主动减震平台

Nano系列 小型主动隔振平台产品概述欧库睿因主动式隔振技术，高精度设备的*美展现！自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是： 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz) 声学振动(20 Hz) 机动设备和机器(10-500 Hz)主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。精选范例欧库睿因主动隔振系统的工作原理应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。主要特征■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的 稳定时间为30秒至60秒)。 ■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。■ 6个自由度主动隔振。■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。■ 操作简单-按钮式解决方案。■ 设计紧凑，安装简便。■ 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。■ 接电即可，无需压缩空气。■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。VarioBasic 40搭配成像椭偏仪i4 Large搭配3D轮廓仪Nano系列小型主动隔振平台专为小型和轻型应用而设计Nano 20Nano 30尺寸204x204x69mm300x400x75mm 载重0-8kg5-25kg或10-30kg

DVIA主动隔振光学平台DVIA-MB，专门为SEM和TEM显微镜设计主动隔振平台精密主动隔振光学平台DVIA特点： 具有非常优秀的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动并做补偿 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm 进口精密主动隔振光学平台 隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ,半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等 精密主动隔振光学平台DVIA技术指标: 固有频率：0.5-100Hz 自动平衡，响应时间短，平衡速度快 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm2 表面平整度：±0.1mm /600 mm2 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢 底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理 边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料 孔径： M6 (英制螺孔可选) 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，最外边孔距平台边缘37.5mm 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁 阻尼隔振方式：宽带阻尼

产品说明： 台式主动减振系统由减振器和控制器两部分组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国GEOSPACE公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 台式主动减振系统由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实施主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振器的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈和前馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 本公司可根据用户要求定制各种不同尺寸的减振平台。如果用户所需隔振的仪器或设备为不规则状，公司可代其设计工作台面。产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振平台安装（放置）在地基上，如果地基表面不平，需加地面胶。在减振平台上加适量负载。5.卸下四个锁紧板，手动摇晃隔振负载，确保减振器能正常工作。观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。6.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。7.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

产品说明： 桌式主动减振台是一个具有多项国家专利的高精密隔振平台。此平台由蜂窝内芯光学台面、隔振器以及台架所组成。隔振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由洛仑兹电机实现主动减振。平台提供六自由度、高精度、带地基反馈的隔振。相比传统的主动减振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，能在50Hz频率范围内使隔振效果达到最佳水平。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 桌式主动减振台由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环伺服控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实现主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振台的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 可根据用户要求定制各种不同尺寸、不同材质的工作台面。公司负责系统的安装与调试，三年免费维修。免费为用户培训设备维护和使用人员，随时解答用户提出的技术问题。 产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振系统置于地基上，手动推动工作平台观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。5.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。6.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

主动减震台/光学平台品牌：Herz型号：TS-150描述：TS-150主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。 工作原理 TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。 产品亮点： 六个自由度全方位隔振 研究级压电传感技术 即插即用系统 LCD实时显示（振动水平，重量分布等） 主动隔振性能突出 集成简便 专注科研，无需安装和维护 应用范围： 原子力显微镜干涉测量轮廓测量3D轮廓仪表面轮廓仪 纳米光子学 白光干涉仪 三维表面形貌分析仪 超景深显微镜 激光干涉仪 光镊应用 超高速光通信 升级选项： 工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等） 隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备) 定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔） 振动器集成（激励源） 远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台） 远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰） 技术参数：型号：TS-150/LP ※可选：TS-150/LP/TP25系统配置：完全整合主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)幅度: 20 um (垂直和水平)高度调节：自动搬运或运输期间锁定：自动锁定功能隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）系统重量 (大约)：18 kg输入电压：90 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 43-60 Hz功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃）,10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）服务场所：仅用于室内工作高度：高达2,000 m选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm选项 2 遥控盒选项 3 内置减振功能的高刚性框架 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

Halcyonics Sandwich主动减震平台原理： 主动减震和一般传统的被动减震的区别，主动减震在低频区域尤为突出，没有固有的自然低频共振频率，并且可以在更快的时间内起到减震效果。 Halcyonics Sandwich主动减震平台是一种大型的主动减震，适用于地处震动环境复杂的大型设备。与传统的被动减震相比，主动减震应用的压电陶瓷传感器，通过感应震动产生电信号，反馈力来抵消外来的震动，能更完美解决如扫描电子显微镜的震动问题。多种不同负载的设备，可以解决更多电子设备的震动问题。现今世界有很多电镜厂商适用我们的减震设备，如日立，Carl Zeiss, Jeol, Tescan等等。Halcyonics Sandwich主动减震平台主要特点： 没有固有的自然低频共振，能很好的在低频震动下工作。可用于削弱频率低于1Hz或者高于10Hz的震动。 一般交流电源，电力充足，无需定制电源。 没有固有的自然低频共振。 多种型号(不同负载与尺寸)，为您更精确的选配设备。 根据客户别的不用需求，我们有五种负载以及二种尺寸型号的设备为您服务。负载，尺寸规格都可以根据设备选择经济实惠的型号。

Halcyonics Vario 系列主动减震平台原理： 主动减震和一般传统的被动减震的区别，主动减震在低频区域尤为突出，没有固有的自然低频共振频率，并且可以在更快的时间内起到减震效果。 Halcyonics Vario 系列主动减震平台由减振单元和分开的控制器组成，中型主动减振系统。适用于中型设备，负载重量100kg到600kg。与传统的被动减震相比，主动减震采用压电陶瓷传感器，通过感应震动产生电信号，反馈力来抵消外来的震动。控制器可精确的控制减震系统的工作，能高效的为设备营造低振动的环境。Halcyonics Vario 系列主动减震平台主要特点： 由减振单元和分开的控制器组成的主动减振系统。控制单元能精确及时的控制减震单元的工作，为设备建立良好的工作环境。 Vario拥有自动调节负载功能。 正常的DC电源即可以满足工作需要，无需其他设备。 没有自然的低频共振，表征频率低于5Hz。Halcyonics Vario 系列主动减震平台主要技术指标： Vario有两个系列分别是Vario Series和Vario basic Series 适用于不同情况不同负载的设备，拥有多种型号，为您更精确的选配设备。 型号 负载 Vario Series系列：Vario_45-100，Vario_60-100，Vario_90-100 0-100kg Vario_45-360，Vario_60-360，Vario_90-360 0-360kg Vario Basic 系列：Vario_Basic_40-100，Vario_Basic_60-100，Vario_Basic_90-100 0-100kg Vario_Basic_40-300，Vario_Basic_60-300，Vario_Basic_90-300 0-300kg Vario_Basic_40-600，Vario_Basic_60-600，Vario_Basic_90-600 0-600kg Halcyonics Vario 系列主动减震平台尺寸： Vario_45 481mm× 165mm× 114mm Vario_60 600mm× 165mm× 114mm Vario_90 900mm× 165mm× 114mm Vario_Basic_40 396mm× 120mm× 84mm× 111mm Vario_Basic_60 636mm× 130mm× 84mm× 111mm Vario_Basic_90 932mm× 130mm× 84mm× 111mm

应用领域&bull 扫描探针显微技术（AFM, STM）&bull 纳米力学探针&bull 扫描电子显微技术（SEM, FE-SEM）&bull 共聚焦显微术&bull 超高真空扫描隧道显微术（UHV-STM）&bull 激光扫描显微镜&bull 液晶生产设备&bull 半导体检测仪器&bull 膜片钳 （Patch-Clamp）技术&bull 光学轮廓仪&bull 生命科学Screening stations&bull 显微硬度检测仪&bull 光学干涉仪&bull 超微量天平Halcyonics Sandwich 1000-6.0主动减震平台原理： 主动减震和一般传统的被动减震的区别，主动减震在低频区域尤为突出，没有固有的自然低频共振频率，并且可以在更快的时间内起到减震效果。 Halcyonics Sandwich主动减震平台是一种大型的主动减震，适用于地处震动环境复杂的大型设备。与传统的被动减震相比，主动减震应用的压电陶瓷传感器，通过感应震动产生电信号，反馈力来抵消外来的震动，能更完美解决如扫描电子显微镜的震动问题。多种不同负载的设备，可以解决更多电子设备的震动问题。现今世界有很多电镜厂商适用我们的减震设备，如日立，Carl Zeiss, Jeol, Tescan等等。Halcyonics Sandwich主动减震平台主要特点：没有固有的自然低频共振，能很好的在低频震动下工作。可用于削弱频率低于1Hz或者高于10Hz的震动。一般交流电源，电力充足，无需定制电源。没有固有的自然低频共振。多种型号(不同负载与尺寸)，为您更精确的选配设备。根据客户别的不用需求，我们有五种负载以及二种尺寸型号的设备为您服务。负载，尺寸规格都可以根据设备选择经济实惠的型号。北京诚驿恒仪科技有限公司为您提供Halcyonics Sandwich主动减震平台的参数、价格、型号、原理等信息，Halcyonics Sandwich主动减震平台产地为德国、品牌为Accurion，型号为Halcyonics Sandwich，价格为20万-50万RMB，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

Accurion防震台SW1000-8.0 主动减震平台 电镜防震台原理：Accurion防震台SW1000-8.0 主动减震平台 电镜防震台应用压电陶瓷传感器，通过感应震动产生电信号，反馈力来抵消外来的震动，完美解决如扫描电子显微镜的震动问题。多种不同负载的设备，可以解决更多电子设备的震动问题，如：日立，Carl Zeiss, Jeol, Tescan等等。Accurion防震台SW1000-8.0 主动减震平台 电镜防震台主要特点： 没有固有的自然低频共振，能很好的在低频震动下工作。可用于削弱频率低于1Hz或者高于10Hz的震动。一般交流电源即可，无需定制电源。没有固有的自然低频共振。多种型号(不同负载与尺寸)，为您更精确的选配设备。根据客户别的不用需求，我们有五种负载以及二种尺寸型号的设备为您服务。负载，尺寸规格都可以根据设备选择经济实惠的型号。Accurion防震台SW1000-8.0 主动减震平台 电镜防震台技术参数：技术项目技术指标备注减振机理控制技术主要由压电陶瓷加速度感受器，快速处理及电子动态作用力传感器实现。作用力方向空间6自由度的主动补偿。XYZ三轴双向减振指标＞ 5Hz=25dB(94.4%)＞10Hz=35B(98.2%)主动减振范围1-200Hz最大补偿水平350 μm/s at 9 Hz 300kg静息时间300ms从检测到震波到平静状态的时间最大主动补偿力竖直±32N 水平 ±16N载重量0-1200kgs负载调节功能手动负载调节减振台工作面尺寸800×1000mm 接近但不小于规定尺寸环境使用适应性（温湿度）10-40℃ 相对湿度0-60%

? 隔振频率低至0.7Hz，隔振性效果显著? 精密音圈电机驱动力打，灵敏、精度高? 控制模块配备先进前馈系统? 六自由度控制? 机械式组件，无需其他约束 MRT-TG系列隔振原理：我司MRT-TG型组合式主动隔振平台由多组减振器和一套控制器组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国 GEOSPACE 公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现 6 自由度减振。具有极佳的性/价比。

主动防震台-主动式减振台-隔震台-AVI-400产品适用于：原子力显微镜主动防震台、干涉测量主动式减震台、轮廓测量隔振台、3D轮廓仪主动防震台、表面轮廓仪主动式减振台、纳米光子学隔振台 、白光干涉仪隔振台、IVF实验室主动防震台、三维表面形貌分析仪主动式减振台、超景深显微镜隔震台、激光干涉仪主动防震台、光镊应用隔振台、超高速光通信主动防震台、各类大型电镜（TEM\SEM\AFM）AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点：六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):190 x 396 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 15kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动防震台-主动式减振台-隔震台-AVI-400

主动式隔震台-主动隔振台-减震台-Herz-AVI-600M/LP 大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-600M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 26kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式防振台-主动减震台-隔振台-Herz-AVI-400XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点：六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):230 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 24kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式减振台-主动防震台-隔震台-Herz-AVI-200S/LP为各类透射式电子显微镜(TEM)主动防震台、扫描式电子显微镜(SEM)主动防振台、发射式电子显微镜防震台、探针显微镜防振台、扫描隧道显微镜隔振台、原子力显微镜（AFM）减震台、横向力显微镜主动防震台。IVF实验室，白光干涉仪主动减震台，光刻机隔振台，微纳米结构和加工仪器！AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):120 x 396 x 112.5 Hmm,控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 8 kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

森泉光电代理美国TMC电子显微镜主动减振系统森泉光电为美国TMC国内授权的国内总代理 主动隔振光学平台，美国TMC用于SEM用于SEM的TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 STACIS iX SEM-Base® VI SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子来显微 镜（FIB）及小型双尤来设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。 SEM-Base VI采用独特串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有zui大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。 相比之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。 TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base® VI优势: 硬式装载技术 &bull SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统，从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。 主动惯性振动消除 &bull SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。 串行设计与压电技术 &bull 独特串行设计加上高强度压电技术，SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了无与伦比的惯性主动振动消除，2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。 完全集成式的单平台设计 &bull SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化到了ji致，简单的定位与设置之后即可正常工作。 NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响 TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base® VI特点： &bull STACIS技术 &bull 主动惯性振动清除系统 &bull 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM &bull 负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.) &bull 隔振效率1Hz:40-70% &bull 隔振效率经2Hi:90% &bull 隔振效率＞3Hz:90-98% &bull 6个主动自由度 &bull 安装容易，调试简单 &bull 兼容所有设备内直的振动隔离系统 &bull 电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W &bull 是否需要空气：非气浮系统 &bull CE与RoHS认证 &bull 完全集成式的单平台设计 &bull 可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运 &bull 兼容SEM-lift系统

主动式减振台-主动隔震台-隔振台-Herz-AVI-600S/LP广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-600S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 396 x 112.5 Hmm 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 23kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台SEM Base LPSEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装，提供卓越的性能，并且符合人体工程学优化。紧凑的设计便于安装，无需使用扫描电子显微镜（SEM）的内置调平脚以外的任何东西来提升扫描电子显微镜（SEM）柱。而且，一旦安装，扫描电镜的高度以上的地板不会增加。SEM-Base-LP采用了我们独特的STACIS压电技术，具有与我们的行业标准SEM-Base-VI相同的振动消除性能。SEM-Base-LP包括脚轮，专门设计用于与许多赛默飞世尔科技（前身为FEI）工具集成。Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool兼容的Thermo Fisher产品型号SEM Base LP与许多Thermo Fisher产品型号兼容，包括●Apreo●Aquilos●Helios Small DualBeam●Nova NanoSEM x50●Quattro S●Scios●Teneo●Verios G4●Verios 460, 460L●Versa 3D如果您的SEM/FIB未列出，请联系我们检查兼容性。TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的优势硬安装技术–SEM底座与内部SEM振动控制系统兼容，并积极缓解0.6 Hz的低频地板振动。主动惯性振动消除-扫描电镜基地使用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地板。采用压电技术的串行设计–独特的串行设计和专有的高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽，以及无与伦比的惯性主动消振，从2 Hz开始可降低90%。TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的性能1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP规格性能主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 100 Hz被动固有频率标称值为12 Hz有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%2 Hz时的隔振90%≥3 Hz时的隔振90 - 98%内部噪音0.1 nm RMSd工作负载范围标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）磁场发射4英寸（102毫米）处距离平台0.02 μG broadband RMSd设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面尺寸（宽 x 深）35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米高度标称6.3英寸（160毫米），SEM-Base关闭时不会改变工作温度50° - 90°F10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C系统电源要求100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC；600 W，符合CE标准地面位移800 μin. (20 μm) below 10 Hzd内置控制器规格处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB2.0 1个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI

TMC 主动振动与运动消除系统光学平台Stage-Base&trade 450 主动振动及运动隔离系统 为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备的极具挑战的要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。Stage-Base&trade 450是新一代的集成音圈技术的主动硬装压电陶瓷振动消除系统。只有TMC可以提供这种带有用于运动平台振动隔离的音圈电机的独特先进低频串行隔振技术。 Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的先进半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常高效的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而极大的提高工具产量。新一代主动控制系统在STACIS iX的基础上，包括TMC的STACIS技术，应用压电陶瓷驱动器和在串行结构中添加刚性的悬架来实现最 da化的振动隔离。这使得地板的隔振频率从0.6Hz开始，并且在响应阶段力时显著减小了初始偏差，这在业内是无与伦比的。由于用于快速设置调节时间来进一步增加生产量的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的先进的主动振动和运动隔离系统。特点：1、包含独特的STACIS技术2、采用可扩展的压电陶瓷致动器3、负载的位置可重复性在微米范围内4、可安装的框架设计5、6自由度6、可选的音圈电机前馈或反馈7、主动隔振从0.6赫兹开始8、快速的调节时间来响应平台运动9、没有气浮支撑10、通过USB2.0与电脑的图形用户界面GUI连接的高速数字控制器11、简单、鲁棒性强，性价比高

从1996年成立到现在，Halcyonics持续地成长和稳步扩展其产品。作为抗振解决方案的专家，Halcyonics的研究、开发、制造、销售、分销、咨询和服务都集中在德国Goettingen的总部。Halcyonics的优势之一就是对关注和满足用户的特殊要求有很好的适应性。这就是为什么Halcyonics在有着很好架构的标准产品之外还提供给客户特殊的产品。Halcyonics开发和制造主动减振的解决方案，并将其交付使用，确保了客户的成功！ 专业，快速和适应性强是Halcyonics的优势。Halcyonics可以为您在最核心的工艺上提供主动减振解决方案，这就是为什么Halcyonics的产品在科学研究上和生产中有一样多的需要！Halcyonics系统被用于许多超级微观和纳米技术领域。例如：在生物学，材料科学，半导体领域，LCD制造以及其它更多范围。 技术参数：承重： 800kg, 1200kg, 1600kg, 2000kg隔振：-35db工作范围：1.0-200Hz试验板尺寸：3.0× 1.5m主要特点：高精密主动减震系统 减振专家-Halcyonics 使命：为我们客户创建一个有力的解决方案

DVIA主动隔振光学平台DVIA-MB，专门为SEM和TEM显微镜设计主动隔振平台精密主动隔振光学平台DVIA特点： 具有非常优秀的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动并做补偿 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm 进口精密主动隔振光学平台 隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ,半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等 精密主动隔振光学平台DVIA技术指标: 固有频率：0.5-100Hz 自动平衡，响应时间短，平衡速度快 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm2 表面平整度：±0.1mm /600 mm2 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢 底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理 边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料 孔径： M6 (英制螺孔可选) 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，最外边孔距平台边缘37.5mm 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁 阻尼隔振方式：宽带阻尼

TMC主动隔振平台STACIS III概述STACIS III是一种灵活的*主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和*先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。STACIS*初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中*敏感仪器的行业标准解决方案。STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的*控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动*为敏感的仪器。主动隔振光学平台系统STACIS III的优势STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术，可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。主动隔振光学平台系统STACIS III特征●*新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面●隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％*70％的隔离率●频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％●降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行●有效隔振范围，0.6Hz到150Hz●获得众多用户的广泛认可和肯定●6向自由度硬安装设计，无需空气悬架●强大的控制系统无需定期重新校准●point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容●随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形●TMC的STACIS技术使用压电执行器主动消振●数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）●提高客户产品产量、质量、成品率。●符合RoHS标准●*宽的主动隔振带宽，*的低频隔振效果●亚赫兹的主动震动消除，*主要在0.6-6Hz频段内的隔振●可堆叠式设计●主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连●被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚*无需调谐●由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器●负载可达2000kg●市场上*的主动隔振系统性能使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试4500磅（2045千克）有效载荷规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽 x 深 x 高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90°F 10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

TMC主动隔振平台STACIS IIIcSTACIS IIIc是STACIS III*主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规STACIS III高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。STACIS IIIc优势与常规STACIS III系统相比，隔离器高度*多降低42％，而性能却没有降低。STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术 可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。性能4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)性能规格规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）14.45 x 14.26 x 6.16* in.367 x 362 x 157* mm* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.隔振器重量53磅（24千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

主动减震台-主动式隔震台-Herz-AVI-600XL/LP 适用于各类透射式电子显微镜（TEM）、扫描式电子显微镜（SEM）、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道电子显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、光学显微镜、白光干涉仪、光刻机、微纳米结构和加工仪器。超低频减震台、防震台、隔振台、隔振台、主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统。固润光电一直致力于客户测试环境的改善服务，为客户提供专业的主动式隔振隔音消磁解决方案。代理日本Herz的AVI/TS系列主动隔振台，代理美国Herzan隔音箱和振动分析仪。我们的技术工程师团队拥有十年以上的客制化主动隔振台隔音设备搭建解决方案! 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600XL/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 34kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 广泛应用于日本电子JEOL主动减震台、日本日立Hitachi主动减震台、德国Zeiss主动式隔震台、美国FEI电镜主动减震台、捷克泰思肯Tescan主动式隔震台、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜主动减震台，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动防震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。

TMC TOOL-Base主动压电地面减振光学平台TOOL-Base是一种先进的主动压电地面减振平台，用于超精密仪器和机械设备。它适用于比典型的商业扫描电子显微镜（SEM）更大或更重的仪器，而且设备有高度限制。TOOL-Base不局限于单一的配置，而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外，它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。TMC TOOL-Base主动压电地面减振平台优势硬安装技术 - TOOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具，提供一个稳定和坚硬的平台，以支持振动敏感的工具。主动惯性振动消除 - TOOL-Base采用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地面上。采用压电技术的串行设计 - du 特的串行设计和zhuan 利的高功率压电技术使得0.6Hz开始的有源带宽很宽，并且在2Hz开始的主动减振90%达到wu与lun比的惯性主动减振效果。配置灵活性 - TOOL-Base的配置可以调整，以适应刀具的底座和高度要求。

主动防振台-主动式减震台-防震台-Herz-AVI-200M/LP德国Zeiss电子显微镜主动防振台，日本电子JEOL电子显微镜主动式减震台，日本日立Hitachi电子显微镜主动减震台，美国FEI电子显微镜主动防震台，荷兰Phenom电子显微镜主动减震台，捷克Tescan泰思肯主动隔振台，IVF实验室产品介绍：AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):130 x 636 x 112.5 Hmm,控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 10kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 主动防振台-主动式减震台-HERZ

TMC 20系列主动隔振实验桌光学平台TMC的主动隔振实验台具有先进的隔振性能。通过采用新型CSP® （紧凑型亚赫兹钟摆隔离系统）进行水平减振以及PEPS-VX® 惯性阻尼器进行垂直减振，我们生产出一种性能优越的六自由度超净实验桌。这个先进的隔离技术可以与TMC光学平台或其他TMC产品结合使用，同样也可以被设计用于OEM应用以及设备。在2Hz时，垂直隔振10 dB以及水平隔振20dB（此振动频率下其他实验台会放大振动）的特性，使此主动隔振实验台对于振动环境异常严重的大部分应用都是理想的。应用包括:?原子力显微镜?扫描探针显微镜?商业干涉仪?电生理学记录?半导体检测设备基本参数隔离器固有频率（低输入）垂直方向=0.5Hz，水平方向=0.5Hz隔离器效率@2HZ垂直方向=10dB 水平方向=20dB推荐负载能力：545Kg整体材料：不锈钢平台， 黑色氧化处理中等材料框架船运重量：544kg 特性?用于距离隔离表面1微米的非接触式高度控制的pepS® II精密电子定位系统?PEPS-VX® 隔振配合peps用于三个自由度的低频隔振?桌面式配置的刚性钢框架结构?高阻尼、高刚度的2in.厚的不锈钢层压板?平台可选的螺纹孔网格Performance-Order Chart-

主动隔震台-主动式减震台-防振台-Herz提供样机试用和场地测试服务！主动隔震台，主动式减震台，超低频防振台、为各类白光干涉仪主动隔震台，光刻机主动式减震台，轮廓仪防振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-400M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 20kg负载能力:800 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常18W校正力：水平最大8N，垂直最大16N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1.7 μm/N，水平约3.4 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像：不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。提供样机试用和场地测试服务！主动隔震台，主动式减震台，超低频防振台、为各类白光干涉仪主动隔震台，光刻机主动式减震台，轮廓仪防振台，微纳米结构和加工仪器隔振台，半导体设备防震台，激光设备减震台，电子太平减震台广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。

一、产品简介瑞士Table Stable公司是主动隔振平台的领导者，低功率压电技术结合瑞士制造品质，使我们的产品独具一格！二、尺寸参数三、应用场景1.放置光学显微镜；2.放置原子力显微镜；3.放置电子显微镜；4.放置超稳腔；5.其他需要隔振的场合。四、应用示例激光稳频系统需要F-P腔非常稳定，故采用主动隔振平台隔振。如有其他尺寸需求，请联系我们。

TMC台式主动隔振平台Everstill K-400Everstill是TMC在高级地面振动控制方面的最新突破。荣获专利的Everstill K-400是一款台式主动消振平台，采用“串行式”主动架构。它与速度传感器相结合，提高了低频灵敏度，实现了出色的低频减振效果。Everstill K-400专为光学显微镜、SPM和计量仪器而设计，可将超精密仪器的建筑地面振动隔离至1 Hz以下。使用Gainmatch&trade （专利申请中），可以轻松在三种增益设置中进行选择，以在您的环境中实现最佳性能。Everstill基于TMC STACIS压电消振技术，采用主动硬安装方式，可以从0.7 Hz开始消振。Everstill具有最佳的低频性能，在精密仪器往往最敏感的1-10 Hz关键范围内仍可提供优异的性能。便携、紧凑的设计非常适合在工作台和桌面上安装。唯一的输入要求是来自标准交流电源插座的电源。美国专利号8,899,393TMC台式主动隔振平台Everstill K-400的优势卓越的低频性能：从0.7 Hz时开始隔振。特别是在1-10 Hz的关键范围内，可消除剧烈振动主动消振专利技术：适用于小巧轻便的超精密仪器主动硬安装：无空气。强大的即插即用设计先进的振动传感器技术：采用亚赫兹性能的集成检波器类型的速度传感器。比加速计具有更好的低频灵敏度。Gainmatch&trade （专利申请中）可优化性能：开关允许用户轻松选择3种增益设置。这确保了最大程度的消振性能以及不同用户环境的稳定性。性能TMC台式主动隔振平台Everstill K-400规格原理图架构：串行式主动（执行器与隔振器弹簧串联）振动传感器：检波器类型的速度传感器（电压与速度成正比）调平：自动。重现性：+/- 0.02英寸（+/- 0.5毫米）尺寸：（宽 x 长 x 高）16 x 20 x 4英寸，400 x 500 x 100毫米重量：55磅(25 kg)有效载荷能力：50 - 330磅。（23 - 150千克）隔振性能：1.0 Hz时4 - 7 dB 2.5 Hz以上时20 dB共振频率：0.6 Hz主动消振带宽：0.7 – 100 Hz被动消振带宽：高达1000 Hz设施要求：90-220 V，50/60 Hz电源DoE评级：VI运输：内部锁定限制顶板：可提供无孔、1/4-20或MG螺纹孔应用说明Everstill技术使安全的IVF显微操作成为可能应用：辅助生殖技术（ART）仪器：奥林巴斯IX71体外受精（IVF）是一种辅助生殖技术（ART）。现代设备和技术最初出现于20世纪70年代末，它们推动了更先进技术和更成功程序的发展。对体外卵母细胞的显微操作振动会对正在接受辅助生殖技术的卵母细胞和胚胎造成严重损害。先进的体外受精技术（如卵胞浆内单精子注射（ICSI）、辅助孵化（AHA））和其他生育程序（如胚胎植入前遗传病筛查（PGS）和胚胎植入前遗传学诊断（PGD））需要精确的运动和无振动的环境。位于纽约锡拉丘兹的CNY生育中心距离州际公路大约0.5英里，受建筑物振动的影响。可能的振动源也可能由各种仪器引起，例如靠近的台式培养箱和吹扫气体流量计、实验室内外的行人以及周围的建筑物振动。无论哪种来源，所有振动都可能会对ART实验室造成严重的损坏和破坏。消振设备使安全的显微操作技术在手术中得到成功应用。Everstill K-400具有出色的消振功能，可提供一个安全的显微操作环境。串行式主动振动控制技术为显微镜提供了积极的低频隔振效果和稳定的表面。安装非常简单，只需按下按钮，设备即可自行调平。在下面的ICSI视频中，环境中的振动在卵母细胞的图像中相当明显。尽管振幅较小，但是这种来自地面和实验台的振动会妨碍手术的进行。大约35秒后，Everstill K-400通电，振动减轻，手术继续。在为显微镜安装了K-400后，诊所现在能够安全、高效地完成所有与显微操作技术相关的手术。应用照片订购表Everstill&trade 订购表目录编号孔图案尺寸（宽 x 长 x 高）K-400无孔16 x 20 x 3英寸400 x 500 x 100 mmK-400E1英寸中心的1/4 - 20K400M25毫米中心的M6配件订购表目录编号描述尺寸（宽 x 长 x 高）29-43240-0146磅（21千克）载荷板16 x 20 x 0.5in400 x 500 x 12 mm29-43245-01底板16 x 20 x 0.03 in400 x 500 x 0.8 mm1163K-7512S适用于Everstill K系列的CleanBench29.5 x 47.25 x 29.5 in750 x 1200 x 750 mm1163K-7590S适用于Everstill K系列的CleanBench29.5 x 35.4 x 29.5 in750 x 900 x 750 mm83-501多用途隔音罩 32 x 36 x 64 in813 x 914 x 1626 mm

TMC主动气浮隔振光学平台混合压电陶瓷/空气主动振动消除系统 TMC新产品STACIS® IX LaserTable-Base，是STACIS ® IX系列压电陶瓷主动振动消除系统的zui新产品。LaserTable-Base对现有光学平台的振动隔离技术进行了极大改善。通常，光学平台是由低频气动隔振系统支撑。虽然对于高频的隔离非常有效，但是实际上被动系统在1-3HZ范围内会放大振动。 TMC的STACIS技术通过将压电陶瓷制动器和惯性振动传感器结合的技术来消除而不是放大低频振动，成功地克服了这些局限。LaserTable-Base综合了气浮和STACIS这两种技术组成一个完整的振动消除系统。由于两种隔离系统的串联，使此技术的振动隔离范围从非常低的频率到前所未有的高频。由于两个串联隔离系统的综合作用，结果是在非常低的频率下消除振动和前所未有的高频隔离水平。 STACIS LaserTable-Base顶部的气浮部分是模块化的，可替换。它可以是TMC的Gimbal Piston&trade 气浮隔振支腿，或者MaxDamp® 气浮隔离支腿，甚至可以是刚性不隔振的支腿，这取决于应用时的需求。特点： 1、包含STACIS技术 2、主动内部振动消除系统 3、从低于1Hz开始隔离振动 4、6自由度 5、为达到zui大振动消除，串联2个隔离系统 6、包含MaxDamp空气隔离技术 7、简单，鲁棒性强，性价比高 8、安装简单，只需要很小的调整 9、桌子下有可用于放置设备的可选货架 10、包含TMC的DC-2000数字控制器性能：将低频、无源 MaxDamp® 空气隔离器与压电主动振动消除系统串联组合会产生一条整体传输率曲线，该曲线是两条单独传输率曲线的总和。由此产生的隔振性能非常显着，以至于在某些频率范围内，我们受到测量仪器本底噪声的限制。并且无法测量和展示完整的隔离性能。也就是说，在 10-12 Hz 以上，组合系统的实际性能预计会超过所示，因为组合隔离在理论上是两个子系统提供的隔离的总和。2,000 lbs (907 kg) 有效载荷在 VC-A（2,000 μin./s，50 μm/s）下通过模拟振动测试应用照片：注意：具体价格请咨询销售经理，网上标价不作为实际出售价格。如果想了解更多产品信息以及价格货期，可致电我司咨询，青岛森泉光电有限公司欢迎您的咨询。我司提供优质可靠的产品和完善的售后服务，为您提供光电帮助。