对于扫描电镜的真空系统,涡轮分子泵与油扩散泵有什么优缺点,现在想配钨灯丝扫描电镜与能谱,不知道选哪种真空系统较好,是用在企业里。
GeneChip System ([url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]gc[/url]S) 3000Dx v.2基因[b][url=http://hplc17.com]芯片扫描系统[/url][/b]是最可靠的临床研究平台,也是唯一被FDA批准/ SFDA,试管和CE标志芯片系统,适用于临床检测基于RNA和DNA。 [url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]gc[/url]S 3000 dx v . 2是扩大Affymetrix临床的基础装备,装备还包括FDA批准,试管和CE标志Affymetrix基因分析试剂和人类基因组U133 v2.0芯片,即利用人类基因组U133 v2.0 cGMP制造芯片的版本。 Affymetrix的临床工具包提供了一种进入市场的有效方法,使测试开发人员能够节省时间、金钱和监管风险。 Affymetrix的基因芯片技术已经得到了成千上万的研究人员的信任,在芯片应用中产生了高度可重复的结果。[img=GeneChip® System ([url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]gc[/url]S) 3000Dx v.2基因芯片扫描系统1]http://17wab.cn/uploads/allimg/180726/1-1PH6102HW11.jpg[/img] [url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]gc[/url]S 3000Dx v.2 基因[b][url=http://hplc17.com]芯片扫描系统[/url][/b]适用于: [b]科研[/b] 自信地分析或研究宝贵的人类样品 [b]诊断检测的开发[/b] Affymetrix合作伙伴已经开发并商业化了一些获得FDA批准的体外诊断和符合CE-IVD的诊断检测 [b]常规检测[/b] 一个系统,多种应用[img=GeneChip® System ([url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]gc[/url]S) 3000Dx v.2基因芯片扫描系统2]http://17wab.cn/uploads/allimg/180726/1-1PH6102JYW.jpg[/img] [b]功能/应用范围:[/b] 1.基因功能研究 2.基因表达谱分析、基因诊断、序列分析 3.药物筛选与新药开发 4.基因多态位点及基因突变检测 5.其他方面的应用,如环境保护、农业和蓄牧业等领域的应用。 [b]主要附件:[/b] 专用芯片杂交箱640 全自动洗涤工作站 电脑 [b]主要技术指标:[/b] 扫描分辨率2.5微米,存储16bit图象,固态绿色激光器,检测波长570纳米。 [b]技术特色:[/b] 一、 1.强大的类比性 2.巨大的信息产出率 3.高度敏感性和专一性 4.高度重复性 5.微型化、自动化 6.哺育新的实验方法。 二、全基因组表达谱,基因组SNP检测。
扫描电镜系统(包括X 射线能谱仪)主要用于金属样品的微观形貌观察和微区成分分析,由于其具有分辨率(3nm)高、可从几倍连续放大到数十万倍、景深大、制样简单,可进行微区成分分析等特点,在金属材料领域进行的材料及工艺实验研究中,扫描电镜系统在显微断口观察与分析、显微组织观察与分析、疑难组织鉴别、微区成分分析、缺陷鉴定、相分析和失效分析等方面发挥了其它检测手段无法替代的关键性作用.
扫描电镜系统(包括X 射线能谱仪)主要用于金属样品的微观形貌观察和微区成分分析,由于其具有分辨率(3nm)高、可从几倍连续放大到数十万倍、景深大、制样简单,可进行微区成分分析等特点,在金属材料领域进行的材料及工艺实验研究中,扫描电镜系统在显微断口观察与分析、显微组织观察与分析、疑难组织鉴别、微区成分分析、缺陷鉴定、相分析和失效分析等方面发挥了其它检测手段无法替代的关键性作用.
[color=#000000]创新时代,变幻无穷!SmartScan VR800智能蓝光扫描系统,是首款配备自动变焦镜头的结构光3D扫描仪,拥有智能分辨率、智能变焦和智能抓拍三大创新功能。它专为提高工作效率而设计,通过简单的软件设置,即可完成扫描分辨率和测量范围的快速调整,为用户实现精确、高效的扫描测量提供了前所未有的创新体验![/color][align=center][img=,600,212]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/74b34626-ce3e-4317-a935-2508ecaa58da.jpg[/img][/align][color=#0070c0][b]全新的3D扫描方式[/b][/color][align=center][img=,600,443]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/072b615f-af9e-4630-bfb3-fae80ec4dca0.jpg[/img][/align][color=#000000]SmartScan VR800具有开创性的全新功能,可以通过软件设置调整扫描分辨率和测量范围。这些功能可应用于各种检测工作流程,能够大幅提升光学3D扫描系统检测的效率。[/color][color=#0070c0][b]随时随地,自定焦测量[/b][/color][color=#000000][/color][align=center][img=,600,444]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/c1915315-3d3c-4d9a-afe4-15a29ddedd6b.jpg[/img][/align][color=#000000]SmartScan VR800配备四个独立的高清相机和变焦投影单元,具有独特的可变分辨率和可变测量范围功能。只需几秒钟,用户就能在检测软件中快速完成对扫描细节和测量范围的调整,且无需更换光学器件或进行重新校准。[/color][color=#0070c0][b]易于使用,极简工作流程[/b][/color][color=#000000][/color][align=center][img=,600,443]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/8d4fb6dc-0528-4dd1-937e-2aad35341141.jpg[/img][/align][color=#000000]VR800的多相机配置能够简化3D扫描仪的测量操作,为开创新型高效工作流程提供了前所未有的机会。该系统在一个项目中可以使用不同的扫描分辨率,并且能够近乎同步完成对其切换,从而有效提升数据采集、处理和分析的速度。[/color][color=#0070c0][b]精度聚焦,关键数据一览无余[/b][/color][align=center][img=,600,400]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/864b8804-7fd1-467d-9aff-51372cdb7181.jpg[/img][/align][color=#000000]随着检测设备的日益强大,检测数据的处理由于需要大量的计算资源,也变得越来越具有挑战性。用户使用VR800可以准确定义检测对象中的重要部分,并只对这些区域进行高分辨率扫描。由于图像在基准对齐情况下同步采集的,VR800通过设置可以避免扫描重叠区域。[/color][color=#0070c0][b]三大创新功能,让测量更加智能[/b][/color][b][color=#000000]智能分辨率[/color][/b][align=center][img=,600,334]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/e10eeb88-b33c-4656-b352-d974b53d6b5b.jpg[/img][/align][color=#000000]VR800的智能分辨率功能允许用户在保持恒定测量范围的同时改变分辨率。用户可在软件中切换不同设置,并将数据合并到同一个测量项目中。这一功能方便用户根据工件测量的具体需要,进行分辨率的调整。[/color][b][color=#000000]智能变焦[/color][/b][align=center][img=,600,277]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/69581e92-7a65-40bc-b3dc-8b87a7cf3b4e.jpg[/img][/align][color=#000000]VR800的智能变焦功能允许用户快速调整扫描仪的测量范围和分辨率,共有6种测量范围选项,其中最大的测量长度800 毫米,最小160 毫米。用户可根据测量工件的实际情况,按需选择合适的选项。[/color][b][color=#000000]智能抓拍[/color][/b][align=center][img=,600,189]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/2725229e-27ac-48ca-bdb8-b99407fca602.jpg[/img][/align][color=#000000]VR800的智能抓拍功能支持多相机以不同的方式投入使用,全部四个数字相机在LED闪光灯的支持下,可以同时获取定位信息和扫描数据。这种组合方式能够大大减少所需目标点的数量,增大目标测量范围,同时加快整个扫描工作流程。[/color][align=center][img=,600,422]https://img1.17img.cn/17img/images/202404/uepic/66e7e5c0-78c0-4968-96b3-105a2d47f73b.jpg[/img][/align][color=#000000]质量为先,创新是新时代制造行业的核心,SmartScan VR800突破性的产品功能和创新设计理念,开创了结构光扫描技术发展的新篇章,不仅实现了多项行业先进技术的首创,还首次将变焦镜头的使用提升到了全新的技术平台。不断实现技术革新突破,真正用技术创新催生行业客户发展新质生产力,海克斯康始终同行![/color][来源:海克斯康智能制造][align=right][/align]
1500h),而六硼化镧只有1000h的寿命;http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/10/2015122118315881_01_2913526_3.gif5. 使用压力使用压力即为灯丝正常工作需要的真空度,六硼化镧和六硼化铈灯丝需要的真空度 (10-5 Pa) 比钨灯丝 (10-3 Pa) 更高,因此他们对真空系统的要求也会更高;6. 寿命寿命即为灯丝的正常使用时间,由于钨灯丝的寿命只有 50-100 h,因此使用钨灯丝作为电子源的电镜需要经常更换灯丝,而使用六硼化镧和六硼化铈灯丝的电镜则不需要;目前,CeB6/Lab6 的性能较钨灯丝都有压倒性的优势,但是设计制造 CeB6/Lab6 灯丝的台式扫描电镜是有技术难度的,因为这类灯丝对真空度的要求高,真空度即前面所说的使用压力。因此在设计制造的时候一定要维持灯丝周围的高真空度,这对电镜的泵也提出了高要求。同时,为了实现操作简单,不喷金看不导电样品,在台式电镜中都会采用样品仓低真空设计,这也对维持 CeB6/Lab6 周围的高真空度提出了挑战。如何在电镜中的样品仓和灯丝仓实现两种真空系统?在台式扫描电镜这样狭小的空间内,完美的实现样品仓低真空,灯丝仓高真空是有难度的。这也是市面上钨灯丝台式扫描电镜种类多,CeB6/Lab6 台式扫描电镜种类少的原因了。
[font=宋体]到人类对自然的探索永无止境,为了了解和研究自然,人类最初通过肉眼来观察自然中的各种现象。但是人眼的观察能力有限,在正常情况下,人眼可分辨的最小尺寸约为[/font]0.2 mm[font=宋体]。为了把人眼的观察范围拓展到微观领域,就必须借助显微镜,将微观形貌放大,来满足人眼观察的需要。[/font][font=宋体]不管哪种类型的显微镜,其工作原理都相似,一束极细的照明光束[/font]([font=宋体]电子束[/font])[font=宋体]以一定的方式照射到样品上,照明光束[/font]([font=宋体]电子束[/font])[font=宋体]和样品间的相互作用产生带有样品信息的信号,将这些信号收集、放大和成像,形成样品的放大图像,最后被记录介质记录。[/font][font=宋体]扫描电镜以聚焦电子束为照明源,聚焦电子束以周期性方式逐点逐行扫描样品,产生带有样品信息的各种信号,包括背散射电子、二次电子和特征[/font]X[font=宋体]射线。信号接收装置收集、放大和处理这些信号,从而获得微区放大图像和微区元素组分信息。[/font][align=left][font=宋体]如何使用扫描电镜?如何处理电镜获得的微观图像?[/font][/align][align=center][font=宋体][img=,225,304]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404231030103572_8293_1603833_3.png!w225x304.jpg[/img]《场发射扫描电镜的理论与实践》[/font][/align][align=center][font=宋体]作者:李永良,徐驰,李文雄,张月明 著[/font][/align][align=center][font=宋体]出版社:人民邮电出版社[/font][/align][align=center][font=宋体]出版时间:2024-4[/font][/align][align=center][font=宋体]书号:9787115631954[/font][/align][align=left][font=宋体]内容简介[/font][/align][align=left][font=宋体] [/font][/align][align=left][font=宋体]场发射扫描电镜的出现,标志若扫描电镜进入一个崭新的时代,扫描电镜技术取得了巨大进步。新型电子枪、浸没式物镜、穿镜二次电子探测器、模拟背散射、E×B和电子束减速等新技术的应用,极大地提高了扫描电镜的性能,场发射扫描电镜已经成为各类分析测试实验室必备的仪器。[/font][/align][align=left][font=宋体]本书系统地论述了扫描电镜基础理论、扫描电镜的结构和成像原理,通过实操案例详细地介绍了扫描电镜的调试和参数选择,重点介绍了样品制备及场发射扫描电镜在生物、环境和材料领域中的应用。 本书适合材料、化学、生物、微电子、半导体和环境等领域的科研院所和高校相关专业师生阅读,可为相关行业研究人员和从业者提供有益参考。 [/font][/align][align=left][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]本书特点[/align][align=left][/align][align=left]1. [font=宋体]理论研究[/font]+[font=宋体]实践操作的强大作者团队[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left][font=宋体]本书作者[/font][font=宋体]李永良在北京师范大学分析测试中心电镜室从事电子显微镜的教学和测试工作30余年,具有丰富的扫描电镜操作和分析经验,能够深入了解初学者、进阶者在不同使用阶段面临的具体问题,同时有多位具有丰富扫描电镜使用和管理经验的从业者共同编著,提供专业的指导和帮助。[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left] [/align][align=left][/align][align=left]2. [font=宋体]从电镜结构到成像原理,帮助读者全面了解场发射扫描电镜[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left][font=宋体]本书系统论述了场发射扫描电镜的理论与实践。在前两个章节分别介绍了扫描电镜基础理论、结构和成像原理。[/font]=[font=宋体],能够帮助刚接触到扫描电镜的实验室新手、行业新入门者建立牢固的基础,应对更多更复杂的实验室使用场景。[/font][/align][align=left][/align][align=left]3. [font=宋体]从参数选择到样品制备再到问题图像处理,从实践角度指导操作[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]仪器的调试和工作参数对扫描电镜的最终图像影响很大,本书通过实操案例介绍了扫描电镜的调试过程及不同工作参数对图像的影响,总结了包括粉末样品、截面样品等一些常见样品的制备方法,结合具体图像分析了图像散焦、辐照损伤等问题图像处理的办法。[/align][align=left][/align][align=left]4. [font=宋体]具体案例出发,展示扫描电镜在多个领域的具体应用[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left][font=宋体]本书分别选择扫描电镜在植物花粉、纳米材料、[/font]PM?s[font=宋体]颗粒物、建筑材料、沉积膜、磁性粉末和纳米催化剂等方面的应用,列举了大量的实例和图片,希望为帮助多个学科领域的读者正确理解扫描电镜。[/font][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]推荐读者[/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left] [/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]本书的读者包括开设相关课程的部分职业学校的学生、生化环材物理等学科的大学生、研究生以及电镜操作人员。 [/align][align=left]扫描电镜已经普及,在国内部分高职院校开设了培训课程,很多大学也开设了扫描电镜的选修课或者培训课程,本书可以作为参考书,也适合于企业、研究所的电镜培训班使用。[/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left]作者简介[/align][align=left][/align][align=left][font=宋体]李永良 北京师范大学分析测试中心副研究员,1988年入职北京师范大学分析测试中心电镜室,从事电子显微镜的教学和测试工作30余年,在国内外期刊上合作发表论文超150篇,其中第一作者论文38篇。 徐驰 北京师范大学核科学与技术学院讲师、硕士生导师,兼任北京师范大学分析测试中心透射电子显微镜主管工程师。中国核学会射线束技术分会理事,主要研究方向为金属材料辐照损伤、极端环境材料腐蚀机理,以及[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/5p][color=#3333ff]液相[/color]等离子体氧化技术应用。 李文雄 2005年进入电子显微镜行业,从业以来,努力将碎片化的销售和管理经验进行系统化梳理。中国人民大学商学院硕士,中国人民大学北京校友会副秘书长,中国人民大学西南校友会副会长。 张月明 2017年毕业于钢铁研究总院,师从李卫院士,研究领域为稀土永磁材料。数年来一直致力于电子显微镜的推广工作,对电子显微镜在金属及磁性材料领域的应用有独到见解,现就职于日立科学仪器(北京)有限公司。 [/font][/align][align=left][font=宋体][/font][/align][align=left][font=宋体][img=,690,1190]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/04/202404231038403967_1874_1603833_3.jpg!w690x1190.jpg[/img][/font][/align][align=left][/align][align=left][/align][font=宋体][/font][align=left] [/align]
2016国产磁测量好仪器系列之五:磁场测量扫描成像系统F-30原创:李响、杨文振、薜立强、冀石磊、郑文京 工程师,北京翠海佳诚磁电科技有限责任公司推荐:陆俊 工程师,中科院物理所磁学室2016年10月28日一句话推荐理由:国产半导体器件的骄傲之作应用在中强磁场测量上的好仪器。一、引言 磁场无形,但又无处不在,无时无刻不在直接或间接的影响着我们的生活,比如地磁、磁卡、电机、变压充电器、电磁炉、微波炉、手机、磁盘、钞票、耳麦、磁悬浮列车、核磁共振成像仪这些让我们每天都在和各种各样的磁场打交道,然而对于磁场如何衡量,如何产生如何测量恐怕较少有人去关注,简单概括几点:一是磁场的单位,常用的单位是奥斯特,国际单位安每米比较小(1 Oe ~ 79.6 A/m),注意严格来讲不要将单位表达成高斯或特斯拉这两个磁感应强度单位,因为磁场强度和磁感应强度概念上完全不同,尽管二者可根据(经常以空气或真空的)磁导率相互变换,即1奥斯特磁场在真空或空气中诱导的磁感应强度为1高斯或万分之一特斯拉。二是磁场的产生,首先地球是跟我们关系最密切的磁场源,地表磁场大约为0.5奥斯特,随纬度升高有缓慢增强趋势;其次是为了产生变化磁场,可以通过永磁体机械组装的方式,也可以使用线圈中通过电流的方式,根据线圈材料或结构的不同可以形成不同类型的通电线圈磁场源,比如超导线圈在不消耗能量情况下维持100kOe以上的磁场,高强度导电材料及结构制成的1MOe以上的脉冲强磁场;还有一种和磁场产生相反,要尽可能减少磁场,以防止地球磁场或其他干扰磁场对精密传感器造成不利影响,破坏极端条件探索、精密标定测量等任务,这时要用到消磁措施,可以使用主动电流对消与被动屏蔽两种方法,综合利用消磁技术,我们可以获得比地磁场弱10个数量级的洁净磁场环境。三是磁场的测量,相比产生技术方法,磁场测量要复杂得多,其类型有电磁感应、霍尔、磁阻、磁电、磁光、磁致伸缩、磁共振及非线性磁效应等基本原理,其中值得一提的几个包括最通用且测量范围最广的感应线圈磁探测器、前沿科学探索中常用的超导量子干涉仪(SQUID)、地磁或空间磁场探测中常用的磁通门或原子光泵磁力仪、智能手机里植入的各向异性磁阻AMR芯片、磁场计量常用的核磁共振磁力仪以及跟电磁相关的生产及科研任务中常见的中等强度磁场(地磁场上下四个数量级之间)测量上最常见最常用的霍尔磁场计。以上关于磁场的量级、产生与测量方法比较汇总于图1,在中等磁场强度测量应用最广泛的为霍尔传感器,虽然它没有核磁共振磁力仪ppm级的高精度,但它同时具备足够的精密度(通常约千分之一)、高空间分辨、高线性度、单一传感器宽测量范围、成本又相对较低等明显优势,因而市面上高斯计、特斯拉计等中等强度磁场测量仪绝大多数基于霍尔传感器,本文介绍的磁测量产品也基于霍尔磁场计,在前述磁相关的器件及应用产品的质量控制、监护与升级过程中扮演着不可缺少的角色。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/11/201611101944_616260_0_3.png图1 磁场的量级、不同产生与测量方法比较概览图二、背景中科院半导体所从20世纪80年代始研究高迁移率砷化镓(GaAs)霍尔器件,后来经过两代人的薪火传承克服半导体材料制备、内置温度补偿器件设计与测量数字化采样及软件优化上的技术难题逐渐发展成熟,最终落地北京翠海公司,形成CH-1800,CH3600等被用户认可的高斯计产品。近些年为了配合电磁制造业质量提升的业界需求,为电机磁体、核磁共振磁体空间均匀性、多级磁体分布提供系统的测量方案,翠海公司在高斯计的基础上增加无磁运动机构和软件集成,开发出F-30磁场测量扫描成像仪,照片如图2所示。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/11/201611101944_616259_0_3.jpg图2 F-30 型磁场测量扫描成像设备照片三、简介F-30由上位机(装有控制软件)、高精度高斯计(一维或者三维)、与高斯计搭配的探头、多维电控位移台以及位移台的控制器组成,如图3所示。简单来说可以分为两个部分,一部分只是用来采集数据,另一部分只是位移,两个部分搭配起来就组成了这个位移采集系统。位移模块由多维电控位移台和位移台控制器组成,通过操作上位机软件给控制器下命令,控制器就根据命令带动电控位移台各个轴运动,这个电控位移台的参数(台面大小、运动轴长度、运动方式、多少维度)用户可定制,即实现在允许范围内的各个角度、各种形状的扫描。 数据采集模块由高精度高斯计和与高斯计配套的探头组成,电控位移台的轴上有固定的探头夹持位置,采集数据时将探头放在夹持位置上,探头测量的数据实时上传到高斯计上,而高斯计与上位机软件通信连接,上位机则根据需要选择是否记录当前位置的数据。通过上位机软件控制位移台控制器和高斯计,可以将位移台上某个位置与高斯计读到的数据值相关联,一维高斯计读到的就是运动到的点对应的某个方向的数据值,三维高斯计则是一个点上 X 方向的值、Y 方向的值、Z 方向的值、此点上的温度(根据需要探头和高斯计中可有温度补偿功能)及三轴中两两矢量和、总矢量和的数值大小和方向夹角,扫描的数据可以导出保存在 EXCEl 中,根据位置和数据值可由软件绘制出各种需要的示意图:二维标准图、二维颠倒图、二维雷达图、三维曲线图、三维网状图、三维立体图、矢量图、圆柱展开图及多条曲线或多个立体图放在同一张图中进行对照比较。软件中还对常见的几种形状(空间磁场分布、矩形图、磁环、同心圆等)的扫描进行了集成化,只需设置几个参数便可以自动进行扫描,自由度高,精准度高,无需看管。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/11/201611101944_616261_0_3.png图3 F-30型磁场测量扫描成像仪组成框图F-30根据不同的测量件需求可以定制,磁场测量部件的主要技术指标如表1,传感器照片如图4,其测量方向、维度以及尺寸都可以根据需要定制。 关于磁场扫描成像时间,(1)常规扫描:每点扫描时间可设置,一般为保证数据的稳定性,在每点的停留时间为1~2s,总时间由测试工件尺寸和扫描步长决定;(2)快速扫描模式:在位移台运动过程中不做停留,通过高速数据采集获得每点磁场值每点测量可小于0.1s。表1: F-30磁场测量部件主要指标http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2016/11/201611101944_616269_0_3.jpg运动部件有三个平移与两个旋转自由度,大致示意图如图5,典型测试场景及系统软件照片如图6所示,运动部件指标表2。表2 F-30运动学指标列表http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images
扫描电镜的高压供电系统的重要性及组成部件一起聊聊吧
我在做一个课题,将糖类用琼脂糖凝胶电泳分离后,染色,再定量。现在的问题是到底用凝胶成像系统准确些,还是用薄层扫描仪效果好些?看国外的文献,用的是一种叫做“光密度计”的设备,国内难以找到。我的老板曾去相关实验室访问,他说对方用的是薄层扫描仪。我在想是否凝胶成像系统会更好些。不知各位高人有无好的建议给我?
[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=100751]图片教程系统之:扫描隧道显微镜[/url]
[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=100750]图片教程系统之:扫描电子显微镜[/url]
本人使用TU1901,上次在200~300nm处出现噪音大的现象已经得到解决,是比色皿的问题(用错了,用成玻璃的了,应该都是石英的,当时不知道怎样去判断是石英还是玻璃),在此对大家表示感谢! 感谢之余,本人又有一事相求:本人使用的TU1901在开机自检时,第三项“扫描电机初始化”出现错误字样,使得系统初始化失败,将软件重新安装后,仍然出现此种现象,不知何故?望各位大侠不吝赐教,本人现在将紫外开着,在线等待您的回答! 谢谢!
[b][font=宋体][color=black]【序号】:1[/color][/font][font='微软雅黑',sans-serif][color=black][/color][/font]【作者】:[b]单峡[/b][/b][font=&]【题名】:[b][b]共聚焦高速扫描与成像系统研究[/b][/b][/font][font=&]【期刊】:cnki[/font][b][color=#545454]【链接]: [url=https://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CDFD&dbname=CDFDLAST2016&filename=1015712320.nh&uniplatform=NZKPT&v=g8fPyqfSNBIZFLi6JV5IjwK9gKCSBCEvUuN3dTxvKpYlXKEQlXfSHL3OoehSZY07]共聚焦高速扫描与成像系统研究 - 中国知网 (cnki.net)[/url][/color][/b]
[url=https://www.instrument.com.cn/zt/DJSPZJ][img=,610,90]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206171750180931_1042_5531796_3.gif!w610x90.jpg[/img][/url]【电镜视频大赛】扫描电镜+拉曼光谱一体化系统 TESCAN RISE在二维材料的应用——TESCAN中国[font=-apple-system, BlinkMacSystemFont, &][size=15px][color=#18191c]TESCAN RISE 电镜-拉曼一体化系统是一款革命性的产品,是世界上第一台真正实用化的扫描电镜-拉曼光谱仪联用系统。扫描电子显微镜能表征微观样品表面形貌、成分、结构信息,并能快速成像,是一个很好的微观分析平台,而拉曼成像是用于获得样品化学成分和分子空间分布的一种广为人知的光谱技术。以往两者联用的共轴方案不能保证分析位置的重合,并且存在相互干扰。而 TESCAN 推出的平行轴联用方案避免了这些问题,充分发挥两者的分析优势,实现了真正的联用。[/color][/size][/font]
[align=center][size=18px]基于气氛保护的扫描电镜样品[/size][size=18px]盒系统[/size][size=18px]研制及应用[/size][/align][font='宋体'][color=#000000]扫描电镜是一种用于材料微观结构和成分分析的常用仪器设备。一些化学或物理性质活泼的材料,如电池研究领域的活泼金属、卤素电解质等,易与空气中的氧气或水发生反应,需配置专用的真空传输装置以全程隔绝空气进入扫描电镜进行表征分析。现已商品化的真空传输装置存在价格高昂、电磁干扰、[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]载样量[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]低、电镜内移动安全性等问题。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]本文介绍了[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]一种[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]自主研发的[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]便捷实用的气氛保护样品盒系统[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],并[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]通过该系统[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]提供了可靠的[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]扫描电镜表征数据[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]支撑[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]服务[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]了电池研究的[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]相关[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]成果[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]、空气敏感材料扫描电镜测试的现状[/color][/font][align=left][font='宋体'][color=#000000]扫描电子显微镜是一种用于材料样品[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]微观结构[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]和成分分析的常用仪器设备。通过二次电子成像实现[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]微观结构[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]观察,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]利用[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]激发出[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]的[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]特征[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]X[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]射线进行样品成分分析。由于电子传播需要一定的真空度,且二次电子穿透能力弱,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]一般仅能在固体表面[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]0[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]nm[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]以内,因此[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]扫描电子显微镜样品测试是需要在一定真空条件下,并且样品无任何[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]遮蔽[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]下进行。[/color][/font][/align][align=left][font='宋体'][color=#000000]为了更好地针对空气敏感的样品的实现测试表征,在扫描电镜上[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]需要[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]加装[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]通过特殊的样品转移和传输装置以实现样品与空气隔绝[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]并将样品送入扫描电镜样品仓中。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]目前市场上针对此类需求设计和制造有相应的产品。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]从[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]调研来看主要有两类:一类为需要加装交换仓的真空转移传输装置。在扫描电镜上占用法兰接口加装独立交换仓,加装真空泵,再通过转移盒与交换仓对接,实现样品进入扫描电镜。因此其装置复杂,且转移[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒不能[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]通用。另一类为直接放入电镜中的带有驱动装置的转移盒。此类[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]相对于第一类减少了交换仓和真空泵,降低了价格。其在电镜内通过盒体内的电驱动或者真空压力驱动装置将盒体打开,因此承载样品的有效区域仅占盒体的小部分,样品[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒整体[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]体积较大,在电镜仓内移动易与探头等发生碰撞,且电驱动引入的电磁干扰,对扫描电镜分辨率造成影响。[/color][/font][/align][align=left][font='宋体'][color=#000000]针对以上两类产品的不足,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]本文[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]介绍了[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]一[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]种[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]便捷实用的气氛保护样品[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒系统[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]的设计和搭建,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]通过活泼金属[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]钠[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]和电池研究中的实际样品证实了该套系统的有效性,并介绍了其支撑服务的已发表的相关研究成果。[/color][/font][/align][font='宋体'][color=#000000]2[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]、[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]气氛[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]保护样品盒系统设计[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]为了实现样品从手套箱中隔绝空气进入扫描电镜,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]利用扫描电镜[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]([/color][/font][font='宋体'][color=#000000]Z[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]EISS[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]Gemini[/color][/font][font='宋体'][color=#000000] 500[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]配置的[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]交换[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]仓设计[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]了一[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]种[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]气氛[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]保护的样品盒系统。该系统包括盒体、盒盖和拉臂[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]3[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]个部分,其打开进样如图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]-1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]示意图所示[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]样品盒系统安装于扫描电镜[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]交换仓见[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]-[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]2[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]。盒体通过底[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]部[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]固定杆固定[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]于样品台;盒盖通过导电胶粘于盒体实现内外空气隔离,盒盖上有丝孔[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],可[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]与拉臂一端通过螺丝固定;拉臂另一端利用交换仓内样品台基座固定螺丝固定于交换仓体。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]-3[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]为样品[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒进入[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]电镜样品仓后[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]CCD[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]显示图,黄色的框内为自行设计的样品盒,宽度[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]4[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]0[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]mm[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],红色框为扫描电镜配置的样品台,宽度[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]4[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]8[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]mm[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]。自行设计的样品盒小于电镜配备的样品台,因此在样品仓内可避免碰撞实现安全移动[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]。[/color][/font][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209181728542440_4439_1613111_3.png[/img][font='宋体'][color=#000000]3[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]、[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]气氛[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]保护样品盒系统测试[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]以活泼金属钠对气氛保护样品[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒系统[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]进行效果检测,采用对比方式,即:[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]在手套箱中制样[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]并[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]装入样品盒中,根据前述进样方式完成样品进行,利用扫描电镜[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]和能谱进行表面分析表征[/color][/font][font='宋体'][color=#000000];随后取出样品并暴露于空气中[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]10[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]秒[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]后[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]同样[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]利用[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]扫描电镜[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]和能谱进行[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]表分析[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]表针[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],对比前后[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]的[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]差异[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]从[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]2[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]中[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]使用[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]气氛保护[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒前后的形貌图片看出,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]在利用气氛[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]保护盒进样[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]检测可以清晰看到金属钠表面很多刀切的划痕(图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]2-1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]),取出[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]暴露于空气仅[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]10[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]秒[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]后(图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]2-2[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])[/color][/font][font='宋体'][color=#000000],[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]整个表面形成了覆盖物,划痕已经不再明显,表面形貌与空气暴露前形成了显著的差异。能谱面分布数据表明,原始表面仅见钠元素(图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]2-3[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]),暴露空气[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]0[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]秒后(图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]2-4[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])钠元素降低,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]氧增[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]加[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]且在整个表面均匀分布。进一步元素分析表明暴露于空气后,表面氧含量与原始表面(图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]2-5[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])相比增加至[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]3[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]7.7%[/color][/font][font='宋体'][color=#000000](图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]2-6[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]),表明设计的样品盒系统对钠进行了有效地隔绝空气的保护进样。[/color][/font][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209181728546171_6127_1613111_3.png[/img][font='宋体'][color=#000000]为了进一步检验[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]该气氛[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]保护样品[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒系统[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]的效果,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]采用[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]实际的电池研究中的样品:沉[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]锂的电极[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]和硫化物固态电解质进行了暴露于空气[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]0[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]秒前后的形貌表征。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]从使用[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]气氛保护[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒前后的形貌图片[/color][/font][font='宋体'][color=#000000](图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]3[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]可以看出,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]沉锂的电极暴露于空气中[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]0[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]秒后[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]([/color][/font][font='宋体'][color=#000000]3-2[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]与[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]气氛保护[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]([/color][/font][font='宋体'][color=#000000]3-1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]相比出现了明显的沟壑,且部分表面已有新的覆盖物生成[/color][/font][font='宋体'][color=#000000];暴露空气[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]0[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]秒后[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]([/color][/font][font='宋体'][color=#000000]3-4)[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]的硫化物固态电解质[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]与[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]气氛保护[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]([/color][/font][font='宋体'][color=#000000]3-3[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]相比[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]已经出现了明显的坍塌[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]两个[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]样品暴露于空气中仅[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]0[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]秒时间,前后[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]形貌已经发生了明显的变化,表明[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]气氛[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]保护的样品[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]有效[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]地实现了样品隔绝空气进样。[/color][/font][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209181728548094_2367_1613111_3.png[/img][font='宋体'][color=#000000]4[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]、气氛保护样品[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]盒系统[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]的[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]服务成果案例[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]电池研究领域的活泼金属、卤素电解质等,易与空气中的氧气或者水发生反应,[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]需[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]不接触空气进入扫描电镜进行形貌结构和[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]成分[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]表征。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]利用设计的气氛保护样品盒系统,已经[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]为电池[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]材料研究的[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]相关[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]成果[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]提供了可靠的扫描电镜表征数据[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]。[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]中国科学技术大学马骋教授课题组设计并合成的[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]Li[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]2[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333]ZrCl[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]6[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333]固态电解质组成的全固态电池在性能上甚至略高于其他氯化物固态电解质组成的电池,并且远远超过基于硫[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]化物和氧化物固态电解质的同类电池[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]。[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]特别的,[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]Li[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]2[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333]ZrCl[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]6[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333]和[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]LiCoO[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]2[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333]或者三元正极[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]LiNi[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]0.8[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333]Mn[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]0.1[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333]Co[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]0.1[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333]O[/color][/font][font='宋体'][sub][size=13px][color=#333333]2[/color][/size][/sub][/font][font='宋体'][color=#333333](即[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]NMC811[/color][/font][font='宋体'][color=#333333])[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]组成的全固态电池,在大电流密度下整个长循环过程中容量几乎无衰减。经扫描电镜[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]的形貌和能谱[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]表征([/color][/font][font='宋体'][color=#333333]图[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]4[/color][/font][font='宋体'][color=#333333]),循环前后电解质与正极材料均紧密结合且无破碎扩散。该成果发表于发表在国际著名学术期刊[/color][/font][color=#333333]《[/color][color=#333333]Nature Communications[/color][color=#333333]》(2021)[/color][color=#333333],[/color][color=#333333]12:4410[/color][font='宋体'][color=#333333]。[/color][/font][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209181728545142_372_1613111_3.png[/img][font='宋体'][color=#000000]化学预锂化被认为是提高储锂负极首次库仑效率的关键方法。[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]中国科学技术大学钱逸泰和林宁组[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]设计了取代基工程的锂[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]-[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]氰基[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]萘[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]预锂化体系[/color][/font][font='宋体'][color=#000000], [/color][/font][font='宋体'][color=#000000]增强首次库仑效率并同时构建氧[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]化亚硅[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]电极的多功能界面膜[/color][/font][font='宋体'][color=#000000](图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]5[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]-1[/color][/font][font='宋体'][color=#000000])[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]。预锂化的氧[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]化亚硅[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]电极表现出高于[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]100% [/color][/font][font='宋体'][color=#000000]的首次库伦效率[/color][/font][font='宋体'][color=#000000], [/color][/font][font='宋体'][color=#000000]循环过程中提高的库伦效率、更好的循环稳定性以及在过充电状态下[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]锂枝晶[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]的抑制[/color][/font][font='宋体'][color=#000000](图[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]5[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]-2[/color][/font][font='宋体'][color=#000000]),成果发表于《[/color][/font][color=#333333]Science Bulletin[/color][color=#333333]》[/color][color=#333333] (2022)[/color][color=#333333],[/color][color=#333333]67: 636–645[/color][color=#333333]。[/color][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209181728550025_7867_1613111_3.png[/img]5[font='宋体'][color=#000000]、结论[/color][/font]自主设计并搭建了基于气氛保护的扫描电镜样品盒系统。该系统充分利用了扫描电镜配置的样品交换仓,具有无电磁干扰,体积小安全,多载样,工艺简单,成本相对较低等优势。通过对活泼金属钠和空气敏感的电池样品对比检测表明该系统有效地实现了样品隔绝空气的扫描电镜进样和数据表征,并支撑了电池研究的相关成果。
[b][font=宋体][color=black]【序号】:1[/color][/font][font='微软雅黑',sans-serif][color=black][/color][/font]【作者】:[b][b]杨欣[/b][/b][/b][font=&]【题名】:[b][b][b]基于共振扫描的显微成像技术及系统研究[/b][/b][/b][/font][font=&]【期刊】:cnki[/font][b][color=#545454]【链接]: [url=https://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CDFD&dbname=CDFDLAST2016&filename=1015712320.nh&uniplatform=NZKPT&v=g8fPyqfSNBIZFLi6JV5IjwK9gKCSBCEvUuN3dTxvKpYlXKEQlXfSHL3OoehSZY07]基于共振扫描的显微成像技术及系统研究 - 中国知网 (cnki.net)[/url][/color][/b]
课程内容提纲 第一部分:扫描电镜第一章:扫描电镜1.1 慨论1.2扫描电镜原理1.3扫描电镜结构1.4扫描电镜的分辨率1.5扫描电镜图像的形成第二章:高分辨扫描电子显微镜2.1 场发射扫描电子显微镜2.2 SE和BSE之差做为信号的方式2.3 工作距离2.4 使用强磁物镜的方式第三章:扫描电子显微镜的实践3.1 扫描电子显微镜的操作3.2 扫描电子显微镜图像的毛病3.3 扫描电子显微镜的保养3.4 扫描电子显微镜的安装条件3.5 扫描电子显微镜的验收与维护3.6小结第四章:计算机图像演示第二部分:能谱分析第一章、引 言第二章、EDS系统的工作原理1.系统概述2.吸收和处理过程3.计数率的考虑4.谱仪的分辨率第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用1.萤光产额2.连续辐射的产生3.莫塞莱定律X射线定性分析4.X射线的吸收5.二次发射(萤光)第四章、X射线测量第五章、能量定性分析1.检出限2.探测器的效率3.空间分辨率3.谱仪分辨率4.伪峰(“artifact”peaks)5.定性分析结果的表示方法第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择1.加速电压2.电子源3.孔径光栏选择4.镜筒的合轴5.样品/探测器的几何条件第七章、定 量 分 析1.脉冲计数统计误差2.块状试样的定量分析第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤1.定性分析概述2.定量分析概述第九章、能谱失真与杂散幅射 1.谱峰的失真2.背底的失真3.杂散辐射第十章、能谱的验收与维护第三部分:实际操作
[b][font='Microsoft YaHei', 宋体, sans-serif]【序号】:1[/font]【作者】:[/b][font=&][size=12px][color=#1c1d1e][b][b]张双翼 徐熙平[/b][/b][/color][/size][/font][font='Microsoft YaHei', 宋体, sans-serif][b][b][/b][/b][/font][font=&]【题名】:[/font][b][b][color=#333333][b][font=&][color=#032d2c][b]激光扫描系统中f-θ透镜的光学设计[/b][/color][/font][/b][/color][/b][/b][font=&]【期刊】:[/font][font=Arial][font=&][size=12px]CNKI[/size][/font][/font][font='Microsoft YaHei', 宋体, sans-serif][color=#545454][b]【链接】:[url=https://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=GXYQ201205010&dbcode=CJFD&dbname=CJFD2012&v=MtjycLTRGnKxILp8twqktbNToUw7nOHEuuWOwWDenuEbA2lD5Pu15j0vTJePCmMS]激光扫描系统中f-θ透镜的光学设计 - 中国知网 (cnki.net)[/url][/b][/color][/font]
扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧主办单位: 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训时间:2007年10月15日-18日培训费用:4000元/人.四天(含培训费、证书费、资料费、正餐费)( 每单位两人以上可有折扣)培训证书: 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书课程对象:电镜操作工程师 电子工艺工程师 品质工程师 管理工程师 质检人员培训报名中心:报名电话:020-87236986-212 传真:020-87237185Email:xiongey@ceprei.com 联系人:熊小姐【主讲专家】施明哲, 中国赛宝实验室(信产部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师,三十年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。是当前扫描电镜行业广泛知名的专家,在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验,在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章,并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖;获国家级技术进步二等奖二次,三等奖一次。课时安排:日期时间授课内容10月15日8:30-12:00扫描电镜理论学习14:00-17:0010月16日8:30-12:0014:00-17:00扫描电镜演示与答疑10月17日8:30-12:00能谱仪理论学习14:00-17:0010月18日8:30-12:0014:00-17:00能谱仪演示与答疑课程内容提纲 第一部分:扫描电镜第一章、扫描电镜1.1 慨论1.2扫描电镜原理1.3扫描电镜结构1.4扫描电镜的分辨力1.5扫描电镜图像的形成第二章、高分辨扫描电子显微镜2.1 场发射扫描电子显微镜2.2 SE和BSE之差做为信号的方式2.3 工作距离2.4 使用强磁物镜的方式第三章、扫描电子显微镜的实践3.1 扫描电子显微镜的操作3.2 扫描电子显微镜图像的毛病3.3 扫描电子显微镜的保养3.4 扫描电子显微镜的安装条件3.5 扫描电子显微镜的验收与维护3.6小结第四章:电镜图像演示及答疑第二部分:能谱分析第一章、引 言第二章、EDS系统的工作原理1.系统概述2. 吸收和处理过程3.计数率的考虑4.谱仪的分辨力第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用1.萤光产额2.连续辐射的产生3.莫塞莱定律X射线定性分析4.X射线的吸收5.二次发射(萤光)第四章、X射线测量第五章、能量定性分析1.检出限2.探测器的效率3.空间分辨力3.谱仪分辨力4. 伪峰(“artifact”peaks)5.定性分析结果的表示方法第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择1.加速电压2.电子源3.孔径光栏选择4.镜筒的合轴5.样品/探测器的几何条件第七章、定量分析1.脉冲计数统计误差2.块状试样的定量分析第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤1.定性分析概述2.定量分析概述第九章、能谱失真与杂散幅射 1.谱峰的失真2.背底的失真3.杂散辐射第第十章、能谱的验收与维护第三部分:实际操作及答疑
全天空扫描仪持续自动监测全天空扫描仪,分别由可见光成像子系统(ASI)和红外成像子系统(SIR)组成,拥有独特的技术优势,可以在无太阳遮挡而完全暴露在太阳光照之下清晰的自动记录全天空云状分布数据。可对气象\气候业务观测中的云量自动化实时观测。太阳能产能预报和光伏发电性能评估。气象科学、遥测、太阳能资源研究, 航空/舰船气象等高要求的精密气象观测。全天空扫描仪结合了光学、遥感、机械工程、电气工程、信号处理、软件等方面的技术,适合替代人工进行云量测量,使观测结果客观化、观测资料连续化,减少台站观测人员的工作量,进一步提高观测质量和观测效率全天空扫描仪应用领域1.气象\气候业务云量自动化实时观测2.太阳能产能预报和光伏发电性能评估3.气象科学、遥测、太阳能资源研究4.航空/舰船精密气象观测[img=全天空扫描仪,400,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/10/202210210917004710_3494_4136176_3.jpg!w690x690.jpg[/img]全天空扫描仪功能特点1.双通道可见光成像单元和双通道红外成像单元,实现昼夜云观测,可以选择单通道可见光成像单元。2.观测指标:可见光云量、红外云量、综合云量、可见光高动态曝光云图像、红外高动态曝光云图像(根据选择可见光成像子系统(ASI)和红外成像子系统(SIR)以达到观测指标)。3.无太阳遮挡装置,有效记录全天空云况信息;4.在不同曝光强度,用于获取高动态曝光云图;5.可见光图像视场角不低于 180 度,红外图像视场角不低于 160 度。6.可连接网络,通过终端远程操作和监控;7.功耗低,体积小,重量轻,便于野外安装,单通道可见光成像观测仪非加热状态时整机功耗≤7 W;8.具有防水功能,可用于全天候观测。[img=全天空扫描仪,400,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/10/202210210917138102_4160_4136176_3.jpg!w640x640.jpg[/img]
摘自《电子显微学报》薛涛,张长亮等[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=26113]模拟电子显微镜扫描系统的电路原理及维修[/url]
[img=,690,363]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/02/202202211832427739_7756_5540903_3.jpg!w690x363.jpg[/img] 圆心扫描监测自动风环-是一款针对吹膜机上吹法。在线监测膜泡厚度。利用温控方式自动调整厚度偏差。该设备自主研发。硬件与软件结合。通过无数次实验。最终达到代替国外高昂价格产品。该设备性价比高。售后服务有保障。软件终身维护升级。 结构原理-通过电容传感器。测量膜泡厚度。扫描架360度单向旋转。无死角,设有碳刷,旋转机构。反馈到中控机CPU。采集运算。输出电压信号,控制加热模块。风环内部出风口。设有风道槽。安装多个加热棒对应风道槽。通过温度变化。改变膜泡冷却霜线。调整厚度偏差。 在吹膜薄膜生产过程中,薄膜厚薄均匀度是一个很关键的指标,其中纵向厚薄均匀度可以通过挤出和牵引速度稳定性加以控制,而薄膜横向厚薄均匀度,须引进自动横向厚薄向厚薄控制系统,常用控制方法有自动模头和自动风环。自动风环分2种,一种是通过伺服电机调节风距离。需要经常清理风环内部杂质与污垢。避免电机卡死。另一种是温控方式
新加坡研制出便携式新扫描电子显微镜 -------------------------------------------------------------------- 2005年2月4日 日前,新加坡国立大学工程系研制出新的轻便型扫描电子显微镜系统,重量仅有现有系统的十分之一。传统的扫描电子显微镜系统体积大,重量达1000公斤,非常占地,也不容易搬动。这些仪器价格也高达50万美元。国大研制的这个新扫描电镜,功能和清晰程度不逊于传统系统,价格却不到10万美元,总重量也不到100公斤,整个系统还可拆成几个各不到20公斤的部分,方便携带。 研制这个产品的国大电子工程系的安岩教授指出,扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像,和光学显微镜相比,扫描电镜可以把影像放大多300倍。即使只有头发厚度5万分之一这么小的样本,扫描电镜还是可以将样本的细节显示成清晰的画面。 他说:“扫描电镜的用途很广泛,包括辨认病毒、药物制造、检查微晶片等。我们的扫描电镜系统集中在一个推车上,可以推进电梯、小货车,很方便携带,要在微晶片厂进行检查工作也可以轻易地从一层楼搬到另一层楼,疾病专家也可以把它带到传染病现场,不必把病毒样本带会实验室。” [em05]
仪器设备:Bruker D8 Discover请教它的scan type:2Theta/Omega、Locked Coupled、 PSD Fix Scan、Theta_f Scan、Pulse Height Analysis这些扫描模式有何异同?在这些扫描模式下下tube 和Detector是怎么运动的?
[b][font=宋体][color=black]【序号】:1[/color][/font][font='微软雅黑',sans-serif][color=black][/color][/font]【作者】:[b][b][b][font=&][size=24px][color=#333333]陈镇龙[/color][/size][/font][/b][/b][/b][/b][font=&]【题名】:[b]基于线阵扫描的自动光学检测系统关键技术研究[/b][/font][font=&]【期刊】:cnki[/font][b][color=#545454]【链接]: [url=https://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CDFD&dbname=CDFDLAST2016&filename=1015712320.nh&uniplatform=NZKPT&v=g8fPyqfSNBIZFLi6JV5IjwK9gKCSBCEvUuN3dTxvKpYlXKEQlXfSHL3OoehSZY07]基于线阵扫描的自动光学检测系统关键技术研究 - 中国知网 (cnki.net)[/url][/color][/b]
激光共聚焦扫描显微镜简介一、 激光共聚焦显微镜的基本组成激光扫描共聚焦显微镜(laser scanning confocal microscope LSCM)是20世纪80年代发展起来的一项具有划时代意义的高科技新产品,是当今世界最先进的细胞生物学分析仪器。激光共聚焦显微镜利用激光作为光源,在传统光学显微镜基础上采用共轭聚焦的原理和装置,以及通过针孔的选择和PMT的收集,并带有一套对其所观察到的对象进行数字图像分析处理的系统软件。与传统光学显微镜相比,它具有更高的分辨率,实现多重荧光的同时观察并可形成清晰的三维图象等优点。所以它问世以来在生物学的研究领域中得到了广泛应用。激光共聚焦显微镜主要有四部分组成:1、显微镜光学系统。2、扫描装置。3、激光光源。4、检测系统。整套仪器由计算机控制,各部件之间的操作切换都可在计算机操作平台界面中方便灵活地进行。1.1 显微镜光学系统 显微镜是LSCM的主要组件,它关系到系统的成象质量。显微镜光路以无限远光学系统可方便地在其中插人光学选件而不影响成象质量和测量精度。物镜应选取大数值孔径平场复消色 差物镜,有利于荧光的采集和成象的清晰。物镜组的转换,滤色片组的选取,载物台的移动调节,焦平面的记忆锁定都应由计算机自动控制。1.2 扫描装置 LSCM使用的扫描装置在生物领域一般为镜扫描。由于转镜只需偏转很小角度就能涉及很大的扫描范围,图象采集速度大大提高,512×512画面每秒可达4帧以上,有利于那些寿命短的离子作荧光测定。扫描系统的工作程序由计算机自动控制。1.3 激光光源 LSCM使用的激光光源有单激光和多激光系统。多激光器系统在可见光范围使用多谱线氩离子激光器,发射波长为457nm、488nm和514nm的蓝绿光,氦氖绿激光器提供发射波长为543nm的绿光,氦氖红激光器发射波长为633nm的红光,新的405nm半导体激光器的出现可以提供近紫外谱线,但是小巧便宜而且维护简单。1.4 检测系统 LSCM为多通道荧光采集系统,一般有三个荧光通道和一个透射光通道,能升级到四个荧光通道,可对物体进行多谱线激光激发,样品发射荧光的探测器为感光灵敏度高的光电倍增管PMT,配有高速12位A/D转换器,可以做光子计数。PMT前设置针孔,由计算机软件调节针孔大小,光路中设有能自动切换的滤色片组,满足不同测量的需要,也有通过光栅或棱镜分光后进行光谱扫描功能的设置。二、激光共聚焦显微镜的特点以及在生物领域的应用传统光学显微镜相比,激光共聚焦显微镜具有更高的分辨率,实现多重荧光的同时观察并可形成清晰的三维图象等优点,在对生物样品的观察中,激光共聚焦显微镜有如下优越性:1、对活细胞和组织或细胞切片进行连续扫描,可获得精细的细胞骨架、染色体、细胞器和细胞膜系统的三维图像。2、 可以得到比普通荧光显微镜更高对比度、高解析度图象、同时具有高灵敏度、杰出样品保护。3、***图象的获得,如7 维图象(XYZaλIt): xyt 、xzt 和xt 扫描,时间序列扫描旋转扫描、区域扫描、光谱扫描、同时方便进行图像处理。 4、细胞内离子荧光标记,单标记或多标记,检测细胞内如PH和钠、钙、镁等离子浓度的比率测定及动态变化。5、荧光标记探头标记的活细胞或切片标本的活细胞生物物质,膜标记、免疫物质、免疫反应、受体或配体,核酸等观察;可以在同一张样品上进行同时多重物质标记,同时观察; 6、对细胞检测无损伤、精确、准确、可靠和优良重复性;数据图像可及时输出或长期储存。 由于共聚焦显微镜的以上优点,激光共聚焦显微镜在以下研究领域中应用较为广泛:1、细胞生物学:如:细胞结构、细胞骨架、细胞膜结构、流动性、受体、细胞器结构和分布变化、细胞凋亡机制;各种细胞器、结构性蛋白、DNA、RNA、酶和受体分子等细胞特异性结构的含量、组分及分布进行定量分析;DNA、RNA含量、利用特定的抗体对紫外线引起的DNA损伤进行观察和定量;分析正常细胞和癌细胞细胞骨架与核改变之间的关系;细胞黏附行为等 2、生物化学:如:酶、核酸、受体分析、荧光原位杂交、杂色体基因定位等,利用共聚焦技术可以取代传统的核酸印迹染交等技术,进行基因的表达检测,使基因的转录、翻译等检测变的更加简单、准确。3、药理学:如:药物对细胞的作用及其动力学;药物进入细胞的动态过程、定位分布及定量 4、生理学、发育生物学:如:膜受体、离子通道、离子含量、分布、动态;动物发育以及胚胎的形成,骨髓干细胞的分化行为;细胞膜电位的测量.荧光漂白恢复(FRAP)、荧光漂白丢失(FLIP)的测量等。 5、遗传学和组胚学:如:细胞生长、分化、成熟变化、细胞的三维结构、染色体分析、基因表达、基因诊断; 6、神经生物学:如:神经细胞结构、神经递质的成分、运输和传递; 7、微生物学和寄生虫学:如:细菌、寄生虫形态结构; 8、病理学及病理学临床应用:如:活检标本的快速诊断、肿瘤诊断、自身免疫性疾病的诊断; 9、免疫学、环境医学和营养学。如:免疫荧光标记(单标、双标或三标)的定位,细胞膜受体或抗原的分布,微丝、微管的分布、两种或三种蛋白的共存与共定位、蛋白与细胞器的共定位;对活细胞中的蛋白质进行准确定位及动态观察可实时原位跟踪特定蛋白在细胞生长、分裂、分化过程中的时空表达,荧光能量共转移(FRET)。
[b]故障1:仪器扫描样品时,显示一条直线[/b]可能原因:软件出现故障。解决办法:退出操作系统,重新启动计算机,再次扫描。[b]故障2:紫外/可见分光光度计接通电源后,光源不亮[/b]可能原因:①光源灯泡已损坏;②保险管烧坏。解决办法:更换氘灯或钨灯;更换保险管。[b]故障3:仪器噪音比较大[/b]可能原因:光源灯泡使用时间超过寿命期。解决办法:更换光源灯泡。
[align=center][img]http://bimg.instrument.com.cn/show/NewsImags/Image/2010/8/2010080615374719121.jpg[/img][/align][b]PC2000 即插式光谱仪[/b] PC2000即插式光谱仪是一个低成本、2048像元线阵CCD光谱仪,配置集成在一块半1MHz ISA总线的A/D转换器上。这种混合式的光谱仪-A/D结构易于集成插入到计算机的ISA插口上。 预配置的PC2000售价只有$1,999,包括一个主通道光谱仪及集成的ISA总线A/D转换器。当然客户也可以订制更多的光谱仪通道,可以是ISA总线或者PCI总线式的,副通道数最多可以扩展至7个,每个通道仅需$799。每个通道都有各自的光学部件及探测器。 PC2000使用相同的高灵敏度探测器及光学设计,有别于我们的S2000微型光纤光谱仪设计。类似于S2000,PC2000的光谱响应范围是200nm-1100nm,通过SMA905可以耦合到一个光纤连接的光源,探头,化学传感器及其它附件上。通过与其它组件、附件等的连接配套,用户可以方便的搭建不同的光谱仪系统,来满足不同的应用要求。 [b]多通道系统[/b] PC2000的多通道扩展能力,可以用来方便的扩展测量波长范围,多通道取样测量。安装及操作简单明了:通过数据线连接主通道及其它副通道。这些副通道通过电脑来供电,触发及时序信号取自主通道。 PC2000的A/D转换功能包括一个通道转换器可以快速的在通道间转换。例如:一个三通道的光谱仪可以设置成像素点0采集来自主通道的数据,像素点1采集第一副通道的数据,像素点2采集第二副通道的数据,依次成为一个序列,像素点3采集主通道的数据等等。结果是:在相同积分时间内由不同通道采集的光谱数据,经过A/D采样处理;可以使PC2000非常适用于一些脉冲光源和瞬态光谱的采集。 PC2000的隔行自动扫描(如:对不同通道的光谱进行区分划隔)数据存取能力,可以通过海洋光学的软件来实现,用户可以方便的使用。 海洋光学的光纤光谱仪:高性能、低成本、便携式、模块化设计。操作性能及配置可以根据不同的使用要求(如低、高光量的检测应用)来选择配置诸如光栅的刻划密度、采样的尺寸及附件等。[b]详细参数[/b]尺寸: 190.7 mmm x 130.5 mm x 18.1 mm(只有主通道) 重量: 180 g (只有主通道) 功耗: 250 mA @ 5 VDC (只有主通道) 70 mA @ 5 VDC (ISA总线 及 PCI 总线副通道) 光谱范围: 200-1100 nm 探测器: 2048像元线阵硅CCD探测器 光栅选择: 14 种光栅可选 从紫外至近红外 入射狭缝: 5, 10, 25, 100 or 200um狭缝或者光纤(无狭缝) 分阶滤光片: 装有带通或长通滤光片 焦距: 42 mm (入射) 68 mm (出射) 光学分辨率: ~0.3-10.0 nm FWHM(依赖于光栅及狭缝选择) 杂散光: 0.05% at 600 nm 0.10% at 435 nm 0.10% at 250 nm 动态范围: 2 x 10 8 (系统) 2000:1 单次扫描 灵敏度(估计):8 6 p h o t o n s / c o u n t 2 . 9 x 1 0 - 1 7joules/count 2.9 x 10-17 watts/count (1秒积分时间) 版型设计: 主通道,ISA总线设计 副通道,PCI-总线或ISA总线设计 A/D 频率: 1 MHz 光纤接口: SMA 905 (0.22 NA) 积分时间: 3毫秒 至60 秒
扫描电子显微镜(scanning electron microscope),简称扫描电镜(SEM)。是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。它能产生样品表面的高分辨率图像,且图像呈三维,扫描电子显微镜能被用来鉴定样品的表面结构。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/09/201309221547_465885_2063536_3.jpg扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的扫描电镜主要有真空系统,电子束系统以及成像系统。1、真空系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。 真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。 为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。2、电子束系统 电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。 电子枪:用于产生电子,主要有两大类,共三种。一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具有至少1000小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统。另一类则是利用热发射效应产生电子,有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪寿命在30~100小时之间,价格便宜,但成象不如其他两种明亮,常作为廉价或标准扫描电镜配置。六硼化镧枪寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间,为200~1000小时,价格约为钨枪的十倍,图像比钨枪明亮5~10倍,需要略高于钨枪的真空,一般在10-7torr以上;但比钨枪容易产生过度饱和和热激发问题。 电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组: 汇聚透镜:顾名思义,汇聚透镜用汇聚电子束,装配在真空柱中,位于电子枪之下。通常不止一个,并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关。 物镜:物镜为真空柱中最下方的一个电磁透镜,它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。3、成像系统 电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。 有些探测器造价昂贵,比如Robinsons式背散射电子探测器,这时,可以使用次级电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子工作原理 下图是扫描电镜的原理示意图。由最上边电子枪发射出来的电子束,经栅极聚焦后,在加速电压作用下,经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统,电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下使电子束在样品表面扫描。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/09/201309221549_465886_2063536_3.jpg 由于高能电子束与样品物质的交互作用,结果产生了各种信息:二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收,经放大后送到显像管的栅极上,调制显像管的亮度。由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度一一对应,也就是说,电子束打到样品上一点时,在显像管荧光屏上就出现一个亮点。扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法,把样品表面不同的特征,按顺序,成比例地转换为视频信号,完成一帧图像,从而使我们在荧光屏上观察到样品表面的各种特征图像性能参数放大倍数 扫描电镜的放大倍数M定义为:在显像管中电子束在荧光屏上最大扫描距离和在镜筒中电子束针在试样上最大扫描距离的比值 M=l/L式中l指荧光屏长度;L是指电子束在试样上扫过的长度。这个比值是通过调节扫描线圈上的电流来改变的。景深 扫描电镜的景深比较大,成像富有立体感,所以它特别适用于粗糙样品表面的观察和分析。分辨率 分辨本领是扫描电镜的主要性能指标之一。在理想情况下,二次电子像分辨率等于电子束斑直径。场深 在SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。作用体积 电子束不仅仅与样品表层原子发生作用,它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用,所以存在一个作用“体积”。 作用体积的厚度因信号的不同而不同: 欧革电子:0.5~2纳米。 次级电子:5λ,对于导体,λ=1纳米;对于绝缘体,λ=10纳米。 背散射电子:10倍于次级电子。 特征X射线:微米级。 X射线连续谱:略大于特征X射线,也在微米级。