晶圆检测系统

作者：荆淮侨 来源：中国科学报受SCIE期刊《极端制造》极端制造编辑部邀请，华中科技大学教授刘世元团队近日在该刊上发表了《10nm及以下技术节点晶圆缺陷光学检测》的综述文章，对过去十年中与光学晶圆缺陷检测技术有关的新兴研究内容进行了全面回顾。随着智能终端、无线通信与网络基础设施、智能驾驶、云计算、智慧医疗等产业的蓬勃发展，先进集成电路的关键尺寸进一步微缩至亚10nm尺度，图形化晶圆上制造缺陷的识别、定位和分类变得越来越具有挑战性。传统明场检测方法虽然是当前晶圆缺陷检测的主流技术，但该方法受制于光学成像分辨率极限和弱散射信号捕获能力极限而变得难以为继，因此亟需探索具有更高成像分辨率和更强缺陷散射信号捕获性能的缺陷检测新方法。据了解，晶圆缺陷光学检测方法的最新进展包含了缺陷可检测性评估、光学缺陷检测方法、后处理算法等三个方面。其中，缺陷可检测性评估，包含了材料对缺陷可检测性的影响、晶圆缺陷拓扑形貌对缺陷可检测性的影响两个方面。在多样化的光学缺陷检测方法上，目前，晶圆缺陷光学检测系统可根据实际使用的光学检测量进行分类。在后处理算法方面，根据原始检测图像来识别和定位各类缺陷，关键在于确保后处理图像中含缺陷区域的信号强度应明显大于预定义的阈值。在该综述研究中，也总结了代表性晶圆缺陷检测新方法。具体可划分为明/暗场成像、暗场成像与椭偏协同检测、离焦扫描成像、外延衍射相位显微成像、X射线叠层衍射成像、太赫兹波成像缺陷检测、轨道角动量光学显微成像。研究人员认为，基于深度学习的缺陷检测方法的实施流程非常简单。首先，捕获足够的电子束检测图像或晶圆光学检测图像。其次，训练特定的神经网络模型，从而实现从检测图像中提取有用特征信息的功能。最后，用小样本集测试训练后的神经网络模型，并根据表征神经网络置信水平的预定义成本函数决定是否应该重复训练。据介绍，尽管图形化晶圆缺陷光学检测一直是一个长期伴随IC制造发展的工程问题，但通过与纳米光子学、结构光照明、计算成像、定量相位成像和深度学习等新兴技术的融合，其再次焕发活力。该团队介绍，这一研究领域的前景主要包含以下方面：首先，为了提高缺陷检测灵敏度，需要从检测系统硬件与软件方面协同创新。同时，为了拓展缺陷检测适应性，需要更严谨地研究缺陷与探测光束散射机理。此外，为了改善缺陷检测效率，需要更高效地求解缺陷散射成像问题。除了IC制造之外，上述光学检测方法对光子传感、生物感知、混沌光子等领域都有广阔的应用前景。相关研究人员表示，通过对上述研究工作进行评述，从而阐明晶圆缺陷检测技术的可能发展趋势，将为该领域的新进入者和寻求在跨学科研究中使用该技术的研究者提供有益参考。华中科大机械学院研究员朱金龙、博士后刘佳敏为该文共同第一作者，华中科大教授刘世元以及朱金龙为共同通讯作者。相关论文信息：https://doi.org/10.1088/2631-7990/ac64d7

日立暗场晶圆缺陷检测系统DI46002023年12月6日，日立高新宣布推出日立暗场晶圆缺陷检测系统DI4600，这是一种用于检测半导体生产线上图案化晶圆上颗粒和缺陷的新工具。DI4600 增加了一个专用服务器，该服务器提供了检测颗粒和缺陷所需的显著增强的数据处理能力，从而提高了检测能力。与之前的型号相比，通过缩短晶圆转移时间和改进晶圆检测期间的操作，系统的吞吐量也提高了约 20%。DI4600将实现半导体生产线中高精度的缺陷监测，这将有助于提高产量和更好的拥有成本，促进半导体产量持续扩大。发展背景在当前的社会环境中，DRAM和FLASH等存储器半导体设备，MPU和GPU等逻辑半导体不仅用于智能手机、笔记本电脑和PC，还用于生成人工智能（AI）计算和自动驾驶。随着半导体器件的萎缩和复杂性的发展，对制造过程清洁度和检测能力的要求也变得更加严格。半导体制造商不断努力提高竞争力，尤其是在性能和制造成本方面。图案化晶圆检查工具通过检查生产晶圆的表面是否有颗粒和缺陷，有助于产量管理，使工程师能够监测半导体处理工具的清洁度变化和趋势，因此对半导体器件的性能和制造成本有很大影响。关键技术1.高通量与现有型号相比，通过减少晶圆转移时间、改善晶圆检测期间的操作和优化数据处理顺序，吞吐量提高了约 20%。2.高精度检测由于增加了专用服务器，因此提高了检测精度，该服务器提供了检测颗粒和缺陷所需的显着增强的数据处理能力。

天眼查显示，芯恩(青岛)集成电路有限公司近日取得一项名为“晶圆承载装置和半导体检测系统”的专利，授权公告号为CN221176194U，授权公告日为2024年6月18日，申请日为2023年11月10日。 背景技术在半导体制程过程中，需要利用一种量测机台通过电容-电压特性曲线即CV特性曲线来检测晶圆的等效电容厚度(CET)、表面损伤(PDM)、表面势垒电压(VSB)、表面界面态密度(LI)等相关参数，以此来表征晶圆表面膜即介电质层的质量。晶圆检测仪(Semiconductor Diagnostics Inc，SDI)是利用电晕枪将电荷激发在晶圆即介电质层的表面，同时用非接触式振动探针来测量表面电压，并作CV特性曲线进而分析其晶圆表面膜的质量。在SDI的实际量测过程中，如图1和图2所示，电晕枪10激发出的电荷11会打在放置在承载台12上的晶圆13的表面，但在晶圆边缘14处的部分电荷11会发生偏移，导致电荷11出现在晶圆边缘14外。晶圆边缘14因电荷11丢失容易引起漏电，从而导致量测数据异常。因此，有必要提供一种新型的晶圆承载装置和半导体检测系统以解决现有技术中存在的上述问题。现有技术中的电晕枪激发出的电荷在晶圆边缘处发生偏移的侧视示意图电晕枪激发出的电荷在晶圆边缘处发生偏移的俯视示意图专利说明据专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆承载装置和半导体检测系统，晶圆承载装置包括晶圆承载台和磁性件；晶圆承载台用于承载待检测晶圆；磁性件设有若干个，若干个磁性件间隔围设于晶圆承载台，磁性件由N极和S极相邻设置而成，任意一个磁性件沿顺时针围设方向或逆时针围设方向均为S极到N极排列，以使若干个磁性件形成环形磁场，待检测晶圆位于环形磁场内，磁性件利用环形磁场对电荷的洛伦兹力，使偏移于待检测晶圆的边缘外的至少部分电荷返回于待检测晶圆的表面。本实用新型避免了待检测晶圆的边缘处的电荷丢失，解决了电晕放电单元打到待检测晶圆的边缘处的电荷丢失而引起漏电，导致量测数据异常的问题。本实用新型第一种实施例中晶圆承载装置的侧视示意图本实用新型的实施例中电荷在待检测晶圆的边缘的俯视示意图

“南园春半踏青时，风和闻马嘶”。阳春三月，春风送暖。历经了150多个日夜不眠不休地组装调试，创锐光谱碳化硅（SiC）晶圆质量大面积成像系统SiC-MAPPING532（下简称S-532）达到持续稳定运行标准，正式下线发运行业知名客户。S-532为国际首台套基于瞬态光谱技术的第三代半导体缺陷检测设备，不仅实现了相关技术的全自主国产化替代，在各种技术指标上也全面超越进口同类产品。S-532的成功应用将助力国产SiC产业的高质量发展，加速推进解决关键材料的 “卡脖子”问题。同时，S-532设备的应用也标志着创锐光谱在工业检测领域实现重要突破，向工业检测蓝海市场迈出坚实的第一步。SiC晶圆质量检测系统正式下线交付，全体研发工程师合影吊装打包整装待发碳化硅（SiC）是第三代半导体材料，具有宽的禁带宽度、高击穿电场、高热传导率和高电子饱和速率等众多优异物理性能，可广泛应用于5G通信、航空航天、新能源汽车、智能电网等领域。由于生产工艺成熟度等问题，目前工业级碳化硅晶圆中的缺陷（如点缺陷、晶格缺陷、杂质等）浓度通常远高于硅晶半导体晶圆，因此对碳化硅晶圆的表面和体相缺陷检测对管控晶圆质量、优化工艺、提高晶圆和芯片良率至关重要！在相关体相缺陷检测中，传统的微波电导率点扫描检测由于其空间、时间分辨率和检测效率等关键参数上的不足，无法实现碳化硅晶圆的高精度、高效检测。碳化硅晶圆针对上述工业界应用的痛点问题，创锐光谱基于其在超快瞬态吸收光谱领域的深厚技术积累，于2022年8月成立了针对碳化硅晶圆大面积质量成像检测技术攻关项目组，依托自主研发的高能、高频、高稳定性激光技术，创新性地开发了大面积高速相机成像检测方法和相关软件、算法系统。通过对晶圆少子寿命长短和分布等物理性质的高速成像采集，实现了对SiC晶圆（4寸、6寸和8寸）的快速质量成像检测和分析。S-532技术指标可以达到100μm高精度空间分辨和15ns的超快时间分辨，可对晶圆体相中点缺陷浓度、缺陷分布进行快速、无损和非接触式检测。其整机自动化设备具备全面自动化晶圆转运、测试、数据处理和一键输出报告等优异功能。在超过100天的稳定性测试中，S-532可完全达到工业级应用要求，多项关键指标国际领先。凭着本土化技术，在客户使用便捷度、售后服务响应、后期维护成本上，S-532也将具备得天独厚的优势。SiC MAPPING-532碳化硅晶圆成像检测系统做一个领路人是艰难的，做一个没有火把的夜行领路人更是充满挑战。在研发过程中，创锐SIC项目组攻克了一个又一个的技术难题，实验室里的不眠不休、攻坚克难成为那段日子属于创锐光谱的专属时光印迹。正是凭着这种精神，创锐人砥砺前行，从一个想法，到一张蓝图，最终实现一台高端精密的检测设备，这其中凝聚着所有研发工程师的无数心血。“坚持做我们认为正确的事”，是创锐人磨不掉的坚定信念。研发工程师加班加点攻克技术难点创锐光谱将一如既往地坚持以科技创新为引领，加大研发投入和半导体检测新技术的开发，持续推动第三代半导体晶圆级检测、LED晶圆检测和新一代光伏面板检测等技术的工业应用，力争成为半导体光谱检测行业领军企业。点击观看发货纪实

半导体产业的蓬勃发展离不开硅晶圆这一基础材料的质量控制。今日分享一项来自珀金埃尔默的革新成果——基于FT-IR（傅立叶变换红外光谱）技术的全自动分析系统，专门用于高效、精准地测量硅晶圆中的杂质含量。随着消费电子产品、汽车和太阳能发电领域对硅器件的需求激增，硅晶圆的生产和纯度把控显得至关重要。尤其是Float Zone（FZ）和Czochralski（CZ）两种主流生产工艺中，尽管FZ工艺能产出更高纯度的硅晶圆，但CZ工艺因其经济高效及优良的热应力特性被广泛应用。不过，CZ工艺生产的晶圆含有较多碳和氧杂质，这些杂质可能影响半导体器件性能，因此，有效测定并控制杂质水平成为业界关注焦点。珀金埃尔默的Spectrum 3 FT-IR光谱仪结合MappIR晶圆支架和自动化软件，可实现从2英寸至12英寸硅晶圆的全面、自动化分析。系统能在透射或反射模式下工作，通过连续氮气吹扫消除大气干扰，采集高分辨率光谱数据，进而确定晶圆中的碳、氧杂质浓度。△Spectrum 3 FT-IR 和 MappIR 系统依据国际认可的标准方法，通过比较CZ工艺晶圆与高纯度FZ参考晶圆的光谱差异，可在特定波数（如1107 cm-1 和513 cm-1 对应间隙氧，605 cm-1对应替代碳）处测得杂质吸收系数，并进一步转化为原子浓度(ppma)。△FZ 工艺 晶圆光谱（红色）和CZ 工艺 晶圆光谱（黑色）显示光谱差异（点击查看大图）△“CZ 工艺-FZ 工艺” 晶圆光谱的扣减光谱显示由于 CZ 工艺材料中的杂质而产生的谱带（点击查看大图）在此基础上，珀金埃尔默还展示了如何借助AutoPRO7软件绘制整个晶圆表面的杂质分布地图，实现了对碳和氧杂质分布的精细刻画，有助于制造商优化工艺、提高产品质量。△Auto PRO7 软件中测量位置的示意图（点击查看大图）SUMMARY 综上所述，珀金埃尔默 FT-IR自动分析系统的引入极大地提升了硅晶圆中元素杂质的检测效率和准确性，不仅推动了半导体产业链的技术升级，也为高质量硅晶圆的大规模稳定生产奠定了坚实的基础。未来，这一创新技术将在半导体行业的持续进步中发挥重要作用。敬请关注珀金埃尔默，获取更多关于FT-IR自动分析系统在硅晶圆杂质检测方面的专业解决方案和案例分享，共同见证科技力量如何驱动产业升级！扫描左侧二维码即刻获取产品样本 关注我们

项目概况白洋淀周边重点区域排污口水质监测预警系统招标项目的潜在投标人应在在河北省公共资源交易信息平台（//）自主网上报名，下载招标文件及相关资料，并及时查看有无澄清和修改获取招标文件，并于2021年09月23日09点00分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：Z1300002120132001、HBCT-211073-001项目名称：白洋淀周边重点区域排污口水质监测预警系统（一期）预算金额：30000000最高限价（如有）：30000000采购需求：白洋淀周边重点区域排污口水质监测预警系统采购合同履行期限：合同签订后2个月内，完成站房及设备的备货，并按照招标人指定时间、地点发货；站房内仪器到达指定地点后，1个月内完成安装、调试、集成和联网本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无3.本项目的特定资格要求：如果投标人提供的以下货物（五参数在线监测仪、氨氮水质在线监测仪、化学需氧量水质在线监测仪、高锰酸盐指数分析仪、总磷总氮水质在线监测仪)为进口产品的，投标人为所投产品的一级代理商的，须提供一级代理证书或代理合同；或投标人取得货物制造商直接出具的同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书。三、获取招标文件时间：2021年09月02日至2021年09月09日,每天上午9:00至12:00,下午12:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）地点：在河北省公共资源交易信息平台（//）自主网上报名，下载招标文件及相关资料，并及时查看有无澄清和修改方式：其它售价：0四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2021年09月23日09点00分（北京时间）地点：河北省公共资源交易中心412网上开标室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1、本次招标为电子招投标，供应商无须到开标现场。投标文件采用数据电子文件，投标人可通过河北省公共资源交易网上开标大厅在线参与开标。 投标人应在投标截止时间前在完成电子投标文件的递交，在线递交电子投标文件前，投标人应当使用投标客户端及CA为投标文件加密。（编制投标文件需使用河北CA，未办理CA的供应商/投标人，需进行企业CA注册。具体事宜可联系 0311-66635531） 招标文件发售地点：投标人在河北公共资源交易平台（.cn）进行“市场主体”注册通过后（咨询电话：0311-66635531），在河北公共资源交易平台自主报名，下载招标文件及相关资料，并及时查看有无澄清和修改。报名不成功或未获取到完整资料的，责任自负。2、本公告发布媒体：本公告仅在中国政府采购网、河北省政府采购网、河北省公共资源交易综合信息平台上公开发布。因轻信其他组织、个人或媒体提供信息而造成损失的，采购人及采购代理机构概不负责。3、评标方法和标准：综合评分法。4、质疑电话：0311-83086906七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名称：河北省生态环境监测中心地址：石家庄市裕华区雅清街30号联系方式：0311-892533232.采购代理机构信息（如有）名称：河北省成套招标有限公司地 址：石家庄市工农路486号联系方式：0311-830869953.项目联系方式项目联系人：周璇电 话：15612182909

去年六月，新安江苯酚污染，影响55万人用水的事让很多市民至今记忆犹新。而以后，这样的水污染事件会因为预警系统的完善在最大程度上避免发生。 　　11月28日，记者从浙江省环保厅了解到，该省饮用水源地水质自动监测系统建设工作已全面完成验收，将在年底前投入使用。从此，饮用水源地的水质情况将被24小时监控，全力保障城乡居民饮用水安全。 　　整套系统共有藻类、生物毒性及有机物在内的40多项指标，是全国监测因子最为齐全的水质监测系统。在对生物毒性的监测中，我省杭州九溪水厂等水源地则引进了生物“水质检验员”——斑马鱼、发光细菌和青锵鱼，让这些小精灵帮忙当水质“试毒专家”。 　　全国最全水质监测系统，81个点位覆盖11个设区市 　　饮用水源地水质自动监测系统投入使用后，届时，81个监测点位的88个自动站覆盖浙江省11个设区市，将实现监测和预警21个市级饮用水源和60个县级饮用水源的水质质量，基本实现全省县以上主要饮用水源地水质监测和预警的自动化控制，实时反映饮用水的水环境质量和变化状况。 　　据了解，浙江省现有县级以上主要集中式饮用水源地108个，其中在用92个，备用及在建的16个。目前建成的81个水质自动监测点位总计投入资金约2.1亿元、监测设备88套。 　　其中71套固定站将每4个小时自动取样，并实时监测。而浙江省首次采用的17套浮标站，则会对湖库富营养化及藻类进行针对性监测。通过浮标站内部的无线网卡，将被测水质的多项指标实时反映出来，水质状况一目了然。 　　而整套系统共有藻类、生物毒性及有机物在内的40多项指标，是全国监测因子最为齐全的水质监测系统。 　　监测生物毒性，请来斑马鱼当“水质检验员” 　　如今，在杭州九溪水厂等水源地，已经进驻了一批可爱的“水中精灵”。“在40多项监测指标中，生物毒性的监测需要有一些特殊的体验者，它们就是斑马鱼、发光细菌和青锵鱼。”据浙江省环境监测中心主任邵卫伟介绍，生物毒性可以通俗理解为样品对生物体的毒害作用。而斑马鱼和发光细菌等就因为其自身的独特特质成了当仁不让的“水质检验员”。 　　“我们的监测点位里会放置鱼法毒性分析仪，仪器上有8个检测池，每个检测池里都养有2到3条斑马鱼，而养鱼的水就来自所监测的水源地。”邵卫伟说，检测池和电脑紧密相连，通过鱼的生命体征变化，就可以监测到水的毒性变化。 　　其中，特别是斑马鱼的基因与人类基因相似度达到85%，这意味着在它身上得出的水质监测结果，多数情况下都适用于人类 　　而青锵鱼遇到水中被投放了毒药或受到污染时，产生呼吸困难时会立刻浮至水面呼吸 　　发光细菌本身会发出蓝绿色可见光，与外来污染物接触后，其发光强度即有所改变。 　　利用这些水质监测的小精灵， “一旦监测到异常情况，我们就会报警，但目前这套系统暂不会以实时发布等形式对外发布，主要以监测和预警为主。”邵卫伟说，如果公众想要了解自己所处水源地的水质情况，可以登录浙江省环保厅的门户网站。他们会将每个月对每个水源地的水质状况进行发布。 　　99个水源地水质达标率达86.4% 　　截至今年9月，浙江省正在使用的99个水源地，水质达标率达86.4%。同时，各地也进一步加强了饮用水源、备用水源地的建设和保护。截至2011年底，浙江已累计创建合格、规范饮用水源保护区达509个，法定水源创建比例达100%，受益人口达3300多万。目前，我省11个设区市大多建成了备用水源或实现了双水源供水。 　　而且，可以肯定的是，这套水质自动监测系统投入使用后，新安江苯酚污染、苕溪污染等水污染事件就可以在最大限度上避免再次发生。

近日，市计量院的《一种非金属超声检测仪的检定系统》项目获得国家知识产权局授予的发明专利权。 　　该发明主要用于调节和反馈非金属超声波检测仪的发射换能器与接收换能器及二者的运动状态，与非金属超声波检测仪的传统检定方法相比，能有效提高装置运行的可靠性及测量结果的准确性，对测量误差的分析更加全面。

4月16日，中国科学院(保定)光伏系统检测实验室作为中国电谷2010年首批重点项目在保定高新区举行奠基仪式并开工建设。中国科学院电工研究所马淑坤书记、保定市政府李谦市长等领导及有关部门负责人出席开工仪式。 开工仪式现场 马淑坤书记致辞 　　马书记在讲话中说，保定光伏系统检测实验室依托中国科学院“太阳能行动计划”，是由电工研究所和保定市人民政府共同合作建设的第三方独立检测机构，项目启动以来得到了院地双方各级领导的高度重视和大力支持。她强调，检测和认证是产品走向市场的重要环节，一直以来我国缺少光伏发电行业的公共测试平台，制约了光伏产业的持续健康发展。保定光伏系统检测实验室的建设将改变这一局面，突破产业发展的瓶颈因素，不仅进一步构建光伏发电的完整产业链，还将在地方产生企业聚集效应，助推“中国电谷低碳保定”的建设与发展。 　　中国科学院(保定)光伏系统检测实验室位于保定国家高新技术开发区，占地30余亩，总投资超过1亿元，总建筑面积约一万平米。实验室的基本任务是进行太阳能光伏发电系统中的控制器、逆变器、跟踪系统等相关产品的研发、实验和检测。 　　参加此次集中开工仪式的项目还有国家光电产品质量监督检验中心、中国电谷大学科技园、乐凯集团新材料产业园、轩宇俊鹏汽车性能检测中心、风帆美新蓄电池隔板产业园等。

在实验室里打开电脑，就可实时监测几十公里外巢湖水质的变化情况。 7月6日下午，记者在位于科学岛的安徽光机所环境光学中心看到，由安光所研发的“浮标式多参数水质自动监测系统及水华预警系统”让以往繁重的水质监测工作变得轻松起来。 　　针对水体富营养化连续监测及蓝藻水华预警的需求，安光所研制了浮标式多参数水质自动监测及水华预警系统，实现了水体藻类浓度及相关水质参数的连续自动监测和蓝藻水华的短期预测。负责这项研发工作的张玉钧研究员告诉记者，传统的水质监测要靠人工定时到湖面指定区域取水样至实验室化验，劳动强度大，费时费力，现在只需将水质多参数分析仪、藻类原位荧光监测仪等多种精度很高的仪器安放在浮标里，投放到巢湖指定位置，仪器就可自动、不间断地获取湖水水质变化数据和蓝藻生长情况数据，这些数据通过无线通讯网络可迅速传输到实验室的计算机里。 　　浮标式多参数水质自动监测系统自2009年8月开始在巢湖进行示范运行，成功实现了巢湖夏秋水质参数及藻类连续在线监测和水华预警。据悉，该成果在国内为首创，对增强水华灾害预测能力、保障饮用水安全具有重要价值。

世界卫生组织的调查显示，大约50%到60%的交通事故与酒后驾驶相关，这种害人害己行为已成为交通事故的第一大诱因。日前，美国研究人员开发出一种高灵敏度的车载酒精检测系统，一旦检测出驾驶员体内酒精含量超标，汽车就无法启动。其应用将大大减少酒驾行为，将酒驾所致交通事故扼杀在萌芽状态。 　　该系统被命名为司机酒精安全检测系统(DADSS)，其使命是将酒精检测技术用在车辆上。据称该系统能够在一秒钟内检测出驾驶员血液中的酒精含量。如果驾驶员血液酒精含量超过0.08%(美国法律规定的酒驾标准)，汽车将无法启动。对于21岁以下的司机，则采取零容忍政策，只要检测到酒精，无论多少都无法使用车辆。 　　为了获得准确可靠的数据，研究人员正在探索分别基于呼吸和接触的两种检测技术。本月早些时候，美国国家公路交通安全管理局公布了美国有史以来第一个车载酒精检测系统原型。 　　该系统安装有能够监测司机呼吸的传感器。传感器可以被安装在驾驶员一侧的车门或方向盘上，可发射出红外线检测气体分子。因为二氧化碳和酒精分子对光的吸收不同，传感器在收到数据后会对两者进行比较，即使在浓度很低的情况下，也能精确测定出驾驶员体内酒精含量。如果酒精分子与二氧化碳的比例超过一定的范围，就表明此时的酒精含量超标。 　　此外，还有一套基于皮肤接触的酒精检测技术。传感器会被安置在汽车的点火按钮或挡把上，在司机接触这些地方的时候，位于其下的传感器会检测出司机皮肤下血液中的酒精含量水平。 　　未来这套系统获准商用后，人们将能像选配紧急制动辅助系统和车道偏离警告系统一样，在购车时选配或在之后加装这种系统。美国高速公路安全管理局局长马克· 罗斯金德在接受美国媒体采访时表示，这套系统为车主提供了一个选择，同时也为打击酒驾提供了一个强大的新工具。 　　参与这套系统研发的有美国高速公路安全管理局和美国汽车交通安全联盟，后者代表汽车制造商，研究和测试则由独立的工程师和科学家进行。此外，该计划还得到了不少美国酒类行业协会的支持，其中就包括美国蒸馏酒理事会、美国啤酒批发商协会和美国葡萄酒和烈酒批发商协会。 　　显然，这种系统需要极高的准确度和可靠性。研究人员将对集成到车辆当中的原型进行实车测试。他们希望这项技术能够在几年内进行测试，并首先在商业和政府车队中获得应用。

北京市水务局上午介绍，本市已建立起城市重要水源及影响区域污染预警系统，可以在10多分钟的时间内，对供水水质进行监测分析，以发现水质是否受到污染。 　　北京市在重要供水水源及影响区、取水口之外建立了由两道预警防线、三级监测方式、三级预警管理机制组成的生态环境污染预警系统。在重要水源及取水口选择20个站点建设了水质在线自动监测站，在京密引水渠、怀柔水库库区、官厅黑土洼、海淀翠湖等处建立了31个视频监测点，形成了第一级监测。北京市自来水集团水质监测中心配置有应急监测车，可以对突发水污染事故进行现场监测确认， 形成了第二级监测。市自来水集团监测中心和水文总站配置有实验室设备，对污染预警通过取样，进一步确认污染情况，形成了第三级监测。 　　北京市水利规划设计研究院工程师马晓嵩介绍，“过去对水质监测采用人工取样，一次检测的周期比较长。现在采用设备自动监测，每隔15分钟就能对水质进行检测，15分钟就能出检测结果，非常便捷。如果发现取水口的情况比较异常，每隔1分钟就能对水质进行检测。”

记者10月11日从正在召开的全国质检科技工作大会上了解到，“十一五”期间，我国质检系统共承担各类科研课题12000多项，其中组织国家科技支撑计划项目11项、国家科技基础条件平台计划项目5项，承担或参与国家级课题1000余项，公益性行业科研项目605项，省部级课题4400多项。其中，铯原子喷泉钟基准、量子化霍尔电阻基准两项成果获得国家科技进步一等奖，使我国时间频率计量达到世界一流水平，8项成果获得国家科技进步二等奖，422个项目获得国家质检总局“科技兴检奖”，130个项目获得其他省部级科技奖励，404个标准获得“中国标准创新贡献奖”；实施“关键技术标准推进工程”科技专项、标准化公益研究，开展了2000多项重要标准研究，国家标准采用国际标准比率达到68%；我国主导制定国际计量标准345项，参加计量国际关键比对231项，获得国际互认测量能力735项，这些科技成果都为质检人的履职把关立下了汗马功劳。 　　“十一五”期间，全国质检系统通过深化改革、完善机制、整合资源，初步形成了以中国计量科学研究院、中国检验检疫科学研究院、中国标准化研究院、中国特种设备检测研究院和国家质检中心、国家检测重点实验室为龙头，以省市级技术机构和区域性中心实验室为骨干，以县级技术机构和常规实验室为基础的质检技术机构网络体系。目前，全系统已建成国家质检中心180个、在建148个，已建成国家检测重点实验室209个、在建100个。实验室总建筑面积达124万平方米，检测仪器设备价值140多亿元。 　　与此同时，全国质检系统不断加强对科技工作的统筹规划，建立起科技项目管理、科技经费管理、科技奖励管理、实验室仪器设备管理等基本管理制度，强化了科技管理信息化手段。 　　“十一五”期间，我国经历了汶川大地震、2008年北京奥运会、三鹿牌婴幼儿奶粉事件、甲型H1N1流感防控、2010年上海世博会等一系列重大及突发事件。 　　在此期间，全国质检系统按照国家质检总局党组的总体部署，有效发挥了质检科技的技术支撑作用。例如，国家质检总局作为“奥运科技(2008)行动计划”领导小组成员，共承担7项“科技奥运”研究课题，这些课题在奥运场馆建设、奥运城市安全以及信息建设方面为保障“科技奥运”作出了重要贡献；三鹿牌婴幼儿奶粉事件发生后，全国质检系统的实验室加班加点紧急研发，积极协调系统内外的科技资源，全力加强对研发过程优化的组织、督促与保障；在甲型H1N1流感爆发的第一时间，全国质检系统紧急动员起来，迅速组织甲型H1N1流感的应急科技行动，为一线应急提供科技支撑。在一系列重大及突发事件中，质检科技工作发挥了不可替代的重要作用，成为质检部门应急反应能力的综合体现，既争得了荣誉，也减少了损失。 　　“十一五”期间，全国质检系统不断完善科技人才引进、培养、使用和发展机制，人才凝聚、人才辈出的良好局面正在形成。 　　目前，全国质检系统拥有专业技术人才9.3万人，高技能人才1.9万人。其中，工程院院士两人，中央直接掌握联系的专家16人，国家有突出贡献中青年专家5人，获中国青年科技奖两人，百千万人才工程国家级人选14人，享受国务院政府特殊津贴人员166人。这些优秀科学家和他们带领的创新研究团队，已经成为质检事业的脊梁和质检系统的骄傲。

金陵晚报讯(记者 李有明 通讯员 王成磊 张玫玲)爬梯子、钻车肚、拉皮尺&hellip &hellip 这是中大型机动车外检常规动作，以前检测一辆车，需要两三名查验员花20分钟才能完成，去年，由南京车管所牵头研发的&ldquo 机动车外廓尺寸自动检测系统&rdquo 研制成功，将这一测量过程精简到只要一个人花30秒就能完成。 　　据介绍，&ldquo 机动车外廓尺寸自动检测系统&rdquo 采用激光雷达技术扫描车辆外廓尺寸，测量精准度可达毫米，去年9月已在一家检测站进行测试使用，目前使用对象主要为大中型机动车。 　　南京车管所检验科科长李婷介绍，以前对车辆外形检测全靠人工测量，要两三个人花近半个小时才能测完一辆车，而现在，大中型车辆只要通过检测装置，各项外廓尺寸数据就会同步存入系统，并生成检测报告，整个过程不超过30秒。 　　截至目前，试点的&ldquo 机动车外廓尺寸自动检测系统&rdquo 共检测大中型机动车5600余辆，效果良好，接下来将会在全市推广。

8月10日，全国实验室仪器及设备标准化技术委员会（SAC/TC 526）发布关于公开征集全国实验室仪器及设备标准化技术委员会智能检验检测系统分技术委员会委员的通知。各有关单位：根据行业标准化需求，我标委会拟组建全国实验室仪器及设备标准化技术委员会智能检验检测系统分技术委员会（以下简称分委会），分委会主要负责全国实验室内特定领域综合功能的环境、安全、动力等检验检测系统标准化工作。因筹建工作需要，现面向全国征集分委会委员，请各有关单位积极推荐符合条件的人员，要求如下：一、征集范围实验室智能检验检测系统领域相关企事业单位、科研院所、检测机构、高等院校、行业协会（学会）、认证机构等单位均可推荐委员人选。二、委员条件1．本领域内具有中级以上（含中级）专业技术职称，或者具有与中级及以上专业技术职称相对应的职务；2．熟悉本专业领域业务工作，具有较高理论水平、扎实的专业知识和丰富的实践经验；3.掌握标准化基础知识，热心标准化事业，能积极参加标准化活动，认真履行委员的各项职责和义务；4.具有较好的文字水平和外语水平；5.在我国境内依法设立的法人组织任职，并经其任职单位同意推荐；6.身体健康，未有不良行为（刑事）记录，年龄不超过65周岁；7.遵守智能检验检测系统分技术委员会章程。三、报送材料及要求1.采取单位推荐或个人申请、所在单位推荐的方式，由委员候选人填写《全国专业标准化技术委员会委员登记表》（见附件）。同一人员不能在3个以上技术委员会或分技术委员会担任委员。2.委员推荐单位负责审查申请人填写的各项内容，确保真实性，由单位负责人在委员登记表的指定位置签署意见，并加盖单位公章。3.请于2021年8月31日前，将委员登记表纸质材料一式四份（贴照片并加盖公章）、另附同底照片1张（背后注明姓名），邮寄至秘书处。同时登记表电子版（word文件，贴电子版照片，照片分辨率在413×626以上，文件大小2M以下，以“单位名称-姓名”命名）发送至联系人邮箱。4.根据相关规定，分委会对申报的委员人选进行综合评议，择优确定委员建议名单，提出标准化分技术委员会委员名单和组建方案，报送国家标准化管理委员会批准。5.所有申报资料将作为技术档案不再退还本人。四、联系方式秘书处承担单位：中国汽车工程研究院股份有限公司通讯地址：重庆市两江新区金渝大道9号邮编：401122联系人：乐中耀 黄兴电话：023-68822360/18623583945 023-68661125/15683160191 电子邮箱：huangxing@caeri.com.cn关于公开征集全国实验室仪器及设备标准化技术委员会智能检验检测系统分技术委员会委员的通知.pdf附件：全国专业标准化技术委员会委员登记表.docx

36个辐射环境自动监测站，328个陆地辐射监测点，涵盖了除河南外的30个省(自治区、直辖市)的省会城市和青岛、大连、丹东、威海等重点城市，此外，在核电站和各类核反应堆周围还设置了28个国家重点监管的核环境安全预警站点……这些构成了中国核辐射预警网络的雏形。 　　而日本福岛核危机后的这场全网联动实时监测，是中国核辐射预警系统25年来“从未遇过”的一次超越了以往演习意义上的真正操练。 　3月17日下午南京禄口机场，江苏省环保厅对刚从日本回来的一架飞机进行核辐射监测 　　“我国环境辐射水平未受到日本核电事故影响。”自3月11日日本地震及海啸引发核泄漏危机以来，中国国家环保部每天都向公众送上这样一颗“定心丸”。北京、上海、广州等41个城市的居民甚至每天都可以在环保部网站上查询所在城市环境辐射数值。 　　普罗大众如此近距离、高频次地知晓所在地的辐射水平，史无前例 权威机构如此主动、透明地披露敏感数值，也是史无前例。而“史无前例”的背后，一张密布全国的核辐射预警监测大网正徐徐露出真容。 　　标配与“私生子” 　　上海沪太路500号，毫不起眼的五层小楼是上海市辐射环境监督站的大本营。这一上海市环保局直属的行政事业单位，过去是一个彻底的“冷衙门”，而这十几天来却热闹非凡。“这十几天曝光率比之前所有年份的总和还要高。”1985年建站伊始即工作于此的汪名侠感慨。自3月12日国家环保部首次披露各地辐射水平以来，诸多媒体纷纷探营这个出具上海环境辐射值的唯一机构。 　　秘密藏在五层小楼的楼顶。一台由美国公司生产的高压电离室会随时捕捉空气中的γ射线辐射剂量，只要这个数值在每小时54.9到108.2纳戈瑞的天然本底水平内，便表明环境安好。所谓天然本底水平，是指各种天然射线的辐射剂量率，对人类没有什么危害。 　　日本核泄漏释放出的放射性碘131，由于其半衰期可达八天之久，因此，如果这个时间段内污染扩散至上海，楼顶的气碘采样仪中载银的活性炭吸附剂可以捕捉其痕迹并取样。 　　类似这样的装置，已是国内多个辐射监测站的标配。而上海站的镇站之宝超大流量气溶胶采样器，却是号称全国唯一的巨无霸，它每小时最多可吸收空气1500立方米，“而国内一般的气溶胶采样器每小时仅能吸收70到80立方米。”站长陆书玉介绍说。 　　然而，这台机器在陆书玉口中，却是一个“私生子”，并非国家环保部的标准配置。上海本地虽没有核电站，但北有江苏田湾，南有浙江秦山，“秦山距离上海只有38公里，比大亚湾到香港的距离还短。”为保万全，2008年，“南北夹击”的上海站一狠心，花费百万从德国进口了这台机器，“没想到这一次派上了大用场”。 　　这台平时一个月才开动一次的镇站之宝，自3月12日以来便一直隆隆作响，每小时吸入600到700立方米空气，如果含有吸附在微尘上的铯137等放射性物质，机器里的滤膜会在最短的时间把它过滤下来，形成分析样本。 　　沪太路只是上海监测核辐射的据点之一，在金山、崇明以及浦东的复旦大学张江校区，三个无人值守的自动监测站本来系分别针对秦山、田湾和日韩等国的核电站而设，眼下均因日本核危机一起启动起来。 　　而在瞬间拉开的密布全国的核预警监测网上，无核的上海仍不过是一个小小的节点。 　　中国核辐射检测预警系统1天上报5次　　 　　我国沿海地区辐射监测站示意图。 　　25年未遇之监测 　　“接部里站里通知，由于日本地震，所有监测人员进入应急状态，不得离开上海。”3月12日上午10点，上海站核安全工程师汪名侠接到了这样一条内部短信。 　　此时，福岛第一核电站1号机组的爆炸声尚未响起，而一份来自环保部核与辐射事故应急办公室的“应对日本地震应急指令”已经传真至各省市区环保厅(局)及辐射监测机构，要求各地立即展开辐射环境监测，每天两次向环保部上报监测数据，并上报应急值班人员的联系电话。 　　全国辐射环境监测网络正式启动。网络中的36个全国自动监测站每天24小时不停歇地传递着空气监测值，所得数值直接上报给国家环保部，并于当天公之于众。 　　3月17日，法国核安全局等机构将日本核事故等级由四级调高为六级，国家环保部再发应急指令，要求增加监测的频度和深度，并将一天两次上报升级为每隔三小时的一天五次上报，其对公众公布的频数也由一天一公布改为每天上下午各公布一次。 　　如此高频次的迅速公布，即便连已经从事了25年辐射监测的汪名侠亦称“从未遇到过”。在此之前，根据环保部的《辐射环境监测网信息工作管理办法》，各地辐射监测站的数据报送只需每季度一次，而上海每年获得的二十余万个监测数据更是鲜为公众所知。 　　从3月12日到3月18日，短短一周内，环保部连续发出了十道“应对日本地震应急指令”。其中，第七号指令要求对日本返程客机机舱内核辐射物质进行检查。据日本媒体报道，3月16日，一架由东京成田机场飞抵大连机场的货机因被检测辐射强度超出中国规定值，而未能卸货原机返回。 　　动起来的不惟环保系统。就在汪名侠接到“进入应急状态”短信的同时，“日本核电站核泄漏3天内对我国无影响”的专项服务材料已经从世界气象组织和国际原子能机构北京区域环境紧急响应中心发出。地震当天，该中心的数值预报专家即启动了环境紧急响应大气污染扩散传输模式，对500米、1500米和3000米高度的核放射性物质的扩散轨迹进行了模拟预报。 　　而在海上，国家海洋局下属的北海、东海和南海分局也于12日夜间接到了关于在我国管辖海域开展放射性应急监测预报的通知，环境辐射监测人员随海监船离港取样，并得出日本核泄漏近期不会影响我国近岸海域的结论。 　　这次暂告无虞的全网联动，对中国核辐射预警监测系统和整个国家核应急系统都是一次超越以往演习意义上的真正操练。而这张安全网的织就史已近30年。 　　30年织网未尽时 　　1985年，复旦大学放射化学专业毕业的汪名侠被分配到上海市放射性三废实验处理站(即为上海市辐射环境监督站前身)时，正赶上国家环保局组织的“全国环境天然放射性水平调查研究”。这项调查从1983年开始，历时八年，系由后任国家环保局局长的解振华倡议并组织。 　　其时，世界上已经有23个国家和地区进行了类似的摸底，中国核工业已经有了30年的历史，核电事业也刚刚起步。今天看来，这场环境辐射调查“1.0”版本可以视作中国核辐射预警监测网络的开端。中国工程院院士、曾任该调查总顾问的潘自强告诉南方周末记者，今天环保部在向公众公布环境辐射水平时，所参考的天然本底水平正是这个1.0版本的升级版。 　　随着核电事业的发展，核电站自身的预警监测装置构成了整个核辐射预警网络的桥头堡。1993年国务院颁布的《核电厂核事故应急管理条例》规定，核电厂的核事故应急机构和省级人民政府指定的部门应当具有辐射监测系统。 　　环保部华北核与辐射安全监督站派驻江苏田湾核电站的一位监督人员告诉南方周末记者，目前田湾核电站在场内和场外共布设了十个监测点。在秦山、大亚湾等地，这样的前沿监测点也早已立起。 　　核电站之外，各省无论有核无核，都设立了辐射监测站点。根据中国辐射环境监测网的数据，目前国家辐射环境监测网包括了36个辐射环境自动站，涵盖了除河南外的30个省(自治区、直辖市)的省会城市和青岛、大连、丹东、威海等重点城市，连续监测环境γ辐射剂量率。其中，陆地辐射监测点达到了328个。此外，在核电站和各类核反应堆周围还设置了28个国家重点监管的核环境安全预警站点。 　　作为在有核省设立的第一个辐射监测机构，1988年浙江省辐射环境监测站成立，1999年9月，在该站的基础上成立国家环境保护总局辐射环境监测技术中心，这是目前我国技术力量最强、经验最丰富的辐射环境监测机构。 　　2003年，《中华人民共和国放射性污染防治法》的颁布更是首次将建立核辐射监测网络纳入国家立法。该法第十条明确规定了国家建立放射性污染监测制度，……组织环境监测网络，对放射性污染实施监测管理。再过三年，《国家核应急预案》出台，辐射监测、气象服务等被界定为国家核应急技术支持体系的重要一环。据此，环保部、卫生部及各省市、核电站都分别制定了不同层级的应急预案。 　　然而，“各辐射站的建站水平仍旧参差不齐。”上海市辐射环境监督站辐射安全监管科科长代继伟说。虽自诩为全国一流的辐射环境监测机构，但“以我站目前的人力，仅局限于能够完成常规性工作”，这个年运行费用六百余万元的监督站的一份内部资料如是说。 　　该站现有职工35名，专业技术人员29人，占总人数的82.9%，而按照国家环保部2007年颁布的《全国辐射环境监测与监察机构建设标准》，像上海这样无核设施的省级站，人员编制不应少于40人，技术人员比例不应低于85%。 　　中国核辐射预警监测网络的真正完善，仍待时日。

《产品外观缺陷机器视觉在线检测技术及设备开发》一文由合肥工业大学仪器科学与光电工程学院卢荣胜教授投稿分享，包括自序、研究背景、典型系统组成、成像技术及实现策略、关键核心单元部件、缺陷识别与分类、结束语、致谢几个部分。由于篇幅较长分为四篇发布，以下为第一部分：自序、研究背景、典型系统组成。1．自序本人1985年大学毕业后在量仪厂从事量具、刃具、工装、专机与机加工工艺开发等技术工作，于1992年从师费业泰教授攻读硕士与博士学位，从事精密机械热变形误差、精密仪器精度理论方面研究， 1998年末博士毕业后又拜师天津大学叶声华教授，从事机器视觉在线检测方面的博士后研究，研究方向随之聚焦于机器视觉与光学精密测量领域。之后在香港城市大学、英国帝国理工学院和哈德斯菲尔德大学进行了为期6年的三维机器视觉、自动光学检测和光学测量技术研发工作，于2006年5月返回母校合肥工业大学任教。回国后继续从事机器视觉与光学测量方面的研究，坚持面向平板显示、新能源、软性电路板、半导体等先进制造产业，注重技术的应用开发。先后主持了国家自然科学基金项目3项、863专项1项、国家科技支撑项目1项、国家重大科学仪器设备开发专项1项、国家重点研发课题1项、以及其它省部级项目和产学研合作项目10余项，在机器视觉与光学测量领域已培养硕士和博士研究生100余人。鉴于在机器视觉技术研究及应用开发方面20余年的研究积累，2021年无锡市锡山区政府与我们科研团队合作，联合创立了一个新型科技研发机构——无锡维度机器视觉产业技术研究院，采用实体化运营模式，面向先进制造产业链，从事机器视觉与光学精密测量方面产业共性关键技术研究与产业化开发。研究内容与产业化业务范围涉及机器视觉缺陷在线检测、三维机器视觉精密测量、机器人视觉引导、半导体检测、机器视觉关键零部件开发等。开发的视觉系统与仪器已经在平板显示、光伏、锂电池、软性电路板、半导体等行业得到成功应用。鉴于篇幅问题，本文重点聚焦于产品外观缺陷视觉在线检测技术，归纳了我20多年来在这些方面的科学研究与产业化开发的进展情况与心得体会。2．研究背景在产品制造过程中，由于生产环境不理想、制造工艺不规范等各种原因，零部件和产品外观难免会含有多种缺陷，如印制电路板上出现孔位、划伤、断路、短路和污染，液晶面板的基板玻璃和滤光片表面含有针孔、划痕、颗粒，带钢表面产生裂纹、辊印、孔洞和麻点，铁路钢轨出现凹坑、鼓包、划痕、擦伤、色斑和锈蚀，等等。这些缺陷不仅影响产品外观，更重要的是影响产品性能，严重时甚至危害生命安全，对用户造成巨大经济损失，因此，现代制造业对产品的表面质量控制非常重视。产品外观缺陷在线检测最传统的方法就是采用人工目视检测法，目前高端制造工厂大部分都采用自动化生产，但人工目视检测岗位仍占据工厂整体人员的15%-30%。鉴于人工目视检测存在对人眼伤害大、主观性强、准确率低、不确定性大、易产生歧义和效率低下等缺点，已很难满足现代工业对产品质量及外观越来越高的严格要求。随着电子技术、图像传感技术和计算机技术的快速发展，利用基于图像传感技术的视觉在线检测方法已逐渐成为外观缺陷检测的重要手段，因为这种方法具有自动化、非接触、速度快、准确度高等优点。目前，外观缺陷视觉在线检测技术已经广泛应用于工业、农业、生物医疗等行业，尤其在现代制造业，如平板显示、光伏、锂电池、半导体、汽车、3C电子（计算机、通讯和消费电子产品）等领域，对能够实现机器换人的外观缺陷视觉检测技术需求越来越旺盛。3．典型系统组成产品外观缺陷机器视觉检测是基于人眼视觉成像与人脑智能判断的原理，采用图像传感技术获取被测对象的信息，通过数字图像处理增强缺陷目标特征，再通过Blob(Binary large object)分析、模板匹配或深度学习等算法从背景图像中提取缺陷特征信息，并进行分类与表征。在工业应用领域，外观缺陷视觉检测系统实际上是一种智能化的数字成像与处理系统，即采用各种成像技术（如光学成像）模拟人眼的视觉成像功能，用计算机处理系统代替人脑执行实时图像处理、特征识别与分类等任务，最后把结果反馈给执行机构，代替人手进行操作，执行产品的分类、分组或分选、生产过程中的质量控制等任务。（左）6代线液晶阵列和彩色滤光片缺陷检测仪 （中）8.5代线玻璃基板缺陷检测仪 （右）ITO导电膜表面缺陷检测仪图 1 高世代液晶面板关键工艺节点缺陷视觉在线检测系统图 2 表面缺陷视觉在线检测系统组成原理图图1为我们在国家重大科学仪器设备开发专项的资助下，针对6代线和8.5代线液晶面板显示器制程中关键工艺节点，开发的三种缺陷视觉在线检测系统。该系统能很好地揭示一个视觉在线检测系统的各个组成部分、关键技术难点，以及所需的关键零部件。主要技术参数为：待测幅面大小≤1800x2200mm, 快速发现缺陷分辨率10μm, 复检显微分辨率0.5μm， 并行图像处理与缺陷识别系统采用CPU+FPA+GPU 主从分布式异构并行处理架构，检测时间节拍20s。系统组成与关键零部件单元可用图2示意图来清晰地描述，它由精密传输机构、光源、相机阵列、显微复检、并行处理、控制、主控计算机、服务器等单元模块，以及与工厂数据中心互联的工业局域网组成。图 3 展示了我们开发的手机液晶显示屏背光源模组缺陷转盘式多工位视觉在线检测系统的结构组成，该检测系统包括自动上料、编码、对准、检测、分选、返修识别等几个部分。图 3 背光源模组在线自动光学检测系统3.1 自动上料机构自动上料机构包括装配线上传输来的背光源模组位姿探测、电动与气动机构抓取、位置校正、送料等部分组成。工作原理如下：1. 在装配线传输带工位（1）的上方放入一个监视相机，当前道工序组装系统装配好背光源模组传输到工位（1）后，监视相机拾取到有待测模组时，计算模组在工位（1）处的位置与模组姿态信息，并发出工作同步指令给后续上料与检测系统。2. 监视相机发出工作同步指令后，气动与电动缸组成的送料系统把工位（1）处的背光源模组从传输带上吸起来，然后在气动滑台的带动下，把工位（1）处的背光源模组搬运到工位（2）处。在放到工位（2）上之前，计算机根据工位（1）上方的相机拍摄到的模组位置与姿态，发出指令给真空抓取吸盘角度校正电缸，初步校正背光源模组在空间的角度。当背光源模组运送到工位（2）后，模组在工位（2）处由4个气动滑缸从四边向中间对中，校正模组的位置，然后背光源模组下方的相机，对模组成像，识别待检背光源模组喷码序列号，作为有缺陷模组在返修过程中，从缺陷数据库中自动调出缺陷信息，指导返修任务。3. 在工位（1）处吸盘抓取背光源模组的同时，右边的吸盘在工位（2）处把已经校正好的模组吸起来，然后在气动滑台的带动下，把校正后的模组输送检测转盘工位（3）处。至此，一个上料循环完成。3.2 检测机构检测机构由间隙转动工位转盘、上料位置对准探测、异常检测、画面检测和外观检测工位组成。工作原理如下：1. 背光源模组被自动送料机构传输到工位（3）后，转盘在控制系统的控制下，转到工位（4）。在工位（4）的上方安装一个相机，检测背光源模组定位是否正常，模组LED灯工作是否正常，并把信息传给主控计算机。如果一切正常，则后续检测工位按预定的方案进行检测；如果不正常，后续检测对该模组不检测，然后传送到工位（9），由分选机构抓取，传送到不良品传输带上。2. 当模组转到工位（5）~（8）处后，缺陷扫描成像系统对画面缺陷进行扫描检测，缺陷扫描成像系统由高速扫描相机、一维滑动台、光栅、伺服系统、调整机构组成。由于外观检测项目较多，一个工位难以不够，故把工位（7）和（8）两个工位作为外观检测机构。3.3 分选机构分选机构由良品与不良品气动抓取机构、间隙运动传输带组成。结构布局参看图 3 所示，其工作原理如下：1. 如图 3 所示，画面（外观、异常等）缺陷检测完毕后，模组继续向下道工位转动，当模组运动到工位（9）后：分选机构左边的气动吸盘抓取工位（9）上的模组，传输到工位（11）处。2. 如果该模组是不良品，在分选机构向工位（9）移动的过程中，不良品传输带向前移动一个工位，把工位（11）清空，等待放置下个模组。3. 如果是良品，在下一个时刻分选机构抓取工位（9）上的模组时，右边的吸盘同时抓取工位（11）上的模组，在分选机构左吸盘把模组放到工位（11）处时，右吸盘把良品模组放置到良品传输带上工位（12）处，然后良品传输带向前移动一个工位，清空工位（12）等待放置下个模组。传输带之所以作间隙运动，一方面可以节省空间，另一方面考虑到不良品只是少数，这样可以让不良品按顺序一个一个经凑地排列在传输带上，不需要有人监视，返修人员只要传输带上放满了不良品后取走返修。3.4 复检与不良品返修对于检测到的不良品，再采用人工目视复检，并对不良品进行返修。在返修工作台上放置一个电脑，并安装一台成像系统，拾取不良品背面的编码。返修显示电脑通过工业以太网与缺陷数据库服务器相连，相机在电脑的控制下，获得带返修的不良品编码后，根据编码从服务器中调用缺陷信息，显示在屏幕上，导引返修人员对不良品进行合理的返修。

安全预警，科技护航。在本届北京科技周上，一大批关系百姓“衣食住行用”的监测检测预警技术和系统集体亮相。 　　“快看，这里还有几条小鱼呢!”“这鱼真小呀!”……在2011年北京科技周上，记者循着声音来到了一个立柜式的装置前。装置中部透明，只见8个管道里各有数条身长仅数厘米的小鱼在游动。 　　这并非观赏鱼水箱，而是一台水质生物预警系统。“通过对水质变化敏感的鱼的三维影像或生物电波信号数据来判断水质是否发生变化，进行24小时连续监测。”现场工作人员告诉记者，当水质发生变化，设备会及时留存水样，发出对应级别的预警信号，从而及时检测出水中的有毒、有害物质，达到监测水质、保护用水安全的目的。 　　目前主要应用的水质监测方法为定量检验，即对一个或多个水质指标进行取样监测。高精度的化学分析仪器可以获得某些指标准确的测定值，但在短时间内很难检测出有毒的化学物质，也难以实现连续监测。 　　为什么选择鱼作为监测对象?据介绍，鱼是与人类最接近的脊椎类动物，具有丰富的生态毒性数据。监测所用的鱼体积小、长不大，可以实现装置小型化 体色为淡橙色，摄影机辨识度好 对水质温度、盐浓度等适应范围广，容易饲养。 　　对于监测鱼可能会出现的异常行为，现场工作人员举例说：比如急速游动，水中有害物质对鱼的脑或神经系统产生影响，导致观测鱼急剧加速游动 浮头行为，有害物质对鱼的吸引系统带来的损害，致使鱼呼吸困难，鱼身体开始倾斜，靠近水面，直接从空气中吸取氧气 死亡，有害物质对鱼产生致命影响，导致鱼死亡。 　　与水质预警不同，噪声的污染更容易被人忽视。在另一个展台，一个已广泛应用于汽车工业的声学照相机能够迅速定位声源，如有观众大声喧哗，屏幕中此人即刻显示出红色区域。在仪器旁边，有一个覆盖了北京北二环和北三环12.7平方公里示范区域的噪声地图。 　　何谓噪声地图?据北京劳动保护科学研究所的工作人员刘磊介绍，就是通过使用不同颜色的噪声等高线、网格和色带来表示北京市城区各个地理位置的噪声值分布，使北京市民可以轻松了解城市不同区域的噪声情况。 　　“如果等噪声污染产生之后再去治理，成本很高。我们现在要做的工作就是让城市规划者在规划之初，就考虑噪声因素，这涉及交通、工业产业、建筑施工、社会生活等。”刘磊说，目前广泛采用声级计定点测量噪声，而他们在制作噪声地图时也考虑了人口分布、交通情况所产生的影响，如把车流量等交通属性与噪声建立关系，构建了交通噪声绿色模型，从而更能反映城市噪声的细节。 　　安全预警，科技护航。在本届北京科技周上，一大批关系百姓“衣食住行用”的监测检测预警技术和系统集体亮相，如食品快速检测、食品安全追溯等科技成果，让老百姓了解“从农田到餐桌”的安全监控过程 全自动全天候火灾智能预警系统可以通过前端红外热像仪器感知所监控区域内的物体温度，对烟头、打火机等低温小火源实现适时高温预警。

2016年9月21日，在科学仪器服务民生学术大会上，由中国仪器仪表学会主办，北京维德维康生物技术有限公司协办的乳制品中有害物质检测技术交流会暨维德维康荧光定量快速检测系统新品体验正式召开。在此次交流会上，维德维康首次向业界公布了食品安全快速检测新方案——荧光定量快速检测系统。中国仪器仪表学会科学仪器学术工作委员会、国家兽药安全评价中心、北京市兽药监察所、北京市饲料监察所、国家食品安全风险评估中心等领导及嘉宾出席了会议。 本次会议主要针对乳制品中有害物质快速检测技术及新品荧光定量快速检测系统进行了深入的研讨和体验互动，邀请了知名专家学者和企业负责人发表精彩演讲，与维德维康一起交流分享荧光定量快速检测系统这一创新技术和新产品。 中国仪器仪表学会科学仪器学术工作委员会刘继红主任助理在会上发表了讲话 维德维康副总经理吴雨洋就食品安全快检问题进行现场分享 国家兽药安全评价中心江海洋教授在交流会上做了《乳制品中主要风险因子的分析与控制》的演讲 维德维康的技术总监温凯副研究员在会上详细介绍了这项创新技术和新产品 现场记者和观众提问有关新品荧光定量快速检测系统的相关问题 技术人员现场演示新品荧光定量快速检测系统的操作 荧光定量快速检测系统，是免疫荧光技术和传统免疫层析技术结合并在工艺上发展创新，再采用现代化检测仪器—荧光定量检测仪，而形成的一种新型定量检测技术。该技术保留了胶体金免疫层析技术操作简便、检测快速、便携性强的优点，并且实现了检测结果的精准定量。荧光定量快速检测技术的问世为快速、即时检测发展了一个新的风向标和里程碑，进一步解决了食品安全领域快速检测方法所急需的个体化、快速化、装备一体化、设备小型化、手机化、APP软件化。荧光定量快速检测系统的特点是：1、 高精确度：CV值小于10%。2、 高准确度：添加回收率达80%—120%。3、 高灵敏度：是传统胶体金检测方法的10倍。4、 高效率：反应迅速，1小时检测60个样本；内置曲线，二维码快速定标，8分钟精确定量。5、 高智能性：操作便捷，项目自动识别，一键式自动检测；数据实时传输，便于监管分析。6、 覆盖面广：应用领域涵盖肉制品、水产品、蜂蜜及制品、乳及乳制品、粮食饲料等领域。吴总说，我们本着快检产品简便性、定量（数据化）、系统性（多学科融合）开发理念，立足用新的检测系统涵盖食品种养——加工——生产——流通各环节，满足各环节的应用操作特点，开发多技术复合应用产品平台的目标。维德维康本次推出的荧光定量快速检测系统，这不仅是传统的食品安全检测技术的一次改进和提高，也使我们的食品质量安全有了进一步的保证，从而推动食品工业更加健康、快速向前发展，满足人民提高健康水平的需要。我们希望此项技术及新产品的推出能够帮助政府监管和企业自检部门，并提高工作效率和检测可信度。今后，我们会将此项技术不断优化，为食品安全提供可以信赖的快速检测解决方案，一起为中国食品安全快速检测技术的发展贡献力量。特别感谢：特别感谢中国仪器仪表学会主办的科学仪器服务民生学术大会给我们提供的优秀发布平台，感谢《食品安全导刊》杂志和《仪器信息网》对本次活动的报道！

2009年6月29日至6月30日，全国检验检疫系统实验室检测设备需求和检测技术研讨会在北京温都水城胜利召开。本次研讨会旨在增进对甲型H1N1病毒检测技术的了解，加强对流感病毒检测方法和检测技术的交流与沟通，提高我国检测实验室的检测技术水平，从而为切实做好当前口岸甲型H1N1流感的防控工作做好技术准备。70多位来自全国各省市检验检疫局技术中心和保健中心的与会代表齐聚一堂，共同听取了来自不同领域的专家所做的精彩报告。 　　国家质检总局计财司、科技司和中国检验检疫科学研究院的领导出席会议并作了重要讲话。会议邀请了国家疾控中心专家王大燕博士、检科院动植物检疫专家林祥梅教授和检科院卫生检疫专家胡孔新教授做甲型H1N1流感病毒检测的专题报告。专家们分别就流感疫情形势，检测手段及防控策略、分型芯片技术在A型流感病毒上的应用及PCR检测方法方面进行了精彩阐述。 　　另外，江苏检验检疫局技术中心蒋原主任与广东省CDC微生物检验所副所长邓小玲博士分别就分子生物技术在食源性病原生物检测中的应用及分子分型技术在突发公共事件应急处置调查处理中的应用研究作了深入的探讨。与会专家们纷纷表示：建立动态病毒数据库非常重要，该动态数据库的建立是作为日后风险评估和预警，追踪溯源，提供紧急处理方案的基础。 　　此外，杜邦公司资深技术专家Emily Boon Hui Tay 博士及瑞士TECAN产品应用专家许云哲博士的专题报告中介绍了新型仪器诸如自动微生物基因指纹鉴定系统iboPrinter及全自动酶免工作站等在目前各种检测实验室中的应用的优越性：应用全自动酶免工作站实现从标本预处理、核酸提取到基因扩增和产物检测的快速过程，以提高应对有可能的疫情爆发的快速反应能力和测定程式的标准化，提高检测的精确度和不同地区不同实验室批次结果的可比性 而通过利用全自动微生物基因指纹鉴定系统RiboPrinter的数据共享功能，在病原微生物实验室实现标准化的实验操作，以便于在口岸建设和技术提升中保持良好的数据可比性。 　　此次研讨会由中国仪器仪表学会检验检疫仪器应用技术分会、美国杜邦公司和瑞士TECAN公司联合举办，得到了国家质检总局、中国检验检疫科学研究院、全国检验检疫系统各级实验室的大力支持，研讨会内容充实，新颖实用，与会专家学者结合自己的实际工作踊跃发言提问，交流了研究思路和研究方法，拓展了视野，对甲型流感的防控技术与检测技术的提高具有重要的促进作用，达到了研讨会预期的目的。

捷锐作为流体控制系统整体解决方案领域的领导者，为各行业客户提供全面、高效、优质的供气系统，是我们的职责所在。此次，在重庆市计量质量检测研究院实验室供气系统的新建项目中，捷锐从项目方案提报，技术咨询，产品展示等各环节，与其他各厂商的激烈竞争中，优势凸显，脱颖而出，获得院方专家的一致认同，为其供气系统提供全程服务，包括方案设计、咨询、施工、维护、培训等一系列服务产品。 捷锐针对研究院在工作中使用气体的特殊性，以及工作环境的需求，提供了捷锐特气控制面板为主体的供气系统方案。捷锐特气控制面板，均采用优质原材料，模块集成化概念，将减压器、接头、阀门、管路等产品在工厂Class 10/100/1000无尘室完成组装，组成特气控制面板、特气控制终端及特气汇流排，适合使用于高纯气体99.999%纯度的要求，所有产品均经过各种耐压及泄漏测试，保证产品安全性和洁净度。模块化产品方便在施工现场安装、维修，免去了现场安装测试等不必要的麻烦。为了进一步实现实验室供气的稳定性，特有的备用气体控制面板，可以在空压机发生故障时，自动切换至钢瓶供气，实现不停气维修作业，全面提高工作效率。 在现场安装测试完毕后，所有工程均一次通过相关监督机构的检验验收，相关验收人员表示，捷锐供气系统设计方案缜密，符合实验室使用操作标准，现场安装工程符合国际操作规范，一切都进行的有条不紊，不但提前完工，而且还保证了工程质量。让我们真正体验到了国际化企业的执行力和领导力，捷锐成就美好未来，成就我们共同的未来。 关于捷锐 捷锐企业（上海）有限公司成立于1993年，专精研发制造高洁净之集中供气系统及流体控制相关零件、组件、系统设备、焊割器具、仪器仪表等。产品主要应用在半导体、气体、化工、生物科技、核电、航天、食品等行业。厂区内配备欧美最先进的高科技生产设备，并设置中央实验室、检测室及Class 10/100/1000无尘室。GENTEC® 拥有美国40余年的市场、研发及制造经验，提供流体系统整体解决方案，遍布全球的行销服务网络，赢得全球用户的信赖。 更多信息，请登录公司网站了解详情：www.gentec.com.cn

1.不同的仪器结构VOC检测报警仪的结构相对简单，只包括探头(传感器)和传感器信号转换电路。然而，VOCs在线监测系统不仅配备有探头(传感器)，还配备有一整套气体回路系统，即一整套气体回路系统，其将样品气体引入仪器，然后导致仪器的排气或回收。2.测定条件的不同控制方法VOC检测报警仪不配备样气工艺技术条件的调控部分，同时不考虑样气存在的环境条件直接检测。VOCs在线监测系统内部一套完整的气体回路系统和外部配套设备构成一套相对完整的化学工艺流程。气体分析仪内样气的工作条件调节和控制，达到传感器正常稳定运行的目的。这是VOCs在线监测系统能够获得准确测量数据的保证。3.不同的检测方法VOC检测报警仪使用探头直接暴露在被测空气或样品气体环境中进行检测。VOCs在线监测系统通过特殊的测量方法将被测气体(样气)引入仪器，然后将其导出仪器进行排气。4.完成整个测定过程的操作方法是不同的应用VOC检测报警仪时，只需将仪器置于被测大气中，仪器就可以显示数值。但是，VOCs在线监测系统必须小心地将样气引入仪器，然后严格调整工艺条件，如温度、压力、流速等。只有当操作员调整仪器直到实现稳定的化学过程时，才能获得准确的测量数据。但是，在此之前获得的数据是不正确的，必须丢弃。5.在检测过程中，考虑了不同的方法来消除干扰因素VOC检测报警仪直接测量大环境大气中的传感器，装置的结构设计和检测过程的实际使用不考虑大环境大气中干扰因素的存在与否，也不具备消除各种干扰因素的设计能力。然而，在设计、选择和使用VOCs在线监测系统时，必须充分考虑影响测定的各种内部和外部因素，并逐个小心排除。只有这样才能保证检测数据的准确性和真实性。否则，某个影响因素会被不适当地忽略，这是测试所不允许和不可接受的。6.数据的不同准确性VOC检测报警仪只能提供定性分析结果和相对粗略的定量分析数据。该仪器显示的数据经不起仔细检查，不能用于误差分析(只有当分析数据偏离真实值时，才能提及“误差”)。因此，它不能用作准确的分析数据来确定(决定)重要过程改进和调整的措施。VOCs在线监测系统是一种严格的测量仪器，在进行定量分析时，它可以提供非常准确的数据。这些数据可作为改善和提高天然气生产和安全生产的依据，可用于指导和实施生产管理、质量管理和企业管理。

2012年5月9-10日，由中国兽医药品监察所（简称&ldquo 中监所&rdquo ）举办 ，江苏省畜产品质量检验测试中心协办，ABSCIEX公司独家赞助的&ldquo 2012年中国兽医药品监察所兽药残留检测技术培训班&rdquo 在南京市双门楼宾馆及江苏省畜产品质量检验测试中心分别举办了技术及实验专场，会议取得圆满成功。来自中国兽医药品监察系统的四个国家兽药残留基准实验室和30多个兽药监察所的60余位专家与技术人员参加会议。 5月9日上午的大会报告部分由中监所安全评价室的专家仲老师、孙老师、李丹老师、张玉洁老师就本次比对实验的内容和相关技术问题做了具体分析。AB SCIEX公司赵贵平老师介绍了AB SCIEX产品及其在残留分析中的广泛应用。接下来的一天半时间，带着对AB SCIEX产品的试验效果期待，各位参会代表移步至江苏省畜产品质量检验测试中心分组进行实战演习。AB SCIEX公司工程师朱怀恩为参会代表们详细介绍了ABSCIEX 5500QTRAP仪器的一些专有特性：除了具备串联四极杆质谱仪的所有定性和定量功能外，由于第三级四极杆采用线性离子阱（TRAP）,从而具备了独特的MRM3高选择性，增强子离子扫描（EPI Scan）高灵敏度等功能，更有效适合复杂基质的兽残样品分析；维护并指导各位老师更有效地进行样品测试。实验专场安排了两个典型案例测试，分别是液相色谱法进行猪肉中的替米考星的检测（农业部1025号公告-10-2008），以及鸡蛋和鸡肉中尼卡巴嗪残留检测方法&mdash 高效液相色谱串联质谱法（农业部待发标准）。随着实验运行、实验效果、实验报告的一系列展现， ABSCIEX 5500Qtrap产品不负众望赢得众位博彩。ABSCIEX 5500Qtrap的高灵敏度、强稳定性、精巧外观和UPLC友好联机、报告格式的灵活性等方面都让参会者叹为观止。这次会议不仅是中国兽医药品监察系统兽药残留检测技术的盛会，更是ABSCIEX 5500QTRAP的又一次实力检验！

在气候变暖和人类活动双重作用的影响下，藻类水华频发且呈现全球加剧态势，严重威胁经济社会可持续发展和人类健康。由于藻类水华生消过程快，实时精准的监测是藻类水华预测、预警和有效管控的关键。 　　目前藻类水华监测主要包括现场观测、水下自动监测和卫星遥感反演等三种方式。现场观测费时费力，且无法在时间和空间上连续监测；水下自动监测探头易受到水中物质侵蚀，且维护费用高昂；卫星遥感的时间分辨率低且受大气影响较大。 　　对此，中国科学院南京地理与湖泊研究所研究员张运林团队等基于水色遥感原理，研发了一款陆基高光谱遥感监测仪及原位高频在线监测系统，实现了藻类水华连续、精准、实时监测，有效弥补了现有方法的不足。 　　该系统主要由高光谱测量仪器、数据处理平台和远程访问控制、显示和存储平台等三部分组成(图1)。高光谱测量仪测定的水体光谱反射率信号，通过嵌入AI芯片处理器(数据处理平台)的反演算法，转化为叶绿素a信息。光谱反射率和叶绿素a数据通过无线传输设备进行远程访问控制、显示和存储。研究人员通过系统评估近几十年来应用最广泛的三种叶绿素a遥感反演的经验算法、半分析算法以及机器学习算法等，遴选了建模和验证精度最高的反演模型作为陆基遥感系统叶绿素a提取的主要模型(图2)。 　　架设在太湖的陆基高光谱遥感监测系统清晰捕捉到2021年8月发生的两次藻类水华形成过程(图3)。除了藻类水华以外，陆基遥感系统亦可同步监测水体透明度、悬浮物、总氮、总磷、高锰酸盐指数、营养状态指数、藻密度等多个水生态环境参数，可为藻类水华发生机理研究提供精细化观测和科学证据。 　　该观测系统主要有以下优势：低成本、环保的方式实时、连续地提供藻类水华的高频数据；水体信号不受大气影响，不需要进行复杂的大气校正；适用于中小型河流、湖泊的藻类水华动态监测；嵌入的AI芯片支持算法快速替换和升级以及远程控制和数据访问。目前该系统已广泛应用于广东、四川、江苏、浙江、北京等数十个重要水体的水质监测。 　　相关研究成果发表在Journal of Hazardous Materials上。研究工作得到国家自然科学基金优秀青年基金、中科院科学仪器研发项目、南京地理所青年科学家小组等项目的联合资助。图1 陆基遥感系统的原理和结构示意图图2 陆基高光谱遥感监测系统机器学习算法检验与校正精度结果图3 陆基遥感系统捕捉到的两次浮游植物水华和对应的现场照片

2010年12月13日至17日第四期“质检系统食品检测技术能力师资力量集训班”在北京圆山大酒店举办。本次培训是落实国家质检总局关于在全系统进行检测工作整顿部署的重要组成部分，培训由国家质检总局科技司主办，中国出入境检验检疫协会承办。来自总局直属检验检疫局和各地质量技术监督局技术机构的33名学员参加了本期培训。 　　实验室技术能力培训，是贯彻落实总局“质量提升”活动总体部署、有效提升质检系统检测工作水平的一项重要工作，是总局“检测工作整顿”活动的重要组成部分，总局领导非常重视这项工作，孙大伟副局长亲自署名为食品专业培训教材作序。 　　参加本期培训的学员均为地方两局食品检测专业的管理人员和技术骨干，在实验室一线发挥着重要作用。此次培训共有11位系统内外的老师进行了授课，根据学员的要求，培训班再次邀请了北京师范大学的滕蔓博士为学员们讲解授课的技巧。课上滕蔓老师就教员的素质教学设计基本理论和实际操作方法等方面进行了讲解。 　　本次培训内容涉及食品检测仪器设备的使用，食品检测法律法规，兽药残留、农药残留、食品添加剂、食品微生物、辐照食品、转基因食品、霉菌毒素、毒理学和无机检测技术、实验室检测质量控制以及实验室建设与管理等方面。培训课上，学员们就一系列检测技术和实例等问题进行了讨论。学员们认为培训班不仅给大家在业务提高方面提供了平台，也为各地检验检疫局和质量监督检验局的同志们提供了一个难得的沟通平台,学员们呼吁这类培训能成为一项常规性安排继续下去。 　　培训课程结束后，总局科技司领导向学员分别颁发了培训证书。安排学员参观了北京出入境检验检疫局、中国检验检疫科学研究院和北京市海淀区产品质量监督检验所。

2010年12月06日至10日，第三期《质检系统食品检测技术能力师资力量集训班》在北京圆山大酒店举办。本次培训是落实国家质检总局关于在全系统进行检测工作整顿部署的重要组成部分，培训由国家质检总局科技司主办，中国出入境检验检疫协会承办。来自总局直属检验检疫局和各地质量技术监督局技术机构的37名学员参加了培训。 　　为了切实保障师资集训班的成效，总局科技司邀请了质检系统内外具有丰富实践经验和理论水准的专家担任授课教师。授课内容涉及食品检测实验室建设与管理、食品实验室生物安全、实验室临检经验 辐照食品检测技术、霉菌毒素检测技术、农药、兽药残留检测技术、转基因与基因鉴别检测技术以及食品添加剂等多方面。 　　为了有效提高学员的教学水平，本期培训邀请了北京师范大学高鸿源教授讲解有关授课技巧的相关课程。根据科技司要求，特别安排每位学员进行的10分钟的现场演讲内容涉及法规标准、检测案例、工作经验、个人专长等。根据学员的演讲内容，高教授在授课技巧、表达方式等方面对学员进行了讲评和指导。 　　培训班还开展了联谊活动，为学员们互相熟识、交流经验提供了平台，也为下一步培训工作的开展奠定了良好的基础。

一、产品介绍我国首产并有自主知识产权的气体远距离监测红外光谱仪系统，该红外监测系统可对气体远距定性、定量识别分析；可成像预警直观溯源；可在线监测、巡航、便携使用；广泛用于石油、化工、环保、安监、消防、科研等领域有毒有害气体遥测预警成像系统利用气体红外指纹光谱对气体云团进行遥感探测，通过识别软件实现对危险气体的快速定性识别和半定量反演，配合扫描云台和同轴可见-红外相机实现检测区域的扫描成像，依据气体的种类和浓度，分别以不同的颜色和深浅与可见图像或视频进行伪彩叠加，可以直观快速的核定危险气体源头、给出其在大气中的分布和扩散趋势。产品由集成了同轴相机的可见-红外相机的傅里叶红外光谱仪、扫描云台及配套的识别反演软件组成，如图 1所示。产品可以固定架设，也可采用车载方式。该检测方法与常规技术相比，具有以下特点：（1） 对现场气体远距离进行探测；（2） 不需采样，无需繁琐和危险的取样手续；（3） 检测种类多（涵盖了绝大多数易燃易爆和有毒气体种类）；（4） 自动识别气体种类、反演浓度、自动报警；（5） 快速进行危险气体源头的定点定位、核定污染范围及其在空气中的分布和扩散趋势；（6） 快速分析多组分混合物；（7）监测范围广、速度快、灵敏度高。灵敏度高，可达到ppm.m级别，检测速度快，3秒钟内给出检测结果。二、测量成分：◆ 化学毒剂：沙林（GB）、芥子气（HD）、维埃克斯（VX）、索曼（GD）、环沙林（GF）、塔崩（GA）、路易斯气（Lewisite）等；◆有害气体：二氧化硫、硫化氢、氮氧化物、一氧化碳、氯化氢、苯、甲苯、二甲苯、 苯系物、多氯联苯、砷化氢 、磷化氢、光气、氯化氰、氰化氢等200多种气体；◆挥发有机物（VOCs）；三、应 用：◆港口、海事局应用方式：高处架设或船载流动检测目的：针对进港船舶是否更换清油及排放超标的监测◆环保执法大队应用方式：高处架设或车载流动检测目的：提高环保部门针对排污企业超标排放的监测及执法技术手段◆化工园区管委会、安监局应用方式：高塔或高处架设，针对园区整体24小时监测目的：拓展政府部门对于化工园区的安全管理手段，监控偷排，防止爆燃类生产事故◆中海油、中石油、中石化应用方式：高塔或高处架设，无人车载巡检目的：防止爆燃类、中毒等生产事故◆消防大队、安监局应用方式：车载流动检测目的：火灾现场、危化品事故现场的应急处置支援，协助定性污染物种类、空气中分布及扩散趋势 创新点：用途：远距离360° 无死角扫描化工区气体泄露，覆盖从地到空的排放；可同时识别几十种气体，定性物种和定量数据可视化的输出。助力园区安全预警、泄露点快速溯源。 1、进入2017年国家重点研发计划，应急管理部“卡脖子”重大工程之一，公安部“十三五”反恐专项入选装备，军转民高科技产品，几十项专利支撑。 2、测量距离覆盖几十米到5km，无需采样，原位秒级快速测定几十种VOCs和无机有毒有害气体。 3、360度无死角大范围扫描：可实现水平360° 、仰俯 -30° ～ 45° ，1～ 5公里范围监测，空间覆盖度高。 4、可视化输出模式，助力溯源：将肉眼看不到的气体可视化，颜色表示浓度高低；自带可见光相机和红外相机，气体的图像叠加于相机图片上，使用人一眼就能看到污染排放的位置、具体物种和大致浓度，并了解扩散趋势和范围。。 5、应用场景多样：可便携、车载、船载，可连续自动和无人值守，提高工作效率。 气体监测成像预警系统

2023年9月2日，在中国仪器仪表学会组织并主持召开的科技成果鉴定会上，经由中国科学院院士江桂斌领衔的鉴定委员会认定，欧阳证教授团队研制的“即时化学检测质谱分析系统”已达国际领先水平。该成果由清华大学、北京清谱科技有限公司、清谱科技（苏州）有限公司、中国检验检疫科学研究院等4家单位联合完成。基于该成果产品化的Cell微型质谱分析系统已全球上市，并实现国内及北美市场首批销售。成果鉴定委员会由中国科学院生态环境研究中心江桂斌院士（主任委员）、北京大学刘虎威教授（副主任委员）、北方工业大学李明研究员（副主任委员）、中国科学院化学研究所聂宗秀研究员、北京理工大学徐伟教授、北京师范大学那娜教授和北京大学聂洪港高级工程师组成。本次成果鉴定会由中国仪器仪表学会科技与产业发展部项目主管王跃超主持，清华大学精密仪器系副系主任谈宜东教授向与会专家致欢迎辞，欧阳证教授为鉴定委员会专家组汇报项目工作。与会人员还包括清华大学科研院科技成果与奖励办副主任杨芳、清华大学科研院科技成果与奖励办主管陈慧以及项目组成员。会上，鉴定委员会听取了项目的工作总结、技术报告、测试报告、应用报告、效益分析报告及查新报告等，并现场考察了仪器系统。成果鉴定委员会主任委员江桂斌院士表示：在当前我国设备需求量大的前提下，小质谱具有非常广阔的前景，目前该成果已实现市场化，有人愿意花钱买便足以证明其在市场的价值。小质谱是很难做的，对清谱科技的小质谱能够取得如此成绩表示祝贺！成果鉴定委员会副主任委员刘虎威教授表示：该成果既有基础研究，又有发明专利，还有团队做应用开发，同时也基于公司进行了产业化及市场开拓，具有很好的科技意义！ 鉴定委员会其他专家在听取汇报和现场考察均表示：该成果系统性能好、外观佳、操作简便，也对产业化产品表现出了浓厚兴趣。经质询和讨论，鉴定委员会一致评价：该成果突破了小型质谱的若干技术壁垒，整体属于国际领先水平，同意该成果通过鉴定！

近日，天津市商务委提出，2010年至2012年间，天津将投资2亿元建立健全屠宰企业、批发市场、菜市场监测和检测系统，确保上市农副产品质量安全可靠。同时，完善农副产品储备体系，保障市场供应稳定。 　　天津市将在所有农副产品批发市场和菜市场建立农药残留检测系统，加强对检验检测人员的培训和管理，提高检验检测服务水平。同时，利用现代化信息技术，对屠宰行业生产加工过程进行监控，特别是对全部生猪定点屠宰企业实行远程实时监控和信息化管理，实现生产加工和销售有效监管，强化质量安全。此外，天津将实现对市场运行监测网、储备商品网、生猪屠宰网、应急商品监测网的统一监测，提高集中监测分析能力。 　　天津市还将建立蔬菜储备制度，增加牛羊肉、方便面、矿泉水、饼干等应急生活必需品的储备，增强应急调控能力。

摘要晶圆表面缺陷检测在半导体制造中对控制产品质量起着重要作用，已成为计算机视觉领域的研究热点。然而，现有综述文献中对晶圆缺陷检测方法的归纳和总结不够透彻，缺乏对各种技术优缺点的客观分析和评价，不利于该研究领域的发展。本文系统分析了近年来国内外学者在晶圆表面缺陷检测领域的研究进展。首先，介绍了晶圆表面缺陷模式的分类及其成因。根据特征提取方法的不同，目前主流的方法分为三类：基于图像信号处理的方法、基于机器学习的方法和基于深度学习的方法。此外，还简要介绍了代表性算法的核心思想。然后，对每种方法的创新性进行了比较分析，并讨论了它们的局限性。最后，总结了当前晶圆表面缺陷检测任务中存在的问题和挑战，以及该领域未来的研究趋势以及新的研究思路。1.引言硅晶圆用于制造半导体芯片。所需的图案是通过光刻等工艺在晶圆上形成的，是半导体芯片制造过程中非常重要的载体。在制造过程中，由于环境和工艺参数等因素的影响，晶圆表面会产生缺陷，从而影响晶圆生产的良率。晶圆表面缺陷的准确检测，可以加速制造过程中异常故障的识别以及制造工艺的调整，提高生产效率，降低废品率。晶圆表面缺陷的早期检测往往由经验丰富的检测人员手动进行，存在效率低、精度差、成本高、主观性强等问题，不足以满足现代工业化产品的要求。目前，基于机器视觉的缺陷检测方法[1]在晶圆检测领域已经取代了人工检测。传统的基于机器视觉的缺陷检测方法往往采用手动特征提取，效率低下。基于计算机视觉的检测方法[2]的出现，特别是卷积神经网络等神经网络的出现，解决了数据预处理、特征表示和提取以及模型学习策略的局限性。神经网络以其高效率、高精度、低成本、客观性强等特点，迅速发展，在半导体晶圆表面缺陷检测领域得到广泛应用。近年来，随着智能终端和无线通信设施等电子集成电路的发展，以及摩尔定律的推广，在全球对芯片的需求增加的同时，光刻工艺的精度也有所提高。随着技术的进步，工艺精度已达到10纳米以下[5]。因此，对每个工艺步骤的良率提出了更高的要求，对晶圆制造中的缺陷检测技术提出了更大的挑战。本文主要总结了晶圆表面缺陷检测算法的相关研究，包括传统的图像处理、机器学习和深度学习。根据算法的特点，对相关文献进行了总结和整理，对晶圆缺陷检测领域面临的问题和挑战进行了展望和未来发展。本文旨在帮助快速了解晶圆表面缺陷检测领域的相关方法和技能。2. 晶圆表面缺陷模式在实际生产中，晶圆上的缺陷种类繁多，形状不均匀，增加了晶圆缺陷检测的难度。在晶圆缺陷的类型中，无图案晶圆缺陷和图案化晶圆缺陷是晶圆缺陷的两种主要形式。这两类缺陷是芯片故障的主要原因。无图案晶圆缺陷多发生在晶圆生产的预光刻阶段，即由机器故障引起的晶圆缺陷。划痕缺陷如图1a所示，颗粒污染缺陷如图1b所示。图案化晶圆缺陷多见于晶圆生产的中间工序。曝光时间、显影时间和烘烤后时间不当会导致光刻线条出现缺陷。螺旋激励线圈和叉形电极的微纳制造过程中晶圆表面产生的缺陷如图2所示。开路缺陷如图2 a所示，短路缺陷如图2 b所示，线路污染缺陷如图2 c所示，咬合缺陷如图2d所示。图1.（a）无图案晶圆的划痕缺陷；（b）无图案晶圆中的颗粒污染。图2.（a）开路缺陷，（b）短路缺陷，（c）线路污染，以及（d）图案化晶圆缺陷图中的咬合缺陷。由于上述晶圆缺陷的存在，在对晶圆上所有芯片进行功能完整性测试时，可能会发生芯片故障。芯片工程师用不同的颜色标记测试结果，以区分芯片的位置。在不同操作过程的影响下，晶圆上会产生相应的特定空间图案。晶圆图像数据，即晶圆图，由此生成。正如Hansen等在1997年指出的那样，缺陷芯片通常具有聚集现象或表现出一些系统模式，而这种缺陷模式通常包含有关工艺条件的必要信息。晶圆图不仅可以反映芯片的完整性，还可以准确描述缺陷数据对应的空间位置信息。晶圆图可能在整个晶圆上表现出空间依赖性，芯片工程师通常可以追踪缺陷的原因并根据缺陷类型解决问题。Mirza等将晶圆图缺陷模式分为一般类型和局部类型，即全局随机缺陷和局部缺陷。晶圆图缺陷模式图如图3所示，局部缺陷如图3 a所示，全局随机缺陷如图3b所示。全局随机缺陷是由不确定因素产生的，不确定因素是没有特定聚类现象的不可控因素，例如环境中的灰尘颗粒。只有通过长期的渐进式改进或昂贵的设备大修计划，才能减少全局随机缺陷。局部缺陷是系统固有的，在晶圆生产过程中受到可控因素的影响，如工艺参数、设备问题和操作不当。它们反复出现在晶圆上，并表现出一定程度的聚集。识别和分类局部缺陷，定位设备异常和不适当的工艺参数，对提高晶圆生产良率起着至关重要的作用。图3.（a）局部缺陷模式（b）全局缺陷模式。对于面积大、特征尺寸小、密度低、集成度低的晶圆图案，可以用电子显微镜观察光刻路径，并可直接进行痕量检测。随着芯片电路集成度的显著提高，进行芯片级检测变得越来越困难。这是因为随着集成度的提高，芯片上的元件变得更小、更复杂、更密集，从而导致更多的潜在缺陷。这些缺陷很难通过常规的检测方法进行检测和修复，需要更复杂、更先进的检测技术和工具。晶圆图研究是晶圆缺陷检测的热点。天津大学刘凤珍研究了光刻设备异常引起的晶圆图缺陷。针对晶圆实际生产过程中的缺陷，我们通过设备实验对光刻胶、晶圆粉尘颗粒、晶圆环、划痕、球形、线性等缺陷进行了深入研究，旨在找到缺陷原因，提高生产率。为了确定晶圆模式失效的原因，吴明菊等人从实际制造中收集了811,457张真实晶圆图，创建了WM-811K晶圆图数据集，这是目前应用最广泛的晶圆图。半导体领域专家为该数据集中大约 20% 的晶圆图谱注释了八种缺陷模式类型。八种类型的晶圆图缺陷模式如图4所示。本综述中引用的大多数文章都基于该数据集进行了测试。图4.八种类型的晶圆映射缺陷模式类型：（a）中心、（b）甜甜圈、（c）边缘位置、（d）边缘环、（e）局部、（f）接近满、（g）随机和（h）划痕。3. 基于图像信号处理的晶圆表面缺陷检测图像信号处理是将图像信号转换为数字信号，再通过计算机技术进行处理，实现图像变换、增强和检测。晶圆检测领域常用的有小波变换（WT）、空间滤波（spatial filtering）和模板匹配（template matching）。本节主要介绍这三种算法在晶圆表面缺陷检测中的应用。图像处理算法的比较如表1所示。表 1.图像处理算法的比较。模型算法创新局限小波变换 图像可以分解为多种分辨率，并呈现为具有不同空间频率的局部子图像。防谷物。阈值的选择依赖性很强，适应性差。空间滤波基于空间卷积，去除高频噪声，进行边缘增强。性能取决于阈值参数。模板匹配模板匹配算法抗噪能力强，计算速度快。对特征对象大小敏感。3.1. 小波变换小波变换（WT）是一种信号时频分析和处理技术。首先，通过滤波器将图像信号分解为不同的频率子带，进行小波分解 然后，通过计算小波系数的平均值、标准差或其他统计度量，分析每个系数以检测任何异常或缺陷。异常或缺陷可能表现为小波系数的突然变化或异常值。根据分析结果，使用预定义的阈值来确定信号中的缺陷和异常，并通过识别缺陷所在的时间和频率子带来确定缺陷的位置。小波分解原理图如图5所示，其中L表示低频信息，H表示高频信息。每次对图像进行分解时，图像都会分解为四个频段：LL、LH、HL 和 HH。下层分解重复上层LL带上的分解。小波变换在晶圆缺陷特征的边界处理和多尺度边缘检测中具有良好的性能。图5.小波分解示意图。Yeh等提出了一种基于二维小波变换（2DWT）的方法，该方法通过修正小波变换模量（WTMS）计算尺度系数之间的比值，用于晶圆缺陷像素的定位。通过选择合适的小波基和支撑长度，可以使用少量测试数据实现晶圆缺陷的准确检测。图像预处理阶段耗费大量时间，严重影响检测速度。Wen-Ren Yang等提出了一种基于短时离散小波变换的晶圆微裂纹在线检测系统。无需对晶圆图像进行预处理。通过向晶圆表面发射连续脉冲激光束，通过空间探针阵列采集反射信号，并通过离散小波变换进行分析，以确定微裂纹的反射特性。在加工的情况下，也可以对微裂纹有更好的检测效果。多晶太阳能硅片表面存在大量随机晶片颗粒，导致晶圆传感图像纹理不均匀。针对这一问题，Kim Y等提出了一种基于小波变换的表面检测方法，用于检测太阳能硅片缺陷。为了更好地区分缺陷边缘和晶粒边缘，使用两个连续分解层次的小波细节子图的能量差作为权重，以增强每个分解层次中提出的判别特征。实验结果表明，该方法对指纹和污渍有较好的检测效果，但对边缘锋利的严重微裂纹缺陷无效，不能适用于所有缺陷。3.2. 空间过滤空间滤波是一种成熟的图像增强技术，它是通过直接对灰度值施加空间卷积来实现的。图像处理中的主要作用是图像去噪，分为平滑滤镜和锐化滤镜，广泛应用于缺陷检测领域。图6显示了图像中中值滤波器和均值滤波器在增加噪声后的去噪效果。图6.滤波去噪效果图：（a）原始图像，（b）中值滤波去噪，（c）均值滤光片去噪。Ohshige等提出了一种基于空间频率滤波技术的表面缺陷检测系统。该方法可以有效地检测晶圆上的亚微米缺陷或异物颗粒。晶圆制造中随机缺陷的影响。C.H. Wang提出了一种基于空间滤波、熵模糊c均值和谱聚类的晶圆缺陷检测方法，该方法利用空间滤波对缺陷区域进行去噪和提取，通过熵模糊c均值和谱聚类获得缺陷区域。结合均值和谱聚类的混合算法用于缺陷分类。它解决了传统统计方法无法提取具有有意义的分类的缺陷模式的问题。针对晶圆中的成簇缺陷，Chen SH等开发了一种基于中值滤波和聚类方法的软件工具，所提算法有效地检测了缺陷成簇。通常，空间过滤器的性能与参数高度相关，并且通常很难选择其值。3.3. 模板匹配模板匹配检测是通过计算模板图像与被测图像之间的相似度来实现的，以检测被测图像与模板图像之间的差异区域。Han H等从晶圆图像本身获取的模板混入晶圆制造工艺的设计布局方案中，利用物理空间与像素空间的映射，设计了一种结合现有圆模板匹配检测新方法的晶圆图像检测技术。刘希峰结合SURF图像配准算法，实现了测试晶圆与标准晶圆图案的空间定位匹配。测试图像与标准图像之间的特征点匹配结果如图7所示。将模式识别的轮廓提取技术应用于晶圆缺陷检测。Khalaj等提出了一种新技术，该技术使用高分辨率光谱估计算法提取晶圆缺陷特征并将其与实际图像进行比较，以检测周期性2D信号或图像中不规则和缺陷的位置。图7.测试图像与标准图像之间的特征点匹配结果。下接：晶圆表面缺陷检测方法综述【下】