质谱物种定量

当前我国的大气污染具有复合型污染特征，大气灰霾污染和大气光化学污染是困扰空气质量综合治理评估的两大首要问题，受到社会各界的广泛关注。其中，挥发性有机物（volatile organic compounds, VOCs）是造成污染的主要因素之一。部分VOCs可以在大气中通过化学反应生成二次有机气溶胶，加重大气灰霾污染；还有部分VOCs是O3的前体物，参与复杂的光化学反应过程，致使O3超标，发生光化学污染；并且大部分VOCs具有生物毒性，有些具有致癌、致畸、致突变效应，并且异味严重，直接危害人体健康。随着对VOCs的关注度越来越高，我国陆续颁布了VOCs污染控制相关的法规政策。2011年国务院颁布了《国家环境保护“十二五”规划》；2013年发布了《大气污染防治行动计划》；2015对《大气污染防治法》的修订，发布了《挥发性有机物排污收费试点办法》；2016年颁布了《十三五生态环境保护规划》和《十三五节能减排综合工作方案》。政策中多次强调在重点区域，重点行业推进VOCs排放总量控制。实现对VOCs综合治理监测先行。由于环境大气中的VOCs成分复杂、分布范围广、浓度梯度大、并且随气象因素变化快，这对VOCs监测技术提出新的挑战：多物种同时监测、准确的定性识别、高灵敏度以及走航快速监测等要求。TOFMS-100 VOCs在线监测质谱系统具有高分辨率、高灵敏度、高分析速度、全谱同时测量的特点，正是针对环境VOCs的上述监测需求而开发，产品与可车载使用-TOFMS走航监测车，可以实现环境空气中数百种VOCs秒级、在线、原位分析。产品性能指标：产品特点：TOFMS-100开发过程中，突破了大流量无歧视进样技术；冷却聚焦、微调、整形，离子高效率传输技术；MCP检测器阳极阻抗匹配技术；克服了空气中O2的负面影响等；开发了车载系统和软件操作系统。其主要特点如下：1、毛细管直接进样，无需样品前处理，相比于膜进样，无样品丢失；2、检出限优于0.1ppb，灵敏度高 3、离子源基于单光子紫外软电离技术，相比于EI源，无碎片产生，环境中复杂VOCs解谱准确率高；4、分析速度快，秒级出数，并能实现实时定性定量分析；5、分析器采用飞行时间质谱技术，全谱同时测量，可同时检测300余种VOCs；6、仪器动态范围宽，可监测ppt~ppm水平的VOCs；7、集成GIS，将监测点污染信息与地理位置关联，实现区域污染情况摸底画像，建立污染变化规律直读模式。应用领域： TOFMS走航监测车主要应用于环境空气中VOCs、恶臭气体的秒级在线、定性定量分析，满足但不限于以下领域的应用。1、 化工园区、城市空气等的走航监测；2、 突发事件、临时任务等的应急监测；3、 恶臭问题引起的公民投诉、责任划分等的溯源排查。4、 化学反应过程监控。包装：1. 包装箱的适当、明显位置上用油墨或油漆刷写下列标志：a）型号、名称和商标；b）制造厂名称、地址；c）包装箱体积：长mm×宽mm×高mm；毛重和净重；d）GB/T 191-2008规定的“向上”、“怕湿”、“小心轻放”等贮运标志图案；e）发送地点及收货单位。2. 产品包装按GB/T 15464中防潮、防震包装规定进行。售后服务：在用户遵守保管和使用规则的条件下，从制造厂发货给用户之日起一年内，产品因制造质量不良而发生损坏或不能正常工作时，制造厂无偿地为用户修理产品或更换零件。

iMScope QT保留岛津质谱成像的高空间分辨率和光学显微镜融合特点的同时，连接 LCMS-9030，以MALDI-Q-TOF提高成像速度和灵敏度。iMScope QT还可以把显微镜-MALDI单元简单地分离和组装，实现了一台仪器多用途使用，从而完成定性，定量，定位的整体流程。iMScope QT 主要特点：显微镜观察和质谱成像分析的融合。高分辨率光学显微镜完美地融合在成像质谱仪，可对微小区域进行观察和分析，通过叠加光学显微镜图和质谱成像图，更准确地进行定位。高空间分辨率，高速，高精度，高效率的成像分析。使用5 μm空间分辨率，20,000 Hz的激光频率，结合LCMS-9030的快速检测系统，成像分析速度可达到50像素/秒，分析100 x 100像素的图像仅需数分钟即可完成。LCMS-9030高性能的MS/MS分析，可快速提供目标分子的结构信息和高特异性成像数据。一台质谱即可获得LC-MS的定性、定量信息和质谱成像的位置信息。iMScope QT成像单元和LCMS-9030质谱单元可以组装和分离，轻松实现质谱成像分析和LC-Q TOF定性定量分析的切换，同时满足定量成像分析的需求。?

仪器简介：高通量线性离子阱质谱LXQ线性离子阱应用高通量策略包括多种药物的定性定量同时分析，对加速先导药物优化是非常必要的，通过一次分析运行就能完成原来的二次分析，因此这些数据可以成为优化药物代谢动力学和测定备选药物的安全性提供反馈信息。 产品特点：应用领域：代谢物鉴定 代谢稳定性测定 同时进行法医学鉴定和定量分析 蛋白质及其翻译后修饰鉴定技术参数：具有极高的灵敏度，可进行复杂物质的多种成分分析可靠的结构鉴定快速循环周期适于高通量分析线性离子阱专利技术能进行高质量的多级质谱分析主要特点：针对药物研发，分析，蛋白质组学和诸多工业应用而设计，具有很好的性能价格比。产品特点：高通量线性离子阱 高信度结构鉴定 快速可靠的分析 高质量的MSn分析 先进的Data Dependent 软件, 实现对未知样品的自动分析

MALDI 即基质辅助激光解吸电离成功地使质谱得以分析生物大分子，因而获得2002 年诺贝尔化学奖。目前，MALDI-TOF MS 已广泛应用于微生物鉴定、SNP 检测、肿瘤标志物测定、生物组织成像等领域。 QuanTOF 新一代宽谱定量飞行时间质谱，是基于 MALDI-TOF MS 飞行时间质谱技术的质谱分析技术平台。通过对传统MALDI-TOF MS 光、机、电、软件等全方位的重新设计与研发，QuanTOF 在蛋白定量、大分子检测、宽谱分析以及质谱成像等方面都有质的提升。新一代宽谱定量飞行时间质谱QuanTOF 分析平台为MALDI-TOF MS 拓展了更广泛的应用领域，为生命科学行业以及其他行业客户提供更多的方法学选择。我们的创新 宽谱：具有宽质量范围（10-1,000,000 Da）检测能力。QuanTOF 能在高质量区检测时仍具有高灵敏度；在宽质量范围内，高低质量区均能同时达到高分辨率。定量：可实现定量检测的MALDI-TOF MS。相对于上一代MALDI-TOF MS 的重现性（SD ＞ 25%）而言，QuanTOF 新一代宽谱定量飞行时间质谱仪，仪器的重现性SD ＜ 5%，能够满足临床定量的要求。 应用方向 QuanID微生物质谱系统 QuanID 微生物质谱系统，基于QuanTOF 技术平台，通过对微生物具有种属特异性的核糖体蛋白建立指纹图谱数据库，采集未知菌的图谱和数据库的谱图进行匹配，实现对微生物的种类的准确且可靠鉴定。产品优势快：10分钟内可自动化完成超过96个样本的检测准：基于基因组学、蛋白组学和生物信息学独特建库方法的全新微生物质谱数据库，超过500属、4500余种微生物，更拥有一级、二级两个数据库，二级菌库可对基因型相近的难分辨微生物做出准确鉴定稳：新一代QuanTOF 宽谱定量飞行时间质谱平台，保证微生物质谱高重现性省：5000Hz半导体激光器，终身免更换，节省用户更换激光器的成本；省人工，自动化完成采集、鉴定等流程；多功能，应用可扩展至蛋白质组学分析、生物标志物筛 选、代谢组学分析、核酸分型及质谱成像等更多应用，节省用户购买仪器成本应用范围● 临床微生物快速鉴定● 疾控中心病原微生物检测分析● 市场监督● 环境微生物监测● 检验检疫● 农林畜牧研究● 菌种保藏中心● 企业自检（食品、药品） 分枝杆菌鉴定时间更短结果更准融智生物提供结核分枝杆菌一体化高通量、高自动化解决方案，包括对结核分枝杆菌 和其他非典型分枝杆菌进行种以及更高水平的鉴定，并能高效地为结核病诊断提供有价值 的检测结果。 食品微生物行业数据库（益生菌）益生菌是一种能够通过改善肠道微生态平衡而促进人体健康的微生物。融智生物开发了使用MALDI-TOF 质谱法对益生菌候选菌株进行筛选及鉴定方法, 基于菌株特征性蛋白指纹图谱实现菌株鉴定的新型微生物鉴定方法, 其方法除具有鉴定准确、快速等优点外,还具备可高通量鉴定被检菌株等特点, 由于其适用性和实用型，正广泛用于益生菌的检测中。 QuanGHb糖化血红蛋白定量质谱系统 QuanGHb 糖化血红蛋白定量质谱系统， 基于MALDI-TOF MS 技术， 得益于QuanTOF 强大的分辨能力，通过对蛋白分子量变化的准确检测，能准确定量糖化血红蛋白的同时，也可发现更多其他类型变异血红蛋白，且抗干扰能力优异，可广泛应用于糖尿病患者血红蛋白糖化率连续监测、临床糖尿病诊断、糖尿病人群筛查、医院急诊术前检测，以及临床科研服务。 系统特点：可定量：糖化血红蛋白定量检测，同时可检测变异血红蛋白（hemoglobin variant）效率高：一次可达96 或384 样本通量；一个样本30 秒内即可完成检测结果准：质谱检测特异性及灵敏度高，抗干扰能力强成本低：测试成本比其他方法低 参考文献1. Anping Xu, et. al., Evaluation of MALDI-TOF MS for the measurement of glycated hemoglobin ，Clinica Chimica Acta ，154-1602. Anping Xu, et. al., Detection of a novel hemoglobin variant Hb Liaoning by matrix assisted laserdesorption/ionization-time of flight mass spectrometry, ClinChem Lab Med 2019,1-3 QuanTOF产地溯源质谱鉴定系统在不用地域间某些相似产品会有明显差异，可利用MALDI-TOF 质谱仪查找、筛选、分析和鉴定这些产品间某些特殊的生物标志物，从而实现产地溯源。利用生物标志物指纹图谱分析技术鉴别和追溯这些高附加值作物的产地来源，为更多产品的产地溯源研究提供参考的方法思路。江苏某监管部门，使用融智生物QuanTOF 产地溯源质谱鉴定系统，基于阳澄湖大闸蟹蛋白指纹图谱方法对大闸蟹进行准确鉴别，以此保护阳澄湖大闸蟹品牌，创造出更大的商业价值和经济利益。应用场景 各级市场监督部门、农业局、水产畜牧局等 QuanTOF肉制品品质鉴定系统以MALDI-TOF MS 为技术平台的生物蛋白质组学分析方法，为肉制品品质鉴定提供了全新的思路。借助QuanTOF 可检测生物大分子，且样本前处理简单，检测通量高等优势, 通过寻找、筛选与肉质性状相关的蛋白质组，探究猪肉品质形成基础, 并基于人工智能分析，建立一种肉制品品质鉴定方法。融智生物联合中国农业大学汪懋华院士团队，河北动物疫控中心组建应急攻关团队，联合进行方法学开发，已形成完整的解决方案，为猪肉品质评价及形成机理研究提供了新的思路。应用场景 大型屠宰场质控、市场监督部门、动物疫控中心等 QuanSNP核酸质谱系统QuanSNP 核酸质谱系统，基于多重PCR 和MALDI-TOF 质谱技术原理，实现核酸分型、甲基化分析，可用于遗传学分析、分子诊断、肿瘤研究和个体化用药等，在医疗第三方、临床检验研究、生命科学研究以及农业育种都有广泛的应用。系统优势—从样本到结果全解决方案高通量：单管可以完成多达40 重的检测，一次可检测96/384 个样本高效率：15 分钟完成96 个样本检测，单日实现从样本到结果输出高灵敏：核酸质谱方法学的灵敏度达到单拷贝低成本：降低单个位点检测成本应用广：基因分型（SNP、插入缺失和CNV）、甲基化分析、实体肿瘤、液体活检应用范围多病毒检测① 10 种鸭病毒联合检测质谱解决方案近年来我国养鸭业出现多种新病毒病病原，融智生物与中国农业大学，开发了多病毒质谱检测方法，可同时检测10 种鸭病毒，可为鸭病毒病病原的快速诊断和分子流行病毒学调查提供便利。 ② 20 项呼吸道病原体（新型冠状病毒等）检测质谱解决方案融智生物QuanSNP 病毒质谱检测方案，基于病毒核酸的检测，可对新型冠状病毒进行确诊，并能对常见的20 项呼吸道病原体进行分型检测，快速准确鉴定不同的病毒，提高诊疗效果。 QuanIMAGE成像质谱系统——原位生物标志物分析质谱成像是以MALDI-TOF 质谱技术为基础的分子成像方法，该方法通过激光直接扫描生物样本进行成像，可以在同一张组织切片上同时分析数百种分子的空间分布特征以及相对含量。QuanIMAGE 成像质谱系统，能够针对生物体内参与生理和病理过程的分子进行定性或定量的可视化检测。可实现蛋白、多肽、脂类以及药物分子在生物体内的分布特征和其含量变化的检测，提供生物体不同生理或病理过程中的分子变化及空间分布。因此在临床医学、分子生物学和药学等领域具有广阔前景。 创新性的QuanIMAGE 带来质谱成像质的突破：成像速度快——成像速度300 像素/ 秒，重新定义了MALDI 成像的关键性能指标分辨率高——空间分辨率优于10μm，能得到更高质量图像重现性好——仪器硬件的创新性结合，能得到重现性更好的图像实验示例应用方向药物研发- 靶向用药代谢组学研究精准医疗- 肿瘤标志物的发现精准医疗- 单细胞分型 让我们一起探索QuanTOF 的更多应用！新一代宽谱定量飞行时间质谱平台QuanTOF 的宽谱分析和定量性能，在具备传统MALDI-TOF MS 已有应用能力的基础上，将展现更多全新应用空间。大蛋白分子检测（大于300，000M/z 的大质量分子）即使是大于300,000 m/z 的大分子，也可以获得良好的谱图，为大蛋白分析提供了有力的支持。脂质分子检测QuanTOF 特有的宽谱（10Da~1,000,000Da）分析能力，辅以独特的基质，可以对脂类等小分子进行分析。QuanTOF 为飞行时间质谱打开了更开阔、更全面的应用空间

英国Hiden公司的QGA定量气体分析质谱仪是为在常压附近连续定量分析气体/蒸气的而设计。QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。设置简单、操作方便 图形、数据实时显示 本底自动校正 16种气体的定量分析 数据以原始数据、%或ppm形式输出 智能谱库扫描功能 准确的碎片峰形记录 自动减去重叠谱 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。应用： 催化研究反应动力学热分析质谱气体纯度分析多组分气体分析 环境气体分析 燃烧研究 CVD / MOCVD 发酵过程分析 氢气在线监测技术规格： 质量数范围：1～200 amu(标准配置) 1-300amu可选 响应速度： 300毫秒内对于气体浓度的变化做出反映 取样压力：100mbar～2bar 标准配置；1mbar～30bar 选配 检测浓度： 1 ppm～100% QGA专业定量分析软件 多种气体或蒸汽的定量气体分析 智能谱库扫描功能 建立气体/蒸汽谱分析计算并自动减去重叠谱 谱图模拟器动态快速显示用户控制的变化 可从外部输入触发信号，自动开始分析 能够读取多种输入，如温度和压力 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

金铠仪器的分子束飞行时间质谱，是一款采用了分子束进样，结合光电离复合电离源及飞行时间质量分析器的质谱仪。通过将样品分子从气相转变充满空间的分子束，然后对其进行分析，适合用于探测反应过程中产生的稳定或不稳定的中间物(如:自由基、烯醇、过氧化物等)，可应用如催化反应，等离子体化学，环境化学，燃烧与热解等领域。分子束采样技术采用自由射流膨胀来提取活性物种，这种设计可在短于化学反应的时间尺度内达到无碰撞的分子流，从而“冻结”采样气体的化学成分，减少目标分子的碰撞频率，避免二次反应的发生，提供完整的无碰撞条件下的总体组分组成信息。因此，可利用分子束采样实现原位采样并尽量保持活性物种的初始状态。采用基于真空紫外VUV灯的复合电离源，电离能量可调，碎片离子少、质谱图简单，有利于被分析物的定性和定量分析，且具有优异的耐受氧化性和腐蚀性样品的能力。反射式飞行时间质量分析器，具有可检测的分子量范围大，扫描速度快，分辨率高特点。我公司同样可以根据用户需求专门开发定制满足需求的质谱产品。

创 新 点1. M5 Micro LC：新型微升流速 LC 具有 1-200 μL/min 的流量范围，自动密封注射针头以及带有喷射清洗泵和瓶底感应技术的最新自动进样器。M5 微升流速 LC 比常规分析型HPLC 有更高灵敏，比纳升流速 LC 更加灵活稳定。而且操作更简单，无需借助工具，所有接头都可以用手拧紧，听到“咔哒”声，即表示接头安装就绪。2.OptiFlow™ Turbo V 源：基于可靠的 Turbo V™ 离子源设计，色谱柱柱温箱集成在离子源上，实现零死体积的高灵敏度检测。柱温箱可提供高达 90 °C 的温度范围，实现保留时间重现性。全新 SteadySpray™ 探针，确保形成均匀液滴，从而实现高质量喷雾。智能探针识别技术，无需对离子源进行任何手动调整。支持 1-200 μL/min 的宽流速范围。采用标准尺寸手拧头，便于快速连接微升流速 LC、色谱柱和质谱仪。3. Phenomenex MicroFlow 微升流速色谱柱：拥有各种填料和规格微升流速色谱柱，可满足所有项目需求。4. 采用 SCIEX 先进的 Triple Quad™ 或 QTRAP® 质谱仪获得优质定量数据产 品 性 能 特 点OptiFlow 定量质谱平台包括 M5 微升流速液相、全新的 OptiFlow™ Turbo V 离子源、Phenomenex 微升流速色谱柱，配合质谱，使定量灵敏度达到新的高度，解决了目前基质中具有挑战性的大小分子定量难题。该解决方案具有高性能流量控制、色谱柱灵活性和智能喷雾设计等特点，无需手动调节就可以实现最佳性能。其灵敏度比常规分析型HPLC 系统更高，但不损失稳定性或耐用性。目前基质中具有挑战性的分析物（如多肽、单克隆抗体和抗体-药物偶联物即ADC 类药物）以及其他小分子化合物的分析定量，通过 OptiFlow 定量解决方案能够获得更高的灵敏度和准确结果。微升流速分离的革新 - 体验简化操作的提高离子化效率的OptiFlow™ Turbo V Source - 新型高灵敏度离子源1. 基于可靠的 Turbo V™ 离子源设计，使用增强的气流动力学和 Ion Drive™ 加热器实现稳定性的离子化。2. 色谱柱柱温箱集成在离子源上。从色谱柱分离后，分析物直接进入离子源进行电离，实现零死体积的高灵敏度检测。是该离子源的独创设计。3. 色谱柱柱温箱可提供高达 90 °C 的温度范围，实现保留时间重现性和挑战性分析4. 全新 SteadySpray™ 探针，确保形成均匀液滴，从而实现高质量喷雾。Formatted: Superscript5. 支持 1-50 μL/min 的低微升流速和 50-200 μL/min 的高微升流速6. 采用手紧式标准尺寸接头和全新的单次卡扣离子源接口，便于快速连接微升流速 LC、色谱柱和质谱仪。7. 智能探针识别技术，将系统离子源预设置为可以提供最优喷雾条件的最佳范围，无需对离子源进行任何手动调整。M5 Micro LC - 新型微升流速液相M5 Micro LC 实现了灵敏度与稳定性的完美平衡，它比常规分析型HPLC 更灵敏，比纳升流速 LC 更加灵活稳定。它是一款功能丰富的微升流速 LC-MS/MS 解决方案，可以简化大小分子的定量和表征。此仪器极为灵敏，功能多样，不仅需要的样品少，还可帮助节省成本、空间，并且可与 SCIEX 质谱仪无缝衔接。1. 具有 1-200 μL/min 的流量设置范围，以及自动密封进样针、带有喷射清洗泵和瓶底感应技术的最新自动进样器。2. 更高的离子化效率和灵敏度: 与常规分析型HPLC 相比（流速范围在200-1000 μl/min），M5 Micro LC 的可以提供低至 1 μL/min 的流速，大幅度提高电喷雾离子源的效率，定量的灵敏度提高达 10-50 倍。3. “捕集-洗脱”模式提高通量: 具有直接进样和捕集-洗脱模式两种进样方式；“捕集-洗脱”模式搭配额外的梯度泵可以实现快速上样，提高分析通量。4. 易于安装的接头: 无需借助工具，所有接头都可以用手拧紧。听到“咔哒”声，即表示接头安装就绪。5. 微升流速流量稳定性: 获得专利的 Microfluidic Flow Control™ 技术保证在低流速范围实现稳定、准确的色谱梯度。6. 使用更少的样品：瓶底感应技术有助于从有限样品获得最多数据。7. 节省成本：每个样品的溶剂消耗减少 125 倍，帮助降低购买、贮存和处置成本。 向微升流速色谱的方法转换，除了获得灵敏度优势，保持了常规分析型HPLC 方法所具有的稳定性和易用性。标准尺寸手拧接头让 Micro LC 连接至OptiFlow™ 离子源和 SteadySpray™ 探针与常规分析型HPLC 一样简单。采用智能探针识别技术，预先设置系统离子源，可提供最优喷雾条件，无需任何手动调整。应 用 范 围小分子定量：使用微流灵敏度增强小分子和代谢物分析。多肽定量：定量复杂基质（例如血清和血浆）中的特征肽或治疗性肽。抗体定量：利用卓越的灵敏度和线性动态范围进行靶向抗体定量。ADC 定量：加速 ADC 的生物分析方法开发，为抗体和/或药物有效载荷实现高灵敏度试验。关于SCIEXSCIEX公司帮助科学家和研究员在他们面对的复杂的分析挑战中探索答案，改善我们生活的世界。SCIEX公司在毛细管电泳、液质联用的全球知名地位和领先的技术服务支持下，使它成为了在基础研究、药物开发、食品与环境检测、法医学与临床研究领域值得信赖的合作伙伴。伴随着超过40年的成熟创新，SCIEX公司擅长聆听和了解客户不断变化的需求，开发可靠、灵敏、直观的解决方案，继续重新定义在常规和复杂分析中可实现的部分。

仪器简介：HPR20 QICPlus是在HPR20 QIC基础上发展的全自动定量分析在线质谱仪系统,包括HPR20 QIC的所有功能技术参数：质量数范围： 1-50，1-200，1-300，1-500，1-1000 amu四极杆种类： RGA，3次过滤四极杆气体取样管： 内置石英玻璃毛细管，外部为不锈钢套。 加热温度至200℃。2米长气体流量： 1-20sccm，可调节进样压力： 压力恒定状态：100mbar－2bar（标准配置） 压力不断变化：100mbar－2bar，需选配FCI自动流动控制阀 2-30bar，定做装配方式： 台式或车载（选配）检测极限： 0.1-1 ppm RGA HAL系列四极杆（标准配置） 5ppb 3F系列四极杆 （选配）最小扫描步阶： 0.01amu多路进样阀： 多至80路。加热与否均可（此项为选配）主要特点：四组份气体传送和预混合面板，用于调配校准气体双气路进样口，低死体积阀门，自动/手动切换： 校准气体－零气体－样品气体，确保样品气体正向流动进样过滤器 (5µ m)，高传输、低死体积，方便清洁定量气体分析软件，利用标气进行自动定量气体分析校准矩阵倒置算法用于组份浓度计算，数据可显示为：％，ppm

新一代的QGA 2.0质谱仪采用了全新的外观和内部设计，以更小的体积和重量，呈现出更加美观的外观。其更快的扫描速度和更高的灵敏度使其能够实现每秒1000次的测量速度，并覆盖了从100ppb到100%的扫描范围。 便捷简化 – 一键启动操作先进卓越 – 全新电子学部件设计多功能应用 – 兼容多种进样口精心优化 – 专为氢气分析而优化高效速度 – 每秒高达1000次测量直观易用 – QGA 2.0 定量分析软件紧凑轻巧 – 实验台占地面积减小了42%轻盈便携 – 重量减轻了26%可持续环保 – 制造过程中使用更少，更环保的材料

质谱定量糖化血红蛋白新高度 QuanTOF I型 和QuanTOF Ⅱ型产品优势可定量：糖化血红蛋白定量检测，同时可检测变异血红蛋白（hemoglobin variant）效率高：一次可达96或384样本通量；一个样本30秒内即可完成检测结果准：质谱检测特异性及灵敏度高，抗干扰能力强成本低：测试成本比其他方法低 应用场景糖化血红蛋白定量质谱系统 QuanGHb糖化血红蛋白定量质谱系统，基于QuanTOF MS技术，得益于其强大的 分辨能力，能准确定量糖化血红蛋白的同时，也可定量其他类型变异血红蛋白（hemoglobin variant），且抗干扰能力优异。三种不同糖化率样本，每种样本24次 点样测试，共72次测试的质谱图叠加， 相对标准误差小于2% 变异血红蛋白（hemoglobin variant）检测 血红蛋白是一种珠蛋白和血红素组成的结合蛋白。在正常成人的血红蛋白（HbA）中， 珠蛋白有2种肽链，一种是α珠蛋白链，一种是β珠蛋白链。血红蛋白病，是一种遗传性 溶血性贫血。分为珠蛋白肽链分子结构异常和珠蛋白肽链分子数量异常，这些都是由于基 因突变引起的。通过检测和定量患者血液中的异常血红蛋白可以发现此种疾病。 变异血红蛋白（hemoglobin variant）是因为蛋白基因突变造成氨基酸改变而形成的。 这些变化导致了血红蛋白的分子量发生变化，因而在质谱图中表现为不同的质量峰。同样， 血红蛋白的糖基化修饰也会造成分子量的变化。 异常样本和正常样本相比，αHb*出现2 种氨基酸改变，分子量改变； βHb*变异体氨基酸改变，并且出现了糖 化血红蛋白Glc-βHb，变异体的糖化血 红蛋白Glc-βHb*功能优势可准确定量糖化血红蛋白 在检测普通糖尿病人的糖化血红蛋白时，QuanGHb检测结果与HPLC检测结果呈现良好 的线性关系。可发现变异血红蛋白（hemoglobin variant）对照血红蛋白和Hb辽宁的 QuanGHb质谱。（A）来自 正常成人的对照血红蛋白和 （B）来自先证者的Hb辽宁。● 分开的两个峰质量相差41.5Da，清楚地表明存在变异体α链（m/z=15,169.4）。● 箭头表示存在正常α链（m/z=15,127.9），正常β链（m/z=15,868.0）和糖化-βHb（m/ z=16,030.0）。 变异血红蛋白（hemoglobin variant）样品的不同方法学测试比对参考文献：1. Anping Xu, et al. Evaluation of MALDITOF MS for the measurement of glycated hemoglobin，Clinica Chimica Acta，154-1602. Anping Xu, et al. Detection of a novel hemoglobin variant Hb Liaoning by matrix assisted laser desorption/ ionization-time of flight mass spectrometry, ClinChem Lab Med 2019,1-3 前处理流程操作全流程

QuanTOF Ⅰ型和QuanTOF II型 细菌、真菌等微生物的核糖体蛋白具有种、属的特异性。通过对已知微生物核糖体 蛋白建立质谱指纹数据库，即可通过分析待测微生物的核糖体蛋白谱图，进行微生物的 种类鉴定。 QuanID微生物质谱系统是基于融智生物国内首创，世界领先的新一代宽谱定量飞行 时间质谱平台QuanTOF开发的强大微生物质谱系统。对MALDI-TOF MS的改进，体现于对微生物鉴定的更高效率、更准确 （重现性）以及更完整的微生物核糖体蛋白指纹图谱库。近年来， 微生物质谱系统已广泛应用在我国主要的医疗机构、疾病控制、 高校科研、环境监测以及出入境检验检疫等领域。 我们的优势快：10分钟内可自动化完成超过96个样本的检测准：基于基因组学、蛋白组学和生物信息学独特建库方法的全新微生物质谱数据库，超 过500属、4500余种微生物，更拥有一级、二级两个数据库，独有的二级菌库可 对基因型相近的难分辨微生物做出准确鉴定稳：新一代QuanTOF 宽谱定量飞行时间质谱平台，保证微生物质谱高重现性省：5000Hz半导体激光器，终身免更换，节省用户更换激光器的成本；省人工，自动 化完成采集、鉴定等流程；多功能，应用可扩展至蛋白质组学分析、生物标志物筛 选、代谢组学分析、核酸分型及质谱成像等更多应用，节省用户购买仪器成本 我们的应用 主机介绍● 自主知识产权：融智生物具有自主知识产权的飞行时间质谱系统● 激光器：5,000Hz长寿命半导体激光器，终身免更换，激光频率是氮气激光器100倍， 使用寿命是氮气激光器的1000倍以上，更快● 数据采集转化系统：高速二维移动平台、新一代高速数字转换器、MCP--PMT混合离 子探测器，实现了对极高频率激光器产生的超量质谱数据实时采集和数据贮存与处理● 真空系统：机械泵和分子泵，抽真空效率更高，进样后2分钟之内即可采集● 更宽质量测定范围：（10~1,000,000Da)，更丰富、准确的蛋白指纹图谱信息● 特有专利技术：靶板和离子探测器同时接地专利技术（专利号：ZL 2014 8 0014634.0），首次解决了MALDI-TOF MS靶板和检测器的边缘电场效应，保证了全靶 板范围内的质量检测精度和高重现性 软件介绍采集软件：● 中英文界面自由切换；国内客户默认中文界面● 简洁清晰采集速度快，每个样本仅需几秒钟，全靶板（96个样本）采集时间不超过10分钟● 操作步骤简单，一键完成检测● 操作流程自动化，无需人工干预，满足不同级别用户要求 鉴定软件：● 支持单谱图和多谱图分别鉴定● 独有的蛋白匹配信息，氨基酸序列展示功能，支持微生物质谱图深度分析独有的聚类热 图同源性分析功能，根据匹配蛋白信息，可分析物种同源性 ● 鉴定结果谱图和鉴定结果可复制使用● 支持自建库功能基于基因组学、蛋白组学和生物信息学独特建库方法的全新微生物质谱数据库，超过500属、4500余种微生物，更拥有一级、二级两个数据库，独有的二级菌库可 对基因型相近的难分辨微生物做出准确鉴定 数据库介绍 传统微生物质谱数据库建设选取蛋白质作为建库依据，受细菌培养条件的影响。融智 生物采用了微生物基因组学、蛋白组学和生物信息学相结合的独特建库方法，这种建库方 法对建库的蛋白进行了针对性的选择，数据更可靠，不受细菌培养条件影响。 耗材介绍 操作流程分枝杆菌鉴定时间更短结果更准 融智生物提供结核分枝杆菌一体化高通量、高自动化解决方案，包括对结核分枝杆菌 和其他非典型分枝杆菌进行种以及更高水平的鉴定，并能高效地为结核病诊断提供有价值 的检测结果。

实时在线化学电离质谱瞬时分析无需色谱分离，直接进样，对复杂样品中的挥发性有机物（VOCs）进行实时定性、定量和展示。超强性能Vocus满足不同种类的化合物的广谱检测能力和亚ppt级的检测限。为探索而生 坚固、高度集成的整机设计确保测量不会受限于观测点位以及操作环境变化，且高度的移动性能使得仪器可以出现在样品所在地点，进行‘原位’采样，结合高通量样品分析，快速获取样品所含物种和浓度等关键信息。Vocus Eiger麒麟PTR-TOF是新一代的紧凑型质子转移反应-飞行时间质谱仪。基于对大气VOCs走航应用的需求，Vocus Eiger麒麟在灵敏度、质量分辨率、仪器响应速度和整机尺寸等各性能指标上进行了最平衡搭配。TOFWERK业界领先的实时分析-化学电离TOF质谱仪研发中的又一里程碑：Vocus Eiger麒麟PTR-TOF质谱仪正式发布！基于二十年的大气科研和监测经验，客户反馈和市场需求，以及对产品性能的不懈追求，TOFWERK为大气组分定点观测和走航监测的广大用户们‘定制’了这一套性能“恰到好处”的快速质谱仪。Vocus Eiger麒麟搭配的高分辨率TOF保证了在复杂气体样品中去伪存真、精准定性定量分析小分子VOCs的关键品质。精简可靠的仪器软件在进行仪器操作控制和数据采集的同时，也提供对目标物种浓度的实时展示，以及实时在线传输。还包含了在线谱图即时分析、物种数据库编辑以及基于GPS的实时三维VOCs地图展示等实用功能。一、特性:满足科研和工业场景不同分析需求的百宝箱实时分析快速分析并报告挥发性有机物（VOCs）高效离子传输系统高效率将离子从Vocus反应腔传输到TOF分析器，以提高灵敏度。 高质量分辨率确保精确鉴别区分复杂样品基底中的同质异位素，提高分析的可信度和可靠度。二、特性:多种离子化方式的反应腔Vocus可以通过反应室中试剂离子的特定反应来选择性电离目标化合物。PTR（即质子转移反应）反应腔能够分析广谱挥发性有机物（VOCs）。专利技术的Vocus PTR反应腔可减少壁损失，通过射频电场聚焦离子束，从而获得更高的灵敏度和更好的检测限。Vocus PTR反应室还可兼容其他试剂离子（如铵加成电离），以分析更广泛的化合物。三、参数规格:型号和参数选择适合您的试剂离子每种试剂离子都有最合适的目标分析物覆盖范围

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上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱仪应用于半导体光刻技术 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量EUV 极紫外光刻技术越来越多地用于支持 10nm 工艺技术的关键尺寸图案形成. 管理这些价值超过 2亿美元光刻机的正常运行时间和生产量对晶圆 Fab 厂的经济至关重要. 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱分析仪通过快速, 可操作, 高灵敏度的分子诊断数据实现了更佳的反射板镀锡层清洁, 并且 Aston™ 过程质谱的实时氢气 H2 监测也降低了每个 EUV 工具的氢气消耗.随着工艺几何尺寸的不断缩小, 半导体工艺制造商面临着新的挑战. 在先进的极紫外 EUV 光刻技术中, 13.5nm 波长的光源是通过二氧化碳 CO2 激光器蒸发熔融锡 Sn 液滴, 从而产生等离子体. 大批量生产的关键挑战包括控制蒸发锡再沉积引起的光学污染所造成的缺陷.光源产生的一个副产品是 EUV 光源反射光学元件上的锡 Sn 碎片, 该反射光学元件聚焦等离子体发出的 EUV光. 收集镜涂层表面上的锡沉积导致 EUV 镜的反射率降低. 沉积锡厚度约为 1nm（只有几个原子层）会使收集镜反射率降低多达10%, 通常被视为收集镜寿命规范. 这种污染增加了提供足够的 EUV 功率以形成晶圆所需的时间, 因此降低了光刻产量, 并可能影响光刻图案的定义. 解决措施包括使用氢等离子体 (结合磁场) 以锡烷气体 SnH4 的形式化学去除锡, 然后从真空室排气, 并防止锡进一步再沉积.上海伯东 Aston™ 过程质谱 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量解决方案在反射板清洁期间, 需要实现现场测量, 快速, 准确地测量锡 SnH4 端点, 确保以省时的方式清除锡沉积物, 通过使用 Aston™ 过程质谱仪可以测量 H2 大气中 0.01-1 ppm 浓度下的微量 SnH4. 此外, Aston™ 还可以监测 EUV 工具前端的气体成分.Aston™ 过程质谱价值在于通过监测从 EUV 腔室中抽空所有锡原子的效率和优化氢气 H2 流量, 实现终点检测. 通过尽可能地减少气体流量, 可以降低每分钟 100 标准升的高纯度氢气消耗量.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

产品介绍：沃特世的SQ Detector 是色谱分析法的终极质量检测器。兼容最广泛的色谱分析平台和应用沃特世的Engineered Simplicity设计理念，可确保每一位分析人员始终能够通过最少的分析训练得到最高品质的数据。SQ Detector 是每一个实验室人员都能使用的解决方案，底本高效，信息丰富。特点：p 容易使用 - Engineered Simplicity是沃特世提供的用于设计和创新的方法。我们设计该系统是为了降低复杂度、提高易用性并确保每次都能得出正确结果。p 强大而可靠 - SQ Detector的研制基于沃特世的成熟技术，包括ZSpray和Universal Source架构，可提供强大的平台，带来一致、高品质的成果。p 多用性 - 既拥有当今最宽泛的电离能力，又着眼于未来的创新检验。兼容广泛的色谱分析及非色谱分析的特殊设计，完全符合您的分析需求。 p 关键技术： IntelliStart - 监控系统，自动化检测器安装，从而确保最佳性能。p 质量范围广 - 3000 Da的质量范围同时支持低分子量和高分子量物种的分析。p 多用性 - 为理想兼容UPLC、UPSFC、HPLC、GC、制备型 HPLC和制备型SFC而设计。离子源选项 - 通过Universal Ion Source（通用离子源）架构可轻松兼容最广泛的分析。OpenLynx - 开放存取软件，可选的应用管理器，为各种水平的系统用户提供即时存取，方便进行LC/MS分析。p FractionLynx - 可选的应用管理器，可提供全面质量定向的制备型色谱分析应用。兼容OpenLynx开放存取，为各种经验水平的系统用户提供即时制备能力。p ZSpray - 沃特世专利的源技术，可提供非凡的稳健性和可靠性定量工作流，帮助您自动化日常任务，简化定量数据的生成、审核和报告过程。产品配置：1. Waters SQD单四极杆质谱仪2. 质谱前级真空泵4. 软件部分：Waters MassLynx V4.1 LCMS系统软件

简介该产品实现116种VOCs物种的在线监测，符合《环境空气挥发性有机物气相色谱连续监测系统技术要求及检测方法》（HJ1010-2018）， 满足中国生态环境部2019年印发的《地级及以上城市环境空气挥发性有机物监测方案》要求。应用于复杂组分的分离与鉴定，兼具气相色谱的高效分离能力和质谱的高灵敏度。质谱仪的基本部件有：离子源、滤质器、检测器三部分组成。产品特点● GC-MS灵敏度高；● 搭配差动式涡轮分子泵真空系统，分析效率高；● 易于维护及清洗，适合企业用户长期稳定使用，节省成本；● 图形化中英文界面，操作简便。

实时在线化学电离质谱瞬时分析无需色谱分离，直接进样，对复杂样品中的挥发性有机物（VOCs）进行实时定性、定量和展示。超强性能Vocus满足不同种类的化合物的广谱检测能力和亚ppt级的检测限。为探索而生 坚固、高度集成的整机设计确保测量不会受限于观测点位以及操作环境变化，且高度的移动性能使得仪器可以出现在样品所在地点，进行‘原位’采样，结合高通量样品分析，快速获取样品所含物种和浓度等关键信息。一、特性:满足科研和工业场景不同分析需求的百宝箱实时分析快速分析并报告挥发性有机物（VOCs）和无机物（VIA）可切换的反应腔可模块化切换的PTR反应腔和Aim反应腔，可扩展分析物的范围。您可以选择多种不同反应腔最大化满足您的检测需求，也可后续升级。 高效离子传输系统高效率将离子从Vocus反应腔传输到TOF分析器，以提高灵敏度。高质量分辨率确保精确鉴别区分复杂样品基底中的同质异位素，提高分析的可信度和可靠度。试剂离子快速切换试剂离子切换时间可以快至50-100 毫秒（Aim反应腔）或小于10秒（PTR反应腔），快速切换不同试剂离子可以在同一个反应腔中，实现实时分析。 VUV试剂离子源安全、耐用的真空紫外离子源可以生成不同种类试剂离子，满足多样的检测需求。二、特性:多种离子化方式的反应腔Vocus可以通过反应室中试剂离子的特定反应来选择性电离目标化合物。PTR（即质子转移反应）反应腔能够分析广谱挥发性有机物（VOCs）。专利技术的Vocus PTR反应腔可减少壁损失，通过射频电场聚焦离子束，从而获得更高的灵敏度和更好的检测限。Vocus PTR反应室还可兼容其他试剂离子（如铵加成电离），以分析更广泛的化合物。Vocus Aim反应腔可实现痕量挥发性有机物和无机物（主要是无机酸类）的高灵敏度快速检测。流动管反应器运行压强较高（50-100 mbar），以抑制分析物离子的碎片化，并使用小巧的VUV源产生正负试剂离子，通过利用多种试剂离子的化学反应，可以对各种化合物进行灵敏的选择性化学电离。三、参数规格:型号和参数选择适合您的试剂离子每种试剂离子都有最合适的目标分析物覆盖范围

一、产品介绍 UVP-TOF MS 2000 PLUS 是一种在线式挥发性有机物 (VOCs) 实时分析监测质谱仪。该仪器具备对气态VOCs的高通量全组分、实时在线、快速准确定量分析能力。通过飞行时间质谱技术与复合光电离技术的有机结合，突破了传统VOCs检测仪在分析速度，操作难度，分析准确度等方面的瓶颈，可以广泛用于石油化工、环境监测、食品药品、过程监测、质量控制、生物医学研究等多个领域。二、技术特点 全新的全谱VOCs实时监测技术 快速VOCs检测技术 更快更灵敏 测量更精准适应性更强 兼容无机气体 高稳定性低运行成本三、产品优势VOCs全谱光电离技术UVP-TOF MS 2000 PLUS 抛弃了传统的GC-MS使用的毛细管色谱分离技术，采用光子电离技术，通过激发有机物分子外层价电子对被测气体样品进行实时、全谱电离，无需样品预分离，瞬间同时离子化样品气体中的所有VOCs，最快0.1s可完成所有VOC组分的电离与检测过程。不仅大大缩短了分析时间，同时还能实现高通量快速分析。电离过程单一,每种物质仅产生其对应的分子离子，谱图简单易辨。 国产化的自主研发TOF MS技术UVP-TOFMS2000 PLUS 运用艾立本科技自行研发的飞行时间质谱TOFMS平台，仪器关键部件均为自主研发，可以有效缩短用户的仪器维护响应时间、降低维护成本。配合ADC采集技术，仪器可以实现大于104的动态范围。仪器分辨率可达2500以上。高分辨率可在同等条件下增强仪器谱峰的检出能力，同时，保证高质量数端的分子离子峰之间不产生相互干扰。全部集成化的车载设计UVP-TOF MS 2000 PLUS 采用全部集成化设计，无需外置前级真空泵:仪器内置屏计算机便于车载运用:角度可调的触摸屏方便在狭小空间内掌控仪器状态，防震设计，可灵活用于各类走航测量，整机低功耗，可使用电池进行续航。更快响应可实时显示浓度变化UVP-TOFMS2000 PLUS 采用样品直接进样、直接电离的模式，样品通过进样管直达电离源。直接进样消除了膜进样方式带来的额外渗透时间，使得信号响应时间更短，可以在走航应用中更真实地反应污染物出现的空间位置，具有更高的空间分辨率,大幅度减轻信号滞后的问题。具有更高分辨率更多的可能性UVP-TOFMS2000 PLUS 在同尺寸下实现了更高的分辨率可以有效鉴别同名义质量(nominal mass)的物种。该特性可以应对精确鉴别所需要的高质量分辨率。以此为例.UVP-TOF MS 2000 PLUS实现了乙酸乙烯酷及正成醛的质荷比分离。多功能交互软件仪器所用的UVP-TOFMS 2000 PLUS 专属数据采集分析软件，可实现VOCs信息的实时采集、总离子流采集、选择离子流监测、实时定量显示、质量轴实时校准、仪器参数设置、仪器状态监控等常用功能，交互界面友好，满足用户对VOCs监测分析的多种功能以及易用性需求。

光电离质谱成像仪 MSI DPI-A产品介绍质谱成像技术(MSI)是基于质谱发展起来的一种分子成像新技术。MSI通过直接扫描生物样本，可以同时获得多种分子的空间分布特征。光电离质谱成像仪 MSI DPI-A 是基于专利技术( DESI/PI，即带电液滴解析/后光电离质谱成像技术，专利号：ZL201810935962.4)研发的一款用于空间分子成像的装置，该成像仪的关键是在DESI喷雾装置后引入一套光电离系统和高效离子传输管道，可通过开、关光电离源，实现对多种极性和非极性组分的高灵敏度空间成像。该成像仪可适配于主流质谱仪(Agilent、Thermo Fisher、Waters等)，对动/植物组织、各种物体表面及内部分子进行空间成像。光学成像和质谱分子成像对比显微镜光学成像看外观，质谱的分子成像看本质光学影像看似一样，但质谱成像显示生物标志物只在特点区域分布 光电离质谱成像仪 MSI DPI-A产品特点分子成像技术一次性对所有质谱信号成像组织切片成像植物叶/根/茎切片成像软电离成像待测物无极性歧视扫描速度快光电离质谱成像仪 MSI DPI-A产品优势与其它成像技术相比，ProC-MSI-DPI-A光电离质谱成像系统成像技术具有：(1) 免标记：无需放射性同位素或荧光标记 (2) 高通量：可以对上千种生物分子同时进行原位成像分析 (3) 信息丰富：可以同时获得生物分子的结构、丰度和空间分布信息。目前国际上普遍使用的DESI成像源只能对极性较强的组分进行成像，有极性歧视(影响多种极性和非极性组分的准确度)和较强的离子抑制(干扰使待分析物的响应信号被抑制，需要对样品净化)，不适于所有的待测物体系。与之相比，本公司基于DESI的二次光电离质谱成像技术(DESI-PI-MSI)光电离成像源不仅可以将小鼠、植物组织等切片中的非极性化合物进行成像，还可以进一步提升极性成分的信号强度，从而大大高了成像信噪比。与传统DESI技术相比， 使用DESI/PI后信号强度可提高1-3个量级，大大提升了待测物尤其是非极性成分的检出和成像能力。图1 利用Omni PI成像源与市售其他成像源获得的质谱 图和成像图比较图2 利用Omni PI源在国际顶尖期刊《分析化学》 发表的封面论文光电离质谱成像仪 MSI DPI-A系统组成整个系统由一台高分辨率飞行时间质谱仪和一台分子成像仪集成一体，为国内首创质谱仪规格参数：质量检测范围20-10000 amu 检测限0.05ppb质量分辨率 10000自动数据采集及分析程序成像仪规格参数尺寸：300(w)x200(h)x150(d)空间分辨率：10-200微米，可进行原位检测成像速率：50像素/秒解析源：DESI+PI电离源：后光电离光电离质谱成像仪 MSI DPI-A应用领域代谢组学：蛋白质组学、代谢物的空间分布变化、病理学诊断：疾病标志物的发现、疾病的早期诊断、临床病理研究、细菌分析、微生物成像、确定肿瘤的级别、激素受体状况、基因芯片检测、细胞生物学、微生物生态学药物代谢动力学：新药研发、药物及代谢物在不同时间不同器官的代谢过程、药物定量、药物发现及分布研究、草药混合物植物代谢：代谢物的空间分布变化、植物代谢研究工业领域：化工原料、包装材料、染料、化妆品、材料基质、食品成分分析法医学：法医鉴定、指纹扫描、毛发、组织中的滥用物质及代谢物 毒理学环境化学考古学光电离质谱成像仪 MSI DPI-A应用范例1.小鼠大脑成像DESI/PI产生更多、更强的待测物质谱信号，如乙醇胺、GABA、肌酸、腺嘌呤、谷氨酰胺、谷氨酸、胆固醇、PC脂、GalCer脂质、PE脂质、MAG脂质等(如上图所示)2.小鼠乳腺癌成像研究 原位质谱成像方法(aa-DESI/PI)，以小鼠乳腺癌组织作为模型开展成像研 究，有助于深入揭示肿瘤复杂的代谢过程。3.药物研究在药物研发(Discovery及R&D)过程中，必须详细了解药物的药理学、毒性和分布。质谱成像是无须标记，可用于可视化生物组织中内源性化合物、药物、脂质、蛋白质、肽和药物输送系统的二维(和三维)分子分布。因此，该技术不仅能够收集药物和代谢物分布数据，还能收集药效学和生物标志物信息，这些信息在药物开发的多个阶段都非常有价值。在给药后6小时，药物浓度在不同区 域的分布可见降低4、植物叶片成像及代谢研究在已知植物种群中，有约 200,000 个植物代谢物的化学结构被鉴定出来。植物代谢物的成分分析和空间成像对探讨植物代谢物的生物合成、运输、生理机制、自我调节机制及植物与生态的相互作用具有重要意义。质谱成像是近年来涌现出的分子成像技术，具有免荧光标记、不需要复杂样品前处理等优点。然而，由于植物角质层和表皮蜡的存在，常规MALDI和DESI等软电离技术很难穿透角质层作用于叶肉组织，从而无法对植物叶片中的代谢物进行直接成像MSI DPI-A质谱成像源仪的解吸电喷雾电离/二次光电离(DESI/PI)质谱成像平台(Analytical Chemistry,2019,91,6616-6623)结合多孔聚四氟乙烯印迹技术，实现对多种植物叶片中代谢物的空间成像。5、黑色素细胞痣诊断和形成机制操作流程特征性脂质标志物在表皮、痣和皮下组织中分布的箱线图四例样本成像图胆固醇合成酶(HMGCR)及转运酶(TSPO)的IHC图表明，两者均在黑素细胞痣区域高表达，这表明黑素细胞痣中胆固醇的积累是由HMGCR和TSPO酶的共同作用 产生的.6.卷烟叶的成像六种代表性化学物质的质谱成像图7.茶叶成像DESI/PI 在可视化极性和非极性代谢物的空间分布植物成像的一个好例子。植物中的代谢物已经通过不同的MSI成像技术.作为消费最广泛的仅次于水的饮料世界，茶富含多种生物活性物质成分。例如，儿茶素占新鲜茶叶的干重的30%，健康茶有很多益处。然而，由于它们的极性低， DESI 对这些儿茶素的电离效率很差。茶的两个连续鲜叶芽横截面植物分别通过DESI/PI和DESI进行分析。中性儿茶素包括 (-)-表儿茶素 (EC)，(-)-表儿茶素没食子酸酯 (ECG)，和 (-)-表没食子儿茶素没食子酸盐 (EGCG) flavan-3-ols 可以被检测和成像由 DESI/PI 提供。ECG 和 EGCG 是热不稳定的化合物，以及它们的片段([M + H - C7H6O5]+)分别在 m/z 272.07 和 289.07 处检测到。这DESI / PI质谱进一步证明了分配EC、ECG 和 EGCG 的标准。我们的结果表明，DESI/PI 可以增加中性物种的检测灵敏度，也拓宽了DESI 在可视化非极性生物分子中的适用性植物组织的MSI，可以被认为是一种有效的中度侧向 MALDI 和替代技术解析度。茶叶咖啡因在叶中脉富集、茶氨酸在叶柄富集并延伸至中脉和叶尾，为咖啡因主要在茶叶中脉合成和茶氨酸在茶叶根部合成并转运至叶片的生物合成位点及转运路径提供了强有力证据。两个连续新鲜叶芽的平均质谱图获得的茶树横截面(减去背景)以甲醇/甲苯/FA (v:v:v = 70:30:1)作为溶剂的 DESI/PI和 DESI以甲醇/FA (100:1) 为溶剂，分别在正离子模式。(A) 叶芽组织的最优图像的茶。 (B-F) m/z 184.07 处一些代表性峰的 MS图像，195.09、272.07、289.07 和 291.09 由 DESI/PI 获得。(G-H) 质谱DESI 获得的 m/z 184.07 和195.09 处的两个峰的图像。白色比例尺对应于 1 mm非标订制及其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A 产品介绍质谱成像技术(MSI)是基于质谱发展起来的一种分子成像新技术。MSI通过直接扫描生物样本，可以同时获得多种分子的空间分布特征。我公司的光电离质谱成像仪是基于专利技术( DESI/PI，即带电液滴解析/后光电离质谱成像技术，专利号：ZL201810935962.4)研发的一款用于空间分子成像的装置，该成像仪的关键是在DESI喷雾装置后引入一套光电离系统和高效离子传输管道，可通过开、关光电离源，实现对多种极性和非极性组分的高灵敏度空间成像。该成像仪可适配于主流质谱仪(Agilent、Thermo Fisher、Waters等)，对动/植物组织、各种物体表面及内部分子进行空间成像。光学成像和质谱分子成像对比显微镜光学成像看外观，质谱的分子成像看本质光学影像看似一样，但质谱成像显示生物标志物只在特点区域分布 光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A产品特点分子成像技术一次性对所有质谱信号成像组织切片成像植物叶/根/茎切片成像软电离成像待测物无极性歧视扫描速度快光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A产品优势与其它成像技术相比，ProC-MSI-DPI-A光电离质谱成像系统成像技术具有：(1) 免标记：无需放射性同位素或荧光标记 (2) 高通量：可以对上千种生物分子同时进行原位成像分析 (3) 信息丰富：可以同时获得生物分子的结构、丰度和空间分布信息。目前国际上普遍使用的DESI成像源只能对极性较强的组分进行成像，有极性歧视(影响多种极性和非极性组分的准确度)和较强的离子抑制(干扰使待分析物的响应信号被抑制，需要对样品净化)，不适于所有的待测物体系。与之相比，本公司基于DESI的二次光电离质谱成像技术(DESI-PI-MSI)光电离成像源不仅可以将小鼠、植物组织等切片中的非极性化合物进行成像，还可以进一步提升极性成分的信号强度，从而大大高了成像信噪比。与传统DESI技术相比， 使用DESI/PI后信号强度可提高1-3个量级，大大提升了待测物尤其是非极性成分的检出和成像能力。图1 利用Omni PI成像源与市售其他成像源获得的质谱 图和成像图比较图2 利用Omni PI源在国际顶尖期刊《分析化学》 发表的封面论文光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A系统组成整个系统由一台高分辨率飞行时间质谱仪和一台分子成像仪集成一体，为国内首创质谱仪规格参数：质量检测范围20-10000 amu 检测限0.05ppb质量分辨率 10000自动数据采集及分析程序成像仪规格参数尺寸：300(w)x200(h)x150(d)空间分辨率：10-200微米，可进行原位检测成像速率：50像素/秒解析源：DESI+PI电离源：后光电离光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A应用领域代谢组学：蛋白质组学、代谢物的空间分布变化、病理学诊断：疾病标志物的发现、疾病的早期诊断、临床病理研究、细菌分析、微生物成像、确定肿瘤的级别、激素受体状况、基因芯片检测、细胞生物学、微生物生态学药物代谢动力学：新药研发、药物及代谢物在不同时间不同器官的代谢过程、药物定量、药物发现及分布研究、草药混合物植物代谢：代谢物的空间分布变化、植物代谢研究工业领域：化工原料、包装材料、染料、化妆品、材料基质、食品成分分析法医学：法医鉴定、指纹扫描、毛发、组织中的滥用物质及代谢物 毒理学环境化学考古学光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A应用范例1.小鼠大脑成像DESI/PI产生更多、更强的待测物质谱信号，如乙醇胺、GABA、肌酸、腺嘌呤、谷氨酰胺、谷氨酸、胆固醇、PC脂、GalCer脂质、PE脂质、MAG脂质等(如上图所示)2.小鼠乳腺癌成像研究 原位质谱成像方法(aa-DESI/PI)，以小鼠乳腺癌组织作为模型开展成像研 究，有助于深入揭示肿瘤复杂的代谢过程。3.药物研究在药物研发(Discovery及R&D)过程中，必须详细了解药物的药理学、毒性和分布。质谱成像是无须标记，可用于可视化生物组织中内源性化合物、药物、脂质、蛋白质、肽和药物输送系统的二维(和三维)分子分布。因此，该技术不仅能够收集药物和代谢物分布数据，还能收集药效学和生物标志物信息，这些信息在药物开发的多个阶段都非常有价值。在给药后6小时，药物浓度在不同区 域的分布可见降低4、植物叶片成像及代谢研究在已知植物种群中，有约 200,000 个植物代谢物的化学结构被鉴定出来。植物代谢物的成分分析和空间成像对探讨植物代谢物的生物合成、运输、生理机制、自我调节机制及植物与生态的相互作用具有重要意义。质谱成像是近年来涌现出的分子成像技术，具有免荧光标记、不需要复杂样品前处理等优点。然而，由于植物角质层和表皮蜡的存在，常规MALDI和DESI等软电离技术很难穿透角质层作用于叶肉组织，从而无法对植物叶片中的代谢物进行直接成像MSI DPI-A质谱成像源仪的解吸电喷雾电离/二次光电离(DESI/PI)质谱成像平台(Analytical Chemistry,2019,91,6616-6623)结合多孔聚四氟乙烯印迹技术，实现对多种植物叶片中代谢物的空间成像。5、黑色素细胞痣诊断和形成机制操作流程特征性脂质标志物在表皮、痣和皮下组织中分布的箱线图四例样本成像图胆固醇合成酶(HMGCR)及转运酶(TSPO)的IHC图表明，两者均在黑素细胞痣区域高表达，这表明黑素细胞痣中胆固醇的积累是由HMGCR和TSPO酶的共同作用 产生的.6.卷烟叶的成像六种代表性化学物质的质谱成像图7.茶叶成像DESI/PI在可视化极性和非极性代谢物的空间分布植物成像的一个好例子。植物中的代谢物已经通过不同的MSI成像技术.作为消费最广泛的仅次于水的饮料世界，茶富含多种生物活性物质成分。例如，儿茶素占新鲜茶叶的干重的30%，健康茶有很多益处。然而，由于它们的极性低， DESI 对这些儿茶素的电离效率很差。茶的两个连续鲜叶芽横截面植物分别通过DESI/PI和DESI进行分析。中性儿茶素包括 (-)-表儿茶素 (EC)，(-)-表儿茶素没食子酸酯 (ECG)，和 (-)-表没食子儿茶素没食子酸盐 (EGCG)flavan-3-ols 可以被检测和成像由 DESI/PI 提供。ECG 和 EGCG 是热不稳定的化合物，以及它们的片段([M + H - C7H6O5]+)分别在 m/z 272.07 和 289.07 处检测到。这DESI / PI质谱进一步证明了分配EC、ECG 和 EGCG 的标准。我们的结果表明，DESI/PI 可以增加中性物种的检测灵敏度，也拓宽了DESI在可视化非极性生物分子中的适用性植物组织的MSI，可以被认为是一种有效的中度侧向 MALDI 和替代技术解析度。茶叶咖啡因在叶中脉富集、茶氨酸在叶柄富集并延伸至中脉和叶尾，为咖啡因主要在茶叶中脉合成和茶氨酸在茶叶根部合成并转运至叶片的生物合成位点及转运路径提供了强有力证据。两个连续新鲜叶芽的平均质谱图获得的茶树横截面(减去背景)以甲醇/甲苯/FA (v:v:v = 70:30:1)作为溶剂的 DESI/PI和 DESI以甲醇/FA (100:1) 为溶剂，分别在正离子模式。(A) 叶芽组织的最优图像的茶。 (B-F) m/z 184.07 处一些代表性峰的 MS图像，195.09、272.07、289.07 和 291.09 由 DESI/PI 获得。(G-H) 质谱DESI 获得的 m/z 184.07 和195.09 处的两个峰的图像。白色比例尺对应于 1 mm.非标订制及其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

实时在线化学电离质谱瞬时分析无需色谱分离，直接进样，对复杂样品中的挥发性有机物（VOCs）和无机物（VICs）进行实时定性、定量和展示。超强性能Vocus满足不同种类的化合物的广谱检测能力和亚ppt级的检测限。 为探索而生坚固、高度集成的整机设计确保测量不会受限于观测点位以及操作环境变化，且高度的移动性能使得仪器可以出现在样品所在地点，进行‘原位’采样，结合高通量样品分析，快速获取样品所含物种和浓度等关键信息。 满足您的自定义需求灵敏度 cps/ppb 二甲苯 检测限 （LOD） 1 min平均/1 s 平均，二甲苯质量分辨率aM/ΔM最高质量分辨率aM/ΔM尺寸能耗 最大/一般Vocus 2R高质量分辨率300001 ppt / 10 ppt1000015000160 kg 0.45 m3 480 x 615 x 1480 mm600 / 590 W Vocus S 常规版300001 ppt / 10 ppt5000 7000120 kg 0.35 m3 480 x 615 x 1130 mm600 / 590 WVocus Scout巡航者4000 5 ppt, 1 min40004500120 kg 0.35 m3 480 x 615 x 1130 mm600 / 590 WVocus Elf小精灵系列30050 ppt, 1 min30075055 kg 0.125 m3 380 x 500 x 650 mm450 /400 Wa. 上述型号可在降低灵敏度的前提下获得更好的质量分辨率

实时在线化学电离质谱 瞬时分析无需色谱分离，直接进样，对复杂样品中的挥发性有机物（VOCs）和无机物（VICs）进行实时定性、定量和展示。超强性能Vocus满足不同种类的化合物的广谱检测能力和亚ppt级的检测限。为探索而生坚固、高度集成的整机设计确保测量不会受限于观测点位以及操作环境变化，且高度的移动性能使得仪器可以出现在样品所在地点，进行‘原位’采样，结合高通量样品分析，快速获取样品所含物种和浓度等关键信息。 满足您的自定义需求灵敏度 cps/ppb 二甲苯 检测限 （LOD） 1 min平均/1 s 平均，二甲苯质量分辨率aM/ΔM最高质量分辨率aM/ΔM尺寸能耗 最大/一般Vocus 2R高质量分辨率300001 ppt / 10 ppt1000015000160 kg 0.45 m3 480 x 615 x 1480 mm600 / 590 W Vocus S 常规版300001 ppt / 10 ppt5000 7000120 kg 0.35 m3 480 x 615 x 1130 mm600 / 590 WVocus Scout巡航者4000 5 ppt, 1 min40004500120 kg 0.35 m3 480 x 615 x 1130 mm600 / 590 WVocus Elf小精灵系列30050 ppt, 1 min30075055 kg 0.125 m3 380 x 500 x 650 mm450 /400 Wa. 上述型号可在降低灵敏度的前提下获得更好的质量分辨率

QitVenture 1便携式GC-MSQitVenture 1是新一代便携式气相色谱仪/质谱联用仪(GC/MS)，分析时间更短，现场快速提供定性和定量的实验室测量结果。操作简单，全傻瓜式操作，只要按下一个按钮，即可识别和量化挥发性有机化合物(VOCs)、有毒工业化学品(TICs)、有毒工业材料(TIMs)、化学战剂(CWAs)和半挥发性有机化合物(SVOCs)。内置的GC柱提供了极好的分辨率，能够识别ppm(百万分之一)- ppb(十亿分之一)范围内的分析物。前置的高清面板清楚地显示了化学物质的浓度和危险程度的相关信息，帮助操作人员快速做出影响生命、健康和安全的重要决策。系统具有良好的重复性，即使环境因素改变，也能确保结果的一致性。简单的图形化界面，内置强大的目标化合物数据库，自动匹配化合物数据库，并且支持用户建立自己的数据库，可以NIST谱库联用，轻松鉴定未知化合物，配有自主知识产权的解卷积算法，轻松鉴定复杂的重叠峰。具有强大的数据分析功能，能够显示总离子流图、提取离子流图，能进行背景扣除、基线提取等。优势一览：1、分析速度极快，实验数据与实验室GC/MS相当。2、内置GPS，记录数据的准确采样位置。3、灵敏度高、动态范围大，优于ppb的检测限。兼容定量管和吸附热解析技术，覆盖微量到痕量浓度的样品检测。4、质量范围宽，支持挥发性有机物(VOCs)、部分半挥发性有机物(SVOCs)和难挥发性有机物(NVOCs)的检测。5、定性准确，3级串联质谱技术在现场快速分析中极具优势。6、便携性好，体积小，支持便携、车载、船载等多种工作方式，接口通用，允许附件快速扩展。7、运行时间长，内置高性能电池和载气，充满一次电/气可以分析多个试样。应用领域：1、环境监测：环境事故现场大气、水、固体中VOC/SVOC检测。 2、防化军事：各项危险品检测，如化学毒剂和生物毒剂检测。3、石油化工：装置反应物在线监测，余气在线监测，管道泄漏检测。4、航空航天：燃料泄漏检测肼、偏二甲肼、二甲基肼，航天员身体健康检测，飞船舱内空气质量分析，空间环境监测。5、公共安全：室内空气质量检测，工作场所空气质量检测。 6、刑侦科学和毒（敏感词）品检测7、食品安全与医疗卫生 8、国土安全与快速应急反应9、消防应用QitVenture 1便携式GC-MS/消防应用 新形势下的消防要应对火灾与救援工作，无所不在的有毒有害气体（易燃易爆性气体、有毒无机气体、易挥发性有机化合物）的检测也就成为各级各类消防队伍所必须面对的问题。近年来出现的特大火灾和爆炸事故有：1、连云港赣榆区宏兴研磨有限公司4.21爆炸事故。2、2019年澳大利亚东海岸森林火灾持续至今仍未熄灭。3、昆山中荣金属制品有限公司8.2工厂爆炸事故。有机化合物、易燃易爆气体的国际公认检测方法是GC-MS，由于消防事故的应急性和火灾态势的瞬息万变，能够在现场进行快速方便的对有害气体进行检测显得十分必要。QitVenture 1可以通过无人机携带检测器进行高空作业。QitVenture 1便携式GC-MS/环境监测应用 当今世界，环境问题不仅成为了制约人类社会经济发展的关键因素，也成为了威胁人类健康的污染物存在的环境介质，可分为水体、空气、土壤三类：1、水中污染物可分为VOCs(挥发性有机物)和SVOCs(半挥发性有机物)。2、空气污染物包括有机氯农药,垃圾焚烧产生废气，多环芳烃，羰基化合物等。3、土壤污染物包括重金属离子，汞，酞酸酯，三嗪类除草剂等。QitVenture 1既具有气相色谱高分离效能，又具有质谱准确鉴定化合物结构的特点，可同时、准确、快速测定微量的多种污染物，能够适应目前待测有机化合物种类繁多与应用领域多样化的需求。QitVenture 1便携式GC-MS/防化军事应用 防化军事主要任务是进行化学、核辐射侦察与放射性沾染观测，指导其他部队对核武器和化学武器进行防护，并协助地方有关部门组织群众实施上述防护。QitVenture 1便携式GC-MS可以对化学毒剂，如沙林毒气、介子气等进行现场检测，如可以应用于装甲防化侦察车，以轮式装甲地盘为平台，集成QitVenture 1便携式GC-MS，可实现对空气中和地表面化学毒剂及有害物质快速检测，并鉴定出其成分，为后方决策提供依据。

产品详情 开辟特殊应用领域高灵敏度三重四极杆型GCMSGCMS-TQ8050搭载全新超增益检测器，配合全时三重降噪技术，为您提供“阿克级”定量分析。同时，仪器的耐用性和安全性进一步加强，显著提高了超痕量分析的可靠性。 Enhanced Sensitivity全新的检测器拥有更高的信号响应值，配合三重降噪技术，消除不同来源的噪声，同时提高了离子传输效率。这些技术使整套系统能够可靠地检测超痕量级样品，达到世界顶级灵敏度水平。Durable Hardware除了高灵敏度，系统还提供了强耐用性。高辉度抗污染离子源和全新长寿命检测器，可确保分析工作长期稳定地进行。选择无油的前级真空泵可以告别频繁更换泵油，做到3年免维护。 Superior Performance新型大排气量双入口差动式的涡轮分子泵为质谱提供更优真空度。更高灵敏度和稳定性，有助于提高超痕量浓度水平分析的精度。系统沿用超快速分析技术（UFsweeper），可对样品进行高速扫描，或是Scan/MRM等多种不同模式的同时分析。Reliable OperationSmart MRM技术有助于准确创建超痕量分析方法，确保MRM分析时的高灵敏度。此外，增加精度管理功能的labsolutions Insight软件为数据采集的可靠性保驾护航，使低浓度多组分化合物同时分析的难题迎刃而解。Enhanced Sensitivity – 优良的灵敏度GCMS-TQ8050在Smart technology的基础上传承与发展，为特殊分析提供了更高的灵敏度和稳定性，开启全新应用领域。全新设计的高灵敏度检测器，即使应对阿克级样品，也可提供很好的稳定性，成就顶级的IDL*水平。＊ IDL：仪器最低检出限（Instrument Detection Limit）高灵敏度的GCMS-TQ8050进行超痕量级检测亦可保证优越的数据稳定性，在某些领域可媲美高分辨磁质谱分析。全新的GCMS-TQ8050是一个功能强大的分析工具，即使超痕量二噁英或者其他以往难以用四极杆质谱分析的化合物，它都可以准确地识别。2,3,7,8-TeCDD的质谱图（50 fg/μl）2,3,7,8-TeCDF的质谱图（50 fg/μl）超增益检测器GCMS-TQ8050相比以往机型，即使到达检测器的离子数量更少，也可以产生同样高的信号强度。这就意味着它可以用较少的离子实现可靠的痕量分析。离轴设计离轴设计有效抑制中性噪声，消除亚稳态氦离子和中性离子的干扰，获得更高灵敏度。电磁屏蔽通过加装二次电子倍增管屏蔽罩，减少检测器外部的电磁干扰。OD Lens在电子倍增管前加装透镜组（OD Lens），可以降低氦和氩的随机噪声。透镜组施加电压后，有助于对四极杆筛选出的目标离子进行聚焦，还可以修正边缘场，从而进一步提升信噪比。Durable Hardware – 耐用的硬件减少运行成本和维护频率 高辉度抗污染离子源在灯丝和离子源盒之间设置屏蔽板，减少灯丝电位对离子源内部的影响。另外，屏蔽板阻隔了灯丝产生的热辐射，确保离子源盒内部温度均匀，避免离子源内部产生活性位点，为分析提供了更高的灵敏度。 长寿命检测器通过减少检测器的负荷来提高检测器的寿命。这意味着，仪器的维护频率和停机时间大幅减少。 无油前级真空泵无油前级真空泵可供选择，3年免维护。该前级泵可以让质谱内部真空系统处于无油环境，同时免去了频繁更换泵油的维护操作。Superior Performance – 优异的性能新型涡轮分子泵和分析技术，实现各种高灵敏度分析新型大排量差动式真空系统强劲的真空系统采用了全新涡轮分子泵，拥有更高的气体压缩效率。即使在MRM分析时有碰撞气体的引入，也能够维持很高的真空水平，使痕量分析保持高准确度。 农药残留分析 （稻瘟灵 1pg/μL）碰撞池UFsweeperTM采用岛津的UFsweeperTM 技术，使碰撞室内的离子快速通过，支持每秒888MRM通道快速测定。实现高CID效率和快速离子传输，将串扰降低到较小程度，更适合痕量分析。 不降低单四极杆采集模式的灵敏度和重现性高辉度离子源是提升样品离子化和离子传输效率的基础。岛津的高辉度抗污染离子源技术、后四极杆聚焦技术以及离轴设计可以保证仪器优良的灵敏度和重现性。不论在GC-MS/MS方式的MRM测定，还是在GC-MS方式的Scan和SIM测定，甚至在苛刻的高活性化合物分析中，GCMS-TQ8050均可轻松应对。杀草丹 5pg/μL,n=5左：GCMS-QP2020　右：GCMS-TQ8050 杀螟硫磷的分析结果杀螟硫磷的NIST谱图Reliable Operation – 智能的操作从方法创建到数据处理全智能Smart MRMSmart MRM自动创建较好的分析方法。无论始于全新目标物的参数建立，或始于Smart MRM数据库，Smart MRM功能助您将方法建立较大程度的自动化。创建多组分同时分析的方法时，数据库会智能的按照化合物出峰时间来采集数据。您可以从数据库中轻松选择待分析化合物，通过点击“Smart Database”里的按钮，自动创建MRM或者Scan/MRM采集方法。常规分析的绝大多数化合物都收录其中，因此Smart数据库让您无需再摸索MRM方法，日常分析工作变得简单！Smart 数据库岛津“Smart”数据库是您工作得力的助手，具有化合物种类多（农残、环境、毒物、代谢物等）、信息量大（包含化合物名称、CAS号、离子对和碰撞能、以及化合物在多种色谱柱上的保留指数等信息）及扩展性强等优点。 Smart数据库为可靠的数据分析提供了强大的支持。环境污染物数据库中还注册了大量同位素内标化合物（IS），这在痕量分析中是至关重要的。每个化合物分析条件都会在数据库中说明，让分析过程化繁为简。二噁英类多氯联苯 （50 fg/μL） LabSolutions InsightLabSolutions Insight是数据处理软件，可以提高多样品多批次同时分析的效率，让定量结果一目了然。为您提供可靠的多痕量组分同时数据处理功能。 多种选件 HS-20顶空进样器GCMS-TQ8050可以作为单四极使用，结合HS-20顶空进样器可以有效应对医药中残留溶剂的检测。如果发现痕量高毒性的杂质，通过MRM采集模式可以实现准确定量。由于HS-20与GC是嵌入式连接，可以与液体进样器AOC-20轻松自由转换。 AOC-6000多功能进样器AOC-6000具有自动更换进样针功能，实现液体进样、顶空进样和SPME进样模式灵活选择。对于高毒性超痕量样品的制备，手工进行稀释或添加内标的操作要格外小心。AOC-6000可完成样品的自动稀释和添加内标，从样品制备到上机分析，一站式解决，显著提升样品分析通量。二嗪农 异稻瘟净1～100 pg/μL自动稀释的标准曲线其他选件CI源和NCI源吹扫捕集热裂解热脱附OPTIC-4 多功能进样口GC/MS嗅探仪GC/MS异味分析系统

仪器描述 金铠仪器PI-CI/PTR-TOF MS 采用基于真空紫外 (VUV)软电离(PI和化学电离/质子转移反应（PTR)高分辨飞行时间质谱技术， 具备完全自主知识产权(授权专利ZL201410647580.3 ZL201611039752.4 ZL201711204824.0)。仪器具有ppt量级的超高灵敏度，同时具有分辨率高、准确 性好、分析物种类全、无需复杂样品预处理、分析速 度快以及抗湿度、高稳定性、移动式外场测量等优势, 能够检测苯系物、烃类、醛类、酮类、酸类、醚类、 酚类、有机硫化物等多类VOCs。主要应用领域 &bull 催化反应产物/反应中间体的在线分析 &bull 环境恶臭物质、二噁英前驱体在线分析 &bull 食品、药品、日化品等挥发性气味成分在线分析 &bull 香精挥发成分分析 &bull 牙膏、沐浴露等使用过程释放挥发性有机物在线分析 &bull 人体呼出气中挥发性有机物在线分析&bull 环境中挥发性有机物实时快速分析实例应用

光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A 产品介绍质谱成像技术(MSI)是基于质谱发展起来的一种分子成像新技术。MSI通过直接扫描生物样本，可以同时获得多种分子的空间分布特征。我公司的光电离质谱成像仪是基于专利技术( DESI/PI，即带电液滴解析/后光电离质谱成像技术，专利号：ZL201810935962.4)研发的一款用于空间分子成像的装置，该成像仪的关键是在DESI喷雾装置后引入一套光电离系统和高效离子传输管道，可通过开、关光电离源，实现对多种极性和非极性组分的高灵敏度空间成像。该成像仪可适配于主流质谱仪(Agilent、Thermo Fisher、Waters等)，对动/植物组织、各种物体表面及内部分子进行空间成像。光学成像和质谱分子成像对比显微镜光学成像看外观，质谱的分子成像看本质光学影像看似一样，但质谱成像显示生物标志物只在特点区域分布 光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A产品特点分子成像技术一次性对所有质谱信号成像组织切片成像植物叶/根/茎切片成像软电离成像待测物无极性歧视扫描速度快光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A产品优势与其它成像技术相比，ProC-MSI-DPI-A光电离质谱成像系统成像技术具有：(1) 免标记：无需放射性同位素或荧光标记 (2) 高通量：可以对上千种生物分子同时进行原位成像分析 (3) 信息丰富：可以同时获得生物分子的结构、丰度和空间分布信息。目前国际上普遍使用的DESI成像源只能对极性较强的组分进行成像，有极性歧视(影响多种极性和非极性组分的准确度)和较强的离子抑制(干扰使待分析物的响应信号被抑制，需要对样品净化)，不适于所有的待测物体系。与之相比，本公司基于DESI的二次光电离质谱成像技术(DESI-PI-MSI)光电离成像源不仅可以将小鼠、植物组织等切片中的非极性化合物进行成像，还可以进一步提升极性成分的信号强度，从而大大高了成像信噪比。与传统DESI技术相比， 使用DESI/PI后信号强度可提高1-3个量级，大大提升了待测物尤其是非极性成分的检出和成像能力。图1 利用Omni PI成像源与市售其他成像源获得的质谱 图和成像图比较图2 利用Omni PI源在国际顶尖期刊《分析化学》 发表的封面论文光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A系统组成整个系统由一台高分辨率飞行时间质谱仪和一台分子成像仪集成一体，为国内首创质谱仪规格参数：质量检测范围20-10000 amu 检测限0.05ppb质量分辨率 10000自动数据采集及分析程序成像仪规格参数尺寸：300(w)x200(h)x150(d)空间分辨率：10-200微米，可进行原位检测成像速率：50像素/秒解析源：DESI+PI电离源：后光电离光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A应用领域代谢组学：蛋白质组学、代谢物的空间分布变化、病理学诊断：疾病标志物的发现、疾病的早期诊断、临床病理研究、细菌分析、微生物成像、确定肿瘤的级别、激素受体状况、基因芯片检测、细胞生物学、微生物生态学药物代谢动力学：新药研发、药物及代谢物在不同时间不同器官的代谢过程、药物定量、药物发现及分布研究、草药混合物植物代谢：代谢物的空间分布变化、植物代谢研究工业领域：化工原料、包装材料、染料、化妆品、材料基质、食品成分分析法医学：法医鉴定、指纹扫描、毛发、组织中的滥用物质及代谢物 毒理学环境化学考古学光电离质谱成像系统 ProC-MSI-DPI-A应用范例1.小鼠大脑成像DESI/PI产生更多、更强的待测物质谱信号，如乙醇胺、GABA、肌酸、腺嘌呤、谷氨酰胺、谷氨酸、胆固醇、PC脂、GalCer脂质、PE脂质、MAG脂质等(如上图所示)2.小鼠乳腺癌成像研究 原位质谱成像方法(aa-DESI/PI)，以小鼠乳腺癌组织作为模型开展成像研 究，有助于深入揭示肿瘤复杂的代谢过程。3.药物研究在药物研发(Discovery及R&D)过程中，必须详细了解药物的药理学、毒性和分布。质谱成像是无须标记，可用于可视化生物组织中内源性化合物、药物、脂质、蛋白质、肽和药物输送系统的二维(和三维)分子分布。因此，该技术不仅能够收集药物和代谢物分布数据，还能收集药效学和生物标志物信息，这些信息在药物开发的多个阶段都非常有价值。在给药后6小时，药物浓度在不同区 域的分布可见降低4、植物叶片成像及代谢研究在已知植物种群中，有约 200,000 个植物代谢物的化学结构被鉴定出来。植物代谢物的成分分析和空间成像对探讨植物代谢物的生物合成、运输、生理机制、自我调节机制及植物与生态的相互作用具有重要意义。质谱成像是近年来涌现出的分子成像技术，具有免荧光标记、不需要复杂样品前处理等优点。然而，由于植物角质层和表皮蜡的存在，常规MALDI和DESI等软电离技术很难穿透角质层作用于叶肉组织，从而无法对植物叶片中的代谢物进行直接成像MSI DPI-A质谱成像源仪的解吸电喷雾电离/二次光电离(DESI/PI)质谱成像平台(Analytical Chemistry,2019,91,6616-6623)结合多孔聚四氟乙烯印迹技术，实现对多种植物叶片中代谢物的空间成像。5、黑色素细胞痣诊断和形成机制操作流程特征性脂质标志物在表皮、痣和皮下组织中分布的箱线图四例样本成像图胆固醇合成酶(HMGCR)及转运酶(TSPO)的IHC图表明，两者均在黑素细胞痣区域高表达，这表明黑素细胞痣中胆固醇的积累是由HMGCR和TSPO酶的共同作用 产生的.6.卷烟叶的成像六种代表性化学物质的质谱成像图7.茶叶成像DESI/PI在可视化极性和非极性代谢物的空间分布植物成像的一个好例子。植物中的代谢物已经通过不同的MSI成像技术.作为消费最广泛的仅次于水的饮料世界，茶富含多种生物活性物质成分。例如，儿茶素占新鲜茶叶的干重的30%，健康茶有很多益处。然而，由于它们的极性低， DESI 对这些儿茶素的电离效率很差。茶的两个连续鲜叶芽横截面植物分别通过DESI/PI和DESI进行分析。中性儿茶素包括 (-)-表儿茶素 (EC)，(-)-表儿茶素没食子酸酯 (ECG)，和 (-)-表没食子儿茶素没食子酸盐 (EGCG)flavan-3-ols 可以被检测和成像由 DESI/PI 提供。ECG 和 EGCG 是热不稳定的化合物，以及它们的片段([M + H - C7H6O5]+)分别在 m/z 272.07 和 289.07 处检测到。这DESI / PI质谱进一步证明了分配EC、ECG 和 EGCG 的标准。我们的结果表明，DESI/PI 可以增加中性物种的检测灵敏度，也拓宽了DESI在可视化非极性生物分子中的适用性植物组织的MSI，可以被认为是一种有效的中度侧向 MALDI 和替代技术解析度。茶叶咖啡因在叶中脉富集、茶氨酸在叶柄富集并延伸至中脉和叶尾，为咖啡因主要在茶叶中脉合成和茶氨酸在茶叶根部合成并转运至叶片的生物合成位点及转运路径提供了强有力证据。两个连续新鲜叶芽的平均质谱图获得的茶树横截面(减去背景)以甲醇/甲苯/FA (v:v:v = 70:30:1)作为溶剂的 DESI/PI和 DESI以甲醇/FA (100:1) 为溶剂，分别在正离子模式。(A) 叶芽组织的最优图像的茶。 (B-F) m/z 184.07 处一些代表性峰的 MS图像，195.09、272.07、289.07 和 291.09 由 DESI/PI 获得。(G-H) 质谱DESI 获得的 m/z 184.07 和195.09 处的两个峰的图像。白色比例尺对应于 1 mm.非标订制及其他产品我们还提供非标飞行时间质量分析器和各种催化、高/压热解反应器、光电离源、电离腔、JSR反应器、分子泵、MCP微通道板、数据采集卡等质谱仪专用备件订制服务。

产品详细信息：开辟特殊应用领域高灵敏度三重四极杆型GCMS旗舰级Nexis GC-2030融入GCMS NX系列。GCMS-TQ8050 NX搭载全新超增益检测器，配合全时三重降噪技术，为您提供“阿克级”定量分析。同时，仪器的耐用性和安全性进一步加强，显著提高了超痕量分析的可靠性。Enhanced Sensitivity – 卓越的灵敏度GCMS-TQ8050在Smart technology的基础上传承与发展，这款三重四极杆气质联用仪突破了原有的极限，为特殊分析提供了更高的灵敏度和稳定性，开启全新应用领域。全新设计的高灵敏度检测器，即使应对阿克级样品，也可提供很好的稳定性，成就ding级的IDL*水平。＊ IDL：仪器zui低检出限（Instrument Detection Limit）高灵敏度的GCMS-TQ8050进行超痕量级检测亦可保证优越的数据稳定性，在某些领域可媲美高分辨磁质谱分析。全新的GCMS-TQ8050是一个功能强大的分析工具，即使超痕量二噁英或者其他以往难以用四极杆质谱分析的化合物，它都可以jing准地识别。2,3,7,8-TeCDD的质谱图（50 fg/μl） 2,3,7,8-TeCDF的质谱图（50 fg/μl）超增益检测器GCMS-TQ8050相比以往机型，即使到达检测器的离子数量更少，也可以产生同样高的信号强度。这就意味着它可以用较少的离子实现可靠的痕量分析。离轴设计离轴设计有效抑制中性噪声，消除亚稳态氦离子和中性离子的干扰，获得更高灵敏度电磁屏蔽通过加装二次电子倍增管屏蔽罩，减少检测器外部的电磁干扰。OD Lens在电子倍增管前加装透镜组（OD Lens），可以降低氦和氩的随机噪声。透镜组施加电压后，有助于对四极杆筛选出的目标离子进行聚焦，还可以修正边缘场，从而进一步提升信噪比（专利号 US6737644）Durable Hardware – 耐用的硬件减少运行成本和维护频率高辉度抗污染离子源在灯丝和离子源盒之间设置屏蔽板，减少灯丝电位对离子源内部的影响。另外，屏蔽板阻隔了灯丝产生的热辐射，确保离子源盒内部温度均匀，避免离子源内部产生活性位点，为分析提供了更高的灵敏度。（专利号US7939810） 长寿命检测器通过减少检测器的负荷来提高检测器的寿命。这意味着，仪器的维护频率和停机时间大幅减少。无油前级真空泵无油前级真空泵可供选择，3年免维护。该前级泵可以让质谱内部真空系统处于无油环境，同时免去了频繁更换泵油的维护操作。Superior Performance – 优异的性能新型涡轮分子泵和高效率分析技术，实现各种高灵敏度分析新型大排量差动式真空系统强劲的真空系统采用了全新涡轮分子泵，拥有更高的气体压缩效率。即使在MRM分析时有碰撞气体的引入，也能够维持很高的真空水平，使痕量分析保持高jing确度。高效碰撞池UFsweeperTM采用岛津独创的UFsweeperTM 技术，使碰撞室内的离子高效通过，支持每秒888MRM通道快速测定。实现高CID效率和快速离子传输，将串扰降低到zui小程度，更适合痕量分析（专利申请中）。不降低单四极杆采集模式的灵敏度和重现性高辉度离子源是提升样品离子化和离子传输效率的基础。岛津专利的高辉度抗污染离子源技术、后四极杆聚焦技术以及离轴设计可以保证仪器卓越的灵敏度和重现性。不论在GC-MS/MS方式的MRM测定，还是在GC-MS方式的Scan和SIM测定，甚至在最苛刻的高活性化合物分析中，GCMS-TQ8050均可轻松应对。 杀草丹 5pg/μL,n=5 左：GCMS-QP2020　右：GCMS-TQ8050 杀螟硫磷的分析结果 杀螟硫磷的NIST谱图Reliable Operation – 智能的操作从方法创建到数据处理全智能Smart MRMSmart MRM自动创建zui佳分析方法。无论始于全新目标物的参数建立，或始于Smart MRM数据库，Smart MRM功能助您将方法建立zui大程度的自动化。创建多组分同时分析的方法时，数据库会智能的按照化合物出峰时间来采集数据。您可以从数据库中轻松选择待分析化合物，通过点击“Smart Database”里的按钮，自动创建MRM或者Scan/MRM采集方法。常规分析的绝大多数化合物都收录其中，因此Smart数据库让您无需再摸索MRM方法，日常分析工作变得简单、高效！Smart 数据库岛津“Smart”数据库是您工作最得力的助手，具有化合物种类多（农残、环境、毒物、代谢物等）、信息量大（包含化合物名称、CAS号、zui优离子对和碰撞能、以及化合物在多种色谱柱上的保留指数等信息）及扩展性强等优点。 Smart数据库为可靠的数据分析提供了强大的支持。环境污染物数据库中还注册了大量同位素内标化合物（IS），这在痕量分析中是至关重要的。每个化合物的zui佳分析条件都会在数据库中说明，让分析过程化繁为简。LabSolutions InsightLabSolutions Insight是数据处理软件，可以提高多样品多批次同时分析的效率，让定量结果一目了然。为您提供可靠的多痕量组分同时数据处理功能。 多种选件HS-20顶空进样器GCMS-TQ8050可以作为单四极使用，结合HS-20顶空进样器可以有效应对医药中残留溶剂的检测。如果发现痕量高毒性的杂质，通过MRM采集模式可以实现准确定量。由于HS-20与GC是嵌入式连接，可以与液体进样器AOC-20轻松自由转换。 AOC-6000多功能进样器AOC-6000具有自动更换进样针功能，实现液体进样、顶空进样和SPME进样模式灵活选择。对于高毒性超痕量样品的制备，手工进行稀释或添加内标的操作要格外小心。AOC-6000可完成样品的自动稀释和添加内标，从样品制备到上机分析，一站式解决，显著提升样品分析通量。二嗪农异稻瘟净1～100 pg/μL自动稀释的标准曲线其他选件CI源和NCI源吹扫捕集热裂解热脱附OPTIC-4 多功能进样口GC/MS嗅探仪GC/MS异味分析系统Copyright© 深圳市心怡创科技有限公司 粤ICP备15044648号-1 电话： 0755-26999481地址：深圳市宝安区西乡街道固戍社区塘西西井工业区120号4楼

MicroMS 1000 微型质谱仪采用一体化设计，将质谱系统、真空系统以及计算机完美组合在一体，可实现对生物化学反应的高效检测，帮助用户及时快速掌握污染物种类，高效优化检测效率。MicroMS 1000 操作简单，操作界面友好，同时具有超高的集成度，体积小巧，可以在移动检测车及户外安装使用。? 全组件及电脑内置于一体，节省空间? 灵敏度 1-10 ppb，搭配 SPE 可提高灵敏度? 独特专例设计ESI离子源，适用于热不稳定化合物的冷喷雾电离? 较低的N2消耗量， 即使没有氮气也可以确保安全? 内置远程控制模块，实现远程在线监测

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生