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作为全球领先的电子显微镜、聚焦离子束和光学显微系统供应商，TESCAN坚定帮助科学家和技术人员提高实验室效率、生产力和生产能力，致力于技术和应用的创新，为客户提供高品质的产品和服务以及综合分析解决方案。更新提示：RISE Demo体验预约的日期和午餐交流会的日程有变动和更新，在文中使用深红色字体标出。体验名额有限，请感兴趣的老师尽快预约喔~为了让更多老师了解并体验到“TESCAN微分析综合解决方案”，2018年10月23-27日，在四川省成都市举行的“2018全国电子显微学学术年会”上，TESCAN将展出最新的RISE电镜-拉曼一体化显微镜系统。此外，在会议第一天的大会报告中，TESCAN将在国内正式发布TESCAN最新一代的氙等离子源双束电镜S9000X（Xe Plasma FIB-SEM）! △ TESCAN 新品 Xe FIB-SEM S9000X23日-28日，全国电镜会期间，在会议主酒店——禧悦酒店一楼TESCAN设备展示区，将展出TESCAN电镜-拉曼一体化显微镜，并在现场开展RISE Demo演示和午餐分享交流，希望感兴趣的老师拨冗参观和体验！现场Demo演示和每日午餐交流会已于9月30日起开始接受预约，为了保证现场演示及午餐交流会的最大效果，每场都限制参与名额。您可以直接在文末点击“阅读原文”即刻预约！ △ TESCAN RISE电镜-拉曼一体化显微镜TESCAN RISE电镜-拉曼一体化显微镜是在扫描电子显微镜平台（SEM）中集成了共焦拉曼（Raman）的综合成像、分析系统。TESCAN RISE显微镜采用了创新的平行轴式设计，保证了扫描电镜和共聚焦拉曼分析位置的高度重合，可以快速获得样品的 2D、3D 图像，实现样品的微观形貌、成分和结构表征，并能够获得样品中分子化合物组成及可视化分布结果。其中，电镜和拉曼也可以独立工作，互不影响，使得整个系统获得1 + 1 ＞ 2 的卓越功能。RISE显微镜主要功能特点：（1）微观形貌观察与测量；（2）颗粒、孔隙测量统计；（3）元素定性、定量及分布分析；（4）织构分析、取向研究、应力分析；（5）三维成像分析；（6）不导电样品高分辨成像分析；（7）拉曼分析；（8）共聚焦拉曼分析。更多功能，欢迎您在全国电子显微学学术年会期间，前往TESCAN设备展示区参观体验！TESCAN Demo演示TESCAN RISE显微镜现场Demo演示！演示时间：2018年10月23-27日（周二~周六）演示地点：成都市禧悦酒店一楼TESCAN设备展示区（成都市双流县广都大道一段2号）TESCAN 午餐交流会 TESCAN午餐交流会在学术会议期间（24日-26日每日中午），TESCAN公司还将举办午餐交流会，介绍TESCAN最新的SEM-Raman联用技术、FIB-SEM-质谱联用技术、SEM-AFM联用技术和X射线CT显微多维解决方案。我们会为前来参加的各位老师准备精美的水果午餐和小礼物，如果您感兴趣的话，可以直接在文末点击“阅读原文”即刻预约，提前抢占名额哦！午餐交流会时间：2018年10月24-26日每日中午午餐交流会地点：成都市禧悦酒店一楼TESCAN设备展示区 在全国电镜会现场，我们也会邀请神秘嘉宾现场派发“TESCAN小礼品”，快关注“TESCAN公司”微信公众号，查看历史消息立即报名参加吧！

p 　　作为全球领先的电子显微镜、聚焦离子束和光学显微系统供应商，TESCAN坚定帮助科学家和技术人员提高实验室效率、生产力和生产能力，致力于技术和应用的创新，为客户提供高品质的产品和服务以及综合分析解决方案。 /p p 　　为了让更多老师了解并体验到“TESCAN微分析综合解决方案”，2018年 strong 10月23-27日 /strong ，在四川省成都市举行的“2018全国电子显微学学术年会”上，TESCAN将 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " strong 展出最新的RISE电镜-拉曼一体化显微镜系统 /strong /span 。 /p p 　　此外，在会议第一天的大会报告中，TESCAN将在国内正式发布TESCAN最新一代的 strong 氙等离子源双束电镜S9000X(Xe Plasma FIB-SEM) /strong ! /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/e081f917-a61f-469d-84e5-429f5353246d.jpg" title=" 01.jpg" alt=" 01.jpg" / /p p style=" text-align: center " 　　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " △ TESCAN 新品 Xe FIB-SEM S9000X /span /p p 　　23日-28日，全国电镜会期间，在会议主酒店——禧悦酒店一楼TESCAN设备展示区，将展出TESCAN电镜-拉曼一体化显微镜，并在现场开展 strong RISE Demo演示和午餐分享交流，希望感兴趣的老师拨冗参观和体验! /strong /p p 　　现场Demo演示和每日午餐交流会已于9月30日起开始接受预约，为了保证现场演示及午餐交流会的最大效果，每场都限制参与名额。 /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/14625fef-bc84-4a48-85d5-e90675a7dc43.jpg" title=" 02.jpg" alt=" 02.jpg" / /p p style=" text-align: center " 　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 　△ TESCAN RISE电镜-拉曼一体化显微镜 /span /p p 　　TESCAN RISE电镜-拉曼一体化显微镜是在扫描电子显微镜平台(SEM)中集成了共焦拉曼(Raman)的综合成像、分析系统。 /p p 　　TESCAN RISE显微镜采用了创新的平行轴式设计，保证了扫描电镜和共聚焦拉曼分析位置的高度重合，可以快速获得样品的 2D、3D 图像，实现样品的微观形貌、成分和结构表征，并能够获得样品中分子化合物组成及可视化分布结果。其中，电镜和拉曼也可以独立工作，互不影响，使得整个系统获得1 + 1 & gt 2 的卓越功能。 /p p 　　 strong RISE显微镜主要功能特点： /strong /p p 　　(1)微观形貌观察与测量 /p p 　　(2)颗粒、孔隙测量统计 /p p 　　(3)元素定性、定量及分布分析 /p p 　　(4)织构分析、取向研究、应力分析 /p p 　　(5)三维成像分析 /p p 　　(6)不导电样品高分辨成像分析 /p p 　　(7)拉曼分析 /p p 　　(8)共聚焦拉曼分析。 /p p 　　更多功能，欢迎您在全国电子显微学学术年会期间，前往TESCAN设备展示区参观体验! /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " strong TESCAN Demo演示 /strong /span /p p 　　 strong TESCAN RISE显微镜现场Demo演示! /strong /p p strong & nbsp & nbsp /strong strong 演示时间 /strong ：2018年10月23-27日(周二~周六) /p p 　　 strong 演示地点 /strong ：成都市禧悦酒店一楼TESCAN设备展示区(成都市双流县广都大道一段2号) /p p 　　 strong 演示时间及安排 /strong /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/b30c0598-e6d7-40ac-9f86-9a93f8ccd7e3.jpg" title=" 03.jpg" alt=" 03.jpg" / /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " strong TESCAN 午餐交流会 /strong /span /p p 　　在学术会议期间(24日-26日每日中午)，TESCAN公司还将举办午餐交流会，介绍TESCAN最新的SEM-Raman联用技术、FIB-SEM-质谱联用技术、SEM-AFM联用技术和X射线CT显微多维解决方案。 /p p 　　我们会为前来参加的各位老师准备精美的水果午餐和小礼物，如果您感兴趣的话，可以直接在文末点击“阅读原文”即刻预约，提前抢占名额哦! /p p 　　 strong 午餐交流会时间 /strong ：2018年10月24-26日每日中午 /p p 　　 strong 午餐交流会地点： /strong 成都市禧悦酒店一楼TESCAN设备展示区 /p p 　　 strong 午餐交流会安排 /strong ： /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201810/uepic/2e7870da-73d4-4433-9aa9-f68512cc674e.jpg" title=" 04.jpg" alt=" 04.jpg" / /p p 　　在全国电镜会现场，也会邀请神秘嘉宾现场派发“TESCAN小礼品” /p

引言微晶硅薄膜是纳米晶硅、晶粒间界、空洞和非晶硅共存的混合相无序材料，具有稳定性好、掺杂效率高、长波敏感性较强、可低温大面积沉积、原材料消耗少以及能在各种廉价衬底材料上制备的优点，为了使太阳能电池能够大规模连续化生产并且具有更高的效率，硅异质结太阳能电池开始使用微晶硅薄膜替代非晶硅层。升级后的硅异质结太阳能电池的光电转换效率与微晶硅薄膜的结晶度密切相关。其中，结晶率指晶态硅与晶界占非晶态、晶态、晶界总和的质量百分比或体积百分比，是评价结晶硅薄膜晶化效果的一项重要指标。在行业内通常使用拉曼光谱分析法评估微晶硅薄膜的晶化率[1,2]。实验与结果分析晶体硅排列有序，键角和键长高度一致，拉曼峰形尖锐位于520cm-1附近，无定形硅结构相对无序，拉曼峰形展宽位于480cm-1附近。采用两种结构的拉曼特征峰值（峰强或峰面积）可以实现硅晶化率的分析，晶化率计算公式如下：其中和表示在520cm-1 和480cm-1附近的拉曼峰的面积，中心为520 cm-1附近的拉曼峰是晶体硅的特征峰，位于480 cm-1附近的拉曼峰是非晶硅的约化声子谱密度。本文采用卓立汉光自主研制的Finder 930全自动共聚焦显微拉曼光谱仪分析了硅基底上微晶硅薄膜晶化率，拉曼光谱实测数据及多峰拟合结果如图1所示。可以观测到拉曼峰位在310cm-1附近的类纵声学模（类TA 模）特征峰，在480 cm-1附近的类横光学模（类TO模）分解为峰位在470 cm-1附近（Prim TO）和在490 cm-1处（Seco TO）两个特征峰。对于出现晶态硅特征峰的样品对应于峰位在510cm-1附近的晶粒间界拉曼散射成分（GB）特征峰[3]。 卓立汉光自主开发了晶化率自动计算软件，可以实现自动分峰拟合和晶化率计算，软件操作简单，易于使用，晶化率拟合结果如图2所示，自动计算结果可知晶化率为33.52%. 图2 采用自主研制软件拟合结果拉曼光谱技术可以无损分析微晶硅薄膜晶化率，在晶硅（晶体硅）与无定型硅（非晶硅）的定量鉴别及晶化率评估中展现出优异性能，通过解析特征峰的强度或面积，直接计算得出材料的晶化率，为材料性能评估提供了实验依据。参考文献[1]赵之雯,刘玉岭.微晶硅薄膜稳定性的研究[J].河北工业大学学报,2011,40(02):13-15[2] 高磊等. 微晶硅薄膜沉积工艺的研究方法及其应用[P].2023.06.23.[3] 范闪闪,郭强,杨彦彬,等.相变区硅薄膜拉曼和红外光谱分析[J].光谱学与光谱分析,2018,38(01):82-86.