被动隔振平台

Nano系列 小型主动隔振平台产品概述欧库睿因主动式隔振技术，高精度设备的*美展现！自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是： 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz) 声学振动(20 Hz) 机动设备和机器(10-500 Hz)主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。精选范例欧库睿因主动隔振系统的工作原理应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。主要特征■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的 稳定时间为30秒至60秒)。 ■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。■ 6个自由度主动隔振。■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。■ 操作简单-按钮式解决方案。■ 设计紧凑，安装简便。■ 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。■ 接电即可，无需压缩空气。■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。VarioBasic 40搭配成像椭偏仪i4 Large搭配3D轮廓仪Nano系列小型主动隔振平台专为小型和轻型应用而设计Nano 20Nano 30尺寸204x204x69mm300x400x75mm 载重0-8kg5-25kg或10-30kg

Sandwich系列重负载隔振平台产品概述欧库睿因主动隔振台：为各型科学仪器实现主动隔振！自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是： 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz) 声学振动(20 Hz) 机动设备和机器(10-500 Hz)主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。精选范例欧库睿因主动隔振系统的工作原理应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。主要特征■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的 稳定时间为30秒至60秒)。■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。■ 6个自由度主动隔振。■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。 ■ 操作简单-按钮式解决方案。■ 设计紧凑，安装简便。■ 高度的位置稳定性-1Hz 时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。■ 接电即可，无需压缩空气。■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。 VarioBasic 40搭配成像椭偏仪 i4 Large搭配3D轮廓仪欧库睿因Sandwich系列 重负载隔振平台重负载主动隔振平台，最大负载1200kg,可放置于光学平台或大型设备下方，具有良好的负载以及主动隔振性能。Sandwich 800-4.0Sandwich 1000-4.0Sandwich 1000-6.0Sandwich 1000-8.0尺寸：800x800x130mm1000x800x130mm1000x800x130mm1000x800x130mm载重：0-600kg0-600kg0-900kg0-1200kg

拼接隔振平台定制型1、拼接技术出现的背景在一些光学、精密机械等需要振动隔离的环境中，往往需要一些非常规外形尺寸或者超大尺寸的隔振平台，限于运输、安装等过程中存在的困难以及一些复杂异形的加工难度，往往很难一蹴而就，拼接技术应用而生。2、拼接隔振平台定制型 拼接方式拼接式隔振平台的本质还是隔振平台，是标准的平台按照使用者的需求连接起来，达到实际的使用效果，采用拼接的方式，是实现这一目的的方法。通过拼接技术，卓立汉光成功实现了更长、更宽的”一字”型或”L”型或”U”型等数十种组合拼接，满足了客户不同场合的应用。如：”一字”型在平行光管检测中的应用，”U”型地月通信接收模拟装置等。3、拼接细节卓立汉光拼接平台的双重连接方式主要由两张25mm厚钢板组成，两张钢板均安装在光学台面侧面，焊接在台面顶板与底板上。一张钢板上有一系列的螺纹孔，另一张钢板上有与之相匹配的连接螺栓。并且，一张钢板上有一对精密销孔，另一张钢板上有一对精密销，两个精密销起到定位作用。两张光学台面相互连接时，两端台面的整体平面度保持在0.5mm以下，螺栓连接好后，两张光学台面可以作为单张整体台面使用，可以像单张光学台面一样进行使用或移动。拼缝：4、平面度保证平台完成拼接以后，拼接之处的平面度是检验拼接是否合格的重要指标。检验工具：大理石量块 / 刀口尺我公司接受各种外形尺寸的拼接平台的定制，欢迎随时咨询。

DVID系列-L型高性能隔振平台特点:◆研究室用，在国内首次安装了水平隔振器具，提高了水平/垂直全方位的隔振性能。◆采用三聚氰胺上板(Top Cover)，具有与一般台子一样的美观。◆作业部分与隔振部分相分离，便于使用。◆安装有小脚轮，需变更室内布局时移动方便。◆可选择各种附件选项，能达到多种功能和充分利用空间。 技术指标◆固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz ◆隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95% at 20Hz : 85% ~ 98%◆水平复位精度 :± 0.05㎜◆静负载 : 500kg ◆自重 : 150 ~ 250kg◆材料 : 支架及顶部：钢管，沙化处理 顶盖：三聚氰胺 精抛光台板◆工作气源 : 3~5kg/cm2 压缩空气或瓶装液氮 用途◆表面粗糙度/真圆度 (Roughness/Roundness Tester) 测定仪◆Vision System◆光学显微镜 (Optical Microscope)◆万能测试仪◆其它精密仪器

GIVA系列被动隔振平台 特性卓越的隔振性能 卓越的隔振性能 卓越的隔振性能 自动水平功能 自动水平功能 自动水平功能通过直接驱动快速稳定 通过直接驱动快速稳定 通过直接驱动快速稳定 通过直接驱动快速稳定 通过直接驱动快速稳定易于精密调节 易于精密调节 易于精密调节轻量但超强的蜂窝面包板 轻量但超强的蜂窝面包板 轻量但超强的蜂窝面包板 轻量但超强的蜂窝面包板 轻量但超强的蜂窝面包板 /花岗岩表面板 花岗岩表面板 花岗岩表面板可选 25*2525*25 25*25或 50*50mm50*50mm 50*50mm50*50mm安装孔用途原子力显微镜A.F.M扫描探针显微镜激光对准光学显微镜和其它测量仪器杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

TMC CleanBench被动隔振桌光学平台特点&优点：独特的新型桌面设计将TMC的CleanTop不锈钢蜂窝技术和超坚固、高阻尼以及层状的平台设计相结合。尤其对于面积小的桌子来说更稳定。小剖面以及高密度台面减小了质心不稳定，即使在头重脚轻的情况下，也能确保其固有的稳定性。引入导引线将螺杆和螺纹孔对齐，螺纹是带斜面的，使安装更加容易。通过最 da化的减小桌面的厚度来为坐着的用户提供优化的人类工程学设计。其他品牌的设计要么提供了100mm（4in）的顶部厚度的设计，不方便将膝盖和手肘分开，要么提供50mm（2in）厚的蜂窝桌面，牺牲了必要的质量，从而导致没有足够的重量来提供有效的振动隔离，尤其是对于小型的桌子。TMC的CleanBench产品是我们工业标准63系列振动隔离实验桌的新一代产品。CleanBench综合了新改进型桌面和GimbalPiston振动隔离系统的诸多优点。CleanBench更加稳定，更加符合人体工学，优化了螺纹导入，并且设计更加紧凑简洁。TMC工业标准振动隔离实验桌的各项性能在整个行业上占据领导地位，在包括原子力显微镜、共聚焦显微镜等的应用中的表现都很理想。基本参数：CleanBench桌面的选择TMC专有的光滑“叠层桌面”结构相对于小的、焊接式隔振桌是更理想的桌面。综合了钢制夹层和磁心刚性环氧树脂材料的无缝、圆形边缘的不锈钢外壳的50毫米厚平台，对于不需要网格螺纹孔的用户是理想的选择。但对于希望使用网格用于插销固定负载或定位仪器的用户又被迫接受“缩小比例”的钢制蜂窝桌面结构，这类网格孔的桌面有些笨重，并且有效载荷的重心较高，降低了稳定性，对于坐着的用户也不符合人体工程学的设计。 CleanBench突破性的提供了TMC的叠层设计版本，设计的螺纹孔网格并不能影响产品性能。同时设计有新型的，低层面高度的顶部以及易于清洁的不锈钢外壳使CleanBench具备优越的阻尼、刚度和平坦度。此外独特的核心横截面设计可以提供光滑平台面或螺纹孔桌面。Gimbal Piston优势：所有CleanBench平台都配备TMC的Gimbal Piston气浮的隔离支腿，这是标准配置。Gimbal Piston在并行测试中一直具有超过其他气浮隔离器的卓越性能。它在所有轴上都提供了优异的低频隔振特性并且即使输入激励水平极低时也可以保持其性能。专有的阻尼技术使Gimbal Piston支撑相对头重脚轻的负载时也可保持稳定，并迅速消除被隔振桌面的扰动。选型请联系我们！

产品说明： 桌式主动减振台是一个具有多项国家专利的高精密隔振平台。此平台由蜂窝内芯光学台面、隔振器以及台架所组成。隔振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由洛仑兹电机实现主动减振。平台提供六自由度、高精度、带地基反馈的隔振。相比传统的主动减振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，能在50Hz频率范围内使隔振效果达到最佳水平。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 桌式主动减振台由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环伺服控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实现主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振台的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 可根据用户要求定制各种不同尺寸、不同材质的工作台面。公司负责系统的安装与调试，三年免费维修。免费为用户培训设备维护和使用人员，随时解答用户提出的技术问题。 产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振系统置于地基上，手动推动工作平台观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。5.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。6.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

产品说明： 台式主动减振系统由减振器和控制器两部分组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国GEOSPACE公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 台式主动减振系统由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实施主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振器的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈和前馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 本公司可根据用户要求定制各种不同尺寸的减振平台。如果用户所需隔振的仪器或设备为不规则状，公司可代其设计工作台面。产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振平台安装（放置）在地基上，如果地基表面不平，需加地面胶。在减振平台上加适量负载。5.卸下四个锁紧板，手动摇晃隔振负载，确保减振器能正常工作。观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。6.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。7.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

一、光学隔振平台综合介绍光学隔振平台是一种有效减小振动的隔振工作台，它利用自身的低固有频率有效降低 外界振动产生的共振现象，降低振幅，减少振动传递率，降低环境振动对实验或仪器精度的 影响，光学隔振平台广泛应用于光学、电子、生物、医学、航天、精密机械加工、化工、光 谱实验、光纤等领域，随着科学技术的进步，精密仪器性能对于隔振技术的要求越来越高。二、光学平台分类表三、产品分类1、OTB系列不锈钢面包板OTB系列不锈钢面包板，采用三层夹心式蜂窝状结构，上台面采用SUS430（1Cr17） 高导磁不锈钢，具有很好的耐腐蚀性能，底面为碳钢板，具有良好的硬重比和一定的隔振效 果。上台面采用精密磨削工艺，保证台面的平面度，台面上均布25mm×25mm标准M6螺纹 孔，方便安装各种位移台和调整架。表面亚光处理，能够有效减少杂散光，适合各种光学实 验。台面厚度有50mm、100mm、150mm、200mm，台面侧面为黑色铝塑板，四角用不 锈钢包角，美观、实用。2、OTPB系列薄型阻尼隔振光学平台OTPB系列薄型阻尼隔振光学平台，整体分为薄型台面和整体焊接支架两部分。 台面采用三层夹心式蜂窝结构，上台面材料为SUS430（1Cr17）高导磁不锈钢，具 有 很 好 的 耐 腐 蚀 性 能 ， 底 面 为 碳 钢 板 。 台 面 采 用 精 密 磨 削 工 艺 ， 台 面 平 面 度 可 达 0.05mm~0.1mm/600mm×600mm。台面经过亚光处理，可有效减少杂散光。台面上均布M6螺纹孔，孔距：25mmx25mm，方便安装各种位移台和调整架。 支架为整体焊接四或六支撑结构，具有良好的刚性与稳定性。支架上方采用阻尼隔振 垫，具有较好的隔振效果，每个支撑腿下方带有高度可调节支脚，能防止出现因地面不平造 成支架扭曲变形和无法调平等问题。支架带脚轮，方便移动和搬运。 OTPB系列薄型阻尼隔振光学平台刚性高，稳定性好，有较好的隔振效果，适合大部 分有隔振要求的环境使用，具有高性价比。3、BDT系列气浮隔振光学平台BDT系列是飞创义达推出的气浮隔振光学平台，整体由台面、整体焊接支架、气泵三 部分组成。 BDT系列气浮隔振光学平台刚性高，稳定性好，隔振效果好，性价比好，适合对隔振 要求较高的科研和工业客户使用。 台面采用三层夹心式蜂窝结构，上台面材料为SUS430（1Cr17）高导磁不锈钢，具 有 很 好 的 耐 腐 蚀 性 能 ， 底 面 为 碳 钢 板 。 台 面 采 用 精 密 磨 削 工 艺 ， 台 面 平 面 度 可 达 0.02mm~0.05mm/600mm×600mm。台面经过亚光处理，可有效减少杂散光。台面上 均布M6螺纹孔，孔距：25mmx25mm，方便安装各种位移台和调整架。 气浮支架采用整体焊接四或六支撑结构，气浮腿采用半膜片式空气弹簧结构，气室为 二层结构，具有良好的隔振效果，固有频率为1.5~3Hz。气浮支架有3个水平调节阀，反应 灵敏，响应速度快，每个气浮腿带1个流速阀，方便气浮平台快速调平。气浮支架调整高度 分为两部分：支架下方带有高度可调节支脚，能防止出现因地面不平造成支架扭曲变形和无 法调平等问题；支架上方有3个调整高度机构，可以调整高度和台面水平，支架带脚轮，方 便移动和搬运。气泵采用静音无油气泵。4、DVIA-MO系列主动隔振光学平台主动隔振支撑部分主要包括被动隔振机构和主动隔振器DVIA- M，每个支撑里面一般 会有4个DVIA- M系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消 除振动的驱动器，主要消除0.5~10Hz的外部振动，被动隔振系统部分同时承担着支撑负载 和隔绝高频率振动的作用。 台面采用三层夹心式蜂窝结构，上台面材料采用SUS430高导磁不锈钢，内核为钢制 真蜂窝结构，将0.25mm厚度的钢板加工成蜂巢结构，采用先进的粘合工艺，底面为钢板， 保证了台面的高刚性和优良的隔振效果。台面均布25mm×25mm标准M6螺纹孔，方便安 装各种位移台和调整架，每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯密封，方便清洁。 DVIA- MO系列高精密主动隔振光学平台为韩国DAEIL株式会社生产的主动隔振光学 平台，由台面和主动隔振支撑两部分组成。 该系列平台可以在低频范围（0.5~10Hz）提供非常卓越的隔振性能，它可以应用于很 多对隔振要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪，高分辨率的电子显微 镜和精密纳米科学研究等。5、ODAS系列双层仪器支架ODAS系列双层仪器支架是配套光学隔振平台 使用的性价比超高的附件，独立放置，不与光学隔 振平台发生干涉，方便放置示波器、电脑、工具 等，充分利用了光学隔振平台上方的空间，且不影 响仪器的操作。 仪器支架高度可调，带升降地脚和脚轮，方便 搬运。ODAS系列双层仪器支架使用矩形空心型钢， 表面亚光处理，美观耐用，采用整体焊接工艺，保 证了仪器支架的刚性和稳定性。6、OTDR系列暗室光学简易暗室是基于我公司光学隔振平台或实验室空间，用铝型材、三层防护帘或亚克 力板、轨道等搭建而成，在进行对光线敏感的实验，或在光学实验里使用的激光对外部环境 可能带来影响时，具有很好的光隔离效果。特点：以分体组件形式交货，现场组装； 光学暗室可直接固定在光学平台上，也可固定在地面上； 可根据客户要求进行量身设计和制作。7、隔振平台应用案例如需更多型号和尺寸，请联系我们！架 光学元件 及 代理产品 光学 隔振平台 电动 位移台光学平板 阻尼隔振 光学平台 气浮隔振 光学平台 主

? 隔振频率低至0.7Hz，隔振性效果显著? 精密音圈电机驱动力打，灵敏、精度高? 控制模块配备先进前馈系统? 六自由度控制? 机械式组件，无需其他约束 MRT-TG系列隔振原理：我司MRT-TG型组合式主动隔振平台由多组减振器和一套控制器组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国 GEOSPACE 公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现 6 自由度减振。具有极佳的性/价比。

Sandwich系列重负载隔振平台产品概述欧库睿因主动隔振台：为各型科学仪器实现主动隔振！自从高分辨率测量和制造技术达到纳米尺度以来，振动就一直是一个重要问题。有效消除振动干扰是获得精确和可重复测量结果的关键。解决方法是将仪器与振动源隔离开来。典型的振动来源可能是： 建筑物和地面的振动(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz) 声学振动(20 Hz) 机动设备和机器(10-500 Hz)主动隔振的基本原理是通过产生反作用力对干扰振动进行主动补偿。精选范例欧库睿因主动隔振系统的工作原理应用设备和承载台面由弹簧支撑。其目的是实现主动隔振所需的浮动状态。承载台面可以向各个方向移动。在工作状态中，桌面上的应用设备与环境振动隔离。振动由极其灵敏的压电式加速度计检测。传感器输出信号由控制电路进行分析和处理，控制电路驱动电动执行器，电动执行器实时产生对抗振动的反作用力。主动隔振在6个自由度内有效。主要特征■ 相比于气浮式隔振台，主动隔振台没有低频共振，即使在低频范围内也有出色的隔振性能。■ 超快的稳定时间：低至0.3秒(普通被动隔振台的 稳定时间为30秒至60秒)。■ 主动隔振台带宽0.6/1Hz 至200Hz (远超被动隔振台)。■ 6个自由度主动隔振。■ 真正的主动隔振：及时产生反作用力来抵消振动。 ■ 操作简单-按钮式解决方案。■ 设计紧凑，安装简便。■ 高度的位置稳定性-1Hz 时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。■ 接电即可，无需压缩空气。■ 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离。■ 广泛的适用范围：拥有标准化产品和用户定制产品。 VarioBasic 40搭配成像椭偏仪 i4 Large搭配3D轮廓仪欧库睿因Sandwich系列 重负载隔振平台重负载主动隔振平台，最大负载1200kg,可放置于光学平台或大型设备下方，具有良好的负载以及主动隔振性能。Sandwich 800-4.0Sandwich 1000-4.0Sandwich 1000-6.0Sandwich 1000-8.0尺寸：800x800x130mm1000x800x130mm1000x800x130mm1000x800x130mm载重：0-600kg0-600kg0-900kg0-1200kg

Newport光学平台一．简介深圳市华领精密机电有限公司2011年成立，我们是Newport的代理商，在大学（例如：深圳大学）和工业都有合作，Newport提供广泛的光学平台，包括我们的宽带阻尼RPR系列光学平台，精确调谐的阻尼RS系列光学平台以及采用IQ阻尼技术的主动阻尼SmartTable光学平台。我们的光学平台解决方案旨在满足任何性能，预算和交付需求。从共聚焦显微镜，光谱学或干涉仪等非常苛刻的应用，到预算不高的应用，Newport都有适合他们的合适的光学平台。 二．概述Newport光学平台的背后是我们40多年设计，制造和测试光学平台和系统的知识和经验。我们的光学平台为从基础物理到半导体制造等各个领域的许多科学和工业成功案例提供了帮助。当您选择Newport光学平台时，您不仅选择了行之有效的卓越性能和质量，还选择了我们沿途所拥有的丰富知识，经验和坚定的产品支持。三.分类1. 宽带阻尼光学平台：宽带阻尼意味着在很宽的频率范围内吸收和耗散振动能量。它广泛用于防震台中，以减少桌面的结构振动。通常，宽带阻尼涉及能量吸收材料，例如泡沫，橡胶或弹性体。它还可能涉及沿工作台侧面安装的质量块/板和橡胶，以吸收覆盖标准尺寸光学工作台共振的较宽频率范围内的适度振动。宽带阻尼不针对任何特定的桌子共振或任何特定的频率集；取而代之的是，它在整个频率范围内均匀地吸收和耗散振动能量。它通常价格适中，适合不需要高阻尼性能的应用。2. 精密调谐阻尼光学平台：调谐质量阻尼器是一种由质量，弹簧和阻尼器组成的装置，该阻尼器附接到结构上以减小结构的动态响应。它被调谐到特定的结构频率，以便在激发工作台共振时，阻尼器将与结构的结构运动异相共振。然后通过作用在结构上的阻尼惯性力消散振动能量。在所有已知的被动阻尼方法中，调谐质量阻尼是最有效的方法，因为它将阻尼作用集中在主要共振模式的频率上。Newport获得专利的精密调谐减震器（美国专利8857585）是经过专门设计的调谐质量阻尼，具有精确的调谐功能，可承受高达数百磅的负载变化。每个阻尼器都针对该表的一种主要共振模式，Newport最多使用6个阻尼器（RS4000）来有效地在较宽的频率范围内降低共振幅度。因为可以将这些阻尼器调谐到非常低的频率，所以对具有低谐振频率的倍频器表进行了阻尼–在这种情况下，宽带阻尼无法取得良好的效果。3.有源和混合阻尼光学平台：主动和混合阻尼与作为被动阻尼方法的宽带阻尼或调谐质量阻尼不同，Newport的SmartTable产品系列具有采用获得专利的IQ技术的主动阻尼（美国专利7320455、8196891、8807515、9086112、8277683、8231098、8651447和8857585）。主动阻尼系统不是被动地吸收振动，而是实时感测振动，并立即向执行器发送信号以抵消和消除振动。通过在光学平台设计中结合两对传感器和执行器，它有效地解决了光学平台的共振问题，并使用外部控制器来协调信号处理，从而实现了光学平台的快速准确的阻尼响应。主动阻尼系统是光学平台最先进的阻尼技术。混合阻尼结合了主动阻尼和调谐质量阻尼的优点，并提供了市场上性能最好的光学平台。有源系统能够在由精密调谐的阻尼器产生的良好基础之上进一步减少振动，从而使光学平台和系统具有最小的共振峰。 深圳市华领精密机电有限公司在营销和服务体系上始终以坚持“以客户为中心”的营销和服务理念，坚决以满足客户的需求作为首要目标，力求为客户提供专业的服务和合格的产品，欢迎各位朋友咨询。

TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台SEM Base LPSEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装，提供卓越的性能，并且符合人体工程学优化。紧凑的设计便于安装，无需使用扫描电子显微镜（SEM）的内置调平脚以外的任何东西来提升扫描电子显微镜（SEM）柱。而且，一旦安装，扫描电镜的高度以上的地板不会增加。SEM-Base-LP采用了我们独特的STACIS压电技术，具有与我们的行业标准SEM-Base-VI相同的振动消除性能。SEM-Base-LP包括脚轮，专门设计用于与许多赛默飞世尔科技（前身为FEI）工具集成。Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool兼容的Thermo Fisher产品型号SEM Base LP与许多Thermo Fisher产品型号兼容，包括●Apreo●Aquilos●Helios Small DualBeam●Nova NanoSEM x50●Quattro S●Scios●Teneo●Verios G4●Verios 460, 460L●Versa 3D如果您的SEM/FIB未列出，请联系我们检查兼容性。TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的优势硬安装技术–SEM底座与内部SEM振动控制系统兼容，并积极缓解0.6 Hz的低频地板振动。主动惯性振动消除-扫描电镜基地使用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地板。采用压电技术的串行设计–独特的串行设计和专有的高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽，以及无与伦比的惯性主动消振，从2 Hz开始可降低90%。TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的性能1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP规格性能主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 100 Hz被动固有频率标称值为12 Hz有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%2 Hz时的隔振90%≥3 Hz时的隔振90 - 98%内部噪音0.1 nm RMSd工作负载范围标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）磁场发射4英寸（102毫米）处距离平台0.02 μG broadband RMSd设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面尺寸（宽 x 深）35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米高度标称6.3英寸（160毫米），SEM-Base关闭时不会改变工作温度50° - 90°F10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C系统电源要求100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC；600 W，符合CE标准地面位移800 μin. (20 μm) below 10 Hzd内置控制器规格处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB2.0 1个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI

隔振台-显微镜被动防振台 型号：ATM-1010LA 品牌：HERZ描述：ATM系列是日本HERZ公司研发的一款被动防震台空气弹簧式减振台，设计注重易用性，采用轻质高刚性钢制蜂窝面板，带有M6-25 mm XY 矩阵螺孔，方便固定各种设备和光学部件。 被动防震台产品亮点： 配备扶手，方便显微镜操作。舒适设计，坐在椅子上时腿部不会碰到底座框架配置脚轮和调节螺栓，可以轻松地在室内移动磁性不锈钢蜂窝面板，可轻松固定磁铁和螺钉蜂窝面板的蜂窝状夹层结构具有轻量和高刚性的特征被动防震台应用范围： 共聚焦显微镜激光拉曼分光装置测量显微镜荧光显微镜贴片夹注射设备 被动防震台技术参数：型号：ATM-1010L ※可选：ATM-1010LA(B) 外形尺寸：1000W×1040D×709Hmm安装板尺寸：1000W×1000Dmm 隔振方式：NS空气弹簧式隔振系统（自动调平式）负载能力：300kg (低重心均等负载时) 产品重量：200kg表面加工：磁性不锈钢/螺纹M6-25XYmm（端面剩余25mm）※可选不攻丝 表面处理：未上漆/聚氨酯黑漆表面构造：钢制蜂窝夹层结构 框架：SS制/角管焊接一体构造（膝盖规格）/附有脚轮调节螺栓

Minus K 桌面型隔震平台 高负载，高隔振效率，低固有频率（1/2Hz）稳定性好机械被动减震隔离器!所属类别：光机产品/精密定位控制系统 ? 光学平台所属品牌：负责人姓名：魏工(David)电话： 邮箱：Minus K 隔震平台隔振效果演示：Minus K 隔震平台和高性能的气垫隔振平台透过率曲线对比以下为Minus K标准产品，如您有特殊需求，可联系上海昊量光电设备有限公司。桌面式被动隔震平台 BM-1BM-1是我们桌面式隔振平台中面积最大、负载能力最大、性能最优的一款，负载能力在27kg-476kg之间。0.5Hz 的水平固有频率，当负载接近最大负载能力时，垂直频率可达0.5Hz。 BM-4BM-4具有较低的负载能力，负载能力小于93kg，0.5Hz 的水平固有频率，当负载接近最大负载能力时，垂直频率可达0.5Hz。 BM-6BM-6是在负载能力与性能之间权衡的一个产品，负载能力在4.kg-48kg之间，水平频率和垂直频率均依赖于负载大小，当负载接近该设备最大负载时，垂直频率为2.5Hz,水平频率为1.5Hz，同时该款也是所有隔振平台中价格最低的一款。 BM-8BM-8相比于BM-6其负载能力较大，且性能较优，0.5Hz 的水平固有频率，当负载接近最大负载能力时，垂直频率可达0.5Hz。 BM-10BM-10 是所有桌面式平台体积最小的一款，同时负载范围较小，小于50kg，0.5Hz 的水平固有频率，当负载接近最大负载能力时，垂直频率可达0.5Hz。立式被动光学隔震平台 WS-4WS-4是一个凳子加上一个BM-1隔离器，也可搭配BM-4，BM-6，BM-8，BM-10。客户也可选择两台或者三台WS-4来支撑更大的平台。 MK26MK26是一个内置BM-1隔离器的工作台，隔振性能与BM-1隔离器性能相同，但是其负载能力小于BM-1。高度约91cm，桌面有复合材料和孔状材料之分，均有两种不同台面尺寸和对应的负载能力，一种为76cm×91cm：23-405kg，另一种为91cm×122cm：32-364kg；孔状材料也有两种：76cm×91cm：33-415kg，91cm×122cm：48-380kg。 MK52l Multiple table top optionsl Low-frequency isolated optical tablesl 0.5Hz vertical and horizontall Large selection of accessoriesl 3-leg configuration for tables over 5’ 请联系上海昊量光电！Multi Isolator SystemGM-1l Compact high capacity isolatorl Capacities up to 100lbsl 0.5Hz vertical and horizontal l Can be combined into multi isolator system to support heavy payloadsl Air table retrofits for better isolationLC-4l Ultra compact isolatorl 0.5 Hz vertical l 0.5Hz or 1.5Hz horizontall Capacities up to 130lbsl Can be combined into multi isolator systems to support heavy payloadSM-1SM-1是一款为大平台和其他的需有大负载能力的平台而设计的隔离器，单个隔离器负载能力范围为50kg-1905kg，其也可单独使用。

TMC主动隔振平台STACIS III概述STACIS III是一种灵活的*主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和*先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。STACIS*初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中*敏感仪器的行业标准解决方案。STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的*控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动*为敏感的仪器。主动隔振光学平台系统STACIS III的优势STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术，可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。主动隔振光学平台系统STACIS III特征●*新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面●隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％*70％的隔离率●频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％●降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行●有效隔振范围，0.6Hz到150Hz●获得众多用户的广泛认可和肯定●6向自由度硬安装设计，无需空气悬架●强大的控制系统无需定期重新校准●point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容●随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形●TMC的STACIS技术使用压电执行器主动消振●数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）●提高客户产品产量、质量、成品率。●符合RoHS标准●*宽的主动隔振带宽，*的低频隔振效果●亚赫兹的主动震动消除，*主要在0.6-6Hz频段内的隔振●可堆叠式设计●主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连●被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚*无需调谐●由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器●负载可达2000kg●市场上*的主动隔振系统性能使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试4500磅（2045千克）有效载荷规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽 x 深 x 高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90°F 10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

TMC主动隔振平台STACIS IIIcSTACIS IIIc是STACIS III*主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规STACIS III高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。STACIS IIIc优势与常规STACIS III系统相比，隔离器高度*多降低42％，而性能却没有降低。STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术 可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。性能4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)性能规格规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）14.45 x 14.26 x 6.16* in.367 x 362 x 157* mm* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.隔振器重量53磅（24千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

TMC STACIS Quiet Island 用于大型仪器 光学平台主动隔振系统TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。消振Quiet Islanddu有的主要支撑元件和核心技术都集成在STACIS III主动消振系统中。这种“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以最高标准运行。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动内部隔振系统的工具。此外，它还提供了最宽频率范围内的最大隔振性能。并且“硬安装”设计非常坚硬，因此对于较高、上重下轻的工具，不会出现稳定性问题。立管和支架用于支撑STACIS隔振器的极其坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并由我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证规格制造。每个Quiet Island都经过精心设计，适合各种活动地面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全球安装了数千个支撑200多种不同仪器型号的装置，拥有丰富的知识和经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构。刚性平台该平台由一个经TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板夹层组成，其中钢板夹在一种轻质、不可压缩、阻尼的芯材料周围。刚性钢板和芯用环氧树脂粘合到一个无缝不锈钢盘中的分层效果提供了ji高的刚度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳，以保持清洁、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、固定孔和吊环螺栓。TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统的优势采用STACIS - TMC业界ling 先的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。专业知识 - TMC拥有与世界ling 先的半导体制造商、科研机构和超精密OEM合作的丰富经验。我们了解客户及其需求。我们自己设计和制造。

美国TMC光学隔振平台 森泉光电中国区代理美国TMC：优质隔振设备供应商，是专业生产振动隔离系统的厂家，提供光学平台、实验桌、隔振地面等，产品覆盖主被动隔振，是隔振行业的领跑者。TMC在振动隔离系统的设计理念，至今仍保持多项技术，其高精度的气垫隔振系统可以在垂直方向5Hz的频率时，实验桌隔离95%，光学平台隔离97%，水平方向实验桌隔离噪声80%，光学平台隔离90%。优势：全钢结构。顶部蒙皮和蜂窝芯之间没有刨花板侧壁或塑料层。确保了强度和结构完整性小的芯单元尺寸，高的芯密度。CleanTop设计不需要扩大钢蜂窝芯单元尺寸，因为CleanTop杯呈圆柱形，而不是塑料层设计中的圆锥形。CleanTop的平均单元尺寸为0.5英寸（2），比塑料层设计的尺寸小至少50％，这确保了高的刚度和大的芯-蒙皮粘合接触面积钢到钢到钢。CleanTop只通过两个粘合层就实现了一个防溢芯：顶部蒙皮到芯、芯到底部蒙皮。而仿制品必须添加第三个粘合层，这会削弱结构：顶部蒙皮到塑料层、塑料层到芯、芯到底部蒙皮。热稳定性。CleanTop全钢结构使材料具有相同的热膨胀系数，从而确保了良好的热稳定性。 TMC的CleanTop光学顶部具有防溢、干净、精确、耐腐蚀的特性以及无与伦比的结构性能。CleanTop现在是所有TMC光学顶部的标准配置。在攻丝和清洁后，每个CleanTop杯都用环氧树脂粘合在相应的螺纹孔下面。杯子由耐化学腐蚀的尼龙6制成，也可提供不锈钢（304合金）杯。在添加杯子之前，孔被攻丝和沉置，以便在粘合之前在开孔而不是盲孔的情况下彻底清洁机加工的顶板。顶板通过定制的TMC工业清洁中心进行处理，在该中心，高压、高温清洁溶液被强制通过每个螺纹孔，以完全清除任何加工或攻丝碎片。几次冲洗和干燥循环操作可确保顶部表面在粘合杯子之前达到接近“无菌”的水平。 CleanTop是光学顶部的另一项创新，TMC已经在光学顶部行业创下了多个“首 kuan”，它们包括：防溢光学顶部（CleanTop） 全钢光学顶部 无油光学顶部 对齐到螺纹孔阵列的蜂窝芯带成型孔而不是钻孔的轻质面包板与真空兼容的光学顶部特点：表面的液体溢出物受到限制，无法到达顶部的蜂窝芯。芯经过全面的清洁和干燥，没有残留的螺纹切削油，从而不会释放气体。极其干净的螺纹孔使螺钉可以平稳和轻松地插入。可以轻松取出掉入孔中的小零件。由于在顶部表面使用危险化学品时化学品不会渗入芯内，因此不小心接触芯的化学品不会对健康造成危害。

TMC主动气浮隔振光学平台混合压电陶瓷/空气主动振动消除系统 TMC新产品STACIS® IX LaserTable-Base，是STACIS ® IX系列压电陶瓷主动振动消除系统的zui新产品。LaserTable-Base对现有光学平台的振动隔离技术进行了极大改善。通常，光学平台是由低频气动隔振系统支撑。虽然对于高频的隔离非常有效，但是实际上被动系统在1-3HZ范围内会放大振动。 TMC的STACIS技术通过将压电陶瓷制动器和惯性振动传感器结合的技术来消除而不是放大低频振动，成功地克服了这些局限。LaserTable-Base综合了气浮和STACIS这两种技术组成一个完整的振动消除系统。由于两种隔离系统的串联，使此技术的振动隔离范围从非常低的频率到前所未有的高频。由于两个串联隔离系统的综合作用，结果是在非常低的频率下消除振动和前所未有的高频隔离水平。 STACIS LaserTable-Base顶部的气浮部分是模块化的，可替换。它可以是TMC的Gimbal Piston&trade 气浮隔振支腿，或者MaxDamp® 气浮隔离支腿，甚至可以是刚性不隔振的支腿，这取决于应用时的需求。特点： 1、包含STACIS技术 2、主动内部振动消除系统 3、从低于1Hz开始隔离振动 4、6自由度 5、为达到zui大振动消除，串联2个隔离系统 6、包含MaxDamp空气隔离技术 7、简单，鲁棒性强，性价比高 8、安装简单，只需要很小的调整 9、桌子下有可用于放置设备的可选货架 10、包含TMC的DC-2000数字控制器性能：将低频、无源 MaxDamp® 空气隔离器与压电主动振动消除系统串联组合会产生一条整体传输率曲线，该曲线是两条单独传输率曲线的总和。由此产生的隔振性能非常显着，以至于在某些频率范围内，我们受到测量仪器本底噪声的限制。并且无法测量和展示完整的隔离性能。也就是说，在 10-12 Hz 以上，组合系统的实际性能预计会超过所示，因为组合隔离在理论上是两个子系统提供的隔离的总和。2,000 lbs (907 kg) 有效载荷在 VC-A（2,000 μin./s，50 μm/s）下通过模拟振动测试应用照片：注意：具体价格请咨询销售经理，网上标价不作为实际出售价格。如果想了解更多产品信息以及价格货期，可致电我司咨询，青岛森泉光电有限公司欢迎您的咨询。我司提供优质可靠的产品和完善的售后服务，为您提供光电帮助。

TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台概述STACIS® 4是最xj的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先j的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。 起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。 STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。 STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先*的控制算法和新的专*技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense&trade 专*技术相结合时，STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。STACIS 4的优点：STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。独特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带无与*比的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。比STACIS III更好的振动控制，与行业标解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。 性能在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。性能规格主动减振自由度6 主动减振频段0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.35Hz在1 Hz的减振85% - 96%在2 Hz的减振96-99.9%稳定时间（典型）0.2 秒 内部噪音＜0.05nm RMS单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500 kg）中负载：900-2100 lb（410-955 kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045 kg）刚度 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)（1000 lb / 454 kg 重量，以中负载的隔振器为例） 磁场强度＜0.02μg 宽频 RMS隔离器尺寸、环境和使用要求 环境与安全通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准主动隔振单元压电元件由高压放大器驱动，垂直致动器支撑隔离的有效载荷被动隔振单元 单一各向同性硬挂载弹性体（不需要压缩空气供应）振动传感器检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号主动反馈控制回路在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 × 12.5 × 10.8 in.300 × 320 × 275 mm隔振器重量75lb （34 kg）操作温度50°- 90°F10°- 32°C储存温度-40°- 130°F -40°- 55°C 湿度华氏68度（20℃）最大湿度为80%，最大露点：18℃系统电源要求100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE认证每个系统的隔振器数量最少3个选项层压式不锈钢平台，框架，增高支架模块，调平装置，防地震模块，卡扣式装配等DC-2020 控制器规格尺寸（宽×深×高）19 × 8.5 × 1.75 in.483 × 216 × 45 mm重量6.3 lb（2.9 kg）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16频道模拟输入16频道状态指示灯单个LED灯前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个Ethernet RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个Ethernet RJ-451个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器用户界面前面板液晶显示器终端程序上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式Ethernet GUISTACIS 4界面STACIS4主动压电式解决方案可以通过直观的基于网页的用户界面(Web GUI)，从电脑端的网页浏览器*进行控制 - 不需要额外的软件。通过Web GUI，用户可以查看状态、管理操作和设置、输入诊断指令。网页用户界面增强版TMC为高级用户提供了一个增强版的网页用户界面，称为Web GUI Plus。它包括额外的进阶诊断功能，以及一个内置的示波器，可以监测每个轴向振动的输入和输出。STACIS系列产品参数对比型号STACIS IIISTACIS IIIcSTACIS 4产品新增地面感应模块，该模块包含直接测量地面振动的传感器，从而在0.5至20Hz范围内产生更多的振动衰减。主动减振自由度666主动减振频段0.6 Hz - 150 Hz0.6 Hz - 150 Hz0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.5Hz0.5Hz0.35Hz在1 Hz的减振40% - 70%40% - 70%85% - 96%在2 Hz的减振≥90%≥90%96-99.9%10 lb（4.5 kg）分段输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3s 0.3s0.2s内部噪音＜0.1nm RMS＜0.1nm RMS＜0.05nm RMS 性能单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500kg）中负载：900-2100 lb（410-955kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045kg）刚度 （1000 lb / 454kg重量，中负载的隔振器）40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) 距离隔振器4英寸（102mm）处的磁场释出＜0.02μg 宽频 RMS地面位移要求480 μin. (12 μm) 低于 10 Hz480 μin. (12 μm) 低于10 Hz-从表格中可以明显看出STACIS 4对比其他型号有了显著的突破，在主动减振自由度、主动减振频段、有效主动谐振频率、减振效率、稳定时间有了明显的提升。并且STACIS 4新增地面感应模块，可以更好的隔离振动。

TMC SEM主动隔振平台SEM-Base VISEM-BaseVI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到了满足工具制造商规格所需的地面振动水平。 SEM-Base VI采用独特的“串行结构”，其中的振动传感器测量地面振动，而不是有效载荷振动。与其他设计不同，这确保了有效载荷共振不会限制隔振或造成不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器，在难以测量的亚Hz范围内具有最大灵敏度。结合我们独特的压电致动器技术，SEM-Base VI即使在安静的地面上也能实现极高的消振水平。 SEM-Base VI可提供与以前型号平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的双核处理器，为工具所有者和研究人员提供了一个非常简单易用的图形界面，可实现快速系统评估和安全操作。通过以太网连接时，DC-2020将在用户的浏览器中创建SEM-Base GUI，无需安装其他软件或应用程序。此外，用户也可以通过板载菜单驱动的液晶显示器（LCD）与控制器连接。注意：请参见SEM-Closure，这是一种专为保护SEM而设计的整体环境解决方案。它可以将SEM-Base和Mag-NetX 固定在一个密封和温控声学室中 - 从而保护SEM免受振动、磁场干扰和声学噪声的影响。TMC SEM主动隔振平台SEM-Base VI的优势硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容，可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。 采用压电技术的串行设计 - 独特的串行设计和专有的高力压电技术可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的卓越惯性主动振动消除性能。完全集成式的单平台设计 - SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化到了极致，简单的定位与设置之后即可正常工作。NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响。TMC SEM主动隔振平台SEM-Base VI产品特点●STACIS专利技术●主动惯性振动清除系统●895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM●负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)●隔振效率1Hz:40-70% ●隔振效率经2Hi:90% ●隔振效率＞3Hz:90-98%●6个主动自由度●安装容易，调试简单●兼容所有设备内直的振动隔离系统●电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W●是否需要空气：非气浮系统●CE与RoHS认证●完全集成式的单平台设计●可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运●兼容SEM-lift系统TMC SEM主动隔振平台SEM-Base VI规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 100 Hz被动固有频率标称值为12 Hz有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%2 Hz时的隔振90%≥3 Hz时的隔振90 - 98%内部噪音0.1 nm RMSd工作负载范围标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）磁场发射4英寸（102毫米）处距离平台0.02 μG broadband RMSd设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面尺寸（宽 x 深）35.25 x 44.25英寸895 x 1124毫米高度标称6.3英寸（160毫米），SEM-Base关闭时不会改变工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移800 μin. (20 μm) below 10 Hzd内置控制器规格处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI性能使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试1800磅（818千克）有效载荷应用说明应用说明SEM成像SEM-Base在使用日立S-4800之前和之后的图像SEM成像蔡司Auriga FIB-SEM在使用带Mag-NetX的SEM-Base之前和之后的图像案例分析主动压电消振功能允许在恶劣的城市环境中使用先进的电子束和离子束仪器提高金刚石车削质量最大限度地减少表面粗糙度以消除金刚石车削智能设备相机镜头模具上的衍射颜色

TMC STACIS III 主动隔振系统光学平台STACIS ® III 是一种灵活的**主动隔振系统。STACIS 采用的惯性振动传感器、复杂的控制算法和* 进的压电致动器，通过连续测量地板活动，然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动来实时消除振动。STACIS 最初设计用于隔离**半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是噪声环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究。STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板的 USB 串行端口，这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球范围内成功安装了数百次，是适用于对振动*敏感的仪器的理想隔振系统。 优点：STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬架，而且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。*特的串行设计和专有的高压压电技术 可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和真正主动隔振，从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。性能规格主动自由度6个有效带宽0.6 赫兹 - 150 赫兹被动固有频率18 赫兹垂直和水平有效主动谐振频率0.5赫兹1 Hz 时的隔离40% - 70%≥2 Hz 时的隔离≥90%10 磅（4.5 千克）阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3秒内部噪音0.1 纳米均方根每个隔离器的工作负载范围低容量：182-500 千克（400-1100 磅）中容量：410-955 千克（900-2100 磅）高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅）刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器）40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米)从隔离器发出的磁场最大为 4 英寸（102 毫米）0.02 μG 宽带 RMS

TMC地面式主动隔振平台STACIS Quiet Island半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。消振Quiet Island*的主要支撑元件和核心技术都集成在STACIS III主动消振系统中。这种“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以*高标准运行。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动内部隔振系统的工具（请参阅我们关于在主动隔振器上堆叠主动隔振器的白皮书）。此外，它还提供了*宽频率范围内的*大隔振性能。并且“硬安装”设计非常坚硬，因此对于较高、上重下轻的工具，不会出现稳定性问题。立管和支架用于支撑STACIS隔振器的极其坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并由我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证规格制造。每个Quiet Island都经过精心设计，适合各种活动地面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全球安装了数千个支撑200多种不同仪器型号的装置，拥有丰富的知识和经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构。刚性平台该平台由一个经TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板夹层组成，其中钢板夹在一种轻质、不可压缩、阻尼的芯材料周围。刚性钢板和芯用环氧树脂粘合到一个无缝不锈钢盘中的分层效果提供了极高的刚度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳，以保持清洁、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、固定孔和吊环螺栓。Quiet Islands vs. Quiet BuildingsDesigning a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter. It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration .TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005,2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005.Quiet Island的优势采用STACIS - TMC业界*的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。专业知识 - TMC拥有与世界*的半导体制造商、科研机构和超精密OEM合作的丰富经验。我们了解客户及其需求。我们自己设计和制造。性能在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、来自地面的VC-C输入下测量传递率规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸300 x 320 x 275 毫米隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480μin. (12μm) below 10Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI其他参数平台表面不锈钢表面顶部和侧面；环氧涂漆钢底部平台结构专有的多层层压钢板尺寸量身定制标准高度15、18、20、24、30、36、48英寸38、46、51、61、76、91、122厘米还可提供定制高度负载能力量身定制刚性立管和支架获认证的焊接、全钢结构，与洁净室兼容的粉末涂层表面可选附件限制支架、平台顶部吊环螺栓，用于格子式底层地面的桥板平台顶部版本切口、通孔、用于固定工具的螺纹孔其他Quiet Island配置不具有环境振动规格的大型仪器通常需要一个与活动地面分开的刚性且稳定的支架。刚性Quiet Island是理想的解决方案。刚性Quiet Island具有相同的高性能平台顶部，也可为任何高度、任何底层地面几何形状的活动地面洁净室以及各种工具尺寸定制设计。TMC提供一系列不同类型的支柱，以满足各种需求，从而形成了特定于仪器和工厂的模块化、可灵活地重新定位和升级的解决方案。应用照片由于安装在我们Quiet Island底层地面平台上设备的复杂性、敏感性和价值，我们未创建用于订购的标准目录号。我们认为应为特定应用定制设计每个平台。建议的订购步骤如下：●告诉我们您要隔离的设备或仪器。由于我们已安装了成千上万的装置，我们可能已有满足您应用要求的平台设计。此外，我们还与步进器、对准器、SEM和其他工具制造商保持密切联系，因此，我们了解*新的尺寸、形状、重量变化和地面振动规格。●或者，您可能想要一个适合活动地面网格系统的平台。客户通常选择47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平台来替换偶数块地砖。●告诉我们您的活动地面高出坚实底层地面的高度。●请向我们描述或提供一个显示您底层地面或钢梁/格子板几何形状中的任何孔图案的插图。●请向我们提供地面振动数据或与我们讨论如何安排测量这些数据。●考虑仪器的振动灵敏度。我们的刚性、非共振支柱设计为许多工具提供了充分的支撑。更敏感的应用将需要空气或压电支撑

TMC台式主动隔振平台Everstill K-400Everstill是TMC在高级地面振动控制方面的最新突破。荣获专利的Everstill K-400是一款台式主动消振平台，采用“串行式”主动架构。它与速度传感器相结合，提高了低频灵敏度，实现了出色的低频减振效果。Everstill K-400专为光学显微镜、SPM和计量仪器而设计，可将超精密仪器的建筑地面振动隔离至1 Hz以下。使用Gainmatch&trade （专利申请中），可以轻松在三种增益设置中进行选择，以在您的环境中实现最佳性能。Everstill基于TMC STACIS压电消振技术，采用主动硬安装方式，可以从0.7 Hz开始消振。Everstill具有最佳的低频性能，在精密仪器往往最敏感的1-10 Hz关键范围内仍可提供优异的性能。便携、紧凑的设计非常适合在工作台和桌面上安装。唯一的输入要求是来自标准交流电源插座的电源。美国专利号8,899,393TMC台式主动隔振平台Everstill K-400的优势卓越的低频性能：从0.7 Hz时开始隔振。特别是在1-10 Hz的关键范围内，可消除剧烈振动主动消振专利技术：适用于小巧轻便的超精密仪器主动硬安装：无空气。强大的即插即用设计先进的振动传感器技术：采用亚赫兹性能的集成检波器类型的速度传感器。比加速计具有更好的低频灵敏度。Gainmatch&trade （专利申请中）可优化性能：开关允许用户轻松选择3种增益设置。这确保了最大程度的消振性能以及不同用户环境的稳定性。性能TMC台式主动隔振平台Everstill K-400规格原理图架构：串行式主动（执行器与隔振器弹簧串联）振动传感器：检波器类型的速度传感器（电压与速度成正比）调平：自动。重现性：+/- 0.02英寸（+/- 0.5毫米）尺寸：（宽 x 长 x 高）16 x 20 x 4英寸，400 x 500 x 100毫米重量：55磅(25 kg)有效载荷能力：50 - 330磅。（23 - 150千克）隔振性能：1.0 Hz时4 - 7 dB 2.5 Hz以上时20 dB共振频率：0.6 Hz主动消振带宽：0.7 – 100 Hz被动消振带宽：高达1000 Hz设施要求：90-220 V，50/60 Hz电源DoE评级：VI运输：内部锁定限制顶板：可提供无孔、1/4-20或MG螺纹孔应用说明Everstill技术使安全的IVF显微操作成为可能应用：辅助生殖技术（ART）仪器：奥林巴斯IX71体外受精（IVF）是一种辅助生殖技术（ART）。现代设备和技术最初出现于20世纪70年代末，它们推动了更先进技术和更成功程序的发展。对体外卵母细胞的显微操作振动会对正在接受辅助生殖技术的卵母细胞和胚胎造成严重损害。先进的体外受精技术（如卵胞浆内单精子注射（ICSI）、辅助孵化（AHA））和其他生育程序（如胚胎植入前遗传病筛查（PGS）和胚胎植入前遗传学诊断（PGD））需要精确的运动和无振动的环境。位于纽约锡拉丘兹的CNY生育中心距离州际公路大约0.5英里，受建筑物振动的影响。可能的振动源也可能由各种仪器引起，例如靠近的台式培养箱和吹扫气体流量计、实验室内外的行人以及周围的建筑物振动。无论哪种来源，所有振动都可能会对ART实验室造成严重的损坏和破坏。消振设备使安全的显微操作技术在手术中得到成功应用。Everstill K-400具有出色的消振功能，可提供一个安全的显微操作环境。串行式主动振动控制技术为显微镜提供了积极的低频隔振效果和稳定的表面。安装非常简单，只需按下按钮，设备即可自行调平。在下面的ICSI视频中，环境中的振动在卵母细胞的图像中相当明显。尽管振幅较小，但是这种来自地面和实验台的振动会妨碍手术的进行。大约35秒后，Everstill K-400通电，振动减轻，手术继续。在为显微镜安装了K-400后，诊所现在能够安全、高效地完成所有与显微操作技术相关的手术。应用照片订购表Everstill&trade 订购表目录编号孔图案尺寸（宽 x 长 x 高）K-400无孔16 x 20 x 3英寸400 x 500 x 100 mmK-400E1英寸中心的1/4 - 20K400M25毫米中心的M6配件订购表目录编号描述尺寸（宽 x 长 x 高）29-43240-0146磅（21千克）载荷板16 x 20 x 0.5in400 x 500 x 12 mm29-43245-01底板16 x 20 x 0.03 in400 x 500 x 0.8 mm1163K-7512S适用于Everstill K系列的CleanBench29.5 x 47.25 x 29.5 in750 x 1200 x 750 mm1163K-7590S适用于Everstill K系列的CleanBench29.5 x 35.4 x 29.5 in750 x 900 x 750 mm83-501多用途隔音罩 32 x 36 x 64 in813 x 914 x 1626 mm

光学平台 可根据客户需求提供光学平台的定制服务。标准品具有全钢结构和出色的稳定性，并且宽带阻尼特性针对每种尺寸进行了优化。多种厚度可选的不锈钢顶板和底板经过精密加工的哑光效果处理，并且具有较高的表面平整度。1.高性能混合隔振光学平台 SmartTable® OTS™ HD系列光学平台系统拥有无与伦比的性能和价值，SmartTable® HD光学平台用一个创新的隔离平台集成的功能配件优化实验室空间，使其有条理和安全。 标准品列表 ：型号长度mm宽度mm厚度mm安装孔工作面高度mmM-51-2-I30001500305M61034±12.5M-46-8-I18001200203M6932±12.5M-48-8-I24001200203M6932±12.5M-51-8-I30001500203M6932±12.5M-56-8-I18001500203M6932±12.5M-58-8-I24001500203M6932±12.5 2.主动隔振光学平台主要特点：IQ主动隔振平台气动隔离器或刚性腿附件改善实验室空间利用率、组织和安全Windows 8兼容的软件包括ST配置 标准品列表：型号长度mm宽度mm厚度mm安装孔工作面高度mmJ-410-12-I30001200305M6800.3±12.5J-410-12-N30001200305M6800.3±12.5J-46-8-I18001200203M6698.3±12.5J-46-8-N18001200203M6698.3±12.5J-48-12-I24001200305M6800.3±12.5J-48-12-N24001200305M6800.3±12.5M-36-8-I1800900203M6932±12.5M-36-8-I1800900203M6932±12.5M-510-8-I30001500203M6932 ±12.5 mmM-510-8-N30001500203M6932 ±12.5 mmM-56-8-I18001500203M6932 ±12.5 mmM-56-8-N18001500203M6932 ±12.5 mm 3.被动隔振光学平台主要特点：调谐隔振光学平台领域升级SmartTable主动隔振刚性腿选项可以升级到气动隔离附件改善实验室空间利用率、组织和安全Windows 8兼容的软件包括ST配置 型号长度mm宽度mm厚度mm安装孔工作面高度mmUT2-410-12-I30001200305M6800.3±12.5UT2-410-12-N30001200305M6800.3±12.5UT2-46-8-I18001200203M6698.3±12.5UT2-46-8-N18001200203M6698.3±12.5UT2-48-12-I24001200305M6800.3±12.5UT2-48-12-N24001200305M6800.3±12.5UT2-36-8-I1800900203M6932±12.5UT2-36-8-I1800900203M6932±12.5UT2-510-8-I30001500203M6932 ±12.5 mmUT2-510-8-N30001500203M6932 ±12.5 mmUT2-56-8-I

产品介绍：气浮隔震光学平台HGZQ系列是一款高性能隔振光学平台，隔振器采用超薄复合材料气囊、带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能优良，系统稳定。HGZQ系列光学平台具有自动水平，自动充气，噪声低等特点。关键气动执行元件均采用进口产品。应用于精密光学实验、显微成像、医疗生物、光路测试、光学测量、激光干涉、精密检测等对振动具有较高要求的设备。 产品特点：隔振方式气浮隔振（空气弹簧，隔振橡胶）光学平台高度800mm光学平台平面度≤0.05mm/m2光学平台台面粗糙度≤0.8um台面处理哑光处理平台振幅1.2um固有频率x方向：1.2Hz～2Hz y方向：1.2Hz～2Hz 符合承载800KG/m2水平调节方式自动调平，气动元件执行空气源静音空气压缩机＜45Db可外接 调节高度±10mm 选型表：型号尺寸（mm）载荷阻尼支腿最大负载（kg）气浮支腿最大负载（kg）台面重量（kg）台面厚度（mm）支撑腿数量支腿尺寸（mm）HGZQ 0606600x600x800750350541004120×120HGZQ 0906900x600x800720320811004120×120HGZQ 10081000x800x8007003001201004120×120HGZQ 12081200x800x8006702701441004120×120HGZQ 15091500x900x80013006002021504200×200HGZQ 15101500x1000x80012505502101504200×200HGZQ 15121500x1200x80012505502501504200×200HGZQ 16091600x900x80013006002161504200×200HGZQ 18121800x1200x80012005003242004200×200HGZQ 18151800x1500x80011354353782004200×200HGZQ 20102000x1000x80012305303002004200×200HGZQ 20122000x1200x80011764763602004200×200HGZQ 24122400x1200x80011124124322004200×200HGZQ 24152400x1500x80010143145402004200×200HGZQ 30103000x1000x80010953954802004200×200HGZQ 3012 3000x1200x80010143145762004200×200HGZQ 30153000x1500x80016506007203006200×200HGZQ 35123500x1200x80017006506723006200×200HGZQ 35153500x1500x80016836338403006200×200HGZQ 40154000x1500x80015424929603006200×200HGZQ 42154200x1500x800215075010083008200×200HGZQ 48154800x1500x800202862811523008200×200HGZQ 50155000x1500x80034881388120030012200×200 HGZQ 60156000x1500x80032851185144030012200×200

主动隔振台-主动式隔震台-防振台-Herz-AVI-200XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动隔振台，半导体设备防振台系统，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动式隔振台，IVF实验室防振台。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200XL/L系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):130 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 12kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动隔振台-主动式隔震台-防振台

红星杨HGZT阻尼隔振光学平台产品介绍：标准阻尼光学平台HGZT系列是一款常用光学平台。采用连接式高刚性支架，使安装起来非常简单，表面带阵列螺纹孔型隔振平台，集成精密橡胶阻尼隔振和水平调节轴承，具有较好隔振效果。台板采用不锈钢超导磁隔振平板，具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，经精密研磨处理，表面平面度高。回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果。广泛应用于光学实验、光通信、光谱实验、激光干涉、全息应用、激光微细加工、精密计量仪器等。产品特点：隔振方式 精密橡胶阻尼隔振调节机制 水平调节轴承光学平台高度 800mm光学平台平面度 ≤0.05mm/m2光学平台台面粗糙度 ≤0.8um台面处理 哑光处理平台振幅 5um固有频率 x方向：3.5Hz～6Hz y方向：3.5Hz～6Hz符合承载 800kg/m2水平调节方式 手动调节调节高度 ±10mm

产品特点：■红星杨科技研发制造的精密隔振光学平台，组合精密橡胶阻尼隔震垫,和水平调节轴承，具有较好隔振效果。■适合于光通讯、电子制造、医疗器械、科研院校、显微镜、光路测试、光学测量、激光干涉、激光扫描、光谱实验等领域应用（对磁场较高的要求，百级超静音间等）■台板采用钢制芯夹板结构，具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为icr17优质高导磁不锈钢，经精密研磨处理，表面平面度高。回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果，面板具有M6螺孔，易于固定光学元件架。■高分子复合橡胶垫提供对高频振动的隔振能力。■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固可靠。■独特的水平调节机构，可以实现轻松水平调节的目的，稳定性能高。 HGZT系列精密光学平台技术指标：■平面度：≤0.05mm/m2■表面粗糙度:≤0.8μm■固有频率；x方向：4Hz～6Hz y方向：4Hz～6Hz■振幅：5μm■荷载能力：800kg/m2■重复定位精度：±0.05mm HGZS列光学平台规格选型表：产品型号规格尺寸(mm)台面厚度(mm)台面重量（kg）支撑腿数量HGZS-06-06600×600×80080544HGZS-075-075750×750×80080854HGZS-09-06900×600×800100814HGZS-10-071000×700×8001001054HGZS-10-081000×800×8001001204HGZS-12-081200×800×8001501444HGZS-15-091500×900×8002002024HGZS-15-101500×1000×8002002104HGZS-16-091600×900×8002002164HGZS-18-121800×1200×8002003244HGZS-20-102000×1000×8002003004HGZS-20-122000×1200×8002503604HGZS-24-122400×1200×8002504324HGZS-30-103000×1000×8002504804HGZS-30-123000×1200×8003005764HGZS-30-153000×1500×8003007206HGZS-35-123500×1200×8003006726HGZS-35-153500×1500×8003008406HGZS-40-154000×1500×8003509606HGZS-42-154200×1500×80035010088HGZS-48-154800×1500×80040011528HGZS-50-155400×1500×800450120012HGZS-60-156000×1500×800450144012各种尺寸，异形平台均可定制 内部蜂窝芯结构，密封杯设计 细节效果表面处理-粗磨-精磨-精抛-倒角客户案例：光学平台，精密隔振光学平台，阻尼隔振光学平台厂家首选红星杨。