MC 气体标准质量流量控制器产品介绍: MC 气体标准质量流量控制器全球控制响应很快、很稳定的质量流量控制器,可测量并控制低至2.5微升的流量,依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到很好工作效果。所有气体的满量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之间( H2 为 10,000 SLPM)监测四个变量: 质量流量、体积流量、压力和温度控制三个变量之一:质量流量、体积流量或压力预加载98 多种气体校准且可供用户选择本地、模拟或数字控制,包括工业协议技术参数:稳态控制范围:满量程的0.01% – 100%NIST 可追溯校准标准精度:读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%,以较大者为准高精度:读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%,以较大者为准重复性:±(读数的0.1% + 满量程的0.02%)典型控制响应时间:快至 30 ms预热时间:1秒兼容气体:98+ 纯气体和混合非腐蚀性气体工作温度:–10°C 至 +60°C满量程工作压力:160 PSIA (11 barA)
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