Quanta&trade 250 真正的多用途扫描电镜研究各种各样的材料,并进行结构和成份表征,是目前对扫描电镜 的主流应用要求。FEI Quanta&trade 系列灵活、通用,足以应对当今人们 广博的研究方向这一挑战。“分析任何样品,得到所有数据”,在 Quanta上可得到表面像和成份像,并可辅以多种附件来确定材料的 性质和元素组成。 当今人们利用扫描电镜研究的材料早已超出单纯的金属和经导电 处理过的样品。Quanta对任何样品都可得到高质量的图像和分析结 果。无论是对现今的或是将来的应用领域,FEI的Quanta 50系列都是 一个高端的、灵活的解决方案。其特点是,具有高真空、低真空和 ESEM&trade 环境真空三种真空模式,适合分析最广泛的样品范围,从传 统的金属材料、断口和抛光断面,到不导电的软物质。 Quanta系列用户界面使用起来十分方便、灵活,有多种功能最大 程度地发挥其使用效率,并且允许采集所有需要的数据。它是电 镜专家设计来给电镜专家使用的仪器,性能远不止“简便易用” 。这些功能有:特有的图像导航功能包括蒙太奇图像导航、鼠标 双击样品台移动、鼠标拖曳放大居中功能以及其它标准的特色 术;SmartSCAN&trade ,一种智能扫描技术,能降低信号噪音,提供更好 的数据;电子束减速模式,一个新的选项,将钨灯丝扫描电镜的低 加速电压性能提高到一个全新的水平;Nav-Cam&trade 彩色图像导航器及 新开发的探测器也大大增加了其灵活性。 更多数据、更多灵活性、更高效率,Quanta系列使您的投资更具价 值。 主要优点 &bull 在各种操作模式下分析导电和不导电样品, 得到二次电子像和背散射电子像 &bull 最大程度降低样品制备要求:低真空/环境真 空技术使得不导电样品和/或含水样品不经导 电处理即可直接成像和分析,样品表面无电 荷累积现象 &bull 专利的“穿过透镜”的压差真空系统,对导 电和不导电样品都可进行EDS/EBSD分析,不 管是在高真空模式或在低真空模式。稳定的 大束流(最大 2 μA)确保能谱及EBSD分析工作 的快速、准确 &bull 电镜可作为一个微观实验室。安装特殊的原 位样品台后,在从- 165 °C到1500 °C温度范围 内,对多种样品保持其原始状态下进行动态 原位分析 &bull 对导电样品,可选用减速模式得到表面和成 份信息 &bull 直观、简便易用的软件,即使电镜新手也能 轻易上手Product Data Quanta&trade 250 Page 2 典型应用: 纳米表征 &bull 金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料 &bull 陶瓷, 复合材料, 塑料 &bull 薄膜/涂层 &bull 地质样品断面, 矿物 &bull 软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材 &bull 颗粒, 多孔材料, 纤维 原位过程分析 &bull 增湿/去湿 &bull 浸润行为/接触角分析 &bull 氧化/腐蚀 &bull 拉伸 (伴随加热或冷却) &bull 结晶/相变 纳米原型制备 &bull 电子束曝光 (EBL) &bull 电子束诱导沉积(EBID) 主要参数 电子光学 &bull 高性能电子光学镜筒,双阳极热发射电子枪 &bull 固定式物镜光阑,使用方便 &bull 45°锥度物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统 &bull 加速电压: 200 V - 30 kV &bull 束流:最大2 μA并连续可调 &bull 放大倍数: 13 x – 1,000,000 x 分辨率 &bull 高真空 – 30 kV下3.0 nm (SE) – 30 kV下4.0 nm (BSE) * – 3 kV下8.0 nm (SE) &bull 高真空下减速模式* – 3 kV下 7.0 nm * &bull 低真空 – 30 kV下3.0 nm (SE) – 30 kV下 4.0 nm (BSE) – 3 kV下10 nm (SE) &bull 环境真空 (ESEM) – 30 kV下3.0 nm (SE) 检测器 &bull E-T二次电子探头 &bull 大视场低真空气体二次电子探头 (LFD) &bull 气体二次电子探头 (GSED) &bull 样品室红外CCD相机 &bull 高灵敏度、低电压固体背散射探头*&bull 气体背散射探头* &bull 四分固体背散射探头* &bull 闪烁体型背散射探头/CLD* &bull vCD (低电压高衬度探头)* &bull 电子束流检测器* &bull 分析型气体背散射探头 (GAD)* &bull Nav-Cam&trade – 光学相机彩色成像,用于样品导航* &bull 阴极荧光探测器* &bull 能谱* &bull 波谱* &bull EBSD* 真空系统 &bull 1个 250 l/s 涡轮分子泵, 1个机械泵 &bull 专利的“穿过透镜”的压差真空系统 &bull 电子束在气体区域的行程:10 mm或2 mm &bull 可升级成无油机械泵 &bull 样品室真空度 (高真空模式) 6e-4 Pa &bull 样品室真空度(低真空模式) 10 to 130 Pa &bull 样品室真空度(环境真空模式) 10 to 2600 Pa &bull 典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒;低真空及环境真空模式 ≤ 270秒(FEI标准测试程序) 样品室 &bull 左右内径284 mm &bull 10 mm分析工作距离 &bull 8个探测器 / 附件接口 &bull EDS采集角: 35° 样品台 &bull X/Y = 50 mm &bull Z = 50 mm (其中马达驱动25 mm) &bull 手动倾斜:- 15° to + 75° &bull 连续旋转360° &bull 重复精度: 2 μm (X/Y方向) &bull 全对中样品台 *选项样品座 &bull 多样品座 &bull 单样品座 &bull 适用于硅片或其它特殊要求的样品座* 系统控制 &bull 基于Windows® XP 操作系统的32位图形用户界面, 键盘,光电鼠标 &bull 1个/2个* 19寸液晶显示器, 分辨率1280 x 1024 &bull 软件驱动的输入/输出共享器* &bull 游戏操纵杆* &bull 多功能控制板* 图像处理器 &bull 最大4096 x 3536像素 &bull 图像文件格式:TIFF(8 or 16 bit), BMP or JPEG &bull 单窗口或四窗口图像显示 &bull 四活动窗口 &bull 实时或静态信号按彩色或按灰度等级混合 &bull 256 帧平均或积分 &bull 数字动画记录 (.avi格式) &bull 直方图及图像测量软件 支持软件 &bull SmartSCAN&trade 智能扫描技术 &bull 蒙太奇图像导航 &bull 软件温度控制 &bull FEI动画生成工具 系统选项 &bull 减速模式 &bull 多功能控制板 &bull 支持计算机 (包括第二个19寸液晶显示器) &bull 软件控制的Peltier冷台 &bull 软件控制的WetSTEM&trade &bull 软件控制的1000 °C热台 &bull 软件控制的1500 °C热台 &bull 游戏操纵杆 &bull 样品电流探测 &bull 远程控制 &bull 视频打印机 &bull 样品座套件 &bull 机械泵隔音罩 &bull 7针或52针电气接口 &bull 静电电子束束闸 &bull 波谱仪接口 &bull 更换成无油机械泵套件 &bull 辅助气体接口 (采用非水气体) 通用第三方附件 &bull 能谱仪 &bull 波谱仪 &bull EBSD &bull 冷台 &bull 阴极荧光谱仪 &bull 样品电流探测器 &bull 纳米机械手 &bull CAD导航 &bull 电子探针台 软件选项 &bull 远程控制/观察软件 &bull 图像分析软件 &bull 基于Web的数据库软件 &bull 高度分布/粗糙度测量软件 支持文档 &bull 在线帮助 &bull 入门培训CD &bull RAPID&trade (远程诊断软件) &bull 免费连接到FEI用户群在线资源库 &bull 免费加入FEI环境扫描用户俱乐部 安装要求 (更多的数据请参考“预安装手册”) &bull 电源: 电压 230 V (+ 6 %, - 10 %), 频率 50 or 60 Hz (+/- 1 %) &bull 耗电量: 电镜基本系统 3.0 kVA &bull 接地: 0.1 Ω(欧洲标准) &bull 场地环境: 工作温度 15 °C - 25 °C; 相对湿度 80 % (无冷凝);残余交流磁场 100 nT(非同步频率,水平X/Y方向), 300 nT (同步频率,水平X/Y方向) &bull 门宽: 90 cm &bull 重量: 主机重量约450 kg &bull 干燥氮气(推荐使用): 0.7 - 0.8 bar, 放气时最大流速 10 l/min &bull 噪音: 68 dBC (需场地测试确定) &bull 振动 (需场地测试确定) &bull 减振台可选 节能措施 &bull Energy Star认证的显示器和工作站 &bull 无需冷却水和空压机 *选项
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