统，可以适配各大品牌的大部分正置或倒置显微镜，可选不同样式的样品托板适配各种培养皿，使用压电陶瓷闭环电机驱动进口静音滑轨，运行顺滑稳定而且低噪音。功能特点超高精度，步长分辨率达50nm，重复定位精度±0.2微米； 顺滑静音，压电陶瓷电机搭配进口滑轨，噪音低； 适配性强，匹配各大品牌主流显微镜 功能特点闭环定位，可用电脑软件显示和控制定位 扩展性强，提供完整SDK开发包，可二次开发

压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm，最高可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度，可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位，微扫描等应用。参数单位XY25XSXY200M型号V-XYXS25V-XYM200备注--传感器SGSG,ECS主动轴 TX,TYTX,TY最大空载位移[Tx,Ty]um25200Z方向最大面外位移um0.501.00Z方向的最大转动urad50240XY方向的最大转动urad1050电压范围V-20…150-20…150硬度N/um2.500.59高度(Z 轴) mm18.022.0尺寸(X&Y 轴)mm50*50100*100分辨率nm0.32.0质量g80180空载共振频率(在致动方向)Hz3000580响应时间ms0.170.86电容 (每个电气接口)uF0.506.30机械接口(有效负载)1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm3Ф2.7mm holes onⅡ38机械接口 (框架)4 Ф2.8mm holes on []454 Ф4.5mm holes on []84电气接口2 RG178B/U同轴电缆2 RG178B/U同轴电缆

LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 8.5mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 8.5重量[g]51力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS-1760产品描述 LS-1760的尺寸为60 x 17 x 8.5mm，行程范围为41mm。概观运动行程[mm]41尺寸[mm]60 x 17 x 8.5重量[g]41力特性最大推力[N]2.5最大负载[N]20最大升力[N]1定位性能最大速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供 纳米定位，压电纳米定位，纳米定位平台，压电纳米定位平台，大行程压电纳米定位平台，多轴定位平台，压电陶瓷，压电控制器，压电陶瓷控制器，压电惯性运动定位器，预装配叠堆运动平台

LS系列直线定位平台提供数十厘米的运动行程，定位分辨率优于1纳米。基于粘滑惯性驱动、交叉滚子导轨传动，使得该系列产品具有结构紧凑同时可提供高刚度和高导向精度。该系列定位平台掉电时可自锁且无能量损耗，使其可成为一劳永逸的应用的理想选择。此外，我们还提供可在高真空、超高真空和非磁性环境下工作的专用版本。LS-1780产品描述 LS-1780的尺寸为80 x 17 x 10mm，行程范围为51mm。概观运动行程[mm]51尺寸[mm]80 x 17 x 10重量[g]51力特性推力[N]2负载[N]10升力[N]1定位性能开环速度[mm/s]5开环定位分辨率[nm]1闭环速度[mm/s]1闭环定位分辨率[nm]5选配材质标配为铝底座；可选配钢座（-ST）、钛基（-TI）；均黑色阳极氧化（-BK）真空兼容 (1E-6 mbar)-HV高真空兼容 (1E-11 mbar)可根据要求定制无磁可根据要求定制* 所有技术规格参数均为近似值，由于产品持续研发，我们保留更改技术规格的权利，恕不另行通知。Nators是一家高性能纳米定位平台及解决方案的专业提供商，可满足各种对精密运动定位要求严苛的应用场合，如光学、显微、精密组装以及纳米级表征分析等，同时提供压电纳米定位台，纳米定位台，压电平移台，压电平台，大行程压电纳米定位平台，多轴纳米定位平台，压电控制器，纳米平台控制器，定位平台驱动器等精密定位产品。

压电平台XY200M沿X，Y和Z轴的行程为200 μm，最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜，掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。参数单位XYZ200M型号V-XYZM200备注-传感器SG,ECS主动轴TX,TY,TZ最大空载位移[Tx,Ty]um180Z方向最大面外位移um200Z方向的最大转动urad240XY方向的最大转动urad50电压范围V-20…150硬度N/um0.66高度(Z 轴)mm44.0尺寸(X&Y 轴)mm100*100分辨率nm1.8质量g540空载共振频率(在致动方向)Hz380响应时间ms1.32电容(每个电气接口)uF6.30机械接口(有效负载)物镜接口最大4/55 *1.36(指定)机械接口(框架)4 Ф4.5mm 孔 []84电气接口3 RG178B/U 同轴电缆

卓聚科技 压电旋转纳米位移台RF-33A 专为紧凑安装空间而设计的小型转台。其可应用与真空和低温的特性，有效的保证了更多的应用场景。360°无死角行程，及高分辨率和精调步进是该旋转台的核心竞争力。压电旋转纳米位移台RF-33A 尺寸参数外形尺寸Φ33.0*14.2mm台面平面度10 μm总重量30g材料机身铝合金/驱动PZT压电陶瓷/驱动机构铍青铜/导线屏蔽线，铜线/粗调模式行程360°无限制°回转直径33mm运动步进0.33~23m°速度上限0.419（24）rad/s（°/s）细调模式细调步进0.52μ°细调范围34m°闭环运动分辨率0.33m°负载垂直运动方向负载10N负载扭矩50N/mm操作环境闭环（开环）操作温度-20~80（-269~80）℃是否适用真空是/其它控制类型开环/闭环/运动分辨率0.52μ°驱动电压上限125V以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电旋转纳米位移台RF-33A的介绍，了解更多直接咨询：原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。

卓聚科技 压电旋转纳米位移台RF-5950A 可在-269℃的低温下进行开环使用。设备具备合适的安装尺寸。得益于更跟均衡的尺寸设计，设备具有更大的负载能力。设备支持真空环境。并且支持定制化的开孔位置，满足不同的安装场景。压电陶瓷的驱动模块使用，使设备具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。 压电旋转纳米位移台RF-5950A尺寸参数外形尺寸59.0*59.0*21.5mm台面平面度10 μm总重量190g材料机身铝合金/驱动PZT压电陶瓷/驱动机构铍青铜/导线屏蔽线，铜线/粗调模式行程360°无限制°回转直径50mm运动步进0.1~7.21m°速度上限0.132rad/s细调模式细调步进0.16μ°细调范围10.8m°闭环运动分辨率0.33m°负载垂直运动方向负载10N负载扭矩160N/mm操作环境闭环（开环）操作温度-20~80（-269~80）℃是否适用真空是/其它控制类型开环/闭环/运动分辨率0.16μ°驱动电压上限125V以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电旋转纳米位移台RF-5950A的介绍，了解更多直接咨询：原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。

产品说明结构紧凑、高刚性；零间隙，高精度柔性铰链导向系统；常温和超低温均能使用，超高真空兼容；压电陶瓷促进器具有超长使用寿命；带位移传感器，提供位置和速度闭环控制； OMTOOLS提供的OMZF系列压电旋转台，采用压电陶瓷驱动器直接驱动，具有更快的加速度和更高的带宽、零摩擦和零粘力的铰链导向，并且导向精确性优良。采用传感器的闭环系统，具有谐振频率，扫描角度小、分辨率高、线性度好。一般应用于自适应光学、光束跟踪和稳定等需要快速响应和小角度偏转的领域，多用于图象处理/稳定、激光扫描、通信、光线偏转、光束偏转/稳定等系统。 具有定位精准，位置保持性好，自带自锁，能360°无限旋转等优点。在增加位置反馈模块后，可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制，适用于常规环境以及真空环境。

重载五自由度压电平台可实现高达35KG负载下保持纳米级运动精度，可广泛应用于大孔径干涉仪、物镜稳定器、光学对准、纳米压印、显微成像/操作、表面检测、半导体加工等。技术特点：超大负载压电陶瓷精密设计 应用领域：大口径干涉仪 物镜稳像器 光学对准纳米压印 显微成像/操纵 表面检测半导体加工规格参数：型号NP-FAPC-5011A 运动轴 X，Y，Z，θX，θY传感器类型电容式位移传感器X/Y闭环行程100umZ闭环行程35umθX，θY闭环行程±150uradX/Y分辨率＜2nmY分辨率＜1nmθX，θY分辨率＜20nradX/Y/Z线性度0.03%X/Y重复定位精度＜10nmZ重复定位精度＜10nmθX，θY重复定位精度0.1urad平台噪声＜2nm最大承载能力35kgZ谐振频率@35kg＞100HzθX/θY谐振频率@35kg＞100Hz带载最高工作频率10Hz材质铝合金质量12kg工作温度0~50℃尺寸Φ500X117mm 中空Φ360mm

压电大尺寸旋转运动 Carrier.R200➡ 针对载物台“大行程高精度重负载"需求的定制化解决方案&bull 旋转运动 360 °，连续运动；&bull 内置集成光学位置传感器，闭环分辨率优于 1 μrad；&bull 最大负载 2 kg；&bull 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案；&bull 支持标准显微镜载物台安装接口；&bull 支持超高真空(.UHV)选件；压电陶瓷载物台，旋转运动，兼容高真空——详细参数：压电陶瓷载物台，旋转运动，兼容高真空——尺寸图：

“16mm 系列”— Rotator16 (闭环控制)低温 压电运动- 旋转系列最⼩ 的旋转压电台，可闭环控制Rotator16旋转压电台主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : Dia 16*15.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 100 g & 0.4 Ncm&bull ⼤ ⾏ 程 : 360 ° endless&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 10 m° ⼆ 维尺⼨ Rotator16, Speciication*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 16.× 15.6 mm2 质量10 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 / 7 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程360 ° endless11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 10 °/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载100 g14 最⼤ 扭矩0.4 Ncm传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程270 °17 传感器分辨率10 m°18 重复定位精度~ 50 m°

RSM50-1K旋转平台RSM50-1K和RSM50-2K旋转平台可快速调整角度，亦可用柔性手轮精调。中心M52x1螺纹孔可用螺纹压圈直接固定2英寸或50mm直径的光学件或与其它调整架配合使用。转台端面360° 刻划，转角定量直观。精密轴系设计，稳定舒适。可水平或垂直使用。锁紧手轮安全可靠。RSM50-2K配有游标块，使旋转角度可精确到0.033° 。■技术指标 RSM50-1K台面直径(mm)50粗调范围360° 最小刻划2° 自重(kg)0.35

低温压电陶瓷旋转位移台Rotator25.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：25 * 25 * 14.5 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大力矩：250 g & 1.5 Ncm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 10 m° 低温压电陶瓷旋转位移台，360°，25mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电陶瓷旋转位移台，360°，25mm尺寸——尺寸图： 多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环旋转运动解决方案。“低温压电旋转台” 默认⼯ 作环境为 1.4 K ~ 400 K, 2E-7 mbar ~ 大气 & max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电旋转台” 中的所有产品，均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电线性台” 和 “低温压电摇摆台”。

低温压电旋转位移台Rotator35.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：35 * 35 * 16.5 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大力矩：500 g & 2.5 Ncm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 10 m°低温压电旋转位移台，360°，35mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电旋转位移台，360°，35mm尺寸——尺寸图：多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环旋转运动解决方案。“低温压电旋转台" 默认⼯ 作环境为 1.4 K ~ 400 K, 2E-7 mbar ~ 大气 & max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电旋转台" 中的所有产品，均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电线性台" 和 “低温压电摇摆台"。

RSxx.Lab 系列旋转位移台外形紧凑，动力性能不折扣的压电旋转台&bull 超安静运动，20 kHz驱动频率；&bull 极紧凑外形设计，分为35mm和 65mm 两类；&bull 内置集成光学位置传感器；&bull 高精度空间传感分辨率0.2 urad(默认), 3 urad(.E)；&bull 最小步伐优于 3 urad；&bull 可提供多轴堆叠安装转接件；&bull 控制器兼容线性台，摇摆台；&bull 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件；RS35.Lab 兼顾尺寸和性能的选择 35mm × 35mm × 11mm RS65.Lab 手动光学位移台的替代 65mm × 65mm × 13mm 压电旋转位移台，光学传感，兼容无磁高真空——详细参数：RS35.LabRS65.Lab 压电旋转位移台，光学传感，兼容无磁高真空——尺寸图：RS35.Lab RS65.Lab 位移台系列是多场科技针对室温压电运动解决方案推出的位移台产品，其包含线性位移台LSxx.Lab系列、旋转位移台RSxx.Lab系列以及摇摆位移台GSxx.Lab系列，可堆叠使用，并可根据用户需求定制位移台。多场科技位移台控制器兼容线性位移台、旋转位移台、摇摆位移台，可按需选配。

SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子来显微 镜（FIB）及小型双尤来设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。SEM-Base VI采用独特串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有很大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。相比之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI优势:硬式装载技术SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统，从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。主动惯性振动消除SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。串行设计与压电技术独特串行设计加上高强度压电专利技术，SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了无与伦比的惯性主动振动消除，2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。完全集成式的单平台设计SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化，简单的定位与设置之后即可正常工作。NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI特点：STACIS专利技术主动惯性振动清除系统895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)隔振效率1Hz:40-70% 隔振效率经2Hi:90% 隔振效率＞3Hz:90-98%6个主动自由度安装容易，调试简单兼容所有设备内直的振动隔离系统电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W是否需要空气：非气浮系统CE与RoHS认证完全集成式的单平台设计可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运兼容SEM-lift系统SEM-Base VI 性能规格：Active degrees of freedom6Active bandwidth0.6 Hz - 100 HzPassive natural frequency12 Hz nominalEffective active resonant frequency0.5 HzIsolation at 1 Hz40% - 70%Isolation at 2 Hz90%Isolation at ≥3 Hz90-98%Internal noise0.1 nm RMSOperating load rangeStandard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)Static lift capacity12,000 lbs (5454 kg)Magnetic field emittedat maximum 4 in.(102 mm)from the platform0.02 μG broadband RMS隔离器设计，尺寸，环境和实用要求Environmental and safetyCE and RoHS compliantActive isolation elementshigh-force piezoelectric actuators that receive signalfrom a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDCPassive isolation elementsingle stiff elastomer (no compressed air supply required)Vibration sensor elementsdownward facing geophone type inertial sensorsthat measure floor vibration below the isolatorand deliver voltage proportional to the velocity of vibration motionActive feedback control loopFloor vibration is measured, processedand attenuated below the springsupporting the isolated surfaceDimensions (WxD)35.25 x 44.25 in.895 x 1124 mmHeight6.3 in. (160 mm) nominal,doesn' t change when SEM-Base is switched offOperating temperature50° - 90° F10° - 32° CStorage temperature-40° - 130° F-40° - 55° CHumidity (operating)30 - 60%System power requirements100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE compliantFloor displacement800 μin. (20 μm) below 10 Hz内置控制器规格Processor150/75 MHz dual coreSampling rate10 kHzAnalog outputs16 channelsAnalog inputs16 channelsStatus lightsingle LEDFront panel ports1x serial USB 2.01x serial Micro-USB1x Ethernet RJ-452x BNCUser interfaceFront panel LCD displayCharacter menu on HyperTerminalExtended GUI for Microsoft WindowsEmbedded Ethernet GUI性能曲线：1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)产品尺寸：现场图片：

压电位移控制器，兼容线性台/旋转台/摇摆台● 支持1路 / 6路闭环运动控制输出● 兼容多场科技低温线性台，低温摇摆台和旋转台● 驱动电压 200 V & 频率 10 kHz● 支持关键参数定制● 提供 Labview 子vi 控制程序，支持用户自主使用● USB & TCP/IP电脑远程控制压电位移控制器，兼容线性台/旋转台/摇摆台——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性、旋转、摇摆运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电台"系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电台"中的所有产品均有超高真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的“低温压电线性台"、“低温压电旋转台"和“低温压电摇摆台"。