高速扫描振镜

国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。 产品优势 高速自动化 全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍大场低畸变跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变低压高分辨 样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率应用领域应用案例大规模成像规格书 关键参数 分辨率 1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；加速电压 100 V~6 kV(减速模式) 6 kV~30 kV(非减速模式) 放大倍率 66~1,000,000x 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 物镜类型 浸没式电磁复合物镜 样品装载系统 真空系统 全自动控制，无油真空系统 样品监控 样品仓监控水平摄像头 ； 换样仓监控垂直摄像头样品最大尺寸 直径4英寸 样品台 类型 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） 行程 X、Y轴：110mm；Z轴：28mm；重复定位精度 X轴：±0.6 um；Y轴：±0.3 um 换样方式 全自动控制 换样时间 ＜15 min 换样仓清洗 全自动控制等离子清洗系统 图像采集与处理 驻点时间 10 ns/pixel 图像采集速度 2*100 M pixel/s 图像大小 8K*8K 探测器和扩展 标配 镜筒内混合电子探测器 选配低角度背散射电子探测器 镜筒内高角度背散射电子探测器 压电驱动样品台 高分辨大场模式样品仓等离子清洗系统 6英寸样品装载系统主动减震台 AI降噪；大图拼接；三维重构 软件 语言 中文 操作系统 Windows 导航 光学导航、手势快捷导航 自动功能 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散服务扫描电子显微镜实验室 我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。

扫描NV探针显微镜SNVM 扫描NV探针显微镜（Scanning nitrogen-vacancy probe microscope，SNVM）是一款结合了金刚石氮-空位色心（Nitrogen-Vacancy, NV）光探测磁共振（Optically Detected Magnetic Resonance, ODMR）技术和原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）扫描成像技术的量子精密测量仪器，可实现对磁性样品高空间分辨率、高灵敏度、定量无损的磁成像。应用领域测试案例

美国CTI公司成立于1978年，是世界顶级的光学扫描振镜制造商，其产品型号齐全，广泛用于激光打标、雕刻、焊接，打孔等加工领域，以及激光成像，医疗系统等领域。产品包括：高速扫描振镜，适合从2mm光斑到100mm以上的光斑，以及新一代的全数字扫描系统。美国CTI高速光学扫描振镜检流计精度和定义CTI最佳性线性度整个运动过程中的定位精度99.9%步响应时间小角度定位时间从命令发出开始到99%到达位置的时间100uS短期重复度经过一些短时间的运动后回到原位置的能力1uRad温度漂移由于温度影响的光学位置的漂移10ppm/° C零漂由于温度等引起的中心位置的漂移5uRad/° C主要技术指标：适合光斑直径3mm4mm5mm6mm7mm8mm9mm10mm12mm15mm20mm25mm27mm30mm50mm75mm75mm动磁式振镜6200H6210H6215H

随着现代生命科学不断发展，越来越多的科研人员将研究的目光从细胞器，细胞层面转移的器官层面。近年来类器官以及针对整个器官组织的研究越来越多。高速动态扫描光片成像系统FSLight就是为科研人员提供针对整体器官组织样品、类器官以及斑马鱼研究的成像系统。研发团队来自于广州实验室，具有完全的知识产权。性能方面，FSLight采用独特的动态锥光扫描系统，可以同时实现高分辨、大视野、高速成像。fslight轴向分辨率可达2μm，光腰宽度可达1cm，最大可支持5cm样品成像。产品技术介绍独特的单光源双侧实时动态锥光扫描技术能够在实现大范围动态扫描的同时维持在合理的成像分辨率。这项技术具备专门设计扫描光片激发物镜，能够兼具大尺度扫描所需的消色散以及双侧照明，并将光腰尺寸缩小到2um左右。此外动态锥光扫描系统具备自动RI校准系统，对于不同RI的溶液进行光路校准，有效避免由于不同溶液造成的成像瑕疵。借助于光片显微镜，脑科学可应用于全脑神经、血管等结构三维高精度成像，用于神经退行性疾病、脑栓塞等研究；神经科学可以研究神经元神经传导途径及修复再生能力；呼吸科学可以用于呼吸系统致病及肺损伤机制、免疫应答及药物筛选研究；肿瘤学可以用于肿瘤微环境，转移，侵袭及药物筛选；免疫学科也可以更完整的研究淋巴系统的发育过程；骨科学可以用于骨骼修复与骨再生相关研究；发育科学可以用于研究模型动物各个阶段的组织与器官的发育和功能。技术特点：1. 高速：超高速采集，采集时间仅和相机采集速度有关；采集过程中自动高速追焦2. 高质量：2 μm 均匀光片；独特的偏照减少遮挡物的影响；光强高、低散光3. 高细节成像：具备合理的1 mm光腰长度；自动切换物镜，实现定位→观测→细节观测，一气呵成4. 细节优化：扫描过程中无需移动样品，对软样品十分友好；5. 自动校正：自动RI校准系统，用户可随时根据溶液RI修改光腰位置应用案例：

型号SC-2SC-3SC-5SC-10SC-20SC-21SC-25SC-30镜面尺寸6mm，7x6mm ，10x6mm5mm dia.,7mm dia.8x7mm12x7mm6mm dia,6x6mm,7x7mm10x10mm6mm dia,6x6mm,7x7mm10x10mm7x7mm,8x8mm,10x10mm,20x20mm25x25mm8x8mm,10x10mm,12x12mm,15x15mm,20x20mm30x30mm6x6mm,8x8mm,10x10mm,12x12mm,20x20mm30x30mm3x4mm,4x5mm,5x6mm,7x8mm,8x9mm,10x10mm25x25mm扫描角度20°-50°可选20°-50°可选25-60°可选10-60°可选10-60°可选24-70°可选24-60°可选5-30°可选频率125Hz-800Hz 可选110Hz -1860Hz 可选100Hz to 2200Hz 可选100Hz to 3000Hz 可选10Hz to 1500Hz 可选15Hz to 2000Hz 可选15Hz to 2000Hz 可选200Hz to 16KHz 可选EOPC扫描振镜产品应用：微型激光扫描仪3D激光成像激光雷达生物医学成像共聚焦显微镜机器视觉及机器人智能交通系统共振扫描振器特别适用于专用的大批量OEM工业应用，这些应用可以轻松集成到小型手持式和便携式仪器，子系统和系统中。扫描仪用于连续检测系统，以执行 100% 检测，以使用一台扫描仪或多线扫描检测缺陷。对于大批量 OEM 制造，我们会考虑提供免费信息来构建驱动程序，将其整合到现有或新的驱动电子设备中，或将其构建为所需的尺寸。我们提供标准和定制的扫描系统：– 光学扫描仪相位锁定到稳定的外部时钟信号– 扫描系统，将两个相同频率的扫描仪锁定在主/从模式下以生成重复图案（例如：圆形或椭圆）– X，Y 扫描系统将两个扫描仪锁定为主/从模式以生成重复图案（例如： 光栅扫描或李萨如图案）– 由共振扫描仪和振镜扫描仪生成的X，Y光栅（面积）扫描系统光学扫描和偏转系统EOPC扫描振镜SC-SYS-1S 型号PLD-1S驱动器相位将任何共振扫描器（SC型，超小型扫描器除外）锁定到外部时钟信号，以提供稳定的扫描频率[子]系统。该系统可以在实验室中用作“独立”单元，也可以集成到更大的仪器/系统中。扫描仪是一个固定频率，从 5 Hz 到 16 kHz 范围内选择。您需要指定确切的时钟频率（精确到小数点后 4 位）。不建议在温度敏感应用中使用此系统。请参阅：http://eopc.com/sys_pld1s_extern.html http://eopc.com/driver_pld1s_cad.htmlhttp://www.eopc.com/driver_pld1s.htmlhttp://www.eopc.com/sys_pld1s_extern.html http://eopc.com/PLD-1S%20DRIVER%20data%20sheet.pdfEOPC扫描振镜型号SC-SYS-2SSC-SYS-2S扫描系统由两个相同的共振光学扫描仪（SC型）组成，扫描仪“A”和扫描仪“B”，在MASTER/SLAVE模式下锁定，以生成圆形或椭圆或锁定两个扫描仪相位或0度或180度。该系统可以用作实验室中的“独立”单元或便携式仪器，或集成到更大的仪器/系统中。两个相同的扫描仪各有一个固定频率，从10 Hz到16 kHz的范围内选择。它们是体积小、重量轻、成本低、寿命长的设备。它们需要低功耗驱动电子设备，并且不会辐射任何电磁干扰（EMI）。扫描仪具有高振幅稳定性和非常低的振幅抖动 摆动小于 1 弧秒。扫描仪具有红外、可见光、紫外和高真空功能。提供参考信号和位置输出。请参阅：http://www.eopc.com/sys_pld2s_master.htmlhttp://eopc.com/driver_pld2s_cad.htmlhttp://eopc.com/driver_pld2s.htmlhttp://eopc.com/PLD-2S%20DRIVER%20data%20sheet.pdfEOPC扫描振镜型号SC-SYS-2SXYSC-SYS-2SXY扫描系统由两个不同频率的共振光学扫描仪（SC型，超小型扫描仪除外）组成，锁定在MASTER/SLAVE模式下以产生重复图案，例如：光栅扫描或李萨如图案。扫描仪“X”是高频，扫描仪“Y”是低频。两个扫描仪各有一个固定频率，从 5 Hz 到 16 kHz 范围内选择。它们是体积小、重量轻、成本低、寿命长的设备。它们需要低功耗驱动电子设备，并且不会辐射任何电磁干扰（EMI）。扫描仪具有高振幅稳定性和非常低的振幅抖动 摆动小于1弧秒，该系统可用作实验室中的“独立”单元或便携式仪器，或集成到更大的仪器/系统中。扫描仪具有红外、可见光、紫外和高真空功能。提供参考信号和位置输出。X，Y扫描系统为涉及光束偏转的应用提供廉价的高性能：电视，HDTV，用于2D和3D扫描对象，用于分色，生成存储在计算机内存中的图像并将其投影到屏幕上，生成数据和/或将数据直接传输到生产单元（CAD / CAM）以及检测系统等等。扫描系统用于机器人、医疗非侵入性研究和测试、运输、非冲击打印和激光扫描、检查系统以及高速、高分辨率显示系统和机器视觉。参见：http://www.eopc.com//sys_pld2sxy_raster.htmlhttp://www.eopc.com/driver_pld2sxy.htmlhttp://eopc.com/PLD-2S%20DRIVER%20data%20sheet.pdfEOPC扫描振镜模型SC-SYS-XYGSC-SYS-XYG 扫描系统锁定共振光学扫描仪（SC 型），用振镜锁定共振扫描仪以生成 X，Y 光栅扫描。 PLD-XYG 驱动器将谐振扫描振（固定高频，“X”）与振镜（线性扫描仪，“Y”）锁定，以生成光栅扫描（X 和 Y，如电视屏幕）。您可以使用我们制造的任何“X”方向共振扫描振器，但最常选择8 KHz和16 KHz的SC-30型高频共振扫描振器。SC-30型高速共振扫描器具有连续的正弦波运动。扫描仪的谐振频率由每帧所需的线数乘以所需的帧速率决定。振镜扫描仪的频率（Y 轴的帧速率）由共振扫描仪生成。它是一种具有快速飞返的波浪形式（恒定速度）的斜坡类型。我们提供的基本光栅扫描系统包括以下内容：-共振扫描器-振镜-两个扫描器的支架-带电源的PLD-XYG驱动器盒-附加功能是可选的。PLD-XYG驱动器与前面板扫描角度控制完全集成（遥控器是可选的）。驱动器以自振荡模式操作谐振扫描器（X轴，高频），以扫描器的谐振频率，并且还产生Y信号以驱动振镜扫描器（Y轴，低频）。PLD-XYG 驱动器具有用于 X 和 Y 扫描仪的模拟位置输出，并且可选配远程扫描角度（振幅）控制。无需外部函数发生器即可操作XYG系统。对于 OEM 制造，我们可能会考虑提供免费信息来构建驱动程序，以便您可以将其整合到您的驱动电子设备中或将其构建为所需的尺寸。要构建XYG扫描系统，我们需要知道：-每帧的行数-对于（X）共振扫描器：扫描角度[度，PTP光学]光束尺寸，所需的镜子尺寸[mm]波长和激光功率（源）频率[Hz]固定频率共振扫描镜：增强型铝保护涂层镜是我们的标准镜子镀金（保护）和镀银（保护）镜子，铍/金属镜，是可选的或客户提供的。-对于（Y）振镜扫描仪：帧速率（扫描仪X的频率与扫描仪Y的频率之比）。振镜：银镜是标准配置。-对于激光（源）：光束尺寸[毫米] 光束功率 波长[nm]参见：http://eopc.com/sys_pldxyg_raster.htmlhttp://eopc.com/driver_pldxyg_cad.htmlhttp://eopc.com/SC-SYS-XYG%20SCANNING%20SYSTEM%20data%20sheet.pdf http://eopc.com/PLD-XYG%20DRIVER%20data%20sheet.pdfPLD-XYG 驱动器具有用于 X 和 Y 扫描仪的模拟位置输出，并具有可选的远程扫描角度（振幅）控制。它与前面板扫描角度控制完全集成，遥控器是可选的。驱动器以自振荡模式操作谐振扫描器（X轴，高频），以扫描器的谐振频率，并在锁相模式下生成Y信号形式以驱动振镜扫描仪（Y轴，低频）。无需外部函数发生器即可操作系统。应用：扫描系统为无限应用提供廉价的高性能：HDTV，2D和3D成像，光刻，颜色分离，高分辨率显示系统，激光扫描，生成存储在计算机内存中的图像并将其投影到屏幕上，生成数据和/或将数据直接传输到生产单元（CAD / CAM）和检测系统。高速、高分辨率显示系统和机器视觉。许多应用是在红外和紫外波长，高真空或低温条件下。系统可以安装在移动的车辆、检测系统的移动臂或机器人上。 扫描系统用于机器人、医疗非侵入性研究和测试、运输、非冲击打印和激光扫描、检查系统和机器视觉。许多航空航天和军事应用都是在红外和紫外线波长，高真空或低温条件下。

美国CTI公司成立于1978年，是世界顶级的光学扫描振镜制造商，其产品型号齐全，广泛用于激光打标、雕刻、焊接，打孔等加工领域，以及激光成像，医疗系统等领域。产品包括：高速扫描振镜，适合从2mm光斑到100mm以上的光斑，以及新一代的全数字扫描系统。62xxH系列高性能光学扫描振镜动磁光电反馈高速扫描振镜拥有世界最快的扫描速度！主要技术指标：机械和电气指标6200621062156220623062406260单位/公差适合光斑直径33-73-75-108-1512-3030-75mm最大负载惯量0.130.180.211.259.724475gm*cm2机械指标额定偏转角度+/-20Degrees(° )转动惯量0.0130.0180.0280.1250.972.447.5gm*cm2扭力常数0.120.280.380.611.3128.5x105Dyne-cm/A最大线圈温度110° C,Max热阻(线圈对外壳)3.82110.80.620.2° C/Watt,Max

美国CTI公司成立于1978年，是世界顶级的光学扫描振镜制造商，其产品型号齐全，广泛用于激光打标、雕刻、焊接，打孔等加工领域，以及激光成像，医疗系统等领域。产品包括：高速扫描振镜，适合从2mm光斑到100mm以上的光斑，以及新一代的全数字扫描系统。68xx系列高性能光学扫描振镜动磁电容式高速扫描振镜最高精度和速度的完美组合！主要技术指标：型号686068706880单位/公差机械和电气指标适合光斑直径101530mm最大负载惯性62064gm*cm2机械指标额定偏转角度+/-20Degrees(° )转动惯性0.62.664gm*cm2扭力常数0.931.82.54x105Dyne-cm/A最大线圈温度110° C,Max热阻(线圈对外壳)1.510.75° C/Watt,Max驱动电气指标线圈电阻1.51.41Ohms,+/-10%线圈电感160275280uH,+/-10%自感电压0.170.30.44mV/° /S,+/-10%电流4.65.67.5A,Maximum峰值电流252525A,Maximum小角度响应时间

高速扫描电子显微镜HEM6000是一款先进的分析仪器，它结合了高速扫描技术和高分辨率成像能力，为用户提供了一个强大的工具来观察和分析各种样品的微观结构。该产品采用了最新的电子光学系统，能够实现纳米级别的表面分析，适用于材料科学、生物学、半导体工业等多个领域的研究和质量控制。HEM6000具备以下特点：1. 高速扫描：采用最新的扫描技术，能够快速完成大面积样品的扫描，大幅提高工作效率。2. 高分辨率：提供卓越的图像分辨率，即使在高倍放大下也能清晰地观察样品的细节。3. 易于操作：配备直观的用户界面和自动化功能，使得操作简便，即使是初学者也能快速上手。4. 多功能应用：适用于多种样品类型，包括但不限于金属、陶瓷、聚合物、生物组织等。5. 高性能数据处理：内置先进的数据处理软件，能够对扫描结果进行快速分析和处理。6. 稳定可靠：采用高稳定性的设计，确保长时间运行的可靠性。HEM6000电子显微镜是科研人员和工程师在材料分析、质量检测等领域不可或缺的高端设备。当然，以下是对HEM6000产品介绍的进一步扩展：7. **卓越的能谱分析能力**：HEM6000不仅提供出色的形貌成像，还集成了能谱分析（EDS）功能，能够在观察样品形貌的同时，进行元素成分及分布的分析。这为用户提供了更全面的样品信息，助力深入研究和理解材料的微观结构与性能之间的关系。8. **高级样品台设计**：为了满足不同样品的观察需求，HEM6000配备了高级样品台，支持五轴精密移动和倾斜，以及多种样品夹持方式。这种设计使得用户可以灵活调整样品位置，轻松捕捉到感兴趣区域的最佳图像。9. **环境扫描功能**（如适用）：部分HEM6000型号可能还具备环境扫描功能，允许在接近大气压或特定气体环境下对样品进行观察。这对于需要保持样品原始状态或进行原位反应观察的研究尤为重要。10. **远程控制与协作**：HEM6000支持远程控制和数据共享功能，用户可以通过网络连接，远程操作显微镜并实时查看图像数据。这不仅提高了设备的利用率，还促进了科研团队之间的协作与交流。11. **定制化解决方案**：金山办公与合作伙伴致力于为用户提供定制化的解决方案。根据用户的具体需求，我们可以对HEM6000进行个性化配置，包括但不限于软件升级、附件添加、特殊样品台设计等，以确保设备能够最大限度地满足用户的科研需求。12. **完善的售后服务**：我们提供全面的售后服务支持，包括设备安装调试、操作培训、定期维护以及快速响应的技术支持等。我们致力于确保用户在使用HEM6000过程中得到最佳的支持和体验。综上所述，高速扫描电子显微镜HEM6000是一款集高性能、多功能性、易用性和可靠性于一身的先进分析仪器。它将在科研和工业领域发挥重要作用，助力用户探索微观世界的奥秘并推动科技进步。

3轴激光扫描振镜Novanta公司旗下的英国Cambridge Technology的提供 Lightning II 3D高精度高速振镜扫描头。Lightning II 3D旗舰高精度高速振镜扫描头Lightning II即“闪电2代”是我们的旗舰数字驱动激光扫描头，同时具备快速，高精度和长时间稳定工作的优点。是钻通孔，增材制造，微加工等应用的理想工具。而Lightning II 3D是在Lightning II 2D扫描头的基础上增加一个动态聚焦模块（DFM），这种模块化的、集成化的Z轴扫描头动态调节激光的Z轴焦点，提高了激光的处理速度和质量。同时动态聚焦模块DFM可以做到快速调整到不同的工作距离以及相应的工作面大小。Lightning II 3D参数指标：型号:Lightning II 3D20 mm30 mm50 mm镜片通光孔径20 mm30 mm50 mm扫描角度±20±22°±22°波长选项355 nm1050-1080 nm|9.36 μm 10.6 μm1050-1080 nm|9.36 μm 10.6 μm常规工作速度50 rad/s50 rad/s18 rad/s工作面范围200-2500 mm 100-1200mm|100-1000mm 100-1200mm|100-1000mm输入光斑尺寸1-3mm|2-3mm10 mm|17 mm10 mm|17 mm最小光斑尺寸(200x200 mm)12 μm|18 μm21 μm|213 μm21μm|213μm循迹延迟0.2 ms0.2 ms0.4 ms指令分辨率24-bit24-bit24-bit重复性2 μrad2 μrad2 μrad长时间漂移10 μrad10 μrad10 μrad温度漂移2 μrad/°C20 μrad/℃2 μrad/℃增材制造 激光微加工

CTI和GSI合并以来，依靠各自的传统优势技术，联合提供最优配置组合的激光扫描头子系统，包含Lighting和ProSeries两个系列的7mm，10mm，14mm的标准产品，同时也提供20mm和25mm大孔径系列，是OEM和最终用户的最佳选择。高速激光扫描头主要应用：· 高速打标· 二维码和条形码打标· 网格制造· 打孔· 激光消融和切除· 飞行打标· 雕刻· 表面处理· 快速成型类型LightingXP数字扫描头Lighting数字扫描头ProSeriesII数字扫描头ProSeries数字扫描头特点· 采用CTI高性能振镜· 最高速度· 全数字化· 自动调节· 采用CTI高性能振镜· 高速· 数字伺服· TuneMasterc· 采用CTI高性能振镜· 最高精度· 低抖动· 低零漂· 采用CTI高性能振镜· 经济型· 灵活的模块化设计· 最紧凑型设计输入孔径71014710147101471014最大激光功率WYAG100150250100150250100150250100150250CO250100200501002005010020050100200刻字速度cps*13009006001300900600800600350900650

InGaAs短波红外（SWIR）线扫描相机：SU1024-LDH、SU1024-LDH2、SU1024-LDM、GL2048 Sensors Unlimited基于专利技术的InGaAs平台，产品包括SWIR相机、1维和2维焦平面阵列（FPA）和扩展波长响应的InGaAs成像探头等。线扫描相机可用于高速OCT成像和机器视觉等，速度快、动态范围和量子效率高、设计紧凑、性价比高。 SU1024-LDH2是一款高速1024像素线扫描InGaAs相机，扫描速率可达91911 lps。这一特点可用于1.04μm谱域光学相干层析成像（SD-OCT），瞬间捕获视网膜、神经头和脉络的细致3D体图像。对于1.31μm SD-OCT，基于二极管阵列的OCT系统可为多普勒或偏振灵敏OCT应用提供优越的相位稳定性。LDH2提供12位传输率将数字图像传到Base Camera Link® 接口卡中，最大动态范围可超过2300:1。可选两种像素孔径高度：500μm高度方便SD-OCT系统对准；25μm方形像素，用于高时间分辨机器视觉或PS-OCT。 特点12位对1024像素速率达91911 lpsintegrate-while-read采集 波长响应范围0.8μm~1.7μm，在1.05μm和1.31μm量子效应曲线平坦14位base CameraLink® 兼容输出和控制 高动态范围和量子效率 易于安装到光谱仪 易于安装到光谱仪或MV系统 可选配C和F接口透镜的转接件 应用 SD-OCT 0.8-1.7μm波长范围用于燃烧研究和分子振动带的超快吸收和发光光谱学 用于超高速检测、材料分类筛选的机器视觉、连续过程检测 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：+86571 8807 7926网址： /邮箱：

Tangor, Amplitude Systems, 飞秒激光器, 超快激光器, 飞秒振荡器, 超快振荡器, 超快飞秒激光器, 超快飞秒振荡器, 高功率, 高平均功率, 高能量, 高脉冲能量, 高频率, 高重复频率,Mango,光参量放大器,光学参量放大器,OPA, 工业设计, 紧凑型, 高可靠性, 高稳定性, 眼科, 微加工, 维纳加工, 微细加工, 精细加工,光谱,太赫兹,THz,拉曼光谱,相干,拉曼散射,振镜扫描,SCANLS-SCAN：高精度、高速度、高加速度扫描振镜 LASEA扫描振镜：LS-SCAN— 高速度、高加速度扫描振镜LS-SCAN是LASEA独有的高速度、高加速度扫描振镜，采用专利技术，专业用于激光微纳加工和高精度打标等应用。传统标刻应用需要高扫描速度，同时需要精度在30μm左右，微纳加工需要高扫描速度以防止热量累积，但是精度更为重要，而且，加工图案通常有更多的细节，需要不断的加速。LS-Scan振镜技术，基于平动线圈马达，不同于传统的移动磁铁技术。动圈设计比移动磁铁更轻，且动圈的耗电量比移动磁铁的少5倍，LS-Scan振镜利用此技术大大降低了热漂移，且加速斜坡比传统使用移动磁铁技术的振镜小20%。正是由于这些优异的性能，才可以使用更高的激光功率而不会降低加工精度，同时也大大提高加工效率。LS-Scan镜所有的主要电子控制部件都集成在LASEA的控制机架，进一步增加了LS-Scan的热稳定性。振镜马达很容易地连接到机架上，机架通过以太网接口连接到电脑。所有输入和输出很容易从机架后面板访问。整个过程是由LASEA的KYLA&trade 软件驱动的，这是一个完整的微纳加工软件，能够与多个平台、CCD和激光器通信。每个LS-Scan马达都与可固定在导轨上的控制卡连接，控制卡通过以太网接口连接电脑。工艺过程通过KYLA软件控制，KYLA软件是一个全功能微纳加工软件，可以同时实现振镜、多个平台、影像系统(相机)和激光器之间的通讯。另外，使用标准的XY2-100协议可以兼容外部的控制卡和软件。主要特点：- 高加速度 - 高精度- 低热漂移- 可选3D功能- 易于连接的KYLA微纳加工软件- XY2-100协议兼容 主要规格振镜尺寸 聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚 嵘 科 技 股 份 有 限 公 司聚擘国际贸易 (上海) 有限公司／聚嵘科技股份有限公司，专业从事半导体封装及测试、LED封装测试、太阳能、SMT、飞秒/皮秒/纳秒激光等定制设备/子系统的开发、销售及售后服务。公司总部位于上海，在深圳、北京、西安设有办事处。公司在台北市设有专业的飞秒精密微纳加工实验室 — FemtoFocus，合作伙伴有法国Amplitude公司 、 比利时NextScan Technology公司 、 法国ALPhANOV光学与激光技术中心、比利时LASEA公司、法国NOVAE公司、德国Pulsar Photonics公司。实验室拥有专业的前沿激光微纳加工应用开发及技术支持团队，提供超短脉冲 (小于500fs) 和极短脉冲 (小于100fs) 激光技术相关测试及高速加工 (多光点、转镜) 等高度可扩充的高弹性集成方案。 聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚嵘科技股份有限公司| 电子 | 半导体 | 飞秒激光 | 微加工 | 科研 |

InGaAs短波红外（SWIR）线扫描相机：SU1024-LDH、SU1024-LDH2、SU1024-LDM、GL2048 Sensors Unlimited基于专利技术的InGaAs平台，产品包括SWIR相机、1维和2维焦平面阵列（FPA）和扩展波长响应的InGaAs成像探头等。线扫描相机可用于高速OCT成像和机器视觉等，速度快、动态范围和量子效率高、设计紧凑、性价比高。 SU1024-LDM是一款用于机器视觉的紧凑型高速1024像素线扫描相机，用于通过硅片的高分辨率成像，在IC或太阳能电池进行下一步加工前找到未对准、闭塞或破裂等问题，速率可达45956 lps。LDM提供14位传输率将数字图像传到Base Camera Link® 接口卡中，最大动态范围可超过4500:1。25um孔径相机具有高空间和时间分辨率；可选500um像素高度，它牺牲时间分辨率增加光照成像时的灵敏度。 特点 高动态范围和量子效率 integrate-while-read快照采集 预定义行扫描速率80-45956 lps用户可编程设置 波长响应范围0.8μm~1.7μm 1024 x 25-μm像素间距，孔径高度25或50μm 14位base CameraLink® 兼容输出和控制 易于安装到光学元件和MV系统 可选配C和F接口透镜的转接件应用 检测抛光的硅片晶圆 用于超高速检测、材料分类筛选的机器视觉、连续过程检测，比如食品和农产品筛选 0.8-1.7μm波长范围用于燃烧研究和分子振动带的超快吸收和发光光谱学 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：+86571 8807 7926网址： /邮箱：

InGaAs短波红外（SWIR）线扫描相机：SU1024-LDH、SU1024-LDH2、SU1024-LDM、GL2048 Sensors Unlimited基于专利技术的InGaAs平台，产品包括SWIR相机、1维和2维焦平面阵列（FPA）和扩展波长响应的InGaAs成像探头等。线扫描相机可用于高速OCT成像和机器视觉等，速度快、动态范围和量子效率高、设计紧凑、性价比高。 SU1024-LDH线性数字高速InGaAs相机对于1024像素的传输速率超过46000 lps，用于谱域OCT、NIR光谱学和机器视觉。该相机将提供14位数字捕获到base Camera Link® 接口卡，使用线性阵列的LC串联，特点是双扫描、integrate-while-read采集、低噪声、提供这些应用的高动态范围要求。这些相机可选500μm高像素，方便在SD-OCT系统中对准；也可选25μm方形像素，用于高时间分辨机器视觉或PS-OCT。特点波长响应范围：0.8μm~1.7μm25μm像素间距，孔径高度25μm或500μm1024像素阵列对于1024像素超过46000lpsintegrate-while-read采集14位base CameraLink® 兼容输出和控制 高动态范围和量子效率 易于安装到光谱仪可选配C接口、F接口或FD接口透镜的转接件 应用 OCT 机器视觉、连续过程检测800-1700nm波段分子振动带高速光谱学远程通信光纤和波导对准 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：+86571 8807 7926网址： /邮箱：

产品说明TVS-GSS系列扫描振镜是用于光束扫描的器件，利用检流计原理实现，是一种小惯量扫描器。一般由反射镜、扫描电机和伺服系统组成，通电线圈在磁场中产生力矩，转子上通过机械扭簧或电子的方法增加复位力矩，其大小与转子偏离平衡位置的角度成正比，整个过程采用闭环反馈控制，由位置传感器、误差放大器、功率放大器、位置区分器、电流积分器等五大部分共同完成，从而完成反射镜的偏转控制。要实现二维扫描，则需要两个扫描振镜正交安装，实现入射光束在X轴和Y轴两个方向的位置控制，再搭配上超维景提供的TVS-MMC系列双光子成像控制器或其他信号源，即可形成面阵扫描，该扫描振镜在多光子显微镜和共聚焦显微镜等扫描成像系统中都有应用。对于高速扫描，可选共振扫描振镜，详情可联系本公司。产品应用多光子显微镜、共聚焦显微镜激光加工、激光打标产品优势大扫描范围：最大光学扫描角度可达±20°位置精准反馈：提供位置反馈信号，可用于用户闭环控制控制简便：用户可使用模拟电压，实现振镜的任意轨迹扫描参数优化：针对用户扫描波形进行参数优化，以提高可靠性和扫描一致性二维扫描振镜技术参数参数TSH8TVS-GSS系列型号TVS-GSS-203HTVS-GSS-310A/DTVS-GSS-618A/DTVS-GSS-720A/D输入光斑直径（mm）35791010121620最大扫描角度±20° ±12.5°±20°±20°±20°Nd:YAG@1064 nm--10080120120150200300CO2--50707070100150200阶跃响应时间（ms）0.250.30.40.7标刻速度（m/s）--4331.71.522定位速度（m/s）--1211117777好质量--700690650500400350300高质量--550500480340260220200点漂移（pRad./°C）比例漂移（ppm/°C）续工作漂移，8小时以上（mrad.）线性度≥99.70%≥99.90%≥99.90%≥99.90%重复精度（uRad.）最大平均工作电流（A/单轴）22.534峰值电流（A）10202025输入信号接口XY2-100或模拟电压士5 V，土10 V输入电源土24 VDC士10%，Max.RMS 3.5 A/轴工作环境温度25°C士10°C重量（不含透镜）（kg）-2.42.94.5主要应用领域激光标刻、飞行打标激光演示、激光医疗科研激光标刻、激光调阻内雕、科研激光标刻、激光调阻内雕、激光打码科研激光标刻、激光调阻切割、钻孔

InGaAs短波红外（SWIR）线扫描相机：SU1024-LDH、SU1024-LDH2、SU1024-LDM、GL2048 Sensors Unlimited基于专利技术的InGaAs平台，产品包括SWIR相机、1维和2维焦平面阵列（FPA）和扩展波长响应的InGaAs成像探头等。线扫描相机可用于高速OCT成像和机器视觉等，速度快、动态范围和量子效率高、设计紧凑、性价比高。 GL2048R通过Medium Camera Link® 接口将SD-OCT成像扫描速率提升到145 klps，而GL2048L是在base Camera Link® 提供76 klps的扫描速率。这些相机分辨率高、稳定性好。相机结构紧凑机身纤薄，它的特点是2048像素InGaAs阵列，像素间距10um，孔径高度210um。在短波红外（SWIR）波长范围0.99到1.65um之间提供高光谱分辨率。具有优越的稳定性、可重复性和长期工作寿命，可用于医学和工业机器视觉。 特点1024 x 1像素阵列，10um像素间距 0.99-1.65um高量子效率 带快照曝光的固态FPA 用于控制曝光和行周期 线扫描0.1到76 klps或10到145 klps以上 高增益时动态范围大于1200:1 四种增益/满井选项 通过CC1外部触发 封装机身129cm3 OEM尺寸35cm3 低功耗3.3W@6-12V 12位base或medium CameraLink® 接口应用 OCT：1.04、1.31、1.55um 强光谱的高分辨率光谱学 硅晶圆或IC显微 运动物体的SWIR机器视觉 热MV成像150oC 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：+86571 8807 7926网址： /邮箱：

2轴激光扫描振镜Novanta公司旗下的英国Cambridge Technology的提供高精度激光振镜扫描头，其2D系列振镜包含三个系列：-MOVIA紧凑型振镜扫描头-Versia 2D高级多用途振镜扫描头- Lightning II 2D旗舰高精度高速振镜扫描头1. MOVIA紧凑型振镜扫描头MOVIA紧凑型振镜扫描头突出优点是经济，稳定和高效，其紧凑型的结构非常适合于诸如激光打标，激光微加工等多种应用规格MOVIA-2D-10 mm 镜片通光孔径 10mm 扫描类型 矢量扫描 扫描角度 ±20° 光束位移 12.05 mm 步进响应时间(全角度1%) 210μs 常规打标速度 3m/s （使用160mm F-Theta镜头） 常规定位速度 16m/s 重复精度 3.5 μrad 跟随误差 130μs 线性度 99.9%（在20°扫描范围内） 波长选项+最大功率 CO₂ 激光 :9.2-10.6μm最高125W；光纤激光：1040-1090nm最高125W 绿光：532nm|请与厂家确认 紫外：353-357nm|请与厂家确认 增益误差 5 mrad 零点漂移 5 mrad 长时间漂移 100 μrad 长时间比例漂移 150 ppm （30分钟预热后，24小时运行，单轴） 温度偏差漂移 20 urad/*c 温度比例漂移 20 ppm/℃ 指令比特率 16位 通信接口 XY2-100 IP等级 IP50 电源需求 ±15V,3A RMS 工作温度 15°℃-35*℃ 重量(近似值) 1.5kg 尺 寸 ( L x W x H） 114mmx94mmx86mm2. Versia 2D高级多用途振镜扫描头Versia高级多用途振扫描头采用了双向通信协议，可适配模拟控制卡或数字式控制卡，可适配更大孔径，更高激光功率，可对指定应用单独优化。规格Versia-2D-14 mm 镜片通光孔径 14mm 扫描类型 矢量扫描 扫描角度 ±21° 重复精度 2 μrad 长时间漂移 25 μrad 长时间比例漂移 40 ppm （30分钟预热后，24小时运行，单轴） 温度偏差漂移 10 urad//℃ 温度比例漂移 10 ppm/℃ 波长选项+最大功率 CO₂ 激光 :9.2-10.6μm最高200W；光纤激光：1040-1090nm最高200W绿光：532nm|请与厂家确认 紫外：353-357nm|请与厂家确认指令比特率16 bit(XY2-100) 20 bit (NVL-100) 通信接口XY2-100； NVL-100 IP 等级 IP54 电源需求 48V,5A RMS 工作温度 15°℃-40 ℃ 重量(近似值) 2.12kg 尺 寸 ( L x W x H） 99mmx99mmx132.20mm 优化举例 激光微加工-OLED面板 步进响应时间(全角度1%) 400μs 最大速度 80rad/s 循迹误差 230μs3. Lightning II 2D旗舰高精度高速振镜扫描头Lightning II即“闪电2代”是我们的旗舰数字驱动激光扫描头，同时具备快速，高精度和长时间稳定工作的优点。是钻通孔，增材制造，微加工等应用的理想工具。Lightning II参数指标：型号:Lightning II 2D14 mm20 mm25 mm30 mm镜片通光孔径14 mm20 mm25 mm30 mm扫描角度±22°±20°±17°±20°步进响应时间0.36 ms0.37 ms0.36 ms0.55 ms常规工作速度50 rad/s50 rad/s50 rad/s50 rad/s波长选项355nm/532nm/1030-1080nm/9.4-10.6μm 宽带:350nm-12μm重复性1 μrad抖动1 μrad长时间漂移10 μrad温度漂移2 μrad/℃线性度99.9%定位分辨率24-bit数字通讯接口GSBus or XY2-100状态信号反馈Status Signals Position Acknowledge,System Ready指令分辨率24-bit(GSB)or 16-bit(XY2-100)水冷温度20.0 ℃±2.5℃冷却水需求蒸馏水，含缓蚀剂，如Optishield Plus或同等产品电源需求+15V to +48V DC,3A RMS each,6A peak工作温度15°℃ to 35℃增材制造 激光微加工

Moewe多面镜超高速激光扫描头PM600（转镜系统）超快激光多面镜高速扫描头（转镜系统）Moewe PM系列多面镜扫描头 MOEWE多面镜扫描头(PM系列)设计用于高功率超快激光加工。该系统为二维光束偏转单元，可进行2D、2.5D和3D加工。MOEWE高端PM系列扫描头具有30毫米的通光孔径和实时机载数据处理功能，可以在前所未有的高吞吐量上实现最高精度的宏观与微观加工。 多面镜扫描头(Polygon Mirror Scanner)在半导体行业的应用 主要特点高达30=mm的入光孔径适用于功率高达5kW的连续激光在整个扫描范围内都可以实现超高的扫描速度 (无加速度损耗)全数字、FPGA板载数据处理适用于Bitmaps、矢量图形、STL文件实时激光控制，可实现最高的精度 主要优势二维光束偏转装置，可以单独使用或与设备集成 (实现轴、卷对卷等加工)多个数字和模拟I/OI接口、以太网通信、编码和过程控制应用：激光标刻、微纳结构、表面清洁、打孔、切割、表面结构 (2.5D)、点焊、增材制造 (3D)等选配项目物镜可拆卸及更换物镜 (标准或定制物镜)167、255、420 mm等规格平场透镜硬件通过AOM实现连续激光的10 MHz的频率调制多个扫描头的同步固定重复频率的激光器的相位校正软件参数设定、bitmap和矢量图形模式8位灰度图像处理，用于2.5D雕刻3D实施分层 (STL文件)扫描头和外部平移台的同步通用参数光学参数 输入输出 实时FPGA处理可点击图片放大 聚擘国际贸易 (上海) 有限公司聚 嵘 科 技 股 份 有 限 公 司聚擘国际贸易 (上海) 有限公司／聚嵘科技股份有限公司，专业从事半导体封装及测试、LED封装测试、太阳能、SMT、飞秒/皮秒/纳秒激光等定制设备/子系统的开发、销售及售后服务。公司总部位于上海，在深圳、北京、西安设有办事处。公司在设有专业的飞秒精密微纳加工实验室 — FemtoFocus Lab及MiniProduction Lab，合作伙伴有法国Amplitude公司 、 德国Moewe公司 、 法国ALPhANOV光学与激光技术中心、比利时LASEA公司、法国NOVAE公司、德国Pulsar Photonics公司。实验室拥有专业的前沿激光微纳加工应用开发及技术支持团队，提供超短脉冲 (小于500fs) 和极短脉冲 (小于100fs) 激光技术相关测试及高速加工 (多光点、转镜) 等高度可扩充的高弹性集成方案。 聚擘国际贸易(上海)有限公司| 电子 | 半导体 | 飞秒激光 | 微加工 | 科研 |

HSSM-4F高速扫描模块包含两个高速振镜扫描振镜，可以使入射激光束在X轴和Y轴方向选装扫描。采用反射式4F 结构，该结构把两面振镜都放置于物镜入瞳的共扼面上。这种结构的优点是: 减少畸变以及光束抖动小。专利的“光学共轭”快速扫描技术与普通正交式扫描方式相比，畸变量减少~27%，同时提升扫描速度。兼容市场上普通宽场显微镜，将分辨率从微米级升级到纳米级，二维升级到三维。 搭载在nikon显微镜上 搭载在olympus显微镜上主要特点：兼容性强：兼容市场上普通宽场显微镜结构紧凑，性价比高分辨率：8192X8192最大扫描范围：±10°速度：2fps@512X512

SC-30 共振高频扫描镜SC-30共振高频扫描镜是一款体积小，工作寿命长，性能可靠的电磁驱动动反射镜设备。其以极好的精密度，准确度和出色的重复性快速地生成光像。SC-30类型的扫描频率为200HZ到16KHZ范围内的某一固定频率，在该固定频率下的扫描幅值可以被调制。共振扫描镜具有几乎无限的工作寿命，并有多年持续工作的记录证明。高设备Q值确保了频率稳定性以及较低的驱动电功率。而高弹性刚度则提供了良好的抗震和防抖性能以及扫描重复性。固有频率共振又使该扫描镜成为多种需实现最小畸变成像且长时间运行功能的最佳选择。 高度成功的SC-30的共振扫描仪被证明是OEM创新型企业成长的重要组成以及成像技术的研发和系统集成产业的理想选择。特点：☆低热消散☆重量轻☆低功率驱动☆结实、无易损部件☆无需维护，无需润滑☆高可靠性☆真空模式☆良好的抗震及防抖能力☆无相位噪声☆无电磁辐射干涉☆提供反射镜位置☆玻璃镜面标配，铍/金属镜，棱镜以及透镜可选产品SC-30图片应用激光扫描，影像，动画，高分辨率打印，晶片检测，数据识别系统，视网膜图像采集，医用数字X射线，分拣，机器视觉，机器人技术，无损检测，存储刻录，眼科检测，DNA排序，共聚焦显微镜，生物医学成像，光学相干断层扫描OCT，质量检测系统，智能交通系统和生物，医学和材料研究。SC-30 共振高频光学扫描镜系列（200Hz到20KHz）SC-30 扫描角 （光学P-P）镜尺寸 (mm)频率 （Hz）30°25×25 到 10×10200-75020°10×10 到 8×9751-400016°8×9 到 7×84001-600012°7×8 到 5×66001-800012°5×6 到 4×58001-100006°4×5 到 3×410001-159005°3×416000上海瞬渺光电技术有限公司Rayscience Optoelectronic Innovation上海市闵行区都会路2338号总部一号21号5楼Tel: Fax: Website:

HSSM-GR（8/12)四振镜扫描模块包含一个共振扫描反射镜和三个振镜扫描反射镜，分别可以使入射激光束在X轴和Y轴方向偏移。共振扫描反射镜以共振频率驱动，能够实现比振镜系统更高的扫描速度。具有常规扫描模式和高速扫描模式两种模式。在常规扫描模式时，系统采用三振镜的设计，与传统的双振镜扫描头相比，具有更小的扫描畸变和更好的均匀性，可以满足高精度的扫描需求。在高速扫描模式时，共振振镜和振镜通过电动切换，由两个y扫描振镜和一个用于x方向的共振振镜组成。这样的组合能够在非常高的线频率下扫描，适用于对实时成像要求较高的应用。主要特点：l 常规模式和高速模式可切换l 最高扫描速度：32fps@512X512l 最高分辨率：8192X8192l 最大扫描范围：振镜±10°，共振振镜±10°@8KHz，±5°@12kHzl 共振扫描频率：8kHz&12kHz可选

自动观察自动完成光路调整、扫描参数设定、图像处理使用标准样品和标准探针时操作用时5分钟**自动观察模式，扫描范围1um× 1um ，256×256点阵。操作时长依赖于操作者。 传统的原子力显微镜需要人工调整光路、设定扫描参数、进行图像处理。但是SPM-Nanoa可以帮助用户毫无压力地完成这些操作。 性能优异性能优异从光学显微镜到SPM/AFM，各模式下均可清晰地捕捉图像利用光学显微镜搜索目标区域，利用SPM可以方便地进行高分辨率观察。利用与表面形状图像相同的视场可以获得其他物理特性信息。样品：硅基底上的二氧化硅图案 丰富多样的扫描模式从形貌观察到基于力曲线测量的物性分析，支持广泛的扫描模式。这意味着可以兼顾高分辨率与物性测试。 形貌接触模式、动态模式机械性能相位模式、侧向力模式、力调制模式、Nano 3D Mapping Fast *电磁学电流模式* 、磁力模式* 、表面电势模式* 、压电力模式* 、STM *纳米加工矢量扫描模式*环境支持液体环境**为选配部件 搜寻目标区域更容易利用清晰地光学显微镜图像，可以轻松找到目标区域，不用担心振动的影响。SPM-Nanoa集成了一体式高性能光学显微镜。 样品视野 使用集成光学显微镜，样品表面的3um间隔图案清晰可见。 高分辨观察表面物性极软样品的变形或样品局部的机械及电气性能的差异，都可以获得高分辨率的观测图像。用表面电势模式观察云母基底上的金纳米颗粒 该图显示了0.2um范围内的表面电势（右）和形貌图像（左） 8K成像助力大范围高分辨扫描可支持8K（81929192）扫描点阵，大范围区域的小细节也纤毫毕现。观察金属蒸镀膜 省时高效支持功能功能模式高速观察通过高速观察和物性高速成谱功能，显著减少了观测时间。探针更换工具和样品更换机构有效缩短了扫描准备时间。三个独特设计极大缩短了观测时间。 高通量观测高速物性成谱简便顺滑地样品更换便捷更换探针 高通量观测高速物性成谱采用了可实现高速响应的HT扫描器并优化了控制算法，从而大幅缩短了观察和物性成像的数据获取时间 *观测时间受参数设定影响 简便顺滑地样品更换高速物性成谱一键式操作实现自动开启、关闭平台，放置和取出样品。由于固定了激光的照射位置，所以在样品更换后可立即进行观察。 探针更换简单且可靠 Cantilever Master（选购）仅需将探针放置在指定的位置，并使其沿着导轨滑动即可安装，即使操作人员不习惯使用镊子，也能够简单准确地进行操作。

CRS系列振镜是一款小巧、高频的扫描振镜，其标称频率可达3938或7910Hz。该振镜由两根旋转棒构成，可在相反相位上形成共振。这种扭转运动能产生相同或相反的扭矩，并在其连接的外壳上抵消。理论上来说，这种机械振动能消除所有外接的振动。为了使不稳定性降到最低，旋转棒顶端的扭转质量必须与振镜转轴的相同。因此CRS振镜能在4KHz和8KHz频率下分别达到20和15度的扫描角度。特点：扫描频率4KHz和8KHz拥有速度反馈，使振幅更为稳定使用寿命长，无易损部件低功耗，散发热量少体积小巧，结构稳定应用：荧光显微镜，共焦显微镜半导体监测、成像技术加工质量验证掩模检查机器视觉视网膜图像采集交通管制打印医用数字X射线动画制作存储介质读写激光调谐技术FLIR技术技术参数：型号4KHz8KHz扫描频率(可定制)3938Hz7910Hz频率公差+/-50Hz+/-15Hz最大扫描角度20度26度一般扫描角度15度15度功耗1W1W尺寸直径12.7mm7.8mmx5.5mm有效孔径12mmx9.25mm6mmx4mm表面精度1/2wave@633nm1/4wave@633nm表面质量60/40scratch/dig40/20scratch/dig反射率@45度97%above400nm,96%above600nm重量65克工作环境温度10-40°C10-50°C贮藏环境温度-20-65°C湿度90%无冷凝振幅控制/带宽0-5V/160Hz，典型值振幅抖动0.02%峰值振幅外部尺寸160mmx100mmx27mm输入电压@+/-5%+/-15V15mVrmsripple/+5V,60mVrmsripple

NS3500H 大面积高速三维成像扫描系统NS-3500H 是一种准确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。Features & Benefits（性能及优势）：高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿实时共焦成像 简单的数据分析模式多种光学变焦 双Z扫描大范围拼接 半透明基材的特征检测实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备自动聚焦Application field（应用领域）：NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析Dimension(尺寸）:Specification(规格）：ModelMicroscope NS-3500备注Controller NS-3500E物镜倍率10x20x50x100x150x观察/ 测量范围 水平 (H): μm140070028014093垂直 (V): μm105052521010570工作范围: mm16.53.10.540.30.2数值孔径(N.A.)0.300.460.800.950.95光学变焦x1 to x6总放大倍率178x to 26700x观察/测量光学系统 针孔共聚焦光学系统高度测量测量扫描长扫描 : 10 mm 显示分辨率0.001 μm重复率 σ0.010 μm注 1宽度测量显示分辨率0.001 μm重复率 3σ0.02 μm注 2帧记忆像素1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96单色图像12 bit彩色图像8-bit for RGB each高度测量16 bit帧速率表面扫描20 Hz to 160 Hz线扫描~8 kHz自动功能自动增益激光共焦测量光源波长 405nm输出~2mW激光等级Class 3b激光接收元件PMT (光电倍增管)光学观察光源灯10W LED光学观察照相机成像元件1/2” 彩色图像 CCD 传感器记录分辨率640x480自动调整增益, 快门速度, White balance数据处理单元 PC电源电源电压100 to 240 VAC, 50/60 Hz电流消耗500 VA max.重量显微镜Approx. ~200 kg(Measuring head unit : ~12 kg)控制器~8 kg注1 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量 注 2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。

MEMS扫描镜姓名：许工(Gary)电话：（微信同号）邮箱：光学扫描镜是矢量扫描设备，能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射，从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高，且多为散装，大大限制了其应用。相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点，以被广泛的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。按照扫描维度不同，MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜，一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转，二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描，可以选用两个一维的扫描镜，也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大，但是结构也更复杂，控制的难度也就越大。按照驱动方式的不同，MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是，利用电能转换为热能，再转换为机械能驱动，其优点是驱动力和驱动位移较大，但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动，具有驱动力大、响应速度快等优点，但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动，具有较大的驱动力力和驱动位移，但是响应速度偏慢，且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动，具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。是目前使用广泛的驱动方式。下图给出了各种驱动方式的性能对比驱动方式速度力幅度电压压电驱动快大小高电磁驱动慢大大低热驱动慢大大较低静电驱动快小较小高上海昊量光电推出的MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件，例如，金属、聚合物、压电材料等。使其拥有卓越的重复性和可靠性。采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗仅为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。该款微振镜针对对点对点（受迫振动）光束扫描进行了特殊设计及优化。该MEMS扫描镜采用静电驱动且选用整个单晶硅制备而成，因此使得驱动电压和偏转角度之间存在良好的一一对应的关系，并且有着可重复性，而且随着使用时间的推移依然保持着极高的性能。对于开环的微振镜，致动器在每个轴上至少有14Bits（约16384个位置），因此当机械偏转角度为-5°到+5°是，角度的分辨率可达到10微弧度。在整片的单晶硅上采用无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm直径的微镜，当机械偏角为-6°到+6°时，非谐振偏转速度超过1000rad/s，谐振频率更是达到3.6KHz。与常规的MEMS扫描镜不同的是，该微型振镜可以在多个模式下工作，即点对点模式（受迫振动）、混合模式和谐振模式。如下图所示：a)这种模式可称为点对点模式，或者是静态模式。在这种情况下两个轴利用设备操作的宽带宽从直流到某个频率，并且不允许谐振。因此镜子可以保持在某一位置，或者以匀速运动或执行矢量图形等。b）第二种模式为混合模式，即其中一个轴处于准静态模式，另外一个轴处于谐振模式c）第三种模式为谐振模式，这时两个轴利用狭窄高增益共振来获得较大的偏角较低的电压以及较高的速度。设计用于点对点模式的设备，在接近共振或共振时倍驱动，很容易超过安全偏转角而损坏。因此需要使用非常小的正弦驱动电压驱动接近谐振工作模式，并且非常仔细的寻找所需要的工作点和角度，以便不超过给定的机械偏角限制。 可提供的产品如下：1）开发套件（Development Kits）开发套件是为了方便客户更快速而有效的了解设备的性能、用途及使用方法。它可以通过专门开发的软件及驱动器安全的使设备运转。产品图片产品描述标准开发套件：[可按需求删减其中配件]该套件包含以下部分1） 三个二维扫描镜；1.2mm 偏角±5°；2.0mm 偏角±5° 3.6mm偏角±5.52）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等半定制开发套件：该套件可自主选择套件中镜子的尺寸及偏角；其余配件与标准开发套件相同包含扫描模块的开发套件：1） 扫描模块：该套件扫描模块只包含一个1.2mm的镜子，该镜子与635nm激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2） USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK激光雷达开发套件I：1） 三个镀金膜二维扫描镜；2个4.6mm，偏角±5°；1个5mm，偏角±5°2）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等激光雷达开发套件II1） 四个二维扫描镜；2个2mm，偏角±4.8°；2个2.4mm±5°2）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等2）演示套件（Demonstrator Kits）产品图片产品描述激光跟踪及MEM微镜演示套件；套件包含以下产品1）扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW绿光激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2）光电传感器，包含滤光片、60°FOV和电缆3）USB控制器4）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK激光扫描和相机感知演示套件；套件包含以下产品1）扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW绿光激光器激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2）USB 3.0 相机包含 6mm镜头 (~45°x 34.5° FoV) 720x540 像素；500 fps3）相机及扫描模块机械装配件4）USB控制器5）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK+相机感知API6）专为该套件开发的软件示例3D扫描演示套件；该套件包含以下产品1） 扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW红色激光器激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2） USB3.0 相机包含8mm镜头（~34.5°x 26.2° FoV） 720x540 像素；500 fps3） 相机及扫描模块机械装配件4） USB控制器5） 软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK+相机感知API6） 专为该套件开发的软件示例MEMS扫描镜3D激光雷达演示套件；1）3D激光雷达2）专用软件3）附件包含1个USB数据线用于数据传输和供电视频投影和成像演示套件；该套件包含1） 两个MEMS模块；MEMS1 – 0.9mm；MEMS2 – 3.2mm x 1.3mm 长镜2） 激光及镜子线缆3） 激光模块（单波长激光）绿光 ~520nm, ~20-40mW；调制能力100MHz；光斑直径1mm4） 控制器-基于FPGA的控制器及USB接口5） 软件-基于MATLAB的GUI应用程序用于扫描参数探究-基于Windows的演示应用程序3）MEMS扫描镜Integrate mirror促动器名称机械偏角[°]镜面直径[mm]数据单A3I8.2±60.8数据单1A7M8.1±4.750.8数据单2A7M10.2±4.751.0数据单3A3I12.2±51.2数据单4F1M16.1±51.6数据单5A7M20.2±4.82.0数据单6A5M24.2±52.4数据单7Bonded Mirror促动器名称机械偏角镜面直径（mm）2.02.43.03.64.24.65.06.47.5A7B1.1±7数据单8数据单9数据单 10数据单11NRNRNRNRNRA7B2.1±5.5NR数据单12数据单 13数据单14NRNRNRNRNRA8L2.2±5NRNR数据单 15数据单16数据单17数据单18数据单19NRNRA5L3.3(C2)±4.25数据单20数据单21数据单22数据单23数据单24数据单25数据单26NRNRA5L3.3(C1)±2.5数据单27数据单28数据单29数据单30数据单31数据单32数据单33数据单34NRA5L2.2±1数据单35数据单36数据单 37数据单38数据单39数据单40数据单41数据单42数据单434）微镜控制器产品图片产品描述USB控制器，该控制器装配了一个高速的集成芯片PIC32MZ MCU；它可以直接与电脑连接，并使用我们的软件运行MEMS扫描镜，此外控制器可以作为一些固定波形的存储区域，并以开环方式运行/输出这些波形，以驱动MEMS反射镜和外围设备。该控制器由USB供电，功耗1000mW。OEM模拟驱动板；4个单极模拟输出~0V-xxx (“B160”, “T180” and “X200” 驱动方式)；10个输入引脚连接用于X和Y模拟输入，MEMS驱动器使能，低通滤波器控制（FCLK），VDD和GND用户通过2个用于X和Y轴的模拟输入信号（-10V至+ 10V输入范围）来控制4个通道（X +，X-，Y-，Y +） 用户提供用于设置硬件滤波器截止频率的时钟（必填）OEM数字驱动板； 4个单极模拟输出?0V-200V（“ X200”驱动模式）10引脚输入，用于：SPI，MEMS驱动器使能，FCLK_X，FCLK_Y，VDD和GND用户通过SPI命令控制16位DAC的4个通道（X +，X-，Y-，Y +）四个通道每秒采样频率为250k用户提供用于设置硬件滤波器截止频率的时钟（必填）NOTE：对于初次使用，不购买套件的用户，不提供该驱动板，只提供模拟OEM板 MEMS扫描镜主要特点：l 大的镜面尺寸l 大的光学偏角可达32°l 重复精度可达到0.001°l 可实现静态扫描模式（受迫振动）MEMS扫描镜主要应用：l 投影显示装置l 扫描成像及激光雷达成像l 3D跟踪和位置测量l 激光打标、雕刻l 光束偏转、扫描更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

三维扫描激光测振仪Julight 公司的三维扫描激光测试仪可以一次同时测量目标上一个点的三维振动（X,Y 和 Z 向），是一个精密度极高，可靠易用的非接触测量仪器。VSM4000-SCAN-3D 是由三套单点扫描激光测振仪器，按照一定的布置方式 组成，协调同步扫描完成在 0.1 米-5 米距离之内对任何表面进行非接触式逐点 振动分析。该系统可由单人在野外环境下进行搬运、装配和操作。 VSM4000-SCAN-3D 测振仪由三套激光探头（每套含独立的激光头，独立的 镜片扫描系统，独立的摄像系统和轮廓遥测仪）、三套控制器单元、电脑和一 套可实现复杂几何表面扫描和测量的综合软件包组成。该软件包还包含了一个 模态分析模块(选项）和全场应力分析软件（选项）。VSM4000-SCAN-3D可分解成三套独立的单点扫描测振仪，具有单点扫描测振仪的所功能和特点（具体可详见 新型单点扫面激光测振仪产品信息）。VSM4000-SCAN-3D 测振仪可在每个方向上±25°的扫描空间内测量高达 1024个点每轴。系统软件可实现：目标柔性测量网格的生成、已编程网格的自动化扫描、大量多种数据的分析和过滤选项、以及分析结果的 3D 动画和可视化显示。 三维扫描式激光测振仪产品参数三维扫描式激光测振仪产品特点 ■ 扫描测试频率高达35 MHz ■ 双扫描模式可选（自动/手动）■ 大扫描空间【±25 °(X/Y向】■ 多模式快速扫描（标准配置蕞大为50点/秒） ■ 旋转功能可选 ■ 3D快速对焦和快速扫描 三维扫描激光测振仪的旋转功能选项■ 可以实现有倾角地对旋转物体进行跟踪（轨迹可以是椭圆，不一定是圆）■ 用户无须使用旋转物和反旋转器的精确的机械对中（对中操作由软件完成）■ 用户能把普通的 3D 扫描测振仪和旋转跟踪选件结合■ 利用高速/高端的扫描镜片代替光学反旋转器三维扫描式激光测振仪系统组成三维扫描式激光测振仪行业应用三维扫描激光测振仪适用于逐点测量许多点或一个面的振动信号，但必须是对稳态信号的测量。例如汽车中碟式刹车器、挡风玻璃、发动机和车体等部件的 NVH 和 ODS 测量和阻尼比测量，航空航天/船舶/兵器/核电/电厂的模态测试。航空和 船舶发动机涡轮叶片等旋转机械结构在高速旋转情况下的振动模态，应力应变场 的测试和疲劳分析和寿命预估。扬声器、乐器和噪声源的定位和控制，军事上的地雷探测、噪声探测和飞机老化测试。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

R10扫描探针显微镜控制器继美国RHK Technology公司推出的革ming性扫描探针显微镜控制器R9取得大成功之后，其研发团队通过升其软硬件和功能隆重发布了新一代R10扫描探针显微镜控制器。相比于R9控制器，R10扫描探针显微镜控制器性能提升主要包括： 全新的FPGA固件构架大地提高了配置灵活性 对于高测量提供了60多个可用的数据通道 数据流和扫描速度均提高5倍 优化的高压输出电路板，噪声水平降低到R9控制器的1/4 两个扫描探针控制系统 可设置任意密度的网格点进行图谱测量R10扫描探针显微镜控制器产品特点全集成SPM控制平台：模式和测量之间的所有连接都是通过数字域中的软件进行的，提供了大的灵活性和信号纯度。获得的图形硬件和实验设置系统允许快速方便的定制。数字锁定放大器：多2个PLL和6个锁定放大器可配置为立工作或连接在一起以跟踪多个谐波。可以生成并解调1 Hz到10 MHz以上的参考频率。解调带宽从10mHz到100kHz。方法允许跟踪边带，即使参考频率快速移动。反馈回路：增添至9个。在200 kHz时计算反馈回路。开尔文探测：测量多频KPFM。反馈回路测量接触电势。所有交流和直流模式可用。多速率数据通路：革ming性的方法提供同步的高速（16位@100 MHz）和高精度（22位@25 kHz）测量和的同步。探针防护装置/锁防护装置：基于时间的数据采集二次扫描发生器和反馈回路快速、故障安全提示接近，接近在输入设定点检测的5μs内停止。锁定防护装置停止扫描，并在超出范围参数的5μs内取出探头。返回范围后自动继续扫描。基于时间的数据采集：所有数据和事件都会在时间基础上进行捕获，以供以后检查。对测量参数（如扫描速度、反馈回路设定点、偏置电压）的更改以亚像素精度存储在数据文件中，并显示在存储的图像上。二次扫描发生器和反馈回路：一套R10控制器可控制2个立的扫描系统。这可以是带有两个扫描仪（大范围和小范围）的单个扫描头，也可以是两个立的扫描头。数据安全：所有数据都存储在每个扫描线末端的HDD中，以防止断电时数据丢失。所有数据类型（地形、光谱、FFT、示波器记录道）的后100个文件存储在硬盘上，以供将来分析。显微镜诊断工具：瞬态记录器：检测短至10ns的瞬态。瞬态记录器：100 MS/s采集，持续1秒。50MHz带宽FFT；4通道示波器@50kHz；数据记录器多可记录五天的数据。访问所有I/O信号：可配置控制路由和60+I/O信号采集。IHDL/Inventor SDK：交互式硬件开发语言：用户自定义的例程。支持LabVIEW VIshh、MATLAB、Python等，无需添加软件模块。内置偏置调制：用小到10μV的正弦波直接调制输出偏置DAC。调制频率高达10兆赫。Z位置调制多频调制与检测：直接调制输出DAC，正弦波小至10 pmR10扫描探针显微镜控制器基本参数Analog InputsUltra-high speed input channelsSample rate100 MS/sQuantityUp to 2Analog bandwidth17 MHzInput range± 10V, ± 1V switchable under software controlInput impedance50 Ω, 1 M Ω switchable under software controlEffective Resolution16 bit @ 100 MHz , 18 bit @ 6.25 MHz, 20 bit @ 390 kHz, 22 bits @ 25 kHz, 24 bit @ 1.5 kHzProgrammable gainUp to 512x at full bandwidthInput offsetInput signal can be offset via software to correct for errors in external signal amplifiers.Programmable AD/DC couplingInput signal can be AC or DC coupled as defined in software configuration.Analog Inputs (Continued)High speed input channelsSample rate1 MS/sQuantityUp to 6Input range± 10VAnalog bandwidth1 MHzEffective Resolution24 bit @ 200 kHz, 26 bit @ 12 kHzAnalog OutputsUltra-high speed output channelsOutput rate100 MS/sQuantityUp to 2Analog bandwidth17 MHzOutput range± 1V/ , ± 10V on separate outputsEffective Resolution16 bit @ 100 MHz , 18 bit @ 6.25 MHz, 20 bit @ 390 kHz, 22 bits @ 25 kHz, 24 bit @ 1.5 kHzProgrammable attenuationUp to 1024x at full bandwidthOutput offsetOutput signal can be offset via software to correct for errors in external signal amplifiersHigh speed output channelsSample rate1 MS/sQuantityUp to 10Analog bandwidth100 kHzEffective Resolution20 hbit @ 1 MHz , 22 bit @ 62 kHz, 24 bit @ 3.9 kHzDigital pulse countingFour channels @ 100 MHz count rateDigital Input/Output32 DIO linesR10扫描探针显微镜控制器设备构造前面板后面板高压放大器内部构造测试数据利用R10采集扫描隧道谱图，允许实时显示10条阈值谱线，且谱线的每个像素点可以单显示和分析。用户单位部分用户名单（排名不分先后），科研成果以及用户评价：清华大学、中科院物理所、中国科学技术大学、华中科技大学、国防科技大学、浙江大学......

显微镜物镜扫描仪高精度亚纳米物镜扫描台/定位台！上海昊量推出的物镜扫描台采用压电陶瓷直推，以柔性铰链为导向使物镜扫描台具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点，采用硅位移传感器，物镜扫描台相比于传统的电容式位移传感器，物镜扫描台硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。物镜扫描台的精度可以达到亚纳米，底噪低至10pm。上海昊量光电设备有限公司推出的压电平移台旨在满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动，以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器，与电容位移传感器相比拥有更高的精度、线性度和低底噪。由于其具有较高的精度、线性度和较低的底噪等优点，被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。AU-FOCHS采用管状设计，专门用于显微镜物镜快速高精度定位。该物镜扫描台可提供行程可达到100μm，精度可达到0.1 nm，谐振频率可达到1175Hz。它由铝、钢和黄铜构成，配备硅传感器，可提供皮米级的稳定性。以上优点使其拥有广泛的应用，例如，激光加工、显微成像、体容积成像，等还可以与相机系统结合使用实现自动对焦。AU-FOC是一款专门用于显微镜物镜准确定位的设备。该物镜扫描台可提供100/200/300/500μm不同行程。该物镜扫描台由铝和黄铜构成，结合硅传感器可提供皮米量级的稳定性。以上两款物镜扫描台的黄铜安装环可以轻松更换，因此几乎所有的物镜都可以与这两款物镜扫描台结合使用。可用的物镜大小有RMS, M25, M26, M27 和 M32.显微镜物镜扫描台产品特点：l 高分辨率（0.01nm）l 高速度，谐振频率可达1175Hzl 采用硅传感技术l 超低底噪l 柔性铰链导向显微镜物镜扫描台主要应用：l 自动聚焦系统l 共焦显微镜l 3D成像l 超分辨显微镜l 半导体计量学 显微镜物镜扫描台产品参数：更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

PSV-500扫描式激光测振仪产品特点：• 速度分辨率：好于 0.02μm/s/1Hz 带宽• 频率范围：DC~25MHz• 最大速度：±30m/s• 工作距离：0.125m~100m• 扫描点数：1~512×512 个• 扫描角度：40°×50°，角度分辨率好于 0. 2°• 扫描速度：每秒超过 30 个点• 扫描对象：从小于 1 mm 到数十米结构均可• 使用范围广泛,可测量从原子级微弱振动到百万 g 冲击• 可升级成测量复杂结构三维振动特性的三维扫描式PSV-500-3D• 控制器和链接箱，数据和电脑之间数字传输代替模拟传输，避免 DA,AD 导致的精度损失• 增加激光稳频模块，优化相干，解决了3D测量中的串扰问题• 两种扫描头可选：　　 ① 标准氦氖扫描头，可见绿色激光，光斑直径小，应用范围广泛：从旋转部件、微型结构、昆虫、到数据硬盘，甚至可以透过水、玻璃进行测试； ② Xtra红外光学头，不可见红外激光，最大振动速度达30 m/s（峰值），当测量高速、大型物体，或需要远距离测试时推荐使用，尤其是测量反光不良表面时，可节省大量测量时间。应用领域：• 试验模态分析• ODS工作变形分析• 声学 & NVH• 超声 & 无损检测

仪器简介： CSPM5500是本原纳米仪器有限公司于2008年8月研制成功的新一代扫描探针显微镜,其功能齐全、性能优越、运行稳定、使用方便，非常适合用户开展纳米研究工作。 技术参数：(1)国际主流的研究级专业仪器，集成原子力显微镜(AFM)，横向力显微镜(LFM)，扫描隧道显微镜(STM) (2)分辨率： 原子力显微镜：横向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶体标定） 扫描隧道显微镜：横向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶体标定） (3)高精度计量型仪器，采用NanoSensors提供的可溯源于国际计量权威机构Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的标准样品进行校准 (4)一键式快速全程全自动进样，无需手动预调，行程大于30mm，可容纳超大样品 (5)两级可读数样品调节机构，可对样品进行精确的检测区域定位 (6)一次扫描技术，图像分辨高达4096×4096物理象素，微米级扫描即可得到纳米级的实际信息 (7)先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制，确保系统在高速扫描中稳定成像，实际扫描速度提升一个数量级 (8)系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)或USB 2.0与计算机连接 (9)主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏，系统当前状态实时显示 (10)具备实时在线三维图像显示功能，便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息主要特点：(1) 标准配置： 原子力显微镜(AFM)：包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)等多种工作模式 横向力显微镜(LFM)：具有摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷曲线等摩擦学性能分析测量功能 扫描隧道显微镜(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等 曲线测量分析功能：力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等(2)选配功能： 纳米加工：包括图形刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式、DPN浸润笔模式等； 磁力显微镜/静电力显微镜； 环境控制扫描探针显微镜； 液相扫描探针显微镜； 导电原子力显微镜； 扫描探针声学显微镜； 扫描开尔文探针显微镜； 扫描电容显微镜； 压电力显微镜