一, Z030 音圈电机模组运动台Z030 音圈电机模组运动台Z030 音圈电机模组运动台,Z030 音圈电机模组运动台通用参数特点音圈电机设计提供更高动态表现多个可调节配重选项高刚性，交叉滚柱导轨导向精度高，精准定位技术参数型号Z030行程30mm运动分辨率 *120nm装载质量 *3 1-4.4kg最大加速度 *21g最大速度 *2100mm/s精度1.0μm重复定位精度(3σ)0.5μm直线度2μm *1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计，可实现不同的运动分辨率。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计，可实现不同的速度和加速度。*3 装载质量范围根据配重弹簧选择。*4 欢迎与工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。尺寸图二,Z010 音圈电机模组 运动台 Z010运动台Z010 音圈电机模组 运动台,Z010 音圈电机模组 运动台通用参数特点 音圈电机设计提供更高动态表现 多个可调节配重选项 高刚性，交叉滚柱导轨 导向精度高，精准定位技术参数型号Z010行程10mm运动分辨率 *120nm装载质量 *3 1-4.4kg最大加速度 *21g最大速度 *2100mm/s精度1.0μm重复定位精度(3σ)0.5μm直线度2μm *1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计，可实现不同的运动分辨率。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计，可实现不同的速度和加速度。*3 装载质量范围根据配重弹簧选择。*4 欢迎与工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。型号示例Z010-AA-CB10-C01系列行程光栅尺类型编码器输出电缆输出Z010: 10AA: Sin/CosCBxx: 参考平衡弹簧选择指南C01: 1m Cable三, XYT450 精密运动系统XYT450 精密运动系统XYT450 精密运动系统,XYT450 精密运动系统通用参数产品特点直线电机驱动，速度 1m/s，最大加速度 2g 高刚性滚柱导轨，10kg 承载 高精度光栅尺反馈，亚微米级分辨率 全封闭防尘设计（无尘拖链）型号XYT450M轴XYT行程450mm450mm360负载110kg定位精度3um3um重复定位精度(3σ)2um2um±3arcsec运动分辨率2100nm100nm0.0005deg最大速度31000mm/s1000mm/s最大加速度32g1g水平方向直线度3um3um径跳10um竖直方向直线度3um3um轴跳10umXY正交10arcsec平台质量约1000kg*1 欢迎与厂家工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。*2 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率。 *3 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度。 *XYT450 精密运动系统可定制 Z 轴、基座等四,XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台,XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台通用参数型号XC050BS行程50mm运动分辨率 10.2um重量 36.5kg最大加速度 20.1g最大速度 250mm/s精度典型值（保证值)±0.5(±1.5)um重复定位精度(3σ)典型值（保证值)±0.3(±1.0) um水平方向直线度典型值（保证值)±0.5(±1)um垂直方向直线度典型值（保证值）±0.5(±1.5) um*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。*3 欢迎与工程师团队交流具体参数要求，优化高精密运动平台设计。五,MC025 可堆叠式运动台MC025 可堆叠式运动台MC025 可堆叠式运动台,MC025 可堆叠式运动台通用参数型号MC025行程25mm运动分辨率 150nm重量600g最大加速度 20.5g最大速度 2200mm/s精度典型值（保证值）±0.1（±0.25)um重证复定位精度(3o)典型值（保证值)±0.1（±0.2)um水平方向直线度典型值（保值）±0.1（土0.4)um垂直方向直线度典型值（保证值)±0.15(土0.4) um*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。 *2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。六,IXY100CA 双轴中空运动平台IXY100CA双轴中空运动平台IXY100CA 双轴中空运动平台,IXY100CA 双轴中空运动平台通用参数 技术参数型号IXY100CA行程100mm精度1.0μm重复定位精度(3σ)0.5μm运动分辨率 *1AA: 10nmDS: 200nm最大速度 *2200mm/s最大加速度 *20.5g水平方向直线度2μm垂直方向直线度2μm偏航角15μrad俯仰角50μrad装载质量 *310kg *1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。七,美国 dataray M-Squared M2测量系统 M2DU系列DataRay基于模块化的系统为用户提供了灵活性很强的M2 测量系统。支持选择最佳 M2 测量配置：基于相机或基于狭缝扫描的系统、镜头可选择50或 200毫米长平移台。dataray M-Squared M2测量系统 M2DU系列,dataray M-Squared M2测量系统 M2DU系列通用参数为什么关心 M2 它是激光器或激光系统的交付质量保证或验收标准。您需要了解为什么实际“聚焦”的激光光斑直径比计算预测的要大。您需要测量 M2，和/或有人给您一份 ISO 11146 标准。因为 M2 是通过良好光学系统传播的激光束的不变属性。 因此，M2 可用于描述该光学系统中任意点的光束。 （*光学系统既不会扭曲也不会缩短光束。）M2 或光束质量因子是一个无量纲参数，用于表征实际激光束的缺陷程度。 M2 的值越低，光束可以越紧密地聚焦到一个小点上。 良好的 TEM00 光束的 M2 = 1。没有任何激光束是“wan美的”。 激光腔、激光介质和/或输出/辅助光学器件的局限性意味着大多数光束不是教科书中描述的衍射限制、高斯分布、纯TEM00 模式。 复杂光束包含多种增加M2的因素。 即使是“理想的”的实验室氦氖激光器的M2大约1.05 到1.2，而不是“wan美”TEM00 光束的1.0。简单的 M2 可以定义为： 实际光束的发散度与具有相同腰部直径的理论衍射极限光束的发散度之比。M2 = (Θ/θ) 其中 Θ是实际光束的实测远场全角发散角，θ是“wan美”TEM00 高斯光束的理论远场发散角，其束腰直径与被测光束。DataRay 提供成像相机和狭缝扫描系统来测量M2、发散度、光束轮廓、光束位置、瑞利范围等。&fnof BeamR'2 和 WinCamD 轮廓相机结合线性平台移动，通过束腰位置以执行符合 ISO 11146 的测量。&fnof BeamMap2 通过多平面扫描系统提供实时 M2。移动平台上符合 ISO 11146 标准的单平面测量系统ISO 11146 标准要求测量光束腰部的多个平面 (≥5) 和远场中的多个平面 (≥5) 的二次矩光束直径。 在大多数情况下，这需要单个平面光束分析仪通过一个Z平台沿传播轴移动。DataRay 基于模块化的系统为用户提供了 灵活性很强的M2 测量。 电子表格支持选择最佳 M2 测量配置：基于相机或基于狭缝扫描的系统、镜头选择50 或 200 毫米长平移台。WinCamD&trade 相机提供最灵活的成像系统，可以在脉冲和连续波束上测量非常广泛的 M2。 波长从 190 nm 到 1350 nm，传感器尺寸为 11.3 x 11.3 mm，像素尺寸小至 3.2 µ m。 Beam’R2&trade 是一种高分辨率 (0.1 µ m) 单平面扫描系统，具有从 190 nm 到 2.5 µ m 的多种波长选项以及用于测量 M2、发散度、瑞利范围等的配置选项。M2DU-50 和 -200平台 分辨率 1 µ m DataRay 软件控制 符合 RoHS 和 CE 标准实时 M2 (Real-time M2)BeamMap2&trade 是一种高分辨率 (0.1 µ m) 多 z 平面 XYZθθ 测量系统，可实时测量 M2、校准、发散和束腰位置和尺寸。 BeamMap2 有两个版本，涵盖狭缝平面分离 d 选项为 50、100、250、500 或 750 µ m 的聚焦光束。 ColliMate&trade 版本涵盖接近准直的光束，平面间距为 5mm。BeamMap2 操作原理带有多个 XY 狭缝对的磁盘 ['puck'] 围绕平行于 z 轴的轴旋转，这符合 ISO 11146 标准的正交线性扫描要求。狭缝在聚焦区域中以 z 轴方向的多个平面中精确校准。狭缝放置在与局部径向方向的 ±45° 处。 有效狭缝宽度比实际狭缝宽度大 2 倍。M2测量系统相机系统WinCamD-LCM4WinCamD-UCD seriesBeam’R2&trade BeamMap2&trade -190-355√√355-1100√√355-1350√√扫描系统 单平面模型多平面 实时 M2型号1190-800√BR2-Si√BMS2-Si-XXX800-1800√BR2-IGA√BMS2-IGA-XXX800-2500√BR2-IGA2.5√BMS2-IGA-2.5-XXX1 不同的狭缝/平面配置可能有多个型号。 请咨询筱晓上海光子销售工程师确认选择范围：订购信息 镜头选择模型描述LNZ-UV-Focal Length 190-380 nm可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片LNZ-VIS-Focal Length 400-800 nm可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片LNZ-NIR- Focal Length 650-1050 nm可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500,750,1000 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片LNZ-TEL- Focal Length 1050-1620 nm 1可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500,750,1000 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片 相机/扫描系统模型描述相机S-WCD-LCM4完整的全局 CMOS 光束分析相机和配件 USB 3.0，1” 传感器，5.5 µ m 像素S-WCD-UCD23完整的全局 CCD 系列光束分析相机和配件 USB 2.1、2/3” 传感器、6.5 µ m 像素S-WCD-UCD15完整的全局 CCD 系列光束分析相机和配件 USB 2.1、1/1.8” 传感器、4.4 µ m 像素S-WCD-UCD12完整的全局 CCD 光束分析相机和附件 USB 2.1、1/2” 传感器、4.65 µ m 像素S-WCD-UHR完整的 CMOS 光束分析相机和配件 USB 2.1、1/2” 传感器、5.2 µ m 像素S-WCD-XHR完整的 CMOS 光束分析相机和配件 USB 2.1、1/2” 传感器、3.2 µ m 像素平台M2DU-WCD-50M2 线性平台，2.5 µ m 步长，50 mm 行程，用于相机M2DU-WCD-200M2 线性平台，2.5 µ m 步长，200 mm 相机行程狭缝扫描系统S-BR2-Beam’R2 扫描系统 - 选择 Si、IGA 或 IGA2300S-BMS2完整的 BeamMap2 系统 - 选择 Si、IGA 或 Ext IGA2300 无需平台StageM2DU-BR2用于 BR2 扫描系统的线性平台 配件IC仪表盒，包含客户自定义配置的泡沫单元ND 衰减片全系列 ND 衰减片，包括我们新的 MagND 衰减片，可快速更换OD数 0.5、1.0、2.0、3.0、4.0、5.0八,IXY 系列双轴高精密运动平台优秀的高精密运动台设计: IXY系列高精密运动平台优化了高刚性和高动态性能设计，满足最高动态性能要求的各种应用，是适用于光学、生化、电子制造等领域的理想的双轴高精密运动系统。优秀的精度和稳定的性能: IXY系列运动平台具有高精度和高运动性能等特点。瑞荧公司基于高精度机械和运动控制相结合的先进整体系统设计，生产出高精度和高性能的单轴、双轴、多轴高精密运动平台。IXY 系列双轴高精密运动平台,IXY 系列双轴高精密运动平台通用参数产品特点结构精巧的双轴高精密运动平台双电机可实现高产量高刚性，良好的兼容性导向精度高，精zhun定位产品应用二维激光加工激光直写光学测量自动显微镜技术参数IXY100IXY200行程100mm200mm精度-P: 1.0μm-C: 1.5μm-P: 1.5μm-C: 2.0μm重复定位精度(3σ)-P: 0.3μm-C: 0.6μm-P: 0.5μm-C: 0.8μm运动分辨率 *1AA: 10nmDS: 200nmAA: 10nmDS: 200nm最大速度 *2200mm/s300mm/s最大加速度 *20.5g0.5g水平方向直线度1.5μm3μm垂直方向直线度2μm4μm偏航角15μrad30μrad俯仰角50μrad100μrad装载质量 *310kg20kg*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。*3 欢迎与瑞荧公司工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。订购信息型号示例：IXY100/IXY200 – PAA – CMS型号说明:系列行程光栅尺类型编码器输出电缆输出IXY100: 100X100-P: Invar Based ScaleAA: Sin/Cos-CMS: With CMS Box200: 200X200-C: Gold Tape ScaleDS: 100nm A/B/Z-C01: 1m CableDC: Customize-C03: 3m Cable 控制系统：1、根据精密运动平台参数和应用要求，提供不同的控制系统方案。 2、精密运动台端口和电机参数兼容常见运动控制卡及驱动器。
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