推荐厂家
暂无
暂无
杭州某微电子公司采购了一台Hitachi s-4700 扫描电子显微镜,由于设备要装在2楼,振动环境不达标,影响成像,采购了我公司的VCM系列主动减震系统。现已安装调试完毕,Hitachi S-4700扫描电子显微镜图:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/04/201704141442_01_3097049_3.jpg对环境振动的要求如下:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/04/201704141454_01_3097049_3.jpg安装VCM主动减震系统后的振动数据如下:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/04/201704141455_01_3097049_3.jpg电子显微镜振动要求是:2HZ时振幅小于0.35μm,安装VCM主动减震系统后达到0.03μm,效果显著。下图为Hitachi S-4700安装VCM主动减震系统后正在测试振动的图片:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/04/201704141500_01_3097049_3.jpg可定制。重要说明:这套VCM主动减震系统是我公司自己生产的,也就是国产的。有需要站内信可以联系我, 王晓刚,厂家。
2016年4月,应华东师范大学老师的要求,为其提供低频振动解决方案。 http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/05/201605121442_593110_3097049_3.jpg 近年来由于半导体制作设备向纳米级发展,仪器设备对于地面振动隔离的要求等级也不断地提升,再加上城市环境的改造;使仪器设备周围的振动环境变的比较复杂,传统的隔振技术已经渐渐的不符合实际的需要。主动隔振控制技术的研发在国际先进隔振产品上逐渐应用了起来。隔振等级以及设备对振动环境的要求: VC-A 50μm VC-B 25μm VC-C 12.5μm VC-D 6μm 光学高倍显微镜所需振动环境 VC-E 3μm 电子显微镜,原子力显微镜等所需环境为了满足电子显微镜等高端电镜对振动的要求 江西连胜科技有限公司研发出了一款主动隔振系统。VCM-400 主动隔振平台是隔振条的方式作为基本的支撑;同时配以传感器、控制电路和作动器,共同组成精密主动控制隔振系统。对于微小振动,则由传感器采集平台六个自由度的振动信号输入控制器,由其作出迅速有效的信号处理,以控制作动器,使其提供与平台残余振动大小相等、方向相反的力。主动隔振平台的主要优势在于: 一、隔振效率高,大幅提升光学平台的隔振性能; 二、相比较于被动隔振,没有固有频率附近有害的振动放大及共振,使系统能始终处于稳定、优良的工作状态。 三、对于小的冲击,作动器反应时间快,使系统能快速的恢复到稳定状态。 四、解决了平台承载的同时,进一步拓宽了隔振平台的隔离振动的动态范围。
长期以来的生产实验以及我们在售后服务中碰到的引起高速离心机振动的因素很多。离心机的振动是衡量离心机性能优劣的重要标志之一。通常,减振可采取主动减振和被动减振二种方法。主动减振就是在设计中将离心机的工作转速远远避开旋转系统的临界转速(实验室用高速离心机一般均将临界转速设计为远远低于工作转速)。另外,在转子加工过程中一定要进行动平衡。被动减振就是以各种型式的减振器将可能产生的振动与机架和基础隔开。 一般在离心机设计中, 主动减振和被动减振是同时应用的对高速离心机而言,一般可在三个部位考虑减振; (1)将主轴轴承座设计成挠性减振型式; (2)主轴与电机之间以挠性联接; (3)整个驱动系统与机架挠性联接。 橡胶减振器一般即可满足高速离心机的减振要求。在减振器结构已定的情况下, 橡胶硬度越大, 系统的临界转速就越高。硬度太低的减振器, 强度不能满足要求, 容易损坏。 除以上三部位采用挠性减振型式外, 转头和主轴之间还可采用弹性接合,美国索瓦公司生产~RC- z型高速冷冻离心机的主轴和转头之间有一层硅橡胶(SiliconeRubbet),它可进一步吸收振动。各种减振措施除起到隔振作用外, 还使旋转系统的临界转速下降,从而使工作转速远远避开临界转速。这就是为什么有些高速离心机主轴很粗, 也不很长, 而整个系统仍工作在临界转速之上。 实验室用高速离心机的轴有二种。一种轴细长, 本身就有较大的挠性, 因而能自动调心。另一种轴较粗短, 轴本身的弯曲挠度很小, 但层层减振器仍使系统的工作转速在临界转速之上, 所以系统仍为挠性系统。虽然同样是挠性系统,但细长挠性轴和刚性较大的轴运转时的区别在于;细长挠性轴的自动对中主要是通过轴的弯曲来实现转子绕着它的质心旋转, 而刚性较大的轴则是通过整个旋转系统中各部件的挠性相对位移来实现自动对中的。 基于此,我们认为较细长的轴应选用弹簧钢,较短粗的轴应选用调质台金钢较为合理。 美国 2—21型、东德VACZ5型、日立20PR-52D型离心机的主轴属于前一种情况, 即为细长、挠性较大的轴, 而上海生化所的20000rpm高速离心机和北京生物物理所的高速离心机的主轴均属于第二种情况, 即为刚性较大的轴。主轴的直径和长度取决于离心机的旋转系统需要的功率和仪器的结构型式, 但主要取决于功率要求。 因为实验室用高速离心机的轴系结构是大同小异的。美国J2-3型、东德VAC2 5型离心机抽r局部真空。因而轴为典型的细长挠性轴。而上海生化所和北京生物物理所的离心机来抽真空, 消耗功率较大。因而选用粗短而剐性较大的轴。 主轴确定之后,旋转系统的桡性不足可通过关振器来弥补。所以, 孤立地讲主轴本身是刚性的还是挠性的是没有意义的。系统本身是否挠性,不仅取决于轴本身的挠性,也取决于各种减振装置的挠性和安装方式。因而,严格地说,在高速离心机中,提挠性轴和刚性轴这个概念似乎是不妥的,而应以是否挠性旋转系统来区分。