产品详情俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000准分子激光器: CL7000, 俄罗斯 Optosystem 准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。 CL7000系列技术参数:型号ArFKrFXeCl波长193 nm248 nm308 nm管材料陶瓷预电离火花标准脉冲能量250 mJ400 mJ300 mJ平均功率CL 7020CL7050CL 71005 W10 W20 W8 W20 W35 W6 W15 W25 W最大重复频率CL 7020CL 7050CL 710020 Hz50 Hz100 Hz脉宽17 ns20 ns20 ns脉冲稳定度sigma 2%光斑大小6 x 20 mm6 x 21 mm7 x 22 mm光束发散角1.5 x 4.5 mrad时间抖动 2 ns尺寸, (重量)1350L x 375W x 710H мм (170 kg)冷却CL 7020CL 7050CL 7100风冷水冷(水流 1L/min)水冷(水流 3L/min)功率CL 7020CL 7050CL 7100220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA气体1 premix cylinder控制接口RS 232, DOS/Windows 可选功能: 1 、1000Kz型号可选 2、窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1 3、 F2,157nm型号可选 特点: 1、陶瓷放电激光腔设计,长寿命 2、激光腔,电子系统一体化设计 3、功率稳定运行模式 4、预混合供气,使用简单 5、计算机控制 应用 : 1、准分子激光脉冲沉积镀膜 2、准分子激光光栅光纤(FBG)刻写 3、准分子激光材料加工,微纳制造,光刻 准分子激光激光沉积镀膜(PLD)系统示意图 准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图
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