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分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
[align=left]• [color=black]油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似,都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域,其工作压强范围为[/color][color=black]10-2[/color][color=black]~[/color][color=black]10-6pa[/color][color=black]。[/color][/align][align=left]• [color=black]当油蒸汽从伞形喷咀[/color][color=black]([/color][color=black]如[/color][color=black]I[/color][color=black]级喷咀[/color][color=black])[/color][color=black]以超音速喷出后,其速度逐渐增大,压力及密度逐渐降低,射流上边的被抽气体[/color][color=black]A[/color][color=black]因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处[/color][color=black]B[/color][color=black],在[/color][color=black]B[/color][color=black]处,工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用,而被抽气体在[/color][color=black]B[/color][color=black]处堆积、压缩,最后被下级射流携带走,以达到逐级压缩,最后被前级泵抽[/color][color=black]走[/color][/align][align=left]• [color=black]油扩散泵的优点是成本较低,没有可移动部件,维护简单。[/color][/align][align=left]• [color=black]缺点是会有泵油蒸汽进入真空腔内;发热较大;若突然停电,泵体无法散热,会对仪器造成严重的污染。因此目前在[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url][/color][color=black]-[/color][color=black]质谱联用仪中已基本淘汰[/color][/align][align=left][color=black][/color][/align]
请问扩散泵的真空一般可以达到多少(mba)呢?