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物理气相沉积

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  • 【原创大赛】薄膜的物理气相沉积——溅射法

    【原创大赛】薄膜的物理气相沉积——溅射法

    溅射制膜的过程:气体辉光放电、等离子体、靶、溅射、沉积到衬底(一)与蒸发法相比,溅射沉积的主要特点:①沉积原子能量高,因此薄膜的组织更致密,附着力也可以得到明显改善;②制备合金膜时,其成分的控制性能好;③靶材可以是极难熔的材料;④可利用反应溅射技术,从金属无素靶材制备化合物薄膜;⑤由于被沉积的原子均携带有一定的能量,因而有助于改善薄膜对于复杂形状表面的覆盖能力,降低薄膜表面的粗糙度。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151100_555534_2989334_3.jpghttp://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif(二)溅射沉积分类主要的溅射方式可以根据其特征分为四种:(1)直流溅射;(2)射频溅射;(3)磁控溅射;(4)反应溅射。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151102_555536_2989334_3.jpg图1 不同溅射方法的靶电流密度和靶电压的比较http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif(1)直流溅射直流溅射又称为阴极溅射或二极溅射图2直流溅射沉积装置示意图,其典型的溅射条件为:工作气压10Pa,溅射电压3000V,靶电流密度0.5mA/cm2,薄膜的沉积速率低于0.1μm/min直流溅射过程中常用Ar作为工作气体。工作气压是一个重要参数,它对溅射速率以及薄膜的质量都有很大影响直流溅射设备的优点和缺点:优点:简单缺点:使用的气体压力高,溅射速率较低,这不利于减小气氛中的杂质对薄膜的污染以及溅射效率的提高。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151105_555538_2989334_3.jpg图2直流溅射沉积装置示意图http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif(2 )射频溅射直流溅射要求靶材有较好的导电性,可以很大方便地沉积各类合金膜。对于导电性很差的非金属材料的溅射,我们需要一种新的溅射方法—射频溅射。射频溅射是适于各种金属和非金属材料的一种溅射沉积方法射频场对于靶材的自偏压效应。在衬底或薄膜本身是绝缘体的情况下,采取对其施加一个射频电压的方法,也可以起到对其施加负偏压的作用。(3)磁控溅射相对于蒸发沉积来说,一般的溅射沉积方法具有两个缺点。第一,溅射方法沉积薄膜的沉积速度较低;第二,溅射所需的工作气压较高 这两个缺点的综合效果是气体分子对薄膜产生污染的可能性较高。而磁控溅射技术:沉积速度较高,工作气体压力较低。工作原理:磁场对电弧运动有一定的约束作用(绕磁场螺旋前进);(1)电子的电离效率高,有效提高了靶电流密度和溅射效率,(2)较低气压下溅射原子被气体分子散射的几率较小(三)气体放电是离子溅射过程的基础(1)首先介绍直流电场作用下的物质的溅射现象预抽真空,充入适当压力的惰性气体,如Ar气,10-1~10Pa;在正负电极间外加电压的作用下,电极间的气体原子将被大量电离;Ar—→Ar++e,Ar+被电场加速后射向靶材,撞击出靶材原子(分子),靶材原子脱离靶时仍具有一定能量,飞向衬底,电子被电场加速飞向阳极;http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151107_555542_2989334_3.jpg图3直流气体放电体系模型及伏安特性曲线http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif电压进一步增大,发生极板两端电压突然降低,电流突然增大,并同时出现带有颜色的辉光,此过程称为气体的击穿;击穿后气体的发光放电称为辉光放电;这时电子和正离子是来源于电子的碰撞和正离子的轰击,即使自然游离源不存大,放电也将继续下去。而且维持辉光放电的电压较低,且不变,此时电流的增大显然与电压无关,而只与阴极板上产生辉光的表面积有关;正常辉光放电的电流密度与阴极材料和形状、气体种类和压强有关;由于正常辉光放电时的电流密度仍比较小,所以在溅射方面均是选择在非正常辉光放电区工作。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151110_555543_2989334_3.jpg图4示意性地画出了在离子轰击条件下,固体表面可能发生的物理过程http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/07/201507151111_555544_2989334_3.jpg图5所示,不同能量离子与固体表面相互作用的过程不同当离子入射到靶材上时,对于溅射过程来说,比较重要的过程有两个:其一是物质的溅射;其二是二次电子发射:二次发射电子在电场作用下获得能量,进而参与气体分子的碰撞,并维持气体的辉光放电过程。http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gifhttp://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif (四)合金的溅射和沉积用溅射法沉积合金膜,比蒸发法易于保证薄膜的化学配比;溅射过程中入射离子与靶材之间有很大的能量传递。因此,溅射出的原子将从溅射过程中获得很大的动能,其数值一般可以达到5~20eV;一方面,溅射原子具有很宽的能量分布范围,其平均能量约为10eV左右;另一方面,随着入射离子能量的增加,溅射离子的平均能量也有上升的趋势;溅射过程还会产生很少的溅射离子,它们具有比溅射出来的原子更高的能量。能量较低的溅射离子不易逃脱靶表面的鞘层电位的束缚,将被靶表面所俘获而不能脱离靶材;由蒸发法获得的原子动能一般只有0.1eV,两者相差两个数量级;在溅射沉积中,高能量的原子对于衬底的撞击一方面提高了原子自身在薄膜表面的扩散能力,另一方面也会引起衬底温度的升高。

  • 【转帖】关于 “请教:电镀和电沉积有什么区别?” 的讨论

    请教:电镀和电沉积有什么区别?1电镀是在直流电场的作用下,在电解质溶液(镀液)中由阳极和阴极构成回路,使溶液中的金属离子沉积到阴极镀件表面上的过程。 电镀目的 是在基材上镀上金属镀层(deposit),改变基材表面性质或尺寸。例如赋予金属表面的光泽美观、物品防锈、防止磨耗;提高导电度、润滑性、强度、耐热性、耐候性;热处理的防渗碳、氮化;尺寸或磨耗的零件修补。 电沉积(析出) 在被涂工件表面,阳离子树脂与阴极表面碱性作用,中和而析出不沉积物,沉积于被涂工件上。 2不同意楼上对电沉积的解释其实,电镀和电沉积可以认为是一回事,用英文表示分别为electroplating 和electrodeposition 3个人感觉电沉积所包含的范围要宽一些电沉积不一定要有化学变化,可能只是物理吸附 4我觉得1楼对电镀解释得比较清楚,电镀是电沉积的一类,比如电沉积聚合物膜,这里一般不用电镀聚合物膜 5谢谢各位,我是不是可以这样理解,电镀一般是沉积金属膜,电沉积范围宽一些,可以沉积聚合物膜之类的。 6我个人认为,电沉积可以是阳极电沉积和阴极电沉积,而电镀只是阴极电沉积.就如楼上所说,电沉积的范围很广,只的是通过电化学过程沉积金属或非金属或高分子等. 7我觉得电镀这个词一般应用在应用和工业研究上,且大多指阴极过程;而电沉积则较多的用在基础研究上。 8我认为没有区别,都是一回事,叫法不一样而已。 9大家说得都很好。我也简单说几句:电沉积是一个大概念,凡是用外加电流,通过电子得失在电极上得到所需物质的都可称作电沉积。如:阴极,阳极电泳,得到的沉积粒子(有机高分子聚合物)---电泳漆;金属的离子或络离子由水溶液(也有有机溶液)中通过电流在阴极析出得到该金属或合金粒子---电镀层;某些金属或合金,如铝合金在硫酸溶液中通过电流由阳极得到氧化膜---阳极氧化;另外,还有用交流电对某些金属氧化膜进行处理---电解着色;以及熔融冰晶石中电解得铝---电冶炼。因此电镀归属于电沉积范畴,如同油漆归属于涂料一样。

  • 【求助】气相沉积PECVD技术

    Vertical in line continueous system [url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]沉积PECVD美国的一种[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]沉积PECVD技术,谁知道这个技术和平板PECVD技术是什么关系?

  • 【求助】气相沉积PECVD技术

    Vertical in line continueous system [url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]沉积PECVD美国的一种[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]沉积PECVD技术,谁知道这个技术和平板PECVD技术是什么关系?

  • 【金秋计划】+海洋沉积物检测常规指标有哪些?

    [back=linear-gradient(to right, rgba(111, 75, 250, 0.12), rgba(111, 75, 250, 0.12)) center bottom / 100% 12px no-repeat]海洋沉积物检测常规指标[/back]主要包括以下几类: 重金属:包括铜、铅、锌、镉、铬、汞、砷等,这些重金属是常见的污染物,对海洋生物和人类健康构成威胁。 石油类:石油污染是海洋污染的一个重要来源,包括石油烃等。 DDT和多氯联苯:这些有机污染物对海洋生态系统有长期影响。 硫化物和有机碳:这些指标反映了沉积物的有机污染程度。 粒度:沉积物的粒度分布对其物理性质和生态功能有影响。 总磷和总氮:这些指标反映了沉积物的营养化程度,过高的磷和氮含量可能导致富营养化问题。 色(嗅、结构)、大肠菌群、粪大肠菌群、病原体:这些指标反映了沉积物的卫生状况,对人类健康有影响。 氧化还原电位:反映了沉积物的氧化还原状态,对沉积物中的生物和化学反应有影响。 此外,根据不同的监测目的,还可能包括其他特定的监测项目和时间频次。例如,近岸海洋沉积物的例行监测中,除了上述常规指标外,还包括总磷、总氮等必测项目,以及选测项目如废弃物、色(嗅、结构)、大肠菌群、粪大肠菌群、病原体、氧化还原电位、沉积物类型等。这些指标的选择和监测频率的确定,旨在全面评估海洋沉积物的质量状况,以及其对海洋环境和人类健康的影响。

  • 电沉积装置那里有卖的?

    我现在在做电沉积实验,要将一种重金属沉积到不锈钢盘上,再进行测量。现在用的是恒电压恒电流仪加上一个简易电沉积装置,装置太简陋,只是一个塑料瓶,加上一根铂金丝做阳极,沉积效率和均匀度较差。想购买一套成品的电沉积装置,在网上只找到EDP7000和EDP9002两套装置,太贵了。有没有别的厂家的,大家给推荐下吧,。

  • 【金秋计划】+地质沉积物的分类方法有哪些?

    地质沉积物是地球表面岩石圈中岩石经过风化、侵蚀、搬运、沉积和成岩等作用形成的一类岩石。根据不同的分类原则,地质沉积物可以分为不同的类型。以下是一些常见的分类方法: 1. 按沉积物类型分类:可以将沉积物分为砾岩、砂岩、泥岩、石灰岩、白云岩、煤等。 2. 按沉积物颗粒大小分类:可以将沉积物分为巨砾、粗砾、中砾、细砾、粉砂、粘土等。 3. 按沉积物结构分类:可以将沉积物分为碎屑结构、泥质结构、生物结构、化学结构等。 4. 按沉积物沉积环境分类:可以将沉积物分为河流相沉积物、湖泊相沉积物、海相沉积物、冰川相沉积物等。 5. 按沉积物成岩作用分类:可以将沉积物分为残余沉积物、胶结沉积物、化学沉积物、生物沉积物等。 6. 按沉积物时代分类:可以将沉积物分为前寒武纪沉积物、古生代沉积物、中生代沉积物、新生代沉积物等。 这些分类方法并不是互相独立的,我们可以根据研究目的和需求,综合运用多种分类方法对沉积物进行分类和研究。

  • 【金秋计划】+沉积物的分类依据是什么?

    [back=linear-gradient(to right, rgba(111, 75, 250, 0.12), rgba(111, 75, 250, 0.12)) center bottom / 100% 12px no-repeat]沉积物的分类依据主要包括粒度大小、成分、结构、沉积环境和成岩作用。[/back] 1、粒度大小:沉积物的粒度大小是一个重要的分类依据,根据粒度大小,沉积物可以分为砾岩、砂岩、粉砂岩和粘土岩等。砾岩主要由大于2mm的碎石组成,砂岩由2mm至0.06mm的砂粒组成,粉砂岩由0.06mm至0.004mm的颗粒组成,而粘土岩则由小于0.004mm的黏土矿物组成。 2、成分:沉积物的成分也是分类的重要依据。例如,根据沉积岩的原始物质成分来源,可以将沉积岩分为主要由母岩风化产物组成的沉积岩、主要由火山碎屑物质组成的沉积岩和主要由生物遗体组成的沉积岩。 3、结构:沉积物的结构特征也是分类的一个方面。例如,根据结构特征,可以将沉积岩分为碎屑岩、化学岩等。碎屑岩根据粒度进一步细分为砾岩、砂岩、粉砂岩和粘土岩。化学岩则根据主要成分特征分为碳酸盐岩、硫酸盐岩、卤化物岩、硅岩等。 4、沉积环境:沉积物的形成环境,即沉积相,也是分类的一个重要依据。沉积相主要指的是沉积物的生成环境,可以简单理解为沉积物的沉积地点。例如,陆相包括沙漠相、冰川相、河流相、湖泊相、沼泽相、洞穴相等,海相包括浅海相、深海相等。[size=12px][color=#a0c000][back=rgba(223, 223, 245, 0.4)] [/back][/color][/size]5、成岩作用:成岩作用也是沉积物分类的一个方面。例如,根据成岩作用,可以将沉积物分为残余沉积物、胶结沉积物、化学沉积物、生物沉积物等。

  • 【求购】化学气相沉积仪器

    实验室需要购买化学[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]沉积(CVD)设备,三路气体,双温区,正规厂家可以和我联系。xiufang-qin@163.com。谢谢

  • 德国REIPO清洁抛光膏适于清洁塑料沉积物

    德国REIPO清洁抛光膏是一款专为多种材料表面清洁与抛光设计的优质产品,其在清洁塑料沉积物方面表现出色。以下是对该产品在清洁塑料沉积物方面的详细介绍: 一、产品概述 REIPO清洁抛光膏源自德国RC Kalle公司,该公司以其在清洁产品领域的卓越技术和高品质产品而闻名。REIPO清洁抛光膏凭借其高效的清洁能力和广泛的适用性,成为工业生产及日常维护中不可或缺的工具。该产品不仅能够深入清洁各种材料表面的污垢,还特别擅长处理塑料沉积物。 二、清洁塑料沉积物的优势 高效去除:REIPO清洁抛光膏能够迅速分解并去除塑料表面的沉积物,包括油脂、灰尘、指纹以及其他顽固污渍。其独特的配方能够渗透到沉积物与塑料表面的微小缝隙中,实现深度清洁。 保护表面:在清洁过程中,REIPO清洁抛光膏不会对塑料表面造成损害。相反,它能够在清洁的同时形成一层保护膜,防止未来更多的沉积物附着在塑料表面。 广泛适用性:无论是小型塑料部件还是大型塑料制品,REIPO清洁抛光膏都能提供有效的清洁解决方案。此外,它还适用于多种类型的塑料材料,如聚乙烯、聚丙烯、PVC等。 易于使用:用户只需将适量的REIPO清洁抛光膏涂抹在塑料表面,然后使用软布、海绵或专用清洁工具进行擦拭即可。对于较大的沉积物或难以触及的区域,可使用刷子或刮刀进行预处理。 三、使用方法 准备阶段:确保塑料表面无大颗粒杂质和严重污垢。对于较大的沉积物,建议先使用物理方法(如刮刀)进行预处理。 涂抹抛光膏:将适量的REIPO清洁抛光膏均匀涂抹在塑料表面。注意控制用量,避免浪费。 清洁操作:使用软布、海绵或专用清洁工具在涂抹了抛光膏的塑料表面进行擦拭。对于难以触及的区域,可使用刷子或细长的清洁棒进行清洁。 清洗残留:清洁完成后,使用清水或专用清洗剂将塑料表面的抛光膏残留物彻底清洗干净。然后用干净的软布擦干表面。 四、注意事项 在使用REIPO清洁抛光膏时,请确保通风良好,避免长时间吸入产品挥发的气味。 请勿将产品接触眼睛或皮肤。如不慎接触,请立即用大量清水冲洗,并寻求医疗帮助。 请将产品存放在阴凉干燥处,避免阳光直射和高温环境。 对于特别敏感或珍贵的塑料制品,建议在使用前先进行小范围测试,以确保不会对塑料表面造成损害。 综上所述,德国REIPO清洁抛光膏在清洁塑料沉积物方面表现出色。其高效的清洁能力、对塑料表面的保护以及广泛的适用性使其成为工业生产及日常维护中不可或缺的工具。

  • 关于海洋沉积物粒度分析

    关于海洋沉积物粒度分析

    [img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/02/202002111023351252_8026_3568920_3.jpg!w690x517.jpg[/img]《海洋调查规范第8部分:海洋地质地球物理调查》中6.3沉积物粒度分析:表3中内检数、校正系数、平均粒径、分选系数均是什么意思。其中0.4φ、0.3φ是0.4乘以φ还是0.4粒径下的数值。

  • 【金秋计划】+海洋沉积物样品采集注意事项

    [font=微软雅黑, &][color=#1f1f1f]1.选择采样位置:选择合适的采样位置非常重要。应根据研究目的和采样需求,在选择采样点时 考虑水深、地理位置、海底地貌、沉积物类型等因素。同时,还需避免人类活动和 污染源附近的采样点,以保证样品的代表性和准确性。 2.采用适当的采样设备:根据不同的沉积物类型和采样深度,选择适当的采样设备。例如,对于浅水区 域的表层沉积物,可以使用手持式沉积物采样器;对于深水区域或需要获取较深层 样品的情况,可以使用多管取样器、大型岩心钻探设备等。 3.保持样品的完整性:在采样过程中,要尽量保持样品的完整性,避免样品受到外界污染或物理损伤。 采样设备和容器应事先清洁,并在采样前彻底漂洗,以避免可能的交叉污染。 4.采样前后的防护措施:在采样前后,必须采取适当的防护措施来保护采样人员和样品的安全。例如, 在采样过程中佩戴手套、口罩和防护眼镜,避免直接接触样品;采样后,对设备和 容器进行消毒处理,以减少潜在的生物风险。 5.标注样品信息:在采样过程中,要及时标注样品信息,包括采样位置、日期、采样深度等重要 参数。此外,还可以记录其他相关信息,如水体温度、盐度、溶解氧等环境因素, 以便后续的数据分析和研究。 6.保存和运输样品:采集的海洋沉积物样品应尽快储存和运输到实验室进行分析。在储存过程中, 要注意样品的密封性和干燥性,以避免样品发生化学或生物反应。在运输过程中, 应选择合适的容器和包装材料,确保样品在运输过程中不受损失。 7.现场安全和环境保护: 在进行海洋沉积物样品采集时,要注意现场的安全和环境保护。遵守相关的安 全规定和程序,确保采样人员的人身安全;同时,尽量减少对海洋生态系统的干扰, 避免破坏珊瑚礁、海草床等敏感生态环境。[/color][/font]

  • 【求助】沉积合金时电流变化

    我用恒电位沉积合金时,有时候电流会很快降为零,然后就只能沉积单一金属。但有时候不会降为零,更多的是恒定在一个范围内,这时做出的是合金。我想请教一下大家,为什么有时候会降为零啊

  • 【金秋计划】+沉积物类型有哪些?

    ?沉积物的类型包括但不限于残积物、重力堆积物、坡积物、洪积物、冲积物、湖泊沉积物、沼泽沉积物、海洋沉积物、地下水沉积物、冰川沉积物、风成沉积物、生物沉积物、人工堆积物等。 沉积物是地质学中的一个重要概念,指的是任何可以由流体流动所移动的微粒,并最终成为在水或其他液体底下的一层固体微粒。沉积作用即为混悬剂的沉降过程。根据沉积物的成因而划分的类型,常见的成因类型包括残积物、重力堆积物、坡积物、洪积物、冲积物、湖泊沉积物、沼泽沉积物、海洋沉积物、地下水沉积物、冰川沉积物、风成沉积物、生物沉积物和人工堆积物等。此外,火山碎屑沉积物也是一种特殊的成因类型。 具体来说,湖泊沉积物根据湖水的矿化度可划分为淡水湖沉积物与咸水湖沉积物;海洋沉积物则包括远洋粘土沉积、钙质生物沉积和硅质生物沉积等;冰川沉积物和风成沉积物则是冰川和风力作用下的产物。这些不同类型的沉积物反映了不同的地质过程和环境条件,对于研究地球的历史和演变具有重要意义。 此外,深海沉积物主要分布在大陆边缘以外的大洋盆地内,主要由海洋生物遗骸、自生沉积、风成尘、宇宙尘、火山灰、陆源黏土胶体和冰筏碎屑组成。深海沉积物的类型包括生源沉积物和非生源沉积物,其研究对于海底自生矿产资源的探索以及古海洋学、古气候学的发展具有重要意义。

  • 海洋沉积物/土壤和沉积物-硫化物

    ①:请问海洋沉积物与土壤底泥的硫化物测定中,用的标液是购买的,并且标明溶剂是0.1%氢氧化钠(即用于水质分析的标液),在海洋沉积物/土壤/底泥中是否适用?②:海洋沉积物的硫化物标准使用液怎么稀释?标准GB 17378.5没有具体说明

  • 沉积物油类的测定

    请问有没有做海洋沉积物的朋友,GB17378.5-2007中13.2油类的测定,有个萃取效率系数的测定,要用到已风干的未受油沾污的沉积物样品,这个能买得到吗,还是自己能自制的,初次接触沉积物,望有经验的朋友多多指教

  • 沉积物采样依据

    HJ/T166-2004中适用范围没有沉积物。湖库、河流沉积物大家采样依据用的是哪个方法。

  • 请教关于电化学沉积的问题

    电沉积总共有哪几种方法啊?控制一定的电流密度,沉积一定的时间,这种电沉积方式是什么电化学方法实现的?恳求各位大侠伸出援助之手

  • 海洋沉积物油测定

    请问有没有做海洋沉积物的朋友,GB17378.5-2007中13.2油类的测定,有个萃取效率系数的测定,要用到已风干的未受油沾污的沉积物样品,这个能买得到吗,还是自己能自制的,初次接触沉积物,望有经验的朋友多多指教

  • 沉积物测PFASs,求助

    没有用过这台仪器,也没测过有机。我想请问一下我要测沉积物中的PFASs,文献上说在测的时候所有的容器都要用甲醇润洗,请问一下甲醇润洗之后还要用纯水清洗吗?

  • 【求助】请问:沉积物样品的处理方法

    我现在要采用Tessier的顺序萃取法对沉积物样品进行形态分析,可是我的样品是湿样,我不想把它经过烘干的处理变成干样,所以想请问大家,怎么对湿样直接进行处理? 谢谢啦!!!

  • 【讨论】求助-沉积物中农残的前处理

    最近单位准备扩充项目,分给本人是沉积物中的有机磷残留。因为有机磷易于分解,不知如何处理。本人想用真空干燥,再用有机溶剂(二氯甲烷-丙酮;乙腈等)萃取,再过固相萃取小柱,不知道是否合适。沉积物中的残留以前很少做,特向各位高手请教:合适的样品前处理;样品净化方式(包括小柱类型等),祝大家虎年万事如意。

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