高精度镀膜仪

目标应用： 半导体薄膜（光刻胶） 玻璃减反膜测量 蓝宝石薄膜（光刻胶） ITO薄膜 太阳能薄膜玻璃 各种衬底上的各种膜厚 卷对卷柔性涂布 颜色测量 车灯镀膜厚度 其他需要测量膜厚的场合 阳极氧化厚度产品型号A3-SR-100 产品尺寸 W270*D217*（H90+H140）测试支架（配手动150X150毫米测量平台和硅片托盘）测试方式可见光,反射 波长范围380-1050纳米光源钨卤素灯(寿命10000小时) 光路和传感器光纤式(FILBER )+进口光谱仪 入射角0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) 参考光样品硅片光斑大小LIGHT SPOTAbout 1 mm（标配，可以根据用户要求配置）样品大小SAMPLE SIZE150mm,配150X150毫米行程的工作台和6英寸硅片托盘 膜厚测量性能指标（THICKNESS SPECIFICATION）：产品型号A3-SR-100厚度测量 1Thickness15 nm - 100 um 折射率 1（厚度要求）N 100nm and up准确性 2 Accuracy 2 nm 或0. 5%精度 3precision0.1 nm1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能2 使用硅片上的二氧化硅测量，实际上材料和待测结构也会影响性能3 使用硅片上的二氧化硅（500纳米）测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.

本系列其它产品型号 共3条 名称货号货期 描述参数Bristol 671A-IR 高精度激光光谱分析仪及高精度波长计 1-5um671A-IRD80010016波长范围：1-5um；激光类型：连续波和准连续波（重复频率10 MHz）； 测量精度：± 0.0002 nm @ 1000 nm；测量速率：4Hz；最大带宽：1GHz； 光学输入：准直光束 2-3mm直径孔径工作波长: 1-5µ m Bristol 671B-NIR 高精度激光光谱分析仪及高精度波长计 520-1700nm671B-NIR-FC/UPCF80010048波长范围：NIR 520-1700nm；激光类型：连续波和准连续波（重复频率10 MHz）； 测量精度：± 0.0008 nm @ 1000 nm；测量速率：10Hz；最大带宽：10GHz； 光学输入：预对准FC/UPC工作波长: 520-1700nm Bristol 671A-NIR 高精度激光光谱分析仪及高精度波长计 520-1700nm671A-NIR-FC/UPCF80010049波长范围：NIR 520-1700nm；激光类型：连续波和准连续波（重复频率10 MHz）； 测量精度：± 0.0002 nm @ 1000 nm；测量速率：4Hz；最大带宽：1GHz； 光学输入：预对准FC/UPC工作波长: 520-1700nm 总览Bristol Instruments的671系列激光波长计使用经验证的基于迈克尔逊干涉仪的技术来精确测量从可见光到中红外的连续激光的波长有两种版本可供选择。 671A型是精确的，测量波长的精度为±0.2百万分之一（1000 nm时为±0.0002 nm）。对于不太严格的实验，671B型是一种价格较低的替代品，精度为±0.75百万分之一（1000 nm时为±0.0008 nm）为了保证波长测量的准确性，671激光波长计采用内置HeNe激光器进行连续校准。这是一个理想的参考源，因为它的波长是众所周知的，并且是由基本原子结构固定的。为了实现高精度，671A系统使用单频HeNe激光器，该激光器使用精确的平衡纵模技术进行稳定。在型号671B中，使用标准的HeNe激光器作为波长参考。Bristol 671系列 高精度激光光谱分析仪及高精度波长计,Bristol 671系列 高精度激光光谱分析仪及高精度波长计通用参数产品优点波长精度高达±0.0001 nm。使用内置波长标准进行连续校准。可在375 nm至12μm范围内进行操作。方便的预对准光纤输入，波长高达2.6μm。自由空间光圈输入，具有红外/中红外波长的可见对准辅助功能。使用USB或以太网直接操作电脑。提供显示软件，用于控制测量参数和报告波长数据。使用自定义或LabVIEW编程的自动数据报告消除了对专用PC的需求。方便的平板电脑/智能手机应用程序可在实验室的任何地方报告测量数据。 五年保修涵盖所有零件和劳动。型号671A671B激光类型连续波和准连续波（重复频率10 MHz）波长波长范围VIS: 375 - 1100 nmNIR: 520 - 1700 nmNIR2: 1 - 2.6 μmIR: 1 - 5 μmVIS: 375 - 1100 nmNIR: 520 - 1700 nmNIR2: 1 - 2.6 μmIR: 1 - 5 μmMIR: 1.5 - 12 μm精度 1，2± 0.2 ppm ± 0.0002 nm @ 1000 nm± 0.002 cm-1 @ 10,000 cm-1± 60 MHz @ 300,000 GHz± 0.75 ppm (± 1 ppm for MIR) ± 0.0008 nm @ 1000 nm± 0.008 cm-1 @ 10,000 cm-1± 225 MHz @ 300,000 GHz重复性 3、4、5VIS/NIR/NIR2: 0.03 ppm (0.03 pm @ 1000 nm) IR: 0.06 ppm (0.2 pm @ 3 μm)0.1 ppm (0.1 pm @ 1000 nm)标定连续内置稳定单频HeNe激光器连续内置标准HeNe激光器显示分辨率9 digits8 digits单位 6nm, μm, cm-1, GHz, THz功率 (VIS / NIR) 7校准精度± 15%分辨率(Resolution)2%单位mW, μW, dBm光输入信号最大带宽81 GHz10 GHz最小输入9、10VIS: 10 - 500 μWNIR: 5 - 225 μWNIR2: 125 - 500 μWIR: 65 - 750 μWMIR: 120 - 925 μW测量速率4 Hz (VIS / NIR / NIR2) 2.5 Hz (IR)10 Hz (VIS / NIR/ NIR2) 2.5 Hz (IR / MIR)输入/输出光学输入11VIS/NIR：预对准FC/UPC或FC/APC连接器（芯径9μm）-可选自由光束到光纤耦合器NIR2：预对准FC/UPC或FC/APC连接器（芯直径7μm）-可选自由光束到光纤耦合器IR/MIR：准直光束，2-3mm直径孔径，可见示踪光束，便于对准仪表接口USB和以太网接口，带有基于Windows的显示程序和基于浏览器的显示应用程序使用任何PC操作系统进行自定义和LabVIEW编程的命令库（SCPI）计算机要求 12运行Windows 10的电脑，1 GB可用RAM，USB 2.0（或更高版本）端口，显示器，定点设备环境 10预热时间 15 minutesNone温度|压力|湿度+15°C to +30°C (-10°C to +70°C storage) | 500 – 900 mm Hg | ≤ 90% R.H. at + 40°C (no condensation)尺寸和重量尺寸（高x宽x深）13VIS / NIR / NIR2: 5.6” x 6.5” x 15.0” (142 mm x 165 mm x 381 mm) IR / MIR: 7.5” x 6.5” x 15.0” (191 mm x 165 mm x 381 mm)重量14 lbs (6.3 kg)功率要求90 - 264 VAC, 47 - 63 Hz, 50 VA max担保5 Years (parts and labor) （1） 定义为测量不确定度或最大波长误差，置信度≥99.7%。（2） 可追溯到公认的物理标准。（3） 对于671A，仪器达到热平衡后10分钟测量周期的标准偏差。（4） 对于671B，仪器达到热平衡后1分钟测量周期的标准偏差。由于HeNe参考激光器的纵向模式漂移引起的长期测量变化小于±0.4 ppm。（5） 波长分辨率大约是可重复性的两倍。（6） 以nm、μm和cm-1为单位的数据以真空值的形式给出。（7） NIR2、IR和MIR版本不测量绝对功率。强度计显示相对功率。（8） 带宽为FWHM。当带宽较大时，波长精度会降低。（9） 特定波长下的灵敏度可以从671系列产品详细资料手册中提供的图表中确定。（10） 特性性能，但无担保。（11） IR和MIR要求的光束高度为5.4±0.25“。（12） 用于基于Windows的显示程序。与SCPI的接口可以使用任何PC操作系统来完成。（13） IR和MIR仪器高度可调（7.25±0.25“），用于校准。Bristol Instruments保留根据需要更改规格的权利，以改进其产品的设计。 规格如有更改，恕不另行通知 公司简介筱晓(上海)光子技术有限公司成立于2014年,是一家被上海市评为高新技术企业和拥有上海市专精特新企业称号的专业光学服务公司，业务涵盖设备代理以及项目合作研发，公司位于大虹桥商务板块，拥有接近2000m² 的办公区域，建有500平先进的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室，为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。十年来,依托专业、强大的技术支持，以及良好的商务支持团队，筱晓的业务范围正在逐年增长。目前业务覆盖国内外各著名高校、顶级科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室，奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。主要经营激光器/光源半导体激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子级联激光器、FP激光器、VCSEL激光器）气体激光器（HENE激光器、氩离子激光器、氦镉激光器）光纤激光器（连续激光器、超短脉冲激光器）光学元件光纤光栅滤波器、光纤放大器、光学晶体、光纤隔离器/环形器、脉冲驱动板、光纤耦合器、气体吸收池、光纤准直器、光接收组件、激光控制驱动器等各种无源器件激光分析设备高精度光谱分析仪、自相关仪、偏振分析仪，激光波长计、红外相机、光束质量分析仪、红外观察镜等光纤处理设备光纤拉锥机、裸光纤研磨机

高精度XRF分析仪配件M3L是专为固定和移动实验室检测设计的X射线荧光光谱分析仪, XRF Analyzer。它具有轻元素（钠，镁，铝，硅）测量极高灵敏度，配备了氦气吹扫通道系统（在大气压0.5-1atm下，流量为30-45ml/分钟）。高精度XRF分析仪配件M3L特色具有宽敞测量室，室内安装有用于大尺寸样品分析的照明灯。内置热敏打印机可直接打印输出测量数据。内置通风系统和过滤元件加强了防尘保护。 高精度XRF分析仪配件M3L特点 对每一种金属组件进行成分分析 快速可靠地识别所有合金级别 评估钢和铸铁中的碳含量 分析特殊合金，包括钛、镁、镍/钴，等 测量合金中的贵重的金、银和其他贵重的金属含量高精度XRF分析仪M3L度量数 从12mg镁到92U铀（可选11Na），在一个单一的测量中同时确定元素 被测元素的含量范围0.005-100 % 元素检测限制-1ppm 测量时间- 少于1分钟。 （一般为10- 30秒。）高精度XRF分析仪配件M3L规格 操作持续时间 自备电源内部系统的时间 电源-交流电，50 / 60Hz 功耗测量单元 操作温度范围 工作温度范围内的相对湿度 测量室尺寸 所测样品的最大重量 测量单元尺寸 测量单元重量 无限 至少6小时 100-240 V 50 W +10C to +45C 90% 300x150x240 mm 20 kg 412x312x312 mm 16 kg